JPH06209556A - リニアエンコーダ - Google Patents
リニアエンコーダInfo
- Publication number
- JPH06209556A JPH06209556A JP36126492A JP36126492A JPH06209556A JP H06209556 A JPH06209556 A JP H06209556A JP 36126492 A JP36126492 A JP 36126492A JP 36126492 A JP36126492 A JP 36126492A JP H06209556 A JPH06209556 A JP H06209556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear encoder
- hall
- distance
- magnetic scale
- movable body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リニアモータの可動部を長距離に亘って移動
させるような場合であっても、その移動距離を簡易かつ
正確に測定できるようにする。 【構成】 可動部の移動方向の長さと略同じ長さに形成
され、複数のマグネットｍ1，ｍ2，…ｍ8をその極性が
互いに逆になるように配置してなる磁気スケール１２を
可動部に設け、この磁気スケール１２の各マグネットｍ
1，ｍ2，…ｍ8の間のピッチＰの整数倍の間隔でホール
ＩＣ８1，８2，…，８nを固定部の長さ方向に沿って配
置する。そして、各ホールＩＣ８1，８2，…，８nの出
力を合成して取り出すようにする。これにより、可動部
の移動に伴いその移動距離に比例した数の信号が得ら
れ、これらの信号を計数して距離変換することで可動部
の移動距離を求めることができる。
させるような場合であっても、その移動距離を簡易かつ
正確に測定できるようにする。 【構成】 可動部の移動方向の長さと略同じ長さに形成
され、複数のマグネットｍ1，ｍ2，…ｍ8をその極性が
互いに逆になるように配置してなる磁気スケール１２を
可動部に設け、この磁気スケール１２の各マグネットｍ
1，ｍ2，…ｍ8の間のピッチＰの整数倍の間隔でホール
ＩＣ８1，８2，…，８nを固定部の長さ方向に沿って配
置する。そして、各ホールＩＣ８1，８2，…，８nの出
力を合成して取り出すようにする。これにより、可動部
の移動に伴いその移動距離に比例した数の信号が得ら
れ、これらの信号を計数して距離変換することで可動部
の移動距離を求めることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、リニアモータ等の可
動部の位置検出や移動距離測定に用いて好適なリニアエ
ンコーダに関する。
動部の位置検出や移動距離測定に用いて好適なリニアエ
ンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、工場内での物品の搬送、光学レン
ズ等の精密加工、及び自動製図を行う機器にリニアモー
タが適用されている。周知の如くリニアモータは、主に
固定部と可動部とから構成されるものであり、その構造
の違いにより、片面励磁構造、両面励磁構造、円筒形励
磁構造及びＸ−Ｙ２軸励磁構造等がある。
ズ等の精密加工、及び自動製図を行う機器にリニアモー
タが適用されている。周知の如くリニアモータは、主に
固定部と可動部とから構成されるものであり、その構造
の違いにより、片面励磁構造、両面励磁構造、円筒形励
磁構造及びＸ−Ｙ２軸励磁構造等がある。
【０００３】従来、リニアモータにおける可動部の移動
距離を測定する方法の一つとして、図６に示すように、
可動部１の移動距離分に相当する長さの磁気スケール２
を可動部１に設けて移動距離を磁気的に検出する方法が
ある。上記磁気スケール２は、複数のマグネットｍ1，
ｍ2，…ｍnを極性を交互に換えて一列に並べて構成され
ている。この磁気スケール２が、可動部１に伴って移動
すると、磁気スケール２の上方に離間配置されたホール
センサ４からマグネットｍ1，ｍ2，…ｍnの各ピッチに
対応した検出信号が出力される。この検出信号が図示せ
ぬ計数回路で計数され、距離変換されるようになってい
る。
距離を測定する方法の一つとして、図６に示すように、
可動部１の移動距離分に相当する長さの磁気スケール２
を可動部１に設けて移動距離を磁気的に検出する方法が
ある。上記磁気スケール２は、複数のマグネットｍ1，
