JPH02194316A - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- JPH02194316A JPH02194316A JP1469689A JP1469689A JPH02194316A JP H02194316 A JPH02194316 A JP H02194316A JP 1469689 A JP1469689 A JP 1469689A JP 1469689 A JP1469689 A JP 1469689A JP H02194316 A JPH02194316 A JP H02194316A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は変位検出装置に関し、−層詳細には、磁気抵抗
効果素子（ＭＲ素子）をブリッジ回路に接続した磁気検
知素子（以下、ブリッジ磁気検知素子という）と磁気ス
ケールとの協働下、磁気検知素子から導出される検知信
号からブリッジ磁気検知素子と磁気スケールとの間の相
対変位を検出する変位検出装置に関する。
効果素子（ＭＲ素子）をブリッジ回路に接続した磁気検
知素子（以下、ブリッジ磁気検知素子という）と磁気ス
ケールとの協働下、磁気検知素子から導出される検知信
号からブリッジ磁気検知素子と磁気スケールとの間の相
対変位を検出する変位検出装置に関する。
［発明の背景］
近時、変位を測定する際に変位センサが採用された変位
検出装置が多用される。変位センづはその移動に伴い磁
束密度または光量等を変化せしめるように、作用の異な
る検知信号発生用機能部が交互に連設された検知信号発
生用部材と、前記変化の量を検知して信号を導出する検
知素子等を含む。
検出装置が多用される。変位センづはその移動に伴い磁
束密度または光量等を変化せしめるように、作用の異な
る検知信号発生用機能部が交互に連設された検知信号発
生用部材と、前記変化の量を検知して信号を導出する検
知素子等を含む。
当該変位検出装置では、変位の測定にリニア型変位セン
サが採用され、また、回転体の変位の測定にはロータリ
型変位センサが採用されている。例えば、リニア型で且
つ前記検知信号発生用機能部としての磁気式の変位セン
サを採用する検知手段では、同一幅のＳ極性およびＮ極
性の磁石あるいは磁化部分が交互に配列された前記検知
信号発生用部材としての磁気スケールが移動体に固着さ
れる。そして、前記磁気スケールの近傍に配設された磁
気検知素子から磁気スケールの移動に相応した信号が導
出されるように構成されている。
サが採用され、また、回転体の変位の測定にはロータリ
型変位センサが採用されている。例えば、リニア型で且
つ前記検知信号発生用機能部としての磁気式の変位セン
サを採用する検知手段では、同一幅のＳ極性およびＮ極
性の磁石あるいは磁化部分が交互に配列された前記検知
信号発生用部材としての磁気スケールが移動体に固着さ
れる。そして、前記磁気スケールの近傍に配設された磁
気検知素子から磁気スケールの移動に相応した信号が導
出されるように構成されている。
然しなから、このような従来例の受発光素子が採用され
る変位センサにあっては、外部からの強光が入射すると
悪影響を生起し、また、受光素子に塵芥等が付着し、こ
の受光素子の検知能力が経時的に低下する等の不都合を
有している。
る変位センサにあっては、外部からの強光が入射すると
悪影響を生起し、また、受光素子に塵芥等が付着し、こ
の受光素子の検知能力が経時的に低下する等の不都合を
有している。
［発明の目的］
本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、同一幅（２／３Ａ）のＳ極性およびＮ極性の磁
化形成部が交互に連設された磁気スケールど、当該磁気
スケールの４７３ｌ！分の相対変位に対応して正弦波信
号および余弦波信号をブリッジ算出（比率）による検知
信号として導出する幅（Ａ）で離間されたブリッジ磁気
検知素子からなる一組の検知器、あるいはより大なる値
の信号を導出すべく前記検知器が倍数側配設された検知
信号導出手段から導出される正弦波信号および余弦波信
号をもって、前記相対変位を導出する変位検出信号形成
部とで構成され、これにより比較的簡単な構成で且つ変
位を検知する際に接触部材を必要としないため部材の摩
耗を生起することなく、光、振動等の外乱に比較的有利
