CN102483471B

CN102483471B - 晶片透镜的制造方法

Info

Publication number: CN102483471B
Application number: CN201080037622.1A
Authority: CN
Inventors: 饭岛康司; 景山直浩
Original assignee: Konica Minolta Opto Inc
Current assignee: Konica Minolta Opto Inc
Priority date: 2009-08-31
Filing date: 2010-08-27
Publication date: 2015-06-10
Anticipated expiration: 2030-08-27
Also published as: JPWO2011024945A1; US20120243111A1; WO2011024945A1; CN102483471A; JP5644765B2

Abstract

为了提供一种适合于透镜检查信息等个体信息管理的晶片透镜、能够良好地进行透镜检查信息管理的晶片透镜的制造方法，本发明的晶片透镜是在玻璃基板(10(20))上铺设光阑(11a(21a))和记录该晶片透镜个体识别信息(晶片ID)的ID记录部(11b(21b))，光阑及ID记录部被形成光学部件的树脂层(12(22))覆盖。另外，本发明的晶片透镜制造方法备有：检查工序，检查被构成为晶片透镜的光学零件；识别信息读取工序，从ID记录部读取晶片ID；保存工序，使检查工序的检查信息，与检查对象的晶片透镜的晶片ID且零件ID相关联，保存到管理服务器中。

Description

晶片透镜的制造方法

技术领域

本发明涉及晶片透镜以及晶片透镜的制造方法。

背景技术

在光学透镜制造领域中，以往有探讨通过在玻璃平板上设由光固化性树脂等固化性树脂构成的透镜部(光学部件)来得到耐热性高的光学透镜之技术(例如请参照专利文献1)。

并且，作为应用了该技术的光学透镜的制造方法，开发了下述方法：形成所谓“晶片透镜”，它是在玻璃平板表面形成由金属膜构成的调整入射光量的光阑，并在光阑表面设多个由固化树脂构成的光学部件。然后在多个透镜一体化的状态下衬垫隔件，使它碰到与光学面同时形成的突出部，重叠、接合形成多组透镜，在该形成之后切开玻璃平板部。根据该制造方法，能够降低光学透镜的制造成本。另外，这种晶片透镜、多组透镜切断单个化后装到图像传感上，或者同样将晶片化的传感与上述晶片透镜、多组透镜接合后切断进行单个化，由此能够大量生产含图像传感的小型高分辨率的摄像单元，受到瞩目。

形成在玻璃平板上的光阑，通常是通过采用周知的光刻，在玻璃平板表面形成光阻图样，然后反复进行蚀刻、蒸镀、镀金等操作形成的。但是这种方法工序数多，所以被要求更简略化。

对此，为了实现形成光阑制造工序的简略化，本发明申请者在特许申请2008-116639中提案了下述晶片透镜的制造方法：在基板一面上涂布含炭黑的光阻剂，然后曝光、显影所述光阻剂，由此形成所定图样的光阑。

先行技术文献

专利文献

特许第3926380号公报

发明内容

发明欲解决的课题

但是为了提高生产效率，晶片透镜是在被分割成透镜单位的单片之前，在单体晶片的状态、更进一步是在组合多个晶片后的组装品状态时，完成各透镜的检查工序的。

但这样又存在问题，即完成检查的各透镜被一体保持在晶片透镜上，这样，不能根据检查结果除去不良透镜等对每个透镜进行鉴别管理。

本发明鉴于上述以往技术中的问题，课题在于提供一种能够有效地运用在检查工序中得到的检查信息减少不良透镜发生的制造方法、适合于透镜检查信息等个体信息管理的晶片透镜、能够良好地进行透镜检查信息管理的晶片透镜的制造方法。

用来解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的第1形态是一种晶片透镜的制造方法，是在基板上形成固化性树脂光学部件的晶片透镜的制造方法，备有以下工序：测定晶片上各透镜单元的后焦点之工序；根据所述后焦点的测定结果，选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件之工序；粘结所述晶片与所述选择的隔件之工序。

