CN103358551B - 构造物形成装置、构造物制造方法和构造物 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及构造物形成装置、构造物制造方法和构造物。该构造物形成装置包括旋转体、照射单元和保持构件。在旋转体上,能够设置进行了图案化的掩模。照射单元能够利用能量线照射沿着旋转体的旋转轴方向的区域,其中掩模介于旋转体与照射单元之间。保持构件被设置为与旋转体相对,从而形成保持利用能量线固化的材料的保持区域。
Description
技术领域
本发明涉及形成片状构造物的构造物形成装置、构造物制造方法、以及由构造物形成装置和构造物制造方法制造的构造物。
背景技术
日本专利申请公开第2011-102039号中公开的辊式压印装置是通过利用所谓的纳米压印技术形成树脂片的装置。该装置设置有用于在树脂片上转印图案的转印辊。在转印辊的外圆周表面,形成纳米级大小的转印图案。作为树脂片,使用提供在基膜上的UV固化树脂。当树脂片经过转印辊的表面时,用UV光线照射树脂片,结果是转印辊的图案形成在树脂片上(参见,例如,日本专利申请公开第2011-102039号中的段落0085)。
发明内容
在日本专利申请公开第2011-102039号中公开的装置中,转印图案的整个表面的形状由具有曲率的转印辊转印,并且从转印辊移除树脂片,即,随着转印辊的旋转执行释放。因此,要转印的图案的纵横比越高,释放就变得越困难,这可能损坏图案。
鉴于以上所述的情况,理想的是,提供一种能够形成构造物并且无论构造物的图案形状如何都不会损坏图案的构造物形成装置和构造物制造方法,并且提供由此制造的构造物。
根据本发明的实施方式,提供了一种构造物形成装置,包括旋转体、保持构件和照射单元。
进行了图案化的掩模能够被设置在旋转体上。
照射单元能够利用能量线照射沿着旋转体的旋转轴方向的区域,其中掩模介于照射单元和照射区域之间。
保持构件设置为与旋转体相对,从而形成保持利用能量线固化的材料的保持区域。
在本发明中,通过不利用三维铸模而利用二维掩模,利用能量线照射所固化的材料将容易从旋转的旋转体剥去。即,可以防止通过固化材料形成的图案受到损坏,这与使用三维铸模的情况不同。
旋转体具有弯曲的外圆周表面,从而在保持构件和外圆周表面之间形成保持区域。通过该构造物,可以形成高分辨率的微细构造物。
照射单元可以包括发射作为能量线的光的光源。
照射单元可以进一步包括具有狭缝的狭缝构件,其通过使从光源发射的光穿过狭缝可以在保持区域上形成线性照射区域。通过该构造物,即使通过利用发射非相干光的光源也可以形成线性光照射区域。
光源可以是发射激光的光源,并且照射单元可以进一步包括线性地扩散发射的激光的光学系统。即使当如上所述使用激光源时,也可以利用激光照射线性照射区域。
旋转体可以是具有中空部的筒状体,其中光源设置在中空部中。光源设置在中空部中,中空部是作为旋转体的圆柱体的内部,所以可以实现构造物形成装置的小型化。
旋转体可以具有设置有掩模的外圆周表面。利用该结构,减小掩模和保持构件之间的距离,所以可以增加图案转印的分辨率。
在保持构件的表面上,至少形成保持区域的区域可以是平坦表面或弯曲表面。
构造物形成装置可以进一步包括行进机构,其被构造为使保持通过固化材料形成的构造物的膜状的基材行进。在该情况下,保持构件将张力施加于基材。因此,可以在基材上形成构造物。
构造物形成装置可以进一步包括卷绕筒,其被构造为卷起通过固化材料形成的构造物。因此,可以通过卷绕筒卷起该构造物。
根据旋转体和保持构件之间的距离,可以确定要形成的构造物的厚度。因此,通过调节该距离可以设置构造物的厚度。
根据本发明的另一个实施方式,提供了一种构造物制造方法,该方法包括将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体和要设置为与旋转体相对的保持构件之间,其中进行了图案化的掩模能够设置在旋转体上。
