CN102690429A - 流延膜的形成方法及装置以及溶液制膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流延膜的形成方法及装置以及溶液制膜方法。在流延膜形成工序中，依次反复进行浓液流下工序、流延工序、膜加热工序、表层形成工序、膜干燥工序、膜冷却工序、剥离工序及支撑体加热工序。浓液流下工序中使浓液向环状带流下，流延工序中由浓液形成流延膜。膜加热工序中通过流延膜的加热使膜表面光滑，表层形成工序中在膜表面形成表层。膜干燥工序中进行流延膜的干燥，膜冷却工序中将流延膜冷却至成为可独立传送的状态。剥离工序中从环状带剥离流延膜，支撑体加热工序中加热经过剥离工序的环状带。

Description

流延膜的形成方法及装置以及溶液制膜方法

技术领域

本发明涉及一种流延膜的形成方法及装置以及溶液制膜方法。

背景技术

聚合物膜(以下称为膜)因优异的透光性或柔软性及可轻质薄膜化等优点而广泛用作光学膜。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类膜用于光学膜中。作为光学膜以照片感光用膜为代表，有偏光板的保护膜或相位差膜等。偏光板的保护膜或相位差膜为近年来市场不断扩大的液晶显示装置的构成部件。

作为膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法具有流延膜形成工序、膜独立化工序、剥离工序及湿润膜干燥工序。流延膜形成工序中，流下聚合物溶于溶剂的浓液，在支撑体上形成由浓液构成的流延膜。膜独立化工序中，使溶剂从流延膜蒸发直至能够独立传送，即硬化进行到一定程度以上。剥离工序中，从支撑体剥离流延膜作为湿润膜。湿润膜干燥工序中，使溶剂从湿润膜蒸发来作为膜。

日本专利公开2006-306059号公报中公开有如下方法：在膜独立化工序中，依次进行使溶剂从流延膜蒸发的膜干燥工序及冷却流延膜直至能够独立传送的膜冷却工序。根据日本专利公开2006-306059号公报的方法，在剥离工序之前进行固化流延膜所需的时间短于膜干燥工序的膜冷却工序，因此，能够避免因流延膜的干燥不足引起的剥离故障(导致被剥离的流延膜被撕碎的撕碎故障或流延膜的一部分残留在支撑体上的剥离残留故障)。其结果，由于能够提高支撑体速度，因此，与以往相比能够谋求提高膜的生产效率。

但是，虽然能够通过利用日本专利公开2006-306059号公报的方法来谋求提高膜的生产效率，但由于所得到的膜的厚度不均引起的光学特性(面内延迟Re或厚度方向延迟Rth等)的不均成为问题。作为这种光学特性的不均变得明显的原因，可举出光学膜的所需规格上升以及随着液晶显示装置的薄型化而促使光学膜的薄膜化。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种抑制如上述的厚度不均并可高效地生产膜的溶液制膜方法以及用于该溶液制膜方法的流延膜的干燥方法及装置。

本发明的流延膜的形成方法为在移动支撑体形成流延膜的流延膜的形成方法。所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动。所述流延膜的形成方法具备浓液流下步骤(A步骤)、膜干燥步骤(B步骤)、膜冷却步骤(C步骤)、剥离步骤(D步骤)、支撑体加热步骤(E步骤)、膜加热步骤(F步骤)及挟持步骤(G步骤)。A步骤中，使浓液向所述移动支撑体的表面流下。所述浓液包含聚合物及溶剂。B步骤中，从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂。所述流延膜由所流下的所述浓液构成。C步骤中，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。所述冷却在所述B步骤之后进行。D步骤中，从所述移动支撑体剥离所述C步骤之后的所述流延膜。E步骤中，在下一个所述B步骤之前加热所述D步骤之后的所述移动支撑体。F步骤中，利用在所述E步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述B步骤之前的所述流延膜。G步骤中，利用表面两端部支撑部件与里面支撑部件挟持所述移动支撑体。所述挟持在所述A步骤中进行。所述表面两端部支撑部件支撑比所述到达位置更靠宽度方向两外侧的所述移动支撑体的表面。所述里面支撑部件支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端。

优选所述表面两端部支撑部件为压料辊且所述里面支撑部件为支撑辊。

本发明的流延膜的形成方法为在移动支撑体形成流延膜的流延膜的形成方法。所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动。所述流延膜的形成方法具备浓液流下步骤(H步骤)、膜干燥步骤(I步骤)、膜冷却步骤(J步骤)、剥离步骤(K步骤)、支撑体加热步骤(L步骤)及膜加热步骤(M步骤)。H步骤中，使浓液向所述移动支撑体流下。所述浓液包含聚合物及溶剂。I步骤中，从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂。所述流延膜由所流下的所述浓液构成。J步骤中，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。所述冷却在所述I步骤之后进行。K步骤中，从所述移动支撑体剥离所述J步骤之后的所述流延膜。L步骤中，在下一个所述I步骤之前加热所述K步骤之后的所述移动支撑体的宽度方向中央部。M步骤中，利用在所述L步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述膜干燥步骤之前的所述流延膜。

本发明的溶液制膜方法为通过在移动支撑体形成流延膜并进行干燥来制造膜的溶液制膜方法。所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动。所述溶液制膜方法具备浓液流下步骤(A步骤)、膜干燥步骤(B步骤)、膜冷却步骤(C步骤)、剥离步骤(D步骤)、支撑体加热步骤(E步骤)、膜加热步骤(F步骤)、挟持步骤(G步骤)及膜干燥步骤(N步骤)。A步骤中，使浓液向所述移动支撑体的表面流下。所述浓液包含聚合物及溶剂。B步骤中，从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂。所述流延膜由所流下的所述浓液构成。C步骤中，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。所述冷却在所述B步骤之后进行。D步骤中，从所述移动支撑体剥离所述C步骤之后的所述流延膜。E步骤中，在下一个所述B步骤之前加热所述D步骤之后的所述移动支撑体。F步骤中，利用在所述E步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述B步骤之前的所述流延膜。G步骤中，利用表面两端部支撑部件和里面支撑部件挟持所述移动支撑体。所述挟持在所述A步骤中进行。所述表面两端部支撑部件支撑比所述到达位置更靠宽度方向两外侧的所述移动支撑体的表面。所述里面支撑部件支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端。N步骤中，从由所述移动支撑体剥离的所述流延膜中蒸发所述溶剂而得到膜。

本发明的溶液制膜方法为通过在移动支撑体形成流延膜并进行干燥来制造膜的溶液制膜方法。所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动。所述溶液制膜方法具备浓液流下步骤(H步骤)、膜干燥步骤(I步骤)、膜冷却步骤(J步骤)、剥离步骤(K步骤)、支撑体加热步骤(L步骤)、膜加热步骤(M步骤)、及膜干燥装置(P步骤)。H步骤中，使浓液向所述移动支撑体流下。所述浓液包含聚合物及溶剂。I步骤中，从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂。所述流延膜由所流下的浓液构成。J步骤中，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。所述冷却在所述I步骤之后进行。K步骤中，从所述移动支撑体剥离所述J步骤之后的所述流延膜。L步骤中，在下一个所述I步骤之前加热所述K步骤之后的所述移动支撑体的宽度方向中央部。M步骤中，利用在所述L步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述膜干燥步骤之前的所述流延膜。P步骤中，从由所述移动支撑体剥离的所述流延膜中蒸发所述溶剂而得到膜。

本发明的流延膜的形成装置具备移动支撑体、到达部支撑单元、剥离部支撑单元、膜冷却单元、支撑体加热单元、膜加热单元、表面两端部支撑部件及里面支撑部件。移动支撑体依次循环通过到达部、流延部、膜干燥部、剥离部。所述到达部中到达流下的浓液。所述浓液包含聚合物及溶剂。所述流延部由流下的所述浓液形成流延膜。所述膜干燥部使所述溶剂从所述流延膜蒸发。所述剥离部中剥离所述流延膜。到达部支撑单元支撑位于所述到达部的所述移动支撑体。剥离部支撑单元支撑位于所述剥离部的所述移动支撑体。膜冷却单元在所述移动支撑体离开所述膜干燥部且到达所述剥离部为止期间，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。支撑体加热单元加热离开所述剥离部且到达所述膜干燥部为止期间的所述移动支撑体。膜加热单元，利用通过所述支撑体加热单元获得的热加热到达所述膜干燥部之前的所述流延膜。表面两端部支撑部件，具备在所述到达部支撑构件上，支撑所述移动支撑体的表面中比所流下的所述浓液到达的到达位置更靠宽度方向的两端部。里面支撑部件，具备在所述到达部支撑构件上，支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端。

优选所述表面两端部支撑部件为压料辊且所述里面支撑部件为支撑辊。

本发明的流延膜的形成装置具备移动支撑体、到达部支撑单元、剥离部支撑单元、膜冷却单元、支撑体加热单元及膜加热单元。移动支撑体依次循环通过到达部、流延部、膜干燥部、剥离部。所述到达部中到达流下的浓液。所述浓液包含聚合物及溶剂。所述流延部由所流下的所述浓液形成流延膜。所述膜干燥部使所述溶剂从所述流延膜蒸发。所述剥离部中剥离所述流延膜。到达部支撑单元支撑位于所述到达部的所述移动支撑体。剥离部支撑单元支撑位于所述剥离部的所述移动支撑体。膜冷却单元在所述移动支撑体离开所述膜干燥部且到达所述剥离部为止期间，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态。支撑体加热单元加热离开所述剥离部且到达所述膜干燥部为止期间的所述移动支撑体的宽度方向中央部。膜加热单元利用通过所述支撑体加热单元获得的热加热到达所述膜干燥部之前的所述流延膜。

