JPS63271112A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は位置検出装置に関し、特に平面状の螺旋コイ
ルを用いた誘導型の位置検出装置に関する。

［従来の技術］ 位相シフト型の直線位置検出装置としては、本出願人に
より出願された実開昭５８−１３６７１８号公報に開示
されたものが従来から知られている。この直線位置検出
装置は、直線変位方向に所定の間隔で配置された複数の
１次コイルと、該１次コイルに対応して設けられた２次
コイルと、前記１次及び２次コイル内に挿入され軸方向
に直線移動可能な複数個のコアから成るコア部とから構
成されている。前記１次コイルの夫々を位相のずれた複
数の基準交流信号によって個別に励磁し、前記コア部の
直線位置に応じて位相シフトされた出力交流信号を２次
コイルに生じせしめるようにしたものである。このよう
に従来の位相シフト型直線位置検出装置では、１次、２
次コイルとは別途にコア部を設ける必要があった。

一方、従来から第１０図に例示するようなインダクトシ
ンを用いた直線位置検出装置も知られており、これは前
述した位相シフト型直線位置検出装置のようなコア部を
必要としない構成になっている。測定すべき全域にわた
って所定の長さ毎に９０度の角度で導線を折り曲げた１
次コイルから成るスケールＳＣＬと、所定の長さ毎に９
０度の角度で折り曲げた２つの２次コイルから成るスラ
イダＳＬＤとを具えたものである。上述のような２つの
導体を平行に接近させ、スケール５ＣＬ（１次コイル）
側に交流電圧を印加すると電磁誘導作用によりスライダ
ＳＬＤ　（２次コイル）側に両者の相対的位置に応φた
電圧が誘起される。前記誘起電圧の大小は、スケールと
スライダ間の電磁結合度によって、すなわちスケールと
スライダとの相対的な位置関係に応じて変化する。この
誘起電圧のレベルを検出して、直線位置の検出を行うも
のである。

［発明が解決しようとする問題点コ 前者の位相シフト型直線位置検出装置は、位相シフト方
式によって精度の良いアブソリュート位置検出を行うこ
とができるという利点を有するが、１次及び２次コイル
部にたいして相対的に変化するコア部を設けなければな
らないため、構造上の制約により、取付は可能な場所に
制限があるという問題点があった。例えば、リニアガイ
ドに取付けようとする場合、ガイド捧がコア部の形状に
適した丸棒形状等であれば、該ガイド棒を適宜加工して
コア部として兼務させることも可能であるが、そうであ
っても、加工手間がかかり、構造が複雑にもなるという
問題点がある。また、リニアガイドでは、ガイド手段は
丸棒よりはレール状のものが多く、そのような場合は、
コア部を如何なる形状にして如何なる手段で取付けるの
か、ということが問題となり、適用が困難であった。

一方、後者のインダクトシンにおいては、コア部が存在
しないため上述のような取付は上の問題は生じないが、
電圧検出方式であるため、温度変化等周辺環境変化の影
響を受けやすく、高精度が期待できないという問題点が
あった。また、１次コイル（スケール）及び２次コイル
（スライダ）は単に導線を所定の長さ毎に９０度の角度
で折り曲げただけであるため電磁誘導作用が弱く、従っ
て検出信号の出力電圧が低く、この点でも高精度が期待
できないという問題点があった。

この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、コア部を
省略して構造を簡単化すると共に検出精度をより一層向
上させることができるようにした位相シフト型の位置検
出装置を提供しようとするものである。

［問題を解決するための手段］ この発明に係る位置検出装置は、所定の第１の間隔で配
列された複数の１次コイルから成る１次コイル手段と、
前記１次コイルの配列間隔とは異なる所定の第２の間隔
で配列された複数の２次コイルから成る２次コイル手段
とを具備し、前記１次コイル手段及び２次コイル手段に
おける各コイルは平面状の螺旋コイルから成り、検出対
象位置の変位に応じて前記１次コイル手段を２次コイル
手段に対して相対的に変位させ、前記１次コイルを互い
に位相のずれた複数の交流信号を用いて励磁することに
より、前記１次コイル手段と前記２次コイル手段との相
対位置に応じて位相シフトされた出力信号を前記２次コ
イル手段に誘起せしめるようにしたものである。

