CN102804566B - 动磁式直线电动机用的位置检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在动磁式直线电动机中，能够在定子侧检测动子的位置并且具有高的检测精度的位置检测装置。本发明的一个实施方式的位置检测装置，在具备将多个线圈排列在一个方向而构成的定子（2）以及具有与该定子（2）相向地配置的永磁铁的动子（3）的动磁式直线电动机中，检测所述动子（3）的位置。该位置检测装置具备固定在所述动子（3）的磁性体（5），选择1个或多个线圈并对该线圈施加电压，并且测定与该线圈邻接的线圈中感应的电流或电压，基于测定的电流或电压对根据所述动子（3）的位置而变化的所述的磁性体（5）的位置进行计算。

Description

动磁式直线电动机用的位置检测装置

技术领域

本发明涉及在通过对定子侧的多个线圈施加电压而产生的磁场从而动子沿着一个方向移动的动磁式直线电动机（linear motor）中，检测动子的位置的位置检测装置。

背景技术

在定子侧配置有线圈并且在动子侧配置有永磁铁的动磁式直线电动机中，不需要在长轨道上排列昂贵的磁铁，此外在动子侧不产生热，而且也不需要对动子侧供给电力，因此特别作为长轨道的输送机构的驱动源而被广泛应用。

在上述动磁式直线电动机中，定子构成为将多个线圈排列在一个方向，动子侧的永磁铁与定子侧的线圈相向地配置。因此，在通过对定子侧的线圈施加多相交流电压来形成移动磁场的情况下，通过该移动磁场对动子产生与移动磁场相同方向的推力，结果动子沿着所述一个方向移动。

近年来，提出了作为升降机的驱动源使用上述的动磁式直线电动机的方案（例如专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-112883号公报。

发明内容

发明要解决的课题

可是，特别在作为乘用升降机的驱动源使用动磁式直线电动机的情况下，为了改善升降机的搭乘舒适性，需要着陆精度的提高、降低振动、冲击等的对策。为了对乘用升降机实施该对策，必须高精度地、例如以毫米级检测与该乘用升降机的轿厢连接的动子的位置。

在现有技术中，为了高精度地检测动子的位置，在动磁式直线电动机设置直线编码器（linear encoder），使用从直线编码器获得的位置检测信号执行伺服控制，由此控制对动子产生的推进力。

可是，在如现有技术那样使用了直线编码器的结构中，执行伺服控制的控制部配置在定子侧，位置检测用的传感器配置在动子侧。因此，为了使用从该传感器获得的位置检测信号通过控制部执行伺服控制，必须在动磁式直线电动机配置用于从动子侧向定子侧发送位置检测信号的通信单元。

在采用无线方式的通信单元作为上述通信单元的情况下，有在位置检测信号的发送中通信被切断的担忧。此外，在采用有线方式的通信单元的情况下，需要在轿厢进行移动的塔内配置通信布线，特别在多个轿厢在1个塔内移动的多轿厢升降机中，存在通信布线的配置变得复杂的问题。

因此本发明的目的在于提供一种在动磁式直线电动机中，能够在定子侧检测动子的位置并且具有高的检测精度的位置检测装置。

用于解决课题的方案

本发明的动磁式直线电动机用的位置检测装置，在如下动磁式直线电动机中检测动子的位置，所述动磁式直线电动机具备：将多个线圈排列在一个方向而构成的定子，以及具有与该定子相向地配置的永磁铁的动子，通过对所述定子侧的多个线圈施加电压而产生的磁场来使所述动子沿着所述一个方向进行移动，其中，所述动磁式直线电动机用的位置检测装置具备固定在所述动子的磁性体，选择1个或多个线圈并对该线圈施加电压，并且测定与该线圈邻接的线圈中感应的电流或电压，基于测定的电流或电压对根据所述动子的位置而变化的所述的磁性体的位置进行计算。

即，根据磁性体的位置进行变化，邻接的线圈间的互感进行变化，上述位置检测装置利用该互感根据磁性体的位置而像这样变化的情况。在这里，互感通过计算对线圈施加的电压和在与该线圈邻接的线圈中感应的电压的比率来求取。

具体地，上述位置检测装置具备：磁性体，固定在所述动子；电力供给控制单元，对接收指令而选择的线圈施加电压，使位置检测用的磁场产生；测定单元，对在接收指令而选择的线圈中感应的电流或电压进行测定；指令单元以及位置计算单元。指令单元对所述电力供给控制单元赋予第1指令，并且对所述测定单元赋予第2指令，所述第1指令用于选择1个或多个线圈来作为施加电压的对象，所述第2指令用于选择与所述电力供给控制单元接收所述第1指令而选择的线圈邻接的线圈来作为测定电流或电压的对象。位置计算单元控制所述指令单元的指令工作，基于由所述测定单元测定的测定值，对根据所述动子的位置而变化的所述磁性体的位置进行计算。

在上述位置检测装置中，电力供给控制单元接收来自指令单元的第1指令，对基于该第1指令而选择的1个或多个线圈（选择线圈）施加电压，当由此产生位置检测用的磁场时，位置检测用的磁场通过与选择线圈邻接的线圈（邻接线圈）的内侧，在邻接线圈中感应电压（电流）。

在这里，磁性体的磁阻低。由此，在与选择线圈相向的位置存在磁性体的情况下，位置检测用的磁场容易通过磁性体。因此，在磁性体存在的位置中磁通密度变高，另一方面在其他的区域中磁通密度变低。因此，在邻接线圈的附近位置存在磁性体的情况下，通过邻接线圈的内侧的磁通增加，由此在该邻接线圈中感应的电流增加。另一方面，在磁性体从邻接线圈的附近位置移动而远离的情况下，通过邻接线圈的内侧的磁通减少，由此在该邻接线圈中感应的电流减少。由此，在邻接线圈中感应与磁性体位置对应的电流。

根据上述位置检测装置，通过测定单元选择上述邻接线圈，测定在该邻接线圈中感应的电流或电压，因此位置计算单元通过取得由测定单元测定的测定值，从而能够计算与该测定值对应的磁性体的位置，结果，检测出与磁性体的位置对应的动子的位置。