に作用し、さらに経時的な検知能力の低下が効果的に阻
止可能な変位検出装置を提供することを目的とする。
あって、同一幅（２／３Ａ）のＳ極性およびＮ極性の磁
化形成部が交互に連設された磁気スケールど、当該磁気
スケールの４７３ｌ！分の相対変位に対応して正弦波信
号および余弦波信号をブリッジ算出（比率）による検知
信号として導出する幅（Ａ）で離間されたブリッジ磁気
検知素子からなる一組の検知器、あるいはより大なる値
の信号を導出すべく前記検知器が倍数側配設された検知
信号導出手段から導出される正弦波信号および余弦波信
号をもって、前記相対変位を導出する変位検出信号形成
部とで構成され、これにより比較的簡単な構成で且つ変
位を検知する際に接触部材を必要としないため部材の摩
耗を生起することなく、光、振動等の外乱に比較的有利
に作用し、さらに経時的な検知能力の低下が効果的に阻
止可能な変位検出装置を提供することを目的とする。
［目的を達成するだめの手段］
前記の目的を達成するために、本発明は磁気スケールと
磁気検知素子との間の相対変位を前記磁気検知素子から
検出される信号に基づき導出する変位検出装置において
、同一幅（２／３ＩりのＳ極性およびＮ極性の磁化形成
部が交互に連設された磁気スケールと、当該磁気スケー
ルと４／３Ｉ分の相対変位に対応して正弦波信号および
余弦波信号を導出する磁気抵抗効果素子がブリッジ回路
に形成され且つ幅（ｆｆ）で離間された第１および第２
の磁気検知素子からなる検知器と、当該検知器から導出
される正弦波信号および余弦波信号から前記相対変位を
示す信号を導出する変位検出信号形成部とを備えること
を特徴とする。
磁気検知素子との間の相対変位を前記磁気検知素子から
検出される信号に基づき導出する変位検出装置において
、同一幅（２／３ＩりのＳ極性およびＮ極性の磁化形成
部が交互に連設された磁気スケールと、当該磁気スケー
ルと４／３Ｉ分の相対変位に対応して正弦波信号および
余弦波信号を導出する磁気抵抗効果素子がブリッジ回路
に形成され且つ幅（ｆｆ）で離間された第１および第２
の磁気検知素子からなる検知器と、当該検知器から導出
される正弦波信号および余弦波信号から前記相対変位を
示す信号を導出する変位検出信号形成部とを備えること
を特徴とする。
また、本発明は磁気スケールと磁気検知素子との間の相
対変位を前記磁気検知素子から検出される信号に基づき
導出する変位検出装置において、同一幅（２７３ｌ）の
Ｓ極性およびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁
気スケールと、当該磁気スケールと４／３Ａ分の相対変
位に対応して正弦波信号および余弦波信号を導出する磁
気抵抗効果素子がブリッジ回路に形成され且つ幅（１）
で離間された第１および第２の磁気検知素子からなる一
組の検知器が倍数個配列された検知信号導出手段と、前
記検知信号導出手段から導出される正弦波信号および余
弦波信号から前記相対変位を示す信号を導出する変位検
出信号形成部とを備えることを特徴とする。
対変位を前記磁気検知素子から検出される信号に基づき
導出する変位検出装置において、同一幅（２７３ｌ）の
Ｓ極性およびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁
気スケールと、当該磁気スケールと４／３Ａ分の相対変
位に対応して正弦波信号および余弦波信号を導出する磁
気抵抗効果素子がブリッジ回路に形成され且つ幅（１）
で離間された第１および第２の磁気検知素子からなる一
組の検知器が倍数個配列された検知信号導出手段と、前
記検知信号導出手段から導出される正弦波信号および余
弦波信号から前記相対変位を示す信号を導出する変位検
出信号形成部とを備えることを特徴とする。
［実施態様］
次に、本発明に係る変位検出装置について好適な一実施
態様を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
態様を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
第１図に第１の実施態様に係るブリッジ磁気検知素子と
磁気スケールを採用した変位検出装置を示す。当該変位
検出装置は固定された図示しない框体等に固着される磁
気ヘッド１２と、移動体１４に取着された磁気スケール
１６とを備え、さらに、磁気ヘッド１２から供給される
