CN102822829B - 导电性膜的制造方法与制造装置及导电性膜 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种将包含线材的网格图案设置在基材上的导电性膜的制造方法、导电性膜及记录介质。基于被选择的多个位置(SD)，生成表示网格图案(M、M1、M2)的模样的图像数据(Img、ImgInit、ImgTemp、ImgTemp′)，并基于该图像数据(Img、ImgInit、ImgTemp、ImgTemp′)，针对网格图案(M、M1、M2)的杂讯特性算出定量化后的评价值(EVP)。基于算出的所述评价值(EVP)及规定的评价条件，决定一个图像数据(Img)作为输出用图像数据(ImgOut)。

Description

导电性膜的制造方法与制造装置及导电性膜

技术领域

本发明涉及一种将包含线材的网格图案设置在基材上的导电性膜的制造方法、导电性膜及记录介质。

背景技术

近来，开发出了一种将包含线材的网格图案设置在透明基材上的导电性膜。该导电性膜可以作为电极或发热片(sheet)使用。例如，不仅适用于触控面板(touch panel)用电极、无机电激发光(electroluminescence，EL)元件、有机EL元件或太阳电池的电极，而且还适用于车辆的除霜器(defroster)(除霜装置)、窗玻璃等的一部分。

从所述各种物品的用途来说，该网格图案的模样有时候相当于妨碍观察对象物的视认性(visibility)的粒状杂讯。因此，提出了实现以下目的的各种技术，即，通过规则或不规则地配置相同或不同的网格形状，来抑制粒状杂讯，提升观察对象物的视认性。

例如，在日本专利特开2009-94467号公报中，公开了一种图像显示装置，贴附了包含导电部与开口部的电磁波屏蔽膜(electromagnetic shieldingfilm)、以及配置着云纹抑制部的云纹抑制膜(参照[0063]、图1、图10A、图10B)。借此，抑制透过光的积分量的局部增加，从而能够针对膜整体而实现大体固定的积分量。即，导电部与开口部组合所致的网格图案宛如消失一般，云纹(moire)难以产生。

而且，在日本专利特开2009-117683号公报中，公开了一种装置及方法，针对表示像素排列图案与电磁波屏蔽图案的图像数据(data)，分别算出二维功率谱(power spectral)，以对应于这些数据的峰值的空间频率的差超过规定值的方式，决定所述电磁波屏蔽图案的形状(参照[0014]、[0024])。借此，可以抑制云纹的产生，而且还可以避免表面电阻率(surfaceresistivity)的增大、透明性的劣化。

另外，在日本专利特开2009-137455号公报中，公开了一种乘坐用移动体用窗及其图案PT1的俯视形状，该乘坐用移动体用窗上设置着网格层4，如图33A所示，该网格层4中，将切去圆的一部分的圆弧状的具有导电性的线材2，呈格子状地重复配置，并且所述圆弧状线材2的端部连接于邻接圆弧状线材2的中央部附近(参照[0029]、图3)。还记载了借此不仅能提升视认性，且可以提升电磁波的屏蔽性及耐破损性的内容。

另外，在日本专利特开2009-16700号公报中，公开了一种透明导电性基板及其图案PT2的俯视形状，如图33B所示，该透明导电性基板是使用若涂布于基板上的一面并放置则会自然地在基板上形成网状结构的溶液、即自组织(self-organizing)的金属微颗粒溶液来制造(参照[0022]～[0024]、图1)。还记载了借此能获得不产生云纹现象的不规则的网状结构的内容。

另外，在日本专利特开2009-302439号公报中，公开了一种透光性电磁波屏蔽材及其图案PT3的俯视形状，如图33C所示，电磁波屏蔽层6具有海岛结构的海区域的结构，且包含由电磁波屏蔽层6围住的开口部的岛区域8的形状彼此不同(参照[0011]～[0015]、图1(B))。还记载了借此不会产生云纹从而提升透光性及电磁波屏蔽性的内容。

发明内容

但是，在日本专利特开2009-137455号公报及日本专利特开2009-16700号公报公开的图案PT1、PT2中，对于进一步减少粒状杂讯而改善视认性来说，在图案的结构上存在问题。

例如，日本专利特开2009-137455号公报的网格状的图案PT1是将圆弧状线材2呈格子状重复配置，因此，线材2的周期性极高。即，若算出图案PT1的功率谱，则预测在相当于线材2的配置间隔的倒数的空间频段具有尖锐峰值。于此，为了进一步改善图案PT1的视认性，必须减小所述圆弧的尺寸(径)。

而且，日本专利特开2009-16700号公报的网格状的图案PT2中，网格的形状、尺寸并不一致，因此不规则性极高。即，若算出图案PT2的功率谱，则预测为不依赖于空间频段而为大体固定的值(接近白杂讯(whitenoise)特性)。于此，为了进一步改善图案PT2的视认性，必须减小自组织的尺寸。

如此一来，无论是日本专利特开2009-137455号公报中公开的乘坐用移动体用窗、还是日本专利特开2009-16700号公报中公开的透明导电性基板，均存在如下不良状况，即，为了进一步改善视认性而会导致光透过率、生产性降低。

另外，日本专利特开2009-302439号公报中公开的图案PT3并未构成网格形状，因此该裁断面的配线形状会产生不均。如此一来，在将图案PT3例如用作电极的情况下，会产生无法获得稳定通电性能的不良状况。

本发明是为了解决所述问题研究而成的发明，其目的在于提供一种导电性膜及导电性膜的制造方法，它们能够减少由图案引起的杂讯粒状感，从而可大幅度提升观察对象物的视认性，并且即便在裁断后也具有稳定的通电性能。而且，本发明的目的在于提供一种存储如下程序的记录介质，该程序使计算机生成用于导电性膜的制造的输出用图像数据。

本发明的导电性膜的制造方法的特征在于包括：位置选择步骤，从规定的二维图像区域之中，选择多个位置；图像数据生成步骤，基于被选择的所述多个位置，生成表示网格图案的模样的图像数据；

评价值算出步骤，基于生成的所述图像数据，针对所述网格图案的杂讯特性，算出定量化后的评价值；图像数据决定步骤，基于算出的所述评价值及规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据；及形成步骤，基于决定的所述输出用图像数据，在基材上输出形成线材，从而制造具有所述网格图案的导电性膜。

这样，由于设置了：评价值算出步骤，基于生成的图像数据，针对网格图案的杂讯特性，算出定量化后的评价值；及图像数据决定步骤，基于算出的所述评价值和规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据；因此能够决定具有满足所述规定的评价条件的杂讯特性的网格图案的形状。换句话说，通过适当地控制网格图案的杂讯特性，能够减少杂讯感。

而且，优选为所述制造方法包括：结构图案输入步骤，输入如下视认信息，该视认信息是将形成具有与所述网格图案的模样不同的模样的结构图案的图案材料，重叠于所述导电性膜进行视认时，与所述结构图案的视认性相关的所述图案材料的视认信息；及图像信息推定步骤，基于输入的所述图案材料的视认信息，来推定所述结构图案的图像信息；且在所述图像数据生成步骤中，基于推定出的所述结构图案的图像信息，生成表示在所述网格图案上重叠了所述结构图案后的模样的所述图像数据。借此，能够在考虑包含结构图案的实际使用方式的基础上，进行杂讯特性的最佳化。特别是，能够抑制网格图案与结构图案所产生的云纹。

另外，优选为，所述图案材料的视认信息中包含该图案材料的种类、色值、光透过率或光反射率、或所述结构图案的配设位置、单位形状或单位尺寸的至少一项。

另外，优选为所述图案材料是黑色矩阵(black matrix)。

另外，优选为，所述制造方法包括：第1输入步骤，输入与所述网格图案的视认性相关的所述线材的视认信息；第2输入步骤，输入与所述网格图案的视认性相关的所述基材的视认信息；及图像信息推定步骤，基于输入的所述线材及所述基材的视认信息，来推定所述网格图案的图像信息；且所述图像数据生成步骤中，基于推定出的所述网格图案的所述图像信息，生成所述图像数据。

另外，优选为，所述评价值是表示粒度(granularity)的评价值。

另外，优选为，所述评价值是均方根(Root Mean Square，RMS)粒度。

另外，优选为，所述评价值是利用人类视觉响应特性函数进行修正后的RMS粒度。

另外，优选为，所述人类视觉响应特性函数是多利·肖(Dooley-Shaw)函数。

另外，优选为，所述修正后的RMS粒度是使用针对所述图像数据实施与所述人类视觉响应特性函数对应的过滤处理所得的新的图像数据，而算出的RMS粒度。

另外，优选为，所述图像数据生成步骤中，使用德劳内(Delaunay)三角形分割法，利用所述多个位置形成网格状的模样，并生成表示该模样的图像数据。

另外，优选为，所述图像数据生成步骤中，使用维诺图(Voronoidiagram)，利用所述多个位置形成网格状的模样，并生成表示该模样的图像数据。

另外，优选为，所述制造方法包括位置更新步骤，该位置更新步骤中基于所述评价值，将所述多个位置中的一部分分别更新为其他位置，且依次重复所述位置更新步骤、所述图像数据生成步骤及所述评价值算出步骤，通过所述图像数据决定步骤来决定所述输出用图像数据。

另外，优选为，所述位置更新步骤中，使用模拟退火法(SimulatedAnnealing Method)，将所述多个位置中的一部分分别更新为其他位置。

本发明的导电性膜的特征在于：该导电性膜是使用所述任一项的制造方法而制造。

本发明的导电性膜包含具备数个多边形状的网格的网格图案，其特征在于：关于各所述网格的重心位置分布的功率谱，使高于规定空间频率的空间频段侧的平均强度，变得比低于所述规定空间频率的空间频段侧的平均强度大，以此方式来形成所述网格图案。

而且，优选为，所述规定空间频率是人类视觉响应特性相当于最大响应的5％的空间频率。

另外，所述导电性膜的特征在于：所述人类视觉响应特性是基于明视距离为300mm时的多利·肖函数而获得的视觉响应特性，且所述规定空间频率为6个循环/毫米(cycle/mm)。

本发明的记录介质的特征在于：存储使计算机生成用于导电性膜的制造的输出用图像数据的程序，所述程序使计算机作为如下部分而发挥功能：位置选择部，从规定的二维图像区域之中，选择多个位置；图像数据生成部，基于由所述位置选择部选择的所述多个位置，生成表示网格图案的模样的图像数据；评价值算出部，基于由所述图像数据生成部生成的所述图像数据，针对所述网格图案的杂讯特性，算出定量化后的评价值；及图像数据决定部，基于由所述评价值算出部算出的所述评价值及规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据。

根据本发明的导电性膜的制造方法、导电性膜及记录介质，基于被选择的所述多个位置来生成表示网格图案的模样的图像数据，基于所生成的所述图像数据，针对所述网格图案的杂讯特性而算出定量化后的评价值，并基于算出的所述评价值及规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据，因此能够决定具有满足所述规定的评价条件的杂讯特性的网格图案的形状。换句话说，通过适当地控制网格图案的杂讯特性，能够减少杂讯感。

根据本发明的导电性膜，关于各网格的重心位置分布的功率谱，使高于规定空间频率的空间频段侧的平均强度，变得比低于所述规定空间频率的空间频段侧的平均强度大，以此方式来形成网格图案，因此高空间频段侧的杂讯量变得相对于大于低空间频段侧的杂讯量。人类视觉具有在低空间频段的响应特性高，但在中空间～高空间频段则响应特性急剧降低的特性，因此对于人类来说视觉上能感觉到的杂讯感减少。借此，可减少因透明导电膜具有的图案引起的杂讯粒状感，且可大幅度提升观察对象物的视认性。而且，由于具备数个多边形状的网格，因此裁断后的各配线的截面形状也大体固定，从而具有稳定的通电性能。

