CN103392198A - 电极基板以及具备该电极基板的显示装置和触摸面板 - Google Patents

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Abstract

驱动基板具备：绝缘性基板（10）；设置在该基板（10）上的含有ITO或IZO的内部连接端子（12b）；和一个端部与该连接端子（12b）重叠并连接，并且另一个端一侧被引出到绝缘性基板（10）的外边缘侧的引出配线（14），在该驱动基板中，引出配线（14）的与内部连接端子接触的接触部由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层（15A）构成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。

Description

电极基板以及具备该电极基板的显示装置和触摸面板
技术领域
本发明涉及电极基板以及具备该电极基板的显示装置和触摸面板，特别是涉及防止配线剥落的对策。
背景技术
近年来，正在开发一种液晶显示装置，通过使观看者的左右眼分别视认从不同视点看到的图像，从而赋予视差进行3D显示（立体三维显示），这种液晶显示装置的一部分已经制成产品。
在这种液晶显示装置中，将光的透射区域与遮挡区域交替地呈条状形成而得到的视差屏障组合在液晶显示面板中，通过该视差屏障，对液晶显示面板所显示的右眼用图像和左眼用图像分别赋予特定的视野角，如果是从空间内的特定的观察区域观察，则能够视认与左右眼分别对应的图像，从而，观看者不使用滤光片系统等视觉辅助工具也能观看3D显示。
另外，已知一种2D/3D切换型的液晶显示装置（例如，参照专利文献1），采用开关液晶面板构成切换视差屏障功能的有效和无效的单元，由此，能够切换3D显示与2D显示（平面二维显示）。
开关液晶面板通过由框状的密封件将一对基板贴合，并在该密封件的内侧封入液晶层而构成。在构成该开关液晶面板的两个基板的彼此相对的内侧表面，在与显示区域对应的视差屏障区域中设置有视差屏障功能切换用的开关电极。开关电极与引出配线的一个端部重叠并连接。引出配线在视差屏障区域外侧的边框区域中延伸并引出至基板边缘部，其引出前端部构成外部连接端子，经由该外部连接端子与外部电路连接。
另外，近年来，在液晶显示装置等显示装置中，作为设置于显示面板上，且通过在其显示画面上使用手指或触摸笔等进行各种操作来向显示装置输入信息的输入装置，广泛地使用触摸面板。
触摸面板根据其工作原理分为：电阻膜方式、静电电容方式、红外线方式、超声波方式、电磁感应方式等。其中，静电电容方式的触摸面板比较难以损害显示装置的光学特性，尤其适合于显示装置。
在静电电容方式的触摸面板中，在与显示区域对应的触摸区域设置触摸位置检测用的触摸检测电极。触摸检测电极与引出配线的一个端部重叠并连接。引出配线在触摸区域外侧的边框区域延伸并引出至基板边缘部，其引出前端部构成外部连接端子，经由该外部连接端子与外部电路连接。
在上述的开关液晶面板和触摸面板中，为了能够视认显示图像，与显示区域对应的区域（视差屏障区域、触摸区域）必须是透明的，位于该区域的开关电极和触摸检测电极采用铟锡氧化物（Indium TinOxide，以下称作ITO）等透明导电性氧化物形成。另一方面，位于与非显示区域对应的区域的引出配线因为并未遮挡显示图像，所以不必是透明的，为了在与含有透明导电性氧化物的开关电极和触摸检测电极的连接中防止电蚀反应，其材料优选采用钛（Ti）和钼（Mo）等高熔点金属（例如，参照专利文献2和3）。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004－139054号公报
专利文献2：日本特开2002－222954号公报（0020段落）
专利文献3：日本特开2006－47985号公报（0117～0119段落）
发明内容
发明所要解决的技术问题
但是，如上所述，在构成开关液晶面板和触摸面板等的电极基板中，开关电极和触摸检测电极由透明导电性氧化物形成并作为透明电极，引出配线由高熔点金属形成，在该情况下，存在引出配线容易从该透明电极上剥落这样的问题。
本发明人对这种电极基板进行了反复仔细研究后发现，上述问题的原因在于，形成透明电极的透明导电性氧化物与形成引出配线的高熔点金属的相互的氧化还原反应，以及残留在透明电极上的引出配线部分的膜应力（膜应力）。
即，例如，当含有ITO的透明电极与含有钛（Ti）的引出配线的一部分重叠并连接时，在透明电极与引出配线之间发生氧化还原反应，由此，透明电极与引出配线的粘合性下降。另外，形成透明电极的ITO的结晶构造具有立方晶系的方铁锰矿（Bixbyite）型构造，而形成引出配线的钛（Ti）的结晶构造具有六方晶系的六方最密堆积构造，所以，由于结晶系的不同，在透明电极上的引出配线部分因在形成它们时的膨胀和收缩而残留过大的膜应力。这两个原因叠加，导致引出配线容易从透明电极上剥落。
当引出配线从透明电极上剥落时，在这些透明电极与引出配线之间不能够导通，无法使该电极基板正常地工作，因此，产生包括该电极基板的不良品，导致成品率下降，制造成本增大。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，防止引出配线从透明电极剥落，可靠地连接这些引出配线与透明电极，使电极基板正常地工作。
用于解决技术问题的手段
为了达到上述目的，在本发明中，为了防止引出配线与透明电极的氧化还原反应并且缓解引出配线的膜应力，对引出配线的与透明电极的接触部的材质进行了研究。
具体而言，本发明以电极基板以及具备该电极基板的显示装置和触摸面板为对象，采取以下解决方法，其中，该电极基板包括：基底基板；设置在该基底基板上的含有透明导电性氧化物的透明电极；和引出配线，其一个端部与该透明电极重叠并连接，并且另一个端一侧被引出到上述基底基板的外边缘侧。
即，第一发明是一种电极基板，其特征在于，上述引出配线的与透明电极接触的接触部由高熔点金属氮化物形成，氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。
在该第一发明中，引出配线中的与透明电极接触的接触部由高熔点金属氮化物形成。此处，如果所述引出配线的接触部中的氮浓度未满35atoms/cm2，则无法充分地抑制该引出配线与含有透明导电性氧化物的透明电极的相互的氧化还原反应从而防止引出配线的剥落。另一方面，如果所述引出配线的接触部中的氮浓度大于65atoms/cm2，则在用于形成该引出配线的成膜时，堆积在成膜装置内的膜容易剥落，其成为颗粒源，导致大量的颗粒附着在基板表面，或发生颗粒混入该成膜后的膜内的不良情况。而且，高熔点金属氮化物的电阻率（比电阻）根据其氮浓度增高而增高，因此，配线电阻变得过高，导致引出配线失去功能。与此相反，在第一发明中，所述引出配线的接触部中的氮浓度为35atoms/cm2以上，所以能够充分地抑制该引出配线与透明电极的相互的氧化还原反应。所述引出配线的接触部中的氮浓度为65atoms/cm2以下，所以能够抑制在形成该引出配线的成膜时产生颗粒，防止颗粒附着在基板表面或颗粒混入成膜后的膜内。而且，确保该引出配线导电性，使其能够发挥功能。另外，高熔点金属氮化物的结晶构造是立方晶系的构造，其结晶系与透明导电性氧化物相同，所以在形成引出配线时残留在该配线上的膜应力得以缓解。因此，能够防止引出配线从透明电极剥落，并且能够将这些引出配线与透明电极可靠地连接，使电极基板不产生不良地正常工作。
