CN102934172B - 闪烁器面板以及放射线图像传感器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够容易变更在制造时的特性的闪烁器面板（1）以及放射线图像传感器（10）。闪烁器面板（1）具备：具有放射线入射面（3a）的闪烁器（3）；相对于闪烁器（3）被配置于入射面（3a）的相反侧并传播由闪烁器（3）所产生的光的光学纤维板FOP（2）；以及树脂层（5），相对于闪烁器（3）在入射面（3a）侧由含有颜色材料的树脂形成，并进行由闪烁器（3）所产生的光的吸收和反射的至少一种。

Description

闪烁器面板以及放射线图像传感器

技术领域

本发明涉及被用于放射线检测的闪烁器面板以及放射线图像传感器。

背景技术

一直以来，作为被用于放射线检测的闪烁器面板，众所周知有专利文献1所公开的闪烁器面板。在专利文献1中公开了具备以下所述构件的闪烁器面板：透过光的光学纤维板（fiberopticsplate）、被形成于光学纤维板上的闪烁器、覆盖该闪烁器的第1聚对二甲苯（polyparaxylylene）膜、被形成于第1聚对二甲苯膜上的Al（铝）膜、被形成于Al膜上的第2聚对二甲苯膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开2005-338067号公报

专利文献2：日本专利公告平5-39558号公报

专利文献3：日本专利申请公开2004-239713号公报

专利文献4：日本专利申请公开2000-9847号公报

专利文献5：日本专利4156709号公报

专利文献6：日本国际公开第99/66346号

专利文献7：日本专利申请公开平9-297181号公报

专利文献8：日本专利申请公开昭55-163500号公报

专利文献9：日本专利申请公开昭56-12600号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，上述那样的闪烁器面板中，在其构成上存在所谓制造时不容易变更光输出和分辨率等特性的问题。为此，在新设计对应于顾客要求的特性的闪烁器面板的时候，会产生极大的成本。

因此，本发明就是鉴于上述那样的情况而做出的悉心研究之结果，其目的在于提供一种在制造时能够容易变更特性的闪烁器面板以及放射线图像传感器。

解决技术问题的手段

闪烁器面板具备：具有放射线的入射面的闪烁器、相对于闪烁器被配置于入射面的相反侧并传播由闪烁器产生的光的光学纤维板、相对于闪烁器在入射面侧由含有颜色材料的树脂形成并进行由闪烁器产生的光的吸收以及反射的至少一种的树脂层。

根据该闪烁器面板，因为通过改变构成树脂层的颜色材料从而就能够变更在树脂层上的光的反射率或者吸收率，所以在制造时通过变更颜色材料从而就能够实现容易地变更闪烁器面板的特性。这样，就可大大降低在新制造特性不同的闪烁器面板时所产生的成本。

在上述闪烁器面板中，进一步具备被形成于闪烁器与树脂层之间的第1有机膜。

根据这样的结构，因为即使水分浸入到树脂层也能够通过第1有机膜作为防湿性保护膜来行使其功能从而抑制水分浸入到闪烁器，所以能够避免由于水分浸入而造成闪烁器的性能发生劣化。这就有助于闪烁器的长寿命化。

在上述闪烁器面板中也可以进一步具备相对于树脂层被形成于闪烁器的相反侧的第2有机膜。

根据这样的结构，能够由第2有机膜达成防止树脂层的剥离。另外，因为通过作为防湿性保护膜而行使其功能，从就能够抑制水分从外部浸入到闪烁器或者树脂层，所以能够避免由于水分的浸入而造成闪烁器或者树脂层的性能发生劣化，并且能够谋求到闪烁器面板的长寿命化。

在上述闪烁器面板中也可以进一步具备被形成于闪烁器与树脂层之间的第1有机膜、被形成于树脂层上的第2有机膜，树脂层在其外周缘的外侧第1有机膜和第2有机膜紧密结合。

根据这样的结构，因为由第1以及第2有机膜能够将树脂层与外部空气阻断，所以能够防止水分浸入到树脂层。由此，因为能够避免由于水分浸入而造成树脂层的性能发生劣化，所以能够谋求到闪烁器面板的长寿命化。

在上述闪烁器面板中，第1有机膜的膜厚可以小于第2有机膜的膜厚。

在此情况下，通过减薄第1有机膜的膜厚，从而就能够抑制由闪烁器产生的光在第1有机膜内发生散射、并且能够抑制这些散射光从闪烁器面板被输出。因此，根据这个闪烁器面板，因为能够抑制散射光从闪烁器面板被输出，所以能够提高闪烁器面板的性能。

在上述闪烁器面板中，可以是第1有机膜的膜厚为单分子膜水准的0.05μm~5μm，第2有机膜的膜厚为7μm~2000μm。另外，第2有机膜的膜厚也可以是10μm~30μm。

