CN202247014U - 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏 - Google Patents

一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏 Download PDF

Info

Publication number
CN202247014U
CN202247014U CN2011203794724U CN201120379472U CN202247014U CN 202247014 U CN202247014 U CN 202247014U CN 2011203794724 U CN2011203794724 U CN 2011203794724U CN 201120379472 U CN201120379472 U CN 201120379472U CN 202247014 U CN202247014 U CN 202247014U
Authority
CN
China
Prior art keywords
sapphire single
thermoscreen
truncated cone
sheet metal
heat shield
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011203794724U
Other languages
English (en)
Inventor
刘小梅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN2011203794724U priority Critical patent/CN202247014U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202247014U publication Critical patent/CN202247014U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏。它由同轴心、同外径的多层高熔点金属薄片累叠而成，以高熔点金属制作的螺栓或铆钉组装在一起，层与层之间以高熔点金属制作的垫圈分隔和架空，中央留有较大通孔，所用金属薄板通常主要为轧制钼板。本实用新型的技术效果在于，提供了一种结构简单、性能优异的蓝宝石单晶炉端面用的热屏，这种结构的热屏既可用作坩埚上方的上热屏，也可用作坩埚下方的下热屏，将上下隔热屏制成多层结构，可提高隔热、保温性能，同时，还可减少钨钼等较为贵重的金属的用量。

Description

一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏
技术领域
本实用新型涉及晶体生长领域的一种隔热屏，特别涉及一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏。
背景技术
隔热屏(简称热屏)是蓝宝石单晶炉的隔热保温结构，其作用是保障炉膛热场的温度均匀性和提高热能利用率。由于蓝宝石单晶体生长的热场温度超过2000℃，在这样的高温下，隔热屏要有较好的耐热性能及强度，同时，环境气氛要纯净，不能有影响产品质量的挥发物，这对隔热屏性能提出了甚为苛刻的要求。
而国内蓝宝石单晶炉通常采用石墨炭毡作隔热屏，石墨式热屏系统成本低，但在晶体生长过程中炭原子会渗入蓝宝石晶体内部，这些炭虽然可经退火除去，但其所留下的晶格缺位却无法消除，从而影响产品质量。
发明内容
为解决石墨隔热屏在加热时产生的挥发炭对蓝宝石晶体质量的影响问题，本实用新型提供一种工艺简单、使用效果良好、材料高温性能优异，有效的提高了隔热屏的隔热保温效果、热能利用率；提高热屏稳定强度和使用寿命，且不会产生挥发物，可用作蓝宝石单晶炉上、下端面用的蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏。
为了实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是，一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，是由同轴心线的至少两层高熔点金属薄片累叠而成，所述的金属薄片通过高熔点金属制作的螺栓或铆钉组装在一起，各层金属薄片之间设有用于分隔和架空的以高熔点金属制作的垫圈，金属薄片中央留有通孔。
所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，所述的组成热屏的金属薄片为圆形；金属薄片的层数为2～50层，金属薄片的厚度为0.1～5.0mm；各层金属薄片的层间距为1～50mm。其中顶层和底层可以比中间层厚；各层金属薄片之间的层间距既可均匀等距，也可按一定规律分布。各层金属片的外径可根据具体需要制成相同或不同。
所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，用于制作金属薄片、垫圈以及螺栓或铆钉的高熔点金属材料为纯钨或纯钼或稀土型掺杂钼或硅-铝-钾型掺杂钼。稀土型掺杂钼的稀土氧化物含量(重量百分比)在0.1～5.0％之间，硅-铝-钾型掺杂钼的钾含量在50～1000ppm之间。
所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，所述的隔热屏为蓝宝石单晶炉坩埚的下热屏。
所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，所述的隔热屏为蓝宝石单晶炉坩埚的上热屏，所述的隔热屏还包括一非钨钼材料层，所述的非钨钼材料层设置于高熔点金属薄片上方。非钨钼材料层通常为不锈钢，但不限于不锈钢，附加层的外径、内径一般与热屏主体的钨钼圆板的外径、内径不同，通常要大一些；且出于美观，其内孔可设计出多种花样。
本实用新型上热屏的底板和下热屏的顶板采用钨板更佳，下热屏的中央通孔的孔型通常为圆孔或方孔或其他正多边形孔，孔径一般是上下一致；上热屏的中央通孔的孔型通常在圆孔或方孔的基础上相互垂直的方向延伸，孔径为上宽下窄的梯状。
本实用新型既可将整个上热屏或下热屏作为一个整体，也可分拆为两部分甚至两部分以上以分体式的方式使用，比如热屏本来是20层的，可以组装成两个10层，使用时叠在一起。一般上热屏就通常分为两部分，分别作为坩埚盖和上顶盖。
本实用新型的技术效果在于，将上下隔热屏制成多层结构，由于一般上下热屏在使用中最易损耗的是靠近坩埚的部分，原有热屏损坏后需整体更换，而本实用新型只需更换上下热屏靠近坩埚的损耗部分，其他部分如果仍完好的话可继续使用，降低了使用成本，且使用效果与原热屏相同。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为本实用新型带有非钨钼材料层上热屏的结构示意图；
图4为本实用新型带有非钨钼材料层上热屏的俯视图；
其中1为顶层，2为底层，3为中间层，4为螺杆，5为螺母，6为垫圈，7为通孔，8为非钨钼材料层。
具体实施方式
实施例1
参见图1、图2，本实施例为下热屏，由17层同轴线的钨钼所制的金属圆片叠加、组合而成，顶层1和底层2的厚度为2mm，中间层3的厚度为0.5mm，总层数为共15层；项层2所用材质为轧制钨板(若上热屏则是底层为钨板)，其余16层都是轧制钼板。这些钨钼圆片以6根钼制的螺杆4串装在一起，螺杆4两端以12个钼制的螺母5紧固；各层次之间以96个钼制的垫圈6分隔，垫圈6串在螺杆4上；中央则为通孔7。
本实施例各部件的尺寸如下：钨钼圆片的直径为300mm，顶层1和底层2的厚度为2mm，中间层3的厚度为0.5mm；钼螺杆4和钼螺母5为M6型，钼垫圈6外径Φ12mm、内径Φ7mm、高度4.5mm；中央的通孔7则与用作上热屏还是用作下热屏有关，用作下热屏时，由于坩埚支墩要从热屏的通孔7中穿过，因此，孔径都较大，图1的孔径就是按下热屏的要求绘制的，上下孔径一致辞，为Φ80mm。
实施例2
参见图3、图4，本实施例为上热屏，其与下热屏的不同之处是热屏主体部分的通孔7孔径变小，但向相互垂直的方向延伸，通孔7的中央部分用于穿过籽晶装置，延伸部分用于观察；另一个变化是在热屏的主体部分之上加装了一个不锈钢的非钨钼材料层8，其作用时炉子装卸便于搬动上热屏，炉子工作时热屏通常靠这个非钨钼材料层8来架放在炉体上；另外，由下热屏的底层用钨板改为顶层用钨板。