［作用］ １次コイル手段が２次コイル手段に対して相対的に変位
することにより、そこにおける１次コイルと２次コイル
の磁気結合度が検出対象位置に応じて変化する。１次コ
イルの配列間隔と２次コイルの配列間隔が異なっており
、１次コイルが互いに位相のずれた複数の交流信号を用
いて励磁されるので、１次コイル手段と２次コイル手段
の相対位置に応じて位相シフトされた出力信号が２次コ
イル側に生じる。この２次出力信号における位相シフト
量が検出対象位置に対応している。

本発明の装置は、１次コイル手段と２次コイル手段の相
対的位置に応じた出力を生じるものであるため、従来の
ようなコイル部に対して相対的に変位するコア部は省略
されている。従って、構造が簡単であると共に製造コス
トも下げることができる。

また、各コイルは平面上の螺旋コイルからなるものであ
るため、電磁誘導作用が強く、検出精度を極めて高くす
ることができる。しかも、平面状コイルであることによ
って、１次コイル手段及び２次コイル手段の全体的構造
を夫々平板状にすることができ、嵩張らずに、コンパク
トな、極めて簡略化された形状にすることができる。従
って。

従来、位相シフト型位置検出装置を取付けることが困難
であった場所にも容易に本発明の位置検出装置を取付け
ることができる。

［実施例］ 以下、添付図面を参照してこの発明の実施例を詳細に説
明しよう。

第１図は本発明に係る位置検出装置の一実施例を示す原
理図であり、この位置検出装置は１次コイルアレイ１０
と２次コイルアレイ１１とを具えている。１次コイルア
レイ１０は２つの１次コイルＡ、Ｂを所定の間隔で配列
してなるものである。

２次コイルアレイ１１は検出対象範囲全域にわたって複
数（ｎ個）の２次コイル８１〜Ｓｎを所定の間隔で配列
してなるものである。各コイルＡ。

Ｂ、Ｓｌ−Ｓｎは角形に巻かれた平面状の螺旋コイルで
ある。各コイルの横幅をほぼＰ／２（但しＰは任意の数
）とすると、２次コイル８１〜Ｓｎは、隣接するコイル
の中心間距離をＰ／２として、互いに密接して配列され
ている。これに対して、１次コイルＡ、Ｂは、中心間距
離を３Ｐ／４として、隣同士でＰ／４のすきまを空けて
配列されている。

２つの１次コイルＡ、Ｂは、夫々位相のずれた交流信号
、例えばＡがｓｉｎ　（１１ｔ　、　ＢがＣｏｇ　（１
）　ｔ　、によって励磁される。また、各２次コイル８
１〜Ｓｎは交互に極性が逆になるように直列接続されて
いる。第２図は、第１図における１次コイルＡ。

Ｂ及び２次コイル８１〜Ｓｎの回路図を示すものであり
、同図においては２次出力交流信号Ｙの基準交流信号ｓ
ｉｎωｔまたはｃｏｓωｔに対する位相ずれφを測定す
るための位相差測定回路１２もあわせて示されている。

１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１は相対的
に変位可能に構成されており、検出対象位置に応じてそ
の相対的位置が変化するよう、検出対象物の動きが一方
のコイルアレイ１０または１１に伝達される。仮りに、
コイル数の少ない１次コイルアレイ１０を可動体に取付
けるとすると、２次コイルアレイ１１は静止体に取付け
る。そして、１次コイルアレイ１ｏが可動体と共に動く
ことにより、２次コイルアレイ１１に対する１次コイル
アレイ１０の位置が変化し、このアレイ１０゜１１間の
相対位置は静止体に対する可動体の位置に対応する。従
って１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１の相
対位置に応じた位置検出信号を２次コイル８１〜Ｓｎの
出力に基づき得ることにより、静止体に対する可動体の
位置を検出することができる。