在上述闪烁器面板中，第1有机膜的外周缘也可以是到达光学纤维板的侧面。

在此情况下，因为光学纤维板上的闪烁器的侧面被第1有机膜覆盖，所以能够恰当地抑制水分从外部浸入到闪烁器，并且能够谋求到闪烁器面板的进一步高寿命化。

在上述闪烁器面板中，树脂层的外周缘也可以与入射面的外缘相一致。

在此情况下，因为树脂层的外周缘不从闪烁器的入射面突出，所以能够避免由于从入射面突出的树脂层而使得第1有机膜与第2有机膜能够紧密结合的区域变得狭窄。由此，因为能够充分确保第1以及第2有机膜的能够紧密结合的区域，所以实现了高可靠性的树脂层的保护。

在上述闪烁器面板中，树脂层的外周缘也可以在闪烁器中位于与入射面大致正交的面。

在此情况下，因为树脂层绕到与闪烁器的入射面大致正交的面而形成，所以在闪烁器内产生的光即使朝着该大致垂直的面，也能够进行由树脂层进行的反射或者吸收。另外，因为树脂层的外周缘不会到达光学纤维板，所以在光学纤维板的外周中能够确保第1有机膜和第2有机膜紧密结合的区域，并且实现了高可靠性的树脂层的保护。

放射线图像传感器具备：具有放射线的入射面的闪烁器、相对于闪烁器被配置于入射面相反侧并对由闪烁器产生的光进行摄像的摄像元件、相对于闪烁器在入射面侧由含有颜色材料的树脂形成并进行由闪烁器产生的光的吸收以及反射的至少一种的树脂层。

根据该放射线图像传感器，因为通过改变构成树脂层的颜色材料，从而就能够改变树脂层上的光的反射率或者吸收率，所以在制造时通过变更颜色材料，从而就能够实现容易地变更放射线图像传感器的特性。这就大大降低了在新制造特性不同的放射线图像传感器时所产生的成本。

在上述放射线图像传感器中，还可以进一步具备被形成于闪烁器与树脂层之间的第1有机膜。

根据这样的构成，因为通过第1有机膜作为防湿性保护膜来行使其功能，从而即使水分浸入到树脂层也能够抑制水分浸入到闪烁器，所以能够避免由于水分的浸入而造成闪烁器的性能劣化。这就有助于放射线图像传感器的长寿命化。

在上述放射线图像传感器中可以进一步具备相对于树脂层被形成于闪烁器的相反侧的第2有机膜。

根据这样的构成，能够由第2有机膜达成防止树脂层的剥离。另外，因为通过作为防湿性保护膜而行使其功能，从就能够抑制水分从外部浸入到闪烁器或者树脂层，所以能够避免由于水分的浸入而造成闪烁器或者树脂层的性能发生劣化，并且能够谋求到放射线图像传感器的长寿命化。

在上述放射线图像传感器中可以进一步具备被形成于闪烁器与树脂层之间的第1有机膜、相对于树脂层被形成于闪烁器相反侧的第2有机膜，并且在树脂层的外周缘的外侧中，第1有机膜和第2有机膜紧密结合。

通过这样的构成，因为由第1以及第2有机膜能够将树脂层与外部空气阻断，所以能够防止水分浸入到树脂层。由此，因为能够避免由于水分浸入而造成树脂层的性能发生劣化，所以能够谋求到放射线图像传感器的长寿命化。

在上述放射线图像传感器中，第1有机膜的膜厚可以小于第2有机膜的膜厚。

在此情况下，通过减薄第1有机膜的膜厚，从而就能够抑制由闪烁器产生的光在第1有机膜内发生散射、并且能够抑制这些散射光被放射线图像传感器检测出来。因此，根据该放射线图像传感器，因为能够抑制在第1有机膜内进行散射的散射光被检出，所以能够提高放射线图像传感器的性能。

在上述放射线图像传感器中，第1有机膜的膜厚为单分子膜水准的0.05μm~5μm，第2有机膜的膜厚为7μm~2000μm。另外，第2有机膜的膜厚也可以是10μm~30μm。

在上述放射线图像传感器中，第1有机膜的外周缘也可以是到达摄像元件的外表面。

在此情况下，因为摄像元件上的闪烁器的侧面被第1有机膜覆盖，所以能够恰当地抑制水分从外部浸入到闪烁器，并且能够谋求到放射线图像传感器的更进一步的长寿命化。

在上述放射线图像传感器中，树脂层的外周缘也可以与入射面的外缘相一致。

在此情况下，因为树脂层的外周缘不从闪烁器的入射面突出，所以能够避免由于从入射面突出的树脂层而使得第1有机膜与第2有机膜能够紧密结合的区域变得狭窄。由此，因为能够充分确保第1以及第2有机膜的能够紧密结合的区域，所以实现了高可靠性的树脂层的保护。