利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。
根据本发明的另一个实施方式,提供了一种通过以上所述的方法制造的构造物。
如上所述,根据本发明,可以形成该构造物,并且无论构造物的图案形状如何都不会损坏图案。
根据以下如附图所示的本发明的最佳实施方式的详细说明,本发明的这些和其他目的、特征和优点将更为显而易见。
附图说明
图1是示意性地示出了根据本发明的第一实施方式的构造物形成装置的透视图;
图2是示出了图1中所示的构造物形成装置的侧视图;
图3是示出了伸展的掩模的实例的平面图;
图4是示出了图3中所示的掩模上形成的构造物的实例的平面图;
图5是用于说明旋转鼓的外圆周表面和照射区域的平面之间的位移量的示图;
图6是示出了作为参考例的在表面上具有在压印技术中使用的三维铸模的辊的透视图;
图7是示出了使用图6中所示的辊的三维铸模形成构造物的状态的示图;
图8是示出了根据第一实施方式的构造物的另一个实例的平面图;
图9是示出了根据本发明的第二实施方式的构造物形成装置的侧视图;以及
图10A和图10B分别是根据本发明的第三实施方式的构造物形成装置的光照射单元的平面图和侧视图。
具体实施方式
下文中,将参考附图描述本发明的实施方式。
(第一实施方式)
(构造物形成装置的构造)
图1是示意性地示出了根据本发明的第一实施方式的构造物形成装置100的透视图。图2是示出了图1中所示的构造物形成装置100的侧视图。
构造物形成装置100设置有用作旋转体的旋转鼓10,用作被设置为与旋转鼓10相对的保持构件的台20,以及设置在旋转鼓10中的光照射单元40。
旋转鼓10具有沿Y轴方向的长度,形成为筒状形状,一般为圆筒状,并且具有作为弯曲表面的圆柱形表面的外圆周表面11。多个辊15接触外圆周表面11,并且旋转鼓10由多个辊15保持。利用该结构,旋转鼓10可关于作为旋转轴方向的Y轴方向旋转。
旋转鼓10是由透光材料制造的,例如玻璃和亚克力。
台20具有与旋转鼓10相对的表面21。表面21形成为平面形状。驱动台20的驱动机构(未示出)连接至台20。驱动机构具有使台20可以沿例如水平方向(在该情况下,沿垂直于旋转鼓10的旋转轴方向的方向(X轴方向))移动的构造。作为驱动机构,例如,使用滚珠丝杠机构、皮带机构、利用电磁作用的线性电机等。
如图2中所示,在旋转鼓10的外圆周表面11上设置有具有光透过形状图案(下文中称为透光图案)的掩模M。即,掩模M沿着外圆周表面11的弯曲表面设置。
掩模M是由金属、树脂等制造的,形成为薄膜形状,并且结合在旋转鼓10的外圆周表面11。一般地,掩模M设置在外圆周表面11的整个圆周(360度)上。掩模M可以通过光刻、蚀刻、切割等形成。
应当注意,掩模M的透光图案可以通过打印等直接绘制在旋转鼓10的外圆周表面11上。
图3是示出了伸展的掩模M的实例的平面图。黑色部分是遮光部分,而白色部分是透光部分。换句话说,透光图案是网目形式。掩模M的透光图案不限于该图案,并且可以具有任何形状的图案。
光照射单元40具有生成非相干UV线的UV灯41,其作为发射作为能量线的光的光源。UV灯41基本上设置在旋转鼓10的中空部的中央,并且具有沿着Y轴方向的长形状。
进一步,光照射单元40具有设置在旋转鼓10的中空部的狭缝构件42。狭缝构件42不连接旋转鼓10,也不旋转。狭缝构件42可以由支撑构件(未示出)支撑。
狭缝构件42具有在台20的相对位置沿着Y轴方向纵长的狭缝42a。一般地,狭缝42a形成在与旋转鼓10的外圆周表面11中旋转鼓10的外圆周表面11与台20的表面21之间的距离最短的区域相对应的位置(与外圆周表面11相同的半径方向上狭缝构件42中的位置)上。
狭缝42a的沿X轴方向的宽度是大约0.1mm到1mm,但是不限于该范围。如上所述最短的旋转鼓10的外圆周表面11与台20的表面21之间的距离t是大约0.001mm到1mm。在该实施方式的情况下,旋转鼓10的外圆周表面11与台20的表面21之间的距离对应于通过固化液态材料R形成的固化材料R’(构造物)的厚度。即,通过调节该距离,可以设置要形成的构造物的厚度。