上述第1形态中，优选根据所述后焦点的测定结果选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件之工序，包括下述工序：将特定应选择的最适合的隔件之信息，以及选择所述最适合的隔件后特定为规格外透镜单元之信息，记录到数据文件中之工序。

本发明的第2形态是一种晶片透镜，是在基板上形成固化性树脂光学部件的晶片透镜，其中，在所述基板上铺设为光学零件的光阑和记录了所述晶片透镜的个体识别信息的识别信息记录部，所述光阑及所述识别信息记录部被形成所述光学部件的树脂层覆盖。

上述第2形态中，优选所述光阑及所述识别信息记录部由配置在同一层的同一材料形成。

更优选所述同一材料是遮光性光阻剂。

本发明的第3形态是一种晶片透镜的制造方法，备有下述工序：

叠层工序，在基板上叠层同一材料层，该同一材料层构成作为光学零件的光阑和记录着晶片透镜个体识别信息的识别信息记录部；

图案化工序，通过图案化选择性除去所述同一材料层，形成所述光阑；

识别信息记录工序，用激光标志器选择性加工所述同一材料层，形成所述识别信息记录部；

成型工序，在形成了所述光阑及所述识别信息记录部的所述基板表面与成型模具之间充填固化性树脂，通过所述成型模具以所述固化性树脂为材料成型光学部件，同时，用所述固化性树脂覆盖所述光阑及所述识别信息记录部；

固化工序，使所述固化性树脂固化。

上述第3形态中，优选使所述叠层工序中的所述同一材料层为遮光性光阻剂层，在所述图案化工序中曝光、显影所述遮光性光阻剂层之后，在所述识别信息记录工序中通过选择性除去所述遮光性光阻剂层，形成所述识别信息记录部。

上述第3形态中，优选在所述固化工序之后备有：检查工序，检查被构成为晶片透镜的光学部件；识别信息读取工序，从所述识别信息记录部读取晶片透镜的个体识别信息；保存工序，使所述检查工序的检查信息与检查对象的晶片透镜的所述个体识别信息相关联，保存到管理服务器中。

另外，优选备有下述保存工序：预先设定用来特定晶片透镜上各光学部件形成区域上的各光学部件的零件识别信息，使得在所述检查工序中对各光学部件的检查信息，与检查对象光学零件所属的晶片透镜的所述个体识别信息及检查对象光学部件的零件识别信息相关联，保存到管理服务器中。

另外，优选备有下述显示工序：在图像显示装置中显示晶片透镜的表面布图，根据所述个体识别信息、所述零件识别信息以及与它们相关联的所述检查信息，将光学部件的检查信息显示在所述表面布图上的与检查对象光学部件的形成区域相对应的位置上。

另外，优选备有下述检查不合格记录工序：在所述检查工序之后，根据所述检查信息，对确定为检查不合格品的光学部件，用激光标志器选择性加工所述光学部件，形成表示为检查不合格的视觉性显示。

发明的效果

根据本发明第1形态的晶片透镜的制造方法，因为根据晶片上各透镜单元的后焦点的测定结果，选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件，所以能够减少发生不良透镜。

根据本发明第2形态的晶片透镜，通过由读取装置从识别信息记录部读取该晶片透镜的个体识别信息，能够识别各个晶片透镜，用该个体识别信息，能够良好地进行透镜的检查信息等个体信息的管理。

另外，因为在所述基板上铺设为光学零件的光阑和记录了该晶片透镜个体识别信息的识别信息记录部，所述光阑及所述识别信息记录部被形成所述光学部件的树脂层覆盖，所以识别信息记录部受到保护，提高了识别信息记录部的信息保存性和篡改防止性。

同时，因为识别信息记录部的覆盖层是由形成光学部件的树脂层构成的，所以，不需要为了构成识别信息记录部覆盖层的工序和材料增加。

并且，通过用配置在同一层的同一材料形成光阑及识别信息记录部，能够用叠层光阑的构成材料层的同一工序，叠层识别信息记录部的构成材料层，不需要为了叠层识别信息记录部的构成材料层的工序和材料增加。