第二发明的特征在于：在第一发明的电极基板中，还包括：覆盖上述引出配线的绝缘膜；和连接端子，其含有透明导电性氧化物，与上述引出配线的引出前端部重叠并连接，并且被引出到上述绝缘膜的外部，上述引出配线的与连接端子接触的接触部也由高熔点金属氮化物形成，氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。
在该第二发明中，引出配线被绝缘膜覆盖，所以能够通过该绝缘膜来阻止外部的湿气等进入，很好地防止引出配线的腐蚀。而且，与该引出配线连接并被引出到上述绝缘膜的外部的连接端子含有透明导电性氧化物，所以耐腐蚀性高，即使在大气中也难以被腐蚀。由此，在与外部电路等的连接中，避免因连接端子被腐蚀而导致其电阻增大引起连接不良。
而且，引出配线中的与连接端子接触的接触部由高熔点金属氮化物形成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下，所以，在该引出配线与含有透明导电性氧化物的连接端子之间，也发挥和上述引出配线与透明电极之间同样的作用，能够防止引出配线从连接端子剥落，并且能够将这些引出配线与连接端子可靠地连接，使电极基板不产生不良地正常工作。
第三发明的特征在于：在第一或第二发明的电极基板中，上述引出配线由阻挡金属层和低电阻金属层层叠而构成，上述阻挡金属层含有构成与上述透明电极接触的接触部的高熔点金属氮化物，上述低电阻金属层含有电阻比该阻挡金属层低的金属。
在该第三发明中，引出配线具有阻挡金属层和低电阻金属层依次层叠的至少双层的层叠构造。阻挡金属层含有高熔点金属氮化物，构成与透明电极接触的接触部，所以具体地发挥上述第一发明的作用效果。而且，低电阻金属层含有电阻比阻挡金属层低的金属，所以与引出配线仅含有高熔点金属氮化物的情况相比，形成为低电阻。由此，能够根据应用本发明的器件确保引出配线所需的导电性。
第四发明的特征在于：在第一～第三发明中任一项所述的电极基板中，上述高熔点金属氮化物是氮化钛（TiN）、氮化钼（MoN）、氮化钽（TaN）、氮化钨（WN）或氮化铬（CrN）。
根据该第四发明，通过具体地发挥本发明的作用效果，能够防止产生包含电极基板的不良品，改善成品率下降以及制造成本增大的问题。
第五发明的特征在于：在第一～第四发明中任一项所述的电极基板中，上述透明导电性氧化物是铟锡氧化物或铟锌氧化物（Indium ZincOxide，以下称作IZO）。
在该第五发明中，透明电极含有ITO或IZO。ITO和IZO具有导电性并具有较高的透明度，因此，在与显示面板重叠使用的例如开关液晶面板和触摸面板等附加功能器件中应用本发明的情况下，能够很好地视认该显示面板的显示画面。
第六发明是一种显示装置，其特征在于，包括：显示面板，其根据所输入的图像数据生成显示图像；视差屏障单元，其对由上述显示面板生成的显示图像中的第一显示区域和第二显示区域分别赋予不同的特定的视野角；和开关液晶面板，其通过切换上述视差屏障单元的效果的有效与无效，来切换第一显示状态与第二显示状态，其中，上述开关液晶面板具有第一～第五发明中任一项所述的电极基板。
根据该第六发明，第一～第五发明的电极基板具备能够将引出配线与透明电极可靠地连接而使电极基板不产生不良地正常工作的优良的特性，因此，作为显示装置，也能够改善成品率下降和制造成本增大的问题，并且能够实现低成本化。
第七发明是一种触摸面板，其特征在于，包括第一～第五发明中任一项所述的电极基板，上述触摸面板具有：触摸区域，其是设置有上述透明电极的区域，能够检测出被接触体接触的触摸位置；和端子区域，其是设置在该触摸区域的外侧的区域，用于与外部电路连接，上述引出配线从上述触摸区域一侧被引出到上述端子区域一侧，并经由上述端子区域，与在接触体接触上述触摸区域时检测该接触体的接触位置的控制器电连接。
根据该第七发明，第一～第五发明的电极基板具备将引出配线与透明电极可靠地连接而使电极基板不产生不良地正常工作的优良的特性，因此，作为触摸面板，也能够改善成品率下降和制造成本增大的问题，并且能够实现低成本化。
发明效果
根据本发明，引出配线中的与透明电极接触的接触部由高熔点金属氮化物形成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下，所以，能够防止引出配线从透明电极剥落，并且能够将这些引出配线与透明电极可靠地连接而使电极基板不产生不良地正常工作。其结果是，对于电极基板和具备该电极基板的显示装置和触摸面板等器件，能够改善成品率下降和制造成本增大的问题，并且能够实现低成本化。
附图说明
图1是概略地表示实施方式1的2D/3D切换型的液晶显示装置的截面构造的截面图。
图2是概略地表示驱动基板的平面图。
图3是概略地表示驱动基板的开关电极与外部连接端子的连接构造的部分放大平面图。
图4是表示图3的A－A线、B－B线、C－C线、D－D线中的截面构造的截面图。
图5是概略地表示共用基板的平面图。
图6是概略地表示共用基板的开关电极与外部连接端子的连接构造的部分放大平面图。
图7是表示实施方式1的驱动基板的制造方法的工序图，是表示图4对应位置的截面图。
图8是表示实施方式1的变形例的引出配线的构造的与图4的B－B线和C－C线截面相当的部位的截面图。
图9是概略地表示具备有实施方式2的触摸面板的液晶显示装置的截面构造的截面图。
图10是概略地表示实施方式2的触摸面板的平面图。
图11是概略地表示实施方式2的触摸面板的触摸检测电极与外部连接端子的连接构造的部分放大平面图。
图12是表示图11的A－A线、B－B线、C－C线、D－D线中的截面构造的截面图。
图13是表示实施方式2的触摸面板的制造方法中的前半步骤的工序图，是与图12对应的部位的截面图。
图14是表示实施方式2的触摸面板的制造方法中的后半步骤的工序图，是与图12对应的部位的截面图。
图15是表示实施方式2的变形例的引出配线的构造的与图12的B－B线和C－C线截面相当的部位的截面图。
图16是放大表示其他实施方式的触摸面板的触摸区域的一部分的平面图。
图17是表示图16的XVII－XVII中的截面构造的截面图。
图18是概略地表示具备其他实施方式的触摸面板的2D/3D切换型液晶显示装置的截面构造的截面图。
具体实施方式
下面，根据附图对本发明的实施方式进行详细的说明。此外，本发明并不限于以下的各实施方式。
《发明的实施方式1》
在该实施方式1中，作为显示装置的一个例子，对以能够切换2D显示与3D显示的方式构成的2D/3D切换型液晶显示装置S1进行说明。
－2D/3D切换型液晶显示装置S1的结构－
图1表示2D/3D切换型液晶显示装置S1的截面构造。
2D/3D切换型液晶显示装置S1是透射型液晶显示装置，包括：液晶显示面板DP；作为设置于该液晶显示面板DP的背面侧的光源装置的背光源单元BL；和设置于上述液晶显示面板DP的表面侧即背光源单元BL的相反侧的开关液晶面板SP。
＜液晶显示面板DP的结构＞