狭缝构件42由金属或树脂形成。狭缝构件42的内圆周表面是对于从UV灯41发射的光具有高反射率的材料形成。具有高反射率的内圆周表面可以通过在狭缝构件42上执行高反射率涂覆或通过利用具有高反射率的材料形成基材而形成。利用该结构,可以增加穿过狭缝42a的光量,因此可以提高光的使用效率。
UV灯41以基本上时间连续的方式发射光。“基本上时间连续的方式”的含义包括来自UV灯41的光发射量以充分短于旋转鼓10的旋转速度(台20的移动速度)的周期改变的形式。充分短于旋转鼓10的旋转速度的周期意味着材料R通过掩模M的透光图案接收足量的光并且材料R获得预定硬度的周期。
光照射单元40对于旋转鼓10与台20之间保持的材料的最大光照射可能范围是等于或稍大于狭缝构件42的狭缝42a的大小。即,该范围是沿着Y轴方向的线性照射区域。
构造物形成装置100设置有能够提供液态材料的材料供给单元(未示出)。如图2中所示,材料供给单元提供材料R给旋转鼓10和台20之间的区域(材料R的保持区域H)。取决于形成旋转鼓10和台20的材料、其形状、表面21的形态、材料种类等,预定量的材料R保持在旋转鼓10与台20之间的区域。
作为液态材料R,使用通过从UV灯41发射的UV线固化的树脂材料,即,UV固化树脂。代替UV灯41,可以使用发射可见光或红外线的灯,并且取决于所使用的灯,可以适当选择树脂材料。
材料供给单元(未示出)具有喷嘴,喷嘴具有狭缝或多个孔,并且从狭缝或多个孔喷出材料。
应当注意,可以不设置材料供给单元,而例如,操作人员可以手动地提供材料。
(构造物形成装置的操作)
将描述构造物形成装置100的操作。
材料供给单元(未示出)提供材料给旋转鼓10和台20之间的区域。根据材料种类、可以保持在保持区域H中的材料量、固化材料的移动速度(旋转鼓10和台20的移动速度等)适当设置来自材料供给单元的材料供给量或材料供给流。
当材料R保持在保持区域H中时,台20以恒定速度移动,并且光从UV灯41中发射出。通过狭缝构件42的狭缝42a、旋转鼓10和掩模M的透光部分,用光照射保持区域H中的材料R。
固化材料R的利用光照射的部分。固化的材料R’具有以一定机械强度将台20和旋转鼓10彼此连接在一起的功能。因此,随着台20移动,旋转鼓10旋转。此时,如稍后将描述,沿着在X轴方向的移动方向上的移动,旋转鼓10的外圆周表面11和台20的表面21之间的距离增加,连接功能被固化的材料R’减弱。因此,防止固化的材料保持与旋转鼓10连接。
如上所述,台20和旋转鼓10基本上以恒定速度移动,结果是可以形成具有细微的高度精确的图案形状的片状构造物。
如上所述,将来自清洁单元(清洁喷嘴)(未示出)的清洁液体,例如水或酒精,提供给台20上形成的构造物。因此,移除不固化和粘附至构造物的材料R。操作人员可以手动地执行清洁过程。
例如,利用图3中所示的掩模M,形成如图4中所示的网目状构造物。图4中所示的黑色部分是构造物(固化的材料),并且形成具有厚度(高度)t的肋部(参考图2)。
如上所述,在该实施方式中,通过不利用三维铸模而是利用二维掩模M,利用光照射固化的材料R’容易从旋转的旋转鼓10剥离。即,可以防止通过固化材料形成的图案受到损坏,这与相关领域的压印技术中使用三维铸模的情况不同。
即,构造物的纵横比越高,构造物从三维铸模上脱落就变得越困难。然而,根据该实施方式,可以克服该问题。
特别地,在该实施方式中,使用利用一维限制的液态表面方法的成型技术。即,利用一维限制液态表面方法的成型技术是沿着Y轴方向的线性液态表面受到旋转鼓10的限制并且利用光照射被限制的区域中的材料R的技术。
限制材料R的液体表面的区域和可固化区域成为沿着Y轴的线性形式,并且朝着X轴方向的移动方向移动。连同此,旋转鼓10的弯曲外圆周表面11离开台20的表面21。利用该结构,随着台20移动,固化的材料R’很容易从旋转鼓10的外圆周表面11剥离。
