CN102206046B - 导电性薄膜以及透明发热体 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及导电性薄膜、透明发热体、图案形成方法和记录介质。导电性薄膜(10)具备多个导电部(14)和多个开口部(16)。导电部(14)具备主线路图案(22)和多个副线路(24)，主线路图案(22)由沿第1方向形成的多个波状线路(20)在与第1方向垂直的第2方向上排列而成，多个副线路(24)将相邻的波状线路(20)间电连接，由波状线路(20)和副线路(24)划分的部分构成开口部(16)，主线路图案(22)中，构成各波状线路的波状线的至少周期是不规则的。

Description

导电性薄膜以及透明发热体
技术领域
本发明涉及导电性薄膜、具备该导电性薄膜的透明发热体、适于形成导电性薄膜的布线图案的图案形成方法、和记录有图案形成程序的记录介质，该导电性薄膜能够用作车辆的除霜装置(defroster)、车窗玻璃等的一部分，也可以通过流过电流发热而作为发热片发挥功能，另外，还能够用作触摸屏用电极、无机EL元件、有机EL元件或太阳能电池的电极。
背景技术
以往，作为用于要求视觉识别性和电磁波的屏蔽性的窗而优选的乘用移动体用窗，例如提出了日本特开2009-137455号公报中记载的窗。该窗设置有网孔层，该网孔层中，以格子状反复配置有缺失圆的一部分的圆弧状的、具有导电性的线材，具有所述圆弧状的线材的端部与相邻的圆弧状的线材的中央部附近连接的形状的布线图案。即，日本特开2009-137455号公报中记载的网孔层以具有规则性的布线图案形成。
另外，作为在导电性薄膜上形成的布线图案，可以举出：沿一个方向形成线材的、在一维方向具有成分的图案(参见韩国公开专利第10-2009-0113757号公报)；沿一个方向、和另一方向(与上述方向垂直的方向)形成线材的、在二维方向具有成分的不规则的图案(参见韩国公开专利第10-2009-0113758号公报)。
然而，在将布线图案设置于例如车辆的车窗玻璃时，至少需要注意衍射像的扩展、断线、布线的视觉识别性这三点。
即，在将布线图案设置于例如车辆的车窗玻璃时，在二维方向具有成分的图案产生的光的衍射像以具有二维扩展的方式进行分布(衍射像的扩展)。对于在一维方向具有成分的图案而言，在作为发热体设置于车辆的车窗玻璃时，存在断线所引起的面内的发热不均恶化的影响(断线)。在二维方向具有成分的图案中，布线所具有的不规则性变强，布线图案变得容易视觉识别，即，存在布线视觉识别性显著变差的问题(布线视觉识别性)。
上述的日本特开2009-137455号公报为在二维方向具有成分的具备规则性的布线图案，因此在应用于车辆的车窗玻璃时，光源和布线图案引起的衍射像的扩展成为问题。另外，还存在显著产生规则的图案所导致的干涉条纹的问题。
韩国公开专利第10-2009-0113757号公报为在一维方向具有成分的布线图案，因此在作为设置于车辆的车窗玻璃的发热体应用时，存在无法避免线材的断线所致的发热量的不均匀性的问题。
韩国公开专利第10-2009-0113758号公报为在二维方向具有成分的不规则的布线图案，因此布线图案非常显眼，存在布线视觉识别性变差的问题。
发明内容
本发明是考虑到这些课题而进行的，目的在于提供一种导电性薄膜和透明发热体以及能够形成所述导电性薄膜的布线图案的图案形成方法和记录介质，该导电性薄膜能够消除衍射像的扩展、断线、布线视觉识别性的问题，在通过流过电流而作为发热片使用时，能够提高发热效率，同时能够防止车辆用灯具或户外灯等引起的光的炫目，适合用于车辆的车窗玻璃等。
另外，本发明的另一目的在于提供一种导电性薄膜以及能够形成该导电性薄膜的布线图案的图案形成方法和记录介质，该导电性薄膜在作为触摸屏用电极、无机EL元件或有机EL元件的电极使用时，能够防止背光引起的炫目等。
另外，本发明的另一目的在于提供一种导电性薄膜以及能够形成该导电性薄膜的布线图案的图案形成方法和记录介质，该导电性薄膜在作为太阳能电池的电极使用时，能够作为电磁波屏蔽膜发挥功能，此外，能够将表面电阻保持为较低，能够防止发电效率的降低。
[1]本发明的第一技术方案涉及的导电性薄膜为具备多个导电部和多个开口部的导电性薄膜，其特征在于，所述导电部具备主线路图案和多个副线路，该主线路图案由沿第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的第2方向上排列而成，该多个副线路将相邻的波状线路间电连接，由所述波状线路和所述副线路划分的部分构成所述开口部，所述主线路图案中，构成各所述波状线路的波状线的至少周期是不规则的。
由此，首先，虽然是在二维方向具有成分的布线图案，但由于在一维方向具有成分的波状线路存在不规则性，因此能够将衍射像的扩展抑制为一维的扩展，此外，还能够使干涉条纹变得不鲜明。另外，由于想要在相邻的波状线路间将多个副线路电连接，因此即使一部分产生断线，也能够抑制发热不均的影响。而且，具有不规则性的是沿第1方向形成的波状线路，因此布线图案显眼的情况消失，能够使布线视觉识别性变得良好。
即，本发明中，能够消除衍射像的扩展、断线、布线视觉识别性的问题。其结果，在通过流过电流而作为发热片使用时，能够提高发热效率，同时能够防止车辆用灯具或户外灯等引起的光的炫目，适合用于车辆的车窗玻璃等。还能够降低断线导致的车窗玻璃的更换次数，能够有助于使用者降低运行成本。
另外，本发明中，在作为触摸屏用电极、无机EL元件或有机EL元件的电极使用时，能够防止背光引起的炫目等。
另外，本发明中，在作为太阳能电池的电极使用时，能够作为电磁波屏蔽膜发挥功能，此外，能够将表面电阻保持得较低，能够防止发电效率的降低。
[2]在本发明的第一技术方案中，其特征在于，所述主线路图案中，构成各波状线路的波状线的至少所述周期和振幅分别是不规则的。
[3]本发明的第一技术方案中，其特征在于，所述主线路图案中，相邻的波状线路间的间隔也是不规则的。
[4]本发明的第一技术方案中，其特征在于，一个波状线路中的所述波状线的振幅的最大值为该一个波状线路和与该一个波状线路相邻的另一个波状线路间的间隔的1/2以下。
[5]本发明的第一技术方案中，其特征在于，构成各波状线路的波状线分别按照半周期被赋予了不规则性。
[6]本发明的第一技术方案中，其特征在于，所述主线路图案中，各波状线路的线宽也是不规则的。
[7]本发明的第一技术方案中，其特征在于，各副线路沿所述第2方向形成为直线状。
[8]本发明的第一技术方案中，其特征在于，被相邻的波状线路的各中心线、和该相邻的波状线路间的相邻的副线路的各中心线围成的封闭区域的形状是四边形，所述封闭区域具有排列多个的形态。
[9]本发明的第一技术方案中，其特征在于，各所述封闭区域的面积大致相同。
[10]本发明的第一技术方案中，其特征在于，各所述封闭区域的周长大致相同。
[11]本发明的第一技术方案中，其特征在于，在设第1边的长度为L1、设第2边的长度为L2时，所述第1边的长度L1与所述第2边的长度L2之比(L1/L2)为5以上，其中，该第1边基于构成所述封闭区域的波状线路的中心线，该第2边基于构成所述封闭区域的副线路的中心线。
[12]本发明的第一技术方案中，其特征在于，所述波状线路的线宽与所述副线路的线宽不同。
[13]本发明的第一技术方案中，其特征在于，所述波状线路的线宽和所述副线路的线宽为100μm以下。
[14]本发明的第一技术方案中，其特征在于，相邻的波状线路间的间隔为1000μm以下。
[15]本发明的第二技术方案涉及的透明发热体的特征在于，其具备上述本发明的第一技术方案涉及的导电性薄膜。