附图说明

图1是用于制造本实施方式的导电性膜的制造装置的概略构成框图。

图2A是图1的导电性膜的一部分放大平面图。图2B是表示将图1的导电性膜应用于触控面板时的一构成例的概略分解透视图。

图3是图2A的导电性膜的概略截面图。

图4是图1的网格模样评价部及数据更新指示部的功能框图。

图5是表示用于设定图像数据生成条件的第1设定画面的图。

图6是表示用于设定图像数据生成条件的第2设定画面的图。

图7是用于图1的制造装置的动作说明的流程图。

图8A是将表示网格图案的模样的图像数据可视化后的概略说明图。图8B是对图8A的图像数据实施快速傅里叶变换(Fast FourierTransformation，FFT)后获得的二维功率谱的分布图。图8C是沿着图8B所示的二维功率谱分布的VIIIC-VIIIC线的截面图。

图9是多利·肖函数(观察距离300mm)的曲线图。

图10是对输出用图像数据的生成方法进行说明的第1流程图。

图11是表示种子点(seed point)的配置密度与整体透过率的关系的一例的曲线图。

图12A及图12B是使用维诺图而划定分别围绕8个点的8个区域后的结果的说明图。

图13A及图13B是使用德劳内三角形分割法，划定分别以8个点为顶点的8个三角形状区域后的结果的说明图。

图14A是表示图像数据中的像素地址(pixel address)的定义的说明图。图14B是表示图像数据中的像素值的定义的说明图。

图15A是种子点的初始位置的示意图。图15B是以图15A的种子点为基准的维诺图。

图16是图10所示的步骤S26的详细流程图。

图17A是表示图像区域内的第1种子点、第2种子点及候补点的位置关系的说明图。图17B是更换第2种子点与候补点从而更新种子点的位置的结果的说明图。

图18是沿着针对本实施方式的网格图案及比较例的各种图案的图像数据分别实施FFT所得的二维功率谱的X轴而成的截面图。

图19是表示图12B所示的各区域的重心位置的说明图。

图20是表示关于本实施方式的第1网格图案，多个网格与各网格的重心位置的关系的概略说明图。

图21A是将表示图20的网格图案具有的各网格的重心位置分布的图像数据可视化后的概略说明图。图21B是针对图21A的图像数据实施FFT所得的二维功率谱的分布图。图21C是沿着图21B所示的二维功率谱分布的XXIC-XXIC线的截面图。

图22是图8C及图21C所示的频谱(spectrum)及重心频谱的比较图。

图23是表示图21C的功率谱的特征的概略说明图。

图24是对输出用图像数据的生成方法进行说明的第2流程图。

图25是图24所示的步骤S26A的详细流程图。

图26A是对表示导电性膜的模样的输出用图像数据重叠黑色矩阵并使其可视化的概略说明图。图26B～图26D是表示分别抽取图26A的图像数据中的色值的R成分、G成分、B成分后算出功率谱的结果的曲线图。

图27A是将人类的视觉响应特性作用于图26A的图像数据而使其可视化的概略说明图。图27B～图27D是表示分别抽取图27A的图像数据中的色值的R成分、G成分、B成分后算出功率谱的结果的曲线图。

图28A是将在不重叠黑色矩阵的条件下经最佳化的表示第1网格图案的模样的图像数据可视化后的概略说明图。图28B是将在重叠黑色矩阵的条件下经最佳化的表示第2网格图案的模样的图像数据可视化后的概略说明图。

图29A～图29E是表示本实施方式的导电性膜的第1制造方法的步骤图。

图30A及图30B是表示本实施方式的导电性膜的第2制造方法的步骤图。

图31A及图31B是表示本实施方式的导电性膜的第3制造方法的步骤图。

图32是表示本实施方式的导电性膜的第4制造方法的步骤图。

图33A～图33C是比较例的各图案的放大平面图。

具体实施方式

以下，针对本实施方式的导电性膜的制造方法，基于该制造方法与实施该制造方法的制造装置之间的关系，列举优选的实施方式，一边参照附图一边进行详细说明。

图1是用于制造本实施方式的导电性膜14的制造装置10的概略构成框图。

制造装置10基本上包括：图像处理装置12，生成表示与网格图案M对应的模样的图像数据Img(包含输出用图像数据ImgOut)；曝光部18，基于由该图像处理装置12生成的所述输出用图像数据ImgOut，向制造步骤下的导电性膜14照射光16而进行曝光；输入部20，将用于生成所述图像数据Img的各种条件(包含网格图案M、后述的结构图案的视认信息)，输入至图像处理装置12；以及显示部22，显示用于辅助该输入部20的输入作业的GUI(Graphic User Interface，图形使用者介面)图像、存储的输出用图像数据ImgOut等。

图像处理装置12包含：存储部24，存储图像数据Img、输出用图像数据ImgOut、候补点SP的位置数据SPd、及种子点SD的位置数据SDd；随机数产生部26，产生伪随机数而生成随机数值；初始位置选择部28(位置选择部)，使用由该随机数产生部26生成的所述随机数值，从规定的二维图像区域之中，选择种子点SD的初始位置；更新候补位置决定部30(位置选择部)，使用所述随机数值，从所述二维图像区域之中决定候补点SP的位置(除了种子点SD的位置)；曝光数据变换部32，将输出用图像数据ImgOut变换为曝光部18的控制信号(曝光数据)；以及显示控制部34，进行在显示部22上显示各种图像的控制。

此外，种子点SD包含并非更新对象的第1种子点SDN、及作为更新对象的第2种子点SDS。换句话说，种子点SD的位置数据SDd主要由第1种子点SDN的位置数据SDNd、及第2种子点SDS的位置数据SDSd构成。

此外，主要由中央处理器(Central Processing Unit，CPU)等构成的未图示的控制部通过读出并执行记录介质(未图示的只读存储器(ReadOnly Memory，ROM)或存储部24)中记录的程序，而可实现该图像处理相关的整体控制。

图像处理装置12还包含：图像信息推定部36，基于从输入部20输入的视认信息(之后详细说明)，推定网格图案M、结构图案的图像信息；图像数据生成部38，基于从该图像信息推定部36提供的所述图像信息及从存储部24提供的种子点SD的位置，生成表示与网格图案M、结构图案对应的模样的图像数据Img；网格模样评价部40，基于由该图像数据生成部38生成的图像数据Img，算出用于评价网格状的模样的评价值EVP；以及数据更新指示部42，基于由该网格模样评价部40算出的评价值EVP，指示种子点SD、评价值EVP等的数据的更新/不更新。

如图2A所示，图1的导电性膜14包含多个导电部50及多个开口部52。多个导电部50形成由多个金属细线54相互交叉而成的网格图案M(网格状的配线)。即，一个开口部52与围住该一个开口部52的至少两个导电部50的组合形状为网格形状。该网格形状随每个开口部52而不同，并且分别不规则(即，非周期地)排列。以下，有时候将构成导电部50的材料称为“线材”。

金属细线54的线宽可以从5μm以上200μm(0.2mm)以下的范围内选择。当然，在希望提高透光性的情况下，也可以从5μm以上50μm以下的范围内选择。而且，开口部52的面积优选为0.02mm²以上40mm²以下，更优选为0.1mm²以上1mm²以下。

由于以此方式构成，因此导电性膜14的整体光透过率可以实现70％以上且小于99％、80％以上且小于99％，进一步可以实现85％以上且小于99％。

该导电性膜14是可以作为触控面板的电极、无机EL元件、有机EL元件或太阳电池的电极来使用的导电性膜。如图3所示，该导电性膜14包括透明膜基材56(基材)、以及形成在该透明膜基材56上的所述导电部50及开口部52。

图2B表示将该导电性膜14用作触控面板的电极时的概略分解透视图。在导电性膜14的表面上，重叠配置具有与该导电性膜14相同尺寸的过滤构件57。过滤构件57包含多个红色过滤器58r、多个绿色过滤器58g、多个蓝色过滤器58b、黑色矩阵59(结构图案)。以下，有时候将构成黑色矩阵59的材料称为“图案材料”。

在过滤构件57的上下方向上，分别排列设置着红色过滤器58r(绿色过滤器58g、或蓝色过滤器58b)。而且，在过滤构件57的左右方向上，按照红色过滤器58r、绿色过滤器58g、蓝色过滤器58b、红色过滤器58r…的顺序周期性地进行配设。即，配置着一个红色过滤器58r、一个绿色过滤器58g、一个蓝色过滤器58b的平面区域，构成通过红色光、绿色光或蓝色光的组合而自由显示任意颜色的单位像素60。

黑色矩阵59具有遮光材的功能，即，防止来自外部的反射光、或来自未图示的背光装置的透过光在邻接的单位像素60彼此之间混合。黑色矩阵59包含向左右方向延伸的遮光材61h、及向上下方向延伸的遮光材61v。这些遮光材61h、61v形成矩形状的格子，而分别围绕构成单位像素60的一组彩色过滤器(即、红色过滤器58r、绿色过滤器58g及蓝色过滤器58b)。

而且，该导电性膜14还作为因通电而发热的透明发热体而发挥功能。此时，在导电性膜14的对向端部形成未图示的第1电极及第2电极，从第1电极向第2电极流入电流。借此，透明发热体发热，接触透明发热体或装有透明发热体的加热对象物(例如，建筑物的窗玻璃、车辆用的窗玻璃、车辆用灯具的前罩等)被加热。结果，附着在加热对象物上的雪等被除掉。

图4是图1所示的网格模样评价部40及数据更新指示部42的详细功能框图。

网格模样评价部40包括：FFT运算部100，对从图像数据生成部38提供的图像数据Img实施快速傅里叶变换(Fast Fourier Transformation；以下称为FFT)，取得二维频谱数据(以下，仅称为“频谱Spc”)；以及评价值算出部102，基于从该FFT运算部100提供的频谱Spc，算出评价值EVP。

数据更新指示部42包括：计数器(counter)108，对由网格模样评价部40执行的评价次数进行递增计数；模拟温度管理部110，管理在后述模拟退火法中使用的模拟温度T的值；更新概率算出部112，基于从网格模样评价部40提供的评价值EVP及从模拟温度管理部110提供的模拟温度T，算出种子点SD的更新概率；位置更新判定部114，基于从该更新概率算出部112提供的所述更新概率，判定种子点SD的位置数据SDd等的更新/不更新；以及输出用图像数据决定部116，根据来自模拟温度管理部110的通知，决定一个图像数据Img作为输出用图像数据ImgOut。

图5是表示用于设定图像数据生成条件的第1设定画面的图。

设定画面120从上方依次包含：左侧的下拉菜单(pulldown menu)122、左侧的显示栏124、右侧的下拉菜单126、右侧的显示栏128、7个文本框130、132、134、136、138、140、142、显示为[中止]、[转向下一个]的按钮144、146。

在下拉菜单122、126的左方部分显示着“种类”的字符串。通过输入部20(例如鼠标)的规定操作，在下拉菜单122、126的下方部分一览显示着未图示的选择栏，可以自由选择其中的项目。

显示栏124主要由5个栏148a、148b、148c、148d、148e构成，并且在它们的左方部分，分别显示着“光透过率”、“光反射率”、“色值L^*”、“色值a^*”及“色值b^*”的字符串。

与显示栏124同样地，显示栏128主要由5个栏150a、150b、150c、150d、150e构成，并且在它们的左方部分，分别显示着“光透过率”、“光反射率”、“色值L^*”、“色值a^*”及“色值b^*”的字符串。

在文本框130的左方部分显示为“整体透过率”，在其右方部分显示为“％”。在文本框132的左方部分显示为“膜厚”，在其右方部分显示为“μm”。在文本框134的左方部分显示为“配线的宽度”，在其右方部分显示为“μm”。在文本框136的左方部分显示为“配线的厚度”，在其右方部分显示为“μm”。在文本框138的左方部分显示为“图案尺寸H”，在其右方部分显示为“mm”。在文本框140的左方部分显示为“图案尺寸V”，在其右方部分显示为“mm”。在文本框142的左方部分显示为“图像分辨率”，在其右方部分显示为“dpi(dot per inch，每英寸点)”。

