CN103358744A - 转印方法及转印装置 - Google Patents

Abstract

本发明目的在于，在将担载于担载体上的被转印物转印到基板上的技术中，提供一种能防止与被转印物一起转印到基板上的定位标记妨碍以后的定位处理的技术。预先形成到基板侧的第一定位标记（AM1）包括彼此分离配置的多个图形图案（AP11~AP14），并且由它们包围而形成定位标记转印区域（TR）。在担载图案的橡皮布上使用图案形成材料来形成的第二定位标记（AM21）与第一定位标记（AM1）一起被拍摄，并基于它们的位置检测结果来对基板和橡皮布进行对位。此时，第二定位标记AM21定位到定位标记转印区域TR，并且定位到与图形图案（AP11~AP14）及已转印的第二定位标记分离的位置上，而转印到基板上。

Description

转印方法及转印装置

技术领域

本发明涉及用于将担载于担载体表面上的图案或薄膜转印到基板上的转印方法及转印装置。特别地涉及基于担载于担载体上的定位标记的拍摄结果来对基板和担载体进行对位的技术。

背景技术

作为在基板表面上形成图案或薄膜的技术，例如有如下技术，即，在平板状担载体（例如玻璃板）的表面上暂时担载作为被转印物的图案或薄膜，并通过使该担载体紧贴到基板表面上来将被转印物转印到基板表面上的技术。在这样的转印技术中，为了将被转印物恰当地转印到基板表面的规定位置，而需要进行对准担载体和基板之间的相对位置的定位处理。

作为能够利用于这样的用途的定位技术，例如有日本特开2004-151653号公报所述的技术。在该技术中，在应贴合的两个基板中的每个基板的表面形成定位标记，并基于利用拍摄单元（例如CCD照相机）拍摄它们而得到的图像来进行定位处理。具体而言，在将两基板配置成定位标记形成面彼此相向的状态下，经由透明的一个基板拍摄定位标记。而且，基于从拍摄而得到的图像检测出的两定位标记的位置关系，调整基板之间的相对位置。该技术涉及贴合两个基板时的定位处理，但通过将一个基板置换为担载体，该技术也是能够适用于通过将担载被转印物的担载体重叠到基板的规定位置上来转印被转印物时的对位的技术。

在这样的转印技术中，为了高精度地调节基板和转印该基板上的被转印物之间的位置关系，在担载体上形成被转印物时，存在使用与被转印物相同的材料来形成定位标记的情况。其原因在于，通过同时形成被转印物和定位标记来使担载体上的被转印物和定位标记之间的位置关系变得稳定，并且，通过在担载体侧和基板侧调整定位标记的位置，能够对基板和被转印物进行对位。

另一方面，此时将形成到担载体上的定位标记与被转印物一起转印到基板上。因此，例如在将多层被转印物转印到基板上的情况下，通过之前的转印来转印到基板上的定位标记会妨碍用于之后的转印的定位处理。然而，至今未提出用于解决这样的问题的技术。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于，在将担载于担载体上的被转印物转印到基板上的技术中，提供一种能够防止与被转印物一起转印到基板上的定位标记妨碍以后的定位处理的技术。

本发明的一个方式是将作为被转印物的图案或薄膜从担载所述被转印物的担载体转印到基板的规定位置上的转印方法，为了达成上述目的，该转印方法的特征在于，具有：保持工序，在使在表面形成有第一定位标记的所述基板和在表面上担载所述被转印物以及第二定位标记且具有透光性的所述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态下，接近保持所述基板和所述担载体，其中，所述第二定位标记是使用与所述被转印物相同的材料来与所述被转印物一起形成的标记，拍摄工序，从所述担载体的与定位标记形成面相反的表面一侧，经由所述担载体在拍摄单元的同一视场内拍摄所述第一定位标记及所述第二定位标记，位置检测工序，基于所拍摄的图像，来检测出所述第一定位标记及所述第二定位标记的位置，定位工序，基于在所述位置检测工序中的检测结果来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，转印工序，使在所述定位工序中调整了相对位置的所述基板和所述担载体相抵接，来将所述担载体表面的所述被转印物及所述第二定位标记转印到所述基板上；形成在所述基板上的所述第一定位标记包括彼此分离配置的多个图形图案，而且，该多个图形图案配置为包围定位标记转印区域，在该定位标记转印区域内能够配置所述第二定位标记并使所述第二定位标记与各所述图形图案分离；在所述定位工序中，通过调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，来在所述定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域上，相向地定位所述第二定位标记；在所述转印工序中，将所述第二定位标记在所述定位标记转印区域内与所述多个图形图案分别分离地转印到所述基板上。

在这样构成的发明的定位工序中，将与被转印物一起从担载体转印到基板表面上的第二定位标记，相向地定位到被第一定位标记的图形图案包围的定位标记转印区域中的未转印第二定位标记的区域。由此，在此时由拍摄单元拍摄得到的图像上，担载体表面的第二定位标记的像不与构成基板表面的第一定位标记的图形图案的像以及已转印到基板表面上的第二定位标记的像中的任何像重叠。即这些映像彼此孤立。

因此，在拍摄而得到的图像上检测基板表面的第一定位标记以及担载体表面的第二定位标记的位置时，能够抑制发生因与其他像干涉而引起的检测误差。另外，将担载在担载体表面上的第二定位标记，与第一定位标记的各图形图案分离地转印到基板表面的定位标记转印区域。由此，在转印后的基板表面上，能够保持第一定位标记的各图形图案与所转印的第二定位标记分离的状态。因此，在下一次定位工序中，也能够利用第一定位标记的图形图案与新的担载体高精度地进行对位。

这样，根据本发明，能够防止与被转印物一起转印到基板上的定位标记（第二定位标记）妨碍以后的定位工序。因此，即使在将被转印物多次转印到基板上的情况下，也能够每次基于第一及第二定位标记的拍摄结果来对基板和担载体高精度地进行对位。

此外，如果仅是保持转印在基板上的第二定位标记与第一定位标记分离的状态，则将定位标记转印区域设定在与第一定位标记分离的位置上即可，并非一定需要将由构成第一定位标记的图形图案包围的区域设定为定位标记转印区域。然而，如本发明那样，通过将第一定位标记的各图形图案配置为包围定位标记转印区域，能够使转印前的第一定位标记和第二定位标记可靠地处于同一视场内，因而能够容易地掌握两者的位置关系。这是因为，通过使由多个图形图案构成的第一定位标记整体进入视场来进行拍摄，能够使转印前的第二定位标记自动地处于视场内。

另外，关于被多个图形图案包围的定位标记转印区域，在该定位标记转印区域内存在任何图案时其像对定位工序造成影响，因而优选地将该定位标记转印区域设定为未设置图案的空白区域。

在本发明中，例如也可以如下构成，即，在通过进行多次执行保持工序、拍摄工序、位置检测工序、定位工序及转印工序的一系列处理，来执行多次被转印物从担载体向转印的转印的情况下，第一定位标记具有能够彼此分离地配置与多次的转印相对应的多个第二定位标记的定位标记转印区域，在各次转印工序中，在定位标记转印区域内彼此分离地转印第二定位标记。

如上所述，即使在重复多次一系列处理的情况下，也能够避免之前转印到基板上的第二定位标记妨碍以后的定位工序。而且，为了在各次转印工序中彼此分离地转印第二定位标记，在各次定位工序中，以不与已转印到基板上的第二定位标记重叠的方式对担载体的第二定位标记进行定位。因此，已转印的第二定位标记不会使定位的精度下降。

在这些发明中，例如也可以如下构成，即，第一定位标记的图形图案与第二定位标记的图形图案相比，包含低的空间频率成分更多；在拍摄工序中，通过对焦到担载于担载体上的第二定位标记来进行拍摄，在位置检测工序中，检测出第一定位标记及第二定位标记各自的图形图案的重心位置。

在接近保持基板和担载体的状态下进行的拍摄工序中，由于在拍摄单元的光轴方向上的第一定位标记和第二定位的位置不同，因而未必能同时对焦这两者上。因此，在本发明中，对焦到担载于担载体上的第二定位标记上来进行拍摄，另一方面，结果可能未被对焦的第一定位标记，设定为包含低的空间频率成分多的图形图案。另外，检测出第一定位标记及第二定位标记的重心位置。即使因未被对焦而丢失了高的空间频率成分，若保留有大量的低的空间频率成分，则也能够不会产生大误差地检测出重心位置。由此，即使不一定对焦到双方的定位标记上，也能够以高精度进行对位。

此时，例如也可以如下构成，即，将第一定位标记的图形图案设定为实心图形，将第二定位标记的图形图案设定为中空图形。实心图形包含低的空间频率成分多，因而是适于作为未被对焦而容易丢失高频成分的第一定位的图形。另一方面，中空图形包含更高的空间频率成分多，能够通过从对焦的图像提取边缘等来简单地进行检测，所以是适于作为第二定位标记的图形。

另外，本发明的另一方式是将作为被转印物的图案或薄膜从担载所述被转印物的担载体转印到基板的规定位置上的转印装置，为了达成上述目的，该转印装置的特征在于，具有：转印单元，其在使在表面形成有第一定位标记的所述基板和在表面上担载所述被转印物以及第二定位标记且具有透光性的所述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态下，接近保持所述基板和所述担载体，进而，使所述担载体和所述基板相抵接来将所述被转印物及所述第二定位标记从所述担载体转印到所述基板上，所述第二定位标记是使用与所述被转印物相同的材料来与所述被转印物一起形成的标记，拍摄单元，其在由所述转印单元接近保持了所述基板和所述担载体的状态下，从所述担载体的与定位标记形成面相反的的表面一侧，经由所述担载体在拍摄单元的同一视场内拍摄所述第一定位标记及所述第二定位标记，定位单元，其基于所拍摄的图像中的所述第一定位标记及所述第二定位标记的位置检测结果，来调整所述基板和所述担载体的相对位置；所述定位单元调整所述基板和所述担载体的相对位置，来在定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域上，相向地定位所述第二定位标记，所述定位标记转印区域是所述基板表面上的由构成所述第一定位标记的多个图形图案包围的区域；所述转印单元将所述第二定位标记在所述定位标记转印区域内与所述多个图形图案分别分离地转印到所述基板上。

在此，在例如转印单元构成为能够保持转印有被转印物和第二定位标记的基板，将新的被转印物及新的第二定位标记从担载体转印到基板上的情况下，定位单元可以调整基板和担载体之间的相对位置，来将新的所述第二定位标记相向地定位到所述定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域，转印单元可以在定位标记转印区域内与多个图形图案及已转印的第二定位标记分别分离地，将担载于担载体上的新的第二定位标记转印到基板上。

在这样构成的发明中，与上述的转印方法的发明同样地，在由构成第一定位标记的多个图形图案包围的定位标记转印区域，与该多个图形图案分离地定位第二定位标记，并转印到基板上。另外，在定位标记转印区域内存在已转印的第二定位标记时，以不与该第二定位标记重叠的方式定位第二定位标记。由此，与上述的转印方法的发明同样地，能够防止形成在基板上的第一定位标记以及已转印到基板上的第二定位标记对以后的定位单元的动作造成影响。因此，能够基于第一及第二定位标记的拍摄结果来对基板和担载体高精度地进行对位。