[16]本发明的第三技术方案涉及的图案形成方法的特征在于，该图案形成方法使用计算机来形成构成导电性薄膜中的导电部的布线图案，所述导电性薄膜在透明薄膜基材上具备导电部和开口部，所述导电部具备主线路图案和多个副线路，主线路图案由沿第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的第2方向上排列而成，多个副线路将相邻的波状线路间电连接，该图案形成方法包括以下步骤：输入初始函数的步骤；第1步骤，该步骤在对所述初始函数的至少周期进行随机变更的同时，在第1方向形成波状线路的图案；第2步骤，该步骤对所描绘的所述波状线路、和与该波状线路相邻的波状线路在第2方向(与所述第1方向垂直的方向)上的间隔进行随机变更；第3步骤，该步骤反复执行所述第1步骤和第2步骤，形成沿所述第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的所述第2方向上排列而成的所述主线路图案；第4步骤，该步骤中，在将相邻的波状线路间定义为行间时，在所述主线路图案中的各行间中，形成2个以上的连接相邻的波状线路的副线路的图案。
由此，通过本发明的图案形成方法形成的布线图案虽然是在二维方向具有成分的布线图案，但由于在一维方向具有成分的波状线路存在不规则性，因此能够将衍射像的扩展抑制为一维的扩展，此外，还能够使干涉条纹变得不鲜明。另外，由于想要在相邻的波状线路间将多个副线路电连接，因此即使一部分产生断线，也能够抑制发热不均的影响。而且，具有不规则性的是沿第1方向形成的波状线路，因此布线图案显眼的情况消失，能够使布线视觉识别性变得良好。
即，通过本发明形成的布线图案能够消除衍射像的扩展、断线、布线视觉识别性的问题。其结果，在通过流过电流而作为发热片使用时，能够提高发热效率，同时能够防止车辆用灯具或户外灯等引起的光的炫目，适合用于车辆的车窗玻璃等。还能够降低断线导致的车窗玻璃的更换次数，能够有助于使用者降低运行成本。
另外，通过本发明形成的布线图案在作为触摸屏用电极、无机EL元件或有机EL元件的电极使用时，能够防止背光引起的炫目等。
另外，通过本发明形成的布线图案在作为太阳能电池的电极使用时，能够作为电磁波屏蔽膜发挥功能，此外，能够将表面电阻保持得较低，能够防止发电效率的降低。
[17]本发明的第三技术方案中，其特征在于，通过所述第1步骤在所述计算机的图像存储器中描绘所述波状线路的图案，由此在所述第3步骤中在所述图像存储器中描绘所述主线路图案，在所述第4步骤中，在所述图像存储器中描绘所述副线路的图案，在所述图像存储器中描绘所述布线图案。
[18]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述初始函数为正弦波函数，所述第1步骤在按照半周期对至少所述正弦波的周期进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，由此形成所述波状线路的图案。
[19]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第1步骤在按照半周期对至少所述正弦波的周期和振幅进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，由此形成所述波状线路的图案。
[20]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第1步骤在以每半周期对至少所述正弦波的周期、振幅和相位进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，由此形成所述波状线路的图案。
[21]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第1步骤在按照半周期对周期、振幅、相位和线宽进行随机变更的同时，形成所述正弦波的半周期的波状线，由此形成所述波状线路的图案。
[22]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第2步骤中，一个波状线路中的所述波状线的振幅的最大值限制在该一个波状线路和与该一个波状线路相邻的另一个波状线路间的间隔的1/2以下，由此设定所述间隔。
[23]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第4步骤形成沿所述第2方向的直线状的所述副线路的图案。
[24]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述第4步骤在各行间分别对所述副线路的位置进行随机变更的同时，形成所述副线路的图案。
[25]本发明的第三技术方案中，其特征在于，所述布线图案中，被相邻的波状线路的各中心线、和该相邻的波状线路间的相邻的副线路的各中心线围成的封闭区域的形状是四边形，所述封闭区域具有排列多个的形态。
[26]本发明的第三技术方案中，其特征在于，各所述封闭区域的面积大致相同。
[27]本发明的第三技术方案中，其特征在于，各所述封闭区域的周长大致相同。
[28]本发明的第三技术方案中，其特征在于，在设第1边的长度为L1、设第2边的长度为L2时，所述第1边的长度L1与所述第2边的长度L2之比(L1/L2)为5以上，其中，该第1边基于构成所述封闭区域的波状线路的中心线，该第2边基于构成所述封闭区域的副线路的中心线。
[29]本发明的第四技术方案涉及的记录介质，其存储形成构成导电性薄膜中的导电部的布线图案的图案形成程序，所述导电性薄膜在透明薄膜基材上具备导电部和开口部，所述导电部具备主线路图案和多个副线路，主线路图案由沿第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的第2方向上排列而成，多个副线路将相邻的波状线路间电连接，该图案形成程序用于使计算机执行以下步骤：输入初始函数的步骤；第1步骤，该步骤在对所述初始函数的至少周期进行随机变更的同时，在第1方向形成波状线路的图案；第2步骤，该步骤对所描绘的所述波状线路、和与该波状线路相邻的波状线路在第2方向(与所述第1方向垂直的方向)上的间隔进行随机变更；第3步骤，该步骤反复执行所述第1步骤和第2步骤，形成沿所述第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的所述第2方向上排列而成的所述主线路图案；第4步骤，该步骤中，在将相邻的波状线路间定义为行间时，在所述主线路图案中的各行间中，形成2个以上的连接相邻的波状线路的副线路的图案。
如以上说明所述，通过本发明涉及的导电性薄膜、透明发热体、图案形成方法和记录介质，能够实现以下效果。
(1)能够消除衍射像的扩展、断线、布线视觉识别性的问题。其结果，在通过流过电流而作为发热片使用时，能够提高发热效率，同时能够防止车辆用灯具或户外灯等引起的光的炫目，适合用于车辆的车窗玻璃等。
(2)在作为触摸屏用电极、无机EL元件或有机EL元件的电极使用时，能够防止背光引起的炫目等。
(3)在作为太阳能电池的电极使用时，能够作为电磁波屏蔽膜发挥功能，此外，能够将表面电阻保持得较低，能够防止发电效率的降低。
配合附图，通过以下的具体实施方式的说明来进一步阐明上述目的、特征和优点。
附图说明
图1是部分省略地示出本实施方式涉及的导电性薄膜的截面图。
图2是部分省略地示出本实施方式涉及的导电性薄膜的俯视图。
图3是表示本实施方式涉及的导电性薄膜的制造方法的流程图。
图4是表示形成用于制作导电性薄膜的曝光图案的方法的流程图(之1)。
图5是表示形成用于制作导电性薄膜的曝光图案的方法的流程图(之2)。
图6是表示形成用于制作导电性薄膜的曝光图案的方法的流程图(之3)。
图7A～图7E是表示本实施方式涉及的导电性薄膜的第一制造方法的工序图。