并且，通过使光阑及识别信息记录部的构成材料为遮光性光阻剂，与以往的金属膜相比，能够简化制造工序。

根据本发明第3形态的晶片透镜的制造方法，能够制造记录了晶片透镜个体识别信息的本发明的晶片透镜，能够得到上述同样的效果，并且能够良好地进行透镜的检查信息管理。

附图说明

图1：本发明一实施方式中第1晶片透镜的4分之1平面图。

图2：本发明一实施方式中组晶片透镜的截面图(A-A线相当部分)。

图3：本发明一实施方式中第2晶片透镜的4分之1平面图。

图4：本发明一实施方式中晶片透镜的制造方法(包括检查工序)的流程方框示意图。

图5：本发明一实施方式的MTF/FB检查机的结构图。

图6：图5所示MTF/FB检查机的光源部详细图。

图7：本发明一实施方式的翘曲矫正夹具的截面图。

图8：例示的对晶片透镜的距离传感的侧视图。

图9：本发明一实施方式的反射性检查机的结构图。

图10：本发明一实施方式的检查信息(出错数据)与晶片透镜对应的布图显示图。

图11：在摄像元件上装配透镜单元的状态示意图。

具体实施方式

以下参照附图，说明本发明的一实施方式。以下说明的仅是本发明的一实施方式，本发明并不局限于此。

首先参照图1～图3，说明本发明一实施方式的晶片透镜。

本发明的晶片透镜实施于第1晶片透镜及第2晶片透镜。本发明的晶片透镜的个体识别信息(以下称之谓“晶片ID”)附设于第1晶片透镜L1及第2晶片透镜L2。

如图1所示，第1晶片透镜L1备有玻璃基板10、形成在玻璃基板10一表面上的光阑11a及ID记录部11b。玻璃基板10上的中央大部分上形成了多个光阑11a、11a、11a、···。在多个光阑11a、11a、11a、···的周边部形成了ID记录部11b。

光阑11a及ID记录部11b由配置在同一层11的同一材料形成，本实施方式中应用遮光性光阻剂。作为遮光性光阻剂，应用混入了碳黑的光阻剂。

ID记录部11b由二维条形码构成。ID记录部11b中，用所定位数的2值表达，记录着信息，本信息中含有第1晶片透镜L1的晶片ID。本信息能够用条形码读取器读取。

如图2所示，光阑11a及ID记录部11b被形成光学部件12a等的光固化性树脂层12覆盖。

树脂层12形成在玻璃基板10的形成了光阑11a及ID记录部11b的面上，构成凸透镜部12a、透镜周边突部12b、周边平板部12c。光阑11a被凸透镜部12a、透镜周边突部12b等覆盖，ID记录部11b被周边平板部12c覆盖。

玻璃基板10的树脂层12的反面面上形成了树脂层13。树脂层13在与凸透镜部12a同轴的位置上，构成了凹透镜部13a。

1个凸透镜部12a、1个光阑11a、1个凹透镜部13a构成的部分，相当于零件一单位，在晶片上有多个的状态下，被与其他晶片透镜L2、隔件30、图像传感(没有图示)单元化。

如图3所示，第2晶片透镜L2备有玻璃基板20、形成在玻璃基板20一表面上的光阑21a及ID记录部21b。玻璃基板20上的中央大部分上形成了多个光阑21a、21a、21a、···。在多个光阑21a、21a、21a、···的周边部形成了ID记录部21b。光阑21a及ID记录部21b由配置在同一层21的同一材料形成，本实施方式中应用遮光性光阻剂。作为遮光性光阻剂，应用混入了碳黑的光阻剂。

ID记录部21b由二维条形码构成。ID记录部21b中，用所定位数的2值表达，记录着信息，本信息中含有第2晶片透镜L2的晶片ID。本信息能够用条形码读取器读取。

如图2所示，光阑21a及ID记录部21b被形成凸透镜部22a等的光固化性树脂层22覆盖。

树脂层22形成在玻璃基板10的形成了光阑21a及ID记录部21b的面上，构成凸透镜部22a、透镜周边突部22b、22c。光阑21a被凸透镜部22a、透镜周边突部22b、22c等覆盖，ID记录部21b被外周的透镜周边突部22c覆盖。