另外，例如也可以如下构成，即，拍摄单元通过对焦到担载于担载体上的第二定位标记来进行拍摄，定位单元基于第一定位标记及第二定位标记各自的图形图案的重心位置的检测结果来调整基板和担载体之间的相对位置。即使从低的空间频率成分也能够充分地检测出图形的重心位置，所以即使因未被对焦而丢失高的空间频率成分，也能够将对基板和担载体之间的对位精度造成的影响抑制得小。

根据本发明，以与构成基板表面的第一定位标记的多个图形图案分离而且在由这些多个图形图案包围的定位标记转印区域中的未转印第二定位标记的区域定位第二定位标记的方式，调整基板和担载体之间的相对位置。因此，通过防止所拍摄的图像内的这些定位标记发生干涉，能够对基板和担载体高精度地进行定位。将被转印物多次转印到基板上的情况下也能够得到同样的效果。

附图说明

图1是示出了配备有本发明的转印装置的印刷装置的立体图。

图2是示意性示出了图1所示的印刷装置的剖面的图。

图3是示出了图1的装置的电气结构的框图。

图4是示出了图1的印刷装置的整体动作的流程图。

图5是示出了定位载物台的详细结构的图。

图6是示出了拍摄部的详细结构的图。

图7A至图7C是示出了定位标记的图案的例子的图。

图8是示出了用于进行精密定位动作的定位标记的配置的图。

图9A至图9C是示出了用CCD照相机来拍摄而得到的图像的一个例子的图。

图10是示出了精密定位动作的处理流程的流程图。

图11是示出了对焦动作的流程图。

图12是示出了进行了对比度增强的图像数据的例子的图。

图13A及图13B是用于说明定位标记的配置方法的图。

附图标记的说明

3上载物台部（转印单元）

4定位部

5下载物台部（转印单元）

42定位载物台（定位单元）

43拍摄部（拍摄单元）

65图像处理部（定位单元）

100印刷装置（转印装置）

430CCD照相机

AM1第一定位标记

AM2第二定位标记

BL橡皮布（担载体）

SB基板

TR定位标记转印区域

具体实施方式

图1是示出了配备有本发明的转印装置的印刷装置的概略立体图，为了明确示出装置内部的结构，图示了卸下装置外壳后的状态。另外，图2是示意性示出了图1所示的印刷装置的剖面的图。并且，图3是示出了图1的装置的电气结构的框图。就该印刷装置100而言，使从装置的正面侧搬入到装置内部的橡皮布的上表面，紧贴到从装置的左侧面侧搬入到装置内部的版PP的下表面之后再剥离，由此利用形成在版PP的下表面上的图案来在橡皮布的涂布层上刻画图案以形成图案层（图案刻画处理）。另外，就印刷装置100而言，将进行了图案刻画处理的橡皮布的上表面，紧贴到从装置的右侧面侧搬入到装置内部的基板SB的下表面之后再剥离，由此将形成在该橡皮布上的图案层转印到基板SB的下表面上（转印处理）。此外，在图1及后面说明的各图中，为了明确装置各部的配置关系，将版PP及基板SB的搬送方向设定为“X方向”，将从图1的右侧朝向左侧的水平方向称为“＋X方向”，将相反方向称为“－X方向”。另外，将与X方向垂直的水平方向中的装置的正面侧称为“＋Y方向”，并且将装置的背面侧称为“－Y方向”。并且，将铅垂方向上的上方向及下方向分别称为“＋Z方向”及“－Z方向”。

在该印刷装置100中，在石平台1上设置有装置各部（搬送部2、上载物台部3、定位部4、下载物台部5、按压部7、预定位部8、除电部9），通过控制部6对装置各部进行控制。

搬送部2是在X方向上搬送版PP及基板SB的装置，并如下构成。在该搬送部2中，从石平台1的上表面的右后角部及左后角部立设有两个支架（省略图示）。而且，滚珠螺杆机构21以将这两个支架的上端部相互连接的方式在左右方向即X方向上延伸设置。在该滚珠螺杆机构21中，滚珠螺杆（省略图示）在X方向上延伸，滚珠螺杆的一端与往复搬运器水平驱动用的马达M21的旋转轴（省略图示）相连接。另外，滚珠螺杆支架（省略图示）螺合在滚珠螺杆的中央部，并且在滚珠螺杆支架的（＋Y）侧面安装有在X方向上延伸设置的往复搬运器保持板22。

在该往复搬运器保持板22的（＋X）侧端部以能够在铅垂方向Z上升降的方式设置有版用往复搬运器23L，另一方面，在（－X）侧端部以能够在铅垂方向Z上升降的方式设置有基板用往复搬运器23R。由于这些往复搬运器23L及23R除了手部的旋转机构之外具有相同的结构，因而在此说明版用往复搬运器23L的结构，对基板用往复搬运器23R标出相同的附图标记或相当的附图标记而省略结构说明。

往复搬运器23L具有：升降板231，该升降板231在X方向上延伸，并具有与版PP的宽度尺寸（X方向尺寸）相同程度的宽度尺寸或比版PP的宽度尺寸（X方向尺寸）更长一些的宽度尺寸；两个版用手部232、232，从升降板231的（＋X）侧端部及（－X）侧端部分别朝向前侧即（＋Y）侧延伸设置。升降板231经由滚珠螺杆机构（省略图示）能够升降地安装在往复搬运器保持板22的（＋X）侧端部上。即，在往复搬运器保持板22的（＋X）侧端部上，在铅垂方向Z上延伸设置有滚珠螺杆机构。在该滚珠螺杆机构的下端，连接有版用往复搬运器升降马达M22L（图3）的旋转轴（省略图示）。另外，在滚珠螺杆机构上螺合有滚珠螺杆支架（省略图示），并且在该滚珠螺杆支架的（＋Y）侧面安装有升降板231。因此，版用往复搬运器升降马达M22L根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此驱动升降板231在铅垂方向Z上升降。

各手部232、232的前后尺寸（Y方向尺寸）比版PP的长度尺寸（Y方向尺寸）更长，能够用各手部232、232的前端侧（＋Y侧）保持版PP。

另外，为了检测出用版用手部232、232保持了版PP的情况，从升降板231的中央部朝向（＋Y）侧经由传感器支架安装有版检测出用的传感器（省略图示）。因此，在两手部232上放置了版PP时，传感器检测出版PP的后端部即（－Y）侧端部，并将检测出信号输出至控制部6。

进而，各版用手部232、232经由轴承（省略图示）安装在升降板231上，并且以在前后方向（Y方向）上延伸的旋转轴为旋转中心自由旋转。另外，在升降板231的X方向两端上，安装有旋转促动器RA2、RA2（图3）。这些旋转促动器RA2、RA2以加压空气为驱动源来进行动作，通过开闭安装在加压空气的供给路径上的阀（省略图示）而能够以180°为单位进行旋转。因此，利用控制部6的阀控制部64来控制上述阀的开闭，由此能够在版用手部232、232的一个主面朝向上方而适于处理刻画图案前的版PP的手部姿势（下面，称之为“未使用姿势”）和另一主面朝向上方而适于处理刻画图案后的版PP的手部姿势（下面，称之为“已使用姿势”）之间，切换手部姿势。这样，具有手部姿势切换机构的这一点是版用往复搬运器23L与基板用往复搬运器23R唯一的不同点。

其次，说明在往复搬运器保持板22上的版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R的安装位置。在本实施方式中，如图2所示，版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R在X方向上隔开比版PP或基板SB的宽度尺寸（此外，在实施方式中，版PP和基板SB的宽度尺寸相同）更长的间隔而安装在往复搬运器保持板22上。而且，在使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转时，两个往复搬运器23L、23R在保持上述隔开距离的状态下在X方向上移动。例如在图2中，附图标记XP23表示上载物台部3的正下方位置，往复搬运器23L、23R位于从位置XP23分别向（＋X）方向及（－X）方向离开等距离（将该距离称为“间隔移动单位”）的位置XP22、XP24。此外，在本实施方式中，将图2所示的状态称之为“中间位置状态”。

另外，在使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向规定方向旋转来使往复搬运器保持板22从该中间位置状态向（＋X）方向移动间隔移动单位时，基板用往复搬运器23R向（＋X）方向移动并移动定位到上载物台部3的正下方位置XP23。此时，版用往复搬运器23L也以一体方式向（＋X）方向移动，从而定位在与在印刷装置100的（＋X）方向侧配置的版清洗装置（省略图示）靠近的位置XP21。

与此相反，在通过使往复搬运器水平驱动马达M21的旋转轴向与规定方向相反的方向旋转来使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动间隔移动单位时，版用往复搬运器23L从中间位置状态向（－X）方向移动并移动定位到上载物台部3的正下方位置XP23。此时，基板用往复搬运器23R也以一体方式向（－X）方向移动，从而定位到与在印刷装置100的（－X）方向侧配置的基板清洗装置（省略图示）靠近的位置XP25。这样，在本说明书中，作为在X方向上的往复搬运器位置，规定了五个位置XP21~XP25。即，版交接位置XP21是版用往复搬运器23L被定位的三个位置XP21~XP23中的最靠近版清洗装置的位置，指在与版清洗装置之间进行版PP的搬入搬出的X方向位置。基板交接位置XP25是基板用往复搬运器23R被定位的三个位置XP23~XP25中的最靠近基板清洗装置的位置，指在与基板清洗装置之间进行基板SB的搬入搬出的X方向位置。另外，位置XP23指上载物台部3的吸附板34通过在铅垂方向Z上移动来吸附保持版PP或基板SB的X方向位置。在本说明书中，在版用往复搬运器23L位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“版吸附位置XP23”，并且在基板用往复搬运器23R位于X方向位置XP23时，将该位置XP23称为“基板吸附位置XP23”。另外，将这样利用往复搬运器23L、23R来搬送版PP或基板SB的在铅垂方向Z上的位置、即高度位置称为“搬送位置”。

另外，在本实施方式中，为了准确地控制刻画图案时的版PP和橡皮布之间的间隙量以及转印时的基板SB和橡皮布之间的间隙量，需要计测版PP及基板SB的厚度。因此，设置有版厚度计测传感器SN22及基板厚度计测传感器SN23。此外，在本实施方式中，利用具有投光部和受光部的反射式光学传感器作为两传感器SN22、SN23，但也可以利用除该光学传感器之外的传感器。

面向位置XP23配置有上载物台部3。在该上载物台部3中，固定有在铅垂方向Z上延伸设置的滚珠螺杆机构31，该滚珠螺杆机构31的上端部与第一载物台升降马达M31的旋转轴（省略图示）相连接。而且，在滚珠螺杆机构31上螺合有滚珠螺杆支架（省略图示）。在该滚珠螺杆支架上固定有支撑框32，该支撑框32能够与滚珠螺杆支架以一体方式在铅垂方向Z上升降。进而，在该支撑框32的框面上支撑有另外的滚珠螺杆机构（省略图示）。在该滚珠螺杆机构上设置有螺距比上述滚珠螺杆机构31的滚珠螺杆的螺距更销的滚珠螺杆，其上端部与第二载物台升降马达M32（图3）的旋转轴（省略图示）相连接，并且在中央部螺合有滚珠螺杆支架。