検知信号Ｓ１およびＳ２を所定のパルス列信号Ｓ、およ
びＳ６に形成して出力端子Ｔ１およびＴ２に導出する信
号処理部２０とで概略構成されている。
磁気スケールを採用した変位検出装置を示す。当該変位
検出装置は固定された図示しない框体等に固着される磁
気ヘッド１２と、移動体１４に取着された磁気スケール
１６とを備え、さらに、磁気ヘッド１２から供給される
検知信号Ｓ１およびＳ２を所定のパルス列信号Ｓ、およ
びＳ６に形成して出力端子Ｔ１およびＴ２に導出する信
号処理部２０とで概略構成されている。
先ず、磁気ヘッド１２を説明する。磁気ヘッド１２はブ
リッジ磁気検知素子２２および２４が所定の幅（Ｉりに
離間して配置されている。当該ブリッジ磁気検知素子２
２は、第２図（ａ）、（ｂ）に示されるように、周知の
磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）２６ａ、２６ｂおよび２
６ｃ、２６ｄがブリッジ回路として接続され、外部磁界
の極性を識別するためのＮ極性バイアス磁石２６ｅおよ
びＳ極性バイアス磁石２６ｆが係合取着されている。こ
こでブリッジ回路としての一方の端子部となる接、綾部
２７ｂおよび２１ｄには所定の電圧、例えば、＋１５Ｖ
が印加される。そして外部磁界の回転、すなわち、磁気
スケール１６の移動によるＳ極性およびＮ極性の変化に
伴い、前記磁気抵抗効果素子２６ａ、２６ｂおよび２６
ｃ、２６ｄの抵抗値が変化せしめられ、それにより相応
した信号がブリッジ回路としての他方の端子部となる接
続部２７ａおよび２７ｃより導出される。なお、ブリッ
ジ磁気検知素子２４も同様に構成されている。
リッジ磁気検知素子２２および２４が所定の幅（Ｉりに
離間して配置されている。当該ブリッジ磁気検知素子２
２は、第２図（ａ）、（ｂ）に示されるように、周知の
磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）２６ａ、２６ｂおよび２
６ｃ、２６ｄがブリッジ回路として接続され、外部磁界
の極性を識別するためのＮ極性バイアス磁石２６ｅおよ
びＳ極性バイアス磁石２６ｆが係合取着されている。こ
こでブリッジ回路としての一方の端子部となる接、綾部
２７ｂおよび２１ｄには所定の電圧、例えば、＋１５Ｖ
が印加される。そして外部磁界の回転、すなわち、磁気
スケール１６の移動によるＳ極性およびＮ極性の変化に
伴い、前記磁気抵抗効果素子２６ａ、２６ｂおよび２６
ｃ、２６ｄの抵抗値が変化せしめられ、それにより相応
した信号がブリッジ回路としての他方の端子部となる接
続部２７ａおよび２７ｃより導出される。なお、ブリッ
ジ磁気検知素子２４も同様に構成されている。
接続部２７ａおよび２７ｃから導出される信号は正弦波
信号および余弦波信号に形成された検知信号Ｓ、および
Ｓ２として導出される。
信号および余弦波信号に形成された検知信号Ｓ、および
Ｓ２として導出される。
次に、前記磁気ヘッド］２の近傍に対向し、且つ平行し
て配設される磁気スケール１６は前記ブリッジ磁気検知
素子２２および２４の所定の幅（Ｉりに対して幅２／３
ｌ分離間して配置されるＳ極性Ｓ１乃至ＳｎおよびＮ極
性Ｎ１乃至Ｎ、、の磁化部分を有した、例えば、磁石が
交互に配列されている。
て配設される磁気スケール１６は前記ブリッジ磁気検知
素子２２および２４の所定の幅（Ｉりに対して幅２／３
ｌ分離間して配置されるＳ極性Ｓ１乃至ＳｎおよびＮ極
性Ｎ１乃至Ｎ、、の磁化部分を有した、例えば、磁石が
交互に配列されている。
さらに、信号処理部２０は前記ブリッジ磁気検知素子２
２および２４と磁気スケール１６との相対変位において
ブリッジ磁気検知素子２２および２４から夫々導出され
る検知信号Ｓ、およびＳ２が供給される差動増幅器２８
を有し、さらに、ここで増幅された増幅信号Ｓ、および
Ｓ、が位相分割回路３２に供給されるように構成されて
いる。
２および２４と磁気スケール１６との相対変位において
ブリッジ磁気検知素子２２および２４から夫々導出され
る検知信号Ｓ、およびＳ２が供給される差動増幅器２８
を有し、さらに、ここで増幅された増幅信号Ｓ、および
Ｓ、が位相分割回路３２に供給されるように構成されて
いる。
また差動増幅器２８および３０には図示しない電源部よ
り所定の電圧、例えば、＋１５ｖが印加されると共に、
前記ブリッジ磁気検知素子２２の接続部２７ｂおよび２
７ｄにも印加されるように接続されている。なおブリッ