ｍ2，…ｍnを極性を交互に換えて一列に並べて構成され
ている。この磁気スケール２が、可動部１に伴って移動
すると、磁気スケール２の上方に離間配置されたホール
センサ４からマグネットｍ1，ｍ2，…ｍnの各ピッチに
対応した検出信号が出力される。この検出信号が図示せ
ぬ計数回路で計数され、距離変換されるようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のリニアモータにおける可動部の移動距離測定方法に
あっては、その移動距離が長距離（例えば数ｍ〜数十
ｍ）に亘るような場合では、磁気スケールを配置するこ
とが物理的に困難であるという問題点があった。
来のリニアモータにおける可動部の移動距離測定方法に
あっては、その移動距離が長距離（例えば数ｍ〜数十
ｍ）に亘るような場合では、磁気スケールを配置するこ
とが物理的に困難であるという問題点があった。
【０００５】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、可動部を長距離に亘って移動させるような場合
であっても、その移動距離を簡易に測定することができ
るリニアエンコーダを提供することを目的としている。
もので、可動部を長距離に亘って移動させるような場合
であっても、その移動距離を簡易に測定することができ
るリニアエンコーダを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載のリニアエンコーダは、可動体に等間
隔で配置された複数個のマーカと、前記マーカ間のピッ
チの整数倍の間隔で、固定側に複数個配置された、前記
マーカを検出できるセンサーとからなることを特徴とし
ている。
に、請求項１記載のリニアエンコーダは、可動体に等間
隔で配置された複数個のマーカと、前記マーカ間のピッ
チの整数倍の間隔で、固定側に複数個配置された、前記
マーカを検出できるセンサーとからなることを特徴とし
ている。
【０００７】また、請求項２記載のリニアエンコーダ
は、可動体に搭載され、該可動体の移動方向に沿って極
性が交互に異なるように配置された複数個のマグネット
からなる磁気スケールと、上記可動体の移動方向に沿っ
て上記磁気スケールの上記マグネット間のピッチに対し
て整数倍の間隔で固定配置された複数個の磁気検出手段
とからなることを特徴としている。
は、可動体に搭載され、該可動体の移動方向に沿って極
性が交互に異なるように配置された複数個のマグネット
からなる磁気スケールと、上記可動体の移動方向に沿っ
て上記磁気スケールの上記マグネット間のピッチに対し
て整数倍の間隔で固定配置された複数個の磁気検出手段
とからなることを特徴としている。
【０００８】また、請求項３記載のリニアエンコーダ
は、上記磁気スケールが、可動体の移動方向の長さと同
一長さ又はそれ以下の長さであることを特徴としてい
る。
は、上記磁気スケールが、可動体の移動方向の長さと同
一長さ又はそれ以下の長さであることを特徴としてい
る。
【０００９】また、請求項４記載のリニアエンコーダ
は、上記各磁気検出手段が、ホール素子と該ホール素子
の出力を増幅する増幅回路とから構成されるものである
ことを特徴としている。
は、上記各磁気検出手段が、ホール素子と該ホール素子
の出力を増幅する増幅回路とから構成されるものである
ことを特徴としている。
【００１０】さらにまた、請求項５記載のリニアエンコ
ーダは、リニアモータに適用されるものであることを特
徴としている。
ーダは、リニアモータに適用されるものであることを特
徴としている。
【００１１】
【作用】この発明では、可動体にはその移動方向の長さ
と略同じ長さの磁気スケールを設け、固定部には磁気ス
ケールの各マグネット間のピッチの整数倍の間隔で複数
個の磁気検出手段を固定配置する。そして、各磁気検出
手段の出力を合成することにより、可動体が移動した場
合に、その移動距離に比例した数の信号が得られる。し
たがって、得られた信号を計数して距離変換することに
より可動体の移動距離を求めることができる。それ故、
可動体を長距離に亘って移動させるような場合であって
も、その移動距離を簡易に測定することが可能となる。
と略同じ長さの磁気スケールを設け、固定部には磁気ス
ケールの各マグネット間のピッチの整数倍の間隔で複数
個の磁気検出手段を固定配置する。そして、各磁気検出
手段の出力を合成することにより、可動体が移動した場
合に、その移動距離に比例した数の信号が得られる。し