在该滚珠螺杆支架上安装有载物台架33。另外，在载物台架33的下表面安装有例如由铝合金等金属制造的吸附板34。由此，载物台升降马达M31、M32根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，从而吸附板34在铅垂方向Z上升降移动。另外，在本实施方式中，组合具有不同螺距的滚珠螺杆机构，由此使第一载物台升降马达M31进行工作而以比较宽的螺距使吸附板34升降，即能够使吸附板34高速移动。除此之外，通过使第二载物台升降马达M32进行工作来以比较小的螺距使吸附板34进行升降，即能够对吸附板34精密地进行定位。

在该吸附板34的下表面，即在吸附保持版PP或基板SB的吸附面上设置有吸附机构，该吸附机构经由负压供给路径与负压供给源相连接。而且，根据来自控制部6的阀控制部64的开闭指令来开闭控制与吸附机构相连接的吸附阀V31（图3），由此能够使吸附机构吸附版PP或基板SB。此外，在本实施方式中，上述的吸附机构以及如后述那样吸附保持橡皮布的吸附机构利用工厂的设备作为负压供给源，但也可以采用在装置100上配备真空泵等负压供给部并从该负压供给部向吸附机构供给负压的结构。

在这样构成的上载物台部3中，利用搬送部2的版用往复搬运器23L来将版从图1的左侧经由搬送空间搬送到上载物台部3的正下方的版吸附位置XP23之后，上载物台部3的吸附板34下降来吸附保持版PP。与此相反，在版用往复搬运器23L位于上载物台部3的正下方位置的状态下，吸附了版PP的吸附板34解除吸附时，版PP被转移放置到搬送部2上。这样，在搬送部2和上载物台部3之间进行版的交接。

另外，基板SB也与版PP同样地保持在上载物台部3上。即，利用搬送部2的基板用往复搬运器23R来将基板SB从图1的右侧经搬送空间搬送至上载物台部3的正下方位置之后，上载物台部3的吸附板34下降来吸附保持基板SB。与此相反，在基板用往复搬运器23R位于上载物台部3的正下方位置的状态下，吸附了基板SB的上载物台部3的吸附板34的吸附解除时，基板SB被转移放置到搬送部2上。这样，在搬送部2和上载物台部3之间进行基板SB的交接。

在上载物台部3的铅垂方向的下方（下面，称之为“铅垂下方”或“（－Z）方向”），在石平台1的上表面配置定位部4。如图1所示，在该定位部4中，支撑板41以跨过石平台1的凹部的方式配置为水平姿势，并固定在石平台1的上表面上。另外，在该支撑板41的上表面上固定有定位载物台42。而且，在定位部4的定位载物台42上放置下载物台部5，下载物台部5的上表面与上载物台部3的吸附板34相向。该下载物台部5的上表面能够吸附保持橡皮布BL，控制部6通过控制定位载物台42而能够高精度地定位下载物台部5上的橡皮布BL。

定位载物台42具有固定于支撑板41上的载物台基座421、配置在载物台基座421的铅垂上方并支撑下载物台部5的载物台顶部422。这些载物台基座421及载物台顶部422均具有在中央部形成有开口的框缘形状。另外，在这些载物台基座421及载物台顶部422之间，在载物台顶部422的各角部附近配置有例如交叉滚子轴承（cross roller bearing）等支撑机构423，其中，上述支撑机构423具有以在铅垂方向Z上延伸的旋转轴为旋转中心的旋转方向、X方向及Y方向上的三个自由度。另外，在各支撑机构423上设置有滚珠螺杆机构（省略图示），并且在各滚珠螺杆机构上安装有载物台驱动马达M41（图3）。而且，各载物台驱动马达M41根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此一边在定位载物台42的中央部形成比较大的空间一边使载物台顶部422在水平面内移动。另外，能够以铅垂轴为旋转中心进行旋转，对下载物台部5的吸附板51进行定位。此外，在本实施方式中利用了具有中空空间的定位载物台42的理由之一，是为了利用拍摄部43对在保持在下载物台部5的上表面上的橡皮布BL以及保持在上载物台部3的下表面上的基板SB上所形成的定位标记进行拍摄。

下载物台部5具有吸附板51、柱构件52、载物台基座53及升降销部54。在载物台基座53上，在前后方向Y上并排设置有三个在左右方向X上延伸的长孔形状的开口。而且，以在从上方俯视时使这些长孔开口和定位载物台42的中央开口重叠的方式，将载物台基座53固定在定位载物台42上。另外，在上述长孔开口中松弛地插入有拍摄部43的一部分。另外，从载物台基座53的上表面角部在（＋Z）上立设有柱构件52，并且各顶部支撑吸附板51。

该吸附板51例如由铝合金等的金属板构成。在吸附板51的上表面设置有吸附机构（省略图示）。吸附机构与正压供给配管（省略图示）的一端相连接，并且另一端与加压用歧管相连接。进而，在各正压供给配管的中间部之间安装有加压阀V51（图3）。向该加压用歧管总是供给用调节器对从工厂的设备供给的加压空气进行调压而得到的恒定压力的空气。因此，在根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令来选择性地开启所希望的加压阀V51时，向与所选择的该加压阀V51相连接的吸附机构供给调压后的加压空气。

另外，向吸附机构的一部分不仅能够选择供给加压空气，还能够选择供给负压。即，特定的各吸附机构与负压供给配管（省略图示）的一端相连接，并且另一端与负压用歧管相连接。进而，在各负压供给配管的中间部之间安装有吸附阀V52（图3）。该负压用歧管与负压供给源经由调节器相连接，从而总是供给规定值的负压。因此，在根据来自控制部6的阀控制部64的动作指令来选择性地开启所希望的吸附阀V52时，向与所选择的该吸附阀V52相连接的吸附机构供给调压后的负压。

这样，在本实施方式中，通过对阀V51、V52的开闭控制来使橡皮布BL局部或全面地吸附在吸附板51上，或者能够通过向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气来使橡皮布BL局部地膨胀而将该橡皮布BL按压到保持在上载物台部3上的版PP或基板SB上。

在升降销部54中，升降板541设置为在吸附板51和载物台基座53之间能够自由升降。在该升降板541上在多处形成有缺口部，由此防止与拍摄部43发生干涉。另外，从升降板541的上表面在铅垂上方立设有多个升降销542。另一方面，升降板541的下表面与销升降气缸CL51（图3）相连接。而且，控制部6的阀控制部64切换与销升降气缸CL51相连接的阀的开闭，由此使销升降气缸CL51进行工作来使升降板541升降。其结果，所有的升降销542相对于吸附板51的上表面即吸附面而进行进退移动。例如，通过升降销542从吸附板51的上表面向（＋Z）方向突出，能够利用未图示的橡皮布搬送机械手来将橡皮布BL放置到升降销542的顶部。而且，放置橡皮布BL之后，接着通过使升降销542后退至吸附板51的上表面的（－Z）方向的一侧，将橡皮布BL转移放置到吸附板51的上表面上。其后，如后述那样在适当的时机，利用配置在吸附板51的附近的橡皮布厚度计测传感器SN51（图3）来计测该橡皮布BL的厚度。

如上所述，在本实施方式中，载物台部3和下载物台部5在铅垂方向Z上相互相向地配置。而且，在上载物台部3和下载物台部5之间，分别配置从上方按压放置在下载物台部5上的橡皮布BL的按压部7和对版PP、基板SB及对橡皮布BL进行预定位的预定位部8。

按压部7通过利用切换机构（省略图示）来使在吸附板51的铅垂上方侧设置的按压构件71在铅垂方向Z上升降，由此在两个状态之间进行切换。即，在切换机构使按压构件71下降时，处于吸附板51上的橡皮布BL被按压部7按压的状态（橡皮布按压状态）。另一方面，在切换机构使按压构件71上升时，处于按压部7从橡皮布BL分离而处于解除了对橡皮布BL的按压的状态（橡皮布按压解除状态）。

在预定位部8中，预定位上部81及预定位下部82在铅垂方向Z上以两层层叠配置。它们中的预定位上部81配置在预定位下部82的铅垂上方侧，从而在与橡皮布BL紧贴之前，在位置XP23上对利用版用往复搬运器23L来保持的版PP以及利用基板用往复搬运器23R来保持的基板SB进行定位。另一方面，预定位下部82在与版PP或基板SB紧贴之前，对放置在下载物台部5的吸附板51上的橡皮布BL进行定位。此外，预定位上部81和预定位下部82基本上具有相同结构。因此，在下面，说明预定位上部81的结构，而对预定位下部82标注相同或相当的附图标记而省略结构说明。

在预定位上部81中，在框缘状的框结构体811上以移动自如的方式设置有四个上引导件812。即，框结构体811是组合在左右方向X上相互分离并且在前后方向Y上延伸设置的两个水平板和在前后方向Y上相互分离并且在左右方向X上延伸设置的两个水平板而成的。而且，如图2所示，在前后方向Y上延伸设置的两个水平板中的左侧水平板上，在其中央部设置有上引导件812，该上引导件812能够利用省略图示的滚珠螺杆机构在左右方向X上移动自如。而且，与该滚珠螺杆机构相连接的驱动马达M81（图3）根据来自控制部6的马达控制部63的动作指令来进行工作，由此上引导件812在左右方向X上移动。另外，在右侧水平板上也与上述同样地，利用驱动马达M81来使上引导件812在左右方向X上移动。进而，在左右方向X上延伸设置的两个水平板中的每个水平板也与上述同样地，利用驱动马达M81来使上引导件812在前后方向Y上移动。这样，四个上引导件812在位置XP23的铅垂下方位置上包围版PP或基板SB，各上引导件812能够独立地与版PP等靠近及分离。由此，能够通过控制各上引导件812的移动量来使版PP及基板SB在往复搬运器的手部上水平移动或旋转而进行定位。

另外，在本实施方式中，如在后面说明的那样，将橡皮布BL上的图案层转印到基板SB上之后，将橡皮布BL从基板SB上剥离，但在该剥离阶段产生静电。另外，利用版PP来在橡皮布BL上的涂布层上刻画图案之后，将橡皮布BL从版PP上剥离时，也产生静电。因此，在本实施方式中，为了除去静电，设置有除电部9。该除电部9具有从（＋X）侧向由上载物台部3和下载物台部5夹持的空间照射离子的离子发生器91。

控制部6具有CPU（Central Processing Unit：中央处理单元）61、存储器62、马达控制部63、阀控制部64、图像处理部65及显示/操作部66，CPU61基于预先存储在存储器62中的程序来控制装置各部，并如图4示出那样执行图案刻画处理及转印处理。

图4是示出了图1的印刷装置的整体动作的流程图。在该印刷装置100的初始状态下，版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R分别定位在中间位置XP22、XP24上。然后，与版清洗装置的版搬送机械手（省略图示）搬送版PP的搬送动作同步地执行投入版PP的投入工序（步骤S1），并且与基板清洗装置的基板搬送机械手（省略图示）搬送基板SB的搬送动作同步地执行投入基板SB的投入工序（步骤S2）。此外，由于采用了版用往复搬运器23L及基板用往复搬运器23R以一体方式在左右方向X上移动这样的搬送结构，因而在搬入版PP（步骤S1）之后，搬入基板SB（步骤S2），但也可以更换两者的顺序。