在上述位置检测装置的第1具体结构中，所述指令单元对测定单元赋予的第2指令，是用于选择在所述电力供给控制单元接收所述第1指令而选择的线圈的两侧邻接的一对线圈的指令，所述测定单元接收所述第2指令而选择所述一对线圈，测定在该一对线圈中感应的电流或电压，所述位置计算单元取得由所述测定单元测定的2个测定值，基于该2个测定值计算所述磁性体的位置。

在对被施加电压的线圈的两侧邻接的一对线圈内任一个线圈中感应的电流或电压进行测定的情况下，对于该测定值有多个位置对应。因此，仅测定任一个线圈中感应的电流或电压，不能唯一地决定磁性体的位置。

在上述第1具体结构中，在上述一方的线圈中感应的电流或电压之外，还通过测定单元测定在另一方的线圈中感应的电流或电压，通过位置计算单元取得被测定的2个测定值。因此，在位置计算单元中，从与一方的测定值对应的1个或多个位置中，选择与另一方的测定值对应的1个或多个位置一致或近似的位置，由此即使在仅使用一方的测定值不能唯一地决定磁性体的位置的情况下，通过使用两方的测定值，从而能够唯一地决定磁性体的位置。

更具体地，在上述第1具体结构的位置检测装置中，还具备：记录单元，记录有表示所述磁性体的位置和在所述线圈中感应的电流或电压的关系的表，所述位置计算单元基于在所述记录单元中记录的表，计算从所述测定单元获得的一方的测定值所对应的至少1个位置来作为第1位置信息，并且计算另一方的测定值所对应的至少1个位置来作为第2位置信息，从第1位置信息中包含的位置中选择与第2位置信息中包含的位置一致或近似的位置，将选择的位置作为磁性体的位置进行计算。

在这里，上述表能够根据线圈的尺寸、线圈的卷绕数、磁性体的尺寸、磁性体的磁特性等来决定，预先通过实验或解析来取得。

在上述位置检测装置的第2具体结构中，所述指令单元对电力供给控制单元赋予的第1指令，是用于选择位于将1个线圈夹在中间的位置的一对线圈来作为施加电压的对象的指令，所述指令单元对测定单元赋予的第2指令，是用于选择夹在所述一对线圈之间的线圈来作为测定电流或电压的对象的指令，所述动磁式直线电动机用的位置检测装置还具备电压调整单元和判定单元。电压调整单元取得由所述测定单元测定的测定值，基于取得的测定值来控制所述电力供给控制单元，由此调整对所述一对线圈施加的电压，使得由所述测定单元测定的测定值成为规定值。判定单元取得由所述测定单元测定的测定值，判定取得的测定值与所述规定值是否一致或近似。而且，所述位置计算单元在通过所述判定单元判定为所述测定值与规定值一致或近似时，从所述电力供给控制单元取得对所述一对线圈施加的电压，基于取得的2个电压计算所述磁性体的位置。

在上述第2具体结构中，为了将夹在所述一对线圈之间的线圈（中间线圈）中感应的电流或电压固定为规定值，调整对所述一对线圈施加的电压，使得在该中间线圈中感应的电流或电压成为规定值，通过位置计算单元从电力供给控制单元取得调整后的2个电压。在这里，像这样取得的2个电压根据磁性体的位置而变化，但该2个电压与磁性体的位置具有1对1的关系。因此，在上述位置检测装置中，通过使用从电力供给单元取得的2个电压，从而能够唯一地决定磁性体的位置。

更具体地，所述电力供给控制单元对接收来自所述指令单元的第1指令而选择的一对线圈施加电压，使得夹在该一对线圈之间的线圈的内侧产生相互反向的磁场。

根据该具体的结构，能够容易地调整对所述一对线圈施加的电压，使得夹在该一对线圈之间的线圈中感应的电流或电压成为规定值。

进而具体地，所述电压调整单元控制所述电力供给控制单元，调整对该一对线圈施加的电压，使得对所述一对线圈施加电压而产生的磁场在该一对线圈之间夹着的线圈的内侧相互抵消。

在上述第2具体结构的位置检测装置中还具有：记录单元，记录有表示所述磁性体的位置与在从所述测定单元取得的测定值变为所述规定值时对所述一对线圈施加的电压的关系的表，所述位置计算单元基于在所述记录单元中记录的表，根据从所述电力供给控制单元取得的2个电压来计算所述磁性体的位置。

在上述位置检测装置中，所述磁性体配置在与如下线圈相向的位置，该线圈是与所述永磁铁所相向的线圈不同的线圈。此外，所述磁性体由顺磁性材料形成。

在上述位置检测装置中，所述定子分割成多个段，在各段中将多个线圈排列在所述一个方向，所述电力供给控制单元能够按每个段对施加到各线圈的电压分别进行控制。由此，能够以较少的功耗来检测磁性体的位置。