１次コイルアレイ１０に対する２次コイルアレイ１１の
位置の検出原理は次の通りである。

上述したコイル配置によって、２次コイルアレイ１１に
対する１次コイルアレイ１０の任意の位置において、隣
接する２つの２次コイルが１つの１次コイルの磁束の影
響を受ける１例えば、第１図の状態では、２次コイル８
１．Ｓ２が１次コイルＡの影響を受け、２次コイルＳ２
，８３が１次コイルＢの影響を受ける。各１次コイルに
対応する隣接する２つの２次コイルは、１次コイルアレ
イ１０が２次コイルアレイ１１の全域にわたってスライ
ド変位してゆく過程で、順次切り替わる。

また、隣接する２つの２次コイルに対する１次コイルの
結合度は、１次コイルの変位に応じて差動的に変化する
。すなわち、一方の２次コイルの磁見回路のりラフタン
スが増せば（パーミアンスが減れば）、他方のりラフタ
ンスが減る（パーミアンスが増す）関係である。この差
動的な結合度の変化は、隣接する２つの２次コイルの横
幅Ｐ／２を合せた距離Ｐを１サイクルとして繰返し生じ
る。

一方、２次コイルの配列間隔に対する１次コイルの配列
間隔のずれにより、一方の１次コイルＡに対応する２つ
の２次コイルの差動的なりラグタンス変化の位相と他方
の１次コイルＢに対応する２つの２次コイルの差動的な
りラグタンス変化の位相との間にずれが生じる。この例
の場合、２次コイルの配列間隔に対する１次コイルの配
列間隔のずれはＰ／４であり、上述のりラグタンス変化
は距離Ｐを１サイクルとしているので、１次コイルＡと
Ｂとの間の上述のりラグタンス変化の位相のずれは、π
／２（９０度）である。

このことから、１次コイルＡに対応する一方の２次コイ
ル（例えばＳＬ）の磁気回路のパーミアンス変化の関数
をｃｏｓφと表現すると、他方の２次コイル（例えばＳ
２）の磁気回路のパーミアンス変化の関数を−ｃｏｓφ
と表現することができる。

また、他方の１次コイルＢに対応する一方の２次コイル
（例えばＳ３）の磁気回路のパーミアンス変化の関数を
ｓｉｎφと表現すると、他方の２次コイル（例えばＳ２
）の磁気回路のパーミアンス変化の関数を一５ｉｎφと
表現することができる。ここで、φ＝２πｘ／Ｐであり
、Ｘは、２次コイルアレイ１１に対する１次コイルアレ
イ１０の現在位置を示す独立変数である。

ここにおいて、１次コイルＡを正弦信号ｓｉｎωｔで励
磁し、１次コイルＢを余弦信号ｅ０８ωｔで励磁してい
るので、 １次コイルＡに対応する一方の２次コイル（例えば８１
）に誘導される信号は、 ｓｉｎωｔ　ｃｏｓφ　　　　　　　　−（１）。

１次コイルＡに対応する他方の２次コイル（例えばＳ２
）に誘導される信号は、 一５ｉｎωｔ　ｃｏｓφ　　　　　　　−（２）。

１次コイルＢに対応する一方の２次コイル（例えばＳ３
）に誘導される信号は。

ｃｏｓωｔ　ｓｉｎφ　　　　　　　　　　　・（３）
。

１次コイルＢに対応する他方の２次コイル（例えばＳ２
）に誘導される信号は。

−ｅｏｌ（＋）ｉ　ｓｉｎφ　　　　　　　−（４）　
。

で夫々表わすことができる。

また、隣接する２次コイルは互いに逆極性であるため、
各２次コイル８１〜Ｓｎを交互に逆相に直列接続して得
られる２次出力信号Ｙは１次のような略式で表現するこ
とができる。