这样，在本实施方式中，在执行图案刻画处理之前，不仅准备版PP，还准备基板SB，从而如在后面详细叙述那样，连续地执行图案刻画处理及转印处理。由此，能够缩短直到将在橡皮布BL上刻画了图案的涂布层转印到基板SB上为止的时间间隔，从而能够执行稳定的处理。

在接下来的步骤S3中，使往复搬运器水平驱动马达M21围绕旋转轴进行旋转，从而使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L移动并定位到版吸附位置XP23。然后，使版用往复搬运器升降马达M22L围绕旋转轴进行旋转，从而使升降板231向下方向（－Z）移动。由此，版PP在支撑在版用往复搬运器23L上的状态下移动并定位到比搬送位置低的预定位位置。

接着，上引导件驱动马达M81进行工作来使上引导件812移动，各上引导件812与支撑在版用往复搬运器23L上的版PP的端面相抵接，由此将版PP定位到预先设定的水平位置上。此后，各上引导件驱动马达M81向相反的方向进行工作，从而各上引导件812与版PP分离。这样，在版PP的预定位处理结束时，载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，从而使吸附板34向下方向（－Z）下降而与版PP的上表面相抵接。接着，通过开启阀V31，来利用上载物台用的吸附机构将版PP吸附到吸附板34上。

在这样对版PP的吸附结束时，载物台升降马达M31向相反的方向旋转，从而吸附板34在吸附保持了版PP的状态下向铅垂上方上升而将版PP移动至版吸附位置XP23的铅垂上方位置。然后，版用往复搬运器升降马达M22L使旋转轴旋转来将升降板231移动至铅垂上方，由此将版用往复搬运器23L从预定位位置移动并定位到搬送位置，即版吸附位置XP23上。此后，往复搬运器水平驱动马达M21通过使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动，从而将变空的版用往复搬运器23L定位到中间位置XP22上。

在接下来的步骤S4中，载物台驱动马达M41进行工作来将定位载物台42移动到初始位置。由此，每次的起点处于相同的位置。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541上升，从而使升降销542从吸附板51的上表面向铅垂上方突出。这样，在对橡皮布BL的投入准备结束时，省略图示的橡皮布搬送机械手访问（access）装置100并将橡皮布BL放置到升降销542的顶部之后，从装置100退避。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541下降。由此，升降销542在支撑了橡皮布BL的状态下下降来将橡皮布BL放置到吸附板51上。于是，下引导件驱动马达M82进行工作来使下引导件822移动，从而各下引导件822与支撑在吸附板51上的橡皮布BL的端面相抵接，而将橡皮布BL定位在预先设定的水平位置。

在这样对橡皮布BL的预定位处理结束时，开启吸附阀V52，由此向下载物台用的吸附机构供给调压后的负压来将橡皮布BL吸附到吸附板51上。进而，各下引导件驱动马达M82使旋转轴向相反的逆方向旋转，从而使各下引导件822与橡皮布BL分离。由此，图案刻画处理的准备结束。

在接下来的步骤S5中，传感器水平驱动气缸CL52（图3）进行动作来使橡皮布厚度计测传感器SN51定位在橡皮布BL的右端部的正上方位置。然后，橡皮布厚度计测传感器SN51将与橡皮布BL的厚度相关的信息输出至控制部6，由此计测橡皮布BL的厚度。此后，上述传感器水平驱动气缸CL52向相反的方向进行动作来使橡皮布厚度计测传感器SN51从吸附板51退避。

接着，第一载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，从而使吸附板34向下方向（－Z）下降来将版PP移动至橡皮布BL的附近。进而，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转，从而使吸附板34以小的螺距升降来准确地调整在铅垂方向Z上的版PP和橡皮布BL之间的间隔，即间隙量。此外，该间隙量是由控制部6基于版PP及橡皮布BL的厚度计测结果来决定的。

然后，使按压部7的按压构件71下降来利用按压构件71按压橡皮布BL的整个周缘部。接着，阀V51、V52进行动作来向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，从而使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分压紧到保持在上载物台部3上的版PP上。其结果，橡皮布BL的中央部与版PP紧贴，从而预先形成在版PP的下表面的图案（省略图示）与预先涂布在橡皮布BL的上表面的涂布层相抵接，由此在该涂布层上刻画图案来形成图案层。

在接下来的步骤S6中，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转来使吸附板34上升，从而将版PP从橡皮布BL上剥离。另外，为了进行剥离处理，与使版PP上升的处理并行地，适时切换阀V51、V52的开闭状态来向橡皮布BL施加负压，由此吸引橡皮布BL来使其向吸附板51侧靠近。其后，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转来使吸附板34上升，从而将版PP定位在与离子发生器91几乎在同一高度的除电位置。另外，使按压部7的按压构件71上升来解除对橡皮布BL的按压。接着，离子发生器91进行工作来除去在进行上述版剥离处理时产生的静电。在该除电处理结束时，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，从而使吸附保持了版PP的状态的吸附板34上升至初始位置（比版吸附位置XP23高的位置）为止。

在接下来的步骤S7中，旋转促动器RA2、RA2进行动作来使版用手部232、232旋转180°而从原点位置定位到反转位置。由此，手部姿势从未使用姿势切换到已使用姿势，从而接收已使用的版PP的接收准备结束。然后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L移动并定位到版吸附位置XP23。

另一方面，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了版PP的状态的吸附板34朝向版用往复搬运器23L的手部232、232下降来使版PP位于手部232、232上之后，关闭阀V31、V32，由此解除吸附板34的吸附机构对版PP的吸附，从而在搬送位置上的版PP的交接结束。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴反转，由此使吸附板34上升至初始位置为止。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动。由此，版用往复搬运器23L在保持了已使用版PP的状态下移动并定位到中间位置XP22。

在接下来的步骤S8中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动。由此，保持处理前的基板SB的基板用往复搬运器23R移动并定位到基板吸附位置XP23。然后，与对版PP的预定位处理及吸附板34对吸附版PP的吸附处理同样地，执行对基板SB的预定位处理及对基板SB的吸附处理。其后，在检测出吸附了基板SB时，载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34向铅垂上方上升来使基板SB移动到比基板吸附位置XP23高的位置。然后，基板用往复搬运器升降马达M22R使旋转轴旋转，由此使基板用往复搬运器23R从预定位位置移动并定位到搬送位置。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动，由此将变空的基板用往复搬运器23R定位到中间位置XP24。

在接下来的步骤S9中，在计测橡皮布厚度并且执行精密定位之后，执行转印处理。即，与在图案刻画处理中的厚度计测同样地，计测橡皮布BL的厚度。此外，不仅在这样刚要刻画图案之前计测橡皮布BL的厚度，还在刚要转印之前计测橡皮布BL的厚度，其主要理由在于，橡皮布BL的一部分膨润而使橡皮布BL的厚度随时间发生变化，通过在刚要转印之前计测橡皮布厚度，能够进行高精度的转印处理。

其次，第一载物台升降马达M31使旋转轴向规定方向旋转，由此使吸附板34向下方向（－Z）下降来将基板SB移动至橡皮布BL的附近。进而，第二载物台升降马达M32使旋转轴旋转，由此使吸附板34以小的螺距升降来准确地调整在铅垂方向Z上的基板SB和橡皮布BL之间的间隔，即间隙量。该间隙量是由控制部6基于基板SB及橡皮布BL的厚度计测结果来决定的。然后，与刻画图案（步骤S5）同样地，利用按压构件71按压橡皮布BL的周缘部。

这样，基板SB和橡皮布BL均被预定位，而且隔开适于转印处理的间隔被定位，但为了将形成在橡皮布BL上的图案层准确地转印到基板SB上，需要精密地对两者进行对位。因此，在本实施方式中，拍摄部43对在橡皮布BL上刻画图案而形成的定位标记以及形成在基板SB上的定位标记进行拍摄，并将这些图像输出至控制部6的图像处理部65。然后，控制部6基于这些图像来求出用于使橡皮布BL相对于基板SB进行对位的控制量，并且作成针对定位部4的载物台驱动马达M41的动作指令。而且，载物台驱动马达M41根据上述控制指令来进行工作，由此使吸附板51在水平方向上移动并且围绕在铅垂方向Z上延伸的假想旋转轴进行旋转，从而将橡皮布BL精密地与基板SB对位（定位处理）。

然后，阀V51、V52进行动作来向吸附板51和橡皮布BL之间局部地供给空气，从而使橡皮布BL局部地膨胀。该浮起部分压紧保持在上载物台部3上的基板SB上。其结果，橡皮布BL与基板SB紧贴。由此，橡皮布BL侧的图案层与基板SB的下表面的图案精密地对位，并被转印到基板SB上。

在接下来的步骤S10中，与版剥离（步骤S6）同样地，执行从橡皮布BL上剥离基板SB、将基板SB定位到除电位置上、解除按压构件71对橡皮布BL按压、除电。其后，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34上升至初始位置（比搬送位置高的位置）为止。

在接下来的步骤S11中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动。由此，基板用往复搬运器23R移动并定位到基板吸附位置XP23。另一方面，第一载物台升降马达M31使旋转轴旋转，由此使吸附保持了基板SB的状态的吸附板34向基板用往复搬运器23R的手部232、232下降。其后，关闭阀V31，由此解除吸附机构对基板SB的吸附。然后，第一载物台升降马达M31使旋转轴反转，由此使吸附板34上升至初始位置为止。其后，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动来使保持了该基板SB的状态的基板用往复搬运器23R移动并定位到中间位置XP24。

在接下来的步骤S12中，阀V51、V52进行动作来解除吸附板51对橡皮布BL的吸附。然后，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541上升，由此将已使用的橡皮布BL从吸附板51向铅垂上方举起。然后，橡皮布搬送机械手访问装置100来从升降销542的顶部收回已使用的橡皮布BL，并从装置100退避。接着，销升降气缸CL51进行动作来使升降板541下降，由此使升降销542下降至吸附板51的下方向（－Z）。

在接下来的步骤S13中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动。由此，使版用往复搬运器23L移动并定位到版交接位置XP21。接着，版清洗装置的版搬送机械手从印刷装置100取出已使用的版PP。这样在版PP的搬出结束时，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动，由此将版用往复搬运器23L定位到中间位置XP22。

在接下来的步骤S14中，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转，由此使往复搬运器保持板22向（－X）方向移动。由此，基板用往复搬运器23R移动并定位到基板交接位置XP25。接着，基板清洗装置的基板搬送机械手从印刷装置100取出受到转印处理的基板SB。在这样基板SB的搬出结束时，往复搬运器水平驱动马达M21使旋转轴旋转来使往复搬运器保持板22向（＋X）方向移动，由此将基板用往复搬运器23R定位到中间位置XP23。由此，印刷装置100返回初始状态。