此外，将3个线圈作为1个线圈组，在各段至少配备1个线圈组。

在上述位置检测装置中，通过所述电力供给控制单元对所述多个线圈供给的电压是交流电压 。

通过使用交流电压，即使在动子停止而磁性体停止时，在与被施加电压的线圈邻接的线圈中也感应电流或电压，因此能够检测出磁性体的位置。

发明的效果

本发明的动磁式直线电动机用的位置检测装置，能够在定子侧检测动子的位置并且具有高的检测精度。

附图说明

图1是表示动磁式直线电动机的平面图。

图2是表示配置在定子的线圈组的平面图。

图3是表示包含本发明的第1实施方式的位置检测装置的动磁式直线电动机的框图。

图4是在上述第1实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第1方式的平面图。

图5是表示上述第1方式的磁场的状态的侧面图。

图6是在上述第1实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第2方式的平面图。

图7是表示上述第2方式的磁场的状态的侧面图。

图8是在上述第1实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第3方式的平面图。

图9是表示上述第3方式的磁场的状态的侧面图。

图10是表示磁性体位置和感应电压的大小的关系的图。

图11是表示包含本发明的第2实施方式的位置检测装置的动磁式直线电动机的框图。

图12是在上述第2实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第1方式的平面图。

图13是表示上述第1方式的电压调整前的磁场的状态的侧面图。

图14是在上述第2实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第2方式的平面图。

图15是表示上述第2方式的电压调整前的磁场的状态的侧面图。

图16是在上述第2实施方式中，着眼于在一个方向排列的3个线圈来说明位置检测工作的第3方式的平面图。

图17是表示上述第3方式的电压调整前的磁场的状态的侧面图。

图18是说明电压调整单元的电压调整工作的图。

图19是表示在上述第2实施方式的第2方式中的电压调整后的磁场的状态的侧面图。

图20是表示在上述第2实施方式的第3方式中的电压调整后的磁场的状态的侧面图。

图21是在上述第2实施方式中，表示位置检测工作的第4方式的磁场的状态的侧面图。

具体实施方式

以下，针对本发明的动磁式直线电动机用的位置检测装置，按照附图具体地说明其实施方式。

1．动磁式直线电动机

动磁式直线电动机（1）如图1所示，构成为包括：定子（2），在一个方向延伸；以及动子（3）具有与该定子（2）相向配置的多个永磁铁（未图示）。定子（2）通过将分割了的多个段（21）···（21）排列成一列进行连结而构成，在各段（segment）（21）中，在与动子（3）相向的表面，如图2所示那样配置有线圈组（22）。

在线圈组（22）中，将被施加U相交流电压的U相线圈（22u）和被施加V相交流电压的V相线圈（22v）和被施加W相交流电压的W相线圈（22w）设为1个线圈组，包含4个线圈组，各线圈组中包含的U相~W相线圈（22u）（22v）（22w）按UVW的顺序在一个方向排列。此外，邻接的线圈彼此相互在一部分重合。

而且，在各线圈组（22）中，按每个相串联连接有4个线圈。即，通过4个U相线圈（22u）形成将它们串联连接的U相串联线圈（23u），通过4个V相线圈（22v）形成将它们串联连接的V相串联线圈（23v），通过4个W相线圈（22w）形成将它们串联连接的W相串联线圈（23w）。

另一方面，配置在动子（3）的各永磁铁（未图示）在一个方向的两端部分别具有N极和S极，与包含在相同线圈组中的U相线圈（22u）和W相线圈（22w）的中心间的距离τ（参照图2）具有大致相同的长度尺寸。

如图3所示那样，在动磁式直线电动机（1）的定子（2）侧配备有逆变器（41）和控制该逆变器（41）的逆变器控制单元（40），逆变器（41）能够对每个段（21）分别控制对各串联线圈施加的交流电压。而且，逆变器（41）在从逆变器控制单元（40）接收到控制指令的情况下，基于该控制指令对线圈组（22）施加3相交流电压，由此在定子（2）的线圈侧的表面使移动磁场产生。

此外，逆变器（41）能够基于来自逆变器控制单元（40）的控制指令，调整移动磁场的大小、传播速度。

当通过逆变器（41）对线圈组（14）施加3相交流电压时，如图2所示，对U相串联线圈（23u）的两端施加U相交流电压Ｖu（=Ｖu(+)－Ｖu(－)），对V相串联线圈（23v）的两端施加V相交流电压Ｖv（=Ｖv(+)－Ｖv(－)），对W相串联线圈（23w）的两端施加W相交流电压Ｖw（=Ｖw(+)－Ｖw(－)）。

而且，当在定子（2）的线圈侧表面产生移动磁场时，对动子（3）产生与该移动磁场相同方向的推力，由此动子（3）沿着一个方向移动。此外，通过调整移动磁场的大小、传播速度，从而调整动子（3）的速度等。

逆变器（41）基于来自逆变器控制单元（40）的控制指令，在多个段（21）···（21）内，仅对与动子（3）部分或全部相向的段（21）（在图1中以斜线的阴影表示的段）施加3相交流电压。即，逆变器（41）接收来自逆变器控制单元（40）的指令，对施加3相交流电压的多个线圈组（22）···（22）进行选择，对选择的多个（22）···（22）施加3相交流电压，使移动磁场产生。由此，动磁式直线电动机（1）能够以较少的功耗被驱动。

在上述动磁式直线电动机（1）中，如图1所示，在动子（3）还固定有磁性体（5），该磁性体（5）由顺磁性材料形成。此外，磁性体（5）在如下位置配置，即在与对于动子（3）部分或全部相向的一组段（21）之外的段（21）相向的位置，在这里是与位于和该一组之间仅夹着1个其他的段（21）的位置的段（21）相向的位置。

而且，在上述动磁式直线电动机（1）配备有用于检测动子（3）的位置的位置检测装置，该位置检测装置的一部分通过上述的磁性体（5）和逆变器（41）构成。

2．位置检测装置的第1实施方式

如图3所示，第1实施方式的位置检测装置在磁性体（5）和逆变器（41）之外，还具备：测定单元（42）、指令单元（43）、位置计算单元（44）和记录单元（45）。

在这里，逆变器（41）能够从指令单元（43）接收与来自上述的逆变器控制单元（40）的指令不同的第1指令，在从指令单元（43）接收了第1指令的情况下，从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择1个串联线圈，对选择的1个串联线圈施加交流电压。由此，在磁性体（5）相向的段（21）的线圈侧表面，产生与移动磁场不同的位置检测用的磁场。

测定单元（42）能够从指令单元（43）接收与来自上述的第1指令不同的第2指令，在从指令单元（43）接收了第2指令的情况下，从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择2个串联线圈，对在选择的2个串联线圈中感应的电压（感应电压）进行测定。

指令单元（43）基于来自位置计算单元（44）的控制指令，对逆变器（41）赋予第1指令，对测定单元（42）赋予第2指令，该第1指令用于从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择1个串联线圈来作为施加电压的对象，该第2指令用于选择与逆变器（41）接收第1指令而选择的串联线圈不同的一对串联线圈来作为测定感应电压的对象。

以下，在本实施方式中，在U相~W向串联线圈（23u）（23v）（23w）中包含的线圈内，着眼于在一个方向排列的3个线圈（22u）（22v）（22w）进行说明（例如参照图4）。