此外，通过输入部20(例如键盘)的规定操作，可以在7个文本框130、132、134、136、138、140、142的任一个中自由输入计算用数字。

图6是表示用于设定图像数据生成条件的第2设定画面的图。

设定画面160中从上方依次包含：两个单选按钮(radio button)162a、162b、6个文本框164、166、168、170、172、174、矩阵状的图像176、显示[返回]、[设定]、[中止]的按钮178、180、182。

在单选按钮162a、162b的右方部分，分别显示着“有”、“无”的字符串。而且，在单选按钮162a的左方，显示着“矩阵有无”的字符串。

在文本框164、166、168、170、172、174的左方部分，分别显示着“重叠位置的平均样品数”、“浓度”、“尺寸”、“a”、“b”、“c”及“d”的字符串。而且，在文本框164、166、168、170、172、174的右方部分，分别显示着“次数”、“D”、“μm”、“μm”、“μm”及“μm”的字符串。于此，通过输入部20(例如键盘)的规定操作，文本框164、166、168、170、172、174的任一个中，可自由输入计算用数字。

矩阵状的图像176是模仿黑色矩阵59的形状的图像，设置着4个开口部184及窗框186。

基本上，参照图7的流程图，对以如上所述的方式构成的制造装置10的动作进行说明。

首先，说明在不重叠黑色矩阵59的条件下生成适当的第1网格图案M1的方法。之后，以与网格图案M1的情况之间的差异点为中心，来说明在重叠黑色矩阵59的条件下生成适当的第2网格图案M2的方法。以下，在并不特别区分第1网格图案M1及第2网格图案M2的情况下，仅表述为“网格图案M”。

首先，输入生成表示与网格图案M对应的模样的图像数据Img(包含输出用图像数据ImgOut)时必要的各种条件(步骤S1)。

作业者通过显示在显示部22上的设定画面120(参照图5)，输入适当的数值等。借此，可以输入与网格图案M的视认性相关的视认信息。于此，所谓网格图案M的视认信息，是指对网格图案M的形状、光学密度有贡献的各种信息，包含线材(金属细线54)的视认信息、透明基材(透明膜基材56)的视认信息。作为线材的视认信息，例如包含该线材的种类、色值、光透过率、或光反射率、或金属细线54的截面形状或粗细中的至少一项。作为透明基材的视认信息，例如包含该透明基材的种类、色值、光透过率、光反射率或膜厚中的至少一项。

针对要制造的导电性膜14，作业者使用下拉菜单122选择线材的一个种类。在图5的例子中，选择了“银(Ag)”。当选择线材的一个种类后，即时地更新显示栏124，重新显示与该线材的物性相应的已知数值。在栏148a、148b、148c、148d、148e中，分别显示具有100μm厚度的银的光透过率(单位：％)、光反射率(单位：％)、色值L^*、色值a^*、色值b^*(CIELAB)。

而且，针对要制造的导电性膜14，作业者使用下拉菜单126选择膜材(透明膜基材56)的一个种类。在图5的例子中，选择了“聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate，PET)膜”。当选择了膜材的一个种类后，即时地更新显示栏128，重新显示与该膜材的物性相应的已知数值。在栏150a、150b、150c、150d、150e中，分别显示具有1mm厚度的PET膜的光透过率(单位：％)、光反射率(单位：％)、色值L^*、色值a^*、色值b^*(CIELAB)。

此外，也可以通过选择下拉菜单122、126的未图示的“手动输入(manual input)”的项目，从显示栏124、128直接输入各物性值。

另外，针对要制造的导电性膜14，作业者使用文本框130等分别输入网格图案M的各种条件。

文本框130、132、134、136的输入值分别对应于整体的光透过率(单位：％)、透明膜基材56的膜厚(单位：μm)、金属细线54的线宽(单位：μm)、金属细线54的厚度(单位：μm)。

文本框138、140、142的输入值相当于网格图案M的横向尺寸、网格图案M的纵向尺寸、输出用图像数据ImgOut的图像分辨率(像素尺寸)。

作业者在完成设定画面120的输入作业后，点击[转向下一个]按钮146。这样，显示控制部34将显示部22上显示的设定画面120，变更为图6所示的设定画面160。

作业者通过显示在显示部22上的设定画面160，分别输入黑色矩阵59的各种条件。单选按钮162a、162b的输入，是对应于是否生成表示在网格图案M上重叠了黑色矩阵59后的模样的输出用图像数据ImgOut。“有”(单选按钮162a)的情况下重叠黑色矩阵59，“无”(单选按钮162b)的情况下不重叠黑色矩阵59。于此，不重叠黑色矩阵59，因此选择单选按钮162b。

对应于作业者对[设定]按钮180的点击操作，图像信息推定部36推定网格图案M的图像信息。该图像信息在生成图像数据Img(包含输出用图像数据ImgOut)时用于参照。

例如，可以基于网格图案M的纵向尺寸(文本框138的输入值)与输出用图像数据ImgOut的图像分辨率(文本框142的输入值)，算出输出用图像数据的横向的像素数，且可以基于配线的宽度(文本框134的输入值)与所述图像分辨率，算出相当于金属细线54的线宽的像素数。

而且，基于线材的光透过率(栏148a的显示值)与配线的厚度(文本框136的输入值)，可以推定金属细线54单体的光透过率。除此之外，基于膜材的光透过率(栏150a的显示值)与膜厚(文本框132的输入值)，可以推定在透明膜基材56上层叠了金属细线54的状态下的光透过率。

另外，基于线材的光透过率(栏148a的显示)、膜材的光透过率(栏150a的显示)、整体透过率(文本框130的输入值)、配线的宽度(文本框132的输入值)，可以推定开口部52的个数，并且可以推定种子点SD的个数。此外，也可以根据决定开口部52的区域的算法(algorithm)，来推定种子点SD的个数。

接着，生成用于形成网格图案M的输出用图像数据ImgOut(步骤S2)。

在说明输出用图像数据ImgOut的生成方法之前，先对图像数据Img的评价方法进行说明。本实施方式中，基于使杂讯特性(例如粒状杂讯)经定量化后的评价值EVP来进行评价。

作为评价杂讯特性的例子，也可以规定图像数据Img的规定区域范围，针对该区域范围内的像素值而求出RMS(Root Mean Square)。本实施方式中，评价采用了人类视觉响应特性，使用经进一步改良后的评价值EVP。

图8A是将表示网格图案M的模样的图像数据Img可视化后的概略说明图。以下，以该图像数据Img为例进行说明。

首先，对图8A所示的图像数据Img实施FFT。借此，对于网格图案M的形状，能作为整体的倾向(空间频率分布)来把握而非部分的形状。

图8B是针对图8A的图像数据Img实施FFT所获得的频谱Spc的分布图。于此，该分布图的横轴表示针对X轴方向的空间频率，其纵轴表示针对Y轴方向的空间频率。而且，每个空间频段的显示浓度越浅，则强度级别(level)(频谱Spc的值)越小，并且显示浓度越深，则强度级别越大。在本图的例子中，该频谱Spc的分布为各向同性，且具有两个环状的峰值。

图8C是沿着图8B所示的频谱Spc的分布的VIIIC-VIIIC线的截面图。由于频谱Spc为各向同性，因此图8C相当于针对所有角度方向的矢径方向分布。根据本图可知，具有所谓的带通型的特性，即，低空间频段及高空间频段中的强度级别变小，仅中间的空间频段的强度级别变高。即，根据图像工学领域的技术用语，图8A所示的图像数据Img可以说是表现出具有“绿杂讯(green noise)”的特性的模样。

图9是表示观察距离为300mm的多利·肖(Dooley-Shaw)函数的曲线图。

多利·肖函数是视觉传递函数(Visual Transfer Function，VTF)的一种，且是模拟人类视觉响应特性的代表性的函数。具体来说，相当于亮度的对比度(contrast)比特性的平方值。此外，曲线图的横轴为空间频率(单位：cycle/mm)，纵轴为VTF的值(单位无维度)。

当观察距离设为300mm时，在0～1.0cycle/mm的范围内，VTF的值是固定的(等于1)，并且具有随着空间频率变高，VTF的值逐渐减小的趋势。即，该函数作为阻断中空间～高空间频段的低通过滤器而发挥功能。

此外，实际的人类视觉响应特性在0cycle/mm附近为小于1的值，具有所谓的带通过滤器的特性。但是，在本实施方式中，如图9所示，即便是极低的空间频段，也使VTF的值为1，由此提高对评价值EVP的贡献度。借此，能够获得有效抑制因网格图案M的重复配置引起的周期性这一效果。

将频谱Spc的值设为F(Ux,Uy)时，利用以下(1)式来算出评价值EVP。

[数式1]

$EVP={\left\{{\∫}_{-U\max }^{U\max }{\∫}_{-U\max }^{U\max }VTF\left(\sqrt{{\mathrm{Ux}}^2+{\mathrm{Uy}}^2}\right)F\left(Ux,Uy\right)dUxdUy\right\}}^{\frac{1}{2}}...\left(1\right)$

根据维纳-辛钦(Wiener-Khintchen)定理，在整个空间频段内对频谱Spc进行积分后的值与RMS的平方值一致。对该频谱Spc乘以VTF，在整个空间频段内对该新的频谱Spc进行积分后的值成为与人类视觉特性大体一致的评价指标。该评价值EVP可以称为用人类视觉响应特性进行修正后的RMS。与通常的RMS同样地，评价值EVP始终取0以上的值，且可以说越接近0，杂讯特性越良好。

而且，也可以对图9所示的VTF实施逆傅里叶变换(例如IFFT)，由此算出与VTF对应的实际空间上的掩膜(mask)，使该掩膜作用于要评价的图像数据Img而进行卷积运算，针对新的图像数据Img求出RMS。借此，能够获得与使用(1)式的所述方法同等的运算结果。

此外，当然可以根据用于决定网格图案M的目标级别(容许范围)、评价函数，对评价值EVP的算出式进行各种变更。

以下，说明基于所述评价值EVP来决定输出用图像数据ImgOut的具体方法。例如，可以使用将模样不同的图像数据Img的生成、与利用评价值EVP的评价依次重复的方法。

此外，该图像数据Img中，包含作为重复运算的初始数据的图像数据ImgInit、以及作为临时数据的图像数据ImgTemp。而且，该评价值EVP中，包含作为重复运算的初始值的评价值EVPInit、以及作为临时数据的评价值EVPTemp。

此时，关于决定输出用图像数据ImgOut的最佳化问题，可以使用结构性算法、迭次改进算法等各种搜索算法。

本实施方式中，一边主要参照图10的流程图及图1的功能框图，一边说明基于模拟退火法(Simulated Annealing；以下称为SA法)的网格图案M的最佳化方法。此外，SA法是模拟在高温状态下敲打铁而得到坚固的铁的“退火法”的随机搜索算法。

首先，初始位置选择部28选择种子点SD的初始位置(步骤S21)。

在选择初始位置之前，随机数产生部26使用伪随机数的产生算法产生随机数值。于此，作为伪随机数的产生算法，可以使用梅森旋转算法(Mersenne Twister)、面向单指令流多数据流的快速梅森旋转算法(SIMD-oriented Fast Mersenne Twister，SFMT)或异或移位(Xorshift)法等各种算法。并且，初始位置选择部28使用从随机数产生部26提供的随机数值，随机地决定种子点SD的初始位置。于此，初始位置选择部28选择种子点SD的初始位置，作为图像数据Img上的像素地址，分别设定为种子点SD互不重复的位置。

此外，初始位置选择部28基于从图像信息推定部36提供的图像数据Img的纵向/横向的像素数，预先决定二维图像区域的范围。而且，初始位置选择部28从图像信息推定部36中预先取得种子点SD的个数，决定其个数。

图11是表示种子点SD的配置密度、与网格图案M的整体透过率的关系的一例的曲线图。本图示出了如下情况：随着配置密度变高，配线的被覆面积增加，结果，网格图案M的整体透过率下降。

该曲线图特性随膜材的光透过率(图5的栏150a的显示)、配线的宽度(图5的文本框132的输入值)及区域决定算法(例如维诺图)而变化。由此，可以用函数或表等各种数据形式，将与配线的宽度等各参数对应的特性数据预先存储在存储部24中。