たがって、得られた信号を計数して距離変換することに
より可動体の移動距離を求めることができる。それ故、
可動体を長距離に亘って移動させるような場合であって
も、その移動距離を簡易に測定することが可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例につ
いて説明する。 ◇第１実施例 図１は、この発明の第１実施例であるリニアエンコーダ
を適用したマグネット移動式のリニアモータの構成を示
す部分斜視図である。
いて説明する。 ◇第１実施例 図１は、この発明の第１実施例であるリニアエンコーダ
を適用したマグネット移動式のリニアモータの構成を示
す部分斜視図である。
【００１３】図１において、符号５はリニアモータの固
定部を示し、二つの断面コ字状のレール部材６Ａ，６Ｂ
を背中合わせにして接続してなるレール本体と、このレ
ール本体の下面に設けられた駆動用コイル７1，７2，
…，７nとから概略構成されている。８1，８2 ，…，８
nの各々はディジタルタイプのホールＩＣであり、レー
ル部材６Ａの上部側面に沿って所定間隔毎に取り付けら
れている。上記ホールＩＣは、ホール素子と増幅器とを
単一のチップの上に集積化したものであり、ディジタル
タイプの他にリニアタイプがある。
定部を示し、二つの断面コ字状のレール部材６Ａ，６Ｂ
を背中合わせにして接続してなるレール本体と、このレ
ール本体の下面に設けられた駆動用コイル７1，７2，
…，７nとから概略構成されている。８1，８2 ，…，８
nの各々はディジタルタイプのホールＩＣであり、レー
ル部材６Ａの上部側面に沿って所定間隔毎に取り付けら
れている。上記ホールＩＣは、ホール素子と増幅器とを
単一のチップの上に集積化したものであり、ディジタル
タイプの他にリニアタイプがある。
【００１４】符号９は方形状の可動部を示し、可動部９
の内部両側面にはローラ１０Ａ〜１０Ｄが取り付けられ
ており、底面には方形平板状の界磁マグネット１１が取
り付けられている。また、上部の開口部の内側の面には
磁気スケール１２が取り付けられている。この磁気スケ
ール１２は、図２に示すように、８個のマグネット
ｍ1，ｍ2，…ｍ8を可動部９の移動方向Ｍｄに沿って互
いに極性が逆になるように交互に配置したものである。
この例においては、マグネットｍ1，ｍ2，…ｍ8の各間
隔が等ピッチＰになるように配置している。
の内部両側面にはローラ１０Ａ〜１０Ｄが取り付けられ
ており、底面には方形平板状の界磁マグネット１１が取
り付けられている。また、上部の開口部の内側の面には
磁気スケール１２が取り付けられている。この磁気スケ
ール１２は、図２に示すように、８個のマグネット
ｍ1，ｍ2，…ｍ8を可動部９の移動方向Ｍｄに沿って互
いに極性が逆になるように交互に配置したものである。
この例においては、マグネットｍ1，ｍ2，…ｍ8の各間
隔が等ピッチＰになるように配置している。
【００１５】上記ホールＩＣ８1，８2，…，８n及び磁
気スケール１２は、リニアエンコーダ１３ を構成して
いる。
気スケール１２は、リニアエンコーダ１３ を構成して
いる。
【００１６】図２は、リニアエンコーダ１３の電気的構
成を示すブロック図である。この図に示すように、各ホ
ールＩＣ８1，８2，…，８nの出力端が、共通接続され
ていて論理和がとられている（すなわち各出力端がワイ
アードオア接続されている）。また、各ホールＩＣ
８1，８2，…，８nには、端子Ｔａ，Ｔｂを介して、電
源が供給されるようになっている。また、ホ ールＩＣ
８1，８2，…，８nの各間隔は磁気スケール１２のピッ
チＰのｎ（ｎは整数で、この図では「７」）倍に設定さ
れている。
成を示すブロック図である。この図に示すように、各ホ
ールＩＣ８1，８2，…，８nの出力端が、共通接続され
ていて論理和がとられている（すなわち各出力端がワイ
アードオア接続されている）。また、各ホールＩＣ
８1，８2，…，８nには、端子Ｔａ，Ｔｂを介して、電
源が供給されるようになっている。また、ホ ールＩＣ
８1，８2，…，８nの各間隔は磁気スケール１２のピッ
チＰのｎ（ｎは整数で、この図では「７」）倍に設定さ
れている。
【００１７】それ故、各ホールＩＣ８1，８2，…，８n
の出力Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，…は、図３に示すように、時
系列的に整然とした波形のものが得られる。この図から
分るように、可動部９の移動による磁気スケール１２の