液晶显示面板DP包括：彼此相对地设置的薄膜晶体管（Thin FilmTransistor，以下称作TFT）基板1和对置基板2；将这些TFT基板1和对置基板2的两个外周边缘部彼此粘接的框状的密封件3；和由密封件3包围并被封入TFT基板1与对置基板2之间的液晶层4。
该液晶显示面板DP具有显示区域D，其是TFT基板1与对置基板2重叠的区域，在密封件3的内侧即设置有液晶层4的区域进行图像显示，例如为矩形状。该显示区域D由多个作为图像的最小单位的像素呈矩阵状排列而构成。
另外，液晶显示面板DP在显示区域D的周围具有例如矩形框状的非显示区域，在该非显示区域的一边侧，TFT基板1从对置基板2突出，具有端子区域（图中未示），该端子区域是TFT基板1的对置基板2一侧的表面露出到外部的区域。在该端子区域中，隔着各向异性导电膜安装有FPC（Flexible Printed Circuits；柔性印刷电路）等配线基板，经由该配线基板，将包含与要显示的图像对应的图像数据的显示用信号从外部电路输入液晶显示面板DP中。
虽然图中并未表示，但TFT基板1在作为基底基板的玻璃基板等的绝缘性基板上具备：以相互平行地延伸的方式设置的多个栅极配线；以在与该各栅极配线交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置的多个源极配线；以在这些各栅极配线与各源极配线的每个交叉部与各像素对应的方式设置的TFT；和与TFT的漏极连接的像素电极，通过切换各TFT的接通与关断，有选择地对与该各TFT对应的像素电极施加电位。
虽然图中并未表示，但对置基板2在作为基底基板的玻璃基板等的绝缘性基板上具备：以与上述栅极配线和源极配线对应的方式呈格子状设置的黑矩阵；在该黑矩阵的格子间与各像素对应地周期性排列的例如包括红色层、绿色层和蓝色层的多个彩色滤光片；以覆盖这些黑矩阵和各彩色滤光片的方式设置且与上述像素电极组相对的共用电极；和在该共用电极上呈柱状设置的感光间隔物。
这些TFT基板1和对置基板2例如形成为矩形状，在相互相对的内侧表面分别设置有取向膜（图中未示），并且在外侧表面分别设置有第一偏光板H1和第二偏光板H2。TFT基板1上的第一偏光板H1与对置基板2上的第二偏光板H2的透射轴相差90度。另外，液晶层4例如由具有电光学特性的向列型液晶材料等构成。
＜背光源单元BL的结构＞
虽然图中并未表示，但背光源单元BL包括：LED（Light EmittingDiode，发光二极管）或冷阴极管等光源、导光板以及反射片、扩散片、棱镜片等多个光学片，将从光源射入导光板的光，从该导光板的射出面经由各光学片向液晶显示面板DP一侧作为均匀的面状的光射出。
＜开关液晶面板SP的结构＞
开关液晶面板SP隔着双面胶带等粘贴件9粘贴于液晶显示面板DP。开关液晶面板SP包括：作为相互相对地配置的各个电极基板的驱动基板5及共用基板6；将这些驱动基板5及共用基板6的两个外周边缘部彼此粘接的框状的密封件7；和由密封件7包围并封入驱动基板5与共用基板6之间的液晶层8。
该开关液晶面板SP具有视差屏障区域B，其是驱动基板5与共用基板6重叠的区域，且位于密封件7的内侧即设置有液晶层8的区域，例如为矩形状。该视差屏障区域B配置于与液晶显示面板DP的显示区域D对应的区域，如后所述，能够发挥作为具有格子状的透光部和在该透光部之间呈矩阵状配置的遮光部的视差屏障的功能。
另外，开关液晶面板SP具有设置于视差屏障区域B的周围的例如矩形框状的边框区域F。边框区域F配置于与液晶显示面板DP的非显示区域对应的区域。在该边框区域F一边侧，驱动基板5从共用基板6突出，设置有驱动端子区域DT（图1中未表示，参照图2），该驱动端子区域DT是驱动基板5的共用基板6一侧的表面露出到外部的区域。另外，在边框区域F的另一边侧，共用基板6从驱动基板5突出，设置有共用端子区域CT（图1中未表示，参照图5），该共用端子区域CT是共用基板6的驱动基板5一侧的表面露出到外部的区域。在这些各端子区域DT、CT中，隔着各向异性导电膜安装有FPC等配线基板，控制驱动状态的开通与关闭的控制信号经由该各配线基板从外部电路输入开关液晶面板SP。
＜驱动基板5的结构＞
图2～图4表示驱动基板5的结构。图2是驱动基板5的概略平面图。图3是概略地表示驱动基板5中的开关电极12与外部连接端子16的连接构造的一部分放大平面图。图4是从图中左侧依次表示图3的A－A线、B－B线、C－C线、D－D线中的截面构造的截面图。
如图2所示，驱动基板5在作为基底基板的玻璃基板等绝缘性基板10上具备：在视差屏障区域B呈条状排列的多个驱动开关电极12；与该各驱动开关电极12电连接，按每个该开关电极12在边框区域F中从视差屏障区域B一侧向驱动端子区域DT一侧引出的引出配线14；和按每个该配线14设置于该各引出配线14的引出前端的外部连接端子16。
驱动开关电极12分别在图2的上下方向（Y轴方向：例如画面纵向）上形成为呈线状延伸的细长的大致长方形状，在图2的左右方向（X轴方向：例如画面横向）上隔开规定的间隔地配置，在该开关电极12彼此之间形成缝隙。在各驱动开关电极12的一端侧，如图3所示，从该开关电极12引出配线12a，并且在其前端形成内部连接端子12b。这些各驱动开关电极12含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO，构成本发明的透明电极。
外部连接端子16沿绝缘性基板10的端边隔开规定的间隔地排成一列。这些各外部连接端子16含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO，由与上述驱动开关电极12相同的膜形成。
引出配线14相互并排地从视差屏障区域B的周边延伸至驱动端子区域DT的跟前。在各引出配线14中，引出基端部14a与内部连接端子12b重叠并连接，并且引出前端部14b与外部连接端子16重叠并连接。这些各引出配线14如图4（B－B截面和C－C截面）所示，由阻挡金属层15A和电阻金属层15B依次层叠而构成。
阻挡金属层15A构成与内部连接端子12b和外部连接端子16接触的接触部。该阻挡金属层15A含有作为高熔点金属氮化物的氮化钛（TiN），其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下，电阻率在150μΩcm以上且500μΩcm以下的范围。低电阻金属层15B含有电阻比氮化钛（TiN）低的钛（Ti），电阻率在60μΩcm以上且75μΩcm以下的范围。
如上所述，引出配线14的与内部连接端子12b和外部连接端子16接触的接触部由氮浓度为35atoms/cm2～65atoms/cm2的氮化钛（TiN）形成，由此，能够防止该引出配线14从两个连接端子12b、16剥离。
即，当由氮化钛（TiN）形成引出配线14的与内部连接端子12b和外部连接端子16接触的接触部时，能够获得抑制该引出配线14与两个连接端子12b、16相互的氧化还原反应的效果。此处，如果该引出配线14的接触部中的氮浓度未满35atoms/cm2，则无法充分地抑制该引出配线14与连接端子12b、16相互的氧化还原反应从而防止引出配线14的剥离。另一方面，如果上述引出配线14的接触部中的氮浓度高于65atoms/cm2，则在用于形成该引出配线14的成膜时，堆积在成膜装置内的膜容易剥落，其成为颗粒源，导致大量的颗粒附着在基板表面，或发生颗粒混入该成膜后的膜内的不良情况，而且，氮化钛（TiN）的电阻率随着氮浓度的增高而增高，因此，导致配线电阻过高，引出配线14有可能失去作用。