Ｙ　＝ｇｉｙＢ＋）ｔ　ＣＯ３−−（−ｓｉｎωｔ　ｃ
ｏｓφ）＋ｃｏｓｃ＋＞ｔ　ｓｉｎφ−（−ｃｏｓωｔ
　ｓｉｎφ）＝２ｓｉｎ（ωｔ＋φ） 上記式で便宜的に「２」と示された係数を諸種の条件に
応じて定まる定数にで置換すると、Ｙ＝Ｋｓｉｎ（ωｔ
＋φ）　　　　　・（５）と表わすことができる。ここ
で、φは前述のとおり２次コイルアレイ１１に対する１
次コイルアレイ１０の現在位置Ｘに比例しているので、
出力信号Ｙの基準交流信号ｓｉｎωｔまたはｃｏｓωｔ
に対する位相ずれφを測定することにより、検出対数位
！Ｘをアブソリュート値にて検出することができる。た
だし１位相シフト量φが全角２πのとき位［ｘは距離Ｐ
に相当するので、距離Ｐの範囲内でのアブソリュート位
置を検出することができるのである。

上述の関係は、どの２次コイル８１〜Ｓｎが１次コイル
Ａ、Ｂに対応していても成立する。すなわち、出力信号
Ｙの位相シフト量φは、距離ｍＰにわたる検出対象範囲
全域において０〜２７Ｃの変化をｍサイクル繰り返す、
このような変位Ｘに対する出力信号Ｙの位相シフト量φ
の変化を例示したものが第３図である。この点について
少し詳しく述べると、例えば、２次コイルＳ１にて成立
した上記式（１）は次のサイクルでは同相の２次コイル
Ｓ３において成立し、２次コイルＳ２にて成立した上記
式（２）及び（４）は次のサイクルでは同相の２次コイ
ルＳ４において成立し、２次コイルＳ３にて成立した上
記式（３）は次のサイクルでは同相の２次コイルＳ５に
おいて成立する、というように、上記式（１）〜（４）
のパーミアンス変化の関数は。

当該関数の１サイクル毎に１つおきの同極性の２次コイ
ルに順次切り替わりながら、距離ｍＰにわたる検出対象
範囲全域において連続的に成立するのである。

２次出力信号Ｙにおける位相シフト量φの測定は、適宜
の位相差測定回路１２（第２図）によってディジタル的
に又はアナログ的に行うことができる０例えば、前述の
実開昭５８−１３６７１８号明細書中に示されたような
ディジタルカウント方式の位相差測定回路を用いて、位
相シフト量φを示すディジタルデータＤφを得るように
することもできるし、その他適宜の位相差測定回路を用
いてもよい。

第１図は原理図であるため１図示の簡単化のために、１
次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１は横並びに
並んでいるように示されているが、実際は両コイルアレ
イ１０．１１が平行に重なりあうように近接した配置で
あるほうが磁気結合度が高まるので好ましい、第４図は
、その状態を略示する斜視図である。１次コイルアレイ
１０において、１次コイルＡ、Ｂは所定のベース部材１
３上に固定的に配列されている。また、２次コイルアレ
イ１１において、２次コイル８１〜Ｓｎは所定のベース
部材１４上に固定的に配列されている。

ベース部材１３．１４上への平面状螺旋コイル配線の形
成は、プリント配線技術やシートコイル作成技術で知ら
れた適宜の技術を用いて行うことができる。また、シー
トコイルで知られているように、ベース部材は硬い材質
である必要はなく、柔軟な材質であってもよい。