移動により、出力端子Ｔｏから連続したパルス信号ｃ
ｗ，ｃｗ，…が得られる。これらのパルス信号ｃｗ，ｃ
ｗ，…をカウンタ（図示略）により計数し、そして距離
変換することにより可動部９の移動距離（移動位置）を
知ることができる。
の出力Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，…は、図３に示すように、時
系列的に整然とした波形のものが得られる。この図から
分るように、可動部９の移動による磁気スケール１２の
移動により、出力端子Ｔｏから連続したパルス信号ｃ
ｗ，ｃｗ，…が得られる。これらのパルス信号ｃｗ，ｃ
ｗ，…をカウンタ（図示略）により計数し、そして距離
変換することにより可動部９の移動距離（移動位置）を
知ることができる。
【００１８】このような構成のリニアモータにおいて、
駆動用コイル７1，７2，７3，…，７nに順次駆動パルス
が印加されると、可動部９は前方吸引、後方反発で移動
を開始する。そして、可動部９の移動開始と共に、その
移動位置がリニアエンコーダ１３によって検出され、出
力端子Ｔoよりパルス信号ｃｗが出力される。出力され
たパルス信号ｃｗ，ｃｗ，…がカウンタにより計数さ
れ、そして距離変換される。なお、可動部９の移動方向
は駆動用コイル７1，７2，７3，…，７nに印加する駆動
パルスの印加方向を変えることにより変更できる。
駆動用コイル７1，７2，７3，…，７nに順次駆動パルス
が印加されると、可動部９は前方吸引、後方反発で移動
を開始する。そして、可動部９の移動開始と共に、その
移動位置がリニアエンコーダ１３によって検出され、出
力端子Ｔoよりパルス信号ｃｗが出力される。出力され
たパルス信号ｃｗ，ｃｗ，…がカウンタにより計数さ
れ、そして距離変換される。なお、可動部９の移動方向
は駆動用コイル７1，７2，７3，…，７nに印加する駆動
パルスの印加方向を変えることにより変更できる。
【００１９】◇第２実施例 次に、この発明の第２実施例であるリニアエンコーダに
ついて説明する。図４は、この発明の第２実施例である
リニアエンコーダの電気的構成を示す回路図である。
ついて説明する。図４は、この発明の第２実施例である
リニアエンコーダの電気的構成を示す回路図である。
【００２０】この例のリニアエンコーダが、上述の第１
実施例と異なるところは、ディジタルタイプのホールＩ
Ｃに代えて、複数のリニアタイプのホールＩＣを用い、
これらの出力信号を合成するようにした点である。な
お、この第２実施例に供されるリニアモータは、図１と
同様の構成のものであるのでその説明を省略する。図４
において、符号１４1，１４2，…，１４nは、いずれも
リニアタイプのホールＩ Ｃであり、各出力端が共通接
続されており、その一方が抵抗１５を介して演算増幅器
１６の反転入力端に接続されている。また、その他方が
演算増幅器１６の非反転入力端に接続されている。演算
増幅器１６の出力端と反転入力端との間には抵抗１７が
介挿されている。
実施例と異なるところは、ディジタルタイプのホールＩ
Ｃに代えて、複数のリニアタイプのホールＩＣを用い、
これらの出力信号を合成するようにした点である。な
お、この第２実施例に供されるリニアモータは、図１と
同様の構成のものであるのでその説明を省略する。図４
において、符号１４1，１４2，…，１４nは、いずれも
リニアタイプのホールＩ Ｃであり、各出力端が共通接
続されており、その一方が抵抗１５を介して演算増幅器
１６の反転入力端に接続されている。また、その他方が
演算増幅器１６の非反転入力端に接続されている。演算
増幅器１６の出力端と反転入力端との間には抵抗１７が
介挿されている。
【００２１】上記ホールＩＣ１４1，１４2，…，１４n
の配置間隔は、上述の第１実施例の場 合と同様に磁気
スケール１２のピッチＰのｎ倍に設定されている。それ
故、各ホールＩＣ１４1，１４2，…，１４nの出力が、
図５に示すように、時系列的に整然とした波形のものが
得られる。この図から分るように可動部９の移動による
磁気スケール１２の移動により、連続したアナログ信号
ｓｗ，ｓｗ，…が出力端子Ｔｏから出力される。
の配置間隔は、上述の第１実施例の場 合と同様に磁気
スケール１２のピッチＰのｎ倍に設定されている。それ
故、各ホールＩＣ１４1，１４2，…，１４nの出力が、
図５に示すように、時系列的に整然とした波形のものが
得られる。この図から分るように可動部９の移動による
磁気スケール１２の移動により、連続したアナログ信号
