JP2006020415A - リニアモータ用位置検出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 リニアモータの位置決め精度を向上する装置を提供する。
【解決手段】 固定子20は、表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互で、一定間隔に配列した構造を備える。可動子30は、固定子20に対して一定間隔を維持しつつ、直線方向に移動自在に配置されコイルを備える。可動子30と一体に設けられる検出ヘッド50は、固定子20の磁束を検出して、制御装置60へ送る。固定されたレーザ測長器100は、可動子に設けたターゲット110に対してレーザビームLBを照射し、その反射光から、レーザ測長器とターゲットとの間の距離寸法を高精度に測定する。マグネットスケールとして利用する固定子20の位置と、測定されたレーザ測長器100の高精度の位置データとを比較し、固定子の位置に対応する補正データを算出し、記憶装置70に記憶し、モータの位置決めに利用する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、リニアモータを構成するマグネット配列そのものを位置決め用リニアスケールとして利用することで、リニアモータ制御用として、リニアスケールを並列に配置することなく、リニアモータだけで位置検出及び制御を可能にするリニアモータ用位置検出装置に関する。
従来のリニアモータは、リニアモータに並列で別置されたリニアスケールによって固定子に対する可動子の位置を検出するか、または、リニアモータを構成する表面極性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互及び一定間隔で配置された固定子と、固定子を構成するマグネットの表面に一定間隔に維持し、直線方向に移動自在に配列されたコイルを設け、マグネットとコイルとの間に発生する誘導電圧を検知し、その誘導電圧の変位を制御することによって、固定子に対する可動子の位置を検出していた(例えば、特許文献1及び2参照)。
特許第3396216号公報 特開2002−281783号公報
従来のリニアモータとリニアスケールを併用する場合は、リニアスケールをリニアモータに精密に位置決めするための取付手段を用意する必要があるとともに、防塵・防水用遮断手段を必要とし、更には、それらを精密に組立てる必要があり、そのために、リニアモータそのものと同等程度のコストを必要にしていた。
リニアモータそのものにリニアスケールの機能を有する上記特許文献1においては、固定子を構成するマグネットを一定間隔で並べたものをスケールとして使用しているために、マグネット及び一定間隔自体に誤差を含んでいる場合、その誤差分がスケールの誤差としてそのまま転写され、スケールの精度の低下を招くことになる。
実際には、マグネットの寸法及び一定間隔の配列では、誤差なしで配置することができず、更に何らかの誤差を含むことになり、その誤差以上のスケールの精度は期待できない。
本発明は、以上の問題を解決するリニアモータ用位置検出装置を提供するものである。
表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互で一定間隔に配列された固定子と、固定子を構成するマグネットの表面に対して一定間隔を維持し、直線方向に移動自在に配置された可動子であるコイルと、マグネットの磁束を検出する検出器と、該検出器によって位置検出を可能にする位置検出回路と、位置検出回路を構成するためにマグネットスケールとして利用する固定子の位置と、マグネットの配列あるいはマグネット部品そのものの寸法のバラつきを測定する測定装置と、固定子の位置と測定装置との比較する補正データを記憶する記憶装置と、可動子の位置決めを行う場合に予め記憶させた補正データによって検出位置を補正する制御装置とを備えるリニアモータに内蔵するリニアモータ用位置決め装置を備えたものである。
また、測定装置は、レーザ測長器を備えたものである。
さらに、測定装置は、初期に一度だけ測定する、または、振動などでマグネットの取付誤差が生じたら、再度測定するものを備えたものである。
また、測定装置または制御装置のデータに異常が生じたら(例えば、データが消えたら)、再度測定するものを備えたものである。
さらに、位置検出回路、測定装置または制御装置は、数値制御装置に内蔵するものを備えたものである。
リニアモータを位置決め制御するリニアスケールが不要になるため、スケールの取付手段の加工工数及び組立工数を不要にすることができる。
リニアモータを構成するマグネットの配列またはマグネット部品そのものの寸法のバラつきをレーザ測長器等の測定装置で補正することができるため、リニアモータを構成する要素部品の加工精度及び組立精度を特別に考慮することなく、リニアモータを利用した高精度リニアスケールを容易に構成することができる。
図1は、本発明のリニアモータ用位置検出装置の測定装置を示す説明図、図2は、ベース10上に配設されたマグネットである固定子20とハウジング32内に設けられたコイルである可動子30と、可動子30のハウジング32に設けられた検出ヘッド50の配列を示す断面図である。
リニアモータ用位置検出装置は、基本的な手段として、直線状に形成されるベース10に一定間隔に配列される固定子20を有する。固定子20は、表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互に、かつ一定間隔に配列した構造を備える。
可動子30は、固定子20に対して一定間隔を維持しつつ直線方向に移動自在に配設され、コイルを備える。可動子30と一体に設けられる検出ヘッド50は、固定子20の磁束を検出して、位置検出回路80へ送る。
図2に示すように、固定子20は、一定寸法に加工され、一定の間隔に配設されるが、取付時の誤差、振動または磁束密度等によって、ある程度の検出ヘッド50とマグネットとの距離にバラつきを含むことが避けられない。
そこで、測定装置(ここでは、レーザ測長器)100を用いて、この固定子の間隔の機械的な誤差を予め測定し、その補正データを記憶装置70に記憶しておく。
補正データは、制御回路60へ出力し、検出ヘッド50からの信号を受けて数値制御装置40へ制御信号を送り、可動子30を駆動する。
図3は、レーザ測長器100と、可動子30のハウジング32に取付けたターゲット110の関係を示す説明図、図4は、記憶装置70内に記憶されるマグネットスケールの呼び位置と、レーザ測長器により測定されたデータの構造を示す図である。