１次コイルアレイ１０と２次コイルアレイ１１の配列は
第１図に示したものに限らず、次に述べるように、種々
に変更可能である。

第５図の実施例では、１次コイルアレイ１０ａが複数の
１次コイルＡｌ、Ｂｌ〜Ａｎ、Ｂｎを検出対象範囲全域
にわたって所定の間隔で配列してなるものであり、２次
コイルアレイｌｌａが４個の２次コイル８１〜Ｓ４を所
定の間隔で配列してなるものである。１次コイルアレイ
１０ａにおいては、正弦信号ｓｉｎωｔによって励磁さ
れる１つの１次コイル（Ａ相コイルという）と余弦信号
ｃｏｓωｔによって励磁される１つの１次コイル（Ｂ相
コイルという）によって１対の１次コイルが構成されて
いる。１対の１次コイルにおけるＡ相コイルとＢ相コイ
ル（例えばＡ１と８１あるいはＡ２と８２など）の中心
間距離は第１図と同様に３Ｐ／４であり、隣同士でＰ／
４のすきまが空いている。各１次コイル対の配列ピッチ
は２Ｐである。

２次コイルアレイｌｌａにおける２次コイル８１〜Ｓ４
の配列間隔は第１図と同様であり、また、同様に隣接す
る２次コイルが逆極性となるように各２次コイルが直列
接続されている。この例の場合も、２次出力信号Ｙにお
ける位相シフト量φの１サイクルの変化（０〜２π）は
、各１次コイル対の配列ピッチである距離Ｐの変位に対
応して生じる。

第１図及び第５図の実施例では、隣接する２次コイルが
逆極性となるように各２次コイルが直列接続されており
、かつ隣接する２次コイルの位置に対するリラクタンス
変化の関数は逆相となっている。これにより、誘導電圧
のレベルが差動的に増強されて、精度の良い検出を行う
ことができるようになる。

上記各実施例では、距離Ｐを１サイクルとするアブソリ
ュート位置検出を行うので、ｍ点からの変位量がＰを超
えた場合は、正確なアブソリュート位置は判らない、距
離Ｐを超える正確なアブソリュート位置を知るには、現
在位置を示す検出データ（位相シフト量φ）が原点から
数えて何サイクル目の距離Ｐにおける位置を示している
のかを検出すればよい、そのために、現在位置を示す検
出データが原点から数えて何サイクル目の距離Ｐにおけ
る位置を示しているのかを検出する適宜の手段を併設す
ればよい、そのような手段としては、出力信号Ｙの位相
シフト量φが原点から数えて何回２πを越えたかをカウ
ントするようにしてもよいし、また、特開昭５９−７９
１１４号公報に示されたように１サイクルのピッチが僅
かに異なる複数の位置検出装置を設けて各検出装置の検
出位置データを演算処理することにより原点から数えた
サイクル数をもアブソリュートで検出するようにしても
よい、後者のようにする場合１例えば、第６図に略示す
るように、１サイクルのピッチＰ１、Ｐ２が異なる複数
系列の１次コイルアレイ１０−１．１０−２と２次コイ
ルアレイ１１−１゜１１−２とを設ければよい。

第６図において、１次コイルアレイ１０−１は２次コイ
ルアレイ１１−１に対応し、１次コイルアレイ１０−２
は２次コイルアレイ１１−２に対応している。２次コイ
ルアレイ１１−１．１１−２は共通のベース部材１５に
設けられ、１次コイルアレイ１０−１．１０−２も共通
のベース部材（図示せず）に設けられ、２次コイルアレ
イ１１−１．１１−２に対して１次コイルアレイ１〇−
１，１０−２が相対的に変位する。、対応する１次コイ
ルアレイと２次コイルアレイの配置関係（つまり１０−
１と１１−１の配置関係及び１０−２と１１−２の配置
関係）は第１図に示したものと夫々同様であり、Ａ−１
，Ａ−２は正弦信号ｓｉｎωｔによって励磁される１次
コイル、Ｂ−１，Ｂ−２は余弦信号ｃｏｓωｔによって
励磁される１次コイル、ＳＬ、Ｓ２．　Ｓ３．・・・、
ＳＬ’　、Ｓ２’　。