接着，对如上述那样构成的印刷装置100的精密定位动作，进一步进行详细说明。如在前面说明的那样，在本实施方式中，对保持在下载物台部5的上表面上的橡皮布BL和保持在上载物台部3的下表面上的基板SB进行精密定位。利用拍摄部43来拍摄分别预先形成在橡皮布BL及基板SB上的定位标记，并且基于该拍摄结果来使定位载物台42进行动作，由此进行该精密定位。在此，假定的基板SB的平面尺寸是350mm×300mm左右。另一方面，作为目标的基板SB和橡皮布BL之间的水平方向上的对位精度例如是±3μm左右。

图5是示出了定位载物台的详细结构的图。如上所述，定位载物台42具有载物台基座421及载物台顶部422，在载物台基座421及载物台顶部422之间设置有支撑机构423，并且利用载物台驱动马达M41来驱动支撑机构423，由此实现载物台顶部422相对于载物台基座421的移动。在图5中，用附图标记423a、423b、423c及423d来区分分别设置在载物台基座421的四角的各支撑机构423。另外，对与这些支撑机构结合的载物台驱动马达M41，分别标注附图标记M41a、M41b、M41c及M41d。

利用载物台驱动马达M41a来驱动支撑机构423a，由此如在支撑机构423a的附近用虚线箭头示出那样，支撑机构423a能够在Y方向上在规定范围内移动。另外，如在各支撑机构附近用虚线箭头示出那样，载物台驱动马达M41b能够使支撑机构423b在X方向上在规定范围内移动，载物台驱动马达M41c能够使支撑机构423c在Y方向上在规定范围内移动，载物台驱动马达M41d能够使支撑机构423d在X方向上在规定范围内移动。

通过使支撑机构423a及423c向相互相同的方向移动，来使载物台顶部422相对于载物台基座421向（＋Y）方向或（－Y）方向移动。另外，通过使支撑机构423b及423d向相互相同的方向移动，来使载物台顶部422相对于载物台基座421向（＋X）方向或（－X）方向移动。另一方面，通过使它们向相互相反的方向移动，来使载物台顶部422相对于载物台基座421围绕铅垂轴进行旋转。这样，实现载物台顶部422相对于载物台基座421的水平面（XY平面）内的移动和围绕Z轴的旋转运动。

图6是示出了拍摄部的详细结构的图。如图2所示，拍摄部43的上端部延伸至下载物台部5的吸附板51的正下方为止，并且在拍摄部43的前端部安装有图6所示的CCD照相机430。此外，与用吸附板51吸附保持的橡皮布BL的四角相对应地，在四处设置有拍摄部43，但这些拍摄部43的结构均相同。

在吸附板51中的与橡皮布BL的四角相对应的位置分别嵌入有透明的石英窗52a，经由该石英窗52a来从吸附板51的下方观察橡皮布BL。在石英窗52a的下方，配置有CCD照相机430。具体而言，在石英窗52a的正下方位置，依次配置有物镜435、半透半反境437及CCD拍摄元件的受光面438。物镜435的光轴大致与铅垂方向一致，在该光轴上分别配置有石英窗52a及受光面438。从侧方将光源436的光入射至半透半反境437，该光在半透半反境437上反射之后向石英窗52a出射，并经由石英窗52a入射至橡皮布BL。

在保持在上载物台部3的吸附板34的下表面上的基板SB的下表面上的、面向石英窗52a的位置上，预先形成有规定的第一定位标记AM1。另一方面，在保持在下载物台部5的吸附板51的上表面上的橡皮布BL的上表面上的、面向石英窗52a的位置上，预先形成有规定的第二定位标记AM2。即，基板SB和橡皮布BL以各自的定位标记形成面彼此相对的方式进行相向配置。由此，能够使两定位标记之间在铅垂方向（Z方向）上的距离变小。希望尽量减小调整间隙后的基板SB和橡皮布BL之间的间隔Gsb。然而，在考虑装置各部的尺寸精度、基板SB及橡皮布BL的挠曲等时，为了防止基板SB和橡皮布BL之间的意想不到的接触，不得不以某种程度分离。在此例如将间隔Gsb设定为300μm。

橡皮布BL是在玻璃板或透明树脂板的表面上形成由例如硅橡胶构成的薄的弹性层而形成的，并具有透光性。由此，处于能够从下载物台部5的下方经由石英窗52a及橡皮布BL同时观察第一定位标记AM1及第二定位标记AM2的状态。CCD受光面438在同一视场内一并拍摄面向石英窗52a配置的第一定位标记AM1及第二定位标记AM2。

物镜435、半透半反境437、受光面438及光源436能够以一体方式通过XY工作台431来在沿XY平面的方向移动，并且，通过精密升降工作台432来在铅垂方向（Z方向）上移动。物镜435的前侧焦点通过精密升降工作台432来对焦到橡皮布BL的定位标记形成面上。另一方面，后侧焦点预先对焦到CCD拍摄元件的受光面438上。因此，在CCD受光面438上，形成焦点对焦到在橡皮布BL上形成的第二定位标记AM2上的（焦点内的）光学像，并由CCD照相机430拍摄该光学像。

此外，使用应转印到基板上的图案相同的材料，与形成图案同时地，在橡皮布BL的弹性层的表面形成第二定位标记AM2。即，在版PP上预先形成有应转印到基板SB上的图案以及与定位标记AM2相对应的图案，在通过使版PP紧贴到橡皮布BL上的涂布层上来刻画图案时，还同时形成定位标记AM2。如上述那样，橡皮布BL的主面中的形成有弹性层的一侧的一个主面，成为形成图案及定位标记的形成面。

图7A至图7C是示出了定位标记的图案的例子的图。更加详细地说，图7A示出了在本实施方式中形成于基板上的第一定位标记，图7B示出了在本实施方式中形成于橡皮布上的第二定位标记。

如图7A所示，形成于基板SB上的第一定位标记AM1由彼此分离配置的多个（在该例中是四个）第一定位图案AP1（AP11~AP14）构成。各定位图案AP1是，即使在焦点没有对准的状态下图形也不会消失的程度的尺寸的、例如一个边为50μm左右的矩形（在该例中是正方形），并且四边所包围的内部被均匀涂满的实心的图形。这样的四个第一定位图案AP1分别配置在各自成为正方形的顶点这样的位置，由此构成第一定位标记AM1。各定位图案AP1之间的间隔是750μm。

另一方面，如图7B所示，形成于橡皮布BL上的第二定位标记AM2由一个第二定位图案AP2构成。第二定位图案AP2是，例如一个边为120μm左右的矩形，并且是内部被掏空而成为空白的环状的中空图形。形成正方形的各边的线宽例如是10μm，由此内部的正方形的一个边是100μm左右。

另外，图7C示出了这些定位图案的空间频率频谱。在比较这些图案具有的空间频率成分时，作为实心图形的第一定位图案AP1比作为中空图形的第二定位图案AP2具有更多的低频成分。即，第一定位图案AP1的空间频率的频谱偏向低频率一侧。在后述的精密定位动作中，利用该特征来检测各定位图案的位置。

图8是示出了用于进行精密定位动作的定位标记的配置的图。基板SB及橡皮布BL是具有几乎相同的平面尺寸的板状体，在重叠两者时在相互对应的位置上分别形成定位标记。即，在板状的基板SB的中央部设定有有效图案区域PR，在该有效图案区域PR形成电路图案等规定图案而最终作为器件发挥功能。与该有效图案区域PR相对应的橡皮布BL的表面区域是橡皮布BL的有效图案区域PR，利用版PP在该区域PR上刻画应转印到基板SB上的图案。在图8的例子中将矩形基板SB的中央部的矩形区域作为有效图案区域PR，但这些形状并不限定于矩形，可以是任意的形状。

并且，将有效图案区域PR的四角的外侧的与基板SB的角部靠近的区域，设定为定位标记形成区域AR。此外，将设置于下载物台部5的吸附板51上的石英窗52a，分别设置到与上述四处的定位标记形成区域AR相对应的位置上。

在基板SB上，例如利用光刻技术预先在四个的定位标记形成区域AR分别形成第一定位标记AM1。另一方面，利用版PP，与形成于有效图案区域PR上的图案一起，使用图案形成材料来刻画在橡皮布BL的各定位标记形成区域AR形成的第二定位标记AM2。因此，与刻画图案时的版PP和橡皮布BL之间的位置关系无关，在橡皮布BL上的形成于有效图案区域PR的图案和形成于定位标记形成区域AR上的定位标记之间的位置关系不变。由此，通过利用定位标记的对位，来恒定地保持基板SB和橡皮布BL上的图案之间的位置关系。因此，并非一定需要在版PP和橡皮布BL之间进行精密定位。

在本实施方式中，利用定位部4的拍摄部43来拍摄如上述那样构成的定位图案。从拍摄得到的图像中检测出定位图案，由此掌握基板SB和橡皮布BL（严密地讲，是橡皮布BL上的图案）之间的位置关系，并根据需要来进行用于对准这些位置的调整动作。

本实施方式的第一定位标记及第二定位标记分别包括一个或多个上述的定位图案作为结构要素。但是，利用仅由单个定位图案构成的定位标记，本实施方式的精密定位动作自身也成立。因此，在此利用将由单个第一定位图案AP1构成的第一定位标记形成在基板SB上并且将由单个第二定位图案AP2构成的第二定位标记形成在橡皮布BL上的例子，说明定位动作的原理。

图9A至图9C是示出了用CCD照相机拍摄的图像的一个例子的图。如图9A所示，在拍摄而得到的图像IM上，包括在对焦的状态下以高的图像对比度拍摄而得到的第二定位图案AP2。由此，从拍摄而得到的图像中检测出第二定位图案AP2的重心位置G2m是比较容易的。将第二定位图案AP2设定为环状矩形的中空图形的情况下，例如能够如下求出重心位置。如图9B所示，通过以规定阈值对图像内的各位置上的亮度进行二进制化来提取第二定位图案AP2的边缘部分，由此能够该边缘部分推定出第二定位图案AP2的轮廓以求出其重心G2m的位置。特别地，因为预先了解图案的外形尺寸及线宽等特征，所以图像处理部65能够适用专门针对这些特征的图像处理。

另一方面，并不限于将焦点对准在形成在基板侧上的第一定位图案AP1上。只要光轴方向上的第一定位图案AP1和第二定位图案AP2之间的间隔在物镜435的景深以下，就能够拍摄对焦在第一定位图案AP1和第二定位图案AP2上的图像。然而，在定位图案之间的间隔比物镜435的景深大时，若对焦在第二定位图案AP2上，则第一定位图案AP1处于景深外而焦点没有对焦在第一定位图案AP1，从而会被拍摄为轮廓模糊的图像。

在本实施方式中，使用具有5倍左右的倍率的物镜435，其景深是±30μm（聚焦范围是60μm）左右。另一方面，设置在装置100上的基板SB和橡皮布BL之间的间隔Gsb在调整空隙之后是300μm左右。在这样的条件下，不可能同时将焦点对焦在两个定位图案上。即，若将焦点对焦在第二定位图案AP2上，则必然不会将焦点对焦在第一定位图案AP1上。本实施方式的精密定位方法还能够对应于这样的情况来进行高精度的对位。