图8A和图8B是表示本实施方式涉及的导电性薄膜的第二制造方法的工序图。
图9A和图9B是表示本实施方式涉及的导电性薄膜的第三制造方法的工序图。
图10是表示本实施方式涉及的导电性薄膜的第四制造方法的工序图。
图11是表示利用封闭区域的第1边的长度L1和第2边的长度L2之比(L1/L2)的不同进行的衍射像和布线视觉识别性的官能评价的图表。
具体实施方式
以下，参照图1～图11，对本发明涉及的导电性薄膜、透明发热体、图案形成方法和记录图案形成程序的记录介质的实施方式进行说明。需要说明的是，本说明书中表示数值范围的“～”以包含其前后记载的数值作为下限值和上限值的含义而使用。
本实施方式涉及的导电性薄膜能够用作车辆的除霜装置(defroster)、车窗玻璃等的一部分。该导电性薄膜也可以作为通过流过电流而发热的透明发热体发挥功能。
并且，如图1所示，该导电性薄膜10在透明薄膜基材12上具备导电部14和开口部16。需要说明的是，在以下的说明中，有时也将导电部14记为布线图案14。
导电部14如图2中放大所示，具备主线路图案22和多个副线路24，主线路图案22由沿第1方向(X方向)形成的多个波状线路20在与第1方向垂直的第2方向(Y方向)上排列而成，多个副线路24将相邻的波状线路20间电连接。由波状线路20和副线路24划分的部分构成开口部16。
构成主线路图案22中的各波状线路20的多个波状线20a至少周期是不规则的。在图2的例中，表示出周期、振幅、与相邻的波状线路间的间隔均为不规则的例子。
另外，本实施方式中，构成各波状线路20的多个波状线20a分别以每半周期被赋予了不规则性。即，形成每半周期中周期、振幅不同的波状线。这里，一个波状线路20中的波状线20a的振幅的最大值被设定为该波状线路20和与该波状线路20相邻的另一个波状线路20间的间隔的1/2以下。这是为了使在相邻的波状线路20间波状线20a不重叠。
各波状线路20的相位也分别设定为不规则。在图2的例子中，示出了从上数第1条、第3条和第4条的波状线路20分别以相位0°开始、从上数第2条和第5条的波状线路20分别以相位180°开始的例子。
另外，本实施方式中，虽然没有图示，但各波状线20a的线宽也是不规则的，被设定成每半周期不同的线宽。
另一方面，副线路24沿第2方向以直线状形成。考虑到布线视觉识别性，在相邻的一组的波状线路20间布线的副线路24优选尽可能少。本实施方式中，设定为2～3条。
此外，主线路图案22中，被相邻的波状线路20的各中心线Lm、和该相邻的波状线路20间的相邻的副线路24的各中心线Ln包围的封闭区域26的形状是四边形，该封闭区域26具有多个排列的形态。在图2的例中，示出了各封闭区域26的面积大致相同，而且，各封闭区域26的周长大致相同的例子。这里，使其“大致相同”是考虑到制造偏差，理想的情况下，优选的是各封闭区域26的面积相同，而且，各封闭区域26的周长相同。
另外，在将基于波状线路20的中心线Lm的第1边的长度设为L1、将基于构成封闭区域26的副线路24的中心线Ln的第2边的长度设为L2时，第1边的长度L1与第2边的长度L2之比(L1/L2)优选为5以上。
另外，可以使波状线路20的线宽与副线路24的线宽不同。若使波状线路20的线宽比副线路24的线宽粗，则副线路24变得不显眼，因此从提高布线视觉识别性的方面、以及降低表面电阻的方面出发是优选的。相反地若使副线路24的线宽比波状线路20的线宽粗，则在制成透明发热体的情况下，能够将波状线路20的断线所引起的发热量的影响抑制得较小，从这方面出发是优选的。当然，通过使相邻的波状线路20间的间隔变窄，能够将断线所带来的影响抑制得较小。
但是，在使波状线路20或副线路24的线宽变粗、或者使相邻的波状线路20间的间隔变窄的情况下，可见光透射率降低，因此优选调整到可见光透射率能够维持在70～80％的程度。此时，波状线路20的线宽和副线路24的线宽优选为100μm以下，相邻的波状线路20间的间隔优选为1000μm以下。
这样，在本实施方式涉及的导电性薄膜10和透明导电元件中，虽然是在第1方向和第2方向具有成分的布线图案14，但由于在第1方向具有成分的波状线路20存在不规则性，因此能够将衍射像的扩展抑制为一维的扩展，此外，还能够使干涉条纹变得不鲜明。另外，由于想要在相邻的波状线路20间将多个副线路24电连接，因此即使一部分产生断线，也能够抑制发热不匀的影响。而且，具有不规则性的是沿第1方向形成的波状线路20，因此布线图案14显眼的情况消失，能够使布线视觉识别性变得良好。
即，本实施方式中，能够消除衍射像的扩展、断线、布线视觉识别性的问题。其结果，在通过流过电流而作为透明发热体使用时，能够提高发热效率，同时能够防止车辆用灯具或户外灯等引起的光的炫目，适合用于车辆的车窗玻璃等。还能够降低断线导致的车窗玻璃的更换次数，能够有助于使用者降低运行成本。
另外，本实施方式中，在作为触摸屏用电极、无机EL元件或有机EL元件的电极使用时，能够防止背光引起的炫目等。
另外，本实施方式中，在作为太阳能电池的电极使用时，能够作为电磁波屏蔽膜发挥功能，此外，能够将表面电阻保持得较低，能够防止发电效率的降低。
接着，参照图3～图10，对本实施方式涉及的导电性薄膜10的制造方法、特别是包含图案形成方法在内的制造方法进行说明。
首先，在图3的步骤S1中，制作感光材料。作为感光材料，如后所述，可以举出：具有透明薄膜基材12、和设置在该透明薄膜基材12上的银盐感光层的感光材料；或者，具有在上表面形成了铜箔的透明薄膜基材12、和形成于铜箔上的光致抗蚀膜的感光材料等。
步骤S2中，利用图案形成装置形成曝光图案(导电部14的布线图案：描绘数据)。
步骤S3中，制作具有与所形成的曝光图案对应的掩模图案的掩模，从曝光装置隔着掩模图案对感光材料(银盐感光层或光致抗蚀层)照射光，从而对感光材料曝光所述曝光图案。或者，将所形成的曝光图案输入曝光装置，通过该曝光装置的数字写入曝光对感光材料曝光所述曝光图案。需要说明的是，在感光材料具有银盐感光层或负型的光致抗蚀层的情况下，将与曝光图案对置的部位曝光，在感光材料具有正型的光致抗蚀层的情况下，将与曝光图案不对置的部位(即，反转图案)曝光。
步骤S4中，对感光材料进行显影处理，在透明薄膜基材12上形成具有沿着曝光图案的图案的导电部14。该阶段中，导电性薄膜10完成。
然后，在步骤S5中，例如在构成挡风玻璃的2枚粘合在一起的玻璃之间设置导电性薄膜10作为透明发热体。
这里，参照图4～图6，对本实施方式涉及的图案形成方法和利用记录在记录介质中的图案形成程序的曝光图案的形成方法进行说明。图案形成装置由计算机构成，具备键盘或鼠标等输入装置、硬盘、伪随机数生成部、描绘曝光图案的图像存储器、各种寄存器、输入输出接口等。
首先，在图4的步骤S101中，向图案形成装置输入作为基准的初始函数。这也可以通过操作者从输入装置进行操作输入而实现，在图案形成的程序起动时，例如可以读取预先存储在硬盘中的初始函数。
步骤S102中，进行初始设定。作为初始设定，可以举出对于图像存储器的描绘开始位置(地址)的初始设定、在一个波状线路20中所含的半周期的波状线20a的个数Na、波状线路20的条数Nb、在相邻的一组波状线路20间布线的副线路24的条数Nc、封闭区域26的面积(或封闭区域26的全周长)、各种不规则性的参数的设定。
不规则性的参数表示波状线20a的周期等的变动幅度，例如若初始函数为正弦波函数，则上述参数为正弦波的周期的变动幅度、正弦波的振幅的变动幅度、线宽的变动幅度、相邻的波状线路20间的间隔的变动幅度、各第1条副线路的描绘位置的变动幅度，以最大允许达到百分之几进行规定。
步骤S103中，对所形成的波状线路20的条数的计数中使用的计数器i，设置初始值“1”。