８３′、・・・は交互に逆極性の２次コイル、である。

また、この各系列の１次コイルアレイ及び２次コイルア
レイの配列は第５図に示したような変更が夫々可能であ
る。

両系列間ではコイル配列のピッチ（つまり１サイクルの
位相変化に対応する距離Ｐ）が夫々幾分異なっている。

このピッチ（つまり１サイクルの位相変化に対応する距
離Ｐ）を、一方の系列１０−１．１１−１についてはＰ
ｌで示し、他方の系列１０−２．１１−２についてはＰ
２で示す。一方の系列１０−１．１１−１の出力信号Ｙ
１に基づき検出される位置データの現在値をＤｌとし、
他方の系列１０−２．１１−２の出力信号Ｙ２に基づき
検出される位置データの現在値をＤ２とする。上記特開
昭５９−７９１１４号公報に示されたように、面位置デ
ータの現在値の差Ｄｉ−Ｄ２をＰＬ、Ｐ２の比及び１サ
イクル当りの位置データの゛分割数Ｎに応じた定数で除
することにより、現在位置における位置データＤ１のア
ブソリュートなサイクル数Ｃｘを求めることができる。

このアブソリュートサイクル数Ｃｘと位置データＤ１と
を組合せることにより、広範囲にわたる絶対位置を高精
度で検出した位置データを得ることができる。

１次コイルアレイと２次コイルアレイの系列数は２に限
らず、それ以上であってもよい。

第７図及び第８図は本発明に係る位置検出装置をリニア
ガイドＬＭＧの直線位置検出装置として適用した実施例
を示すもので、第７図は正面図。

第８図は可動部１６を一部切り欠いた側面図である。リ
ニアガイドＬＭＧは１周知のようにガイドレール１７と
このガイドレール１７に沿って直線変位可能な可動部１
６とを有する。このガイドレール１７の所定の側面に沿
って２次コイルアレイ１１が設けられており、可動部１
６の内側における前記２次コイルアレイ１１に対応する
箇所に１次コイルアレイ１０が設けられている。１次及
び２次コイルアレイ１０．１１の構成は、例えば第１図
に示したものと同様であり、同様に動作する。

また、この１次コイルアレイ１０及び２次コイルアレイ
１１の構成は、第５図又は第６図に示された実施例のよ
うな構成であってもよい。

可動部１６及びガイドレール１７に対する１次及び２次
コイルアレイ１０．１１の取付けは、例えば、第４図に
示したようにシート状のベース部材１３．１４上に１次
及び２次コイルアレイ１０．１１を形成したものを用い
ることによって容易に行うことができる。すなわち、こ
れらの１次及び２次コイル１０．１１を形成したシート
状ベース部材１３．１４を単にガイドレール１７と可動
部１６の所定の側面に貼付るだけでよいのである。

このように本発明の位置検出装置は、平面上の１次コイ
ルアレイ１０及び２次コイルアレイ１１のみから成って
おり、格別のコア部を必要としていないため、既成のリ
ニアガイドにも構造的な改造なしに容易に取付けること
ができる。また、リニアガイドに限らず、コナ部の存在
により位相シフト型位置検出装置の取付けが従来困難で
あった装置の箇所にも、本発明による位置検出装置を容
易に取付けることができる。

この発明に係る位置検出装置は１次元（直線）のみばか
りでなく２次元（平面）の位置検出装置として構成する
こともできる。第９図はその実施例を示すものである。

２次コイルベース１８上において複数の２次コイル８１
〜Ｓｎを行列状に設け、この２次コイルベース１８に対
して２次元的に平行移動可能な１次コイルアレイ（図示
せず）を設けることによって、２次元位置を検出するこ
とができるようにすることが可能である。