在未对焦在第一定位图案AP1上时，如图9A所示，第一定位图案AP1被拍摄成比用虚线表示的原来的外形更大且轮廓模糊的状态。因此，原来的第一定位图案AP1的形状所具有的空间频率成分中的比较高的频率成分会丢失。因此，认为如第二定位图案AP2的情况那样提取边缘的方法难以应用，并且检测出的误差也大。因此，如图9C所示，根据亮度等级的峰值位置来求出第一定位图案AP1的重心位置。

此时，如图7C所示，通过预先将第一定位图案AP1的形状设定为低的空间频率成分包含得多的形状，来抑制图像信息的损失，并能够抑制检测重心位置的精度的下降。特别地，在进行伴随“黑点”校正的图像处理的情况下，因进行该处理而还丢失低的频率成分，因而利用空间频率的分布靠近低频一侧的形状的图案的方式是有效的。

另外，因为预先了解包含在原来的形状中的高频成分会丢失，所以在检测重心位置时高频成分不具有有用性，反而起到噪声的作用。因此，希望进行从图像中除去高频成分的低通滤波处理，并根据除去后的图像检测出重心位置。这样一来，检测出焦点没有对准的第一定位图案AP1的重心G1m的位置。

如图9A所示，在例如以第一定位图案AP1的重心位置G1m为基准时，用附图标记G2t表示原来即基板SB和橡皮布BL之间的位置关系恰当时第二定位图案AP2应该所处的重心的位置。然而，实测的重心G2m的位置并非一定与上述位置一致，因而为了使它们一致，而需要进行精密定位动作。即在精密定位动作中，如在图9A中示出的箭头那样，以使检测出的第二定位图案AP2的重心位置G2m与其恰当位置G2t相一致的方式，对基板SB和橡皮布BL之间的相对位置进行调整。在本实施方式中，基于拍摄结果来计算出定位载物台42的载物台顶部422的所需移动量并移动该所需移动量，由此使支撑在载物台顶部422上的下载物台部5以及放置在该下载物台部5上的橡皮布BL移动，从而进行对基板SB的对位。

图10是示出了精密定位动作的处理的流程的流程图。此外，该处理是作为图4的步骤S9的处理的一部分来进行的。首先，利用精密升降工作台432，将设置在拍摄部43上的CCD照相机430的焦点对焦在橡皮布BL的定位标记形成面（上表面）上（步骤S901）。此外，橡皮布BL因膨润而其厚度发生变动，因而需要在每次执行转印处理时进行对焦。

具体而言，例如能够通过如下的自动调焦（AF）调整动作，来进行对焦。即，一边利用精密升降工作台432在上下方向（Z方向）上移动CCD照相机430，在Z方向上以一定间距变更设定焦点位置，一边每次利用CCD照相机430进行拍摄。然后，根据拍摄而得到的定位图案AP2的图像，计算出图像对比度为最大的位置，并且物镜435的焦点位置对准在该位置上。此外，四个CCD照相机430分别独立地进行对焦，但其处理内容相同。

图11是示出了对焦动作的流程图。最初，利用精密升降工作台432来将CCD照相机430的高度即Z方向位置设定在规定的初始值（步骤S911）。然后，一边利用精密升降工作台432分多个阶段变更设定CCD照相机430的高度，一边在每个阶段利用CCD照相机430来拍摄第二定位图案AP2（步骤S912）。重复进行该处理至CCD照相机430到达规定的最终高度为止（步骤S913）。在本实施方式中，在预先决定的标准高度±100μm的范围内，以每个阶段20μm移动CCD照相机430，并在各位置上进行拍摄。

这样在各高度拍摄而得到的原图像中的最鲜明地呈现出第二定位图案AP2的图像，表示CCD照相机430的焦点对焦到第二定位图案AP2上（或与第二定位图案AP2最接近的）状态。因此，通过找出这样的图像并且在与其相对应的高度设置CCD照相机430，来达成对焦的目的。

然而，第二定位图案AP2是用与应转印到基板SB上的图案相同的材料形成的，因而未必能总是以非常良好的对比度进行拍摄。例如，在利用具有与橡皮布BL相似的光学特性（特别是折射率、反射率等）的材料来形成第二定位图案AP2的情况下，即使微调拍摄条件也只能得到低的图像对比度。

另外，在基板SB和橡皮布BL极为接近配置的状态下，来自光源463的照明光被基板SB反射而能够得到比较亮的图像。相对于此，例如如未对基板SB和橡皮布BL之间的间隙进行调整的状态那样基板SB和橡皮布BL之间的距离比较大时，从CCD照相机430侧观察时，位于橡皮布BL的背后的基板SB处于远处，因而不能得到足够的反射光量，存在会拍摄到暗且对比度低的图像的情况。基板SB自身的反射率低的情况也同样。

这样，存在不能期待在良好的环境下拍摄焦点尚未对准的状态下的第二定位图案AP2的情况，从而存在难以从图像中检测出第二定位图案AP2的情况。然而，即使在这样的环境下也需要可靠地进行对焦。为了能够在这样的环境下可靠地进行对焦，在本实施方式中采用如下方式。

在本实施方式的CCD照相机430中，拍摄元件的1个像素的尺寸大约是0.7μm。另一方面，如图7B所示，第二定位图案AP2的线宽是10μm，这相当于拍摄元件的约14个像素的大小。因此，例如即使是低对比度的图像，通过增强与对应于该线宽的14个像素相当的空间频率成分，能够更加容易地从图像检测出第二定位图案AP2。这是因为，第二定位图案AP2的形状及尺寸是已知的，而且此时，从拍摄而得到的图像中检测出第二定位图案AP2时只要确定其边缘位置即可。

例如，通过除去与比线宽足够细的例如线宽的一半以下的尺寸相对应的空间频率成分，能够除去噪声成分、特别是高频的随机噪声成分，而不会丢失与第二定位图案AP2的边缘相关的信息。另外，通过除去与比线宽足够大的例如线宽的2倍以上的尺寸相对应的空间频率成分，还能够排除以较大尺度变动的原因例如“黑点”的影响，而不会丢失与第二定位图案AP2的边缘相关的信息。

具体而言，针对在各高度拍摄而得到的原图像，图像处理部65以基于第二定位图案AP2的图案形状来设定的规定的像素单位、具体地以与线宽相对应的像素数的一半以下的像素数（例如4像素×4像素）进行平均化压缩（步骤S914）。在此将平均化压缩后的图像数据称为第一数据。通过这样进行平均化压缩，来除去含在原图像中的高频成分，特别地可有效地除去随机噪声成分。即，平均化压缩处理实质上相当于低通滤波处理。另外，还具有削减在以后的运算中的数据量的效果。

接着，针对平均化压缩后的第一数据，以规定的像素单位例如7像素×7像素进行平均化压缩（步骤S915）。此外，在此提及的“像素”是指以4像素单位压缩得到的第一数据中的像素，因此，这里的7像素相当于原图像中的28像素（即线宽的2倍）。由此，提取与第二定位图案AP2无关的低频成分、例如因黑点而产生的变动部分。将其称为第二数据。

接着，通过取得第一数据和第二数据之比，来从第一数据中排除黑点（shading）的影响。即，求出该比的处理实质上相当于除去低频的变动成分的高通滤波处理。其结果，仅提取以与第二定位图案AP2的线宽相对应的成分为中心的频带的空间频率成分。即，利用带通滤波器提取了与第二定位图案AP2的线宽相对应的空间频率成分。通过对这样得到的比的值乘以大于1的规定的增强系数K，得到了与原图像中的第二定位图案AP2的线宽相对应的图像要素的对比度被增强的图像（步骤S916）。

图12是示出了对比度被增强的图像数据的例子的图。该图示出了在拍摄第二定位图案AP2而得到的图像上描绘的一根线上的位置和像素值之间的关系。附图标记（A）示出了原图像的图像数据，在数据中包含噪声，在原图像中未得到足以找出第二定位图案AP2的位置的对比度。附图标记（B）表示第一数据，通过低通滤波处理大幅除去了高频噪声成分，但可观察到因黑点而引起的更平缓的变动。附图标记（C）表示第二数据，几乎只表现出因黑点而引起的低频的变动。

附图标记（D）表示增强对比度后的数据，在除去了因黑点而引起的低频的变动后增强了对比度，由此能够清楚地识别出相当于第二定位图案AP2的边缘的位置的峰值。在图像中出现的第二定位图案AP2越鲜明，该峰值也表现得越鲜明。利用该处理，能够从图像中检测出第二定位图案AP2。

例如在完全没有包含第二定位图案AP2的图像上，在增强对比度后的数据（附图标记（D））中也不出现显著的峰值，图像整体的像素值成为接近平均等级Vavg的均匀的值。另一方面，CCD照相机430的焦点越与橡皮布BL上表面接近，则越会出现与平均等级Vavg的背离大的像素值。因此，求出图像内的各位置上的像素值Vi和其平均值Vavg之差的绝对值，并根据在图像内累加该值得到的总和的值的大小，能够评价CCD照相机430的焦点位置和橡皮布BL上表面位置之间的偏移量。

该总和是：

∑|Vi－Vavg|…（计算式1）。

CCD照相机430的焦点与橡皮布BL上表面越近，则与包含在图像中的第二定位标记AM2相对应的空间频率成分越多，伴随与此，通过上述（计算式1）表示的值变得越大。因此，将针对使CCD照相机430的高度不同而拍摄得到的各图像通过（计算式1）来求出的值在此称为“AF评价值”。能够认为，拍摄出了这些图像中的特定图像时的CCD照相机430的高度是CCD照相机430的焦点与橡皮布BL上表面最接近的高度，该特定图像是指，AF评价值成为最大的图像，即与第二定位标记AM2相对应的空间频率成分包含得最多的图像。

能够将增强系数K设定为比1大的任意的值，但显然该值越大则更强地增强对比度，从而增强与第二定位图案AP2的边缘相对应的峰值。此时，担心甚至与定位图案无关的信号也被增强，但根据发明者们的实验，至少不会产生如对对焦动作的精度施加影响那样的障碍。考虑其原因在于，通过进行专用于应检测的定位图案的形状的信号处理，即通过进行提取与显示第二定位图案AP2的特征的空间频率成分相对应的频带的带通滤波器处理，充分地减少了与定位图案无关的信号。

另一方面，原理上不可能超过CCD照相机430原本具有的动态范围来增强对比度，从该角度需要决定增强系数K的恰当值的上限。例如在随机噪声相对于最大输出信号的平均振幅为N%的拍摄系统中，通过如下的计算式来求出增强系数K的恰当的最大值Kmax。

Kmax=100/4N…（计算式2）

这是从如下的实验事实导出的，即，在将±N%的振幅的噪声增强至（100/2N）倍时，仅噪声成分就达到100%，并且在实用上难以从噪声中分离出S/N比小于2倍的信号。例如在随机噪声相对于信号的比为1%的拍摄系统中，增强系数K的上限值为25。

返回图11，根据通过至步骤S916为止的处理增强了对比度的在各高度上的图像数据，基于上述原理来分别计算出在（计算式1）中定义的AF评价值（步骤S917）。而且，在这些高度中的与AF评价值为最大的图像相对应的高度，设定CCD照相机430的高度（步骤S918）。由此，CCD照相机430的焦点位置几乎对焦到橡皮布BL的上表面。

