CN103215638A - 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 - Google Patents
一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103215638A CN103215638A CN2013101124469A CN201310112446A CN103215638A CN 103215638 A CN103215638 A CN 103215638A CN 2013101124469 A CN2013101124469 A CN 2013101124469A CN 201310112446 A CN201310112446 A CN 201310112446A CN 103215638 A CN103215638 A CN 103215638A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tungsten sheet
- tungsten
- heat shielding
- sapphire crystal
- sheet group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组，所述钨片中央设有开孔，所述开孔直径由上往下依次减小。本发明可以增加中心区域的散热，减少边缘区域的辐射散热。退火时，可以增加中心区域的降温速率，使晶体温度分布更加均匀，最大温差减小，从而减少晶体开裂。增加保温效果，降低运行功率，节约成本，提高晶体成品率。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶体生长领域的热屏，尤其涉及一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏。
背景技术
现有蓝宝石晶体生长炉一般采用平行放置的热屏，包括顶部热屏、底部热屏和侧部热屏，通常这种热屏为多片结构，每片的形状结构相同。晶体生长放肩阶段时，现有底部热屏存在明显的不足：蓝宝石生长时，需要避免坩埚边缘结晶，以防止多晶产生，从而避免出现过多晶界，现有顶部热屏肩部通过热辐射向顶部散热，导致边缘散热过快，进而边缘结晶，产生大量的晶界，严重时导致开裂； 在退火阶段时，由于晶体导热较差，所以晶体中间温度高于边缘温度，再加上平行热屏的热辐射作用，使得内外温差过大，也容易导致晶体开裂等严重问题。
发明内容
发明目的：本发明的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，不但可以减少长晶过程中晶界的产生，而且可以减少由于退火温差过大而引起的晶体开裂，提高晶体成品率。
技术方案：为了实现以上目的，本发明所述的一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组，所述钨片中央设有开孔，所述开孔直径由上往下依次减小。
在本发明的一个具体实施例中，所述热屏还包括由若干相同的钨片同轴叠置而成的第二钨片组，所述第二钨片组置于第一钨片组钨片开孔较小一侧，所述第二钨片组钨片开孔直径不大于第一钨片组钨片开孔的最小直径。
在本发明的另一个具体实施例中，所述钨片间设有隔离弹簧。
在本发明的再一个具体实施例中，所述隔离弹簧是首尾相连的弹簧圈，所述弹簧圈同轴分布在钨片之间。
在本发明的又一个具体实施例中，所述隔离弹簧垂直于钨片表面均匀分布在钨片之间。
有益效果：本发明提供的蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，由于该热屏由内到外逐渐增加内径，可以增加中心区域的散热，减少边缘区域的辐射散热。退火时，可以增加中心区域的降温速率，使晶体温度分布更加均匀，最大温差减小，从而减少晶体开裂。增加保温效果，降低运行功率，节约成本，提高晶体成品率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明中每层弹簧圈同轴排布示意图；
图3为本发明中隔离弹簧竖向排布结构局部示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明。
本发明的一个实施例为如图1所示，以蓝宝石晶体生长炉的阶梯状底部热屏为例，该阶梯状热屏包括由若干钨片3同轴叠置而成的第一钨片组1和由若干相同的钨片3同轴叠置而成的第二钨片组2，第二钨片组2置于第一钨片组1下方。第一钨片组1和第二钨片组2的钨片3中央都设有开孔4，其中第一钨片组钨片开孔4直径由上往下依次减小，第二钨片组钨片的开孔4直径小于等于第一钨片组最底层一片钨片3的开孔4直径。各个钨片3间设有隔离弹簧5进行均匀隔离。如图2所示，隔离弹簧5选用了首尾相连的弹簧圈，每两片钨片3之间布置多个这样的弹簧圈，这些弹簧圈具有共同的轴心，多个弹簧圈形成了同心圆的结构。顶部热屏结构为底部热屏结构的垂直翻转，即第二钨片组2置于第一钨片组1上方，第一钨片组钨片开孔4直径由上往下依次增大。顶部热屏可固定在炉盖上，底部热屏可上下移动。
本发明的另一个实施例结构与上一实施例结构差别在于，如图3所示的，隔离弹簧5选用了长度较短的弹簧，隔离弹簧5垂直布置在钨片3之间，且分布均匀，达到均匀支撑钨片3的目的。
该阶梯状热屏，呈均匀分布，使得炉内温度分布为由中心到边缘逐渐升高的趋势，底部热屏可上下移动，在长晶过程中保持不动，退火时，可根据热场需要，自行升降底部热屏。整个热屏增加保温效果，降低运行功率，节约成本，提高晶体成品率。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此来限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述热屏包括由若干钨片(3)同轴叠置而成的第一钨片组(1)，所述钨片(3)中央设有开孔(4)，所述开孔(4)直径由上往下依次减小。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述热屏还包括由若干相同的钨片(3)同轴叠置而成的第二钨片组(2)，所述第二钨片组(2)置于第一钨片组(1)钨片开孔较小一侧，所述第二钨片组钨片开孔(4)直径不大于第一钨片组钨片开孔(4)的最小直径。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述钨片(3)间设有隔离弹簧(5)。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述隔离弹簧(5)是首尾相连的弹簧圈，所述弹簧圈同轴分布在钨片(3)之间。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述隔离弹簧(5)垂直于钨片(3)表面均匀分布在钨片(3)之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013101124469A CN103215638A (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013101124469A CN103215638A (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103215638A true CN103215638A (zh) | 2013-07-24 |
Family
ID=48813770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2013101124469A Pending CN103215638A (zh) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103215638A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105088332A (zh) * | 2015-09-02 | 2015-11-25 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构 |
| CN108198933A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-22 | 扬州乾照光电有限公司 | 一种led芯片、制备方法及led晶片 |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002097097A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-04-02 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | Ｃｚ法単結晶引上げ装置 |
| CN101323985A (zh) * | 2008-07-25 | 2008-12-17 | 哈尔滨工业大学 | 一种大尺寸高熔点晶体生长用的筒形隔热屏 |
| CN201411509Y (zh) * | 2009-06-26 | 2010-02-24 | 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司 | 一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体 |
| CN101838846A (zh) * | 2010-02-23 | 2010-09-22 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶炉装置 |