步骤S104中，对所形成的半周期的波状线20a的个数的计数中使用的计数器j，设置初始值“1”。
步骤S105中，设定第i个波状线路20中的第j个半周期的波状线20a的周期。此时，进行两次随机数生成。
第一次为设定变动方向(正负)的随机数，为在0～100中随机生成的任一个数字。若该随机数为0～50的任一者，则设定为“负”，若随机数为51～100的任一者，则设定为“正”。
第二次为设定变动幅度的随机数。例如在上述的初始设定中将基准的正弦波函数的半周期设定为1.35mm、将变动幅度设定为50％的情况下，在第二次的随机数为n时，若第一次的随机数表示负，则波状线20a的半周期为1.35×(1－0.5×(n/100))mm。在第一次的随机数表示正的情况下，波状线20a的半周期为1.35×(1+0.5×(n/100))mm。因此，该步骤S105中，作为波状线20a的半周期，设定为0.675～2.025mm中的任意数字。
步骤S106中，设定半周期的波状线20a的振幅。该情况下也进行两次随机数生成。第一次与步骤S105同样地，为设定变动方向(正负)的随机数。
第二次为设定振幅的变动幅度的随机数。例如在上述的初始设定中将基准的正弦波函数的振幅设定为0.5mm、将变动幅度设定为30％的情况下，在第二次的随机数为n时，若第一次的随机数表示负，则半周期的波状线20a的振幅为0.5×(1－0.3×(n/100))mm。在第一次的随机数表示正的情况下，半周期的波状线20a的振幅为0.5×(1+0.3×(n/100))mm。因此，该步骤S106中，作为半周期的波状线20a的振幅，设定为0.35～0.65mm中的任意数字。
步骤S107中，设定半周期的波状线20a的线宽。该情况下也进行两次随机数生成。第一次与步骤S105同样地，为设定变动方向(正负)的随机数。
第二次为设定线宽的变动幅度的随机数。例如在上述的初始设定中将基准的正弦波函数的线宽设定为20μm、将变动幅度设定为20％的情况下，在第二次的随机数为n时，若第一次的随机数表示负，则半周期的波状线20a的线宽为20×(1－0.2×(n/100))μm。在第一次的随机数表示正的情况下，半周期的波状线20a的线宽为20×(1+0.2×(n/100))μm。因此，该步骤S107中，作为半周期的波状线20a的线宽，设定为16～24μm中的任意数字。
步骤S108中，设定半周期的波状线20a的相位。此时，进行1次随机数生成。该随机数也与上述同样地，为0～100中随机生成的任一个数字，若该随机数为0～50的任一者，则设定为相位0°，若随机数为51～100的任一者，则设定为相位180°。
步骤S109中，从图像存储器中所设定的描绘开始位置起描绘设定后的半周期的波状线20a(第i个波状线路20中的第j个半周期的波状线20a)。在上述各种参数的设定的说明中，为了掌握实际的曝光图案而以实测值表示，在向该图像存储器的描绘中，将实测值仿射变换为屏幕坐标而进行。以下相同。需要说明的是，在向曝光装置送出曝光图案时，图像存储器中描绘的图案被变换为基于实测值的大小，由此被供给到曝光装置中。或者，在图像存储器中描绘的图案被供给到曝光装置中后，在该曝光装置中被变换为基于实测值的大小。
步骤S110中，对计数器j的值进行+1更新。
步骤S111中，对于第i个波状线路20，判断是否所有的半周期的波状线20a的描绘已结束。该判断通过计数器j的值是否超过半周期的波状线20a的个数Na而进行。若尚未结束，则进入步骤S112，将描绘开始位置设定(更新)为在第1方向(X方向)上移动步骤S109中描绘的半周期的波状线20a的周期而得到的位置。然后，回到步骤S105，进行该步骤S105以后的处理，即之后的半周期的波状线20a的设定、描绘。
对于第i个波状线路20，在所有的半周期的波状线20a的描绘结束的阶段，进入图5的步骤S113，对计数器i的值进行+1更新。
步骤S114中，对于第i个波状线路20，判断是否所有的半周期的波状线20a的描绘已结束。该判断通过计数器i的值是否超过波状线路的条数Nb而进行。若尚未结束，则进入步骤S115，设定相邻的波状线路间的间隔。该情况下也进行两次随机数生成。第一次与步骤S105同样地，为设定变动方向(正负)的随机数。
第二次为设定波状线路20间的间隔的变动幅度的随机数。例如在上述的初始设定中将波状线路20间的间隔的基准值设定为2.7mm、将变动幅度设定为10％的情况下，在第二次的随机数为n时，若第一次的随机数表示负，则波状线路20间的间隔为2.7×(1－0.1×(n/100))mm。在第一次的随机数表示正的情况下，波状线路20间的间隔为2.7×(1+0.1×(n/100))mm。因此，该步骤S115中，作为波状线路20间的间隔，设定为2.43～2.97mm中的任意数字。
步骤S116中，将步骤S115中设定的波状线路20间的间隔的信息存入行间表的第i个记录中。
步骤S117中，将描绘开始位置设定为在第2方向(Y方向)上从第i个波状线路的前面的位置移动步骤S115中设定的波状线路20的间隔而得到的位置。然后，回到图4的步骤S104，进行该步骤S104以后的处理，即之后的波状线路20的设定、描绘。
在所有的波状线路20的描绘结束的阶段，进入图5的步骤S118，在将相邻的波状线路20间定义为行间时，对所形成的波状线路20的行间数的计数中使用的计数器k，设置初始值“1”。
在步骤S119中，设定在第k个行间描绘的第1条副线路24的描绘开始位置(第1方向的坐标)。此时，进行1次随机数生成。例如在上述的初始设定中将基准的正弦波函数的半周期设定为1.35mm、将波状线的个数Nb设定为120条、将变动幅度设定为20％的情况下，在随机数为n时，第1条副线路24的描绘开始位置为距第1方向的原点(各波状线路20的第1方向的描绘开始位置)1.35×120×0.2×(n/100)mm的位置。
步骤S120中，求出构成第k个行间的相邻的波状线路20、与将步骤S119中设定的描绘开始位置延长的线的交点(在第2方向排列的两个交点)的位置。
步骤S121中，在步骤S120中求得的交点间描绘副线路24。
步骤S122中，对在一个行间描绘的第2条以后的副线路24的条数的计数中使用的计数器p，设置初始值“1”。
步骤S123中，读取在行间表中登录的相邻的波状线间的间隔中与第k个行间对应的间隔的信息。
步骤S124中，基于所读取的间隔的信息和预先设定的封闭区域26的面积(或封闭区域26的全周长)，求出相邻的副线路24间的距离(L1)。
步骤S125中，将对目前的描绘开始位置加上步骤S123中求出的副线路24间的距离而得到的位置设定(更新)为描绘开始位置。
步骤S126中，求出构成第k个行间的相邻的波状线路20、与将步骤S125中设定的描绘开始位置延长的线的交点(在第2方向排列的两个交点)的位置。
步骤S127中，在步骤S126中求出的交点间描绘副线路24。
图6的步骤S128中，对计数器p进行+1更新。
步骤S129中，判断第2条以后的副线路的描绘是否已结束。该判断通过计数器p的值是否超过从副线路24的条数Nc减去1的数(Nb-1)而进行。若尚未结束，则回到图5的步骤S123，进行该步骤S123以后的处理，即之后的副线路24的设定、描绘。
对于第k个行间，在所有的副线路24的描绘结束的阶段，进入图6的步骤S130，对计数器k的值进行+1更新。
步骤S131中，判断是否所有的行间中的副线路24的描绘已结束。该判断通过计数器k的值是否超过全部行间数(波状线路20的条数Nb-1)而进行。若尚未结束，则回到图5的步骤S119，进行该步骤S119以后的处理，即之后的行间中的副线路24的设定、描绘。
在所有的行间中的副线路24的描绘结束的阶段，进入之后的步骤S131，将图像存储器中描绘的图案(曝光图案)输出到曝光装置。该阶段中，图案形成处理结束。