而且，还可以预先取得种子点SD的配置密度与网格图案M的电阻值之间的对应，基于该电阻值的指定值来决定种子点SD的个数。这是因为，电阻值是表示导电部50的通电性的一个参数，在网格图案M的设计中是不可欠缺的。

此外，初始位置选择部28也可以不使用随机数值而是选择种子点SD的初始位置。例如，可以参照从包含未图示的扫描仪(scanner)、存储装置在内的外部装置取得的数据，来决定初始位置。该数据例如可以是规定的二值图像数据，具体来说，可以是印刷用的网点数据。

接着，图像数据生成部38生成作为初始数据的图像数据ImgInit(步骤S22)。图像数据生成部38基于从存储部24提供的种子点SD的个数、位置数据SDd、以及从图像信息推定部36提供的图像信息，生成表示与网格图案M对应的模样的图像数据ImgInit。

根据多个种子点SD来决定网格状的模样的算法可以采用各种方法。以下，参照图12A～图13B进行详细说明。

如图12A所示，例如在正方形状的二维图像区域200内随机选择8个点P₁～P₈。

图12B是表示使用维诺图划定分别围绕8个点P₁～P₈的8个区域V₁～V₈的结果的说明图。此外，作为距离函数是使用欧几里得(euclid)距离。根据本图可知，示出了如下情况：在区域V_i(i＝1～8)内的任意点中，点P_i是最接近的点。

而且，图13B中表示使用德劳内三角形分割法，划定分别以图13A(与图12A相同的图)的点P₁～P₈为顶点的8个三角形状的区域的结果。

所谓德劳内三角形分割法，是指将点P₁～P₈中邻接的点彼此相连来划定三角形状的区域的方法。利用该方法，也能决定与点P₁～P₈的个数相同个数的区域V₁～V₈。

另外，在生成图像数据Img(包含图像数据ImgInit、ImgTemp、及输出用图像数据ImgOut)之前，预先决定像素的地址及像素值的定义。

图14A是表示图像数据Img中的像素地址的定义的说明图。例如，像素尺寸为10μm，图像数据的纵横的像素数分别为8192个。为了方便进行后述的FFT的运算处理，设为2的阶乘(例如2的13次方)。此时，图像数据Img的图像区域整体对应于大体82平方毫米的矩形区域。

图14B是表示图像数据Img中的像素值的定义的说明图。例如，将每个像素的灰阶值设为8比特(256灰阶)。使光学密度0对应于像素值0(最小值)，使光学密度4.5对应于像素值255(最大值)。对于它们中间的像素值1～254，以相对于光学密度呈线性关系的方式来决定它们的值。于此，所谓光学密度，当然不仅仅是指透过密度，还可以指反射密度，并且，可以根据导电性膜14的使用方式等来适当地进行选择。而且，除了光学密度以外，即便是三刺激值XYZ、色值RGB、L^*a^*b^*等，也可以与所述同样地定义各像素值。

这样，图像数据生成部38根据图像数据Img的数据定义、及由图像信息推定部36推定的图像信息(参照步骤S1的说明)，生成与网格图案M对应的图像数据ImgInit(步骤S22)。图像数据生成部38使用以种子点SD的初始位置(参照图15A)为基准的维诺图，决定图15B所示的网格图案M的初始状态。此外，针对图像的端部，以在上下方向、左右方向上进行重复排列的方式进行适当的处理。例如，对于图像的左端(或右端)附近的种子点SD，在与图像的右端(或左端)附近的种子点SD之间得到区域V_i。同样地，对于图像的上端(或下端)附近的种子点SD，在与图像的下端(上端)附近的种子点SD之间得到区域V_i。

以下，设图像数据Img为具有光学密度OD、色值L^*、色值a^*、色值b^*这4个通道(channel)的各数据的图像数据。

然后，网格模样评价部40算出作为初始值的评价值EVPInit(步骤S23)。此外，在SA法中，评价值EVP发挥代价函数(Cost Function)的作用。

具体来说，图4所示的FFT运算部100对图像数据ImgInit实施FFT。并且，评价值算出部102基于从FFT运算部100提供的频谱Spc，算出评价值EVP。

针对图像数据Img中的色值L^*、色值a^*、色值b^*的各通道，分别算出所述评价值EVP(L^*)、EVP(a^*)、EVP(b^*){参照(1)式}。然后，使用规定的权重系数进行积和运算，得到评价值EVP。

此外，也可以使用光学密度OD来代替色值L^*、色值a^*、色值b^*。关于评价值EVP，可以根据观察方式的类别，具体来说，可根据辅助光源是透过光处于支配地位、还是反射光处于支配地位、或者是透过光/反射光的混合光，来适当地选择更适合于人类视觉敏感度的运算手法。

而且，当然也可以根据用于决定网格图案M的目标级别(容许范围)、评价函数，对评价值EVP的算出式进行各种变更。

网格模样评价部40通过这种方式来算出评价值EVPInit(步骤S23)。

接着，存储部24临时存储在步骤S22中生成的图像数据ImgInit、以及在步骤S23中算出的评价值EVPInit(步骤S24)。同时，在模拟温度T中代入初始值nΔT(n为自然数、ΔT为正的实数值)。

接着，计数器108对变量K进行初始化(步骤S25)。即，在K中代入0。

接着，在将种子点SD的一部分(第2种子点SDS)置换为候补点SP的状态下，生成作为临时数据的图像数据ImgTemp，算出作为临时数据的评价值EVPTemp，之后判断种子点SD的“更新”或“不更新”(步骤S26)。在该步骤S26中，参照图1、图4的功能框图及图16的流程图，进一步详细地进行说明。

首先，更新候补位置决定部30从规定的二维图像区域200中抽取并决定候补点SP(步骤S261)。更新候补位置决定部30例如使用从随机数产生部26提供的随机数值，决定与种子点SD的任何位置都不重叠的位置。此外，候补点SP的个数可以是1个，也可以是多个。在图17A所示的例子中，与当前的种子点SD为8个(点P₁～P₈)对应地，候补点SP为两个(点Q₁及点Q₂)。

接着，对种子点SD的一部分与候补点SP进行随机的交换(步骤S262)。更新候补位置决定部30将各候补点SP与交换(或更新)的各种子点SD随机地对应起来。在图17A中，将点P₁与点Q₁对应起来，将点P₃与点Q₂对应起来。如图17B所示，对点P₁与点Q₁进行交换，并且对点P₃与点Q₂进行交换。于此，将并非交换(或更新)对象的点P₂、点P₄～P₈称为第1种子点SDN，将作为交换(或更新)对象的点P₁及点P₃称为第2种子点SDS。

接着，图像数据生成部38使用交换后的新的种子点SD(参照图17B)，生成图像数据ImgTemp(步骤S263)。此时，由于使用与步骤S22(参照图10)的情况相同的方法，因此省略说明。

然后，网格模样评价部40基于图像数据ImgTemp，算出评价值EVPTemp(步骤S264)。此时，由于是使用与步骤S24(参照图10)的情况相同的方法，因此省略说明。

接着，更新概率算出部112算出种子点SD的位置的更新概率Prob(步骤S265)。于此，所谓“位置更新”，是指将步骤S262中进行暂时交换而得到的种子点SD(即，第1种子点SDN及候补点SP)决定为新的种子点SD。

具体来说，根据梅特罗波利斯(Metropolis)基准，分别算出更新种子点SD的概率或不更新种子点SD的概率。更新概率Prob由以下的(2)式提供。

[数式2]

于此，T表示模拟温度，随着接近绝对温度(T＝0)，种子点SD的更新规则从概率性变化为决定性。

接着，位置更新判定部114根据由更新概率算出部112算出的更新概率Prob，判断是否更新种子点SD的位置(步骤266)。例如，可以使用从随机数产生部26提供的随机数值，进行概率性的判断。

分别为，在更新种子点SD的情况下，向存储部24侧指示“更新”，在不更新的情况下，向存储部24侧指示“不更新”(步骤S267、S268)。

这样，完成步骤S26。

返回到图10中，依照“更新”或“不更新”中的任一方的指示，判断是否更新种子点SD(步骤S27)。在不更新种子点SD的情况下，不进行步骤S29，而进入下一步骤S30。

另一方面，在更新种子点SD的情况下，存储部24针对当前存储的图像数据Img，改写并更新为在步骤S263(参照图16)中求出的图像数据ImgTemp(步骤S28)。而且，存储部24针对当前存储的评价值EVP，改写并更新为在步骤S264中求出的评价值EVPTemp(步骤S28)。另外，存储部24针对当前存储的第2种子点SDS的位置数据SDSd，改写并更新为在步骤S261中求出的候补点SP的位置数据SPd(步骤S28)。之后，进入下一步骤S29。

接着，计数器108对当前时刻的K的值加上1(步骤S29)。

然后，计数器108对当前时刻的K的值与预先规定的Kmax的值之间的大小关系进行比较(步骤S30)。在K的值小的情况下，返回到步骤S26为止，之后重复步骤S26～S29。此外，为了充分确保该最佳化运算的收敛性，例如可定位Kmax＝10000。

在除此以外的情况下，模拟温度管理部110从模拟温度T减去ΔT(步骤S31)，进入到下一步骤S32。此外，对于模拟温度T的变化量，不仅可以是减去ΔT的运算，还可以是乘以常数δ(0＜δ＜1)的运算。此时，从(2)式所示的更新概率Prob(下段)减去一定值。

接着，模拟温度管理部110判定当前时刻的模拟温度T是否等于0(步骤S32)。当T不等于0时，返回到步骤S25，之后重复步骤S25～S31。

另一方面，当T等于0时，模拟温度管理部110向输出用图像数据决定部116通知基于SA法的网格模样的评价已经结束。然后，存储部24将在步骤S28中最后更新的图像数据Img的内容，改写并更新为输出用图像数据ImgOut(步骤S33)。

这样，结束步骤S2。该输出用图像数据ImgOut是之后提供给曝光数据变换部32侧、并被变换为曝光部18的控制信号的图像数据。

此外，为了使作业者进行目视确认，可以将所得的输出用图像数据ImgOut显示在显示部22上，以模拟的形式使网格图案M可视化。以下，说明将输出图像数据ImgOut实际地可视化后的结果的一例。

图18是沿着频谱Spc的X轴而成的截面图，该频谱Spc是对表示本实施方式的第1网格图案M1及以往例的各种图案PT1～PT3(参照图33A～图33C)的模样的图像数据分别实施FFT后获得。

图33A所示的图案PT1的频谱Spc具有以大体10cycle/mm为顶点的宽度较广的峰值(2～30cycle/mm的范围)。而且，图33B所示的图案PT2的频谱Spc具有以大体3cycle/mm为中心的宽度较广的峰值(3～20cycle/mm的范围)。另外，图33C所示的图案PT3的频谱Spc具有以大体10cycle/mm为中心的宽度略窄的峰值(8～18cycle/mm的范围)。相对于此，第1网格图案M1的频谱Spc具有以8.8cycle/mm为中心的宽度较窄的峰值。

此外，以下说明图8C所示的频谱Spc的特征、与各网格的重心位置之间的关系。如图19所示，针对与图12B相同的二维图像区域202，使用所述维诺图划定多边形状的各区域V₁～V₈。此外，分别属于各区域V₁～V₈内的各点C₁～C₈表示各区域的重心位置。

图20是针对本实施方式的第1网格图案M1，而表示多个网格与各网格的重心位置之间的关系的概略说明图。

图21A是将表示图20的第1网格图案M1具有的各网格的重心位置的分布(以下称为“重心分布C”)的图像数据(以下称为“重心图像数据Imgc”)可视化后的概略说明图。根据本图可知，重心分布C是使各重心位置互不重叠地适度分散。