ジ磁気検知素子２４も同様に結線されている。さらに位
相分割回路３２からパルス列信号Ｓ、およびＳ６が導出
される出力端子Ｔ１およびＴ２が備えられている。
り所定の電圧、例えば、＋１５ｖが印加されると共に、
前記ブリッジ磁気検知素子２２の接続部２７ｂおよび２
７ｄにも印加されるように接続されている。なおブリッ
ジ磁気検知素子２４も同様に結線されている。さらに位
相分割回路３２からパルス列信号Ｓ、およびＳ６が導出
される出力端子Ｔ１およびＴ２が備えられている。
以上のように構成される第１の実施態様の動作について
説明する。
説明する。
第３図ＡおよびＢに磁気スケール１６の矢印方向Ｖ、の
移動とブリッジ磁気検知素子２２および２４との対応関
係と、それによりブリッジ磁気検知素子２２および２４
から導出される検知信号Ｓ。
移動とブリッジ磁気検知素子２２および２４との対応関
係と、それによりブリッジ磁気検知素子２２および２４
から導出される検知信号Ｓ。
およびＳ２の出力波形を示す。
ここで第３図Ａの０図（ａ）乃至（ｅ）におけるブリッ
ジ磁気検知素子２２および２４は磁気スケール１６の移
動により第３図已に示される正弦波および余弦波の検知
信号Ｓ１およびＳ２を導出する。
ジ磁気検知素子２２および２４は磁気スケール１６の移
動により第３図已に示される正弦波および余弦波の検知
信号Ｓ１およびＳ２を導出する。
なお、第３図已における（ａ）乃至（ｅ）点は前記第３
図Ａの０図（ａ）乃至（ｅ）において導出される検知信
号Ｓ１およびＳ２の信号遷移点に相応する。検知信号Ｓ
１およびＳ２は差動増幅器２８および３０に供給された
後、増幅された正弦波および余弦波の増幅信号Ｓ、およ
びＳ、として位相分割回路３２に供給される。ここで増
幅信号Ｓ３およびＳ４が所定の位相点をもって分割され
ると共に、パルス列信号Ｓ５およびＳ６に形成され、し
かる後、図示しない計数器等を利用して時間軸上で計数
せしめ、磁気スケール１６の変位が検出される。
図Ａの０図（ａ）乃至（ｅ）において導出される検知信
号Ｓ１およびＳ２の信号遷移点に相応する。検知信号Ｓ
１およびＳ２は差動増幅器２８および３０に供給された
後、増幅された正弦波および余弦波の増幅信号Ｓ、およ
びＳ、として位相分割回路３２に供給される。ここで増
幅信号Ｓ３およびＳ４が所定の位相点をもって分割され
ると共に、パルス列信号Ｓ５およびＳ６に形成され、し
かる後、図示しない計数器等を利用して時間軸上で計数
せしめ、磁気スケール１６の変位が検出される。
上記のように構成および動作を行う第１の実施態様にお
いては、磁気スケール１６の矢印方向Ｖ＋あるいはＶ。
いては、磁気スケール１６の矢印方向Ｖ＋あるいはＶ。
への移動に伴い、ブリッジ磁気検知素子２２および２４
から検知信号Ｓ１およびＳ２が導出される。この場合、
ブリッジ磁気検知素子２２および２４は夫々磁気抵抗効
果素子（ＭＲ素子） ２６ａ、 ２６ｂおよび２６ｃ、
２６ｄがブリッジ回路きして接続構成されており、磁気
スケール】６の矢印方向ＶｉあるいはＶ。への移動の際
、磁気に感応し、且つ相応した検知信号Ｓ１およびＳ２
が周知のブリッジ算出（比率）により導出される。従っ
て、磁気スケール１６の矢印方向Ｖ、あるいはＶ。にお
ける移動にあっては、単に移動点の磁気に感応して相応
した信号を導出することなく、正確性が向上することに
なり、また外乱に対して有利に作用する。
から検知信号Ｓ１およびＳ２が導出される。この場合、
ブリッジ磁気検知素子２２および２４は夫々磁気抵抗効
果素子（ＭＲ素子） ２６ａ、 ２６ｂおよび２６ｃ、
２６ｄがブリッジ回路きして接続構成されており、磁気
スケール】６の矢印方向ＶｉあるいはＶ。への移動の際
、磁気に感応し、且つ相応した検知信号Ｓ１およびＳ２
が周知のブリッジ算出（比率）により導出される。従っ
て、磁気スケール１６の矢印方向Ｖ、あるいはＶ。にお
ける移動にあっては、単に移動点の磁気に感応して相応
した信号を導出することなく、正確性が向上することに
なり、また外乱に対して有利に作用する。
次に、第２の実施態様を説明する。この例は、第１の実
施態様の検知信号Ｓ、およびＳ２に対して、例えば、２
倍のレベルの出力信号Ｓ ２１、Ｓ ２２を導出するこ
とを目的としている。
施態様の検知信号Ｓ、およびＳ２に対して、例えば、２
倍のレベルの出力信号Ｓ ２１、Ｓ ２２を導出するこ
とを目的としている。
第４図は第２の実施態様を示す構成図であり、第５図（