在上述放射线图像传感器中，树脂层的外周缘也可以在闪烁器中位于与入射面大致正交的面。

在此情况下，因为树脂层是绕到与闪烁器的入射面大致正交的面而形成的，所以在闪烁器内产生的光即使朝着该大致正交的面，也能够进行由树脂层进行的反射或者吸收。另外，通过从树脂层的外周缘使第1有机膜以及第2有机膜的外周缘突出，从而就能够确保第1有机膜和第2有机膜进行紧密结合的区域，并且实现了高可靠性的树脂层的保护。

发明效果

根据本发明就能够容易地实现闪烁器面板以及放射线图像传感器的制造时的特性的变更。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的闪烁器面板以及放射线图像传感器的第1实施方式的截面图。

图2是表示闪烁器面板的分辨率以及光输出与树脂层颜色的关系的图表。

图3是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第2实施方式的截面图。

图4是表示闪烁器面板的光输出的寿命特性与树脂层颜色的关系的图表。

图5是表示闪烁器面板的分辨率的寿命特性与树脂层颜色的关系的图表。

图6是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第3实施方式的截面图。

图7是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第4实施方式的截面图。

图8是表示本发明所涉及的放射线图像传感器的其他实施方式的截面图。

具体实施方式

以下是参照附图并就本发明的优选的实施方式进行详细的说明。还有，在各个附图中将相同符号标注于相同或者相当的部分，从而省略重复的说明。另外，各个附图中的尺寸、形状以及大小关系并不一定与实物相同。

[第1实施方式]

如图1所示，本实施方式所涉及的闪烁器面板1是一种将X射线等放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，并且与能够对闪烁光进行摄像的摄像元件7一起构成了放射线图像传感器10。作为构成放射线图像传感器10的摄像元件7，是采用将光电二极管阵列组合于薄膜晶体管的构件或CCD图像传感器等。

闪烁器面板1是由光学纤维板（以下称之为FOP）2、闪烁器3、作为防湿性保护膜起作用的第1有机膜4、树脂层5以及作为防湿性保护膜起作用的第2有机膜6所构成。FOP2是一种束扎多根光纤并使之一体化从而被形成为板状的构件。在FOP2的一侧的主面2a上形成有闪烁器3。另外，在FOP2的另一侧的主面2b上设置有摄像元件7。FOP2将从闪烁器3侧入射到主面2a的光传播到主面2b侧即摄像元件7侧。

闪烁器3是一种由掺杂了Tl（铊）的CsI（碘化铯）针状结晶构成的荧光体，它将入射的放射线转换成闪烁光。闪烁器3被形成于FOP2的一侧的主面2a上。在与闪烁器3的FOP2相反侧形成有入射放射线的入射面3a。另外，闪烁器3成为大致长方体状，其侧面3c与入射面3a正交。

FOP2以及闪烁器3被聚对二甲苯制的第1有机膜4覆盖。第1有机膜4是一种为了防止水分浸入到闪烁器3的有机膜。第1有机膜4覆盖闪烁器3的入射面3a以及侧面3c、FOP2中另一侧主面2b以外的部位。该第1有机膜4的外周缘4a到达FOP2的侧面2c。第1有机膜4的外周缘4a位于与FOP2的主面2b相同的平面内。

第1有机膜的膜厚可以是0.05μm~5μm。如果第1有机膜的膜厚小于0.05μm，则要保持形成树脂层5的面的均匀性将变得困难。另外，如果第1有机膜的膜厚超过了5μm，则闪烁光在通过第1有机膜的时候变得容易发生散射等，并且导致闪烁器面板1的性能下降的可能性变高。

树脂层5是一种作为吸收由闪烁器3所产生的闪烁光的光吸收层或者作为反射闪烁光的光反射层来行使其功能的树脂层。树脂层5是以在第1有机膜4上覆盖闪烁器3的入射面3a的形式形成的。树脂层5是以超过闪烁器3的入射面3a并绕到侧面3c的形式进行形成的，其外周缘5a是位于闪烁器3的侧面3c。另外，树脂层5是由含有颜色材料的树脂形成的，树脂层5的颜色是由颜色材料的种类所决定。通过改变该颜色材料的种类，从而就能够变更树脂层5的颜色即能够变更树脂层5的光的吸收率以及反射率。

在树脂层5上形成有为了保护树脂层5的第2有机膜6。第2有机膜6是一种与第1有机膜4相同的聚对二甲苯膜，它覆盖树脂层5以及第1有机膜4的外侧。该第2有机膜6的外周缘6a到达FOP2的侧面2c。第2有机膜6的外周缘6a位于与FOP2的主面2b相同的平面内。