图21B是对图21A的重心图像数据Imgc实施FFT所得的二维功率谱(以下称为“重心频谱Spcc”)的分布图。于此，该分布图的横轴表示对X轴方向的空间频率，其纵轴表示对Y轴方向的空间频率。而且，每个空间频段的显示浓度越浅则强度级别(频谱的值)越小，并且显示浓度越深，则强度级别越大。本图的例子中，该重心频谱Spcc的分布为各向同性，并且具有一个环状的峰值。

图21C是沿着图21B所示的重心频谱Spcc的分布的XXIC-XXIC线的截面图。由于重心频谱Spcc是各向同性，因此图21C相当于针对所有角度方向的矢径方向分布。根据本图可知，低空间频段的强度级别变小，在中间的空间频段具有宽度较广的峰值。另外，具有相对于低空间频段来说，高空间频段的强度级别变高的所谓的高通过滤型的特性。即，根据图像工学领域的技术用语，图21A所示的重心图像数据Imgc可以说是表现出具有“蓝杂讯(blue noise)”的特性的模样。

图22是图8C及图21C所示的频谱Spc及重心频谱Spcc的比较图。具体来说，对第1网格图案M1的频谱Spc、与重心分布C的重心频谱Spcc进行比较。为方便说明，以最大的峰值值P_K一致的方式使各频谱的强度标准化。

根据本图，峰值Pk的空间频率F_P一致，该值相当于8.8cycle/mm。在超过空间频率F_P的高空间频段，频谱Spc的强度逐渐减少，相对于此、重心频谱Spcc的强度依然维持较高值。关于理由推测为：网格图案M的构成要素是相互交叉且具有规定宽度的线段，而相对于此，重心分布C的构成要素则是点。

图23是表示图21C的重心频谱Spcc的特征的概略说明图。重心频谱Spcc的值在0～5cycle/mm的范围内逐渐增加，在6cycle/mm周边急剧增加，在大体10cycle/mm时具有宽度较广的峰值。而且，在10～15cycle/mm的范围内逐渐减少，在超过15cycle/mm的高空间频段内维持较高值。

于此，将基准空间频率Fb(规定空间频率)设定为6cycle/mm。将低于Fb的空间频段侧、即0～Fb[cycle/mm]范围内的重心频谱Spcc的平均值设为P_L。另一方面，将高于Fb的空间频段侧、即Fb[cycle/mm]～奈奎斯特(Nyquist)频率下的重心频谱Spcc的平均值设为P_H。这样，P_H变得比P_L大。重心频谱Spcc由于具有这种特征，因此观察者在视觉上能感觉到的杂讯感减少。该依据如下所示。

例如，Fb的值是设定为人类视觉响应特性相当于最大响应的5％的空间频率。根据该强度级别，视认为困难级别。而且，如图9所示，使用基于明视距离为300mm的多利·肖函数获得的视觉响应特性。本函数良好地适用于人类视觉响应特性。

即，作为Fb的值，在明视距离为300mm的多利·肖函数中，可以使用相当于最大响应的5％的空间频率6cycle/mm。此外，6cycle/mm相当于167μm间隔。

本说明书中，所谓导电性膜14具有的网格图案M的重心位置分布的功率谱，相当于通过以下过程而获得的频谱。即，取得表示网格图案M的模样的图像数据ImgOut，识别各网格(封闭空间)，分别算出其重心位置(例如1像素的点(dot))，求出重心图像数据Imgc，并求出其二维功率谱(重心频谱Spcc)，借此获得网格图案M的重心位置分布的功率谱。此外，图像数据ImgOut的取得方法也可以利用扫描仪等输入装置取得导电性膜14的浓淡图像数据，还可以是网格图案M的输出形成中实际使用的图像数据ImgOut(参照图1)。

接着，一边参照图7、图24及图25的流程图，一边说明在重叠黑色矩阵59(参照图2B)的条件下生成适当的第2网格图案M2的生成方法。

在图7的流程图中，制造装置10的动作与生成第1网格图案M1的情况基本上相同。于此，在输入各种条件(步骤S1)时，不仅输入与网格图案M的视认性相关的视认信息，而且进一步输入与黑色矩阵59相关的视认信息。

作业者通过显示在显示部22上的设定画面160(参照图6)，输入适当的数值等。借此，可以输入与黑色矩阵59的视认性相关的视认信息。于此，所谓黑色矩阵59的视认信息，是指对黑色矩阵59的形状、光学密度有贡献的各种信息，包含图案材料的视认信息。作为图案材料的视认信息，例如包含该图案材料的种类、色值、光透过率或光反射率、或所述结构图案的配设位置、单位形状或单位尺寸的至少一项。

作业者针对要重叠的黑色矩阵59，使用图6所示的文本框164等分别输入黑色矩阵59的各种条件。

单选按钮162a、162b的输入是对应于是否生成表示在网格图案M上重叠黑色矩阵59后的模样的输出用图像数据ImgOut。于此，由于是重叠黑色矩阵59，因此选择单选按钮162a(“有”)。

文本框164的输入值相当于随机决定黑色矩阵59的配置位置而进行图像数据Img的生成/评价的试验次数。例如，将该值设为5次时，生成随机规定网格图案M与黑色矩阵59之间的位置关系而获得的5个重叠图像数据，分别使用评价值EVP的平均值进行网格的模样的评价。

文本框166、168、170、172的输入值分别对应于黑色矩阵59的光学密度(单位：D)、单位像素60的纵向尺寸(单位：μm)、单位像素60的横向尺寸(单位：μm)、遮光材61h的宽度(单位：μm)、遮光材61v的宽度(单位：μm)。

另外，基于黑色矩阵59的光学密度(文本框166)、单位像素60的纵向尺寸(文本框168)、单位像素60的横向尺寸(文本框170)、遮光材61h的宽度(文本框172)、遮光材61v的宽度(文本框174)，可以推定重叠了黑色矩阵59时的网格图案M的模样(形状/光学密度)。

图24是对输出用图像数据ImgOut的生成方法进行说明的第2流程图。本图与图10相比，不同点在于具备生成重叠图像数据ImgInit'的步骤(步骤S22A)。而且，在根据后述重叠图像数据ImgTemp'来判断种子点SD的更新/不更新方面(步骤S26A)，与步骤S26(参照图10)不同。此外，步骤S21～S25、S27～S33是如上所述，因此省略各步骤的动作说明。

在步骤S22A中，图像数据生成部38基于在步骤S22中生成的图像数据ImgInit、由图像信息推定部36推定的黑色矩阵59的图像信息(参照步骤S1的说明)，生成重叠图像数据ImgInit'。此外，该重叠图像数据ImgInit'是表示在第2网格图案M2上重叠作为结构图案的黑色矩阵59的模样的图像数据。

在图像数据ImgInit的像素值的数据定义为透过密度的情况下，加上对应于黑色矩阵59的配置位置的各像素的透过密度(图6的文本框166的输入值)，而可生成重叠图像数据ImgInit'。而且，在图像数据ImgInit的像素值的数据定义为反射密度的情况下，置换为对应于黑色矩阵59的配置位置的各像素的反射密度(同文本框166的输入值)，而可生成重叠图像数据ImgInit'。

在步骤S26A中，在将种子点SD的一部分(第2种子点SDS)置换为候补点SP的状态下，生成重叠图像数据ImgTemp'，算出评价值EVPTemp，之后判断种子点SD的“更新”或“不更新”。

图25的流程图与图16相比，不同之处在于具备生成重叠图像数据ImgTemp'的步骤(步骤S263A)。此外，步骤S261～S268是如上所述，因此省略各步骤的动作说明。

在步骤S263A中，图像数据生成部38基于在步骤S263中生成的图像数据ImgTemp、及由图像信息推定部36推定的黑色矩阵59的图像信息(参照步骤S1的说明)，生成重叠图像数据ImgTemp'。此时，由于使用的是与步骤S22A(参照图24)的情况相同的方法，因此省略说明。

这样，通过在生成重叠图像数据ImgTemp'(或重叠图像数据ImgInit')的基础上，算出评价值EVP(或评价值EVPInit)，可以对考虑了黑色矩阵59的模样的网格形状进行评价。

这样，步骤S2A结束。此外，该输出用图像数据ImgOut是之后提供给曝光数据变换部32侧并被变换为曝光部18的控制信号的图像数据。

图26A是对表示导电性膜14的模样的输出用图像数据ImgOut重叠黑色矩阵59并使其可视化的概略说明图。分别可识别地显示第2网格图案M2、红色过滤器58r、绿色过滤器58g、蓝色过滤器58b及黑色矩阵59。

图26B～图26D是分别抽取图26A的图像数据ImgOut中的色值的R成分、G成分、B成分并算出频谱Spc的曲线图。如图26B～图26D所示，RGB的各成分均获得大体相同的频谱Spc。均为以对应于黑色矩阵59的遮光材61h、61v的配置间隔的空间频率为中心而产生杂讯的峰值。

相对于此，图27A是将人类视觉响应特性作用于图26A的输出用图像数据ImgOut以使其可视化的概略说明图。通过使人类视觉响应特性、换句话说使低通过滤器(参照图9)产生作用，如图27A般，基本上无法视觉辨认第2网格图案M2与黑色矩阵59的微细的结构轮廓。

图27B～图27D是分别抽取图27A的图像数据中的色值的R成分、G成分、B成分并算出频谱Spcv的曲线图。与图26A相比，所述杂讯特性的峰值向低空间频率侧移位，并且频谱Spcv形成的面积减少。

若使用这种方法，则针对重叠了黑色矩阵59的第2网格图案M2的杂讯特性，可以进行进一步适于人类视觉响应特性的评价。

图28A是使用在不重叠黑色矩阵59的条件下经最佳化的输出用图像数据ImgOut，将表示导电性膜14的模样的第2网格图案M2可视化的概略说明图。图28B是使用在重叠黑色矩阵59的条件下经最佳化的输出用图像数据ImgOut，将表示导电性膜14的模样的第2网格图案M2可视化的概略说明图。

根据图28A及图28B可知，网格图案M2的模样(各开口部52)与网格图案M1的模样相比，具有总体为横长的形状。其依据是以如下方式推测。

例如，将图2B所示的黑色矩阵59的单位像素60的形状假定为正方形。通过在左右方向上配设红色过滤器58r、绿色过滤器58g、蓝色过滤器58b，将单位像素60划分为1/3的区域，使得高空间频率成分的杂讯粒度增加。另一方面，由于在上下方向上，仅存在相当于遮光材61h的配设周期的空间频率成分，而不存在其以外的空间频率成分，因此能以减少该配设周期的视认性的方式决定网格图案M2的模样。即，以在左右方向上延伸的各配线的间隔尽可能变窄、且规则配置在各遮光材61h之间的方式进行决定。

这样，通过使黑色矩阵59(结构图案)重叠而生成图像数据Img(包含输出用图像数据ImgOut)，而可实现考虑了黑色矩阵59的模样的网格形状的最佳化。

返回至图7中，曝光部18在进行网格图案M的曝光处理(步骤S3)之后，进行显影处理(步骤S4)。

于此，一边参照图29A～图32，一边说明由金属细线54在透明膜基材56上形成网格图案M的若干方法(第1方法～第4方法)。

第1方法是如下方法，即，对设置在透明膜基材56上的银盐感光层进行曝光、显影、定影，利用由此形成的金属银部构成网格图案M。

具体来说，如图29A所示，在透明膜基材56上涂布银盐感光层66，该银盐感光层66是将卤化银62(例如溴化银颗粒、氯溴化银颗粒或碘溴化银颗粒)混合到明胶64中而形成的。此外，在图29A～图29C中，虽然将卤化银62描述为“颗粒”，但这只是帮助理解本发明而进行的夸张表示，而并不表示大小或浓度等。

之后，如图29B所示，对银盐感光层66进行导电部50的形成中所需的曝光。即，隔着与经过如图10或图24所示的图案生成处理而得到的曝光图案对应的掩膜图案，将光16照射到银盐感光层66上。或者，进行针对银盐感光层66的数字写入曝光，由此对利用所述图案生成处理在银盐感光层66上生成的曝光图案进行曝光。卤化银62在接收到光能时进行感光，生成被称为“潜影”的肉眼无法观察到的微小的银核。