Claims (5)

1.一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，其特征在于，是由同轴心线的至少两层高熔点金属薄片累叠而成，所述的金属薄片通过高熔点金属制作的螺栓或铆钉组装在一起，各层金属薄片之间设有用于分隔和架空的以高熔点金属制作的垫圈，金属薄片中央留有通孔。
2.根据权利要求书1所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，其特征在于，所述的组成热屏的金属薄片为圆形；金属薄片的层数为2～50层，金属薄片的厚度为0.1～5.0mm；各层金属薄片的层间距为1～50mm。
3.根据权利要求书1所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，其特征在于，用于制作金属薄片、垫圈以及螺栓或铆钉的高熔点金属材料为纯钨或纯钼或稀土型掺杂钼或硅-铝-钾型掺杂钼。
4.根据权利要求书1所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，其特征在于，所述的隔热屏为蓝宝石单晶炉坩埚的下热屏。
5.根据权利要求书1所述的一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏，其特征在于，所述的隔热屏为蓝宝石单晶炉坩埚的上热屏，所述的隔热屏还包括一非钨钼材料层，所述的非钨钼材料层设置于高熔点金属薄片上方。
CN2011203794724U 2011-09-28 2011-09-28 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏 Expired - Fee Related CN202247014U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011203794724U CN202247014U (zh) 2011-09-28 2011-09-28 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011203794724U CN202247014U (zh) 2011-09-28 2011-09-28 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202247014U true CN202247014U (zh) 2012-05-30