与此相反，在本实施方式中，构成引出配线14的与内部连接端子12b和外部连接端子16接触的接触部的阻挡金属层15A的氮浓度为35atoms/cm2以上，所以，能够充分地抑制该引出配线14与两个连接端子12b、16相互的氧化还原反应。而且，阻挡金属层15A中的氮浓度为65atoms/cm2以下，所以，能够抑制在用于形成该引出配线14的成膜时产生颗粒，并防止颗粒附着在基板表面以及颗粒混入成膜后的膜内。而且，能够将阻挡金属层15A的电阻率控制在能够确保作为配线所需的导电性的范围之内。另外，在该阻挡金属层15A上层叠低电阻金属层15B，所以，与仅含有氮化钛（TiN）的情况相比，能够使该引出配线14低电阻化，并且能够获得驱动基板5中的引出配线14所需的导电性。另外，氮化钛（TiN）的结晶构造是立方晶的构造，与ITO和IZO等透明导电性氧化物的结晶系相同，所以，能够缓解在形成引出配线14时残留在该配线14上的膜应力。因此，能够防止引出配线14从内部连接端子12b和外部连接端子16剥落。
如上所述，从抑制该阻挡金属层15A与连接端子12b、16的氧化还原反应的观点来看，上述阻挡金属层15A的氮浓度优选35atoms/cm2以上65atoms/cm2以下，进一步优选40atoms/cm2以上50atoms/cm2以下。
此外，在本实施方式中，阻挡金属层15A含有氮化钛（TiN），但该阻挡金属层15A也可以由氮化钼（MoN）、氮化钽（TaN）、氮化钨（WN）或者氮化铬（CrN）形成，还可以由其他的高熔点金属形成，以替代氮化钛（TiN）。另外，低电阻金属层15B也不限于钛（Ti），作为替代，也可由钼（Mo）、钽（Ta）、钨（W）或者铬（Cr）形成，还可以由其他的高熔点金属形成。
＜共用基板6的结构＞
图5和图6表示共用基板6的结构。图5是共用基板6的概略平面图。图6是概略地表示共用基板6中的开关电极22与外部连接端子26的连接构造的一部分放大平面图。
如图5所示，共用基板6在作为基底基板的玻璃基板等绝缘性基板20上具备：在视差屏障区域B中呈条状排列的多个共用开关电极22；与该各共用开关电极22电连接，按每个该开关电极22在边框区域F中从视差屏障区域B一侧向共用端子区域CT一侧引出的引出配线24；和按每个该配线24设置于该各引出配线24的引出前端的外部连接端子26。
共用开关电极22以分别与上述驱动开关电极12交叉的方式分别在X方向上形成为呈线状延伸的细长的大致长方形状，在Y轴方向上隔开规定的间隔地配置，在该开关电极22彼此之间形成缝隙。在各共用开关电极22的一端侧，如图6所示，从该开关电极22引出配线22a，并且在其前端形成内部连接端子22b。这些各共用开关电极22也含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO，构成本发明的透明电极。
外部连接端子26沿着绝缘性基板20的外边缘彼此隔开规定的间隔地排成一列。这些各外部连接端子26含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO，由与上述共用开关电极22相同的膜形成。
引出配线24相互并排地从视差屏障区域B的周边延伸至共用端子区域CT的跟前。在各引出配线24中，引出基端部24a与内部连接端子22b重叠并连接，并且引出前端部24b与外部连接端子26重叠并连接。
这些各引出配线24与驱动基板5一侧的引出配线14同样，由含有氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下（优选40atoms/cm2以上且50atoms/cm2以下）的氮化钛（TiN）的阻挡金属层、和含有钛（Ti）的低电阻金属层依次层叠而构成。由此，在共用基板6中，在引出配线24与内部连接端子22b和外部连接端子26之间也发挥与驱动基板5同样的作用，能够防止该引出配线24从两个连接端子22b、26剥落。
此外，在本实施方式中，引出配线24的阻挡金属层含有氮化钛（TiN），但该阻挡金属层也可以由氮化钼（MoN）、氮化钽（TaN）、氮化钨（WN）或者氮化铬（CrN）形成，还可以由其他的高熔点金属形成，以替代氮化钛（TiN）。另外，引出配线24的低电阻金属层也不限于钛（Ti），作为替代，也可由钼（Mo）、钽（Ta）、钨（W）或者铬（Cr）形成，还可以采用其他的高熔点金属形成。
这些驱动基板5和共用基板6例如形成为矩形状，在彼此相对的内侧表面分别设置有取向膜（图中未示）。而且，在共用基板6的外侧表面设置有第三偏光板H3。该共用基板6上的第三偏光板H3的透射轴的方向与上述对置基板2上的第二偏光板H2相同。液晶层8例如由具有电光学特性的向列型的液晶材料等构成。
＜2D/3D切换型的液晶显示装置S1的操作＞
在上述结构的液晶显示装置S1中，以下述两个显示状态中的任一个显示状态进行图像显示，即：作为进行通常的2D显示的第一显示状态的2D显示状态；和作为第二显示状态的3D显示状态，其通过使观看者的左右眼分别视认从不同的视点看到的图像，从而赋予视差进行3D显示。
在进行显示动作时的液晶显示面板DP中，栅极信号被依次向各栅极配线输出，驱动栅极配线，与被驱动的同一栅极配线连接的TFT一齐变成接通状态时，源极信号通过源极配线被送往接通状态的各TFT，规定的电荷经由这些TFT被写入像素电极中。这样的有选择地向像素电极写入电荷的动作，按照线顺序对形成显示区域D的像素的全部行实施。由此，在TFT基板1的各像素电极与对置基板2的共用电极之间产生电位差，在液晶层4施加规定的电压。接着，在液晶显示面板DP，根据施加在液晶层4的电压的大小来改变液晶分子的取向状态，由此来调整液晶层4中的来自背光源单元BL的光的透射率，并显示图像。
在3D显示状态下进行显示动作时，在液晶显示面板DP显示复合图像，该复合图像以右眼用图像和左眼用图像分别在图像横向上被分割成多列且相互的列交替地排列的方式混合而成。
在3D显示状态下的开关液晶面板SP中，其驱动设为接通状态，对各驱动开关电极12和各共用开关电极22一齐施加不同的电位。此时，在各驱动开关电极12与各共用开关电极22之间施加规定的电压，通过这些各驱动开关电极12与各共用开关电极22重叠的区域的光的偏光轴，与通过这两个开关电极12、22重叠的区域之间的光的偏光轴相比改变90度。由此，通过各驱动开关电极12与各共用开关电极22重叠的区域的光，由于其偏光轴与第三偏光板H3的透射轴形成90度的角度，因此不会透射第三偏光板H3。另一方面，通过这两个开关电极12、22重叠的区域之间的光，由于其偏光轴与第三偏光板H3的透射轴平行，因此透射第三偏光板H3。
在本实施方式中，根据开关液晶面板SP与第三偏光板H3的相关的光学作用，开关液晶面板SP中的驱动开关电极12与共用开关电极22重叠的各区域成为遮光部，这两个开关电极之间的各区域成为透光部，由此，在视差屏障区域中，有效地发挥作为具有格子状的透光部和在该透光部的格子之间呈矩阵状配置的遮光部的视差屏障的功能。即，开关液晶面板SP和第三偏光板H3构成本发明的视差屏障。