第2有机膜6的膜厚被形成为大于第1有机膜4的膜厚。第2有机膜的膜厚可以是7μm~2000μm。另外，第2有机膜的膜厚也可以是10μm~30μm。如果第2有机膜6的膜厚小于7μm，则将变得难以确保闪烁器面板1的耐湿性。第2有机膜6的膜厚如果不会使X射线透过率降低，则对膜厚就没有特别的限定，但是从制造或者使用的观点出发其上限为2000μm。而且，从耐湿性的提高、X射线的透过率以及制造的观点出发优选为10μm~30μm的范围。还有，第2有机膜因为主要是作为防湿性保护膜来行使其功能，所以即使针孔等存在于第1有机膜，只要是作为整体能够形成均匀的膜即可，并且即使针孔等存在于第1有机膜，与只有一层有机膜的情况相比较也会因为与第2有机膜的协同效应而提高防湿性。

第2有机膜6与第1有机膜4夹入树脂层5，并在树脂层5的外周缘5a的外侧彼此紧密结合。换言之，第2有机膜6和第1有机膜4使树脂层5与外部空气相隔绝而成为密封状态。还有，只有FOP2中另一侧的主面2b没有被第1有机膜4或者第2有机膜6覆盖并且露出于外部。

在具备以上所述构成的第1实施方式所涉及的闪烁器面板1上如果从面板上方照射了X射线等的放射线，则放射线在闪烁器3内被转换成闪烁光，所产生的闪烁光入射到FOP2的主面2a。入射到主面2a的光在FOP2内传播并从另一侧的主面2b出射。然后，通过从另一侧的主面2b进行出射的光被摄像元件7摄像，从而进行在放射线图像传感器10上的放射线检测。

另外，闪烁器面板1的树脂层5，对由闪烁器3所产生的闪烁光中的在树脂层5侧（与FOP2相反侧）行进的光进行吸收或者反射。该树脂层5通过吸收闪烁光从而就能够减少在闪烁光中的串扰成分，并且能够提高由放射线图像传感器而获得的放射线图像的分辨率。另外，树脂层5通过将闪烁光反射到FOP2侧，从而就能够增大从FOP2向外部出射的光输出。

接着，参照图1并就第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的制造方法作如下说明。

首先，将FOP2加热到100℃。然后，由蒸镀法在FOP2的主面2a上使掺杂了Tl的CsI的针状结晶生长，并形成闪烁器3。

接着，将形成有闪烁器3的FOP2放入到CVD（ChemicalVaporDeposition）装置的蒸镀室内。在该蒸镀室内，由使FOP2露出于通过使聚对二甲苯原料升华而获得的蒸汽中的CVD法，而形成第1有机膜4。第1有机膜4是以覆盖闪烁器3和FOP2的侧面2c以及主面2a的形式形成的。

接着，通过将由含有特定颜色的颜色材料的树脂构成的涂料涂布于形成有第1有机膜4的FOP2上，从而形成树脂层5。作为像这样的涂料，可以使用将成为粘合剂的树脂溶入到有机溶剂等，并将颜料作为成为着色成分的颜色材料而混合的一般性的涂料。另外，关于涂料的种类可以使用搪瓷涂料、清漆（lacquer）涂料、聚氨酯涂料等各种各样种类的涂料。作为涂料的涂布方法可以使用以雾状喷涂涂料的喷雾涂布或毛刷涂刷、浸涂、旋转涂布等方法。此时，通过改变被用于树脂层5形成的涂料颜色（颜色材料的颜色），从就能够变更树脂层5上的光的吸收率以及反射率。

之后，再一次将形成有树脂层5的FOP2放入到CVD装置的蒸镀室内，与第1有机膜4相同地由CVD法对第2有机膜6进行成膜。第2有机膜6是以覆盖树脂层5以及第1有机膜4的形式进行形成的。由该工序而树脂层5成为被夹入到第1有机膜4与第2有机膜6之间的密封状态。通过进行以上工序，从而制造出第1实施方式所涉及的闪烁器面板1。

接着，就第1实施方所涉及的闪烁器面板1的光输出以及分辨率与树脂层5颜色的关系作如下说明。本发明人相对于树脂层5颜色不同的多个闪烁器面板1进行X射线照射并测定光输出以及分辨率。测定时的X射线照射条件如以下所述。

（A）X射线管电压：30kV

（B）X射线管电流：1.5mA

（C）铝滤波器的厚度：0.3mm

由以上条件测定闪烁器面板1的光输出以及分辨率的测定结果被表示于图2中。图2的横轴是表示分辨率，纵轴是表示光输出。关于闪烁器面板1的分辨率以及光输出，将在闪烁器的放射线入射侧形成Al（铝）反射膜来提高亮度特性的闪烁器面板（以下称之为“A型”，具体是以日本国际公报WO99/66350的图1所记载的形式按FOP、闪烁器、第1保护膜、铝反射膜、第2保护膜这样的顺序进行构成）作为基准相对性地进行评价。在图2中Xwh为白色颜料，Xbr为黑色涂料，Xgra为灰色涂料，Xgre为绿色涂料，Xre为红色涂料，Xbl为蓝色涂料，Xye为黄色涂料，并表示了由这些不同颜色形成各个树脂层5的闪烁器面板1的特性。Xwh、Xbr、Xgra、Xgre、Xre、Xbl、Xye中，第1有机膜4的膜厚和第2有机膜6的膜厚为相同的值。另外，XwhT是表示仅第1有机膜4的膜厚与Xwh不相同的闪烁器面板的特性。XwhT上的第1有机膜4的膜厚为Xwh上的第1有机膜4以及第2有机膜6的膜厚的五分之一。