返回图10，继续说明精密定位动作。在这样进行了焦点调整的状态下，第一定位图案AP1及与此相对应的第二定位图案AP2进入了各CCD照相机430的视场内，其中焦点对焦到第二定位图案AP2上。各CCD430分别拍摄该图像，并将图像数据发送至图像处理部65（步骤S902）。图像处理部65对这样拍摄而得到的图像进行规定的图像处理，由此检测出图像内的第一及第二定位图案AP1、AP2的位置（步骤S903、S904）。具体而言，检测出它们的重心位置G1m、G2m。

在如上述那样检测出第一定位图案AP1的重心G1m及第二定位图案AP2的重心G2m的位置时，接着计算出它们之间的位置偏移量（步骤S905）。在此应计算的是根据第一定位图案AP1的重心位置G1m来导出的第二定位图案AP2的恰当的重心位置G2t和通过实测检测出的第二定位图案AP2的重心位置G2m之间的位置偏移量，而不是检测出的两个定位图案各自的重心G1m、G2m之间的位置偏移量。此外，在配置为第一及第二定位图案的重心位置为通用（即G2t等于G1m）的情况下，显然两个定位图案各自的重心G1m、G2m之间的位置偏移量为应求出的量。

此外，就在XY平面内在基板SB和橡皮布BL之间产生的位置偏移而言，不仅具有X方向及Y方向上的偏移，还具有扭转偏移即围绕铅垂轴的旋转角度相互不同的类型的偏移。在对分别设置在基板SB及橡皮布BL上的l对定位图案的重心位置进行调整时，难以修正围绕该铅垂轴的旋转方向（下面，称为“θ方向”）上的偏移。特别地，在一个定位图案没有对准焦点的状态下进行拍摄时，难以根据模糊的图像来掌握该图案的旋转角度。

在本实施方式中，在基板SB及橡皮布BL的4个角上各设置1对定位标记（图8），用4组拍摄部43来拍摄这些定位标记。然后，综合地决定载物台顶部422的在X、Y及θ方向上的移动量，以平均地修正根据用这些4组拍摄部43拍摄而得到的各图像来求出的X、Y及θ方向上的位置偏移。这样一来，能够对基板SB和橡皮布BL进行高精度的对位。

针对基板SB侧及橡皮布BL侧，分别通过图像处理部65的图像处理来求出用各照相机拍摄而得到的定位图案的重心位置（步骤S903、S904）。根据这些计算结果，计算出基板SB和橡皮布BL之间的位置偏移量（步骤S905）。就这里的位置偏移量而言，分别计算X方向、Y方向及θ方向的位置偏移量。在这样求出的位置偏移量在预先决定的容许范围内时（步骤S906），认为能够忽略基板SB和橡皮布BL之间的位置偏移而结束精密定位动作。

在位置偏移量超过容许范围时，为了修正该位置偏移而需要移动橡皮布BL。接着，进行用于修正的移动，但考虑也可能因某些装置的不良情况而处于不能进行对位的状态，而对用于对位的移动的重试次数设定上限。即，在重试次数达到了预先设定的规定次数时（步骤S907），执行规定的错误停止处理（步骤S908），之后结束处理。作为该错误停止处理的内容，例如可考虑如下等情况，即，显示规定的错误消息并完全中止处理自身；在向用户报知错误内容后，关于以后的处理等待用户的指示。也可以根据用户的指示来再次开始进行处理。

另一方面，在未达到规定的重试次数时（步骤S907），计算出进行对位所需的橡皮布BL的移动量（步骤S909）。基于计算出的移动量来使定位载物台42进行动作（步骤S910），由此使橡皮布BL的位置与载物台顶部422一起移动。在该状态下，再次拍摄各定位图案及检测重心位置，并判定是否需要再次移动橡皮布BL（步骤S902~S906）。反复执行这些处理至达到规定的重试次数为止（步骤S907）。

由此，在利用各CCD照相机430拍摄得到的每个图像上，第一定位图案AP1和第二定位图案AP2之间的位置关系与预先设定的关系（例如，图9A）相一致，或者基于该关系的位置偏移量处于容许范围内。这样结束基板SB和橡皮布BL之间的对位（精密定位）。

在这样完成定位处理之后，通过向吸附板51和橡皮布BL之间送入空气来使橡皮布BL的中央部浮起而与基板SB紧贴，由此将担载于橡皮布BL上的图案转印到基板SB上。此时，将使用与图案相同的材料形成在橡皮布BL表面上的第二定位标记AM2也与图案一起转印到基板SB上。在精密定位结束的时间点，第二定位标记AM2位于与基板SB上的第一定位标记AM1大致相对的位置上，所以通过就这样使橡皮布BL与基板SB抵接，来将第二定位标记AM2转印到第一定位标记AM1的附近。

图案向基板SB的转印，根据需要来反复执行多次。显然，每次都需要进行上述的定位处理。因此，在每当转印图案时，将与该图案一起形成的第二定位标记转印到基板SB上。此时，之前转印的第二定位标记会妨碍之后的用于的转印处理的定位动作。本实施方式的定位标记的配置方法（图7）考虑了这样的问题。

图13A及图13B是用于说明定位标记的配置的图。如图13A所示，基板SB上的定位标记AM1是以分别成为正方形的顶点的方式配置四个第一定位图案AP11~AP14而成的。通过最初的转印处理来从橡皮布BL转印到基板SB上的第二定位标记AM21被上述四个第一定位图案AP11~AP14包围，而且该第二定位标记AM21被转印到与各第一定位图案AP11~AP14隔开规定间隔的区域（定位标记转印区域）TR的内侧。

在进行第二次转印处理之前的定位处理中，也如上述那样进行对焦到橡皮布BL上的拍摄。此时，如图13B所示，此时担载于橡皮布BL上的第二定位标记AM22的图像鲜明，但基板SB表面的第一定位图案AP11~AP12和之前转印到基板SB表面上的第二定位标记AM21因焦点未对准而不鲜明。

此时，在不鲜明地映出的第二定位标记AM21位于与第一定位图案AP11~AP14及第二定位标记AM22中的某个图案重叠或极为接近的位置时，会对这些重心位置的计算造成影响，其结果存在定位处理的对位精度下降的可能性。特别地，在判定精密定位动作是否已收敛的处理步骤（图10的步骤S906）中含有这样的检测误差时，导致还存在位置偏移的状态下结束定位处理。

为了避免这样的问题，在本实施方式中，在以下设计思想下，进行了对定位标记的设计，这些设计思想是：

（1）将橡皮布BL上的第二定位标记AM2转印到与基板SB上的与第一定位标记隔开规定距离以上的位置；

（2）将通过多次图案转印来从橡皮布BL转印到基板SB上的第二定位标记AM2，转印到相互不同的位置并且相互隔开足够距离；

（3）为了提高定位精度，在每次的定位处理中，将基板SB侧的第一定位图案AP1和橡皮布BL侧的第二定位标记AM2配置在尽可能近的位置上。

即，通过将第二定位标记AM2的转印位置限定在与第一定位图案AP11~AP14离开的定位标记转印区域TR内，满足了上述要件（1）。通过焦点未对准的状态下的拍摄，第一定位图案AP11~AP14及已转印的第二定位标记AM2的像的外观的大小比实际大（例如到2倍左右为止），因而希望第一定位图案AP11~AP14和转印到定位标记转印区域TR的第二定位标记AM2之间的间隔尽量大。从实用的角度，需要使第一定位图案AP11~AP14的位置和各次转印中的第二定位标记AM2的转印位置，隔开至少大于第一定位图案AP1的外形尺寸（50μm）和第二定位标记AM2的外形尺寸（120μm）之和的一半（85μm）。在本实施方式中，如图13B所示，将该距离设定为115μm。

另外，为了满足要件（2），只要在各次的转印中使担载于橡皮布BL上的第二定位标记AM2的位置不同，而且使其位置的变化量足够大即可。另外，为了满足要件（3），只要能够分离配置多个第一定位图案AP1，并且将要新转印的第二定位标记AM2配置为与这些第一定位图案中的至少一个第一定位图案接近即可。

鉴于这些情况，在本实施方式中，设定了以包围用于转印第二定位标记AM2的定位标记转印区域TR的方式配置有四个第一定位图案AP11~AP14的第一定位标记AM1。如在图13B中用虚线示出那样，在定位标记转印区域TR确保了能够转印9个的第二定位标记AM2的空间。由此最多能够进行9次图案转印。另外，为了不使要新转印的第二定位标记AM22与已转印的第二定位标记AM21的像重叠，将转印区域TR内的第二定位标记之间的转印间距设定为200μm。图7A所示的第一定位标记AM1是这样构成的。

利用这样构成的第一定位标记AM1来在多次转印中的每次转印中进行的定位处理的具体步骤如下。在图10的精密定位动作中，在定位标记的拍摄及基于此的定位载物台42的移动结束时，使橡皮布BL表面的第二定位标记AM2与基板SB的定位图案转印区域TR中的除了之前转印了第二定位标记AM2的区域以外的区域相向。即，以使第一定位标记AM1和第二定位标记AM2之间的位置关系变成上述那样的方式设定第二定位标记AM2的目标重心位置（图9A的附图标记G2t）来进行精密定位动作。这样通过进行第二定位标记AM2相对于第一定位标记AM1的定位，来将第二定位标记AM2最终转印到基板SB上。

在多次图案转印中，每当在各次图案转印之前进行精密定位动作时，使第二定位标记AM2的目标重心位置一点一点发生变化。即，在基板SB的定位图案转印区域TR中的与之前转印了第二定位标记AM2的区域分离的区域上，设定目标重心位置。此时，以不使基板SB和图案之间的位置关系偏移的方式，预先调整橡皮布BL上的图案和第二定位标记AM2之间的位置关系。即，以这样的位置关系将图案及第二定位标记AM2形成在橡皮布BL上的方式，作成了在橡皮布BL上刻画图案的版PP。

考虑在精密定位中容许的范围内的位置偏离以及未对焦的状态下的扩展，将与多次转印处理中的每次转印处理分别相对应的各第二定位标记AM2的目标重心位置，设定为彼此具有大于第二定位标记AM2的外形尺寸的距离。在本实施方式中，针对一个边为120μm的第二定位标记AM2，将目标重心位置的间距设定为200μm。

这样，在定位转印区域TR内在每次转印时都使第二定位标记的目标位置不同来进行精密定位，由此与图案转印一起将第二定位标记AM2转印到基板SB上。将第二定位标记AM2转印到在精密定位后与该第二定位标记AM2相向的基板SB的表面、即定位标记转印区域TR中的未转印第二定位标记的区域，而且第二定位标记AM2转印到与已转印的第二定位标记相分离。

这样，在各次转印处理中，能够在CCD照相机430的同一视场内拍摄担载于橡皮布BL上的第二定位标记AM2和形成在基板SB上的第一定位图案AP11~AP14中至少一个图案，并基于该图像来高精度地进行对位。此时，防止了通过之前的转印处理转印到基板SB上的第二定位标记的像与橡皮布BL表面的第二定位标记AM2的像发生干涉的情况，因而即使反复执行多次转印，也能够在各次被转印的图案之间保持高的位置精度。