之后，为了将潜影放大到可用肉眼观察的可视化的图像，如图29C所示，进行显影处理。具体来说，通过显影液(虽然碱性溶液和酸性溶液两者都存在，但通常碱性溶液较多)对形成着潜影的银盐感光层66进行显影处理。该显影处理是指：通过显影液中的被称为显影主剂的还原剂，将潜影银核作为催化剂核，将从卤化银颗粒或显影液提供的银离子还原为金属银，结果，潜影银核被放大而形成可视化的银图像(显影银68)。

在显影处理结束之后，在银盐感光层66中残留着可感光的卤化银62，因此，为了将其去除，如图29D所示，利用定影处理液(虽然酸性溶液和碱性溶液两者都存在，但通常酸性溶液较多)进行定影。

通过进行该定影处理，在曝光的部位上形成金属银部70，在未曝光的部位上仅残留明胶64，成为透光部72。即，在透明膜基材56上形成由金属银部70和透光部72的组合构成的网格图案M。

以下示出使用溴化银作为卤化银62、并利用硫代硫酸盐进行定影处理时的定影处理的反应式。

AgBr(固体)+两个S₂O₃离子→Ag(S₂O₃)₂

                              (易水溶性络合物)

即，两个硫代硫酸离子S₂O₃与明胶64中的银离子(来自AgBr的银离子)生成硫代硫酸银络合物。由于硫代硫酸银络合物的水溶性高，因此，从明胶64中溶析。结果，显影银68被定影为金属银部70而留下。由该金属银部70构成网格图案M。

因此，显影步骤是使还原剂与潜影反应而析出显影银68的步骤，定影步骤是将未变成显影银68的卤化银62溶析到水中的步骤。详细内容请参照T.H杰姆斯的摄影学理论，第四版，纽约麦克米伦出版社(有限公司)，第15章，第438-442页,1977年出版(T.H.James,The Theory of thePhotographic Process,4th ed.,Macmillian Publishing Co.,Inc,NY,Chapter15,pp.438-442.1977)。

此外，显影处理多是在碱性溶液中进行的，因此，在从显影处理步骤进入定影处理步骤时，显影处理中付着的碱溶液会被带入到定影处理溶液(多为酸性溶液)中，因而存在定影处理液的活性发生改变这一问题。而且，离开显影处理槽后，残留在膜上的显影液可能会进一步进行不希望的显影反应。因此，在显影处理之后，在进入定影处理步骤之前，优选用醋酸(醋)溶液等终止液对银盐感光层66进行中和或酸性化。

而且，如图29E所示，例如可以进行镀敷处理(单独使用非电解镀敷或电镀，或者将两者组合使用)，仅使导电性金属74载于金属银部70，由此，由金属银部70与载在该金属银部70上的导电性金属74形成网格图案M。

于此，对所述使用银盐感光层66的方法(银盐照相技术)、及使用光致抗蚀剂的方法(抗蚀技术)的不同点进行说明。

在抗蚀技术中，通过曝光处理，光聚合引发剂吸收光而开始反应，光致抗蚀剂膜(树脂)自身发生聚合反应，使显影液中的溶解性的增大或减少，通过显影处理，去除曝光部分或未曝光部分的树脂。此外，抗蚀技术中被称为显影液的液体不含还原剂，例如是溶解未反应的树脂成分的碱性溶液。另一方面，在本发明的银盐照相技术的曝光处理中，如上所述，由在接收到光的部位的卤化银62内产生的光电子和银离子，形成被称为所谓“潜影”的微小的银核，该潜影银核通过显影处理(此时的显影液一定含有被称为显影主剂的还原剂)被放大，形成可视化的银图像。这样，对于抗蚀技术与银盐照相技术来说，从曝光处理至显影处理的反应完全不同。

在抗蚀技术的显影处理中，曝光部分或未曝光部分的未发生聚合反应的树脂部分被去除。另一方面，在银盐照相技术的显影处理中，将潜影作为催化剂核，通过显影液中含有的被称为显影主剂的还原剂而产生还原反应，显影银68成长至肉眼可见的大小，不进行未曝光部分的明胶64的去除。这样，对于抗蚀技术与银盐照相技术来说，显影处理中的反应也完全不同。

此外，未曝光部分的明胶64中含有的卤化银62通过之后的定影处理而被溶析出来，不进行明胶64自身的去除。

这样，在银盐照相技术中反应(感光)主体是卤化银，与此相对，在抗蚀技术中反应(感光)主体是光聚合引发剂。而且，对于显影处理，在银盐照相技术中粘合剂(明胶64)将留下来，但在抗蚀技术中粘合剂不再存在。在这一点上，银盐照相技术与光致抗蚀剂技术差别很大。

作为其他制造方法(第2制造方法)，如图30A所示，例如形成铜箔75上的光致抗蚀剂膜76而获得感光材料，该铜箔75是形成在透明膜基材56上。之后，对感光材料进行曝光。即，隔着与经过图10或图24所示的图案生成处理而获得的曝光图案对应的掩膜图案，对光致抗蚀剂膜76照射光。或者，利用针对光致抗蚀剂膜76的数字写入曝光，在光致抗蚀剂膜76上曝光形成由图案生成装置生成的曝光图案。然后，进行显影处理，由此在透明膜基材56上形成与导电部50对应的抗蚀剂图案78，如图30B所示，对从抗蚀剂图案78露出的铜箔75进行蚀刻(etching)。在该阶段，在透明膜基材56上形成由铜箔75构成的导电部50(网格图案M)。

而且，作为第3制造方法，可以如图31A所示，在透明膜基材56上印刷含有金属微颗粒的糊料80，如图31B所示，通过在印刷的糊料80上进行金属镀敷82，来形成导电部50(网格图案M)。

或者，作为第4制造方法，可以如图32所示，利用丝网印刷版或凹版印刷版，在透明膜基材56上印刷金属薄膜84，从而形成网格图案M。

接着，在本实施方式的导电性膜14中，以特别优选的方式即采用卤化银照相感光材料的导电性金属薄膜的制作方法为中心进行说明。

如上所述，本实施方式的导电性膜14可通过如下方式制造：对在透明膜基材56上具有含有感光性卤化银盐的乳剂层的感光材料进行曝光，实施显影处理，借此，在曝光部及未曝光部中分别形成金属银部70及透光部72，接着对金属银部70实施物理显影及/或镀敷处理，从而使金属银部70载有导电性金属74。

根据感光材料及显影处理的方式，本实施方式的导电性膜14的形成方法包含以下三种方式。

(1)将不含物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料进行化学显影或物理显影，在该感光材料上形成金属银部70。

(2)将在卤化银乳剂层中含有物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料进行物理显影，在该感光材料上形成金属银部70。

(3)将不含物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料、与具有含物理显影核的非感光性层的显影片重叠，进行扩散转印显影，在非感光性显影片上形成金属银部70。

所述(1)的方式为一体型黑白显影类型，在感光材料上形成透光性电磁波屏蔽膜或光透过性导电膜等透光性导电膜。所得的显影银为化学显影银或物理显影银，由于是高比表面的细丝，因而在后续的镀敷或物理显影过程中活性较高。

所述(2)的方式为，在曝光部中，与物理显影核相近的卤化银溶解，在显影核上沉积，从而在感光材料上形成透光性导电膜。该方式也是一体型黑白显影类型。由于显影作用是在物理显影核上的析出，因此活性高，而显影银是比表面小的球形。

所述(3)的方式为，在未曝光部中卤化银溶解并扩散，在显影片上的显影核上沉积，从而在显影片上形成透光性导电膜。该方式为所谓的分离类型，将显影片从感光材料上剥离后使用。

所有方式均可以选择负型显影处理及反转显影处理中的任一显影(在扩散转印方式的情况下，通过使用直接阳图(autopositive)型感光材料作为感光材料，能够进行负型显影处理)。

这里所谓的化学显影、热显影、溶解物理显影、扩散转印显影的含义为，本领域中通常使用的用语的含义，在照相化学的一般教科书中有所说明，例如菊地真一著“照相化学”(共立出版社、1955年发行)、C.E.K.梅什編“摄影学理论，第四版，”(C.E.K.Mees“The Theory of PhotographicProcess,4th ed.”)(麦克米伦公司(Macmillan)、1977年发行)。本案为与液体处理相关的发明，但也可以参考应用热显影方式作为其他显影方式的技术。例如，可以应用日本专利特开2004-184693号、日本专利特开2004-334077号、日本专利特开2005-010752号的各公报、日本专利特愿2004-244080号、日本专利特愿2004-085655号的各说明书中记载的技术。

(感光材料)

作为被镀敷素材的感光材料(感光板(web))例如是在透明膜基材56上设置着含银盐(例如卤化银)的含银盐层的长条柔性基材。而且，还可以在含银盐层上设置保护层，该保护层是指例如主要由明胶或高分子聚合物(polymer)之类的粘合剂构成的层，其形成在含银盐层上，以表现出防擦伤或改进力学特性的效果。保护层的厚度优选为0.02μm～20μm。

这些含银盐层或保护层的组成等可以适当地应用适用于银盐照片胶片、相纸、印刷制版用膜、光掩膜用乳液掩膜等中的卤化银乳剂层(含银盐层)或保护层。

特别是作为感光材料，优选为银盐照片胶片(银盐感光材料)，最优选为黑白银盐照片胶片(film)(黑白银盐感光材料)。而且，作为应用于含银盐层的银盐，特别最优选为卤化银。此外，感光材料的宽度例如为20cm以上，厚度可为50μm～200μm。

[透明膜基材56]

作为在本实施方式的制造方法中使用的透明膜基材56，可以使用柔性的塑料膜。

作为所述塑料膜的原料，例如可以使用：聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇缩丁醛、聚酰胺、聚醚、聚砜、聚醚砜、聚碳酸酯、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚醚、聚醚醚酮、EVA等聚烯烃类；以及聚碳酸酯、三醋酸纤维素(TAC)、丙烯树脂、聚酰亚胺、或芳族聚酰胺(aramid)等。

在本实施方式中，从透光性、耐热性、易处理性及价格方面出发，所述塑料膜优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜或三醋酸纤维素(TAC)膜。

由于在窗玻璃用的透明发热体中要求透光性，因此希望透明膜基材56的透光性高。该情况下的塑料膜的全可见光透过率优选为70％～100％，更优选为85％～100％，特别优选为90％～100％。而且，在本发明中，作为所述塑料膜，也可以使用以不妨碍本发明目的的程度着色后的塑料薄膜。

本实施方式中的塑料膜可以单层使用，也可以作为将两层以上组合而成的多层膜使用。

[保护层]

所使用的感光材料可以在后述的乳剂层上设置保护层。本实施方式中，“保护层”是指主要由明胶或高分子聚合物之类的粘合剂构成的层，其形成在具有感光性的乳剂层上，以表现出防擦伤或改进力学特性的效果。从镀敷处理的方面出发，优选为不设置所述保护层，即便设置所述保护层也优选是较薄的保护层。厚度优选为0.2μm以下。所述保护层的涂布方法的形成方法并无特别限定，可以适当选择周知的涂布方法。

[乳剂层]

本实施方式的制造方法中使用的感光材料优选为在透明膜基材56上具有含银盐的乳剂层(银盐感光层66)作为光敏器件。本实施方式中的乳剂层除了可以含有银盐以外，视需要也可以含有染料、粘合剂、溶剂等。

＜银盐＞

作为本实施方式中使用的银盐，优选为卤化银等无机银盐，特别是优选以卤化银照片感光材料用卤化银颗粒的形式使用银盐。卤化银作为光敏器件的特性优秀。

对以卤化银照片感光材料的照片乳剂的形式优选使用的卤化银进行说明。

本实施方式中，为了作为光敏器件而发挥功能，优选使用卤化银，与卤化银相关的银盐照片胶片、相纸、印刷制版用膜、光掩膜用乳液掩膜等中使用的技术也可以在本实施方式中利用。