应当注意,为了增加当旋转鼓10随着台20旋转时台20和旋转鼓10的连接力,沿Y轴方向连续形成的透光部分可以设置在掩模M沿X轴方向的一个端部或两个端部。在该情况中,取决于透光部分,形成材料的连续固化部分,并且增加固化部分与旋转鼓10的外圆周表面11的接触区域,因此增加连接力。
或者,构造物形成装置100可以进一步设置有驱动单元,其与台20的移动同步地旋转旋转鼓10。
在这个实施方式中,UV灯41设置在旋转鼓10的中空部中,所以可以使构造物形成装置100小型化。
在这个实施方式中,掩模M设置在旋转鼓10的外圆周表面11上。利用该结构,可以尽可能地缩短掩模M与台20的表面21之间的距离t,这可以增加图案转印的分辨率。
在以上的实施方式中,每小时从UV灯41发射的光量设置为基本上恒定。然而,如图3中所示,在掩模M的透光图案的形状是单调的情况下,可以如下所述控制光照射单元40的发射光。即,控制单元可以在透光单元面对狭缝42a(在开启和关闭的情况下)时启动光的发射,或者将发射光量控制为变量,从而在此定时增加光量。
图5是用于说明旋转鼓10的外圆周表面11与光照射区域的平面之间的位移量的示图。
当在保持区域H中沿Y轴方向观看时旋转半径和光宽度分别由r和w表示。在图5中,为了有助于理解该说明,增加光宽度的大小。从保持区域中光照射部分的平面G在Z轴方向上的位移量(从平面G(具有宽度w)到外圆周表面11沿Z轴方向的距离)由d表示。
在角度θ微小,即,rsinθ=rθ成立的情况下,当关注微小的近似三角形F时,下面的两个等式成立。
rθ=w/2
w/2=d/sinθ,,即,w/2=d/θ
根据这些等式,获得d=w2/(4r)。例如,在r=100mm和w=1mm的情况下,获得d=0.0025mm。因此,位移量d是相当小的值。换句话说,光入射到旋转鼓10的外圆周表面11上的弯曲表面可以视为基本上平坦的表面,并且外圆周表面11上的入射宽度基本上是保持区域的宽度w。
图6是示出了作为参考实例的具有在压印技术中使用的三维铸模的辊的透视图。在辊110的外圆周表面115上形成三维铸模。例如,在日本专利申请公开第2011-102039号中所公开的压印技术中,如图7中所示,通过利用这样的辊110,UV固化树脂提供在外圆周表面115和转印记录纸120之间,并且利用UV线照射树脂。在该情况下,光照射区域不是线性形状,而是平面形状,这与本发明中的情况不同。这可以通过参考日本专利申请公开第2011-102039号中的图4等来清楚地理解。
在相关领域的压印技术中,使用了三维铸模,所以从铸模进行剥离没有如上所述那么容易。构造物的纵横比越高,困难就越明显。与此相反,通过根据以上实施方式的构造物形成装置100,可以克服这样的问题。
图8是示出该构造物的另一个实例的平面图。该附图示出了具有自相似形式(不规则形式)的蜂窝形状的构造物。此外,通过根据该实施方式的构造物形成装置100,可以形成具有任意图案的构造物,例如电线和微流路径。
(第二实施方式)
图9是示出了根据本发明的第二实施方式的构造物形成装置的侧视图。在下面的描述中,将简化或省略与包括在根据以上参考图1描述的实施方式的构造物形成装置100中所包括的相同的部分、功能等的说明,将主要描述不同点。
构造物形成装置200设置有用作具有弯曲表面的保持构件的保持辊60,代替以上所述的设置有平面表面21的台20。具体地,在外圆周表面61和旋转鼓10的弯曲外圆周表面之间,形成保持材料R的保持区域H,其中外圆周表面61是保持辊60的弯曲表面。
进一步,根据该实施方式的保持辊60施加张力,使得基膜(基材)25接触外圆周表面61并且保持材料R,其中基膜25介于其间。使基膜25与旋转鼓10和保持辊60同步地至少在供给筒(未示出)和卷绕筒(未示出)之间行进,同时经受后张力。在该情况下,供给盘和卷绕筒起到行进机构的作用。
在以上所述构造的构造物形成装置100中,作为固化材料R’的构造物形成在基膜25上。卷绕筒可以将形成有构造物的基膜25卷起,这可以增加构造物的生产率。
(第三实施方式)