如图4所示，在逆变器（41）从指令单元（43）接收第1指令而选择了U相线圈（22u）的情况下，测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令，选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的U相线圈（22u）的两侧邻接的V相线圈（22v）和W相线圈（22w）。

在该情况下，如图4所示那样，对U相线圈（22u）施加交流电压Vu0产生位置检测用的磁场Bu，由此位置检测用磁场Bu在V相线圈（22v）和W相线圈（22w）的内侧，分别通过如图5所示那样线圈彼此重叠的区域。而且，在V相线圈（22v）和W相线圈（22w）中感应电压Vvi、Vwi，通过测定单元（42）对感应的电压Vvi、Vwi进行测定。

在这里，磁性体（5）的磁阻低。由此，如图6所示，在与被施加交流电压Vu0的U相线圈（22u）相向的位置中存在磁性体（5）的情况下，位置检测用的磁场Bu容易通过磁性体（5）。因此，如图7所示那样，在存在磁性体（5）的位置中磁场Bu的磁通密度变高，但在其他的区域中磁场Bu的磁通密度变低。

因此如图6和图7所示那样，在相对于U相线圈（22u）和与其邻接的W相线圈（22w）相互重叠的区域存在相向的磁性体（5）的情况下（在磁性体（5）在磁性体位置x=－τ/4或其附近存在时），通过W相线圈（22w）的内侧的磁场Bu的磁通量增加，由此在该W相线圈（22w）中感应的电压Vwi增加。

另一方面，如图8和图9所示那样，在磁性体（5）从相对于U相线圈（22u）和W相线圈（22w）相互重叠的区域相向的位置起移动并远离的情况下，通过W相线圈（22w）的内侧的磁场Bu的磁通量减少，由此在该W相线圈（22w）中感应的电压Vwi减少。

由此，如图10所示，在W相线圈（22w），感应与磁性体（5）的位置x对应的电压Vwi。再有，在图10中，示出了感应电压Vwi的大小|Vwi|根据磁性体位置x而变化的情况。

此外，如图8和图9所示那样，在相对于U相线圈（22u）和与其邻接的V相线圈（22v）相互重叠的区域存在相向的磁性体（5）的情况下（在磁性体（5）在磁性体位置x=+τ/4或其附近存在时），通过V相线圈（22v）的内侧的磁场Bu的磁通量增加，由此在该V相线圈（22v）中感应的电压Vvi增加。

另一方面，如图6和图7所示那样，在磁性体（5）从相对于U相线圈（22u）和V相线圈（22v）相互重叠的区域相向的位置起移动并远离的情况下，通过V相线圈（22v）的内侧的磁场Bu的磁通量减少，由此在该V相线圈（22v）中感应的电压Vvi减少。

由此，如图10所示，在V相线圈（22v）中，感应与磁性体（5）的位置x对应的电压Vvi。再有，在图10中，示出了感应电压Vvi的大小|Vvi|根据磁性体位置x而变化情况。

在记录单元（45）中，记录有表示图10所示的磁性体位置x和V相线圈（22v）中感应的电压的大小|Vvi|的关系的表，和表示图10所示的磁性体位置x和W相线圈（22w）中感应的电压的大小|Vwi|的关系的表。

再有，这些表能够根据线圈的尺寸、线圈的卷绕数、磁性体的尺寸、磁性体的磁特性等来决定，预先通过实验或解析来取得。作为利用实验来取得表的方法，可以举出实际使磁性体（5）移动，测定在V相线圈（22v）中感应的电压Vvi和在W相线圈（22w）中感应的电压Vwi。或者，作为利用解析来取得表的方法，可以举出设定由动磁式直线电动机（1）和磁性体（5）构成的系统的磁场模型，对该磁场模型使用有限元法来进行解析。

位置计算单元（44）从该测定单元（42）取得通过测定单元（42）测定的2个感应电压Vvi、Vwi作为测定值Vvi0、Vwi0，基于取得的2个测定值Vvi0、Vwi0计算根据动子（3）的位置而变化的磁性体（5）的位置。

具体如图10所示那样，位置计算单元（44）基于在记录单元（45）中记录的表，计算从测定单元（42）获得的一方的测定值Vvi0所对应的2个位置xv1（=x2）、xv2（=x3）来作为第1位置信息，并且计算从测定单元（42）获得的另一方的测定值Vwi0所对应的2个位置xw1（=x1）、xw2（=x2）来作为第2位置信息，通过对第1位置信息和第2位置信息进行比较，从而从第1位置信息中包含的位置xv1（=x2）、xv2（=x3）中选择与第2位置信息中包含的位置xw1（=x1）、xw2（=x2）一致或近似的位置xv1（=x2），将选择的位置xv1（=x2）作为磁性体（5）的位置进行计算。

如上所述，在使用在记录单元（45）中记录的表来计算与测定值Vvi0、Vwi0对应的位置的情况下，由于根据2个测定值Vvi0、Vwi0的任一方的测定值，对应于该测定值计算出多个位置（例如相对于测定值Vvi0计算多个位置xv1、xv2），所以不能唯一地决定磁性体（5）的位置。

可是，在第1实施方式的位置检测装置中，如上述那样根据2个测定值Vvi0、Vwi0的双方计算与它们对应的2个位置信息，所以即使仅使用根据一方的测定值获得的位置信息不能唯一地决定磁性体（5）的位置的情况下，通过使用根据另一方的测定值获得的位置信息，也能唯一地决定磁性体（5）的位置。

此外，在通过测定单元（42）测定感应电压的情况下，该感应电压的大小越大，该感应电压越被高精度地测定。即，图10所示的磁性体位置x和感应电压的大小的关系（表）在以该感应电压的大小变得最大的位置为中心的宽度τ左右的范围中，具有高可靠性。

因此，在如上述那样基于表根据2个测定值Vvi0、Vwi0来检测磁性体（5）的位置的情况下，在磁性体位置x与感应电压的大小|Vvi0|的关系的可靠性高的范围和磁性体位置x与感应电压的大小|Vwi0|的关系的可靠性高的范围重叠的范围、即将U相线圈（22u）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中检测出的磁性体（5）的位置是高精度的。