另外，在图2中Y、Y1、Y2是与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1结构的不同的比较例。Y是表示仅由FOP、闪烁器3以及第1有机膜4构成的闪烁器面板的特性。Y1是表示上述A型的特性。另外，Y2是表示与A型不同并不形成反射膜而提高分辨率特性的闪烁器面板（以下称之为“B型”，具体是按FOP、闪烁器、金属吸收膜、保护膜这样的顺序进行构成）的特性。

如图2所示，通过变更树脂层5的颜色，从而就能够获得具有各种各样种类的光输出以及分辨率的闪烁器面板1。另外，使用白色涂料的闪烁器面板1与其他闪烁器面板相比较，则显示出光输出高而分辨率低的特性，使用黑色涂料的闪烁器面板1与其他闪烁器面板相比较则显示出光输出低而分辨率高的特性。

接着，就第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的作用效果作如下说明。

根据第1实施方式所涉及的闪烁器面板1，因为通过改变构成树脂层5的颜色材料，从而就能够变更树脂层5上的光的反射率或者吸收率，所以通过变更用于制造的颜色材料从而就能够实现闪烁器面板1的特性的容易的变更。这就大大降低了在新制造特性不同的闪烁器的时候所产生的成本。

另外，根据该闪烁器面板1，则能够谋求到由第2有机膜6来防止树脂层5发生剥离。另外，能够抑制水分从外部浸入到闪烁器3或者树脂层5。再有，即使水分浸入到树脂层5，也能够由第1有机膜4来抑制水分浸入到闪烁器3。因此，根据该闪烁器面板1，则因为能够避免由于水分的浸入而造成闪烁器3或者树脂层5的性能发生劣化，所以能够谋求到闪烁器面板1的长寿命化。

再有，根据该闪烁器面板1，通过具备第1有机膜4以及第2有机膜6的双重保护膜，从而就能够谋求到闪烁器面板1的耐湿性的提高即长寿命化。而且，通过具备双重保护膜4、6，从而与只具备第1有机膜4的情况相比，既能够确保防湿性又能够达到第1有机膜4的薄型化。由此，通过减薄第1有机膜4的膜厚，从而就能够抑制由闪烁器3所产生的闪烁光在第1有机膜4内发生散射、并且能够抑制这些散射光从闪烁器面板1被输出。因此，根据该闪烁器面板1，因为既能够确保防湿性又能够抑制散射光被输出，所以能够提高闪烁器面板1的性能。

另外，根据该闪烁器面板1，因为第1有机膜4的外周缘到达FOP2的侧面2c，所以闪烁器3的侧面3c也被第1有机膜4覆盖，并且能够恰当抑制水分从外部浸入到闪烁器3。而且，因为通过第1有机膜4和第2有机膜6在树脂层5的外周缘5a的外侧彼此紧密结合，从而树脂层5与外部空气阻断并成为密封状态，所以能够切实防止水分浸入到树脂层5。再有，因为树脂层5是以绕到与闪烁器3的入射面3a大致正交的侧面3c的形式进行形成的，所以在闪烁器3内所产生的光即使朝向侧面3c也能够进行由树脂层5进行的反射或者吸收。另外，树脂层5的外周缘5a因为是位于闪烁器3的侧面3c并且不会到达FOP2的侧面2c，所以能够确保在FOP2的侧面2c上第1有机膜4和第2有机膜6进行紧密结合的区域，并且能够实现高可靠性的树脂层5的保护。这就有助于闪烁器面板1的长寿命化。

[第2实施方式]

如图3所示，第2实施方式所涉及的闪烁器面板11其树脂层12的形状与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1有所不同。即，树脂层12是以不仅覆盖闪烁器3而且沿着第1有机膜4覆盖到FOP2的侧面2c的形式进行形成的。另外，树脂层12并没有被第1有机膜4以及第2有机膜6所密封，其外周缘12a露出于外部。

这样构成的闪烁器面板11中，除了会有发生水分浸入到树脂层12的担忧之外，至于其他方面能够获得与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1相同的效果。这样的闪烁器面板11中，为了防止水分浸入到树脂层12，可以进行将包含于涂料的树脂变更成吸湿性低的氟树脂和硅树脂等的对策。