图10A和图10B分别是根据本发明的第三实施方式的构造物形成装置的光照射单元的平面图和侧视图。
光照射单元设置有作为光源的发射激光的激光二极管43和以线性形式扩散激光的光学系统45。光学系统45包括两个圆柱形透镜451和452。在激光二极管43和光学系统45之间,设置有准直透镜46。
通过如上所述的光照射单元,可以形成沿着Y轴方向的线性光。即,即使未设置狭缝构件42,也可以在保持区域H中形成线性光照射区域。
进一步,光照射单元具有允许设置在旋转鼓10中的大小,结果是可以实现构造物形成装置的小型化。
(其他实施方式)
本发明不限于以上实施方式,可以具有各种其他实施方式。
在以上的实施方式中,掩模M设置在旋转鼓10的外圆周表面11上,但是也可以设置在旋转鼓10的内圆周表面上。
在以上的实施方式中,掩模M设置在旋转鼓10的整个外圆周表面11(360度)上,但是也可以设置在外圆周表面11的一部分上。其范围是例如30度到270度,但是不限于该范围。
或者,除了掩模M之外,也不需要360度地设置狭缝构件42,并且可以部分地设置狭缝构件42。
在以上的实施方式中,作为旋转体,使用具有弯曲外圆周表面11的圆筒状旋转鼓10。然而,旋转体的形状不限于圆筒形状,也可以仅一部分外圆周表面(至少对应于保持材料的保持区域H的部分)形成为弯曲形状。例如,旋转体可以具有半圆筒形状、1/4圆筒状、椭圆筒状或这些形状的组合和多角筒状。对于根据第二实施方式的具有弯曲表面的保持辊60也是如此。
或者,弯曲表面可以不形成在旋转体的外圆周表面上。例如,旋转体可以具有这样的外圆周表面,该外圆周表面是具有三角形或另一种多边形状(例如五边形和六边形)的筒状体,并且包括多个平面。
在第二实施方式中,未设置基膜25。换句话说,通过保持辊60可以将合适的张力直接施加于保持区域H中形成的构造物。此外,由此形成的构造物可以通过卷绕筒(未示出)卷起。
根据第三实施方式的光照射单元设置有沿Y轴方向扩散激光宽度的光学系统45。然而,光照射单元可以具有扫描器,其利用从激光光源发射的激光沿Y轴方向进行扫描。在该情况下,扫描的往复运动频率只需要充分快于台20和旋转鼓10的移动。作为扫描器,可以使用多边形扫描器、电流扫描仪等。
在以上的实施方式中,光照射单元设置在旋转鼓中。然而,光照射单元可以部分地或完全地设置在旋转辊外部。
在以上的实施方式中,UV线用作固化材料的能量线。然而,除了以上所述的UV线之外,能量线可以是电子束、热、超声波等。
在以上实施方式的特性部分中,可以组合两个或多个特性部分。
应当注意,本发明可以采用以下的构造物。
(1)一种构造物形成装置,包括:
旋转体,在其上能够设置进行了图案化的掩模;
照射单元,能够利用能量线照射沿着旋转体的旋转轴方向的区域,其中掩模介于旋转体与照射单元之间;以及
保持构件,被设置为与旋转体相对,从而形成保持利用能量线固化的材料的保持区域。
(2)根据(1)所述的构造物形成装置,其中,
旋转体具有弯曲的外圆周表面,从而在保持构件和外圆周表面之间形成保持区域。
(3)根据(1)或(2)所述的构造物形成装置,其中,
照射单元包括发射作为能量线的光的光源。
(4)根据(3)所述的构造物形成装置,其中,
照射单元进一步包括狭缝构件,其具有狭缝,该狭缝通过使从光源发射的光从其穿过而在保持区域上形成线性照射区域。
(5)根据(3)所述的构造物形成装置,其中,
光源是发射激光的光源,以及
照射单元进一步包括线性地扩散所发射的激光的光学系统。
(6)根据(3)至(5)中任一项所述的构造物形成装置,其中,
旋转体是具有设置光源的中空部的筒状体。
(7)根据(1)至(6)中任一项所述的构造物形成装置,其中,
旋转体具有设置掩模的外圆周表面。
(8)根据(1)至(6)中任一项所述的构造物形成装置,其中,
在保持构件的表面上,至少形成保持区域的区域是平坦表面。
(9)根据(1)至(6)中任一项所述的构造物形成装置,其中,
在保持构件的表面上,至少形成保持区域的区域是弯曲表面。