在上述液晶显示面板DP上显示的右眼用图像和左眼用图像的复合图像，通过上述开光液晶面板SP和第三偏光板H3所构成的视差屏障，而按右眼用图像和左眼用图像被分离成不同的规定的视野角，使得观看者的左右眼分别观看从不同的视点所看到的图像，由此进行3D显示。此时，即使将显示画面旋转90度并切换纵向和横向，视差屏障也具有呈矩阵状配置的遮光部，因此，在液晶显示面板DP上显示的复合图像也向相同方向旋转90度并进行显示，由此，能够将该复合图像的右眼用图像与左眼用图像分别分离成规定的视野角，并且能够实现预期的3D显示。在本实施方式中，在液晶显示面板DP中，由与右眼用图像对应的图像构成的区域和由与左眼用图像对应的像素构成的区域分别为第一显示区域和第二显示区域。
另一方面，在2D显示状态下进行显示动作时，在液晶显示面板DP中显示通常的二维平面图像。在开关液晶面板SP中，其驱动设为关断状态，对各驱动开关电极12和各共用开关电极22施加相同的电位，由此，使作为视差屏障的功能无效，使入射的光保持其偏光轴地射出。由此，观看者的双眼视认相同的图像，进行2D显示。
－制造方法－
下面，举例对上述2D/3D切换型的液晶显示装置S1的制造方法进行说明。在本实施方式中，以各制造一张驱动基板5和共用基板6并将这两个基板5、6贴合制成一张开关液晶面板SP的单张方式的制造方法为例进行说明，但也能应用于制作包括多个单元单位的母板，按照单元单位分割该母板，由此，同时制作多个开关液晶面板SP的多张方式的制造方法。这种情况对于液晶显示面板DP也同样。
2D/3D切换型的液晶显示装置S1的制造方法包括开关液晶面板制造工序、液晶显示面板制造工序、背光源单元制造工序和模块化工序。
＜开关液晶面板制造工序＞
开关液晶面板制造工序包括驱动基板制造工序、共用基板制造工序和粘贴工序。
＜驱动基板制造工序＞
图7（a）～（c）表示驱动基板制造工序。此外，该图7（a）～（c）分别表示与图4对应的部位的截面。
首先，采用溅射法，在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板10上，形成包含具有立方晶系的方铁锰矿型构造的ITO或IZO的透明导电膜。接着，通过光刻将该透明导电膜图案化，如图7（a）所示，形成驱动开关电极12和外部连接端子16。
接下来，采用溅射法，在形成有驱动开关电极12和外部连接端子16的基板上，如图7（b）所示，依次形成具有立方晶系的氯化钠（NaCl）型构造的氮化钛（TiN）膜60、和具有六方晶系的结晶构造的钛（Ti）膜62，将它们层叠而形成金属层叠膜64。通过光刻将该金属层叠膜64图案化，如图7（c）所示，形成引出配线14。
由此，能够制造驱动基板5。
＜共用基板制造工序＞
在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板20上，与上述驱动基板制造工序同样地，反复进行光刻来形成共用开关电极22、引出配线24和外部连接端子26，由此制造共用基板6。
＜贴合工序＞
对于驱动基板5和共用基板6的表面，通过印刷法等分别形成取向膜后，根据需要进行摩擦处理。接着，对于驱动基板5或共用基板6的表面，利用分配器（dispenser）等将含有紫外线硬化型的树脂的密封件7描绘为框状，在该密封件7的内侧区域滴下规定量的液晶材料。
接着，隔着密封件7和液晶材料在减压下将驱动基板5与共用基板6贴合构成液晶层8后，通过将该贴合而成的贴合体放在大气压下，来对贴合体的表面加压。然后，在该状态下，通过照射紫外线使密封件7硬化，由此，将驱动基板5与共用基板6粘接，制造开关液晶面板SP。之后，对驱动基板5的外侧表面粘贴第三偏光板H3。
＜液晶显示面板制造工序＞
液晶显示面板制造工序包括TFT基板制造工序、对置基板制造工序和贴合工序。
＜TFT基板制造工序＞
在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板上，采用反复进行光刻的周知的方法，形成栅极配线、源极配线、TFT和像素电极，由此制造TFT基板1。
＜对置基板制造工序＞
在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板上，采用反复进行光刻的周知的方法，形成黑矩阵、彩色滤光片、共用电极和感光间隔物，由此制造对置基板2。
＜贴合工序＞
在TFT基板1和对置基板2的表面形成取向膜后，根据需要进行摩擦处理。接着，与开关液晶面板制造工序中的贴合工序同样地，将TFT基板1与对置基板2贴合而构成液晶层4，使密封件3硬化而将这两个基板1、2粘接，由此制造液晶显示面板DP。之后，对TFT基板1和对置基板2的外侧表面分别粘贴第一偏光板H1和第二偏光板H2。
＜背光源单元制造工序＞
首先，使用周知的射出成形装置等，将作为导光板的基底的丙烯酸树脂板进行成形，通过使光散射在该丙稀酸树脂板上，形成例如点形状的图案，由此制造导光板。接着，在该导光板上粘贴并组装反射片和扩散片、棱镜片等光学片。然后，在导光板与光学片的贴合体上安装LED或冷阴极管等光源，由此制造背光源单元BL。
＜模块化工序＞
在开关液晶面板SP和液晶显示面板DP的各端子区域DT、CT，分别隔着各向异性导电膜安装FPC等配线基板。接着，隔着双面胶带等粘贴件9将开关液晶面板SP与液晶显示面板DP贴合，在液晶显示面板DP的背面侧搭载背光源单元BL。这样就将开关液晶面板SP、液晶显示面板DP和背光源单元BL模块化。
进行以上的工序，能够制造图1所示的2D/3D切换型的液晶显示装置S1。
－实施方式1的效果－
根据实施方式1，构成驱动基板5上的引出配线14的与内部连接端子12b和外部连接端子16接触的接触部的阻挡金属层15A由氮化钛（TiN）形成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下，所以，能够防止该引出配线14从两个连接端子12b、16剥落，并且能够可靠地连接引出配线14与两个连接端子12b、16，使驱动基板5不产生不良地正常工作。
另外，共用基板6上的引出配线24也具备与上述驱动基板5上的引出配线14同样的结构，所以，能够防止该引出配线24从内部连接端子22b和外部连接端子26剥落，并且，能够可靠地连接这些引出配线24与两个连接端子22b、26，使共用基板6也不产生不良地正常工作。
因此，对于开关液晶面板SP和具备该面板的2D/3D切换型的液晶显示装置S1，能够改善成品率下降和制造成本增大的问题，能够实现低成本化。
《实施方式1的变形例》
图8是表示上述实施方式1的变形例的引出配线14的构造的截面图，从图中左侧依次表示与图4的B―B线和C―C线的截面相当的部位。
在上述实施方式1中，引出配线14具有由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层15A和含有钛（Ti）的低电阻金属层15B依次层叠而构成的双层构造（Ti/TiN），但本变形例的引出配线14具有由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层15A、含有钛（Ti）的低电阻金属层15B、和含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层15C依次层叠而构成的三层构造（TiN/Ti/TiN）。