在此，就以上已进行说明的第1实施方式以及第2实施方式所涉及的闪烁器面板的寿命特性（对于高温·高湿环境的耐性）与树脂层颜色的关系作如下说明。本发明人将成为试验对象的闪烁器面板放置于温度为50℃且湿度为90%的环境下，并测定伴随于时间延续的光输出以及分辨率的变化。测定结果被表示于图4以及图5中。图4是表示闪烁器面板的光输出的寿命特性与树脂层颜色的关系的图表。图5是表示闪烁器面板的分辨率的寿命特性与树脂层颜色的关系的图表。还有，图4以及图5是以将试验开始前的初期值作为100的相对值来表示光输出以及分辨率。

在图4以及图5中，Xwh1是表示由白色涂料来形成树脂层5的第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的特性，Xwh2是表示由白色涂料来形成树脂层12的第2实施方式所涉及的闪烁器面板11的特性。另外，Xbr1是表示由黑色涂料来形成树脂层5的第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的特性，Xbr2是表示由黑色涂料来形成树脂层12的第2实施方式所涉及的闪烁器面板11的特性。Xbr3是表示对于由黑色涂料来形成树脂层5的第1实施方式所涉及的闪烁器面板1来说进一步将聚对二甲苯的保护膜形成为双重的闪烁器面板的特性。同样，Xbr4是表示对于由黑色涂料来形成树脂层12的第2实施方式所涉及的闪烁器面板11来说进一步将聚对二甲苯的保护膜形成为双重的闪烁器面板的特性。另外，Y1是表示以上所述的A型，Y2是表示以上所述的B型，并且分别表示替代树脂层而使用Al膜的闪烁器面板的特性。

如图4所示，关于光输出的寿命特性在第1实施方式所涉及的闪烁器面板1与第2实施方式所涉及的闪烁器面板11之间没有显著的差异。另外，第1实施方式以及第2实施方式所涉及的闪烁器面板都使用白色涂料的情况（Xwh1、Xwh2）较使用黑色涂料的情况（Xbr1、Xbr2）更大地显现出伴随于经过时间的变化。另外，各个闪烁器面板的光输出除了A型以及B型的闪烁器面板的特性Y1、Y2之外，随着时间延续都有一些增加的倾向。

如图5所示，在使用白色涂料的情况下关于分辨率的寿命特性是第2实施方式所涉及的闪烁器面板11（Xwh2）低于第1实施方式所涉及的闪烁器面板1（Xwh1），Xwh2伴随着经过时间延续其分辨率发生大幅度降低。另外，在使用黑色涂料的情况下在第1实施方式所涉及的闪烁器面板1以及第2实施方式所涉及的闪烁器面板11之间没有显著的差异。另外，关于第1实施方式所涉及的闪烁器面板1，使用黑色涂料的情况（Xbr1）较使用白色涂料的情况（Xwh1）更早发生分辨率降低。第2实施方式所涉及的闪烁器面板11中，与第1实施方式不同，使用白色涂料的情况（Xwh2）较使用黑色涂料的情况（Xbr2）更早发生分辨率降低。

另外，第1实施方式所涉及的闪烁器面板1中，追加保护膜的情况（Xbr3）较不追加保护膜的情况（Xbr1）其分辨率降低程度更小从而能够提高寿命特性。然而，第1实施方式所涉及的闪烁器面板1中，不追加保护膜的情况（Xbr4）较追加保护膜的情况（Xbr2）其分辨率降低程度更小。另外，如果与A型以及B型的闪烁器面板的特性Y1、Y2相比较，则可得出本发明所包含的闪烁起面板的任一个均可取得高分辨率的寿命特性。

在以上所说明的第1实施方式以及第2实施方式所涉及的闪烁器面板中，不采用金属膜（金属反射膜或者金属吸收膜）而是采用由涂料（含有颜色材料的树脂）形成的树脂层作为光吸收层或者光反射层。为此，由构成闪烁器3的CsI与Al的反应而能够避免招致闪烁器面板性能劣化的事态发生，并且由此而能够谋求到闪烁器面板1的长寿命化。

[第3实施方式]

如图6所示，第3实施方式所涉及的闪烁器面板21在不具备第1有机膜4且树脂层22相对于闪烁器3被直接形成的这一点上与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1不相同。即，树脂层22是通过将特定颜色的涂料直接涂布于闪烁器3的入射面3a以及侧面3c来进行形成的，并且覆盖闪烁器3以及FOP2的保护膜变成仅有第2有机膜6。

由以以上所述形式进行构成的第3实施方式所涉及的闪烁器面板21也能够取得与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1相同的作用效果。另外，因为形成第1有机膜4的工序变得不再需要，所以能够谋求到制造时间的缩短以及成本的降低。

[第4实施方式]

如图7所示，第4实施方式所涉及的闪烁器面板31在不具备第1有机膜4且树脂层32被直接形成于闪烁器3上的这一点上与第2实施方式所涉及的闪烁器面板11不相同。即，树脂层32是通过将特定颜色的涂料直接涂布于闪烁器3上来进行形成的，并且覆盖闪烁器3的保护膜变成仅有第2有机膜6。另外，与第2实施方式所涉及的闪烁器面板11相同地，树脂层32的外周缘32a露出于外部。