接着，参照图7A～图10，对基于上述图3的工序的导电性薄膜10的具体制造方法进行说明。
第1制造方法中，利用对设置于透明薄膜基材12上的银盐感光层进行曝光、显影、定影而形成的金属银部、和该金属银部所负载的导电性金属，形成导电部14(布线图案)。
具体而言，如图7A所示，将使卤化银36(例如溴化银颗粒、氯溴化银颗粒或碘溴化银颗粒)与明胶38混合而成的银盐感光层40涂布到透明薄膜基材12上，得到感光材料。需要说明的是，图7A～图7C中，将卤化银36绘制为“颗粒”，这只是为了有助于本发明的理解而进行的夸张的表示，并不表示大小或浓度等。
之后，如图7B所示，对银盐感光层40进行导电部14的形成所必需的曝光。即，隔着与经过图4～图6所示的图案形成处理而得到的曝光图案对应的掩模图案，对银盐感光层40照射光。或者，利用对于银盐感光层40的数字写入曝光，对银盐感光层40曝光通过所述图案形成处理而形成的曝光图案。当卤化银36接收到光能时，进行感光而形成被称为“潜影”的肉眼无法观察的微小的银核。
之后，为了将潜影放大为肉眼能够观察的可视觉识别的图像，如图7C所示，进行显影处理。具体而言，利用显影液(碱性溶液和酸性溶液两者均有，但通常碱性溶液较多)对形成了潜影的银盐感光层40进行显影处理。该显影处理是指，由卤化银颗粒或显影液供给的银离子，通过被称为显影液中的显影主剂的还原剂，以潜影银核作为催化剂核，被还原成金属银，其结果，潜影银核被放大，形成可视觉识别的银图像(显影银42)。
结束显影处理后，银盐感光层40中残存有能够感光的卤化银36，因此，为了除去该卤化银36，如图7D所示，利用定影处理液(酸性溶液和碱性溶液两者均有，但通常酸性溶液较多)进行定影。
通过进行该定影处理，在曝光的部位形成金属银部44，在未曝光的部位仅残存明胶38，形成透光部46。即，在透明薄膜基材12上形成金属银部44和透光部46的组合。
使用溴化银作为卤化银36、并用硫代硫酸盐进行定影处理时的定影处理的反应式如下所述。
AgBr(固体)+2个S2O3离子→Ag(S2O3)2
(易水溶性络合物)
即，2个硫代硫酸根离子S2O3和明胶38中的银离子(来自AgBr的银离子)形成硫代硫酸银络合物。硫代硫酸银络合物的水溶性高，因此从明胶38中溶出。其结果，显影银42作为金属银部44被定影而残留。
因此，显影工序为对于潜影使还原剂反应从而使显影银42析出的工序，定影工序为使没有形成显影银42的卤化银36溶出到水中的工序。详细内容可参见T.H.James,The Theory of the Photographic Process(照相法原理),4th ed.,MacmillianPublishing Co.,Inc,NY,Chapter15,pp.438-442.1977。
需要说明的是，在许多情况下，显影处理在碱性溶液中进行，因此在从显影处理工序进入定影处理工序时，由于显影处理而附着的碱溶液被带入定影处理溶液(许多情况下为酸性溶液)中，因此存在定影处理液的活性发生变化的问题。另外，从显影处理槽中取出后，还存在膜上残留的显影液会引起所不期望的显影反应进一步进行的担忧。因此，显影处理后，在进入定影处理工序之前，优选用醋酸(醋)溶液等终止液将银盐感光层40中和或酸性化。
并且，如图7E所示，例如通过进行镀敷处理(单独使用化学镀或电镀，或者将两者组合使用)，仅使金属银部44负载导电性金属48，从而在透明薄膜基材12上通过金属银部44、和该金属银部44所负载导电性金属48而形成导电部14，透光部46成为开口部16。即，如图2所示，在透明薄膜基材12上形成具备主线路图案22和多个副线路24的导电部14，主线路图案22由沿第1方向(X方向)形成的多个波状线路20在与第1方向垂直的第2方向(Y方向)上排列而成，多个副线路24将相邻的波状线路20间电连接。
这里，对上述使用银盐感光层40的方法(银盐照相技术)、和使用光致抗蚀的方法(抗蚀技术)的不同点进行说明。
抗蚀技术中，通过曝光处理，光聚合引发剂吸收光而反应开始，光致抗蚀膜(树脂)自身发生聚合反应，使在显影液中的溶解性增大或减少，通过显影处理，除去曝光部分或未曝光部分的树脂。需要说明的是，抗蚀技术中被称为显影液的液体不含还原剂，例如是溶解未反应的树脂成分的碱性溶液。另一方面，本发明的银盐照片技术的曝光处理中，如上所述，由在受到光照射的部位的卤化银36内产生的光电子和银离子，形成所谓被称为“潜影”的微小的银核，该潜影银核通过显影处理(该情况下的显影液一定含有被称为显影主剂的还原剂)被放大，形成可视觉识别的银图像。这样，在抗蚀技术和银盐照相技术中，从曝光处理至显影处理的反应完全不同。
抗蚀技术的显影处理中，曝光部分或未曝光部分的未发生聚合反应的树脂部分被除去。另一方面，银盐照相技术的显影处理中，将潜影作为催化剂核，通过显影液中所含的被称为显影主剂的还原剂而产生还原反应，显影银42长大至肉眼能够看到的大小，不进行未曝光部分的明胶38的除去。这样，在抗蚀技术和银盐照相技术中，显影处理中的反应也完全不同。
需要说明的是，未曝光部分的明胶38中所含的卤化银36通过之后的定影处理而被溶出，不进行明胶38自身的除去。
这样，在银盐照相技术中反应(感光)主体是卤化银，与此相对，在抗蚀技术中反应(感光)主体是光聚合引发剂。另外，对于显影处理，在银盐照相技术中粘合剂(明胶38)残存，但在抗蚀技术中粘合剂不再存在。在这点上，银盐照片技术与光致抗蚀技术差别很大。
作为其他制造方法(第2制造方法)，如图8A所示，例如形成铜箔50上的光致抗蚀膜52，得到感光材料，其中，该铜箔50形成在透明薄膜基材12上。然后，对感光材料进行曝光。即，隔着与经过图4～图6所示的图案形成处理而得的曝光图案对应的掩模图案，对光致抗蚀膜52照射光。或者，利用对于光致抗蚀膜52的数字写入曝光，对光致抗蚀膜52曝光由图案形成装置形成的曝光图案。然后，进行显影处理，由此在透明薄膜基材12上形成与导电部14对应的抗蚀图案54，如图8B所示，对从抗蚀图案54露出的铜箔50进行蚀刻。在该阶段，形成基于铜箔的导电部14。即，如图2所示，在透明薄膜基材12上形成主线路图案22和多个副线路24，主线路图案22由沿第1方向(X方向)形成的多个波状线路20在与第1方向垂直的第2方向(Y方向)上排列而成，多个副线路24将相邻的波状线路20间电连接。
另外，作为第3制造方法，也可以如图9A所示，在透明薄膜基材12上印刷含有金属微粒的糊料56，如图9B所示，对糊料56进行金属镀敷58，由此形成导电部14。
或者，作为第4制造方法，也可以如图10所示，在透明薄膜基材12上，利用丝网印刷版或凹版印刷版，印刷形成与经过图4～图6所示的图案形成处理而得的曝光图案对应的布线图案14。
接着，在本实施方式涉及的导电性薄膜10中，以尤其优选的方式、即使用卤化银照片感光材料的导电性金属薄膜的制作方法为中心进行说明。
如上所述，本实施方式涉及的导电性薄膜10可以如下制造：将在透明薄膜基材12上具有含感光性卤化银盐的乳剂层的感光材料曝光，通过实施显影处理，在曝光部和未曝光部分别形成金属银部44和透光部46，此外通过对金属银部44实施物理显影和/或镀敷处理，从而使金属银部44负载导电性金属48，由此可以进行制造。
根据感光材料和显影处理的方式，本实施方式涉及的导电性薄膜10的形成方法包含以下三种方式。
(1)将不含物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料进行化学显影或热显影，在该感光材料上形成金属银部44的方式。
(2)将在卤化银乳剂层中含有物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料进行溶解物理显影，在该感光材料上形成金属银部44的方式。