发明效果

根据本发明，进行浓液流下工序、膜干燥工序及剥离工序，并且能够通过在膜干燥工序与剥离工序之间进行的膜冷却工序缩短从膜干燥工序至剥离工序为止所需的时间。并且，从该剥离工序至下一个膜干燥工序为止期间，进行加热移动支撑体的支撑体加热工序，因此能够进行从里面侧加热通过下一个浓液流下工序形成的流延膜的膜加热工序。通过膜加热工序能够使流延膜的表面光滑。这样，根据本发明，能够抑制厚度不均并高效生产流延膜或膜。

另外，在膜冷却工序之后紧接着进行支撑体加热工序时，移动支撑体由于热履历而翘曲，但根据本发明能够抑制因移动支撑体的翘曲引起的流延膜的厚度不均。

附图说明

图1是表示溶液制膜设备的概要的说明图。

图2是表示第1流延单元的概要的侧视图。

图3是表示表层形成装置的概要的立体图。

图4是表示表层形成装置的概要的沿图5的IV-IV线的截面图。

图5是表示表层形成装置的概要的沿图4的V-V线的截面图。

图6是表示第1支撑体加热装置的概要的立体图。

图7是表示第1支撑体加热装置的概要的沿图2的VII-VII线的截面图。

图8是表示第1流延膜形成工序及溶液制膜方法的概要的工序图。

图9是表示形成之后的流延膜的概要截面图。

图10是表示膜加热工序之后的流延膜的概要的截面图。

图11是表示表层形成工序之后的流延膜的概要的截面图。

图12是表示膜干燥工序之后的流延膜的概要的截面图。

图13是表示第2流延单元的主要部分的概要的侧视图。

图14是表示第3流延单元的概要的侧视图。

图15是表示第4流延单元的主要部分的概要的侧视图。

图16是表示第5流延单元的主要部分的概要的侧视图。

图17是表示第6流延单元的概要的侧视图。

图18是表示第7流延单元的概要的侧视图。

图19是表示第2支撑体加热装置的概要的截面图。

图20是表示第2流延膜形成工序及第2溶液制膜方法的概要的工序图。

图21是表示第8流延单元的主要部分的概要的侧视图。

图22是表示支撑体挟持装置的主要部分的概要的侧视图。

图23是表示设定在带表面的绕接区域、到达位置及抑制位置的概要的俯视图。

图24是表示第9流延单元的主要部分的概要的侧视图。

图25是表示支撑体加热装置的概要的沿图24的XXV-XXV线的截面图。

具体实施方式

(溶液制膜设备)

如图1所示，溶液制膜设备10具有流延单元12、干燥单元13及卷取单元14。

(流延单元)

流延单元12由浓液24制作湿润膜25。浓液24包含成为膜21的原料的聚合物(称为原料聚合物)22与聚合物22的溶剂23。流延单元12的详细内容将进行后述。

(干燥单元)

干燥单元13使溶剂23从湿润膜25蒸发并从湿润膜25得到膜21。干燥单元13具备从流延单元12朝向卷取单元14依次配设的夹子拉幅机35、分切机36、干燥室37及冷却室38。流延单元12与夹子拉幅机35之间的转送部40中，利用多个辊41向夹子拉幅机35传送从流延单元12送出的带状湿润膜25。

夹子拉幅机35具有套管35a、成对导轨、夹子35b及干燥风供给机35c。套管35a内设置湿润膜25的移动路。容纳于套管35a内的导轨设置于湿润膜25的移动路的两侧。沿导轨排列的多个夹子35b在把持湿润膜25的宽度方向两侧边部的把持状态和解除宽度方向两侧边部的把持的解除状态之间转变自如，且沿导轨移动自如地安装。该多个夹子35b通过未图示的链条连结为环状。若夹子35b通过导轨上的把持开始位置，则夹子35b从解除状态转变(改变)为把持状态。这样，夹子35b把持湿润膜25的宽度方向两侧边部。并且，若夹子35b通过导轨上的把持解除位置，则夹子35b从把持状态转变(改变)为解除状态。这样，夹子35b解除湿润膜25的宽度方向两侧边部的把持。

成对导轨的间隔随着从把持开始位置朝向把持解除位置而递增。在此，将把持开始位置上的湿润膜25的宽度设为Wf1，并且在从把持开始位置至把持解除位置为止期间将湿润膜25的最大宽度设为Wf2。优选Wf2/Wf1为1.05以上1.5以下。对湿润膜25吹送干燥风的干燥风供给机35c设置于湿润膜25的移动路的上方及下方。

分切机36切开湿润膜25的边部。该切开的边部通过送风送至破碎机(未图示)，被较细地切断并作为浓液等的原料再利用。

干燥室37内设置多个辊45。湿润膜25边卷绕在辊45上边被传送。干燥室37上连接吸附回收装置46。吸附回收装置46通过吸附回收从湿润膜25蒸发的溶剂23。通过回收干燥室37内的溶剂23，干燥室37中的溶剂23的冷凝点调节在恒定范围内，因此，在干燥室37内传送期间，溶剂23从湿润膜25蒸发。其结果，从湿润膜25得到膜21。在冷却室38中膜21被冷却至温度成为大致室温。

(卷取单元)

卷取单元14具备具有卷芯51、卷芯驱动部(未图示)及压辊52的卷取室54。卷芯驱动部通过控制部(未图示)以预定速度旋转卷芯51。其结果，膜21以预定卷取张力卷取于卷芯51上而成为膜辊55。压辊52朝向卷芯51或卷取于卷芯51上的膜辊55按压卷取于卷芯51的膜21。由此，能够边防止空气混入膜21之间边缠绕膜21。

优选卷取室54与冷却室38之间设置有在膜21的宽度方向两边部形成滚花的滚花赋予装置57。

(流延单元的详细内容)

如图2所示，由浓液24制作湿润膜25的流延单元12具备流延套管75。流延套管75内设置流延模60、环状带62、表层形成装置63、膜干燥装置64、剥离辊65、带移动机构66及第1～第4密封部件71～74。流延模60流出浓液24。环状带62为支撑所流出的浓液24并形成由浓液24构成的流延膜61的移动支撑体。表层形成装置63在流延膜61的表面61a形成表层。膜干燥装置64使溶剂23(参考图1)从流延膜61蒸发。剥离辊65从环状带62剥离流延膜61。带移动机构66向预定方向循环移动环状带62。

(环状带移动机构)

带移动机构66用于边支撑环状带62边向预定方向引导。带移动机构66具备各辊66a～66c和驱动辊66c的马达66m。

辊66a～66c配设成相互平行。辊66b与辊66c配设在大致相同平面(例如水平面)上，辊66a在辊66b与辊66c之间，且配设在比该平面更靠上方。辊66a～66c上卷绕连结片材的两端而成的环状的环状带62。环状带62的带里面62b由辊66a～66c支撑。若辊66c通过马达66m的驱动而旋转，则环状带62以辊66a、辊66b、辊66c、辊66a......的方式循环移动辊66a～66c。这样，通过辊66a～66c形成环状带62的移动路66r。

辊66x～辊66z均用于支撑环状带62的带里面62b，它们沿环状带62的移动路66r配设。辊66x配设在辊66c与辊66a之间。辊66y配设在辊66a与辊66b之间，辊66z配设在辊66b与辊66c之间。

优选通过连结片材的两端得到的环状带62为不锈钢制，更优选具有充分的耐腐蚀性和强度的SUS316制。优选环状带62的宽度例如为浓液24的流延宽度CW(参考图6)的1.1倍以上2.0倍以下。优选环状带62的长度例如为20m以上200m以下，优选环状带62的厚度例如为0.5mm以上～2.5mm以下。另外，优选利用厚度不均相对于整体厚度在0.5％以下的环状带62。优选带表面62a被研磨，优选带表面62a的表面粗糙度在0.05μm以下。

(密封部件)

第1～第4密封部件71～74设置于环状带62的移动路66r。第1密封部件71配设成通过环状带62的移动路66r与辊66x相对。第2密封部件72配设成通过环状带62的移动路66r与辊66y相对。第3～第4密封部件73～74以通过环状带62的移动路66r与辊66c相对的方式，从环状带62的移动方向(以下称为X方向)上游侧朝向下游侧依次配设。

第1密封部件71具备安装于流延室75a的遮风板71a与安装于遮风板71a的迷宫式密封件71b。遮风板71a具有遮挡流延套管75内的气体流动的遮风面。遮风板71a从流延套管75的内壁面突出且朝向环状带62的带表面62a延设。迷宫式密封件71b设置在遮风板71a的前端，以便靠近带表面62a。第2密封部件72～第4密封部件74具有与第1密封部件71相同的结构。

流延套管75通过各辊及各密封部件从X方向上游侧朝向下游侧隔开成流延室75a、膜干燥室75b、剥离室75c及支撑体加热室75d。流延室75a由第1密封部件71、第2密封部件72、辊66x及辊66y形成。同样，膜干燥室75b由第2密封部件72、第3密封部件73、辊66y及辊66c形成，剥离室75c由第3密封部件73、第4密封部件74及辊66c形成，支撑体加热室75d由第1密封部件71、第4密封部件74、辊66c及辊66x形成。

(流延室)

流延室75a内设置流延模60。流延模60配设成通过环状带62的移动路66r与辊66a相对。流延模60与辊66a之间形成到达部。流延模60具有向前端流出浓液24的狭缝出口。流延模60配设成狭缝出口靠近环状带62中由辊66a支撑的部分。从流延模60流出的浓液24在带表面62a上流延的结果成为带状的流延膜61。

优选流延室75a内设置减压室77。减压室77比流延模60更靠X方向的上游侧，并设置成与流延模60邻接。在未图示的控制部的控制下，减压室77减压液珠的X方向上游侧，以便液珠的X方向上游侧的压力变得低于液珠的X方向下游侧。在此，液珠是指，由从流延模60流出且到达环状带62之前的浓液24形成的液珠。

(膜干燥室)