这样构成的第4实施方式所涉及的闪烁器面板31也能够取得与第2实施方式所涉及的闪烁器面板11相同的作用效果。另外，与第3实施方式所涉及的闪烁器面板21相同地，因为第1有机膜4的形成工序变得不再需要，所以能够谋求到制造时间的缩短以及成本的降低。

本发明并不限定于以上所述的实施方式。

图8是表示其他实施方式所涉及的放射线图像传感器20的截面图。图8所表示的放射线图像传感器20与第1实施方式所涉及的放射线图像传感器10相比较主要是在不具备FOP2这一点上有所不同。即，在放射线图像传感器20中取代FOP2的主面2a而将闪烁器3蒸镀形成于摄像元件7的受光面（外表面）7a上。还有，在摄像元件7的受光面7a与闪烁器3之间也可以形成由氮化硅或者氧化硅构成的钝化膜。

闪烁器3被作为防湿性保护膜来行使其功能的第1有机膜4覆盖。该第1有机膜4只是形状与第1实施方式的有所不同。第1有机膜4覆盖闪烁器3的入射面3a以及侧面3c。第1有机膜4的外周侧沿着摄像元件7的受光面7a而向闪烁器3的侧方弯曲。第1有机膜4的外周缘4a位于摄像元件7的受光面7a。此外，用于与外部电连接的焊盘被形成于摄像元件7中没有被第1有机膜4覆盖的外周部分。

在第1有机膜4上形成有树脂层5。树脂层5与第1实施方式相比较也只是形状有所不同。树脂层5的外周侧沿着摄像元件7的受光面7a而向闪烁器3的侧方弯曲。树脂层5的外周缘5a与第1有机膜4的外周缘4a相一致。

在树脂层5上形成有作为防湿性保护膜来行使其功能的第2有机膜6。第2有机膜6与第1实施方式相比较也只是形状有所不同。第2有机膜6的外周侧沿着摄像元件7的受光面7a而向闪烁器3的侧方弯曲。第2有机膜6的外周缘6a与第1有机膜4的外周缘4a以及树脂层5的外周缘5a相一致。

第1有机膜4的外周缘4a、树脂层5的外周缘5a以及第2有机膜6的外周缘6a被覆盖树脂8所覆盖。在覆盖树脂8中例如使用了丙烯酸类的粘结剂。

在具备以上所述构成的放射线图像传感器20中，如果从面板上方照射X射线等放射线，则放射线在闪烁器3内被转换成闪烁光，并且所产生的闪烁光入射到摄像元件7的受光面7a。另外，闪烁光中行进到闪烁器3的入射面3a侧的光穿过第1有机膜4从而到达树脂层5。在树脂层5上进行闪烁光的吸收或者反射。在树脂层5上进行反射的闪烁光穿过第1有机膜4以及闪烁器3从而入射到摄像元件7的受光面7a。放射线图像传感器20是根据摄像元件7进行摄像的闪烁光来进行放射线的检测。

根据以上说明的放射线图像传感器20，能够取得与第1实施方式所涉及的放射线图像传感器10基本相同的作用效果。即，根据该放射线图像传感器20，因为通过改变构成树脂层5的颜色材料从而就能够变更树脂层5上的光的反射率或者吸收率，所以通过变更用于制造的颜色材料从而就能够实现放射线图像传感器20的特性的容易的变更。这就大大降低了在新制造特性不同的放射线图像传感器20的时候所产生的成本。

另外，根据该放射线图像传感器20，由第2有机膜6就能够谋求到防止树脂层5发生剥离。另外，能够抑制水分从外部浸入到闪烁器3或者树脂层5。而且，即使水分浸入到树脂层5，也能够由第1有机膜4来抑制水分浸入到闪烁器3。因此，根据该放射线图像传感器20，因为能够避免由于水分的浸入而造成闪烁器3或者树脂层5的性能发生劣化，所以能够谋求到放射线图像传感器20的长寿命化。

再有，根据该放射线图像传感器20，通过具备第1有机膜4以及第2有机膜6的双重保护膜，从而就能够谋求到放射线图像传感器20的耐湿性的提高即长寿命化。而且，通过具备双重保护膜4、6从而与只具备第1有机膜4的情况相比较，变得既能够确保防湿性又能够达到第1有机膜4的薄型化。由此，通过减薄第1有机膜4的膜厚，从而就能够抑制由闪烁器3所产生的闪烁光在第1有机膜4内发生散射，并且能够抑制这些散射光被放射线图像传感器20检测出。因此，根据该放射线图像传感器20，因为既能够确保防湿性又能够抑制在第1有机膜4内进行散射的散射光被检测出，所以能够提高放射线图像传感器20的性能。

另外，根据该放射线图像传感器20，因为第1有机膜4的外周缘到达摄像元件7的受光面7a，所以闪烁器3的侧面3c能够切实地被第1有机膜4覆盖，并且能够恰当地抑制水分从外部浸入到闪烁器3。而且，因为通过第1有机膜4和第2有机膜6在树脂层5的外周缘5a的外侧彼此紧密结合，从而隔绝外部空气并成为密封状态，所以能够切实防止水分浸入到树脂层5。再有，因为树脂层5是以绕到与闪烁器3的入射面3a大致正交的侧面3c的形式进行形成的，所以即使在闪烁器3内产生的光朝向侧面3c也能够进行由树脂层5进行的反射或者吸收。另外，根据该放射线图像传感器20，因为不具备FOP2，所以与第1实施方式所涉及的放射线图像传感器10相比较，能够谋求到零部件个数的削减以及装置的小型化。

还有，在该放射线图像传感器20中，树脂层5的外周缘5a也可以位于闪烁器3的侧面3c。即，树脂层5的外周缘5a也可以不到达第1有机膜4的外周缘4a以及第2有机膜6的外周缘6a，而夹持着第1有机膜4被形成于闪烁器3的侧面3c上（参照图1）。在此情况下，因为第1有机膜4以及第2有机膜6能够确保在树脂层5的外侧彼此紧密结合的区域，所以用2个保护膜4、6就能够切实密封树脂层5并且实现了高可靠性的树脂层5的保护。

另外，在以上所述的放射线图像传感器20或者在各个实施方式所涉及的闪烁器面板中，树脂层5的外周缘5a也可以是与闪烁器3的入射面3a的外缘3b相一致的形式。在此情况下，因为树脂层5只覆盖闪烁器3的入射面3a并且树脂层5的外周缘5a不从闪烁器3的入射面3a突出，所以能够避免由于从入射面3a突出的树脂层5而使得第1有机膜4和第2有机膜6的能够紧密结合的区域变狭窄。由此，因为能够充分确保第1有机膜4以及第2有机膜6的能够紧密结合的区域，所以实现了高可靠性的树脂层5的保护。

另外，作为闪烁器3除了掺杂了Tl的CsI之外还可以使用掺杂了Na（钠）的CsI、掺杂了Tl的NaI（碘化钠）、掺杂了Eu（铕）的LiI（碘化锂）、掺杂了Tl的KI（碘化钾）等。

再有，作为第1有机膜4以及第2有机膜6除了聚对二甲苯之外还可以使用聚一氯对二甲苯、聚二氯对二甲苯、聚四氯对二甲苯、聚氟对二甲苯、聚二甲基对二甲苯、聚二乙基对二甲苯等二甲苯（xylylene）类的膜。

产业上的利用可能性

本发明能够被利用于闪烁器面板或者放射线图像传感器。

符号说明

1、11、21、31．闪烁器面板

2．FOP

3．闪烁器

3a．入射面

3b．外缘

3c．侧面

4．第1有机膜

4a．外周缘

5、12、22、32．树脂层

5a、12a、22a、32a．外周缘

6．第2有机膜

6a．外周缘

7．摄像元件

7a．受光面（外表面）

8．覆盖树脂

10、20．放射线图像传感器

Claims (7)

1.一种放射线图像传感器，其特征在于：

具备：

闪烁器，由含有掺杂物的碘化铯的针状结晶构成并具有放射线的入射面；

摄像元件，相对于所述闪烁器被配置于所述入射面的相反侧，并对由所述闪烁器产生的光进行摄像；

树脂层，相对于所述闪烁器在所述入射面侧由含有颜色材料的树脂形成、并对由所述闪烁器产生的光进行反射；

第1有机膜，在所述闪烁器和所述树脂层之间由气相沉积法而形成；以及

第2有机膜，相对于所述树脂层在所述闪烁器的相反侧由气相沉积法而形成，

所述树脂层通过在所述第1有机膜上涂布涂料而形成，该涂料为，将粘合剂树脂溶入有机溶剂，并与作为所述颜色材料的颜料混合而成的涂料，

并且所述树脂层由所述第1有机膜和所述第2有机膜夹持而成为密封状态，

所述第1有机膜、所述树脂层、以及所述第2有机膜的外周侧，沿所述摄像元件的受光面向所述闪烁器的一侧弯曲。

2.如权利要求1所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述第1有机膜的膜厚小于所述第2有机膜的膜厚。

3.如权利要求2所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述第1有机膜的膜厚为0.05μm～5μm，

所述第2有机膜的膜厚为7μm～2000μm。

4.如权利要求3所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述第2有机膜的膜厚为10μm～30μm。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述第1有机膜的外周缘到达所述摄像元件的外表面。

6.如权利要求1～4中任意一项所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述树脂层的外周缘在所述闪烁器中位于与所述入射面大致正交的面中。

7.如权利要求5所述的放射线图像传感器，其特征在于：

所述树脂层的外周缘在所述闪烁器中位于与所述入射面大致正交的面中。