根据与上述同样的原理，在逆变器（41）在从指令单元（43）接收第1指令而选择V相线圈（22v），测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令，选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的V相线圈（22v）的两侧邻接的W相线圈（22w）和U相线圈（22u）的情况下，在将V相线圈（22v）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

此外，在逆变器（41）从指令单元（43）接收第1指令而选择W相线圈（22w），测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令，选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的W相线圈（22w）的两侧邻接的U相线圈（22u）和V相线圈（22v）的情况下，在将W相线圈（22w）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

在这里，在对U相线圈~W相线圈（22u）（22v）（22w）的任一个线圈施加交流电压而执行检测工作时，即使在x=－τ/4~+τ/4的范围外检测出磁性体（5）的位置的情况下，通过对其他的1个线圈施加交流电压来重新执行检测工作，从而能够在将被施加了交流电压的线圈的中心位置（x=0）作为基准的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

由此，在上述第1实施方式的位置检测装置中，不依赖于磁性体（5）的位置，能够高精度地检测该磁性体（5）的位置。

此外，如上述那样，第1实施方式的位置检测装置基于在线圈中感应的电压来检测磁性体（5）的位置。因此，在动磁式直线电动机（1）中在定子（2）侧检测出动子（3）的位置。由此，即使在使用检测出的动子（3）的位置来执行伺服控制等的情况下，也不需要在动磁式直线电动机（1）如现有的动磁式直线电动机那样设置通信单元。

并且，在上述位置检测装置中，为了使位置检测用的磁场产生而对线圈施加交流电压，因此该磁场成为振动磁场。因此，即使在动子（3）停止而磁性体（5）停止时，在被施加了交流电压的线圈的两侧邻接的一对线圈中也感应电压，因此能够检测出磁性体（5）的位置。

此外，在上述位置检测装置中，在磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中仅对1个串联线圈施加交流电压，因此磁性体（5）的位置检测所需要的功耗少。

3．位置检测装置的第2实施方式

如图11所示，第2实施方式的位置检测装置在磁性体（5）和逆变器（41）之外，还具备：测定单元（42）、指令单元（43）、位置计算单元（44）、记录单元（45）、电压调整单元（46）和判定单元（47）。

在这里，逆变器（41）能够从指令单元（43）接收与上述的来自逆变器控制单元（40）的指令不同的第1指令，在从指令单元（43）接收了第1指令的情况下，从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择2个串联线圈，对选择的2个串联线圈施加相互反向的交流电压。由此，在磁性体（5）所相向的段（21）的线圈侧表面，产生与移动磁场不同的位置检测用的磁场。

测定单元（42）能够从指令单元（43）接收与上述的第1指令不同的第2指令，在从指令单元（43）接收了第2指令的情况下，从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择1个串联线圈，对在选择的1个串联线圈中感应的电压（感应电压）进行测定。

指令单元（43）基于来自位置计算单元（44）的控制指令，对逆变器（41）赋予第1指令，对测定单元（42）赋予第2指令，该第1指令用于从磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中选择2个串联线圈来作为施加电压的对象，并且对选择的2个串联线圈施加相互反向且大小为相同的规定值V0的交流电压，该第2指令用于选择与逆变器（41）接收第1指令而选择的2个串联线圈不同的一个串联线圈来作为测定感测电压的对象。

以下，在本实施方式中，在U相~W向串联线圈（23u）（23v）（23w）中包含的线圈内，着眼于在一个方向排列的3个线圈（22u）（22v）（22w）进行说明（例如参照图12）。

如图12所示，在逆变器（41）从指令单元（43）接收第1指令而选择位于在中间夹着1个U相线圈（22u）的位置的V相线圈（22v）和W相线圈（22w）的情况下，测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令，选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的V相线圈（22v）和W相线圈（22w）之间夹着的U相线圈（22u）。

在该情况下，如图12所示，对V相线圈（22v）施加交流电压Vv0而产生位置检测用磁场Bv，并且对W相线圈（22w）施加与交流电压Vv0反向且大小是相同的规定值V0的交流电压Vw0，产生与磁场Bv是反向且与磁场Bv大小相同的位置检测用的磁场Bw。由此，在U相线圈（22u）的内侧，如图13所示那样位置检测用的磁场Bv和磁场Bw分别通过线圈彼此重叠的2个区域中。

在这里，因为对V相线圈（22v）和W相线圈（22w）分别施加相互反向且大小是相同的规定值V0的交流电压Vv0、Vw0，所以如图13所示那样，在与U相~W相线圈（22u）（22v）（22w）相向的位置不存在磁性体（5）的情况下，通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通和磁场Bw的磁通相互抵消，由此在U相线圈（22u）几乎没有感应电压。因此，通过测定单元（42）测定的电压几乎为0。

在这里，磁性体（5）的磁阻低。由此，如图14所示，在与被施加交流电压Vw0的W相线圈（22w）相向的位置中存在磁性体（5）的情况下，位置检测用的磁场Bw容易通过磁性体（5）。因此，如图15所示那样，在存在磁性体（5）的位置中磁场Bw的磁通密度变高，但在其他的区域中磁场Bw的磁通密度变低。

此外，如图16所示，在与被施加交流电压Vv0的V相线圈（22v）相向的位置中存在磁性体（5）的情况下，如图17所示那样，在磁性体（5）存在的位置中磁场Bv的磁通密度变高，另一方面在其他区域中磁场Bv的磁通密度变低。

因此，如图14和图15所示那样，在相对于U相线圈（22u）和与其邻接的W相线圈（22w）相互重叠的区域存在相向的磁性体（5）的情况下（在磁性体（5）在磁性体位置x=－τ/4或其附近存在时），通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量增加。由此，通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量与通过U相线圈（22u）的 内侧的磁场Bv的磁通量相比变大，在U相线圈（22u）中感应电压Vui。而且，被感应的电压Vui通过测定单元（42）而被测定。