在膜干燥室75b内沿移动路66r从X方向上游侧朝向下游侧依次设置表层形成装置63及膜干燥装置64，所述表层形成装置对流延膜61供给表层形成风80，所述膜干燥装置使溶剂从流延膜61蒸发。

(表层形成装置)

优选表层形成装置63配设在膜干燥室75b的X方向最上游侧。如图3及图4所示，配设成靠近膜表面61a的表层形成装置63具有进气导管81、外罩82、预进气喷嘴83及调风器84。进气导管81和外罩82从X方向上游侧朝向下游侧依次设置。

进气导管81中流通表层形成风80，其在X方向上靠近第2密封部件72且远离膜表面61a而配设。进气导管81的膜表面61a侧的面81a上设置预进气喷嘴83。预进气喷嘴83随着接近膜表面61a从X方向上游侧沿向X方向下游侧。在预进气喷嘴83的前端设置朝向带表面62a开口的预进气口83a。如图5所示，预进气口83a在移动路66r的宽度方向(以下称为Y方向)上，从环状带62的一端延设至环状带62的另一端。另外，优选预进气口83a与面81a在相同平面上。

如图3及图4所示，外罩82为向X方向下游侧引导从预进气口83a送出的表层形成风80的外罩，其以远离流延膜61的状态覆盖流延膜61。外罩82形成为板状，在X方向上从进气导管81延设至膜干燥装置64(例如后述的前膜干燥装置)附近，在Y方向上从环状带62的一端延设至环状带62的另一端。外罩82在膜表面61a侧具有与膜表面61a大致平行的导向面82a。另外，优选导向面82a与面81a在相同水平面上。

从预进气口83a遍及外罩82的X方向下游侧端部，在导向面82a及面81a与带表面62a之间形成从预进气口83a送出的表层形成风80的风路86。优选从面81a至带表面62a的间隔例如为20mm以上150mm以下。Y方向上的风路86的宽度例如为Y方向上的环状带62的宽度的0.8倍以上1倍以下即可。X方向上的风路86的长度根据制造条件(环状带62的表面62a的移动速度V等)确定即可，优选例如为1000mm以上5000mm以下。

调风器84具有将表层形成风80的温度调节在预定范围内的调温机(未图示)和以预定风量将表层形成风80送至进气导管81的送风扇(未图示)。

可在表层形成装置63上设置侧遮风板85。侧遮风板85向Y方向排列且从进气导管81的X方向上游端遍及外罩82的X方向下游端延设。侧遮风板85从面81a及导向面82a朝向带表面62a延设。如图5所示，优选侧遮风板85的Y方向内侧的面85a与预进气喷嘴83的内面83b在相同平面上。

(膜干燥装置)

如图2所示，膜干燥装置64具备从X方向上游侧朝向下游侧依次设置的前膜干燥机88和后膜干燥机89。

(前膜干燥机)

前膜干燥机88沿环状带62的移动路66r中从辊66y朝向辊66b的部分配设。前膜干燥机88具有配设在带表面62a侧且送出前干燥风90的表面侧送风器91、配设在带里面62b侧且送出前干燥风90的里面侧送风器92及前干燥风调节器93(未图示)。

(表面侧送风器)

表面侧送风器91具备进气导管(未图示)和排气导管(未图示)。进气导管的进气口及排气导管的排气口与带表面62a正面相对。另外，进气导管的进气口及排气导管的排气口从流延膜61的一端延设至另一端。另外，优选进气导管的进气口与排气导管的排气口在X方向上交替排列。

(里面侧送风器)

里面侧送风器92与表面侧送风器91相同地具备进气导管(未图示)和排气导管(未图示)。进气导管的进气口及排气导管的排气口与带里面62b正面相对。另外，进气导管的进气口及排气导管的排气口从流延膜61的一端延设至另一端。优选进气导管的进气口与排气导管的排气口在X方向上交替排列。

前干燥风调节器具有将前干燥风90的温度调节在预定范围内的调温机(未图示)和以预定风量将前干燥风90送至进气导管的送风扇(未图示)。

表面侧送风器91从进气口朝向膜表面61a送出前干燥风90并从排气口吸引前干燥风90。同样，里面侧送风器92从进气口朝向带里面62b送出前干燥风90并从排气口吸引前干燥风90。

另外，表面侧送风器91可对膜表面61a沿垂直方向吹送前干燥风90。同样，里面侧送风器92可对带里面62b沿垂直方向吹送前干燥风90。

(后膜干燥机)

后膜干燥机89沿环状带62的移动路66r中从辊66b朝向辊66c的部分配设。后膜干燥机89具有配设在带表面62a侧且送出后干燥风94的平行送风器95、配设在带里面62b侧的里面侧送风器96及后干燥风调节器(未图示)。平行送风器95从X方向上游侧朝向下游侧依次设置，并具有平行排气导管95a和平行进气导管95b。

平行排气导管95a及平行进气导管95b分别配设在带表面62a侧。在平行排气导管95a设置排气后干燥风94的排气口。朝向X方向下游侧开口的排气口在Y方向上从环状带62的一端延设至另一端。在平行进气导管95b设置送出后干燥风94的进气口。朝向X方向上游侧开口的进气口从流延膜61的一端延设至另一端。

里面侧送风器96送出后干燥风94，除此之外具有与里面侧送风器92相同的结构。后干燥风调节器(未图示)具有将后干燥风94的温度调节在预定范围内的调温机(未图示)和以预定风量将后干燥风94送至里面侧送风器96的进气导管或平行进气导管95b的送风扇(未图示)。

(剥离室)

剥离室75c内设置剥离辊65。剥离辊65与辊66c之间形成剥离部。剥离辊65与马达99连接。并且，剥离室75c上开出流延套管75的出口75o。能够通过使剥离辊65的周速度大于辊66c来从环状带62剥离流延膜61。从环状带62剥离的流延膜61成为湿润膜25而从出口75o向干燥单元13(参考图1)送出。

(支撑体加热室)

支撑体加热室75d内设置向环状带62送出加热风110的支撑体加热装置111。支撑体加热装置111具有配设在带表面62a侧的表面侧加热器112、配设在带里面62b侧的里面侧加热器113及加热风调节器114。另外，也可省略表面侧加热器112与里面侧加热器113中的任一方。

(表面侧加热器)

如图6及图7所示，表面侧加热器112具有进气导管112a和排气导管(未图示)。进气导管112a的进气口112o及排气导管的排气口与带表面62a正面相对。进气口112o及排气口分别从环状带62的一端延设至另一端。即，在Y方向上，进气口112o及排气口的宽度比流延宽度CW宽。另外，优选进气口112o与排气口在X方向上交替排列。

(里面侧加热器)

里面侧加热器113具有进气导管113a和排气导管(未图示)。进气导管113a的进气口113o及排气导管的排气口113i与带里面62b正面相对。进气口113o及排气口113i分别从环状带62的一端延设至另一端。即，在Y方向上，进气口113o及排气口113i的宽度比流延宽度CW宽。另外，优选进气口113o与排气口113i在X方向上交替排列。

加热风调节器114具有将加热风110的温度调节在预定范围内的调温机(未图示)和以预定风量将加热风110送至表面侧加热器112及里面侧加热器113的进气导管112a、113a的送风扇(未图示)。

表面侧加热器112从进气口112o朝向带表面62a送出加热风110并从排气口吸引加热风110。里面侧加热器113从进气口113o朝向带里面62b送出加热风110并从排气口113i吸引加热风110。

回到图2，在辊66a上连接调节辊66a的温度的辊调温器121。在辊66b上连接调节辊66b的温度的辊调温器122。由此，辊66b通过流延膜61的加热使溶剂从流延膜61蒸发。此时，可将辊66b包含于膜干燥装置64。在辊66c上连接冷却辊66c的辊调温器123。通过辊调温器123冷却辊66c，辊66c作为通过环状带62冷却流延膜61的膜冷却构件发挥作用。

并且，虽然省略图示，但能够通过设置冷凝包含在流延套管75内的气氛中的溶剂的冷凝装置及回收冷凝的溶剂的回收装置，将在流延套管75内成为气体的溶剂液化的温度(冷凝点)保持在预定的范围内。

接着，如图8所示，在溶液制膜方法125中依次进行流延膜形成工序126和湿润膜干燥工序127。

(流延膜形成工序的概要)

由浓液24得到湿润膜25的流延膜形成工序126由图2所示的流延单元12进行。流延膜形成工序126的详细内容将进行后述。

(湿润膜干燥工序)

使溶剂从湿润膜25蒸发来作成膜21的湿润膜干燥工序127由图1所示的干燥单元13进行。

导入于夹子拉幅机35的湿润膜25以由夹子35b把持宽度方向两端部的状态传送。干燥风供给机35c在把持开始位置至把持解除位置之间，分别对湿润膜25的表面及里面吹送预定的干燥风。这样，能够使溶剂从湿润膜25蒸发。并且，由于导轨的间隔随着从把持开始位置朝向把持解除位置而递增，因此能够通过基于夹子35b的传送对湿润膜25进行拉伸处理。能够通过拉伸处理调节面内延迟Re或厚度方向延迟Rth。

导入于干燥室37的湿润膜25边卷绕在多个辊45边被传送。通过调节套管106a内的气氛的温度或湿度，溶剂从在套管106a内传送的湿润膜25蒸发。这样，湿润膜25成为膜21。

(流延膜形成工序的详细内容)

如图8所示，流延膜形成工序126中依次进行浓液流下工序131、流延工序132、膜加热工序133、表层形成工序134、膜干燥工序135、膜冷却工序136、剥离工序137及支撑体加热工序138。