固定されたレーザ測長器100は、可動子に設けたターゲット110に対してレーザビームLBを照射し、その反射光から、レーザ測長器100とターゲット110の間の距離寸法を高精度に測定する。
図4に示すように、マグネットスケールとして利用する固定子20の位置と、測定されたレーザ測長器100の高精度の位置検出データとを比較し、固定子20の位置に対応する補正値を算出し、記憶装置70に記憶しておく。
以上の位置検出データを全移動範囲にて行うことで、マグネットスケールのデータからレーザ測長器のデータを読み替えることができる。
図5は、予め、位置の補正データが測定された固定子20を用いたリニアモータ用位置検出装置の構成を示す。
制御回路60は、数値制御装置40に指令を送り、可動子30を所定位置に移動させようとする。可動子30の移動距離は、検出ヘッド50が固定子20の磁束の変化を検出することで検知され、制御装置60へ送られる。
検出ヘッド50と制御装置60との間に設けられる記憶装置70は、マグネットスケールを構成する固定子20の位置情報に基づく補正値を制御装置60へ送り、固定子の機械的な誤差を補正する。
この構成により、高精度なリニアモータ用位置検出装置を得ることができる。
なお、上述した実施例にあっては、測定装置には、レーザ測長器の例を説明したが、リニアスケールを用いても本発明を適用することができる。
また、位置検出データの測定を、通常は、初期に一度だけ行うが、振動などでマグネットの取付誤差が生じたり、測定装置または制御装置のデータが消えたら、再度行ってもよい。
さらに、位置検出回路、測定装置または制御装置は、数値制御装置と別置に設けてあるが、内蔵してもよい。
本発明のリニアモータ用位置検出装置の測定装置を示す説明図。 ベース上に配設された固定子とハウジング内に設けられた可動子と可動子のハウジングに設けられた検出ヘッドの配列を示す断面図。 レーザ測長器と可動子のハウジングに取付けたターゲットの関係を示す説明図。 マグネットスケールの呼び位置とレーザ測長器により測長されたデータの構造を示す説明図。 固定子を用いたリニアモータ用位置検出装置の構成を示す説明図。
符号の説明
20 固定子
30 可動子(コイル)
40 数値制御装置
50 検出器(検出ヘッド)
60 制御装置
70 記憶装置
80 位置検出回路
100 測定装置(レーザ測長器)

Claims (6)

  1. 表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互で一定間隔に配列された固定子と、固定子を構成するマグネットの表面に対して一定間隔を維持し、直線方向に移動自在に配置された可動子であるコイルと、マグネットの磁束を検出する検出器と、該検出器によって位置検出を可能にする位置検出回路と、位置検出回路を補正するためにマグネットスケールとして利用する固定子の位置と、マグネットの配列あるいはマグネット部品そのものの寸法のバラつきを測定する測定装置と、固定子の位置と測定装置との比較する補正データを記憶する記憶装置と、可動子の位置決めを行う場合に予め記憶させた補正データによって検出位置を補正する制御装置とを備えるリニアモータに内蔵するリニアモータ用位置決め装置。
  2. 測定装置は、レーザ測長器を有する請求項1記載のリニアモータ用位置検出装置。
  3. 測定装置は、初期に一度だけ測定する請求項1記載のリニアモータ用位置検出装置。
  4. 測定装置は、マグネットの取付誤差が生じたら、再度測定する請求項1記載のリニアモータ用位置検出装置。
  5. 測定装置または制御装置のデータに異常が生じたら、再度測定する請求項1記載のリニアモータ用位置検出装置。
  6. 位置検出回路、測定装置または制御装置は、数値制御装置に内蔵する請求項1記載のリニアモータ用位置検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009089545A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Hiwin Mikrosystem Corp リニアモータ用サーボ制御装置
JP5562333B2 (ja) * 2009-06-29 2014-07-30 サバンジ大学 磁石可動型リニアモータ用の位置検出装置
WO2020129401A1 (ja) * 2018-12-20 2020-06-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 ステアリング装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006020415A (ja) * 2004-07-01 2006-01-19 Yamazaki Mazak Corp リニアモータ用位置検出装置
DE102006038162A1 (de) * 2006-08-16 2008-02-21 Siemens Ag Elektromotor mit Messsystem für Position oder Bewegung
JP5093664B2 (ja) * 2008-02-06 2012-12-12 村田機械株式会社 移動体システム
US7591041B1 (en) * 2008-08-08 2009-09-22 Hiwin Mikrosystem Corp. Pneumatic cleaning module for magnetic ruler of position measurement system
US20100072937A1 (en) * 2008-09-25 2010-03-25 Teng Hong-Chun Mobile positioning structure for an axial rod motor
JP5912426B2 (ja) * 2011-11-07 2016-04-27 ヤマハ発動機株式会社 リニアコンベア
JP5756445B2 (ja) 2012-01-26 2015-07-29 オークマ株式会社 リニアモータの制御方法
CN103019256A (zh) * 2012-11-28 2013-04-03 沈阳工业大学 基于激光测距的直线轨道车定位系统及方法