另一方面，如图16和图17所示那样，在相对于U相线圈（22u）和与其邻接的V相线圈（22v）相互重叠的区域存在相向的磁性体（5）的情况下（在磁性体（5）在磁性体位置x=+τ/4或其附近存在时），通过U相线圈（22v）的内侧的磁场Bv的磁通量增加。由此，通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通量与通过U相线圈（22u）的 内侧的磁场Bw的磁通量相比变大，在U相线圈（22u）中感应电压Vui。而且，被感应的电压Vui通过测定单元（42）而被测定。

接着，电压调整单元（46）从测定单元（42）取得通过该测定单元（42）测定的感应电压Vui作为测定值Vui0，基于取得的测定值Vui0来控制逆变器（41），由此对施加到V相线圈（22v）和W相线圈（22w）的交流电压Vv0、Vw0分别进行调整，使得通过测定单元（42）测定的感应电压Vui成为规定值（=0）。

判定单元（47）在通过电压调整单元（46）调整交流电压Vv0、Vw0的期间，从测定单元（42）取得此时通过测定单元（42）测定的感应电压Vui来作为测定值Vui0，判定取得的测定值Vui0与规定值（=0）是否一致或近似。而且，到通过判定单元（47）判定为测定值Vui0与规定值（=0）一致或近似为止，执行利用电压调整单元（46）的交流电压Vv0、Vw0的调整。

具体地，电压调整单元（46）如图18所示那样，将对W相线圈（22w）施加的交流电压Vw0的大小|Vw0|固定为规定值V0，使对V相线圈（22v）施加的交流电压Vv0的大小|Vv0|从0变化到规定值V0，之后，将对V相线圈（22v）施加的交流电压Vv0的大小|Vv0|固定为规定值V0，使对W相线圈（22w）施加的交流电压Vw0的大小|Vw0|从规定值V0变化到0。

而且，在通过判定单元（47）判定为从测定单元（42）取得的测定值Vui0与规定值（=0）一致或近似时，结束利用电压调整单元（46）的交流电压Vv0、Vw0的调整。

如图15所示，在通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量比通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通量大的情况下（磁性体（5）存在于磁性体位置x=－τ/4或其附近时），通过电压调整单元（46）的调整工作（图18）将对W相线圈（22w）施加的交流电压Vw0的大小|Vw0|调整为比规定值V0小的值，使得通过测定单元（42）测定的感应电压Vui成为规定值（=0）。这时，如图19所示那样，通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量与通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通量变得相等，磁场Bv和磁场Bw在U相线圈（22u）的内侧相互抵消。

另一方面，如图17所示，在通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通量比通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量大的情况下（磁性体（5）存在于磁性体位置x=+τ/4或其附近时），通过电压调整单元（46）的调整工作（图18）将对V相线圈（22v）施加的交流电压Vv0的大小|Vv0|调整为比规定值V0小的值，使得通过测定单元（42）测定的感应电压Vui成为规定值（=0）。这时，如图20所示那样，通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv的磁通量与通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bw的磁通量变得相等，磁场Bv和磁场Bw在U相线圈（22u）的内侧相互抵消。

再有，如图21所示，在磁性体（5）存在于U相线圈（22u）的中心位置的情况下（磁性体（5）存在于磁性体位置x=0时），磁性体（5）对2个磁场Bv、Bw几乎不施加影响，因此通过U相线圈（22u）的内侧的磁场Bv和磁场Bw的磁通量彼此相等，因此在U相线圈（22u）中几乎没有感应电压。因此，调整后的交流电压Vv0、Vw0的大小|Vv0|、|Vw0|均是规定值V0（参照图18）。

像这样调整的2个交流电压Vv0、Vw0根据磁性体位置x进行变化，并且与磁性体位置x具有1对1的关系。

在记录单元（45）中记录有表示磁性体位置x和调整后的2个交流电压的大小|Vv0|、|vw0|的关系的表。

再有，上述表能够根据线圈的尺寸、线圈的卷绕数、磁性体的尺寸、磁性体的磁特性等来决定，预先通过实验或解析来取得。作为利用实验来取得表的方法，可以举出实际使磁性体（5）移动，测定调整后的2个交流电压Vv0、Vw0。或者，作为利用解析来取得表的方法，可以举出设定由动磁式直线电动机（1）和磁性体（5）构成的系统的磁场模型，对该磁场模型使用有限元法来进行解析。

位置计算单元（44）在通过判定单元（47）判断为从测定单元（42）获得的测定值Vui0与规定值（=0）一致或近似时，从逆变器（41）取得通过逆变器（41）对V相线圈（22v）和W相线圈（22w）分别施加的交流电压Vv0、Vw0，基于取得的2个交流电压Vv0、Vw0计算与动子（3）的位置对应地变化的磁性体（5）的位置。

具体地，位置计算单元（44）基于从逆变器（41）取得的2个交流电压Vv0、Vw0，根据在记录单元（45）中记录的表取得该2个交流电压Vv0、Vw0的大小|Vv0|、|Vw0|所对应的位置x，将取得的位置x作为磁性体（5）的位置进行计算。这样，在第2实施方式的位置检测装置中，根据调整后的2个交流电压Vv0、Vw0唯一地决定磁性体（5）的位置。

此外，在如上述那样基于从逆变器（41）获得的2个交流电压Vv0、Vw0来检测磁性体（5）的位置的情况下，在通过U相线圈（22u）内侧的调整前的磁场Bv与磁场Bw的磁通量的差伴随磁性体（5）的位置x的变化而较大地变化的磁性体位置x的范围、即将U相线圈（22u）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中检测出的磁性体（5）的位置是高精度的。

根据与上述同样的原理，在逆变器（41）从指令单元（43）接收第1指令而选择位于将1个V相线圈（22v）夹在中间的位置的U相线圈（22u）和W相线圈（22w），测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令，选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的W相线圈（22w）和U相线圈（22u）之间夹着的V相线圈（22v）的情况下，在将V相线圈（22v）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