对于具备这种层叠构造的引出配线14的驱动基板5，通过以下工序能够制造：采用溅射法，在形成驱动开关电极12和外部连接端子16的基板上，形成氮化钛（TiN）膜60和钛（Ti）膜62后，接着还形成氮化钛（TiN）膜，形成三层构造的金属层叠膜，通过光刻将该金属层叠膜图案化，形成引出配线14。
此外，在该变形例中，对驱动基板5的引出配线14的构造进行了说明，在共用基板6的引出配线24中也能够采用同样的构造。
《发明的实施方式2》
在该实施方式2中，对于在触摸面板中应用本发明的情况，作为显示装置的一个例子而列举液晶显示装置，对带触摸面板TP的液晶显示装置S2进行说明。
－带触摸面板TP的液晶显示装置S2的结构－
图9表示带触摸面板TP的液晶显示装置S2的截面构造。
带触摸面板TP的液晶显示装置S2是透射型液晶显示装置，具备：与上述实施方式1同样结构的液晶显示面板DP和背光源单元BL；和作为设置于液晶显示面板DP的表面侧的电极基板的触摸面板TP。
＜触摸面板TP的结构＞
图10～图12表示触摸面板TP的结构。图10是触摸面板TP的概略平面图。图11是部分地放大表示触摸面板TP中的触摸位置检测用的电极32、38与外部连接端子48的连接构造的平面图。图12是从图中左侧起依次表示图11的A－A线、B－B线、C－C线、D－D线的截面构造的截面图。
本实施方式的触摸面板TP直接形成于构成液晶显示面板DP的对置基板2的绝缘性基板30的表面，带触摸面板TP的液晶显示装置S2整体构成薄型。触摸面板TP构成为投影型静电电容方式（projectedcapacitive方式）的触摸面板，如图10所示具有：作为用来检测接触体（使用者的手指等）所接触的触摸位置的区域的例如矩形状的触摸区域T；设置于该触摸区域T的周围的例如矩形框状的边框区域F；和设置于该边框区域F的一边侧（图10中的右侧）的端子区域TT。触摸区域T设置于与液晶显示面板DP的显示区域D对应的区域。边框区域F设置于与液晶显示面板DP的非显示区域对应的区域。
触摸面板TP具备：设置于触摸区域T的触摸位置检测用的触摸检测电极32、38；与该触摸检测电极32、38电连接，在边框区域F中从触摸区域T一侧引出到端子区域TT一侧的多个引出配线46；设置于这些各引出配线46的引出前端的外部连接端子48；和与这些各外部连接端子46电连接的作为外部电路的控制器50。
触摸检测电极32、38包括：呈矩阵状设置的多个第一电极32（在图10中带斜线的电极）；和同样呈矩阵状设置的多个第二电极38（在图10中白色空体的电极）。这些第一电极32和第二电极38以在图10中的斜向上交替排列的方式整体排列成蜂窝状。
第一电极32形成为大致矩形状，在图10中的左右方向（X轴方向）上和上下方向（Y轴方向）上以相邻的角部对峙的方式按规定的间隔配置。并且，在X轴方向上排列的多个第一电极32如图11所示，相邻的第一电极32彼此由第一连结部34连结而形成一体，构成第一电极组36。即，第一电极32和第一连结部34在X轴方向上交替地配置，由经由该第一连结部34形成为一体的第一电极32的列构成的第一电极组36，在Y轴方向上相互平行地排列成多列。第一电极32和第一连结部34含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO。
第二电极38例如也形成为大致矩形状，在X轴方向上和Y轴方向上以相邻的角部对峙的方式按规定的间隔配置。并且，对于在Y轴方向上排列的多个第二电极38，相邻的第二电极38彼此由第二连结部40连结并电连接，构成第二电极组42。即，第二电极38和第二连结部40在Y轴方向上交替地配置，由经由该第二连结部40电连接的第二电极38的列构成的第二电极组42，在X轴方向上相互平行地排列成多列。第二电极38和第二连结部40也含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO。
上述第一电极组36（第一电极32）、第一连结部34和第二电极组42（第二电极38）如图12（A－A截面）所示，形成在构成对置基板2的绝缘性基板30的外侧表面。并且，仅第一连结部34由岛状的层间绝缘膜39覆盖。另一方面，第二连结部40构成在层间绝缘膜39上向与第一连结部34交叉的方向延伸，且隔着该层间绝缘膜39横跨第一连结部34的架桥构造，其两端部与相邻的第二电极38的角部连接。
像这样，在本实施方式中，第一电极组36和第二电极组42设置于同一层，所以，能够使形成在触摸位置的第一电极32和第二电极38与手指等接触体之间的静电电容产生相同程度的变化。由此，能够减少在第一电极32与第二电极38的静电电容的变化的灵敏度差，并且能够进行灵敏度高的触摸位置的检测。
在上述各第一电极组36和各第二电极组42的一侧，如图11所示，从第一电极32和第二电极38引出配线43，并且在其前端形成内部连接端子44。在本实施方式中，这些第一电极组36、第二电极组42、配线42和内部连接端子44构成本发明的透明电极。
上述第一电极组36（第一电极32）、第二电极组42（第二电极38）、第二连结部40和层间绝缘膜39如图12（A－A截面）所示，由保护绝缘膜49覆盖。该保护绝缘膜49含有丙烯酸基底的有机绝缘材料等，如图11所示，未形成于端子区域TT，使各外部连接端子48露出到外部。
外部连接端子48沿着构成对置基板2的绝缘性基板30的端边缘，彼此隔开规定的间隔地排列成一列。这些各外部连接端子48含有作为透明导电性氧化物的ITO或IZO，上述第一电极32和第二电极38由同一膜形成。这样露出到保护绝缘膜49的外部的外部连接端子48因为含有ITO或IZO，所以耐腐蚀性高，即使在大气中也难以被腐蚀。由此，在与外部电路的连接中，避免该连接端子48因被腐蚀而导致其电阻增高引起连接不良。
引出配线46相互并排地从触摸区域T的周边延伸至端子区域TT的跟前。这些各引出配线46由保护绝缘膜49覆盖，其整体配置于比该绝缘膜49的外边缘更靠内侧的位置。由此，通过保护绝缘膜49来阻止湿气等从外部进入，很好地防止引出配线46的腐蚀。
在各引出配线46中，引出基端部46a与内部连接端子44重叠并连接，并且引出前端部46b与外部连接端子48重叠并连接。这些各引出配线46如图12（B－B截面和C－C截面）所示，与上述实施方式1中的驱动基板5和共用基板6的引出配线14同样，由含有氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下（优选40atoms/cm2以上且50atoms/cm2以下）的氮化钛（TiN）的阻挡金属层47A、和含有钛（Ti）的低电阻金属层47B依次层叠而构成。由此，在引出配线46与内部连接端子44和外部连接端子48之间发挥与上述实施方式1的驱动基板5同样的作用，能够防止该引出配线46从两个连接端子44、48剥落。
此外，在本实施方式中，阻挡金属层47A含有氮化钛（TiN），但该阻挡金属层47A可以由氮化钼（MoN）、氮化钽（TaN）、氮化钨（WN）或者氮化铬（CrN）形成，也可以由其他的高熔点金属形成，以取代氮化钛（TiN）。另外，低电阻金属层47B也不限于钛（Ti），作为替代，可以由钼（Mo）、钽（Ta）、钨（W）或者铬（Cr）形成，也可以由其他的高熔点金属形成。