玻璃基板20的树脂层22的反面面上形成了树脂层23。树脂层23在与凸透镜部22a同轴的位置上，构成了凹透镜部23a。

1个凸透镜部22a、1个光阑21a、1个凹透镜部23a构成的部分，相当于零件一单位，在晶片上有多个的状态下，被与其他晶片透镜L1、隔件30、图像传感(没有图示)单元化。

接下去参照图4、5，说明本发明一实施方式晶片透镜的制造方法。

首先在玻璃基板10(20)上叠层同一材料层11(21)，构成为光学零件的光阑11a(21a)、记录晶片ID的ID记录部11b(叠层工序)。材料层11应用混入了碳黑的光阻剂，在玻璃基板10上涂布该光阻剂。

通过图案化曝光及之后的显影处理，选择性除去材料层11(21)，形成光阑11a(21a)(图案化工序)。

接下去，通过图4所示的激光标志器LM1，选择性地除去、加工光阑11a(21a)周边留有的材料层11(21)，形成ID记录部11b(21b)(识别信息记录工序，相当于方框A1、A2)。在此，形成ID记录部相当于记录晶片ID。激光标志器LM1由标志控制PC(方框MC)控制，晶片ID的有关信息被保持在标志控制PC中。标志控制PC控制激光标志器LM1，对各个晶片透镜付与晶片ID。

由标志控制PC(方框MC)付与的晶片ID被从标志控制PC发送到服务器PC(方框S)，由服务器PC编制每个晶片ID的数据文件。数据文件中记录着制造年月日等制造信息。

服务器PC在编制数据文件时设定用来特定晶片透镜上透镜的零件识别信息。设定时，使得用来特定透镜的零件识别信息，与晶片透镜上的各个透镜对应。各个透镜与其零件识别信息，是通过透镜形成区域的位置对应。也就是说，在各透镜的形成区域设定地址信息，将该地址信息用作在其上形成的透镜的识别信息。这样，可以不用在产品上记载用来特定透镜的零件识别信息。

用该晶片ID特定到的晶片透镜上的透镜的检查信息等，作为制造履历信息，与该透镜的地址信息相关联，被保存在附有该晶片ID的数据文件中。

晶片ID付与之后，如图4方框B所示，进入后面的晶片透镜制造工序以及叠层、组合2个晶片透镜的工序。

首先，在形成了光阑11a(21a)及ID记录部11b(21b)的玻璃基板10(20)表面与没有图示的成型模具之间，充填光固化性树脂，由成型模具以该光固化性树脂为材料成型光学部件(凸透镜部12a、22a)、透镜周边突部12b(22b、22c)、周边平板部12c等，并且用该固化性树脂覆盖光阑11a(21a)及ID记录部11b(21b)(成型工序)。本工序中，例如在玻璃基板10(20)上载置单体状态(固化前)树脂，从上方用成型模具模压。

然后对树脂照光使之固化(固化工序)。光是从玻璃基板10(20)侧照射，或用透明性树脂等透明材料构成成型模具，从成型模具侧照射。

玻璃基板10(20)另一面的树脂层13(23)也同样成型，分别完成第1晶片透镜L1及第2晶片透镜L2。

然后如图2所示，对准第1晶片透镜L1树脂层13表面和第2晶片透镜L2树脂层23，叠层两晶片，粘结固定，构成组晶片(L1+L2)。

接下去，为了选择具有最合适厚度的隔件30，测定组晶片(L1+L2)上各透镜单元的后焦点F B。

FB检查PC(方框C1)控制FB检查机，依次测定组晶片(L1+L2)上各透镜单元的后焦点FB，同时，通过附属的条形码读取器，从检查对象组晶片(L1+L2)上的ID记录部21b，读取第2晶片透镜L2的晶片ID，识认检查对象的ID。

组晶片(L1+L2)可以用第1晶片透镜L 1的晶片ID也可以用第2晶片透镜L2的晶片ID来特定，使用任何一个即可。本实施方式中是使用第2晶片透镜L2的晶片ID及其数据文件。