此外，在逆变器（41）在从指令单元（43）接收第1指令而选择位于将1个W相线圈（22w）夹在中间的位置的U相线圈（22u）和V相线圈（22v），测定单元（42）从指令单元（43）接收第2指令而选择在逆变器（41）接收第1指令而选择的V相线圈（22v）和U相线圈（22u）之间夹着的W相线圈（22w）的情况下，在将W相线圈（22w）的中心位置作为基准（x=0）的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

在这里，在对位于将U相线圈~W相线圈（22u）（22v）（22w）的任一个线圈夹在中间的位置的一对线圈施加交流电压执行检测工作时，即使在x=－τ/4~+τ/4的范围外检测出磁性体（5）的位置的情况下，通过对位于将其他的1个线圈夹在中间的位置的一对线圈施加交流电压来重新执行检测工作，从而能够在将被测定感应电压的线圈（夹在一对线圈之间的线圈）的中心位置（x=0）作为基准的x=－τ/4~+τ/4的范围中，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

由此，在上述第2实施方式的位置检测装置中，不依赖于磁性体（5）的位置，能够高精度地检测该磁性体（5）的位置。

此外，如上述那样，第2实施方式的位置检测装置基于对一对线圈施加的调整后的交流电压来检测磁性体（5）的位置。因此，在动磁式直线电动机（1）中在定子（2）侧检测动子（3）的位置。由此，即使在使用检测出的动子（3）的位置来执行伺服控制等的情况下，也不需要在动磁式直线电动机（1）如现有的动磁式直线电动机那样设置通信单元。

并且，在上述位置检测装置中，为了使位置检测用的磁场产生而对线圈施加交流电压，因此该磁场成为振动磁场。因此，即使在动子（3）停止而磁性体（5）停止时，在被施加了交流电压的一对线圈之间夹着的线圈中也感应电压，因此能够检测出磁性体（5）的位置。

此外，在上述位置检测装置中，在磁性体（5）所相向的段（21）中配备的U相~W相串联线圈（23u）（23v）（23w）中仅对1对串联线圈施加交流电压，因此磁性体（5）的位置检测所需要的功耗少。

4．磁性体的绝对位置的检查方法

根据上述第1和第2实施方式的位置检测装置，对任一个线圈，在将该线圈的中心位置（x=0）作为基准的x=－τ/4~+τ/4的范围内，检测出具有高精度的磁性体（5）的位置。

因此，为了检测出磁性体（5）的绝对位置，需要计算从以开关、传感器等能够检测磁性体（5）的初始位置起到磁性体（5）相向的线圈组的中心位置（V相线圈（22v）的中心位置）为止的距离L。

配置在动子（3）的永磁铁如上述那样，与包含在相同线圈组中的U相线圈（22u）和W相线圈（22w）的中心间的距离τ（参照图2）具有大致相同的长度尺寸。在这样的结构中，在为了使动子（3）移动而对定子（2）侧的线圈组（22）施加3相交流电压的情况下，动子（3）按3相交流电压每振动一个周期的量，移动邻接的线圈组中包含的同相的2个线圈的中心间的距离。

因此，通过计数从磁性体（5）存在于上述初始位置的状态起，施加到线圈组（22）的3相交流电压进行了几个周期的量的振动，从而能够计算从初始位置到磁性体（5）相向的线圈组的中心位置为止的距离L。

因此，通过对由位置检测装置检测出的磁性体（5）的位置合计计算如上述那样计算出的距离L，并且合计计算根据由位置检测装置检测出的磁性体（5）的位置是以哪个相的线圈的中心位置为基准而决定的校正值，从而计算磁性体（5）的绝对位置。

在这里，校正值在磁性体（5）的位置是将V相线圈（22v）的中心位置作为基准而获得的位置的情况下为0，在磁性体（5）的位置是将U相线圈（22u）的中心位置作为基准而获得的位置的情况下为－τ/2（或+τ/2），在磁性体（5）的位置是将W相线圈（22w）的中心位置作为基准而获得的位置的情况下为+τ/2（或－τ/2）。

再有，本发明的各部结构不限于上述实施方式，当然能够在专利请求的范围中记载的技术范围内进行各种变形。在上述实施方式中，本发明的位置检测装置应用于邻接的线圈彼此相互部分重叠的动磁式直线电动机，但本发明的位置检测装置的应用范围并不局限于此。例如，本发明的位置检测装置也能够应用于邻接的线圈彼此相互不重叠的动磁式直线电动机。但是，邻接的线圈需要具有在一方的线圈中产生的磁场通过另一方的线圈的内侧的位置关系。或者，在磁性体（5）需要具有如下形状，即在与邻接的线圈的关系中，在一方的线圈中产生的磁场通过磁性体（5）而通过另一方的线圈的内侧。

在上述实施方式中，在各段（21）配备有4个线圈组，但本发明并不局限于此，例如在各段（21）中，仅配置1个线圈组也可，配置4个以外的多个线圈组也可。

此外，在上述实施方式中，磁性体（5）以在与动子（3）部分或全部相向的一组段（21）和与磁性体（5）相向的段（21）之间夹着1个其它的段（21）的方式，固定在动子（3），但本发明并不局限于此。例如，磁性体（5）以该磁性体（5）所相向的段（21）邻接于所述一组段（21）的方式固定在动子（3）也可，以在所述一组段（21）与磁性体（3）所相向的段（21）之间夹着多个段（21）的方式固定在动子（3）也可。

进而，在上述实施方式中，位置检测装置具备指令单元（43），通过该指令单元（43）对逆变器（41）和测定单元（42）赋予指令（第1和第2指令），但本发明并不局限于此，代替指令单元（43），通过逆变器控制单元（40）对逆变器（41）和测定单元（42）赋予指令（第1指令和第2指令）也可。

进而，在上述实施方式中，利用用于驱动动子（3）的线圈进行位置检测装置的位置检测，但在动子驱动用的线圈之外，另外在定子（2）配备位置检测用的线圈，使用该位置检测用的线圈进行位置检测装置的位置检测也可。