如图2所示，若辊66c通过马达66m的驱动而旋转，则环状带62依次在流延套管75内的各室75a～75d循环移动。辊66a～66c的温度通过辊调温器121～123调节在预定范围内。未图示的储料罐中，浓液24的温度在预定范围内调节成大致恒定。浓液24通过未图示的泵从储料罐送至流延模60。流延模60的温度通过设置在流延模60的调温机在预定范围内调节成大致恒定。

(流延室)

在流延室75a中进行从流延模60流出的浓液24到达带表面62a上的浓液流下工序131(参考图8)、在带表面62a上形成由浓液24构成的流延膜61的流延工序132(参考图8)及加热流延膜61的膜加热工序133(参考图8)。

(浓液流下工序)

流延模60从狭缝出口朝向带表面62a连续流出浓液24。从狭缝出口流出的浓液24到达由辊66a支撑的环状带62的部分，即带表面62a上的到达位置DP。

(流延工序)

由于环状带62为移动状态，因此到达至到达位置DP的浓液24在带表面62a上向移动方向流延。这样，在带表面62a上以带状形成由浓液24构成且为流延宽度CW(参考图6)的流延膜61。

优选环状带62的移动速度V在200m/分钟以下。若移动速度V超过200m/分钟，则很难稳定地形成液珠。移动速度V的下限值考虑目标膜的生产性即可。移动速度V例如可设为20m/分钟以上，也可设为60m/分钟以上。

优选从流延模60流出的浓液24中的溶剂含量为300质量％以上450质量％以下。这是因为若从流延模60流出的浓液24中的溶剂含量不到300质量％，则浓液24的粘度变高，无法进行稳定的流延。若从流延模60流出的浓液24中的溶剂含量超过450质量％，则膜干燥室75b中的干燥负荷变大，结果导致生产效率下降，因此不优选。

在此，溶剂含量以干量基准表示浓液、流延膜或各膜中所含的溶剂量，从对象膜采取样品且将该样品的质量设为x，将干燥样品之后的质量设为y时，表示为{(x-y)/y}×100。

优选从流延模60流出的浓液24的温度为20℃以上且溶剂的沸点以下。这是因为当从流延模60流出的浓液24的温度不到20℃时，浓液24的粘度变高而无法进行稳定的流延。并且，当从流延模60流出的浓液24的温度超过溶剂的沸点时，发生浓液24的起泡，因此不优选。另外，表示多个化合物的沸点中最低的沸点。

(膜加热工序)

由于第2密封部件72及辊66y从到达部朝向X方向下游侧远离预定距离，因此从到达部朝向X方向下游侧形成预定长度的流延区域(流延部)CZ。流延区域CZ中，作为膜加热构件利用通过后述的支撑体加热工序138加热的环状带62进行加热流延膜61的膜加热工序133。

在此，形成之后的流延膜，即流延工序132之后的流延膜61的膜表面61a并不光滑(参考图9)。因此，在流延工序132之后的流延膜61上产生厚度不均。可认为该厚度不均起因于液珠的振动。并且，构成流延工序132之后的流延膜61的浓液24包含大量溶剂，易显示流动性。因此，本发明中，利用被加热的环状带62进行加热流延工序132之后的流延膜61的膜加热工序133。通过加热进行流延工序132之后的流延膜61，构成形成之后的流延膜61的浓液24的流动性变大，结果形成之后的流延膜61的膜表面61a变得光滑(参考图10)。

X方向上的流延区域CZ的长度未特别限定，只要能够确保形成之后的流延膜61的膜表面61a变得光滑为止所需的时间即可。优选膜加热工序133对溶剂含量在300质量％以上450质量％以下的流延膜61进行。

辊66a的温度通过辊调温器121成为剥离位置PP上的带表面62a的温度以上且溶剂的沸点以下的范围内。

(膜干燥室)

膜干燥室75b中，进行对膜表面61a吹送表层形成风80的表层形成工序134(参考图8)和使溶剂从流延膜61蒸发的膜干燥工序135(参考图8)，直至在流延膜61的膜表面61a侧形成表层61x(参考图11)。

(表层形成工序)

如图4所示，表层形成装置63从进气喷嘴83的吸气口83a送出表层形成风80。从吸气口83a送出的表层形成风80的方向(预进气喷嘴83的延设方向)与X方向所成的各角度θ1优选为30°以上60°以下，更优选为45°。从吸气口83a送出的表层形成风80通过外罩82从X方向上游侧引导至下游侧。通过靠近流延膜61的外罩82容易在流延膜61的膜表面61a附近产生表层形成风80的涡状流动。生成涡状流动的部位中，由于表层形成风80的热能容易传递至流延膜61，因此在流延膜61的膜表面61a因表层形成风80的涡状流动而促进溶剂的蒸发。

通过表层形成工序134，流延膜61成为具有表层61x和湿润层61y的膜(参考图11)。表层61x生成于流延膜61的膜表面61a侧，为与位于比表层61x更靠环状带62侧的湿润层61y相比进一步干燥的部分。因此，表层61x的溶剂含量与湿润层61y相比较低。

并且，表层61x的表面光滑地形成。对成为具有表层61x的膜的流延膜61进行膜干燥工序135时，表层61x的表面成为所得到的流延膜61的膜表面61a。因此，能够通过对经过膜加热工序133的流延膜61进行表层形成工序134来得到膜表面61a光滑的流延膜61。

优选表层形成工序134对溶剂含量为250质量％以上400质量％以下的流延膜61进行。优选表层形成风80的温度例如为30℃以上80℃以下。并且，优选表层形成风80的风速为5m/秒以上25m/秒以下。

(膜干燥工序)

膜干燥工序135中依次进行前膜干燥工序135a和后膜干燥工序135b。

(前膜干燥工序)

前膜干燥机88进行使溶剂从流延膜61蒸发的前膜干燥工序135a。表面侧送风器91对膜表面61a吹送前干燥风90，使溶剂从流延膜61蒸发。并且，里面侧送风器92对带里面62b吹送前干燥风90，并通过环状带62加热流延膜61。通过流延膜61的加热使溶剂从流延膜61蒸发。

(后膜干燥工序)

后膜干燥机89进行使溶剂从流延膜61蒸发的后膜干燥工序135b。平行送风器95对流延膜61的膜表面61a吹送后干燥风94，使溶剂从流延膜61蒸发。并且，里面侧送风器96对带里面62b吹送后干燥风94，通过环状带62加热流延膜61。并通过流延膜61的加热使溶剂从流延膜61蒸发。优选后膜干燥工序135b进行至流延膜61的溶剂含量成为110质量％以上210质量％以下。

可利用辊66b的热进行后膜干燥工序135b。优选辊调温器122以辊66b的温度成为20℃以上40℃以下的范围内的方式进行调节。

能够通过进行各工序131～135(参考图8)来得到膜表面61a光滑的流延膜61(参考图12)。

(剥离室)

在剥离室75c中进行冷却环状带62的膜冷却工序136和从环状带62剥离流延膜61的剥离工序137。

(膜冷却工序)

辊66c的温度通过辊调温器123成为0℃以上17℃以下的范围内。另外，优选辊66c的温度在0℃以上15℃以下的范围内。通过膜干燥工序135成为高温状态的环状带62通过与辊66c接触而被冷却。并且，通过被冷却的环状带62冷却流延膜61。膜冷却工序136进行至成为可独立传送的状态。

(剥离工序)

剥离室75c中，利用剥离辊65进行从环状带62剥离已成为可剥离状态的流延膜61的剥离工序137(参考图8)。在环状带62中由辊66c支撑的部分(剥离位置PP)，从环状带62剥离成为可剥离状态的流延膜61。从环状带62剥离的流延膜61作为湿润膜25从出口75o送出。为了抑制取向角的偏差，优选对溶剂含量为200质量％以下的流延膜61进行剥离工序137。从生产效率的观点来看，优选对溶剂含量为100质量％以上的流延膜61进行剥离工序137。

(支撑体加热工序)

剥离流延膜61之后的环状带62经过支撑体加热室75d返回到流延室75a。若对通过膜冷却工序136变凉的环状带62连续进行浓液流下工序131、流延工序132及表层形成工序134，则直接以膜表面61a不光滑的状态(参考图9)进行干燥。其结果，导致流延膜61上产生厚度不均。由于流延膜61上产生的厚度不均无法在之后的工序中除去，因此最终导致成为膜21的厚度不均。

因此，本发明中，为了在第(n+1)次流延工序132与第(n+1)次表层形成工序134之间进行膜加热工序133，在第n次剥离工序137与第(n+1)次浓液流下工序131之间进行加热环状带62的支撑体加热工序138。

支撑体加热室75d中，通过支撑体加热装置111进行加热环状带62的支撑体加热工序138。如图6所示，表面侧加热器112对带表面62a吹送加热风110，加热环状带62直至带表面62a的温度成为预定范围。同样，里面侧加热器113对带里面62b吹送加热风110，加热环状带62直至带里面62b的温度成为预定范围。

优选支撑体加热工序138中加热带表面62a，以便流延区域CZ中的带表面62a的温度成为范围T1。在此，范围T1为8℃以上且溶剂的沸点以下，范围T1的下限值优选为10℃，更优选为15℃。范围T1的上限值优选为(溶剂的沸点-5℃)。另外，优选作为支撑体加热装置发挥作用的组件(辊66a、66x等)的温度也为范围T1。

本发明中，利用在支撑体加热工序138中赋予给环状带62的热，进行对通过下一个流延工序132形成于环状带62上的流延膜61赋予热的膜加热工序133。因此，根据本发明，能够抑制厚度不均并高效制造膜。