ａ）乃至（ｅ）は第４図に示される変位検出装置の動作
説明に供される信号波形図である。
ａ）乃至（ｅ）は第４図に示される変位検出装置の動作
説明に供される信号波形図である。
当該第２の実施態様の変位検出装置では第１の実施態様
と同様に形成された磁気スケール１６と、ブリッジ磁気
検知素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６ｄが幅（ｆ
りで連設された磁気ヘッド３８と、当該ブリッジ磁気検
知素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６６から導出さ
れた検知信号Ｓ ＩＩ、Ｓ １２、Ｓ１３、ＳＩ４が供
給される信号処理部４０とで構成されている。この信号
処理部４０では第５図にその処理波形を示すように検知
信号Ｓ １２と検知信号Ｓ １４との差分の信号Ｓ’ｓ
を形成し、また検知信号Ｓ ＩＩと検知信号Ｓ１３の差
分の信号３ｌ６を形成して、例えば、第１の実施態様の
検知信号Ｓ、およびＳ２に対して２倍のレベルを有した
出力信号Ｓ ２１、Ｓ２□を導出する。これにより以後
の信号処理が有利に作用し、温度特性および／または外
部磁界等の外乱、すなわち、重畳せしめられた雑音等に
対し、その影響が軽減される。さらにブリッジ磁気検知
素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６ｄは第１の実施
態様と同様の磁気抵抗効果素子が用いられており、外乱
に対してその影響をさらに軽減することが出来る。
と同様に形成された磁気スケール１６と、ブリッジ磁気
検知素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６ｄが幅（ｆ
りで連設された磁気ヘッド３８と、当該ブリッジ磁気検
知素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６６から導出さ
れた検知信号Ｓ ＩＩ、Ｓ １２、Ｓ１３、ＳＩ４が供
給される信号処理部４０とで構成されている。この信号
処理部４０では第５図にその処理波形を示すように検知
信号Ｓ １２と検知信号Ｓ １４との差分の信号Ｓ’ｓ
を形成し、また検知信号Ｓ ＩＩと検知信号Ｓ１３の差
分の信号３ｌ６を形成して、例えば、第１の実施態様の
検知信号Ｓ、およびＳ２に対して２倍のレベルを有した
出力信号Ｓ ２１、Ｓ２□を導出する。これにより以後
の信号処理が有利に作用し、温度特性および／または外
部磁界等の外乱、すなわち、重畳せしめられた雑音等に
対し、その影響が軽減される。さらにブリッジ磁気検知
素子３６ａ、３６ｂおよび３６ｃ、３６ｄは第１の実施
態様と同様の磁気抵抗効果素子が用いられており、外乱
に対してその影響をさらに軽減することが出来る。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、同一幅（２／３ｌ）のＳ
極性およびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁気
スケールと、当該磁気スケールの４／３ｌ！分の相対変
位に対応して正弦波信号および余弦波信号を比率による
検知信号として導出する幅（Ｉりで離間されたブリッジ
磁気検知素子からなる一組の検知器、あるいはより大な
る値の信号を導出すべく前記検知器が倍数個配設された
検知信号導出手段から導出される正弦波信号および余弦
波信号をもって前記相対変位を導出する変位検出信号形
成部とで構成され、これにより比較的簡単な構成で且つ
変位を検知する際、検知用接触部材を必要としないため
部材の摩耗を生起することなく、光、振動等の外乱に比
較的有利に作用し、さらに経時的な検知能力の低下が有
効に阻止できる効果を奏する。
極性およびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁気
スケールと、当該磁気スケールの４／３ｌ！分の相対変
位に対応して正弦波信号および余弦波信号を比率による
検知信号として導出する幅（Ｉりで離間されたブリッジ
磁気検知素子からなる一組の検知器、あるいはより大な
る値の信号を導出すべく前記検知器が倍数個配設された
検知信号導出手段から導出される正弦波信号および余弦
波信号をもって前記相対変位を導出する変位検出信号形
成部とで構成され、これにより比較的簡単な構成で且つ