此外，在上述实施方式中，测定单元（42）对在线圈中感应的电压进行测定，但代替其对在线圈中感应的电流进行测定也可。

附图标记说明

（1）动磁式直线电动机；

（2）定子；

（21）段；

（22）线圈组；

（22u）U相线圈；

（22v）V相线圈；

（22w）W相线圈；

（3）动子；

（40） 逆变器控制单元；

（41） 逆变器（电力供给控制单元）；

（42） 测定单元；

（43） 指令单元；

（44） 位置计算单元；

（45） 记录单元；

（46） 电压调整单元；

（47） 判定单元；

（5） 磁性体。

Claims (10)

1.一种动磁式直线电动机用的位置检测装置，在如下的动磁式直线电动机中检测动子的位置，所述动磁式直线电动机具备：将多个线圈排列在一个方向而构成的定子，以及具有与该定子相向地配置的永磁铁的动子，通过对所述定子侧的多个线圈施加电压而产生的磁场来使所述动子沿着所述一个方向进行移动，其中，

所述动磁式直线电动机用的位置检测装置具备：

磁性体，固定在所述动子；

电力供给控制单元，对接收指令而选择的线圈施加电压，使位置检测用的磁场产生；

测定单元，对在接收指令而选择的线圈中感应的电流或电压进行测定；

指令单元，对所述电力供给控制单元赋予第1指令，并且对所述测定单元赋予第2指令，所述第1指令用于选择1个或多个线圈来作为施加电压的对象，所述第2指令用于选择与所述电力供给控制单元接收所述第1指令而选择的线圈邻接的线圈来作为测定电流或电压的对象；

位置计算单元，控制所述指令单元的指令工作，基于由所述测定单元测定的测定值，对根据所述动子的位置而变化的所述磁性体的位置进行计算；以及

记录单元，记录有表示所述磁性体的位置和在所述线圈中感应的电流或电压的关系的表，

所述指令单元对测定单元赋予的第2指令，是用于选择在所述电力供给控制单元接收所述第1指令而选择的线圈的两侧邻接的一对线圈的指令，所述测定单元接收所述第2指令而选择所述一对线圈，测定在该一对线圈中感应的电流或电压，所述位置计算单元取得由所述测定单元测定的2个测定值，基于该2个测定值计算所述磁性体的位置，

所述位置计算单元基于在所述记录单元中记录的表，计算从所述测定单元获得的一方的测定值所对应的至少1个位置来作为第1位置信息，并且计算另一方的测定值所对应的至少1个位置来作为第2位置信息，从第1位置信息中包含的位置中选择与第2位置信息中包含的位置一致或近似的位置，将选择的位置作为磁性体的位置进行计算。

2.一种动磁式直线电动机用的位置检测装置，在如下的动磁式直线电动机中检测动子的位置，所述动磁式直线电动机具备：将多个线圈排列在一个方向而构成的定子，以及具有与该定子相向地配置的永磁铁的动子，通过对所述定子侧的多个线圈施加电压而产生的磁场来使所述动子沿着所述一个方向进行移动，其中，

所述动磁式直线电动机用的位置检测装置具备：

磁性体，固定在所述动子；

电力供给控制单元，对接收指令而选择的线圈施加电压，使位置检测用的磁场产生；

测定单元，对在接收指令而选择的线圈中感应的电流或电压进行测定；

指令单元，对所述电力供给控制单元赋予第1指令，并且对所述测定单元赋予第2指令，所述第1指令用于选择1个或多个线圈来作为施加电压的对象，所述第2指令用于选择与所述电力供给控制单元接收所述第1指令而选择的线圈邻接的线圈来作为测定电流或电压的对象；以及

位置计算单元，控制所述指令单元的指令工作，基于由所述测定单元测定的测定值，对根据所述动子的位置而变化的所述磁性体的位置进行计算，

所述指令单元对电力供给控制单元赋予的第1指令，是用于选择位于将1个线圈夹在中间的位置的一对线圈来作为施加电压的对象的指令，所述指令单元对测定单元赋予的第2指令，是用于选择夹在所述一对线圈之间的线圈来作为测定电流或电压的对象的指令，

所述位置检测装置还具备：

电压调整单元，取得由所述测定单元测定的测定值，基于取得的测定值来控制所述电力供给控制单元，由此调整对所述一对线圈施加的电压，使得由所述测定单元测定的测定值成为规定值；以及

判定单元，取得由所述测定单元测定的测定值，判定取得的测定值与所述规定值是否一致或近似，

所述位置计算单元在通过所述判定单元判定为所述测定值与规定值一致或近似时，从所述电力供给控制单元取得对所述一对线圈施加的电压，基于取得的2个电压计算所述磁性体的位置。

3.根据权利要求2所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，所述电力供给控制单元对接收来自所述指令单元的第1指令而选择的一对线圈施加电压，使得在该一对线圈之间夹着的线圈的内侧产生相互反向的磁场。

4.根据权利要求3所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，所述电压调整单元控制所述电力供给控制单元，调整对所述一对线圈施加的电压，使得对该一对线圈施加电压而产生的磁场在该一对线圈之间夹着的线圈的内侧相互抵消。

5.根据权利要求2至权利要求4的任一项所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，

还具有：记录单元，记录有表示所述磁性体的位置与在从所述测定单元取得的测定值变为所述规定值时对所述一对线圈施加的电压的关系的表，

所述位置计算单元基于在所述记录单元中记录的表，根据从所述电力供给控制单元取得的2个电压来计算所述磁性体的位置。

6.根据权利要求1至权利要求4的任一项所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，所述磁性体配置在与如下线圈相向的位置，该线圈是与所述永磁铁所相向的线圈不同的线圈。

7.根据权利要求1至权利要求4的任一项所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，所述定子分割成多个段，在各段中将多个线圈排列在所述一个方向，所述电力供给控制单元能够按每个段对施加到各线圈的电压分别进行控制。

8.根据权利要求7所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，将3个线圈作为1个线圈组，在各段至少配备有1个线圈组。

9.根据权利要求1至权利要求4的任一项所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，通过所述电力供给控制单元对所述多个线圈施加的电压是交流电压。

10.根据权利要求1至权利要求4的任一项所述的动磁式直线电动机用的位置检测装置，其中，所述磁性体由顺磁性材料形成。