ｓｗ，ｓｗ，…が出力端子Ｔｏから出力される。
【００２２】これらのアナログ信号ｓｗ，ｓｗ，…を波
形整形回路（図示略）で波形整形した後、カウンタ（図
示略）により計数し、そして距離変換することで可動部
９の移動距離を知ることができる。上記ホールＩＣ１４
1，１４2，…，１４nと磁気スケール１２とは、リニア
エンコーダ１８を構成している。
形整形回路（図示略）で波形整形した後、カウンタ（図
示略）により計数し、そして距離変換することで可動部
９の移動距離を知ることができる。上記ホールＩＣ１４
1，１４2，…，１４nと磁気スケール１２とは、リニア
エンコーダ１８を構成している。
【００２３】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、上述の実
施例においては、磁気スケール１２を８個のマグネット
で構成するようにした場合について述べたが、磁気スケ
ール１２の長さがホールＩＣ８1，８2，…，８n又はホ
ールＩＣ１４1，１４2， …，１４nの間隔と同じか、そ
れ以上であれば８個に限定されない。
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、上述の実
施例においては、磁気スケール１２を８個のマグネット
で構成するようにした場合について述べたが、磁気スケ
ール１２の長さがホールＩＣ８1，８2，…，８n又はホ
ールＩＣ１４1，１４2， …，１４nの間隔と同じか、そ
れ以上であれば８個に限定されない。
【００２４】また、上述の実施例においては、ホールＩ
Ｃを用いた磁気式のエンコーダに付いて述べたが、これ
に限らず、発光素子と受光素子とから構成される光学式
のものであっても良い。この場合、磁気スケール１２の
ピッチＰがスリットに相当するように同磁気スケール１
２を形成すれば良い。
Ｃを用いた磁気式のエンコーダに付いて述べたが、これ
に限らず、発光素子と受光素子とから構成される光学式
のものであっても良い。この場合、磁気スケール１２の
ピッチＰがスリットに相当するように同磁気スケール１
２を形成すれば良い。
【００２５】また、上記実施例では、可動部９の移動距
離測定のためにのみホールＩＣを設けるようにしたが、
これに加えて固定部の位置を検出するための位置センサ
と供用するようにしても良い。
離測定のためにのみホールＩＣを設けるようにしたが、
これに加えて固定部の位置を検出するための位置センサ
と供用するようにしても良い。
【００２６】また、上記実施例のホールＩＣの各々に対
して、１／２ピッチずらした位置に別のホールＩＣを配
置し、これらホールＩＣを上記同様の接続を行うこと
で、これら新たに設置したホールＩＣの出力と、ホール
ＩＣの出力との位相差から可動部の移動方向を知ること
ができる。
して、１／２ピッチずらした位置に別のホールＩＣを配
置し、これらホールＩＣを上記同様の接続を行うこと
で、これら新たに設置したホールＩＣの出力と、ホール
ＩＣの出力との位相差から可動部の移動方向を知ること
ができる。
【００２７】また、上記実施例では、マグネット移動式
のリニアモータに適用した場合であったが、コイル移動
式でも適用可能である。
のリニアモータに適用した場合であったが、コイル移動
式でも適用可能である。
【００２８】また、上記実施例では、一次元のリニアモ
ータに適用した場合であったが、二次元、三次元のリニ
アモータにでも勿論適用できる。
ータに適用した場合であったが、二次元、三次元のリニ
アモータにでも勿論適用できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、可動
部にその移動方向の長さと略同じ長さの磁気スケールを
設け、固定部に磁気スケールの各マグネット間のピッチ
の整数倍の間隔で複数個の磁気検出手段を固定配置し、
各磁気検出手段の合成出力を得るようにしたので、可動
部が移動した場合に、その移動距離に比例した数の信号
が得られる。したがって、これら連続パルスを計数して
距離変換することにより可動部の移動距離を容易に求め
ることができる。それ故、可動部を長距離に亘って移動
させるような場合であっても、その移動距離を簡易に測
定することが可能となる。
部にその移動方向の長さと略同じ長さの磁気スケールを
設け、固定部に磁気スケールの各マグネット間のピッチ
の整数倍の間隔で複数個の磁気検出手段を固定配置し、
各磁気検出手段の合成出力を得るようにしたので、可動