所述卤化银中含有的卤素元素可以是氯、溴、碘及氟中的任一种，也可以将它们组合。例如，优选使用以AgCl、AgBr、AgI为主体的卤化银，更优选使用以AgBr或AgCl为主体的卤化银。还优选使用氯溴化银、碘氯溴化银、碘溴化银。更优选为氯溴化银、溴化银、碘氯溴化银、碘溴化银，最优选为使用含有50摩尔％以上氯化银的氯溴化银、碘氯溴化银。

此外，于此所谓“以AgBr(溴化银)为主体的卤化银”，是指在卤化银组成中所占的溴化物离子的摩尔百分率为50％以上的卤化银。该以AgBr为主体的卤化银颗粒除了溴化物离子以外，还可以含有碘化物离子、氯化物离子。

本实施方式中使用的卤化银乳剂可以含有属于VIII族、VIIB族的金属。特别是，为了获得4以上的灰阶或为了实现低灰雾，优选含有铑化合物、铱化合物、钌化合物、铁化合物、锇化合物等。

而且，为了实现高灵敏化，进行K₄[Fe(CN)₆]、K₄[Ru(CN)₆]、K₃[Cr(CN)₆]那样的六氰化金属络合物的掺杂是有利的。

这些化合物的添加量相对于每1摩尔卤化银优选为10^-10～10^-2摩尔/摩尔Ag，更优选为10^-9～10^-3摩尔/摩尔Ag。

除此之外，本实施方式中，还可以优选使用含有Pd(II)离子及/或Pd金属的卤化银。Pd可以在卤化银颗粒内均匀分布，但优选在卤化银颗粒的表层附近含有Pd。于此，所谓“在卤化银颗粒的表层附近含有”Pd，是指在深度方向上距卤化银颗粒的表面50nm以内处，具有与其他层相比钯的含有率更高的层。

这种卤化银颗粒可以通过在形成卤化银颗粒的过程中添加Pd而进行制作，优选为在分别添加了总添加量的50％以上的银离子与卤素离子后添加Pd。而且，还优选通过在后熟时添加Pd(II)离子等方法使其存在于卤化银表层。

该含Pd卤化银颗粒有助于加快物理显影、非电解镀敷的速度，提高所期望的发热体的生产效率，降低生产成本。Pd作为非电解镀敷催化剂被广泛所知并使用，而在本发明中，由于能够使Pd偏向地位于卤化银颗粒的表层，因此能够节约极其昂贵的Pd。

本实施方式中，卤化银中含有的Pd离子及/或Pd金属的含有率相对于卤化银的、银的摩尔数优选为10^-4～0.5摩尔/摩尔Ag，更优选为0.01～0.3摩尔/摩尔Ag。

作为使用的Pd化合物的例子，可以列举PdCl₄、、Na₂PdCl₄等。

本实施方式中，为了进一步提高作为光敏器件的灵敏度，还可以实施利用照片乳剂进行的化学增感。作为化学增感的方法，可以使用硫增感、硒增感、碲增感等硫族增感、金增感等贵金属增感、以及还原增感等。它们可以单独使用或组合使用。在组合所述化学增感的方法而使用时，例如，优选为：硫增感法与金增感法的组合、硫增感法与硒增感法及金增感法的组合、硫增感法与碲增感法及金增感法等的组合。

＜粘合剂＞

为了使银盐颗粒均匀分散、并且辅助乳剂层与支持体之间的密合，乳剂层可以使用粘合剂。本发明中，作为所述粘合剂，可以使用非水溶性聚合物及水溶性聚合物中的任一种粘合剂，但优选使用水溶性聚合物。

作为所述粘合剂，例如，可以列举：明胶、聚乙烯醇(PVA)、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、淀粉等多糖类、纤维素及其衍生物、聚环氧乙烷、多糖、聚乙烯胺、壳聚糖、聚赖氨酸、聚丙烯酸、聚藻酸(polyalginic acid)、聚透明质酸、羧基纤维素等。它们根据官能基的离子性而具有中性、阴离子性、阳离子性的性质。

乳剂层中含有的粘合剂的含量并无特别限定，可以在能够发挥分散性及密合性的范围内适当地决定。例如，作为乳剂层中含有的粘合剂的含量，优选为调节为使得银盐感光层66中的Ag/粘合剂体积比为1/4以上，更优选为调节为使得银盐感光层66中的Ag/粘合剂体积比为1/2以上。

＜溶剂＞

所述乳剂层的形成中使用的溶剂并无特别限定，例如，可以列举水、有机溶剂(例如，甲醇(methanol)等醇类、丙酮等酮类、甲酰胺等酰胺类、二甲基亚砜等亚砜类、乙酸乙酯等酯类、醚类等)、离子性液体、及它们的混合溶剂。

相对于所述乳剂层含有的银盐、粘合剂等的总质量，本发明的乳剂层中使用的溶剂的含量为30质量％～90质量％的范围，优选为50质量％～80质量％的范围。

接着，对用于形成导电部50(网格图案M)的各步骤进行说明。

[曝光]

本实施方式中，通过曝光部18向设置在透明膜基材56上的具有银盐感光层66的感光材料进行曝光。曝光可以使用电磁波来进行。作为电磁波，例如可以列举可见光线、紫外线等光线、X射线等放射线等。而且，在曝光中既可以使用具有波长分布的光源，也可以使用特定波长的光源。

作为形成图案像的曝光方式，包括以下方式：面曝光方式，隔着掩膜图案将均匀的光照射到感光面上而形成掩膜图案的像；以及扫描曝光方式，进行激光等的光束的扫描，在感光性面上形成图案状的照射部。

曝光可以使用各种激光束来进行。例如，本实施方式中的曝光可以优选使用扫描曝光方式，该扫描曝光方式使用了气体激光器、发光二极管、半导体激光器、或二次谐波产生光源(Second Harmonic Generation，SHG)等的单色高密度光，其中，在二次谐波产生光源中，是将半导体激光器或在激励光源中使用了半导体激光器的固定激光器与非线性光学晶体相组合，而且，本实施方式中的曝光还可以使用KrF激元激光器、ArF激元激光器、F2激光器等。为了使系统小型化而便宜，使用半导体激光器、或者半导体激光器或固体激光器与非线性光学晶体相组合的二次谐波产生光源(SHG)进行曝光更为优选。特别是为了设计出小型、便宜、寿命长、且稳定性高的装置，最优选使用半导体激光器进行曝光。

关于按图案状对银盐感光层66进行曝光的方法，优选采用基于激光束的扫描曝光。特别优选为日本专利特开2000-39677号公报所记载的绞盘(capstan)方式的激光扫描曝光装置，而且在该绞盘方式中，还优选在光束扫描系统中使用日本专利特开2004-1224号公报记载的数字微镜器件(Digital Mirror Device，DMD)来代替基于多面镜旋转的光束扫描方式。特别是在制作3m以上的长条柔性膜型加热器时，优选在弯曲的曝光台上，一边输送感光材料一边用激光束进行曝光。

如后所述，网格图案M并无特别限定，只要是在被施加电压的电极之间流过电流的构造即可，例如由实质上平行的直线状细线交叉而成的三角形、四边形(菱形、正方形等)、六边形等格子状纹理、或平行的直线、折线、波浪线等。

[显影处理]

在本实施方式中，在对乳剂层进行曝光后，进一步进行显影处理。显影处理可以使用针对银盐照片胶片、相纸、印刷制版用膜、光掩膜用乳液掩膜等使用的通常的显影处理的技术。对于显影液并无特别限定，也可以使用PQ(phenidone hydroquinone，菲尼酮对苯二酚)显影液、MQ(Metolhydroquinone，米吐尔对苯二酚)显影液、MAA(Metol/Ascorbic Acid，米吐尔/抗坏血酸)显影液等，在市场上销售的商品中，例如，可以使用富士胶片公司配方的CN-16、CR-56、CP45X、FD-3、PAPITOL、柯达(KODAK)公司配方的C-41、E-6、RA-4、D-19、D-72等显影液、或其试剂盒中所含的显影液。

还可以使用高反差显影液。作为高反差显影液，可以使用KODAK公司配方的D85等。本发明中，通过进行所述曝光和显影处理，在曝光部上形成金属银部70、优选形成图案状金属银部70，并且在未曝光部上形成后述的透光部72。

为了提高画质，显影处理中使用的显影液可以含有画质提高剂。作为画质提高剂，例如可以举出苯并三唑等含氮杂环化合物。另外，在利用高反差显影液的情况下，特别还优选使用聚乙二醇。

显影处理后的曝光部中含有的金属银的质量的含有率优选为曝光前的曝光部中含有的银的质量的50质量％以上，更优选为80质量％以上。若曝光部中含有的银的质量是曝光前的曝光部中含有的银的质量的50质量％以上，则能够得到高导电性，因此是优选的。

本实施方式中的显影处理后的灰阶并无特别限定，优选超过4.0。若显影处理后的灰阶超过4.0，则能够较高地保持透光部的透光性，同时能够提高导电性金属部的导电性。作为使灰阶成为4.0以上的方法，例如可以举出所述铑离子、铱离子的掺杂。

[物理显影及镀敷处理]

在本实施方式中，为了提高通过所述曝光及显影处理形成的金属银部70的导电性，还可以进行用于使金属银部70载有导电性金属颗粒的物理显影及/或镀敷处理。在本实施方式中，可以仅利用物理显影或镀敷处理中的任意一方使金属银部70载有导电性金属颗粒，不过还可以进一步组合物理显影和镀敷处理而使金属银部70载有导电性金属颗粒。

本实施方式中的“物理显影”，是指在金属或金属化合物的核上，用还原剂对银离子等金属离子进行还原而析出金属颗粒。该物理显影被用于即时黑白胶片、即时幻灯胶片、或印刷版制造等，在本发明中可以使用该技术。

[压光(calender)处理]

可以对显影处理后的金属银部70(全面金属银部、金属网格图案部或金属配线图案部)实施压光处理而使其平滑化。由此，金属银部70的导电性显著增大。压光处理可以利用压光辊来进行。压光辊通常包含一对辊。

作为压光处理中使用的辊，可使用环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰亚胺酰胺等的塑料辊或金属辊。特别是在两面均具有乳剂层的情况下，优选在金属辊彼此之间进行处理。在单面具有乳剂层的情况下，从防止褶皱的方面出发，还可以为金属辊与塑料辊的组合。线压力的下限值为1960N/cm(200kgf/cm，换算为面压力为699.4kgf/cm²)以上，更优选为2940N/cm(300kgf/cm，换算为面压力为935.8kgf/cm²)以上。线压力的上限值为6880N/cm(700kgf/cm)以下。

以压光辊为代表的平滑化处理的适用温度优选为10℃(无温度调节)～100℃，虽然随金属网格图案、金属配线图案的扫描线密度或形状、粘合剂种类而异，但更优选的温度约在10℃(无温度调节)～50℃的范围。

[蒸汽接触处理]

若在即将进行压光处理之前或刚进行完压光处理之后与蒸汽接触，则能够进一步提升压光处理所带来的效果。即，能够显著提高导电性。所使用的蒸气的温度优选为80℃以上，更优选为100℃以上且140℃以下。与蒸气接触的时间优选为10秒至5分钟左右，更优选为1分钟至5分钟。

此外，本发明可以将下述表1和表2中记载的公开公报和国际公开小册子的技术适当组合而使用。省略了“日本专利特开”、“号公报”、“号小册子”等的表述。

[表1]

[表2]

[实例]

以下，举出本发明的实例来更具体地说明本发明。此外，以下的实例中所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等只要不脱离本发明的主旨，便可适当地进行变更。因此，本发明的范围不应限定性地解释成以下所示的具体例。

[卤化银感光材料]

制备乳剂，该乳剂相对于水介质中的60gAg含有10.0g明胶，且含有球当量直径平均0.1μm的碘溴氯化银颗粒(I＝0.2摩尔％、Br＝40摩尔％)。

而且，在该乳剂中添加浓度为10^-7(摩尔/摩尔银)的K₃Rh₂Br₉及K₂IrCl₆，在溴化银颗粒中掺杂Rh离子及Ir离子。在该乳剂中添加Na₂PdCl₄，进而使用氯化金酸与硫代硫酸钠进行金硫增感，之后，以银的涂布量为1g/m²的方式，与明胶坚膜剂一起涂布到聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上。此时，Ag/明胶体积比为1/2。