(3)将不含物理显影核的感光性卤化银黑白感光材料、与具有含物理显影核的非感光性层的显影片重叠，进行扩散转印显影，在非感光性显影片上形成金属银部44的方式。
上述(1)的方式为一体型黑白显影型，在感光材料上形成电磁波屏蔽薄膜或透光性导电膜等透光性导电性膜。所得到的显影银为化学显影银或热显影银，由于是高比表面的细丝，因而在后续的镀敷或物理显影过程中活性很高。
上述(2)的方式为，在曝光部中，与物理显影核相近的卤化银颗粒溶解，在显影核上沉积，从而在感光材料上形成透光性电磁波屏蔽膜或透光性导电性膜等透光性导电性膜。该方式也是一体型黑白显影型。由于显影作用是在物理显影核上的析出，因此活性高，而显影银是比表面积小的球形。
上述(3)的方式为，在未曝光部中卤化银颗粒被溶解并扩散，沉积在显影片上的显影核上，从而在显影片上形成电磁波屏蔽薄膜或透光性导电性膜等透光性导电性膜。该方式为所谓的分离型，将显影片从感光材料剥离后使用。
所有的方式均可以选择负型显影处理和反转显影处理中的任意的显影(在扩散转印方式的情况下，通过使用直接阳图(オートポジ)型感光材料作为感光材料，能够进行负型显影处理)。
这里所述的化学显影、热显影、溶解物理显影、扩散转印显影的含义为本领域中通常使用的用语的含义，在照片化学的一般教科书例如菊地真一著“写真化学(照片化学)”(共立出版社、1955年发行)、C.E.K.Mees编“The Theory of PhotographicProcesses(照相法原理),4th ed.”(Mcmillan社、1977年发行)中有说明。本案为与液体处理相关的发明，但也可以参考应用热显影方式作为其他显影方式的技术。例如，可以应用日本特开2004-184693号、日本特开2004-334077号、日本特开2005-010752号的各公报、日本特愿2004-244080号、日本特愿2004-085655号的各说明书中记载的技术。
(感光材料)
作为被镀材料的感光材料(感光板(web))例如为在透明薄膜基材12上设置有含银盐(例如卤化银)的含银盐层的长的柔性基材。另外，还可以在含银盐层上设置有保护层，该保护层是指例如由明胶或高分子聚合物等粘合剂构成的层，为了表现出防擦伤或改良力学特性的效果而形成于含银盐层上。保护层的厚度优选为0.02～20μm。
这些含银盐层或保护层的组成等可以适当应用适用于银盐照片胶片、相纸、印刷制版用薄膜、光掩模用乳液掩模等中的卤化银乳剂层(含银盐层)或保护层。
特别地，作为感光材料，优选为银盐照片胶片(银盐感光材料)，最优选为黑白银盐照片胶片(黑白银盐感光材料)。另外，作为应用于含银盐层的银盐，尤其最优选为卤化银。需要说明的是，感光材料的宽度例如优选为20cm以上，厚度优选为50～200μm。
[透明薄膜基材12]
作为本实施方式的制造方法中使用的感光材料的透明薄膜基材12，可以使用塑料薄膜等。
作为上述塑料薄膜的原料，例如，可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、和聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯类；聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯、EVA等聚烯烃类；聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、PVB等乙烯基系树脂；以及，聚醚醚酮(PEEK)、聚砜(PSF)、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚酰胺、聚酰亚胺、丙烯酸类树脂、三醋酸纤维素(TAC)等。
本实施方式中，从透光性、耐热性、易处理性和价格的方面出发，上述塑料薄膜优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜或三醋酸纤维素(TAC)。
由于在车窗玻璃用的透明发热体中要求透光性，因此优选透明薄膜基材12的透光性较高。该情况下的塑料薄膜的全可见光透射率优选为70～100％，进一步优选为85～100％，特别优选为90～100％。另外，在本发明中，作为所述塑料薄膜，在不妨碍本发明的目的的情况下也可以使用着色的塑料薄膜。
本实施方式中的塑料薄膜可以单层使用，也可以作为将两层以上组合而成的多层薄膜使用。
[保护层]
使用的感光材料可以在后述的乳剂层上设置保护层。本实施方式中，“保护层”是指由明胶或高分子聚合物等粘合剂构成的层，为了表现出防擦伤或改良力学特性的效果而形成于具有感光性的乳剂层上。从镀敷处理的方面出发，优选不设置上述保护层，即使设置也优选较薄的保护层。其厚度优选为0.2μm以下。上述保护层的涂布方法的形成方法没有特别限定，可以适当选择公知的涂布方法。
[乳剂层]
本实施方式的制造方法中使用的感光材料优选为在透明薄膜基材12上具有含银盐的乳剂层(含银盐层)作为光敏器件。本实施方式中的乳剂层除了可以含有银盐以外，根据需要也可以含有染料、粘合剂、溶剂等。
＜银盐＞
作为本实施方式中使用的银盐，优选为卤化银等无机银盐，尤其是优选以卤化银照片感光材料用卤化银颗粒的形式使用银盐。卤化银的作为光敏器件的特性优异。
对于以卤化银照片感光材料的照片乳剂的形式优选使用的卤化银进行说明。
本实施方式中，为了作为光敏器件发挥功能，优选使用卤化银，与卤化银相关的银盐照片胶片或相纸、印刷制版用薄膜、光掩模用乳液掩模等中使用的技术也可以在本实施方式中使用。
上述卤化银中所含的卤素元素可以是氯、溴、碘和氟中的任一种，也可以将它们组合。例如，优选使用以AgCl、AgBr、AgI为主体的卤化银，进一步优选使用以AgBr、AgCl为主体的卤化银。还优选使用氯溴化银、碘氯溴化银、碘溴化银。更优选为氯溴化银、溴化银、碘氯溴化银、碘溴化银，最优选使用含有50摩尔％以上氯化银的氯溴化银、碘氯溴化银。
需要说明的是，这里，“以AgBr(溴化银)为主体的卤化银”是指，在卤化银组成中所占的溴化物离子的摩尔百分率为50％以上的卤化银。该以AgBr为主体的卤化银颗粒除了溴化物离子之外还可以含有碘化物离子、氯化物离子。
本实施方式中使用的卤化银乳剂可以含有属于VIII族、VIIB族的金属。尤其是，为了获得4以上的灰度或为了实现低灰雾，优选含有铑化合物、铱化合物、钌化合物、铁化合物、锇化合物等。
另外，为了实现高灵敏化，进行K4〔Fe(CN)6〕、K4〔Ru(CN)6〕、K3〔Cr(CN)6〕那样的六氰化金属络合物的掺杂是有利的。
这些化合物的添加量相对于每1摩尔卤化银优选为10-10～10-2摩尔/摩尔Ag，进一步优选为10-9～10-3摩尔/摩尔Ag。
除此之外，本实施方式中，还可以优选使用含有Pd(II)离子和/或Pd金属的卤化银。Pd可以在卤化银颗粒内均匀分布，但优选在卤化银颗粒的表层附近含有。这里，Pd“在卤化银颗粒的表层附近含有”是指，在深度方向上距卤化银颗粒的表面50nm以内处，具有与其他层相比钯的含有率更高的层。
这种卤化银颗粒可以通过在形成卤化银颗粒的途中添加Pd而进行制作，优选在分别添加总添加量的50％以上的银离子和卤素离子后添加Pd。另外，还优选通过在后熟时添加Pd(II)离子等方法使其存在于卤化银表层。
该含Pd卤化银颗粒有助于加快物理显影或非电解镀的速度，提高所期望的发热体的生产效率，降低生产成本。Pd作为非电解镀催化剂被广泛所知并使用，但本发明中，由于Pd可能集中存在于卤化银颗粒的表层，因此能够节约极其昂贵的Pd。
本实施方式中，卤化银中所含的Pd离子和/或Pd金属的含有率相对于卤化银的、银的摩尔数优选为10-4～0.5摩尔/摩尔Ag，进一步优选为0.01～0.3摩尔/摩尔Ag。