変位を検知する際、検知用接触部材を必要としないため
部材の摩耗を生起することなく、光、振動等の外乱に比
較的有利に作用し、さらに経時的な検知能力の低下が有
効に阻止できる効果を奏する。
以上、本発明について好適な実施態様を挙げて説明した
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並び
に設計の変更が可能なことは勿論である。
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並び
に設計の変更が可能なことは勿論である。
第１図は本発明に係る変位検出装置の第１の実施態様を
示す構成図、 第２図（ａ）、（ｂ）は第１図に示される変位検出装置
に採用されるブリッジ磁気検知素子の構成および結線を
示す構成図、 第３図ＡＳＢは第１図に示される変位検出装置の動作説
明に供され、磁気スケールとブリッジ磁気検知素子との
対応関係および導出される信号波形を示す説明図、 第４図は本発明に係る変位検出装置の第２の実施態様を
示す構成図、 第５図（ａ）乃至（ｅ）は第４図に示される変位検出装
置の動作説明に供される信号波形図である。 １２・・・磁気ヘッド １４・・・移動体１６・
・・磁気スケール ２０・・・信号処理部２２．２
４・・・ブリッジ磁気検知素子２６ａ〜２６ｄ・・・磁
気抵抗効果素子（ＭＲ素子）２６ｅ・・・Ｎ極性バイア
ス磁石 ２６ｆ・・・Ｓ極性バイアス磁石 ２８．３０・・・差動増幅器 ３２・・・位相分割回
路Ｔ、 、Ｔ、・・・出力端子 Ｓ、 、Ｓ、・・・検
知信号Ｓ、、Ｓ、・・・増幅信号 Ｓ６、Ｓ６・・・パルス列信号 ンｂ↑ ■１４−−−−−− ＩＧ
示す構成図、 第２図（ａ）、（ｂ）は第１図に示される変位検出装置
に採用されるブリッジ磁気検知素子の構成および結線を
示す構成図、 第３図ＡＳＢは第１図に示される変位検出装置の動作説
明に供され、磁気スケールとブリッジ磁気検知素子との
対応関係および導出される信号波形を示す説明図、 第４図は本発明に係る変位検出装置の第２の実施態様を
示す構成図、 第５図（ａ）乃至（ｅ）は第４図に示される変位検出装
置の動作説明に供される信号波形図である。 １２・・・磁気ヘッド １４・・・移動体１６・
・・磁気スケール ２０・・・信号処理部２２．２
４・・・ブリッジ磁気検知素子２６ａ〜２６ｄ・・・磁
気抵抗効果素子（ＭＲ素子）２６ｅ・・・Ｎ極性バイア
ス磁石 ２６ｆ・・・Ｓ極性バイアス磁石 ２８．３０・・・差動増幅器 ３２・・・位相分割回
路Ｔ、 、Ｔ、・・・出力端子 Ｓ、 、Ｓ、・・・検
知信号Ｓ、、Ｓ、・・・増幅信号 Ｓ６、Ｓ６・・・パルス列信号 ンｂ↑ ■１４−−−−−− ＩＧ
Claims (3)
- （１）磁気スケールと磁気検知素子との間の相対変位を
前記磁気検知素子から検出される信号に基づき導出する
変位検出装置において、同一幅（２／３ｌ）のＳ極性お
よびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁気スケー
ルと、当該磁気スケールと４／３ｌ分の相対変位に対応
して正弦波信号および余弦波信号を導出する磁気抵抗効
果素子がブリッジ回路に形成され且つ幅（ｌ）で離間さ
れた第１および第２の磁気検知素子からなる検知器と、
当該検知器から導出される正弦波信号および余弦波信号
から前記相対変位を示す信号を導出する変位検出信号形
成部とを備えることを特徴とする変位検出装置。 - （２）請求項１記載の変位検出装置において、位置検知
信号形成部は少なくとも１以上の差動増幅器と位相分割
回路を備えることを特徴とする変位検出装置。 - （３）磁気スケールと磁気検知素子との間の相対変位を
前記磁気検知素子から検出される信号に基づき導出する
変位検出装置において、同一幅（２／３ｌ）のＳ極性お
よびＮ極性の磁化形成部が交互に連設された磁気スケー
ルと、当該磁気スケールと４／３ｌ分の相対変位に対応
して正弦波信号および余弦波信号を導出する磁気抵抗効
果素子がブリッジ回路に形成され且つ幅（ｌ）で離間さ
れた第１および第２の磁気検知素子からなる一組の検知
器が倍数個配列された検知信号導出手段と、前記検知信
号導出手段から導出される正弦波信号および余弦波信号
から前記相対変位を示す信号を導出する変位検出信号形