上記実施例においては、正弦信号と余弦信号のように９
０°の位相差を持つ２相の基準交流信号によって各１次
コイルを励磁しており、この場合は一般的には、１次コ
イルアレイにおけるコイル配列間隔と２次コイルアレイ
におけるコイル配列間隔との差が、ｉ±Ｐ／４（ただし
ｉは任意の整数）となるようにコイル配列を設定すれば
よい。

また、１次コイルを励磁する基準交流信号は２相に限ら
す３相その他の多相信号であってもよく、その場合は、
１次コイルアレイと２次コイルアレイの夫々のコイル配
列間隔の差は１次交流信号間の位相ずれに応じて設定す
ればよい。

尚、各コイルの形状は、角形に限定されず螺旋状であれ
ば円形でも他のものでもよい。

また、本発明を回転位置検出装置として適用することも
可能である。その場合は、回転円周に沿って１次コイル
アレイ又は２次コイルアレイを設ければよい。

［発明の効果コ 以上の通り、この発明に係る位置検出装置によれば、１
次コイル手段と２次コイル手段の相対的位置に応じた出
力を生じるものであるため、従来のようなコイル部に対
して相対的に変位するコア部は省略されており、従って
、構造が簡単であると共に製造コストも下げることがで
きるという効果を奏する。

また、各コイルは平面上の螺旋コイルからなるものであ
るため、電磁誘導作用が強く、検出精度を極めて高くす
ることができるという効果を奏する。しかも、平面状コ
イルであることによって、１次コイル手段及び２次コイ
ル手段の全体的構造を夫々平板状にすることができるた
め、嵩張らずに、コンパクトな、極めて簡略化された形
状にすることができる。従って、従来、位相シフト型位
置検出装置を取付けることが困難であった場所にも容易
に本発明の位置検出装置を取付けることができる、など
の種々の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る位置検出装置の一実施例を示す
原理図。 第２図は同実施例におけるコイルの結線例を示す回路図
。 第３図は同実施例における２次出力信号の位相ずれ量と
検出位置との関係を例示するグラフ、第４図は同実施例
における１次コイルアレイと２次コイルアレイの相互の
配置の一例を示す斜視図、 第５図及び第６図はこの発明に係る位置検出装置の別の
実施例を夫々示す原理図、 第７図はこの発明をリニアガイドの位置検出装置として
適用した一実施例を示す正面図、第８図は同実施例にお
けるリニアガイドの側面図。 第９図は本発明におけるコイル配列の別の実施例を略示
する平面図、 第１０図は従来の直線位置検出装置の一例を示す図、で
ある。 １０・・・１次コイルアレイ、　　１１・・・２次コイ
ルアレイ、　Ａ、Ｂ・・・１次コイル、　　８１〜Ｓｎ
・・・２次コイル、　１２・・・位相差測定回路、　１
３゜１４．１８・・・ベース部材、　ＬＭＧ・・・リニ
アガイド、　１６・・・リニアガイドの可動部、　　１
７・・・ガイドレール。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定の第１の間隔で配列された複数の１次コイル
   から成る１次コイル手段と、 前記１次コイルの配列間隔とは異なる所定の第２の間隔
   で配列された複数の２次コイルから成る２次コイル手段
   とを具備し、 前記１次コイル手段及び２次コイル手段における各コイ
   ルは平面状の螺旋コイルから成り、検出対象位置の変位
   に応じて前記１次コイル手段を２次コイル手段に対して
   相対的に変位させ、前記１次コイルを互いに位相のずれ
   た複数の交流信号を用いて励磁することにより、前記１
   次コイル手段と前記２次コイル手段との相対位置に応じ
   て位相シフトされた出力信号を前記２次コイル手段に誘
   起せしめるようにした位置検出装置。
2. （２）前記１次コイル手段もしくは２次コイル手段の一
   方を検出対象範囲全域にわたって配列した特許請求の範
   囲第１項記載の位置検出装置。