作为所使用的Pd化合物的例子，可以举出PdCl4、Na2PdCl4等。
本实施方式中，为了进一步提高作为光敏器件的灵敏度，还可以实施利用照片乳剂进行的化学增感。作为化学增感的方法，可以使用硫增感、硒增感、碲增感等硫族增感，金增感等贵金属增感，还原增感等。这些可以单独或组合使用。在组合上述化学增感的方法而使用时，例如，优选为硫增感法和金增感法、硫增感法和硒增感法和金增感法、硫增感法和碲增感法和金增感法等组合。
＜粘合剂＞
为了使银盐颗粒均匀分散，并且辅助乳剂层与支撑体的密合，乳剂层可以使用粘合剂。本发明中，作为上述粘合剂，非水溶性聚合物和水溶性聚合物中的任一者均可以用作粘合剂，但优选使用水溶性聚合物。
作为上述粘合剂，例如，可以举出明胶、聚乙烯醇(PVA)、聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)、淀粉等多糖类、纤维素及其衍生物、聚环氧乙烷、多糖、聚乙烯胺、壳聚糖、聚赖氨酸、聚丙烯酸、聚褐藻酸、聚透明质酸、羧基纤维素等。它们根据官能团的离子性具有中性、阴离子性、阳离子性的性质。
乳剂层中所含的粘合剂的含量没有特别限定，可以在能够发挥分散性和密合性的范围内适当决定。例如作为乳剂层中所含的粘合剂的含量，可以调节至含银盐层中的Ag/粘合剂体积比为1/4以上，或者调节至1/2以上。
＜溶剂＞
上述乳剂层的形成中使用的溶剂没有特别限定，例如，可以举出水、有机溶剂(例如，甲醇等醇类、丙酮等酮类、甲酰胺等酰胺类、二甲亚砜等亚砜类、乙酸乙酯等酯类、醚类等)、离子性液体、和它们的混合溶剂。
本发明的乳剂层中使用的溶剂的含量相对于所述乳剂层中所含的银盐、粘合剂等的总质量为30～90质量％的范围，优选为50～80质量％的范围。
接着，对于用于形成导电部14的各工序进行说明。
[曝光]
本实施方式中，对于具有设置于透明薄膜基材12上的银盐乳剂层58的感光材料进行曝光。曝光可以使用电磁波进行。作为电磁波，例如，可以举出可见光线、紫外线等光，X射线等放射线等。此外，曝光中还可以利用具有波长分布的光源，也可以使用特定波长的光源。
作为形成图案影像的曝光方式，具有以下曝光方式：隔着掩模图案对感光面照射均匀光，而形成掩模图案的像的面曝光方式；以及，进行激光等光束的扫描，在感光性面上形成图案状的照射部的扫描曝光方式。为了设计小型、廉价、并且寿命长、稳定性高的装置，最优选使用半导体激光器进行曝光。
[显影处理]
本实施方式中，在曝光乳剂层后，进一步进行显影处理。显影处理可以使用用于银盐照片胶片、相纸、印刷制版用薄膜、光掩模用乳液掩模等中的通常的显影处理的技术。对于显影液没有特别限定，也可以使用PQ显影液、MQ显影液、MAA显影液等，在市售品中，例如，可以使用富士胶片公司配方的CN-16、CR-56、CP45X、FD-3、PAPITOL、KODAK公司配方的C-41、E-6、RA-4、D-19、D-72等显影液、或其试剂盒中所含的显影液。另外，也可以使用高反差显影液(リス現像液)。
作为高反差显影液，可以使用KODAK公司配方的D85等。本发明中，通过进行上述曝光和显影处理，在曝光部形成金属银部44、优选形成图案状金属银部，同时在未曝光部形成上述的透光部46。
为了提高画质，显影处理中使用的显影液可以含有画质提高剂。作为画质提高剂，例如可以举出苯并三唑等含氮杂环化合物。另外，在利用高反差显影液的情况下，尤其还优选使用聚乙二醇。
显影处理后的曝光部中所含的金属银的质量相对于曝光前的曝光部中所含的银的质量，含有率优选为50质量％以上，进一步优选为80质量％以上。若曝光部中所含的银的质量相对于曝光前的曝光部中所含的银的质量为50质量％以上，则能够得到高导电性，因此优选。
本实施方式中的显影处理后的灰度没有特别限定，优选超过4.0。若显影处理后的灰度超过4.0，则能够较高地保持透光部的透光性，同时能够提高导电性金属部的导电性。作为使灰度为4.0以上的方法，例如，可以举出上述的铑离子、铱离子的掺杂。
[物理显影和镀敷处理]
本实施方式中，为了提高通过上述曝光和显影处理而形成的金属银部44的导电性，可以进行用于使金属银部44负载导电性金属颗粒的物理显影和/或镀敷处理。本实施方式中，可以仅利用物理显影或镀敷处理中的任一者使金属银部44负载导电性金属颗粒，此外也可以组合物理显影和镀敷处理使金属银部44负载导电性金属颗粒。
[压光处理]
可以对显影处理后的金属银部44(全面金属银部、金属网孔图案部或金属布线图案部)实施压光处理而使其平滑化。由此，金属银部44的导电性显著增大。压光处理可以利用压光辊进行。压光辊通常由一对辊构成。
作为压光处理中使用的辊，使用环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰亚胺酰胺等的塑料辊或金属辊。尤其是，在两面具有乳剂层的情况下，优选在金属辊彼此之间进行处理。在单面具有乳剂层的情况下，从防止褶皱的方面出发，可以为金属辊与塑料辊的组合。线压力的下限值为1960N/cm(200kgf/cm，换算为面压力为699.4kgf/cm2)以上，进一步优选为2940N/cm(300kgf/cm，换算为面压力为935.8kgf/cm2)以上。线压力的上限值为6880N/cm(700kgf/cm)以下。
以压光辊为代表的平滑化处理的适用温度优选为10℃(无温度调节)～100℃，虽然根据金属网孔图案、金属布线图案的扫描线密度或形状、粘合剂种类而异，但更优选的温度约在10℃(无温度调节)～50℃的范围。
[蒸气接触处理]
若在即将进行压光处理前或刚进行完压光处理后与蒸气接触，则能够进一步提升压光处理所带来的效果。即，能够显著提高导电性。所使用的蒸气的温度优选为80℃以上，进一步优选为100℃以上且140℃以下。与蒸气接触的时间优选为10秒至5分钟左右，进一步优选为1分钟至5分钟。
需要说明的是，本发明可以将下述表1和表2中记载的公开公报和国际公开小册子的技术适当组合而使用。省略“日本特开”、“号公报”、“号小册子”等表述。
[表1]
[表2]
[实施例]
以下，举出本发明的实施例来更具体地说明本发明。需要说明的是，以下的实施例中所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等只要不脱离本发明的主旨则可以适当变更。因此，本发明的范围不应限定性地解释成以下所示的具体例子。
[第1实施例]
(卤化银感光材料)
制备乳剂，该乳剂相对于水介质中的60g Ag含有10.0g明胶，含有球当量直径平均0.1μm的碘溴氯化银颗粒(I＝0.2摩尔％、Br＝40摩尔％)。
另外，在该乳剂中添加K3Rh2Br9和K2IrCl6，使浓度为10-7(摩尔/摩尔银)，在溴化银颗粒中掺杂Rh离子和Ir离子。在该乳剂中添加Na2PdCl4，进而使用氯金酸和硫代硫酸钠进行金硫增感后，与明胶坚膜剂一起涂布到聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上，使得银的涂布量为1g/m2。此时，Ag/明胶体积比为1/2。
在宽度30cm的PET支撑体上以25cm的宽度进行20m的涂布，将两端分别切掉3cm以残留涂布的中央部24cm，得到辊状的卤化银感光材料。
(曝光图案的形成)
作为图4的步骤S101中的初始函数，输入作为基准的正弦波信息。该正弦波信息的半周期为1.35mm，振幅为0.5mm。另外，作为步骤S102中的初始设定，使波状线路20间的间隔为2.7mm。此时，振幅设定在不超过线间隔的范围内。使波状线路20的线宽为20μm，半周期的波状线的个数Na为120个，主线路图案22中所含的波状线路20的条数Nb为60条，在相邻的一组波状线路20间布线的副线路24的条数Nc为2条。