另外，上述膜加热工序133在从剥离位置PP至到达位置DP之间进行即可。

接着，对本发明的其他实施方式进行说明。对于与上述实施方式相同的组件或部件附加相同的符号，省略其详细的说明，对与上述实施方式不同的部分进行详细说明。

作为支撑体加热构件利用对带表面62a及带里面62b的至少一方吹送加热风110的支撑体加热装置111，但本发明不限于此，也可利用具备与带表面62a及带里面62b的至少一方接触的加热辊的支撑体加热装置141。如图13所示，支撑体加热装置141具备与带表面62a接触的表面加热辊142、与带里面62b接触的里面加热辊143及调节表面加热辊142及里面加热辊143的温度的辊温度调节器144。支撑体加热装置141加热带表面62a，以便通过流延区域CZ(参考图2)时的温度通过辊温度调节器144成为范围T1。

如图2所示，辊调温器123可冷却配设在比后膜干燥机89更靠X方向下游侧的辊66z。通过辊调温器123冷却的辊66z成为膜冷却构件。因此，只要是在膜干燥工序135之后，则膜冷却工序136可在膜干燥室75b中进行。

上述实施方式中，将通过辊调温器123冷却的辊66c用作膜冷却构件，但本发明不限于此。如图14所示，也可将冷却到达剥离位置PP之前的环状带62的冷却单元148用作膜冷却构件。在膜干燥室75b中配设在后膜干燥机89与冷却辊66c之间的冷却单元148具有对带里面62b供给液体的供液装置149和对带里面62b吹送干燥风150来蒸发液体的蒸发装置151。基于供液装置149的液体供给方法可为涂布、喷雾、喷射滴状物的方法等的任意一种。供液装置149与蒸发装置151沿环状带62的移动路66r，在带里面62b侧从X方向上游侧朝向下游侧依次配设。供液装置149对带里面62b供给液体。若蒸发装置151对带里面62b吹送干燥风150，则带里面62b上的液体蒸发。若带里面62b上的液体蒸发，则带里面62b的温度通过液体的气化热下降。这样，能够利用冷却单元148冷却环状带62。

液体只要是在环状带62到达剥离位置PP之前蒸发的液体即可，例如能够利用二氯甲烷等。

作为膜冷却构件利用辊66c、66z、冷却单元148中的至少一个即可，可组合辊66c、66z、冷却单元148中的2个，也可均利用3个。

为了在流延区域CZ中水平维持带表面62a，优选将辊66a与辊66x配设在相同水平面内。并且，如图15所示，可在辊66a与辊66y之间设置配设在与辊66a相同的水平面上并支撑带里面62b的支承辊66d。

并且，如图16所示，可在辊66a与辊66x之间设置配设在与辊66a相同的水平面上并支撑带里面62b的支承辊66e。可通过辊调温器121调节支承辊66e的温度成为范围T1。由此，支承辊66e作为支撑体加热构件发挥作用。

另外，可通过辊调温器121调节辊66a的温度成为范围T1。由此，辊66a作为支撑体加热构件发挥作用。

上述实施方式中，将辊66a配设在比辊66x～66y更靠上方，但本发明不限于此。例如，如图17所示，可将辊66a与辊66b设置在同一平面(例如水平面)上，并将配设在辊66a与辊66b之间的辊66c设置在比该平面更靠下方。另外，可将辊66z设置在辊66a与辊66b之间。

并且，图2所示的辊66c具有支撑剥离位置PP上的环状带62的功能和基于第3～第4密封部件73～74的密封功能，但是可分离这些功能。例如，图17的辊66c、66f、66g相当于图2所示的辊66c。并且，图17的辊66c具有支撑剥离位置PP上的环状带62的功能。图17的支承辊66f与第3密封部件73协同发挥密封功能。图17的支承辊66g与第4密封部件74协同发挥密封功能。辊调温器123冷却辊66c。辊调温器123可冷却辊66f。

并且，可通过辊调温器123加热辊66g。由此，辊66g作为支撑体加热构件发挥作用。

另外，图17所示的辊66a相当于图2所示的辊66a、66x、66y成为一体的辊。

并且，如图18所示，可将辊66a与辊66c设置在同一平面(例如水平面)上，并在辊66a与辊66c之间设置辊66b。支撑带里面62b的辊66b配设成从辊66a朝向辊66c移动的环状带62成为大致水平。另外，辊66b可设置在比辊66a及辊66c更靠上方。图18所示的辊66a相当于图2所示的辊66a、66x、66y成为一体的辊。

上述实施方式中，在支撑体加热工序138中，在Y方向整个区域对环状带62进行加热，但也可以仅加热环状带62中的流延宽度CW的流延区CA(参考图6)的部分(参考图19)。由此，环状带62中除了流延区CA(参考图6)以外的非流延区不会加热至需要以上，因此在膜干燥工序135中，能够可靠地抑制流延膜61在Y方向两边部上的起泡。另外，可将流延区CA中的Y方向中央部设为加热部分，将流延区CA中的Y方向两端部设为非加热部分。此时，Y方向上的非加热部分的宽度例如为10mm。

另外，可在剥离工序137与支撑体加热工序138之间进行清洗带表面62a的支撑体表面清洗工序。能够通过支撑体表面清洗工序可靠地抑制剥离故障。并且，能够通过支撑体表面清洗工序去除残留在带表面62a的异物(例如剥离残留的流延膜的一部分)。该异物成为液珠振动的原因。因此，能够通过支撑体表面清洗工序防止液珠的振动。为了清洗带表面62a，例如优选使用对带表面62a喷射干冰的干冰清洗机。

并且，可在支撑体加热工序138与下一个浓液流下工序131之间进行降低带表面62a相对浓液24的接触角的接触角降低工序。通过接触角降低工序，携带风很难流入液珠与带表面62a之间。因此，能够通过接触角降低工序防止因携带风的流入引起的流延膜的厚度不均。其中，携带风是指由于环状带62的移动而在带表面62a附近发生且朝向X方向流动的风。为了降低带表面62a相对浓液24的接触角，优选在带表面62a涂布溶剂。在接触角降低工序中使用的溶剂可为与溶剂23相同的成分，也可为包含与溶剂23共同的成分的溶剂。

上述实施方式中，将进行支撑体加热工序138的时刻设为剥离工序137与浓液流下工序131之间，但也可为流延工序132与膜加热工序133之间。将在流延工序132与膜加热工序133之间进行支撑体加热工序138的流延膜形成工序161和具有流延膜形成工序161的溶液制膜方法162示于图20。

将进行流延膜形成工序161的流延单元165示于图21。流延单元165中，在流延区域CZ的带里面62b侧具有作为支撑体加热构件的支撑体加热装置168。支撑体加热装置168具有里面侧加热器113和加热风调节器114。支撑体加热装置168为了从带里面62b侧加热环状带62，从环状带62侧进行流延膜61的加热。因此，通过支撑体加热装置168，能够抑制在流延膜61形成表层且进行流延膜61的加热。在流延区域CZ进行支撑体加热工序时，需要从带里面62b侧加热环状带62。这是因为，若从带表面62a侧加热环状带62，则导致在膜加热工序133之前进行表层形成工序134。另外，可通过由辊调温器121将辊66y的温度设在范围T1，使辊66y作为支撑体加热构件发挥作用。

另外，为了防止在膜加热工序133中从流延膜61蒸发溶剂，优选膜加热工序133中的流延膜61附近的气氛的溶剂的气体浓度高于表层形成工序134中的流延膜61附近的气氛的溶剂的气体浓度。其中，“温度Ta的气氛下的溶剂的气体浓度”表示为“(温度Ta的气氛中所含的气体状溶剂的质量)/(温度Ta的气氛下成为饱和状态的气体状溶剂的质量)”。

在流延膜形成工序161中，进行支撑体表面清洗工序或接触角降低工序的时刻只要为剥离工序137与下一个浓液流下工序131之间即可。进行两个工序时，优选以支撑体表面清洗工序、接触角降低工序的顺序进行。

并且，可在支撑体加热工序138与下一个浓液流下工序131之间进行降低带表面62a相对浓液24的接触角的接触角降低工序。通过接触角降低工序，携带风很难流入液珠与带表面62a之间。因此，能够通过接触角降低工序防止因携带风的流入引起的流延膜的厚度不均。其中，携带风是指由于环状带62的移动而在带表面62a附近发生且朝向X方向流动的风。为了降低带表面62a相对浓液24的接触角，优选在带表面62a涂布溶剂。在接触角降低工序中使用的溶剂可为与溶剂23相同的成分，也可为包含与溶剂23共同的成分的溶剂。

依次反复进行各工序的流延膜形成工序中，在基于膜冷却工序136的冷却之后紧接着对环状带62进行基于支撑体加热工序138的加热。冷却之后紧接着进行加热的环状带62容易发生翘曲。尤其卷绕在各辊上的环状带62中Y方向上的翘曲成问题。即，若直接对翘曲的环状带62进行浓液流下工序131，则从浓液24流下的狭缝出口至带表面62a的间隔在Y方向上发生偏差，因此导致Y方向的液珠长度L_B也发生偏差。浓液流下工序131中的Y方向的液珠长度L_B的偏差在流延工序132中形成的流延膜61上呈现为Y方向上的厚度不均。

因此，为了防止因环状带62的翘曲引起的厚度不均，优选在浓液流下工序131中进行支撑体挟持工序。

如图22及图23所示，进行支撑体挟持工序的支撑体挟持装置201具备辊66a和压料辊202。压料辊202以通过移动路66r与辊66a相对的方式配设于流延室75a(参考图2)。压料辊202与环状带62的绕接(wrap)区域LA接触。环状带62的绕接区域LA是指，带表面62a上，朝向辊66a移动的环状带62开始与辊66a接触的位置TP1至与辊66a接触的环状带62离开辊66a的位置TP2的部分。优选压料辊202通过施力部件向环状带62侧施力。从流延模60流下的浓液24到达的到达位置DP设定在绕接区域LA内。并且，压料辊202配设在移动路66r(参考图2)的Y方向两端侧，以便与在带表面62a上设置在到达位置DP的Y方向两外侧的抑制位置NP接触。