(10)根据(9)所述的构造物形成装置,进一步包括:
行进机构,被构造为使保持通过固化材料形成的构造物的膜状基材行进,
其中,保持构件将张力施加于基材。
(11)根据(9)或(10)所述的构造物形成装置,进一步包括:
卷绕筒,被构造为卷起通过固化材料形成的构造物。
(12)根据(1)至(11)中任一项所述的构造物形成装置,其中,
根据旋转体与保持构件之间的距离,确定要形成的构造物的厚度。
(13)一种构造物制造方法,方法包括:
将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与旋转体相对的保持构件之间,在旋转体上能够设置进行了图案化的掩模;以及
利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。
(14)一种构造物,通过以下方法制造,方法包括:
将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与旋转体相对的保持构件之间,在旋转体上能够设置进行了图案化的掩模;以及
利用能量线通过掩模照射所保持的材料的沿着旋转体的旋转轴方向的区域。
本发明包含涉及于2012年3月28日向日本专利局提交的日本在先专利申请JP2012-073796中所公开的主题,其全部内容通过引用结合于此。
本领域技术人员应当理解,根据设计需求和其他因素,在所附权利要求或其等同物的范围内,可以进行各种修改、组合、子组合和变形。
Claims (15)
1.一种构造物形成装置,包括:
旋转体,在其上能够设置进行了图案化的掩模;
照射单元,能够利用能量线照射沿着所述旋转体的旋转轴方向的区域,其中所述掩模介于所述旋转体与所述照射单元之间;以及
保持构件,被设置为与所述旋转体相对,从而形成保持利用所述能量线固化的材料的保持区域,其中,
利用所述能量线通过所述掩模进行照射,能够在所述保持区域中形成线性照射区域,其中,
所述掩模具有包括透光部分与遮光部分的透光图案,从而通过选择性地透射与遮挡光来形成预定图案。
2.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
所述旋转体具有弯曲的外圆周表面,从而在所述保持构件和所述外圆周表面之间形成所述保持区域。
3.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
所述照射单元包括发射作为所述能量线的光的光源。
4.根据权利要求3所述的构造物形成装置,其中,
所述照射单元进一步包括狭缝构件,其具有狭缝,所述狭缝通过使从所述光源发射的光从其穿过而在所述保持区域上形成线性照射区域。
5.根据权利要求3所述的构造物形成装置,其中,
所述光源是发射激光的光源,以及
所述照射单元进一步包括线性地扩散所发射的激光的光学系统。
6.根据权利要求3所述的构造物形成装置,其中,
所述旋转体是具有设置所述光源的中空部的筒状体。
7.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
所述旋转体具有设置所述掩模的外圆周表面。
8.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
在所述保持构件的表面上,至少形成所述保持区域的区域是平坦表面。
9.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
在所述保持构件的表面上,至少形成所述保持区域的区域是弯曲表面。
10.根据权利要求9所述的构造物形成装置,进一步包括:
行进机构,被构造为使保持通过固化材料形成的构造物的膜状基材行进,
其中,所述保持构件将张力施加于所述基材。
11.根据权利要求9所述的构造物形成装置,进一步包括:
卷绕筒,被构造为卷起通过固化材料形成的构造物。
12.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