成部とを備えることを特徴とする変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1014696A JPH0690046B2 (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1014696A JPH0690046B2 (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194316A true JPH02194316A (ja) | 1990-07-31 |
| JPH0690046B2 JPH0690046B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=11868352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1014696A Expired - Lifetime JPH0690046B2 (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690046B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017146311A (ja) * | 2017-05-22 | 2017-08-24 | Tdk株式会社 | 磁界発生体および磁気センサ |
| CN107621822A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-01-23 | 杭州为诺智能科技有限公司 | 一种磁条码及其读取方法和磁导航机器人的路径规划方法 |
| DE112012005322B4 (de) | 2011-12-20 | 2022-02-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Drehwinkel-Detektiervorrichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60104262A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-08 | Sony Corp | 周波数発電器 |
| JPS61292503A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-23 | Alpine Electron Inc | 回転角度検出装置 |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP1014696A patent/JPH0690046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60104262A (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-08 | Sony Corp | 周波数発電器 |
| JPS61292503A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-23 | Alpine Electron Inc | 回転角度検出装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112012005322B4 (de) | 2011-12-20 | 2022-02-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Drehwinkel-Detektiervorrichtung |
| JP2017146311A (ja) * | 2017-05-22 | 2017-08-24 | Tdk株式会社 | 磁界発生体および磁気センサ |
| CN107621822A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-01-23 | 杭州为诺智能科技有限公司 | 一种磁条码及其读取方法和磁导航机器人的路径规划方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0690046B2 (ja) | 1994-11-14 |
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