Family

ID=46108284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011203794724U Expired - Fee Related CN202247014U (zh) 2011-09-28 2011-09-28 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202247014U (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102864497A (zh) * 2012-09-26 2013-01-09 南京晶升能源设备有限公司 蓝宝石单晶炉隔热保温系统
CN102978686A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统
CN102978684A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统
CN103132135A (zh) * 2012-12-13 2013-06-05 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种高效新型蓝宝石晶体生长系统
CN103205804A (zh) * 2013-04-27 2013-07-17 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种蓝宝石单晶炉底部保温结构
CN103215638A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏
CN103215635A (zh) * 2013-04-27 2013-07-24 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种蓝宝石单晶炉保温结构
CN103911656A (zh) * 2012-12-28 2014-07-09 中美矽晶制品股份有限公司 长晶装置及晶体制造方法
CN104711679A (zh) * 2013-12-12 2015-06-17 航天睿特碳材料有限公司 一种单晶炉碳/碳复合材料隔热屏及其制备方法
CN109967827A (zh) * 2017-12-28 2019-07-05 株式会社达谊恒 焊接用传感器装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102864497A (zh) * 2012-09-26 2013-01-09 南京晶升能源设备有限公司 蓝宝石单晶炉隔热保温系统
CN102978686A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统
CN102978684A (zh) * 2012-12-04 2013-03-20 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统
CN103132135A (zh) * 2012-12-13 2013-06-05 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 一种高效新型蓝宝石晶体生长系统
CN103911656A (zh) * 2012-12-28 2014-07-09 中美矽晶制品股份有限公司 长晶装置及晶体制造方法
CN103911656B (zh) * 2012-12-28 2016-08-31 中美矽晶制品股份有限公司 长晶装置及晶体制造方法
CN103215638A (zh) * 2013-04-02 2013-07-24 苏州海铂晶体有限公司 一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏
CN103215635A (zh) * 2013-04-27 2013-07-24 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种蓝宝石单晶炉保温结构
CN103215635B (zh) * 2013-04-27 2016-03-16 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 一种蓝宝石单晶炉保温结构
CN103205804B (zh) * 2013-04-27 2016-04-20 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 一种蓝宝石单晶炉底部保温结构
CN103205804A (zh) * 2013-04-27 2013-07-17 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 一种蓝宝石单晶炉底部保温结构
CN104711679A (zh) * 2013-12-12 2015-06-17 航天睿特碳材料有限公司 一种单晶炉碳/碳复合材料隔热屏及其制备方法
CN109967827A (zh) * 2017-12-28 2019-07-05 株式会社达谊恒 焊接用传感器装置
CN109967827B (zh) * 2017-12-28 2021-09-21 株式会社达谊恒 焊接用传感器装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202247014U (zh) 一种蓝宝石单晶炉用的圆台形隔热屏
CN202830107U (zh) 一种适用于井式炉的钢丝盘条退火料架
CN102605192B (zh) 磁控管用无氧铜管的制备方法
CN102605426B (zh) 一种用于超高温状态下产生温差的热场结构
CN202214452U (zh) 一种蓝宝石单晶炉用的分体嵌套式圆筒形隔热屏
CN1721563A (zh) Fe基非晶态合金带
KR20040002337A (ko) 가요성을 갖는 고순도 팽창 흑연시트와 그 제조방법, 및상기 시트를 이용한 카본 도가니의 내층
CN102433466A (zh) 一种含稀土元素的镍钴基高温合金及其制备方法
CN101775641A (zh) 用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构
CN102660719A (zh) 一种用于锆合金的加工工艺
CN107573050A (zh) 一种超大型锰锌铁氧体磁芯的制备方法
CN203501764U (zh) 一种用于钨烧结炉的隔板组件
WO2007011581A8 (en) Improved support structure for radiative heat transfer
CN205576258U (zh) 一种轴承套圈渗碳热处理用方形组合装架
CN102134744B (zh) 多晶硅铸锭炉隔热装置
CN202954139U (zh) 多晶硅铸锭用新型石墨护板
CN106623916A (zh) 制备钕铁硼磁体的低温烧结方法
CN103985535A (zh) 一种对RTB系磁体进行Dy扩散的方法、磁体和扩散源
CN102485978A (zh) 一种可以调节炉膛温度梯度的保温桶
CN102936753A (zh) 一种用于晶体生长的笼型加热装置
CN102995114B (zh) 大尺寸蓝宝石单晶生长炉用坩埚盖
CN203420011U (zh) 一种冷心可调的泡生法蓝宝石单晶生长的保温结构
TWI433940B (zh) 用於定位燃料棒的間隔格網
CN207688651U (zh) 一种生产钒氮合金双推板窑腐蚀区的拱顶结构
CN206173482U (zh) 一种蓝宝石生长炉用保温屏结构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120530

Termination date: 20130928