＜控制器50的结构＞
在控制器50中，作为例如被称作TAB（Tape Automated Bonding；带状自动化粘合）的驱动集成电路被安装在端子区域TT中。在该控制器50中，作为检测电路52具备：对因接触体与触摸区域T接触而在位于触摸位置的第一电极32和第二电极38与接触体之间发生的电容变化进行检测的静电电容检测电路；或者对因接触而使位于触摸位置的第一电极32和第二电极38分别发生的阻抗变化进行检测的阻抗检测电路。并且，控制器50通过对经由引出配线46由检测电路52检测出的各信号进行相互比较，来检测触摸区域T中的接触体的触摸位置、和该触摸位置的移动动作。
－制造方法－
下面，举一个例子对上述带触摸面板TP的液晶显示装置S2的制造方法进行说明。带触摸面板TP的液晶显示装置S2的制造方法包括触摸面板制造工序、液晶显示面板制造工序、背光源单元制造工序、和模块化工序。此外，液晶显示面板制造工序和背光源单元制造工序与上述实施方式1同样，所以，省略其详细的说明。
＜触摸面板制造工序＞
图13和图14表示触摸面板制造工序。图13是表示触摸面板制造工序的前半步骤的工序图。图14是表示触摸面板制造工序的后半步骤的工序图。此外，这些图13和图14表示与图12对应的部位的截面。
首先，采用溅射法，在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板30上，形成包含具有立方晶系的方铁锰矿型构造的ITO或IZO的透明导电膜。通过光刻将该透明导电膜图案化，如图13（a）所示，形成第一电极组36（第一电极32）、第一连结部34、第二电极组42（第二电极38）和外部连接端子48。
接下来，采用溅射法，在形成有第一电极组36（第一电极32）、第一连结部34、第二电极组42（第二电极38）和外部连接端子48的基板上，如图13（b）所示，依次形成具有立方晶系的氯化钠（NaCl）型构造的氮化钛（TiN）膜60和具有六方晶系的结晶构造的钛（Ti）膜62，将它们层叠而形成金属层叠膜64。通过光刻对该金属层叠膜64制图，如图13（c）所示，形成引出配线46。
接着，采用CVD（Chemical Vapor Diposition）法，在形成有引出配线46的基板上，以覆盖第一电极组36（第一电极32）、第一连结部34、第二电极组42（第二电极38）、外部连接端子48和引出配线46的方式，形成例如含有氮化硅（SiN）的绝缘膜。接着，通过光刻将该绝缘膜图案化，如图14（a）所示，形成层间绝缘膜39。
下面，采用溅射法，在形成有层间绝缘膜39的基板上，形成含有ITO或IZO的透明导电膜。通过光刻将该透明导电膜图案化，如图14（b）所示，形成第二连结部40。
之后，采用旋涂法或间隙涂布法，在形成有第二连结部40的基板上，形成例如含有丙稀酸基底的有机绝缘材料的绝缘膜。通过光刻将该绝缘膜图案化，如图14（c）所示，除去位于端子区域TT的绝缘膜部分，使外部连接端子48从该绝缘膜中露出，形成保护绝缘膜49。
这样就能制造触摸面板TP。然后，将带有该触摸面板的基板30投入对置基板制造工序中。在液晶显示面板制造工序中，在该基板30的背面侧制作黑矩阵和彩色滤光片等的结构，制造带触摸面板TP的对置基板2，除此之外，进行与上述实施方式1同样的工序。
＜模块化工序＞
在液晶显示面板DP的端子区域，隔着各向异性导电膜安装FPC等配线基板。另外，在触摸面板TP的端子区域TT安装控制器50。接着，在带触摸面板TP的液晶显示面板DP的背面侧搭载背光源单元BL。这样就将带触摸面板TP的液晶显示面板DP和背光源单元BL模块化。
进行以上的工序，能够制造图9所示的带触摸面板TP的液晶显示装置S2。
－实施方式2的效果－
根据该实施方式2，构成引出配线46的与内部连接端子44和外部连接端子48接触的接触部的阻挡金属层47A由氮化钛（TiN）构成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下，所以，能够防止引出配线46从两个连接端子44、48剥落，并且能够可靠地连接这些引出配线46与两个连接端子44、48，使触摸面板TP不产生不良地正常工作。由此，对于触摸面板TP和具备该面板的液晶显示装置S2，能够改善成品率下降和制造成本增大的问题，能够实现低成本化。
《实施方式2的变形例》
图15是表示上述实施方式2的变形例的引出配线46的构造的截面图，从图中左侧依次表示与图12的B―B线和C―C线截面相当的部位。
在上述实施方式2中，引出配线46具有由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层47A和含有钛（Ti）的低电阻金属层47B依次层叠而成的双层构造（Ti/TiN），而本变形例的引出配线46具有由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层47A、含有钛（Ti）的低电阻金属层47B、和含有氮化钛（TiN）的氮化金属层47C依次层叠而成的三层构造（TiN/Ti/TiN）。
具备这种层叠构造的引出配线46的触摸面板TP能够通过以下工序制造：采用溅射法，在形成有第一电极组36（第一电极32）、第一连结部34、第二电极组42（第二电极38）和外部连接端子48的基板上，形成氮化钛（TiN）膜60和钛（Ti）膜62，之后，还形成氮化钛（TiN）膜，从而形成三层构造的金属层叠膜，接着，通过光刻将该金属层叠膜图案化，形成引出配线46。
《其他的实施方式》
对于上述实施方式1、2和它们的变形例，也可以采用以下的结构和制造方法。
＜第一电极32、第一连结部34、第二电极38、第二连结部40的配置＞
图16是部分放大地表示其他实施方式的触摸面板TP的触摸区域T的概略平面图。图17是表示图16的XVII―XVII线的截面构造的截面图。
在上述实施方式2中，对第一电极32、第一连结部34和第二电极38形成于基板30的表面，仅第一连结部34被层间绝缘膜39覆盖，且第二连结部40为经层间绝缘膜39横跨第一连结部34的架桥构造的结构进行了说明，但是并不限于此。
例如，如图16和图17所示，也可以是第一电极32、第二电极38、第二连结部40形成于基板30的表面，相邻的第二电极38的角部与处于两个角部之间的第二连结部40重叠并连接，仅该第二连结部40的中央部分被层间绝缘膜39覆盖，第一连结部34为经层间绝缘膜39横跨第二连结部40的架桥构造。另外，层间绝缘膜39设置于触摸区域T的大致整个区域，也可以在该层间绝缘膜39上配置第一电极组36（第一电极32）和第二电极组42（第二电极38）。
＜2D/3D切换型的液晶显示装置的结构＞
图18是概略地表示其他实施方式中的2D/3D切换型的液晶显示装置S3的截面构造的平面图。
在上述实施方式1中，对未具备触摸面板TP的2D/3D切换型的液晶显示装置S1进行了说明，但本发明并不限于此，如图18所示，2D/3D切换型的液晶显示装置S3也可以具备触摸面板TP。在该情况下，从将液晶显示装置S3整体形成薄型的观点来看，触摸面板TP优选直接形成于构成开关液晶面板SP的基板（例如共用基板6）的表面。