根据所述旋转体与所述保持构件之间的距离,确定要形成的构造物的厚度。
13.根据权利要求1所述的构造物形成装置,其中,
所述掩模被设置在所述旋转体的整个外表面上。
14.一种构造物制造方法,所述方法包括:
将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与所述旋转体相对的保持构件之间,在所述旋转体上能够设置进行了图案化的掩模;以及
利用所述能量线通过所述掩模照射所保持的材料的沿着所述旋转体的旋转轴方向的区域,从而能够在保持材料的保持区域中形成线性照射区域,其中
所述掩模具有包括透光部分与遮光部分的透光图案,从而通过选择性地透射与遮挡光来形成预定图案。
15.一种构造物,通过以下方法制造,所述方法包括:
将通过能量线的能量固化的材料保持在旋转体与设置为与所述旋转体相对的保持构件之间,在所述旋转体上能够设置进行了图案化的掩模;以及
利用所述能量线通过所述掩模照射所保持的材料的沿着所述旋转体的旋转轴方向的区域,从而能够在保持材料的保持区域中形成线性照射区域,其中
所述掩模具有包括透光部分与遮光部分的透光图案,从而通过选择性地透射与遮挡光来形成预定图案。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012-073796 | 2012-03-28 | ||
JP2012073796A JP2013207060A (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 構造物形成装置、構造物の製造方法及び構造物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103358551A CN103358551A (zh) | 2013-10-23 |
CN103358551B true CN103358551B (zh) | 2017-09-08 |
Family
ID=49235418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310088555.1A Active CN103358551B (zh) | 2012-03-28 | 2013-03-19 | 构造物形成装置、构造物制造方法和构造物 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11267168B2 (zh) |
JP (1) | JP2013207060A (zh) |
CN (1) | CN103358551B (zh) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6233001B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2017-11-22 | ソニー株式会社 | 造形装置および造形物の製造方法 |
JP6415120B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-10-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
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2013
- 2013-03-19 CN CN201310088555.1A patent/CN103358551B/zh active Active
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US20130260110A1 (en) | 2013-10-03 |
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |