CN102862367B - 一种多层陶瓷元件空腔成形方法 - Google Patents

一种多层陶瓷元件空腔成形方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102862367B
CN102862367B CN201210332486.XA CN201210332486A CN102862367B CN 102862367 B CN102862367 B CN 102862367B CN 201210332486 A CN201210332486 A CN 201210332486A CN 102862367 B CN102862367 B CN 102862367B
Authority
CN
China
Prior art keywords
cavity
ceramic component
layer ceramic
green
forming method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210332486.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102862367A (zh
Inventor
王啸
马涛
展丙章
薛峻
杜松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huadong Photoelectric Integrated Device Research Institute
Original Assignee
China North Industries Group Corp No 214 Research Institute Suzhou R&D Center
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China North Industries Group Corp No 214 Research Institute Suzhou R&D Center filed Critical China North Industries Group Corp No 214 Research Institute Suzhou R&D Center
Priority to CN201210332486.XA priority Critical patent/CN102862367B/zh
Publication of CN102862367A publication Critical patent/CN102862367A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102862367B publication Critical patent/CN102862367B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)

Abstract

本发明涉及的是一种多层陶瓷元件空腔成形方法,该方法是使用一种在烧结过程中可生成气体的生瓷材料,来加工多层陶瓷元件空腔填充物并填入空腔位进行层压,在后续烧结过程中,该生瓷材料发生化学反应产生气体排出形成空腔,采用本发明的方法能够消除多层陶瓷元件空腔处的分层裂纹,实现多层陶瓷元件内置空腔的加工。

Description

一种多层陶瓷元件空腔成形方法
技术领域
本发明属于多层陶瓷元件技术领域,涉及一种多层陶瓷元件中加工空腔的成形方法。 
背景技术
常规的多层陶瓷元件空腔成形方法是借助加工模具,在模具内注入硅胶制作空腔填充物,在多层陶瓷叠片时将空腔填充物填入空腔位进行层压,层压后取出空腔填充物,再进行切割、烧结。而在取出空腔填充物时,空腔填充物与陶瓷间的摩擦通常会导致多层陶瓷元件在空腔处出现分层裂纹,产品成品率低且有影响长期可靠性的隐患。而且,常规的空腔成形方法在元件烧结前必须将空腔填充物取出,因此无法加工多层陶瓷元件内置空腔。 
发明内容
本发明的目的旨在消除多层陶瓷元件空腔处的分层裂纹,实现多层陶瓷元件内置空腔的加工。 
实现本发明目的的技术解决方案为:一种多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:将生瓷材料加工成多种形状的填充物,并填入与多层陶瓷元件内的空腔形状相对应的空腔内,该生瓷材料在烧结过程中生成气体排出,形成多层陶瓷元件的空腔。 
所述填充物的加工步骤为: 
1)生瓷材料通过流延加工成生瓷带;
2)将生瓷带经过叠片和层压工艺得到与多层陶瓷元件的空腔深度相同的生瓷体;
3)再将生瓷体加工成与多层陶瓷元件内的空腔形状相同的填充物。
所述生瓷材料为在烧结过程中可发生化学反应、产生气体的生瓷。 
所述生瓷材料通过流延加工成0.05mm~0.5mm厚度的生瓷带。 
所述生瓷体采用激光加工或热切割的方式加工成与空腔形状相同的填充物。 
所述烧结过程的温度在300℃~800℃之间。 
所述生瓷材料在烧结过程中的300℃~800℃之间发生化学反应、生成气体。生瓷材料实际发生反应的温度范围也可以在500℃~800℃之间。 
本发明与现有技术相比,其显著优点是: 
本发明的多层陶瓷元件空腔成型方法,不但能够加工成型表面空腔,而且能够加工成型内置空腔,实现多层陶瓷元件内置空腔的加工;能够消除多层陶瓷元件在空腔处的分层裂纹,提高产品的合格率,延长元件的使用寿命。
附图说明
图1为生瓷带示意图; 
图2、图3为一种空腔填充物主视图和俯视图;
图4、图5为另一种空腔填充物主视图和俯视图;
图6、图7为又一种空腔填充物主视图和俯视图;
图8为层压后陶瓷块示意图;
图9为具有空腔的多层陶瓷元件结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。 
多层陶瓷元件的加工工艺流程主要包括以下几部分: 
流延生瓷→加工空腔填充物→多层陶瓷元件叠片→放置空腔填充物→层压→切割→烧结。
具体工艺如下: 
a 流延生瓷:按多层陶瓷空腔要求流延加工所需厚度的生瓷带,如图1;
b 加工空腔填充物:使用上述生瓷带进行叠片、层压得到与多层陶瓷空腔深度相同的生瓷体,再运用切削加工如激光加工、热切割加工等方式,将生瓷体加工成与空腔形貌相同的填充物,设计的空腔可以为多种形状,填充物也可以根据空腔的形状加工为如图2-图7中的1种、2种或多种形状的填充物2、3、4;
c 叠片:将多层陶瓷按顺序依次堆垒成一个立体结构;
d 放置填充物:叠片过程中在适当的时机在空腔中填入填充物2、3、4;
e 层压:在压力作用下将堆垒的立体结构压制成相对致密的陶瓷块5,如图8;
f 切割:将陶瓷块切割为未经烧结的多层陶瓷元件单元;
g 烧结:将切割后的多层陶瓷元件单元在特定的烧结气氛、烧结曲线下烧制成具有表面空腔结构7和内置空腔结构8的多层陶瓷元件6,在烧结过程中填充物2、3、4生成气体排出,从而可以形成表面及内置的空腔结构,如图9所示。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。 

Claims (6)

1. 一种多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:将生瓷材料加工成多种形状的填充物,并填入与多层陶瓷元件内的空腔形状相对应的空腔内,该生瓷材料在烧结过程中生成气体排出,形成多层陶瓷元件的空腔;
所述填充物的加工步骤为:
1)生瓷材料通过流延加工成生瓷带;
2)将生瓷带经过叠片和层压工艺得到与多层陶瓷元件的空腔深度相同的生瓷体;
3)再将生瓷体加工成与多层陶瓷元件内的空腔形状相同的填充物。
2.根据权利要求1所述的多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:所述生瓷材料为在烧结过程中可发生化学反应、产生气体的生瓷。
3.根据权利要求1所述的多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:所述生瓷材料通过流延加工成0.05mm~0.5mm厚度的生瓷带。
4.根据权利要求1所述的多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:所述生瓷体采用激光加工或热切割的方式加工成与空腔形状相同的填充物。
5.根据权利要求1所述的多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:所述烧结过程的温度在300℃~800℃之间。
6.根据权利要求1或5所述的多层陶瓷元件空腔成形方法,其特征是:所述生瓷材料在烧结过程中的300℃~800℃之间发生化学反应、生成气体。
CN201210332486.XA 2012-09-11 2012-09-11 一种多层陶瓷元件空腔成形方法 Active CN102862367B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210332486.XA CN102862367B (zh) 2012-09-11 2012-09-11 一种多层陶瓷元件空腔成形方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210332486.XA CN102862367B (zh) 2012-09-11 2012-09-11 一种多层陶瓷元件空腔成形方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102862367A CN102862367A (zh) 2013-01-09
CN102862367B true CN102862367B (zh) 2015-01-14

Family

ID=47441619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210332486.XA Active CN102862367B (zh) 2012-09-11 2012-09-11 一种多层陶瓷元件空腔成形方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102862367B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105330312A (zh) * 2015-11-30 2016-02-17 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种应用于低温共烧陶瓷烧结的承烧板

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101791818A (zh) * 2010-03-04 2010-08-04 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种流延法制备氧化铝陶瓷生瓷片的方法
CN102101776A (zh) * 2009-12-18 2011-06-22 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种陶瓷气密内腔室制造方法
CN102555033A (zh) * 2011-12-21 2012-07-11 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种多层陶瓷腔体的流动填充层压成型方法
CN102569095A (zh) * 2010-12-08 2012-07-11 中国科学院微电子研究所 制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6029601B2 (ja) * 1977-09-01 1985-07-11 松下電器産業株式会社 セラミツク生シ−トの製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102101776A (zh) * 2009-12-18 2011-06-22 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种陶瓷气密内腔室制造方法
CN101791818A (zh) * 2010-03-04 2010-08-04 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种流延法制备氧化铝陶瓷生瓷片的方法
CN102569095A (zh) * 2010-12-08 2012-07-11 中国科学院微电子研究所 制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法
CN102555033A (zh) * 2011-12-21 2012-07-11 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种多层陶瓷腔体的流动填充层压成型方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102862367A (zh) 2013-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108675798A (zh) 一种氮化硅陶瓷及其制备方法
EP2679363B1 (en) A method for manufacturing of ceramic electro-insulating pipes
GB201305586D0 (en) Polycrystalline superhard material and method for making same
WO2019210285A3 (en) Selective sintering-based fabrication of fully dense complex shaped parts
CN105503209A (zh) 一种基于焦宝石的莫来石轻质隔热砖及其制备方法
CN102173829A (zh) 硼化锆-碳化硅/石墨层状超高温陶瓷的制备方法
CN106083205B (zh) 一种通过化学气相渗透提高整体式氧化铝基陶瓷铸型高温强度的方法
CN105481369A (zh) 一种具有定向导热特性的层状六方氮化硼基复合陶瓷的制备方法
CN102862367B (zh) 一种多层陶瓷元件空腔成形方法
JP2013204051A (ja) 円筒型スパッタリングターゲット材の製造方法
CN102838354B (zh) 一种具有内置空腔的多层陶瓷元件的工艺加工方法
JP5545803B2 (ja) セラミックス多孔質焼結体の製造方法
KR102444340B1 (ko) 열간 가압 소결에 의한 투광성 이트리아의 제조 방법
KR20160107451A (ko) 산화알루미늄과 산화지르코늄이 첨가된 고인성 산화이트륨 소결체의 제조 방법
KR101810885B1 (ko) 경사 조성을 갖는 투광성 이트리아 제조 방법
Tian et al. Feasibility study on rapid prototyping of porcelain products
JP4596855B2 (ja) 金属−セラミックス複合構造体およびこれからなるプラズマ発生用電極部材
CN104892004A (zh) 高定向氮化硼复合材料的制备工艺
JP2015175035A (ja) 円筒型スパッタリングターゲット材の製造方法
CN206702219U (zh) 一种金属粉末注射成型烧结治具
CN106396672A (zh) 陶瓷刀具的制备方法
CN106396673A (zh) 陶瓷刀具的加工工艺
JP6204224B2 (ja) 断熱用部材
JP5791394B2 (ja) セラミックス成形体の製造方法および焼結体の製造方法
JP6336779B2 (ja) 断熱用部材

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20180813

Address after: 233030 2016 Tang He road, Bengbu, Anhui

Patentee after: Huadong Photoelectric Integrated Device Research Institute

Address before: 215163 No. 89 Longshan Road, hi tech Zone, Suzhou, Jiangsu

Patentee before: China North Industries Group Corporation No.214 Research Institute Suzhou R&D Center