在宽度为30cm的PET支持体上，以25cm的宽度进行20m的涂布，将两端分别切掉3cm而保留涂布的中央部24cm，得到辊状的卤化银感光材料。

[曝光图案的生成]

使用本实施方式中说明的SA法(参照图10、图24)，分别生成表示包含不规则配置的配线的第1网格图案M1(参照图28A)及第2网格图案M2(图28B参照)的输出用图像数据ImgOut。

第1网格图案M1及第2网格图案M2的设定条件为：整体透过率设为93％、透明膜基材56的厚度设为20μm、金属细线54的宽度设为20μm、金属细线54的厚度设为10μm。将图案尺寸纵横均设为5mm，将图像分辨率设为3500dpi(dot per inch(每英寸点))。使用梅森旋转算法随机地决定种子点SD的初始位置，使用维诺图划分多边形状的各网格区域。基于图像数据Img的色值L^*、色值a^*、色值b^*，算出评价值EVP。然后，在上下方向及左右方向上并列配置相同的输出图像数据ImgOut，由此形成周期性的曝光图案。

另一方面，黑色矩阵59的设定条件为：光学密度设为4.5D、单位像素60的纵向尺寸、横向尺寸均设为200μm、遮光材61h的宽度、遮光材61v的宽度均设为20μm。

第1，在图6的设定画面160上选择单选按钮162b，将“矩阵的有无”设定为“无”，然后生成输出用图像数据ImgOut。结果，得到表示图28A所示的网格图案M1的模样的输出用图像数据ImgOut。

第2，在图6的设定画面160上选择单选按钮162a，将“矩阵的有无”设定为“有”，然后生成输出用图像数据ImgOut。结果，得到表示图28B所示的网格图案M2的模样的输出用图像数据ImgOut。

[曝光]

针对卤化银感光材料的曝光图案的曝光是以如下方式进行：将使用日本专利特开2004-1224号公报的发明的实施方式中记载的数字微镜器件(Digital Mirror Device，DMD)的曝光头排列成25cm宽，弯曲地配置曝光头及曝光台，以便在感光材料的感光层上使激光成像，在安装了感光材料送出机构及卷绕机构之后，以使曝光面的张力控制及卷绕、送出机构的速度变动不影响曝光部分的速度的方式，由设置了具有缓冲作用的挠曲部的连续曝光装置进行。曝光的波长为400nm，光束形状为12μm的大体正方形，且激光光源的输出为100μJ。

[显影液的组成]

在1升(L)显影液中包含有以下化合物。

[定影液的组成]

在1升定影液中包含有以下化合物。

[显影处理]

使用富士胶片公司制的自动显影机FG-710PTS，在显影35℃30秒、定影34℃23秒、水洗流水(5L/分)20秒的处理条件下，使用所述处理剂对曝光后的感光材料进行处理。

作为运行条件，设感光材料的处理量为100m²/日、显影液的补充为500ml/m²、定影液为640ml/m²，进行3天。此时，确认到镀敷处理后的铜的图案为线宽12μm、间距300μm。

另外，使用镀敷液(含有硫酸铜0.06摩尔/L、福尔马林0.22摩尔/L、三乙醇胺0.12摩尔/L、聚乙二醇100ppm、黄血盐50ppm，α,α'-双吡啶20ppm的、pH＝12.5的非电解镀铜液)，在45℃的条件下进行非电解镀铜处理，之后，用含有10ppm的Fe(III)离子的水溶液进行氧化处理，得到导电性薄膜的各种样品。

以下，将具有第1网格图案M1的导电性膜14称为第1样品，将具有第2网格图案M2的导电性膜14称为第2样品。将具有图案PT1～PT3的导电性膜14称为第3样品～第5样品。

[评价]

(表面电阻测定)

为了评价表面电阻率的均匀性，利用戴亚仪器(Dia instruments)公司制造的Loresta GP(型号MCP-T610)串联4探针探测仪(ASP)，测定导电性膜14的任意10个部位的表面电阻率的值，并取其平均值。

(杂讯感的评价)

使用市售的彩色液晶显示器(画面尺寸4.7型、640×480点)。将贴附着第1样品及第2样品的触控面板装入所述液晶显示器，从液晶面板的背面将作为辅助光的LED灯点亮，观察显示画面，进行杂讯感的目测评价。从距离液晶面板的正面侧有300mm观察距离之处，进行杂讯感的视认性评价。

[结果]

10个第1样品～第5样品，表面电阻率均为能够作为透明电极而充分实用化的级别，且透光性也都良好。特别是，表面电阻率的不均最小的是第4样品及第5样品(本发明的导电性膜14)。

关于杂讯感的视认性，获得按照第1样品、第2样品、第5样品、第3样品、第4样品的顺序从高到低的评价结果。该顺序是和图18所示的频谱Spc的峰值形成的面积由大变小的顺序是一致的。特别是，确认第1样品(本发明的导电性膜14)的杂讯感进一步不显著。

另外，使用透明板代替液晶面板，隔着所述LED灯观察光，进行同样的目测评价时，确认第1样品的杂讯感比第2样品的杂讯感更不显著。即，可理解根据导电性膜14的视认方式(例如红色过滤器58r等的彩色过滤器、黑色矩阵59的有无)，而实现网格图案M的模样的最佳化。

这样，从规定的二维图像区域200之中选择多个位置(种子点SD)，基于被选择的所述多个位置(种子点SD)，生成表示网格图案M的模样的图像数据Img，基于生成的图像数据Img，针对网格图案M的杂讯特性而算出定量化后的评价值EVP，并基于算出的评价值EVP与规定的评价条件，决定一个图像数据Img作为输出用图像数据ImgOut，然后基于决定的输出用图像数据ImgOut，在透明膜基材56上输出形成线材，因此能够决定具有满足所述规定的评价条件的杂讯特性的网格图案M的形状。换句话说，通过适当地控制网格图案M的杂讯特性，可以减少杂讯感。

而且，关于各网格的重心频谱Spcc，使高于规定空间频率Fb的空间频段侧的平均强度P_H，比低于所述规定空间频率Fb的空间频段侧的平均强度P_L大，以此方式形成网格图案M，因此与低空间频段侧相比，高空间频段侧的杂讯量相对变大。人类视觉具有在低空间频段的响应特性高、而在中空间～高空间频段的响应特性急剧下降的特性，因此人类能够视觉上感觉到的杂讯感减少。借此，能够减少因导电性膜14具有的图案引起的杂讯粒状感，从而可以大幅度提升观察对象物的视认性。而且，由于具备数个多边形状的网格，因此裁断后的各配线(金属细线54)的截面形状也大体固定，从而具有稳定的通电性能。

此外，本发明并不限定于所述实施方式，当然可以在不脱离本发明主旨的范围内自由地变更。

图案材料并不限于黑色矩阵，当然可以针对与各种用途对应的各种结构图案的形状应用本发明。

Claims (19)

1.一种导电性膜的制造方法，其特征在于包括：

位置选择步骤，从规定的二维图像区域之中，选择多个位置；

图像数据生成步骤，基于被选择的所述多个位置，生成表示网格图案的模样的图像数据；

评价值算出步骤，基于生成的所述图像数据，针对所述网格图案的杂讯特性，算出定量化后的评价值；

图像数据决定步骤，基于算出的所述评价值及规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据；及

形成步骤，基于决定的所述输出用图像数据，在基材上输出形成线材，从而制造具有所述网格图案的导电性膜。

2.根据权利要求1所述的导电性膜的制造方法，其特征在于包括：

结构图案输入步骤，输入视认信息，所述视认信息为将形成具有与所述网格图案的模样不同的模样的结构图案的图案材料，重叠于所述导电性膜而进行视认时，与所述结构图案的视认性相关的所述图案材料的视认信息；及

图像信息推定步骤，基于输入的所述图案材料的视认信息，来推定所述结构图案的图像信息，其中在所述位置选择步骤进行之前，进行所述结构图案输入步骤和所述图像信息推定步骤，

在所述图像数据生成步骤中，基于推定出的所述结构图案的图像信息，生成所述图像数据，所述图像数据表示在所述网格图案上重叠所述结构图案后的模样。

3.根据权利要求2所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述图案材料的视认信息中，包含所述图案材料的种类、色值、光透过率或光反射率、或所述结构图案的配设位置、单位形状或单位尺寸中的至少一项。

4.根据权利要求2或3所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述图案材料是黑色矩阵。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性膜的制造方法，其特征在于包括：

第1输入步骤，输入与所述网格图案的视认性相关的所述线材的视认信息；

第2输入步骤，输入与所述网格图案的视认性相关的所述基材的视认信息；及

推定步骤，基于输入的所述线材及所述基材的视认信息，来推定所述网格图案的图像信息，其中在所述位置选择步骤进行之前，进行所述第1输入步骤、所述第2输入步骤和所述推定步骤，

且在所述图像数据生成步骤中，基于推定出的所述网格图案的图像信息，来生成所述图像数据。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述评价值是表示粒度的评价值。

7.根据权利要求6所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述评价值是均方根粒度。

8.根据权利要求7所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述评价值是利用人类视觉响应特性函数进行修正后的均方根粒度。

9.根据权利要求8所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述人类视觉响应特性函数是多利·肖函数。

10.根据权利要求8所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

所述修正后的均方根粒度是相对于所述图像数据，施以与所述人类视觉响应特性函数对应的过滤处理，并利用所得的新的图像数据而算出的均方根粒度。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

在所述图像数据生成步骤中，使用德劳内三角形分割法，利用所述多个位置而形成网格状的模样，并生成表示所述模样的所述图像数据。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

在所述图像数据生成步骤中，使用维诺图，利用所述多个位置形成网格状的模样，并生成表示所述模样的所述图像数据。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性膜的制造方法，其特征在于包括：

位置更新步骤，基于所述评价值，将所述多个位置中的一部分，分别更新为其他的位置，其中在所述评价值算出步骤进行之后，进行所述位置更新步骤，

依次重复所述位置更新步骤、所述图像数据生成步骤及所述评价值算出步骤，通过所述图像数据决定步骤来决定所述输出用图像数据。

14.根据权利要求13所述的导电性膜的制造方法，其特征在于：

在所述位置更新步骤中，使用模拟退火法，将所述多个位置中的一部分，分别更新为其他的位置。

15.一种导电性膜，其特征在于：所述导电性膜是使用根据权利要求1至14中任一项所述的导电性膜的制造方法而制造。

16.根据权利要求15所述的导电性膜，包含具备数个多边形状的网格的网格图案，其特征在于：

关于各所述网格的重心位置分布的功率谱，使高于规定空间频率的空间频段侧的平均强度，变得比低于所述规定空间频率的空间频段侧的平均强度大，以此方式来形成所述网格图案。

17.根据权利要求16所述的导电性膜，其特征在于：

所述规定空间频率是人类视觉响应特性相当于最大响应的5％的空间频率。

18.根据权利要求17所述的导电性膜，其特征在于：

所述人类视觉响应特性是基于明视距离为300mm时的多利·肖函数而获得的视觉响应特性，

且所述规定空间频率为6个循环/毫米。

19.一种导电性膜的制造装置，其特征在于包括：

位置选择部，从规定的二维图像区域之中，选择多个位置；

图像数据生成部，基于由所述位置选择部选择的所述多个位置，生成表示网格图案的模样的图像数据；

评价值算出部，基于由所述图像数据生成部生成的所述图像数据，针对所述网格图案的杂讯特性，算出定量化后的评价值；

图像数据决定部，基于由所述评价值算出部算出的所述评价值及规定的评价条件，决定一个所述图像数据作为输出用图像数据；及

形成部，基于由所述图像数据决定部决定的所述输出用图像数据，在基材上输出形成线材，从而制造具有所述网格图案的导电性膜。