另外，抑制位置NP在X方向上设定在与到达位置DP重叠的位置或比到达位置DP更靠上游侧。X方向上的到达位置DP与抑制位置NP的间隔例如为0mm以上300mm以下。

这样，支撑体挟持装置201利用在Y方向整个区域支撑带里面62b的辊66a和支撑到达位置DP的Y方向两外侧的带表面62a的压料辊202，进行挟持环状带62的Y方向两端部的支撑体挟持工序。

根据支撑体挟持装置201，即使向Y方向翘曲的环状带62引导至流延模60与辊66a之间，也通过压料辊202和辊66a挟持环状带62的Y方向两端部。结果，至少在到达位置DP上矫正环状带62的翘曲。因此，根据支撑体挟持装置201能够防止因环状带62的翘曲引起的厚度不均。

另外，在流延膜形成工序126(参考图8)中，到达位置DP向X方向变动时，根据到达位置DP变动的范围设置压料辊202即可。

为了防止因环状带62的翘曲引起的厚度不均，在支撑体加热工序138(参考图8)中可仅加热Y方向中央部。由此，环状带62的Y方向两端部中，由于基于加热的膨胀或基于冷却的收缩的规模变小，因此能够抑制翘曲的发生。

如图24及图25所示，设置在表面侧加热器112与环状带62之间的遮风块210成对配设，以便堵住进气口112o的Y方向两侧。Y方向上的进气口112o的开口宽度由于遮风块210小于Y方向上的环状带62的宽度。同样，设置在里面侧加热器113与环状带62之间的遮风块211成对配设，以便堵住进气口113o的Y方向两侧。Y方向上的进气口113o的开口宽度由于遮风块211小于Y方向上的环状带62的宽度。

在Y方向上成对配设的遮风块210的间隔可大于流延宽度CW，也可等于流延宽度CW。同样，在Y方向上，成对的遮风块211的间隔可大于流延宽度CW，也可等于流延宽度CW。

另外，如图24所示，可将遮风块210、211设置在前膜干燥机88的表面侧送风器91或里面侧送风器92。并且，也可设置成堵住后膜干燥机89的平行送风器95或里面侧送风器96的各进气口的Y方向两侧。

通过本发明得到的膜21尤其可用于相位差膜或偏光板保护膜。

膜21的宽度优选为600mm以上3000mm以下，更优选为2000mm以上3000mm以下。并且，当膜21的宽度超过3000mm时，也能够应用本发明。膜21的膜厚优选为30μm以上120μm以下。

并且，膜21的面内延迟Re优选为10nm以上300nm以下，膜21的厚度方向延迟Rth优选为-100nm以上300nm以下。

面内延迟Re的测定方法为如下。面内延迟Re使用在温度25℃、湿度60％RH下对样品膜进行2小时调湿，并用自动双折射仪(KOBRA21DH王子计量设备股份有限公司)从632.8nm的垂直方向测定的延迟值。另外，Re用以下式表示。

Re＝|n1-n2|×d

n1表示慢轴的折射率，n2表示进相轴2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。

厚度方向延迟Rth的测定方法为如下。根据在温度25℃、湿度60％RH下对样品膜进行2小时的调湿并用椭圆偏振计(M150日本分光股份有限公司制)根据632.8nm从垂直方向测定的值和边使膜面倾斜边相同地测定的延迟值的外插值，按照下述式计算。

Rth＝{(n1+n2)/2-n3}×d

n3表示厚度方向的折射率。

(聚合物)

上述实施方式中成为聚合物膜的原料的聚合物22没有特别限定。进行溶液制膜方法时，作为聚合物例如有纤维素酰化物或环状聚烯烃等。另一方面，进行熔融制膜方法时，作为原料聚合物例如可举出纤维素酰化物、含内酯环聚合体、环状聚烯烃、聚碳酸酯等。其中优选纤维素酰化物、环状聚烯烃，其中优选包含醋酸基、丙酸酯基的纤维素酰化物以及通过加成聚合得到的环状聚烯烃，进一步加优选通过加成聚合得到的环状聚烯烃。

(纤维素酰化物)

作为纤维素酰化物，尤其优选三醋酸纤维素(TAC)。并且，纤维素酰化物中，更优选用羧酸酯化纤维素的羟基的比例，即酰基的取代度满足所有下述式(I)～(III)的比例。另外，在以下式(I)～(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，并且B为碳原子数3～22的酰基的取代度。另外，优选TAC的90质量％以上为0.1mm～4mm的颗粒。

(I)2.0≤A+B≤3.0

(II)0≤A≤3.0

(III)0≤B≤2.9

构成纤维素的进行β-1，4键合的葡萄糖单位具有游离至2位、3位及6位的羟基。纤维素酰化物为通过碳数2以上的酰基对这些羟基的一部分或全部进行酯化的聚合体(聚合物)。酰基取代度是指纤维素的羟基分别在2位、3位及6位被酰化的比例(100％酯化时取代度为1)。

总酰化取代度，即DS2+DS3+DS6优选为2.00～3.00，更优选为2.22～2.90，尤其优选为2.40～2.88。并且，DS6/(DS2+DS3+DS6)优选为0.28以上，更优选为0.30以上，尤其优选为0.31～0.34。其中，DS2为葡萄糖单位的2位羟基基于酰基的取代度(以下还称为“2位酰基取代度”)，DS3为3位羟基基于酰基的取代度(以下还称为“3位酰基取代度”)，DS6为6位羟基基于酰基的取代度(以下还称为“6位酰基取代度”)。

在本发明的纤维素酰化物中使用的酰基可以仅为1种，或者可使用2种以上酰基。利用2种以上的酰基时，优选其中1个为乙酰基。若将基于2位、3位及6位的羟基的取代度的总和设为DSA，将2位、3位及6位的羟基被除乙酰基以外的酰基取代的总和设为DSB，则DSA+DSB的值优选为2.22～2.90，尤其优选为2.40～2.88。并且，DSB为0.30以上，尤其优选为0.7以上。并且，DSB中其20％以上为6位羟基的取代基，但更优选25％以上为6位羟基的取代基，进一步优选30％以上，尤其优选33％以上为6位羟基的取代基。另外，还可举出纤维素酰化物的6位羟基的取代度为0.75以上、进一步优选为0.80以上，尤其优选为0.85以上的纤维素酰化物。能够通过这些纤维素酰化物制作溶解性较佳的溶液(浓液)。尤其在非氯系有机溶剂中可制作良好的溶液。并且可制作低粘度且过滤性优异的溶剂。

作为纤维素酰化物的原料的纤维素可从棉绒纤维、浆料中的任一种获得。

作为本发明的纤维素酰化物的碳数为2以上的酰基，可以是脂肪族基也可以是芳基，不特别限定。这些例如为纤维素的烷羰基酯、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酯等，可以分别具有进一步被取代的基团。作为这些优选例子，能够举出丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十三烷酰基、十四烷酰基、十六烷酰基、十八烷酰基、异丁酰基、叔丁酰基、环己烷羰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基、肉桂酰基等。这些当中，更优选丙酰基、丁酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、叔丁酰基、油酰基、苯甲酰基、萘羰基、肉桂酰基等，尤其优选丙酰基、丁酰基。

(溶剂)

作为用于制备浓液的溶剂23可以举出芳香族烃(例如，苯、甲苯等)、卤代烃(例如，二氯甲烷、氯苯等)、醇(例如，甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇、二甘醇等)、酮(例如，丙酮、甲乙酮等)、酯(例如，乙酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯等)及醚(例如，四氢呋喃及甲基溶纤剂等)等。另外，在本发明中，浓液是指将聚合物溶解或分散于溶剂中而得到的聚合物溶液或分散液。

这些当中优选使用碳原子数为1～7的卤代烃，最优选使用二氯甲烷。从TAC的溶解性、流延膜从支撑体的剥离性、膜的机械强度等及膜的光学特性等物性观点考虑，除了二氯甲烷之外优选混合1种乃至数种碳原子数为1～5的醇。醇的含量相对于整个溶剂优选为2质量％～25质量％，更优选为5质量％～20质量％。作为醇的具体例子可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇等，但优选使用甲醇、乙醇、正丁醇或它们的混合物。

但是，最近以将对环境的影响抑制到最小限度为目的，对不使用二氯甲烷时的溶剂组成也进行研究，针对该目的，优选使用碳原子数为4～12的醚、碳原子数为3～12的酮、碳原子数为3～12的酯、碳原子数为1～12的醇。有时适当地混合这些来使用。例如，可以举出乙酸甲酯、丙酮、乙醇、正丁醇的混合溶剂。这些醚、酮、酯及醇可以具有环状结构。并且，具有2个以上醚、酮、酯及醇的官能团(即，-O-、-CO-、-COO-及-OH)中的任意一种的化合物也能够用作溶剂。

另外，日本专利公开2005-104148号的[0140]段落到[0195]段落中对纤维素酰化物的详细内容进行了记载。这些记载也能够应用于本发明中。另外，同样在日本专利公开2005-104148号的[0196]段落到[0516]段落中对溶剂及增塑剂、劣化抑制剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟抑制剂、染料、去光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂也进行了详细记载。

在本发明中流延浓液时，能够进行同时共流延2种以上浓液而层叠的同时层叠共流延或者逐次共流延多种浓液而层叠的逐次层叠共流延。另外，可组合两种共流延。在进行同时层叠共流延时，可以使用安装有进料头的流延模，也可以使用多凹槽型流延模。

利用包含第1聚合物的第1浓液和包含与第1聚合物不同的第2聚合物的第2浓液进行同时层叠共流延或逐次层叠共流延，由此能够形成由流延膜的支撑体侧的层(支撑体面层)、流延膜的表面侧的层(空气面层)及支撑体面层与空气面层之间的层(基层)构成的层叠流延膜。基层由第1浓液构成，空气面层及支撑体面层由第2浓液构成。