US9093933B2 (en) * 2013-08-27 2015-07-28 GM Global Technology Operations LLC Method and apparatus for monitoring rotational position of an electric machine
US10284055B2 (en) * 2015-09-01 2019-05-07 Mitsubishi Electric Corporation Actuator and method of adjusting actuator
CN113162488B (zh) * 2021-05-06 2022-07-26 深圳市航顺芯片技术研发有限公司 电机的转子位置测量方法、控制方法、电机转子和电机
CN115473472B (zh) * 2022-09-09 2023-08-22 深圳市软赢科技有限公司 应用于直线电机的位置自比较输出系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04236319A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Sodick Co Ltd 位置エンコーダ装置及び位置決め装置
JPH08331832A (ja) * 1995-06-01 1996-12-13 Fanuc Ltd 同一軸上で推力の切換が可能なリニアモータの構造
JP2000139069A (ja) * 1998-10-30 2000-05-16 Minolta Co Ltd リニアモータ駆動装置
JP2002281783A (ja) * 2001-03-22 2002-09-27 Tsunehiko Yamazaki リニアモータ用位置検出装置
JP2003233424A (ja) * 2002-02-12 2003-08-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd Xyステージの位置補正方法、装置、及び、これを用いた位置決め方法、装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59185151A (ja) * 1983-03-31 1984-10-20 Seiko Instr & Electronics Ltd リニアモ−タ
US5130583A (en) * 1989-11-13 1992-07-14 Ricoh Company, Ltd. Linear motor
JPH06209556A (ja) * 1992-12-30 1994-07-26 Sofutoronikusu Kk リニアエンコーダ
CN2192097Y (zh) * 1994-06-17 1995-03-15 中国科学院电工研究所 直流无刷直线电动机
US6008552A (en) * 1996-12-30 1999-12-28 Minolta Co., Ltd. Linear drive device
EP1006342B1 (de) * 1998-12-03 2003-09-03 Schneeberger Holding AG Markierungsverfahren von Messspuren
EP1014539B1 (de) * 1998-12-21 2007-11-14 Nti Ag System mit einem Linearmotor und einer Elektronikeinheit
DE50003742D1 (de) * 2000-10-04 2003-10-23 Nti Ag Zuerich Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
JP3396216B2 (ja) 2001-03-22 2003-04-14 恒彦 山崎 リニアモータの製造方法
JP2006020415A (ja) * 2004-07-01 2006-01-19 Yamazaki Mazak Corp リニアモータ用位置検出装置
US7262575B2 (en) * 2004-12-01 2007-08-28 Bio-Rad Laboratories, Inc. Method and apparatus for precise positioning of an object with linear stepper motors

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04236319A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Sodick Co Ltd 位置エンコーダ装置及び位置決め装置
JPH08331832A (ja) * 1995-06-01 1996-12-13 Fanuc Ltd 同一軸上で推力の切換が可能なリニアモータの構造
JP2000139069A (ja) * 1998-10-30 2000-05-16 Minolta Co Ltd リニアモータ駆動装置
JP2002281783A (ja) * 2001-03-22 2002-09-27 Tsunehiko Yamazaki リニアモータ用位置検出装置
JP2003233424A (ja) * 2002-02-12 2003-08-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd Xyステージの位置補正方法、装置、及び、これを用いた位置決め方法、装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009089545A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Hiwin Mikrosystem Corp リニアモータ用サーボ制御装置
JP5562333B2 (ja) * 2009-06-29 2014-07-30 サバンジ大学 磁石可動型リニアモータ用の位置検出装置
WO2020129401A1 (ja) * 2018-12-20 2020-06-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 ステアリング装置
JP2020100214A (ja) * 2018-12-20 2020-07-02 日立オートモティブシステムズ株式会社 ステアリング装置

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