此外，关于对同一基板进行多次图案转印时的具体的动作，例如能够如下进行。其一个方式是多次重复执行图4所示的各处理步骤（S1~S14）的方式。即，针对每一次转印，重复进行向印刷装置100搬入版PP、基板SB及橡皮布BL（步骤S1、S2及S4）并从装置取出版PP、基板SB及橡皮布BL（步骤S12~S14）的处理。在这样的情况下，在各次转印中能够更换版PP、基板SB及橡皮布BL，因而能够任意设定它们的组合以及转印顺序。

另外，进行多次图案转印的另一方式是将暂时搬入的基板SB留在印刷装置100内的状态下对该基板SB进行多次图案转印这样的方式。此时，在第一次动作中执行上述的步骤S1到S13为止的处理，其后，再次执行从步骤S1起的动作。但是，此时省略步骤S2。而且，在所有的图案转印结束之后，执行取出基板SB（步骤S14）的处理。

这样，能够减少向印刷装置10搬入及搬出基板SB（包括伴随与此的保持及其解除动作）的次数，因而能够在短时间内对一个基板SB转印多个图案。

在上述两个动作方式中，优选每当转印结束时搬出版PP及橡皮布BL并进行清洗，但在接下来的动作中使用的版PP及橡皮布BL可以与之前的相同，也可以与之前的不同。在任何情况下，均因安装时的位置偏移以及橡皮布BL的膨润等而产生相对位置的变动，因此每当进行图案转印时需要执行上述的对焦动作及定位处理。

另外，并非一定利用同一印刷装置100执行多次图案转印。即，通过将至少已形成1层图案的基板SB搬入印刷装置100来执行上述动作，由此在基板SB上转印新的图案，但与之前的图案如何形成无关地，能够利用本实施方式的印刷装置100来形成新的图案。

如上所述，在本实施方式中，在将担载于橡皮布BL上的图案转印到基板SB上之前，拍摄在橡皮布BL和基板SB分别形成的定位标记，并基于拍摄结果来执行对橡皮布BL和基板SB进行对位的定位处理。此时，形成在基板SB侧的第一定位标记AM1是分离配置多个图形（在此是正方形）图案AP1而成的定位标记。被这些多个图案包围的基板SB的表面区域，成为转印担载于橡皮布BL侧的第二定位标记AM2的定位标记转印区域TR。

在精密定位动作中，以使第二定位标记AM2的重心位置与设定在定位标记转印区域TR内的目标重心位置G2t相一致的方式，对基板SB和橡皮布BL进行对位。在分别与多次图案转印相对应的多次精密定位动作中，第二定位标记AM2的目标重心位置位于定位标记转印区域TR内，而且各第二定位标记彼此被分离转印。换言之，以确保特定的定位标记转印区域TR的方式，设计第一定位标记AM1，其中，所述特定的定位标记转印区域TR是指，能够使与多次图案转印分别相对应的多个第二定位标记AM2相互分离并且还与构成第一定位标记AM的各第一定位图案AP1分离来进行转印的区域。

因此，在与各次图案转印分别相对应的精密定位动作中，所拍摄的图像上的预先形成在基板SB上的第一定位标记AM1、在之前的转印中从橡皮布BL转印到基板SB上的第二定位标记（例如图13B的附图标记AM21）以及为了本次的精密定位动作而形成到橡皮布BL上的第二定位标记（例如图13B的附图标记AM22）这三者彼此不会发生干涉，高精度地检测出它们的位置。

因此，在本实施方式中，能够对基板SB和担载于橡皮布BL上的图案高精度地进行对位。而且，在该状态下使基板SB和橡皮布BL相抵接，由此能够在基板SB的规定位置上高精度地转印图案。

特别地，在将CCD照相机430的焦点对焦到橡皮布BL表面上进行拍摄的情况下，存在焦点未对准的基板SB表面的第一定位标记AM1以及已转印的第二定位标记AM21的像变模糊而比实际大的情况。然而，通过考虑了该影响的定位标记的设计及精密定位动作，能够避免因上述情况而引起的对位精度的下降。

如在上面说明的那样，在本实施方式中，橡皮布BL相当于本发明的“担载体”。另外，在上述实施方式中，上载物台部3及下载物台部5以一体方式发挥本发明的“转印单元”的功能。另外，拍摄部43发挥本发明的“拍摄单元”的功能。另外，图像处理部65及定位载物台42以一体方式发挥本发明的“定位单元”的功能。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，只要不脱离其宗旨，则除了上述实施方式以外也能够实施各种变更。例如，在上述实施方式中示出的定位标记的形状只是一个例子，除了上述以外还能够采用各种形状。但是，优选定位标记的图像具有的空间频率成分具有特征，以便如上述那样即使从在焦点未对准的状态下的拍摄结果中也容易进行检测。

即，优选地，使形成于基板SB上的第一定位标记AM1形成为比较低的频率成分包含得多，且相对于重心在任意旋转角度呈点对称的图形，以在焦点未对准的状态下也能够高精度地检测出其重心位置。另外，就形成于橡皮布BL上的第二定位标记AM2而言，该第二定位标记AM2具有包含很多比较高的频率成分且能够通过窄频带的带通滤波器处理来提取的特征部分，这有利于提高相对于噪声的耐性。

另外，在上述实施方式中，利用精密升降工作台432使CCD照相机430整体上下移动来进行对焦，但取而代之，也可以通过设置由多个透镜构成的成像光学系来调节该透镜之间的距离来进行对焦。

另外，在上述实施方式中，在基板SB及橡皮布BL的4个角部的附近形成4组定位标记，但定位标记的形成个数并不限定于此，而是任意的。但是，为了恰当地修正围绕铅垂轴的位置偏移，优选利用在不同的位置上形成的多组定位标记，并且优先将这些多组定位标记尽量设置在彼此分离的位置。另外，为了抑制因各照相机的位置偏移而产生的误差，优选设定3组以上的定位标记。

另外，在上述实施方式中，在基板SB上设置能够转印最多9个第二定位标记AM2的定位标记转印区域TR，但转印到基板SB上的第二定位标记AM2的个数，即向基板SB转印图案的次数是任意的。例如在向基板SB仅转印1次图案的情况下，上述的对焦动作也能够有效地发挥功能。

另外，在上述实施方式中，在本发明的转印装置的一个实施方式的印刷装置的内部对橡皮布BL刻画图案。然而，本发明并不限定于此，例如也能够优选地适用于搬入在外部刻画了图案的橡皮布来向基板转印图案的装置。

产业上的可利用性

本发明能够优选地适用于要求对担载图案的担载体和被转印该图案的基板高精度地进行对位的技术领域。

Claims (7)

1.一种转印方法，将作为被转印物的图案或薄膜从担载所述被转印物的担载体转印到基板的规定位置上，其特征在于，

该转印方法具有：

保持工序，在使在表面形成有第一定位标记的所述基板和在表面上担载所述被转印物以及第二定位标记且具有透光性的所述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态下，接近保持所述基板和所述担载体，其中，所述第二定位标记是使用与所述被转印物相同的材料来与所述被转印物一起形成的标记，

拍摄工序，从所述担载体的与定位标记形成面相反的表面一侧，经由所述担载体在拍摄单元的同一视场内拍摄所述第一定位标记及所述第二定位标记，

位置检测工序，基于所拍摄的图像，来检测出所述第一定位标记及所述第二定位标记的位置，

定位工序，基于在所述位置检测工序中的检测结果来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，

转印工序，使在所述定位工序中调整了相对位置的所述基板和所述担载体相抵接，来将所述担载体表面的所述被转印物及所述第二定位标记转印到所述基板上；

形成在所述基板上的所述第一定位标记包括彼此分离配置的多个图形图案，而且，该多个图形图案配置为包围定位标记转印区域，在该定位标记转印区域内能够配置所述第二定位标记并使所述第二定位标记与各所述图形图案分离；

在所述定位工序中，通过调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，来在所述定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域上，相向地定位所述第二定位标记；

在所述转印工序中，将所述第二定位标记在所述定位标记转印区域内与所述多个图形图案分别分离地转印到所述基板上。

2.如权利要求1所述的转印方法，其特征在于，

通过进行多次依次执行所述保持工序、所述拍摄工序、所述位置检测工序、所述定位工序及所述转印工序的一系列处理，来执行多次所述被转印物从所述担载体向所述基板的转印；

所述第一定位标记具有能够彼此分离地配置与多次转印相对应的多个所述第二定位标记的所述定位标记转印区域；

在各次所述转印工序中，在所述定位标记转印区域内彼此分离地转印所述第二定位标记。

3.如权利要求1或2所述的转印方法，其特征在于，

所述第一定位标记的所述图形图案与所述第二定位标记的图形图案相比，包括低的空间频率成分更多；

在所述拍摄工序中，通过对焦到担载于所述担载体上的所述第二定位标记上来进行拍摄；

在所述位置检测工序中，检测出所述第一定位标记及所述第二定位标记各自的图形图案的重心位置。

4.如权利要求3所述的转印方法，其特征在于，所述第一定位标记的图形图案是实心图形，所述第二定位标记的图形图案是中空图形。

5.一种转印装置，将作为被转印物的图案或薄膜从担载所述被转印物的担载体转印到基板的规定位置上，其特征在于，

该转印装置具有：

转印单元，其在使在表面形成有第一定位标记的所述基板和在表面上担载所述被转印物以及第二定位标记且具有透光性的所述担载体各自的定位标记形成面彼此相向的状态下，接近保持所述基板和所述担载体，进而，使所述担载体和所述基板相抵接来将所述被转印物及所述第二定位标记从所述担载体转印到所述基板上，所述第二定位标记是使用与所述被转印物相同的材料来与所述被转印物一起形成的标记，

拍摄单元，其在由所述转印单元接近保持了所述基板和所述担载体的状态下，从所述担载体的与定位标记形成面相反的的表面一侧，经由所述担载体在拍摄单元的同一视场内拍摄所述第一定位标记及所述第二定位标记，

定位单元，其基于所拍摄的图像中的所述第一定位标记及所述第二定位标记的位置检测结果，来调整所述基板和所述担载体的相对位置；

所述定位单元调整所述基板和所述担载体的相对位置，来在定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域上，相向地定位所述第二定位标记，所述定位标记转印区域是所述基板表面上的由构成所述第一定位标记的多个图形图案包围的区域；

所述转印单元将所述第二定位标记在所述定位标记转印区域内与所述多个图形图案分别分离地转印到所述基板上。

6.如权利要求5所述的转印装置，其特征在于，

所述转印单元能够保持转印有所述被转印物和所述第二定位标记的所述基板，将新的被转印物及新的第二定位标记从所述担载体转印到所述基板上；

所述定位单元调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，来将新的所述第二定位标记相向地定位到所述定位标记转印区域中的未转印所述第二定位标记的区域；

所述转印单元将担载于所述担载体上的新的所述第二定位标记在所述定位标记转印区域内与所述多个图形图案及已转印的所述第二定位标记分别分离地转印到所述基板上。

7.如权利要求5或6所述的转印装置，其特征在于，所述拍摄单元对焦到担载于所述担载体上的所述第二定位标记上来进行拍摄，所述定位单元基于所述第一定位标记及所述第二定位标记各自的图形图案的重心位置的检测结果，来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置。

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