当第1聚合物及第2聚合物为纤维素酰化物时，优选第1聚合物中的酰基的总酰基取代度Z1低于第2聚合物中的酰基的总酰基取代度Z2。尤其是，第1聚合物的酰基的总酰基取代度Z1满足式(1)，第2聚合物中的酰基的总酰基取代度Z2满足式(2)。

式(1)2.0＜Z1＜2.7

式(2)2.7＜Z2

从延迟的波长分散性的观点来看，优选第1聚合物中使用的纤维素酰化物的乙酰基的取代度X1及碳数为3以上的酰基的取代度的合计Y1满足下述式(3)及(4)。另外，X1及Y1在与所述式(1)的所述Z1之间成立X1+Y1＝Z1的关系。

式(3)1.0＜X1＜2.7

式(4)0≤Y1＜1.5

从延迟的波长分散性的观点来看，优选第2聚合物中使用的纤维素酰化物的乙酰基的取代度X2及碳数为3以上的酰基的取代度的合计Y2满足下述式(5)及(6)。另外，X2及Y2在与所述式(2)的Z2之间成立X2+Y2＝Z2的关系。

式(5)1.2＜X2＜3.0

式(6)0≤Y2＜1.5

第2浓液的粘度低于第1浓液。各浓液的粘度能够根据JIS K 7117求出。

第2聚合物为纤维素酰化物，第1聚合物可为纤维素酰化物之外的聚合物。作为第1聚合物优选使用丙烯树脂。

(丙烯树脂)

丙烯树脂中还包含甲基丙烯酸甲酯类树脂，公知有丙烯酸盐/甲基丙烯酸盐的衍生物，尤其是丙烯酸酯/丙烯酸甲酯的(共)聚物。作为丙烯树脂不特别限制，但为了得到光弹性系数较小的膜，优选由甲基丙烯酸甲酯单位50～99质量％及可与此共聚的其他单体单位1～50质量％构成的物质。

在丙烯树脂中，作为所述可共聚的其他单体，可举出烷基的碳数为2～18的甲基丙烯酸烷基酯、烷基数的碳数为1～18的丙烯酸烷基酯、丙烯酸、甲基丙烯酸等的α，β-不饱和酸、马来酸、富马酸、衣康酸等的含不饱合基二价羧酸、苯乙烯、α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯化合物、丙烯腈、甲基丙烯腈等的α，β-不饱和腈、马来酸酐、马来酰亚胺、N-取代马来酰亚胺、戊二酸酐等，这些能够单独使用或同时使用2种以上单体用作共聚成分。

其中，从共聚物的耐热分解性或流动性的观点来看，优选丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、2-乙基己基丙烯酸等，尤其优选使用丙烯酸甲酯或丙烯酸正丁酯。

作为能够形成即使在高温、高湿环境下性能变化也较少的高透明性光学膜的树脂，丙烯树脂优选为含有脂环式烷基作为共聚成分的丙烯树脂或者通过分子内环化在分子主链形成环状结构的丙烯树脂。作为在分子主链形成环状结构的丙烯树脂的例子，可举出包括含有内酯环的聚合体的丙烯类热塑性树脂作为其中一个优选方式，优选的树脂组成或合成方法记载于日本专利公开2006-171464号公报中。并且，可举出含有戊二酸酐作为共聚成分的树脂作为其他优选方式，关于共聚成分或具体的合成方法记载于日本专利公开2004-070296号公报中。

丙烯树脂的重量平均分子量为60万～400万，优选为80万～300万，尤其优选为100万～180万。丙烯树脂的重量平均分子量能够通过凝胶渗透色谱法测定。

作为丙烯树脂的制造方法无特别限制，能够利用悬浮聚合、乳液聚合、本体聚合或溶液聚合等公知的方法。本发明中，还能够同时使用多个丙烯树脂。

丙烯树脂还能够包含其他热塑性树脂。本发明中作为热塑性树脂，在与所述丙烯树脂混合成膜状时提高耐热性或机械强度这一观点来看，优选具有玻璃化转变温度为100℃以上、总透光率为85％以上的性能的树脂。

所述丙烯树脂层中的丙烯树脂与其他热塑性树脂成分的含有比例为[丙烯树脂/(所有热塑性树脂)]×100的质量比例，优选30～99质量％，更优选50～97质量％，进一步优选60～95质量％。所述丙烯树脂层中的丙烯树脂的含有比例若在30质量％以上，则能够充分发挥耐热性，因此优选。

作为所述其他热塑性树脂，例如可举出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物、聚(4-甲基-1-戊烯)等烯烃类聚合物；氯乙烯、氯化乙烯树脂等卤素类聚合物；聚苯乙烯、苯乙烯-甲基丙烯酸共聚物、苯乙烯-丙烯腈甲酯共聚物、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物等苯乙烯类聚合物；聚对苯二甲酸乙二酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；尼龙6、尼龙66、尼龙610等聚酰胺；聚甲醛；聚碳酸酯；聚苯醚；聚苯硫醚；聚醚醚酮；聚砜；聚醚砜；聚苯酯；聚酰胺酰亚胺；配合聚丁二烯类橡胶、丙烯类橡胶的ABS树脂或ASA树脂等橡胶质聚合体等。优选橡胶质聚合体为在表面具有能够与本发明中的环聚合物相溶的组成的接枝部的聚合物，并且，从提高作成膜状时的透明性的观点来看，橡胶质聚合体的平均粒径优选在100nm以下，更优选在70nm以下。

作为所述其他热塑性树脂优选使用与丙烯树脂热力学性相溶的树脂。作为这种其他热塑性树脂，可优选地举出具有乙烯氰类单体单位和芳香族乙烯类单体单位的丙烯腈-苯乙烯类共聚物或聚氯乙烯树脂等。这些当中，丙烯腈-苯乙烯类共聚物在玻璃化转变温度为120℃以上、面方向的每100μm的相位差为20nm以下的条件下，可轻松得到总透光率为85％以上的光学膜，因此优选。作为丙烯腈-苯乙烯类共聚物，具体而言有效使用其共聚比以摩尔单位计在1∶10～10∶1的范围内的物质。

当第1聚合物为丙烯树脂时，若利用第1浓液和第2浓液进行同时层叠共流延或逐次层叠共流延，则层叠流延膜上经常发生厚度不均。该厚度不均因由第1浓液构成的基层与由第2浓液构成的层(支撑体面层和空气面层)的界面的不稳定化引起。界面的不稳定化是指，构成基层的第1浓液的一部分进入相邻的支撑体面层或空气面层的现象。为了避免该界面的不稳定化，优选利用由第1浓液、第2浓液及在第1浓液及第2浓液之间流动的缓冲液构成的合流浓液进行同时层叠共流延或逐次层叠共流延。

缓冲液的粘度低于第1浓液及第2浓液。并且，缓冲液优选由与各浓液中所含的溶剂具有相溶性的液体构成。缓冲液的粘度优选在1Pa·秒以上15Pa·秒以下，更优选1Pa·秒以上10Pa·秒以下。另外，缓冲液的粘度能够根据JIS K7117求出。

缓冲液优选与各浓液中所含的溶剂相同的物质。缓冲液中可包含聚合物。作为缓冲液中所含的聚合物，例如可以举出第1聚合物或第2聚合物，优选包含这些中的任意一个聚合物。优选缓冲液中的聚合物的含有浓度不到5质量％。

使用将丙烯树脂作为第1聚合物，由此能够抑制厚度不均且高效制造光学特性不容易因应力的产生或湿度变化而变化的光学膜。

[实施例]

(实验1～8)

根据以下方法进行实验1～8。关于各实验的详细内容，对实验1进行详细说明，关于实验2～8省略与实验1相同部分的说明并说明不同的部分。

(实验1)

以下示出用于制备浓液24的化合物的配方。

将按如下组成比构成的固体含量，即

三醋酸纤维素(取代度2.86)            100质量份、

磷酸三苯酯(TPP)                     10质量份、

去光剂(AEROSIL R972)                0.03质量份

适当添加于由如下构成的混合溶剂，并搅拌溶解而制备浓液24，即，

二氯甲烷                80质量份、

甲醇                    13.5质量份、

正丁醇                  6.5质量份。

用滤纸(东洋滤纸股份有限公司制，#63LB)过滤浓液24后，再用烧结金属过滤器(日本精线股份有限公司制06N，公称孔径10μm)过滤，进一步用网式过滤器过滤后，放入储料罐中。

[三醋酸纤维素]

另外，在此使用的三醋酸纤维素(TAC)是醋酸残存量在0.1质量％以下、Ca含有率为58ppm、Mg含有率为42ppm、Fe含有率为0.5ppm、含有40ppm游离醋酸以及15ppm硫酸离子的纤维素。并且，乙酰基相对于6位羟基的氢的取代度为0.91。并且，总乙酰基中的32.5％为6位羟基的氢被取代的乙酰基。并且，以丙酮提取该TAC的丙酮提取量为8质量％，其质量平均分子量/数均分子量比为2.5。并且，所得到的TAC的黄度指数为1.7，雾度为0.08，透明度为93.5％。该TAC是以从棉采取的纤维素为原料合成的。

利用所得到的浓液24在图1所示的溶液制膜设备10中制造膜21(宽度为1950mm)。流延单元12利用图2所示的部件。流延单元12中反复进行图8所示的依次进行浓液流下工序131、流延工序132、膜加热工序133、表层形成工序134、膜干燥工序135、膜冷却工序136、剥离工序137及支撑体加热工序138的流延膜形成工序126。环状带的移动速度V为100m/分钟。在第n次流延膜形成工序126中的剥离工序137中，剥离位置PP上的带表面62a的温度为T_PP(参考表1)。并且，此时流延膜中溶剂含量为ZY_PP(参考表1)。测定了第(n+1)次流延膜形成工序126中的到达位置DP上的带表面62a的温度，Y方向中央部的温度为T_DPc(参考表1)，Y方向两端部的温度为T_DPe(参考表1)。另外，Y方向两端部为从环状带62的Y方向两端向内侧距离10mm的部分。