| CN201942778U (zh) * | 2011-02-17 | 2011-08-24 | 李欣 | 多温区蓝宝石单晶生长炉 |
| US20120000414A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | Bondokov Robert T | Growth of large aluminum nitride single crystals with thermal-gradient control |
| CN202247014U (zh) * | 2011-09-28 | 2012-05-30 | 刘小梅 | 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏 |
| CN202247013U (zh) * | 2011-09-28 | 2012-05-30 | 刘小梅 | 一种蓝宝石单晶炉用的分体层叠式圆筒形实体热屏 |
| CN202648375U (zh) * | 2012-02-02 | 2013-01-02 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种高温高真空电阻炉 |
| CN102864497A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-09 | 南京晶升能源设备有限公司 | 蓝宝石单晶炉隔热保温系统 |
| CN102965726A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-03-13 | 苏州巍迩光电科技有限公司 | 一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构 |
| CN102978686A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-03-20 | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 | 一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统 |
| CN203200377U (zh) * | 2013-04-02 | 2013-09-18 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
-
2013
- 2013-04-02 CN CN2013101124469A patent/CN103215638A/zh active Pending
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002097097A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-04-02 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | Ｃｚ法単結晶引上げ装置 |
| CN101323985A (zh) * | 2008-07-25 | 2008-12-17 | 哈尔滨工业大学 | 一种大尺寸高熔点晶体生长用的筒形隔热屏 |
| CN201411509Y (zh) * | 2009-06-26 | 2010-02-24 | 哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司 | 一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体 |
| CN101838846A (zh) * | 2010-02-23 | 2010-09-22 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶炉装置 |
| US20120000414A1 (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | Bondokov Robert T | Growth of large aluminum nitride single crystals with thermal-gradient control |
| CN201942778U (zh) * | 2011-02-17 | 2011-08-24 | 李欣 | 多温区蓝宝石单晶生长炉 |
| CN202247014U (zh) * | 2011-09-28 | 2012-05-30 | 刘小梅 | 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏 |
| CN202247013U (zh) * | 2011-09-28 | 2012-05-30 | 刘小梅 | 一种蓝宝石单晶炉用的分体层叠式圆筒形实体热屏 |
| CN202648375U (zh) * | 2012-02-02 | 2013-01-02 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种高温高真空电阻炉 |
| CN102864497A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-09 | 南京晶升能源设备有限公司 | 蓝宝石单晶炉隔热保温系统 |
| CN102978686A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-03-20 | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 | 一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统 |
| CN102965726A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-03-13 | 苏州巍迩光电科技有限公司 | 一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构 |
| CN203200377U (zh) * | 2013-04-02 | 2013-09-18 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105088332A (zh) * | 2015-09-02 | 2015-11-25 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构 |
| CN108198933A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-22 | 扬州乾照光电有限公司 | 一种led芯片、制备方法及led晶片 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102534805B (zh) | 一种碳化硅晶体退火工艺 | |
| CN204417642U (zh) | 一种用于制备碳化硅晶体的加热装置 | |
| CN107604439A (zh) | 一种生长大尺寸碳化硅单晶的热场结构 | |
| CN102677158A (zh) | 一种带副室结构的泡生法晶体生长炉 | |
| CN105088333A (zh) | 一种泡生法蓝宝石晶体生长炉 | |
| CN102560631A (zh) | 蓝宝石晶体的生长方法及设备 | |
| CN103215638A (zh) | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 | |
| CN202730295U (zh) | 一种铸锭单晶硅的坩埚护板 | |
| CN203200377U (zh) | 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 | |
| CN103014867B (zh) | 一种氮化铝晶体生长制备炉 | |
| CN204714946U (zh) | 温度场可控的氮化铝晶体生长装置及工艺 | |
| CN203583004U (zh) | 一种分段式悬挂热屏 | |
| CN203440499U (zh) | 一种节能蓝宝石晶体炉 | |
| CN102154683A (zh) | 金属发热体结构单多晶定向凝固系统 | |
| CN104120487A (zh) | 板状蓝宝石晶体生长方法及生长设备 | |
| CN102605421A (zh) | 一种单晶随炉等温退火方法及工装 | |
| CN113502531A (zh) | 一种多隔区垂直温度梯度可调的铸锭单晶硅生长设备及方法 | |
| CN201908152U (zh) | 一种改进的直拉单晶炉 | |
| CN203049096U (zh) | 一种氮化铝晶体生长制备炉 | |
| CN207294941U (zh) | 方硅芯铸锭炉炉体 | |
| CN202558975U (zh) | 一种单晶随炉等温退火工装 | |
| CN205603722U (zh) | 一种能有效减少蓝宝石单晶之间热应力差值的坩埚 | |
| CN206109596U (zh) | 采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏 | |
| CN104451876A (zh) | 晶体生长用非等径鸟笼状发热体 | |
| CN101935870A (zh) | 一种单晶炉的石墨热场 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130724 |