当然，第1晶片透镜L1单体的信息管理是使用第1晶片透镜L1的晶片ID及其数据文件，第2晶片透镜L2单体的信息管理是使用第2晶片透镜L2的晶片ID及其数据文件。

FB检查PC从服务器PC下载该ID的数据文件，将检查信息记录在该数据文件中，然后上载到服务器PC，服务器PC更新数据文件。

作为由FB检查PC记录到数据文件中的检查信息，包括：特定应选择的最合适的隔件30的特定信息；选择隔件30时，特定将会成为规格外透镜单元的特定信息(出错信息Err)。

对后焦点FB的规格作说明。

图11表示透镜单元装到摄像元件100(CMOS传感等)上的状态。透镜单元通过隔件30与摄像元件100外罩玻璃101粘结，固定在摄像元件上。

这种结构因为没有相应被摄物体距离的焦点调整机构，所以，必须从远距离被摄物体到近距离被摄物体对焦的全焦距透镜。因此，通过使过焦点距离(其中，f：透镜单元的焦点距离，F：透镜单元的F值，P：摄像元件的像素间距)处的透镜单元的像点位置与摄像元件100的光电变换部102在光轴方向的位置一致，几何光学上可以视为是无限远到U/2距离物体对焦的状态。例如，f＝3mm、F＝2.8、P＝0.00175mm时，作为基准被摄物体距离，使过焦点距离 (约92cm)处的透镜单元的像点位置与摄像元件光电变换部102一致地设定隔件30的厚度，则是无限远到46cm距离对焦的状态。另外，并不一定必须将过焦点距离作为基准被摄物体，例如，希望将重点放在更远方的画面上时，只要将基准被摄物体距离设定在比过焦点距离更远的远方即可。具体则是只要若干减薄隔件30的厚度即可。

至于基准距离的焦点设定精度，只要抑制在焦点深度(一般用±F×2×P计算)的0.5倍以内即可。上述例子中，优选抑制在±0.5×2.8×2×0.00175mm＝±0.0049mm以内。因此，至于为了设定最合适焦点的隔件30的厚度，因为必须使组晶片内尽量多的透镜单元的FB纳入该范围地进行设定，所以，至于预先准备的隔件厚度，在上述例子的情况时，优选准备厚度差间隔小于0.0049mm的多种隔件。或也可以先测定组晶片内透镜单元的FB平均值，然后研磨平板玻璃，使达到所望焦点位置地调整隔件30的厚度。

关于后焦点FB的规格，例如求得组晶片内所有透镜单元的FB的平均值，在考虑焦点深度的同时，以预先设定的FB容许参差内的为规格内，以超过的为规格外，记录检查信息。

然后在组晶片(L1+L2)上组合根据晶片ID的数据文件中记录的检查信息选择的隔件30，如图2所示，进行叠层、粘结固定。

接下去进行MTF/FB检查。

MTF/FB检查PC(方框C2)控制图5所示的MTF/FB检查机4，进行组晶片(L1+L2+隔件30)上各透镜单元的MTF/FB检查。

如图5所示，MTF/FB检查机4备有：对透镜照射所定光的光源部41；载置晶片透镜WL并使之在垂直于光照射方向(Z轴)的2轴X-Y方向移动的自动XY台42；固定在光源部41、测定与透镜间距离的距离传感43；具有多个CCD照相机的测定光学系44；晶片旋转调整用照相机45、45。光源部41及固定在其上的距离传感43被控制在上下(Z轴)方向上移动。

如图所示，光源部41备有卤光纤41a、带通滤波器41b、扩散板41c、记录图表41d。

作为图5所示的晶片透镜WL，载置上述制造的组晶片(L1+L2+隔件30)。

MTF/FB检查PC用测定光学系44的1个CCD照相机，测定透镜中心的MTF(Modulation Transfer Function)值，使光源部41上下移动，特定使MTF值为极大的FB，根据距离传感的输出值算出此FB值，进一步用测定光学系44的其他4个CCD照相机，测定上述FB值时透镜周边部的MTF值，计算透镜周边部的MTF值是相当于透镜中心的MTF极大值的百分之几。