[表1]

(实验2～8)

将膜冷却工序136的有无、膜加热工序133的有无、支撑体加热工序138的有无、剥离位置PP上的带表面62a的温度TPP、剥离位置PP上的流延膜中的溶剂含量ZYPP、到达位置DP上的带表面62a的温度TDPc、TDPe设为表1所示的内容，除此之外与实验1相同地由浓液24制作膜21。

(评价)

在实验1～8的溶液制膜方法中通过以下观点进行评价。表1中的评价结果的序号表示附加于各评价项目的序号。

1.剥离评价

调查有无剥离故障。

A：在剥离工序中，未发生剥离故障。

B：在剥离工序中，发生了剥离故障。

本评价中，A为合格，B为不合格。

2.厚度不均评价

按如下顺序评价有无膜21的厚度不均。对膜21进行了厚度不均测定。该厚度不均测定顺序为如下。第1，从膜21切出大致6cm正方形样品膜。第2，利用能够将样品膜的折射率差换算成厚度差的装置测定样品膜的折射率差。作为该装置利用了FX-03 FRINGEANALYZER(富士能股份有限公司制)。第3，遍及样品膜的整个区域测定该折射率差，将该平均值作为层叠膜的厚度不均。按以下基准对这样得到的厚度不均进行评价。另外，层叠膜的厚度为以微米测量的样品膜的6处厚度的平均值。

A：厚度不均相对于膜的厚度不到1.5％。

B：厚度不均相对于膜的厚度在1.5％以上且不到1.8％。

C：厚度不均相对于膜的厚度在1.8％以上。

本评价中，A、B为合格，C为不合格。

另外，实验8中，在所述剥离评价中发生了剥离故障，膜的厚度不均较大是显而易见的，因此未实施本评价。因此，表1中的实验8的评价结果的“2”栏中记载为“-”。

3.起泡评价

目视观察所得到的流延膜并调查有无起泡。

A：未确认边部的起泡。

B：虽然在边部确认到起泡，但仅限于通过分切机36切除的部分，因此作为产品用膜没有问题。

C：到成为产品用膜的部分为止确认到起泡。

本评价中，A、B为合格，C为不合格。

通过以下方法进行实验21～22、51～52。

(实验21)

在上述实验2中，除了设置压料辊202(参考图22)之外，与实验2相同由浓液24制作膜21。另外，X方向上的抑制位置NP和到达位置DP的间隔ΔX为0mm。

(实验22)

在上述实验2中，除了设置压料辊202(参考图22)之外，与实验2相同由浓液24制作膜21。间隔ΔX为200mm。

(实验51)

在上述实验5中，除了设置压料辊202(参考图22)之外，与实验2相同由浓液24制作膜21。间隔ΔX为0mm。

(实验52)

在上述实验5中，除了设置压料辊202(参考图22)之外，与实验2相同由浓液24制作膜21。间隔ΔX为200mm。

在实验21～22、51～52中，测定了带的浮起量J。并且，在以下基准下判定浮起量J。

A：浮起量J不到50μm。

B：浮起量J为50μm以上不到100μm。

C：浮起量J为100μm以上不到200μm。

D：浮起量J为200μm以上。

另外，如下测定带的浮起量J。首先对卷绕在辊66a～66c上的带62外加移动张力(60N/mm2)来使其在移动路66r循环移动。接着，在绕接区域LA中，测定辊66a及带里面62b的间隔ΔCL。并且，将X方向及Y方向上的间隔ΔCL的最大值设为带的浮起量J。

[表2]

表2中，与实验21～22、51～52一同示出关于实验2、5的浮起量J的评价结果。

Claims (8)

1.一种流延膜的形成方法，其为在移动支撑体形成流延膜的方法，所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动，其特征在于，所述流延膜的形成方法具备如下步骤：

(A)使浓液向所述移动支撑体的表面流下，所述浓液包含聚合物及溶剂；

(B)从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂，所述流延膜由所流下的所述浓液构成；

(C)将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态，所述冷却在所述B步骤之后进行；

(D)从所述移动支撑体剥离所述C步骤之后的所述流延膜；

(E)在下一个所述B步骤之前加热所述D步骤之后的所述移动支撑体；

(F)利用在所述E步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述B步骤之前的所述流延膜；及

(G)利用表面两端部支撑部件和里面支撑部件挟持所述移动支撑体，所述挟持在所述A步骤中进行，所述表面两端部支撑部件支撑比所述到达位置更靠宽度方向两外侧的所述移动支撑体的表面，所述里面支撑部件支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端。

2.如权利要求1所述的流延膜的形成方法，其特征在于，

所述表面两端部支撑部件为压料辊，所述里面支撑部件为支撑辊。

3.一种流延膜的形成方法，其为在移动支撑体形成流延膜的方法，所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动，其特征在于，所述流延膜的形成方法具备如下步骤：

(H)使浓液向所述移动支撑体流下，所述浓液包含聚合物及溶剂；

(I)从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂，所述流延膜由所流下的所述浓液构成；

(J)将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态，所述冷却在所述I步骤之后进行；

(K)从所述移动支撑体剥离所述J步骤之后的所述流延膜；

(L)在下一个所述I步骤之前加热所述K步骤之后的所述移动支撑体的宽度方向中央部；及

(M)利用在所述L步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述膜干燥步骤之前的所述流延膜。

4.一种溶液制膜方法，其为通过在移动支撑体形成流延膜并进行干燥来制造膜的方法，所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动，其特征在于，所述溶液制膜方法具备如下步骤：

(A)使浓液向所述移动支撑体的表面流下，所述浓液包含聚合物及溶剂；

(B)从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂，所述流延膜由所流下的所述浓液构成；

(C)将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态，所述冷却在所述B步骤之后进行；

(D)从所述移动支撑体剥离所述C步骤之后的所述流延膜；

(E)在下一个所述B步骤之前加热所述D步骤之后的所述移动支撑体；

(F)利用在所述E步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述B步骤之前的所述流延膜；

(G)利用表面两端部支撑部件和里面支撑部件挟持所述移动支撑体，所述挟持在所述A步骤中进行，所述表面两端部支撑部件支撑比所述到达位置更靠宽度方向两外侧的所述移动支撑体的表面，所述里面支撑部件支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端；及

(N)从由所述移动支撑体剥离的所述流延膜中蒸发所述溶剂而得到膜。

5.一种溶液制膜方法，其为通过在移动支撑体形成流延膜并进行干燥来制造膜的方法，所述移动支撑体以反复通过所流下的浓液到达的到达位置和剥离所述流延膜的剥离位置的方式移动，其特征在于，所述溶液制膜方法具备如下步骤：

(H)使浓液向所述移动支撑体流下，所述浓液包含聚合物及溶剂；

(I)从形成在所述移动支撑体的表面上的所述流延膜蒸发所述溶剂，所述流延膜由所流下的所述浓液构成；

(J)将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态，所述冷却在所述I步骤之后进行；

(K)从所述移动支撑体剥离所述J步骤之后的所述流延膜；

(L)在下一个所述I步骤之前加热所述K步骤之后的所述移动支撑体的宽度方向中央部；

(M)利用在所述L步骤中赋予给所述移动支撑体的热，加热下一个所述膜干燥步骤之前的所述流延膜；及

(P)从由所述移动支撑体剥离的所述流延膜中蒸发所述溶剂而得到膜。

6.一种流延膜的形成装置，其特征在于，具备如下：

移动支撑体，其依次循环通过到达部、流延部、膜干燥部、剥离部，所述到达部中到达流下的浓液，所述浓液包含聚合物及溶剂，所述流延部中由流下的所述浓液形成流延膜，所述膜干燥部从所述流延膜蒸发所述溶剂，所述剥离部中剥离所述流延膜；

到达部支撑单元，支撑位于所述到达部的所述移动支撑体；

剥离部支撑单元，支撑位于所述剥离部的所述移动支撑体；

膜冷却单元，在所述移动支撑体离开所述膜干燥部且到达所述剥离部为止期间，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态；

支撑体加热单元，加热离开所述剥离部且到达所述膜干燥部为止期间的所述移动支撑体；

膜加热单元，利用通过所述支撑体加热单元获得的热加热到达所述膜干燥部之前的所述流延膜；

表面两端部支撑部件，其具备在所述到达部支撑构件上，支撑所述移动支撑体的表面中比所流下的所述浓液到达的到达位置更靠宽度方向的两端部；及

里面支撑部件，其具备在所述到达部支撑构件上，支撑所述移动支撑体的里面的一端至另一端。

7.如权利要求6所述的流延膜的形成装置，其特征在于，

所述表面两端部支撑部件为压料辊，所述里面支撑部件为支撑辊。

8.一种流延膜的形成装置，其特征在于，具备如下：

移动支撑体，其依次循环通过到达部、流延部、膜干燥部、剥离部，所述到达部中到达流下的浓液，所述浓液包含聚合物及溶剂，所述流延部由流下的所述浓液形成流延膜，所述膜干燥部中从所述流延膜蒸发所述溶剂，所述剥离部中剥离所述流延膜；

到达部支撑单元，支撑位于所述到达部的所述移动支撑体；

剥离部支撑单元，支撑位于所述剥离部的所述移动支撑体；

膜冷却单元，在所述移动支撑体离开所述膜干燥部且到达所述剥离部为止期间，将所述流延膜冷却至成为可独立传送的状态；

支撑体加热单元，加热离开所述剥离部且到达所述膜干燥部为止期间的所述移动支撑体的宽度方向中央部；及

膜加热单元，利用通过所述支撑体加热单元获得的热加热到达所述膜干燥部之前的所述流延膜。

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