部が移動した場合に、その移動距離に比例した数の信号
が得られる。したがって、これら連続パルスを計数して
距離変換することにより可動部の移動距離を容易に求め
ることができる。それ故、可動部を長距離に亘って移動
させるような場合であっても、その移動距離を簡易に測
定することが可能となる。
【図１】この発明の第１実施例であるリニアエンコーダ
を適用したマグネット移動式のリニアモータの構成を示
す部分斜視図である。
を適用したマグネット移動式のリニアモータの構成を示
す部分斜視図である。
【図２】同リニアエンコーダの電気的構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】同実施例の動作を説明するための波形図であ
る。
る。
【図４】この発明の第２実施例であるリニアエンコーダ
の電気的構成を示す回路図である。
の電気的構成を示す回路図である。
【図５】同実施例の動作を説明するための波形図であ
る。
る。
【図６】従来のリニアモータの可動部の移動距離測定方
法を説明するための図である。
法を説明するための図である。
５ 固定部 ７1，７2，…，７n 駆動用コイル ８1，８2，…，８n ディジタルタイプホールＩＣ
（磁気検出手段） ９ 可動部 １２ 磁気スケール １４1，１４2，…，１４n リニアタイプホールＩＣ
（磁気検出手段） １３，１８ リニアエンコーダ ｍ1，ｍ2，…，ｍ8 マグネット
（磁気検出手段） ９ 可動部 １２ 磁気スケール １４1，１４2，…，１４n リニアタイプホールＩＣ
（磁気検出手段） １３，１８ リニアエンコーダ ｍ1，ｍ2，…，ｍ8 マグネット
Claims (5)
- 【請求項１】 可動体に等間隔で配置された複数個のマ
ーカと、 前記マーカ間のピッチの整数倍の間隔で、固定側に複数
個配置された、前記マーカを検出できるセンサーとから
なることを特徴とするリニアエンコーダ。 - 【請求項２】 可動体に搭載され、該可動体の移動方向
に沿って極性が交互に異なるように配置された複数個の
マグネットからなるスケールと、 前記可動体の移動方向に沿って前記スケールの前記マグ
ネット間のピッチに対して整数倍の間隔で固定配置され
た複数個の磁気検出手段とからなることを特徴とするリ
ニアエンコーダ。 - 【請求項３】 前記スケールは、前記可動体の移動方向
の長さと同一長さ又はそれ以下の長さであることを特徴
とする請求項２記載のリニアエンコーダ。 - 【請求項４】 前記各磁気検出手段は、ホール素子と該
ホール素子の出力を増幅する増幅回路とから構成される
ものであることを特徴とする請求項２記載のリニアエン
コーダ。 - 【請求項５】 前記リニアエンコーダは、リニアモータ
に適用されるものであることを特徴とする請求項２記載
のリニアエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36126492A JPH06209556A (ja) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | リニアエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36126492A JPH06209556A (ja) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | リニアエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06209556A true JPH06209556A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=18472867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36126492A Pending JPH06209556A (ja) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | リニアエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06209556A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100346569C (zh) * | 2004-07-01 | 2007-10-31 | 山崎马扎克公司 | 直线电动机用位置检测装置 |