在这种带触摸面板TP的2D/3D切换型的液晶显示装置S3中，优选驱动基板5和共用基板6以与上述实施方式1同样的方式构成，触摸面板TP以与上述实施方式2同样的方式构成。如果采用这种方式构成，则能够可靠地将引出配线14、24、46与内部连接端子12b、22b、44和外部连接端子16、26、48连接，使得各驱动基板5、共用基板6和触摸面板TP正常工作，所以，能够大幅地改善带触摸面板TP的2D/3D切换型的液晶显示装置S3的成品率下降和制造成本增大的问题。
另外，在带触摸面板TP的2D/3D切换型的液晶显示装置S3中，可以是仅驱动基板5和共用基板6中的至少一个具有与上述实施方式1同样的结构，也可以是仅触摸面板TP具有与上述实施方式2同样的结构。即使是这样的结构，也有助于改善带触摸面板TP的2D/3D切换型的液晶显示装置S3的成品率下降和制造成本增大的问题。
另外，在上述实施方式1中，对在液晶显示面板DP的前面侧配置开关液晶面板SP的结构的2D/3D切换型的液晶显示装置S1进行了说明，但本发明并不限于此。例如，也可以是在液晶显示面板DP的背面侧配置开关液晶面板SP的结构的2D/3D切换型的液晶显示装置。
另外，在上述实施方式1中，以2D/3D切换型的液晶显示装置S1为例进行了说明，但本发明并不限于此，在第二显示状态下被分离成不同视野角的图像，并不必如右眼用图像和左眼用图像那样需要相互关联。
例如，考虑有向汽车的驾驶席的司机显示车载导航系统的视频，而向副驾驶席的同乘人员显示电视的视频的显示装置。在向多名观看者显示不同的视频的情况下，只要适当设定视差屏障的遮光部与透光部的配置图案，即驱动开关电极12与共用开关电极22的配置图案，就能够使经视差屏障视认的液晶显示面板DP的图像分离成为隔开规定的距离的多名观看者各自所要观看的图像。
另外，本发明的开关液晶面板DP和触摸面板TP等附加功能器件，不仅能应用于液晶显示装置S1、S2、S3，也能够应用于有机EL（ElectroLuminescence；有机电致发光）显示装置和无机EL显示装置、等离子体显示装置、FED（Field Emission Display；场发射显示器）等其他各种显示装置。
＜触摸面板TP的结构＞
在上述实施方式2中，以投影型静电电容式（projected capacitive方式）的触摸面板TP为例进行了说明，但本发明并不限于此。例如，也可以是表面静电电容方式（surface capacitive方式）的触摸面板，该触摸面板具备：设置于整个触摸区域的位置检测用的透明电极；为了使触摸区域内的电场分布均匀而设置于该透明电极的周边部分的包括多个部分的线性化电极；多个（例如4条）引出配线，它们的一个端部分别与设置于该线性化电极的四角的端子部连接并重叠，且它们的另一个端一侧引出到基板外边缘侧；和电流检测电路，其经该各引出配线在上述端子部施加一定的交流电压，并且检测流经该端子部的电流，该触摸面板通过检测根据触摸位置而变化的各端子部与接地点之间的阻抗，来检测触摸位置及其移动。另外，本发明能够应用于各种方式的触摸面板，只要该方式的触摸面板具备含有透明导电性氧化物的透明电极和与该透明电极部分重叠并连接的引出配线。
以上，对本发明的实施方式和变形例进行了说明，本发明的技术范围并非限定于上述实施方式和变形例的范围。上述实施方式和变形例仅是一个示例，在这些各构成要素和各处理工序的组合中还可以有各种各样的变形例，另外，这种变形例也包含在本发明的范畴之内，这些对专业技术人员是显而易见的。
产业上的利用可能性
如以上所说明的那样，本发明对于电极基板和具备该基板的显示装置及触摸面板有用，特别是适用于希望防止引出配线从透明电极剥落，并可靠地连接这些引出配线与透明电极，而使电极基板正常工作的电极基板和具备该基板的显示装置及触摸面板。
符号的说明
DP            液晶显示面板
S1、S2、S3    液晶显示装置
SP            开关液晶面板
TP            触摸面板（电极基板）
T             触摸区域
TT            端子区域
5             驱动电极（电极基板）
6             共用基板（电极基板）
10、20、30    绝缘性基板（基底基板）
12            驱动开关电极（透明电极）
12a、22a、42  配线
12b、22b、44  内部连接端子
14、24、46    引出配线
15A、47A      阻挡金属层
15B、47B      低电阻金属层
16、26、48    外部连接端子
22            共用开关电极（透明电极）
32            第一电极（透明电极）
38            第二电极（透明电极）
50            控制器

Claims (7)

1.一种电极基板，其包括：
基底基板；
设置在所述基底基板上的含有透明导电性氧化物的透明电极；和
引出配线，其一个端部与所述透明电极重叠并连接，并且另一个端一侧被引出到所述基底基板的外边缘侧，
该电极基板的特征在于：
所述引出配线的与透明电极接触的接触部由高熔点金属氮化物形成，氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。
2.如权利要求1所述的电极基板，其特征在于，还包括：
覆盖所述引出配线的绝缘膜；和
连接端子，其含有透明导电性氧化物，与所述引出配线的引出前端部重叠并连接，并且被引出到所述绝缘膜的外部，
所述引出配线的与连接端子接触的接触部也由高熔点金属氮化物形成，氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。
3.如权利要求1或2所述的电极基板，其特征在于：
所述引出配线由阻挡金属层和低电阻金属层层叠而构成，所述阻挡金属层含有构成与上述透明电极接触的接触部的高熔点金属氮化物，所述低电阻金属层含有电阻比该阻挡金属层低的金属。
4.如权利要求1至3中任一项所述的电极基板，其特征在于：
所述高熔点金属氮化物是氮化钛、氮化钼、氮化钽、氮化钨或氮化铬。
5.如权利要求1至4中任一项所述的电极基板，其特征在于：
所述透明导电性氧化物是铟锡氧化物或铟锌氧化物。
6.一种显示装置，其特征在于，包括：
显示面板，其根据所输入的图像数据生成显示图像；
视差屏障单元，其对由所述显示面板生成的显示图像中的第一显示区域和第二显示区域分别赋予不同的特定的视野角；和
开关液晶面板，其通过切换所述视差屏障单元的效果的有效与无效，来切换第一显示状态与第二显示状态，
所述开关液晶面板具有权利要求1至5中任一项所述的电极基板。
7.一种触摸面板，其特征在于：
包括权利要求1至5中任一项所述的电极基板，
所述触摸面板具有：
触摸区域，其是设置有所述透明电极的区域，能够检测出被接触体接触的触摸位置；和
端子区域，其是设置在该触摸区域的外侧的区域，用于与外部电路连接，
所述引出配线从所述触摸区域一侧被引出到所述端子区域一侧，并经由所述端子区域，与在接触体接触所述触摸区域时检测该接触体的接触位置的控制器电连接。
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