伪随机数生成器例如使用Mersenne Twister(马特赛特旋转演算法)，周期为219937－1。不规则性以对于相作为基准的正弦波的周期、振幅、线间隔最大允许达到百分之几进行规定。在对周期设定为±50％、振幅设定为±30％、线间隔设定为±10％的情况下，周期最大可以在|0.675|mm的范围内变化，振幅最大可以在|0.15|mm的范围内变化，线间隔最大可以在|0.27|mm的范围内变化。如图4～图6中示出的流程图所示，每当描绘半周期的波状线20a时，通过上述随机数生成器取得伪随机数(在0-100中变换)，更新下一个将要描绘的半周期的参数。
当在一个方向上描绘了120个具有不规则性的波状线20a后，描绘隔着线间隔而相邻的波状线路20，其中，该线间隔具有上述范围的不规则性。此时的线间隔也是每描绘一行而取得并更新的随机数。
当一个方向的波状线路20的描绘、即主线路图案22的描绘结束时，以使得封闭区域26的面积相同的方式描绘副线路24，描绘的条数为设定在已经描绘的主线路图案22的各行间的条数。
在曝光图案的描绘(主线路图案22的描绘和副线路的描绘)结束的阶段，将曝光图案输入曝光装置。
(曝光)
对于卤化银感光材料的曝光图案的曝光如下进行：将使用日本特开2004-1224号公报的具体实施方式中记载的DMD(数字微镜器件)的曝光头排列成25cm宽，在感光材料的感光层上使曝光头和曝光台弯曲而配置，以使得激光成像，安装感光材料送出装置和卷绕装置后，利用设置了具有缓冲作用的挠曲的连续曝光装置进行曝光，使得曝光面的张力控制和卷绕、送出装置的速度变动不影响曝光部分的速度。曝光的波长为400nm，光束形状为12μm的近似正方形，另外激光源的输出为100μJ。
(显影处理)
.显影液1L配方
.定影液1L配方
将使用上述处理剂进行曝光后的感光材料，利用富士胶片公司制造的自动显影机FG-710PTS，在显影35℃30秒、定影34℃23秒、水洗流水(5L/分钟)的处理条件下处理20秒。
作为运行条件，使感光材料的处理量为100m2/天，显影液的补充为500ml/m2，定影液为640ml/m2，进行3天。此时，确认到镀敷处理后的铜的图案为线宽12μm/间距300μm。
此外，使用镀敷液(硫酸铜0.06摩尔/L、福尔马林0.22摩尔/L、三乙醇胺0.12摩尔/L、聚乙二醇100ppm、黄血盐50ppm，α,α’-双吡啶20ppm，pH＝12.5的非电解镀铜液)在45℃的条件下进行非电解镀铜处理后，用含有10ppm的Fe(III)离子的水溶液进行氧化处理，得到十种导电性薄膜。
〔评价〕
(表面电阻测定)
为了评价表面电阻率的均匀性，利用Dia Instruments Co.,Ltd.制造的LorestaGP(型号MCP-T610)串联4探针(ASP)测定导电性薄膜10的任意十处的表面电阻率，并取其平均值。
(炫目的评价)
配置用于设置导电性薄膜10的透明板。透明板由厚度5mm的玻璃构成，仿照车窗玻璃。在透明板上贴附导电性薄膜，使房间成为暗室，从距离透明板3m的地方点亮白炽灯(40瓦灯泡)，隔着透明板观察光，对衍射光的干涉所产生的炫目进行目视观察和评价。炫目的视觉识别性在距透明板的正面(设置了导电性薄膜10的面)的观察距离1m处进行评价。
(评价结果)
10张导电性薄膜的炫目均不明显，表面电阻率也为作为透明发热体能够充分实用化的水平，透光性也良好。
[第2实施例]
接着，调整图4～图6中示出的图案形成处理，对封闭区域(四边形)的第1边的长度L1与第2边的长度L2之比(L1/L2)进行各种变化，与第1实施例同样地得到六种导电性薄膜(样本1～6)。样本1～6的详细内容如图11所示，样本1的比(L1/L2)为1，样本2的比(L1/L2)为2.5，样本3的比(L1/L2)为5，样本4的比(L1/L2)为10，样本5的比(L1/L2)为50，样本6的比(L1/L2)为100。
对于样本1～6，通过4名评价者进行衍射像和布线视觉识别性的官能评价。评价结果示于图11。图11的图表中，横轴表示比(L1/L2)，纵轴表示评价分。衍射像的评价结果用“△”表示，布线视觉识别性的评价结果用“○”表示。另外，评价分的详细内容如下所示。
评价分0：非常显眼
评价分1：显眼
评价分2：略微显眼
评价点3：基本上不显眼
评价点4：完全不显眼
由图11的评价结果可知，若比(L1/L2)为5以上，则衍射像和布线视觉识别性基本上不显眼，若比(L1/L2)为50以上，在衍射像和布线视觉识别性不显眼。
需要说明的是，本发明涉及的导电性薄膜和透明发热体不限于上述实施方式，当然可以在不脱离本发明的主旨的范围内采取各种构成。

Claims (12)

1.一种在透明薄膜基材上具备导电部和开口部的导电性薄膜，其特征在于，
所述导电部具备主线路图案和多个副线路，该主线路图案由沿第1方向形成的多个波状线路在与所述第1方向垂直的第2方向上排列而成，该多个副线路将相邻的波状线路间电连接，
由所述波状线路和所述副线路划分的部分构成所述开口部，
在所述主线路图案中，构成各所述波状线路的波状线至少周期是不规则的，
各所述副线路沿所述第2方向形成为直线状，
被相邻的波状线路的各中心线、和该相邻的波状线路间的相邻的副线路的各中心线围成的封闭区域的形状是四边形，
所述封闭区域具有排列多个的形态，
在设第1边的长度为L1、设第2边的长度为L2时，所述第1边的长度L1与所述第2边的长度L2之比L1/L2为5以上，其中，该第1边基于构成所述封闭区域的波状线路的中心线，该第2边基于构成所述封闭区域的副线路的中心线，
各所述波状线路具有与所述副线路的交点，并且在相邻的所述交点之间，构成各所述波状线路的波状线至少周期是不规则的。
2.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，在所述主线路图案中，构成各波状线路的波状线至少所述周期和振幅分别是不规则的。
3.如权利要求2所述的导电性薄膜，其特征在于，在所述主线路图案中，相邻的波状线路间的间隔也是不规则的。
4.如权利要求2所述的导电性薄膜，其特征在于，一个波状线路中的所述波状线的振幅的最大值为该一个波状线路和与该一个波状线路相邻的另一个波状线路间的间隔的1/2以下。
5.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，构成各波状线路的波状线分别按照半周期被赋予了不规则性。
6.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，在所述主线路图案中，各波状线路的线宽也是不规则的。
7.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，各所述封闭区域的面积大致相同。
8.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，各所述封闭区域的周长大致相同。
9.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，所述波状线路的线宽与所述副线路的线宽不同。
10.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，所述波状线路的线宽和所述副线路的线宽为100μm以下。
11.如权利要求1所述的导电性薄膜，其特征在于，相邻的波状线路间的间隔为1000μm以下。
12.一种透明发热体，其特征在于，其具备权利要求1所述的导电性薄膜。
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