| TWI629225B (zh) * | 2017-08-28 | 2018-07-11 | 台達電子工業股份有限公司 | 輸送系統 |
| US10364103B2 (en) | 2017-08-28 | 2019-07-30 | Delta Electronics, Inc. | Conveyor systems and methods of controlling moving stage |
-
1992
- 1992-12-30 JP JP36126492A patent/JPH06209556A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100346569C (zh) * | 2004-07-01 | 2007-10-31 | 山崎马扎克公司 | 直线电动机用位置检测装置 |
| TWI629225B (zh) * | 2017-08-28 | 2018-07-11 | 台達電子工業股份有限公司 | 輸送系統 |
| US10364103B2 (en) | 2017-08-28 | 2019-07-30 | Delta Electronics, Inc. | Conveyor systems and methods of controlling moving stage |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2619593B2 (ja) | 位置測定装置 | |
| US5747995A (en) | Magnetic position measuring device using Hall elements as sensors and method for its operation | |
| US4535289A (en) | Device for measuring a position of a moving object | |
| US4471304A (en) | Fluid-powered actuator having a cylinder with magnetic field detectors thereon and a magnetized piston rod | |
| US7049924B2 (en) | Electromagnetic induction type position sensor | |
| JP6926209B2 (ja) | 距離センサ | |
| US9719805B2 (en) | Position detecting device | |
| JPH0626884A (ja) | 位置検出装置 | |
| KR20020006452A (ko) | 회전각 센서 | |
| WO2010124580A1 (zh) | 位置检测装置及其信号处理装置和方法 | |
| ATE322670T1 (de) | Messung von spannungen in einem ferromagnetischen material | |
| JPH06209556A (ja) | リニアエンコーダ | |
| JPH10170211A (ja) | 位置検出装置及びレンズ位置制御装置 | |
| JP2007192722A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPS63271112A (ja) | 位置検出装置 | |
| JP3047099B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JP2010142033A (ja) | リニアモータ | |
| JPH05196451A (ja) | 測長または測角装置 | |
| JPH116708A (ja) | 誘導型位置測定器 | |
| CN115586436A (zh) | 基于磁传感阵列的永磁直线电机高分辨率位置检测方法 | |
| JPH02194316A (ja) | 変位検出装置 | |
| JP2546282B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘッドの原点検出部 | |
| JP2001133288A (ja) | 位置検出装置 | |
| DE19931318C2 (de) | Wegmeßsystem für stromsparende Meßgeräte | |
| JPS6182112A (ja) | 測長器 |