MTF/FB检查PC控制MTF/FB检查机4，按不同频率的照射光进行上述测定和计算。MTF/FB检查PC根据获得的数值，鉴别规格外的透镜单元。

MTF/FB检查PC通过附属的条形码读取器，从检查对象的组晶片(L1+L2+隔件30)上的ID记录部21b读取第2晶片透镜L2的晶片ID，识认检查对象的ID。

MTF/FB检查PC从服务器PC下载该ID的数据文件，在该数据文件中记录检查信息，上载到服务器PC，服务器PC更新数据文件。

作为由MTF/FB检查PC记录到数据文件中的检查信息，包括特定是规格外透镜单元的特定信息(出错信息Err)。

对MTF/FB检查和绘出检查等时矫正晶片透镜WL翘曲的方法作说明。检查对象的晶片透镜WL有翘曲时得不到正确的测定值。为了正确测定，有效的是矫正晶片透镜WL的翘曲。

为了矫正晶片透镜WL的翘曲，采用图7所示的翘曲矫正夹具5。矫正夹具5具有开有通气孔51a的框体51、密封框体51一面的密封玻璃52。

晶片透镜WL放在框体51的另一面上。将晶片透镜WL的周边部贴紧固定在框体51上，使不漏气地密封。作为密封方法，应用下述方法：机械性将晶片透镜WL的周边部压到框体51上(之方法)；在框体51的晶片透镜WL载置部位上事先设制多孔质吸引板、由它吸引支承晶片透镜WL(之方法)；其他方法。

接下去，将支承着晶片透镜WL的翘曲矫正夹具5放置在MTF/FB检查机4的自动XY台42上。固定距离传感43的Z轴方向位置，移动自动XY台42，由距离传感43测定晶片透镜WL的翘曲。测定翘曲时可以不用MTF/FB检查机4而用其他器械。

作为对晶片透镜的距离传感，也可以采用图8所示的自动准直仪61、接触式变位仪62、其他激光三角测量变位仪等任何测定仪。

图7中，如果测到的晶片透镜WL的翘曲是上面凸的话则通过通气孔51a用汽泵抽吸密封空间53，或如果是上面凹的话则将空气压入密封空间53，由此使晶片透镜WL的翘曲减少，矫正到平面。晶片透镜WL的翘曲校正后保持密封空间53内压，保持晶片透镜WL在矫正状态。

通过采用上述翘曲矫正夹具5，能够对翘曲矫正后的晶片透镜WL进行测定。

通过用密封玻璃52密封晶片透镜WL的反面，这样密封玻璃52使光透过，可以不妨碍对晶片透镜WL实施光学测定。

接下去进行绘出检查。

绘出检查PC通过附属的条形码读取器，从检查对象的组晶片(L1+L2+隔件30)上的ID记录部21b读取第2晶片透镜L2的晶片ID，识认检查对象的ID。绘出检查PC从服务器PC下载该ID的数据文件，参照MTF/FB检查时的出错信息Err，以在MTF/FB检查中被认定为规格外的透镜单元为检查对象外，对其余所有的透镜单元进行绘出检查。

绘出检查PC(方框C3)控制图9所示的反射性检查机7，进行组晶片(L1+L2+隔件30)上各透镜单元的绘出检查。

反射性检查机7备有测定头70，其一体性具有CCD71、绘出板72、距离传感73，该测定头70被控制在上下(Z轴)方向移动。

反射性检查机7进一步备有自动XY台74、均一光源75、准线用照相机76、76，架台77、翘曲矫正夹具5是与MTF/FB检查机4通用的。

绘出检查PC(方框C3)具有移动控制器81、D/IO板82、图像输入板83。移动控制器81经由驱动器91与用来移动测定头70的传动器连接，并经由驱动器92与用来移动自动XY台74的传动器连接。D/IO板82与均一光源75连接，使均一光源75输出光。图像输入板83与准线用照相机76、76连接，取入准线用照相机76、76的摄影图像。距离传感73也与绘出检查PC连接。

作为图9所示的晶片透镜WL，载置上述制造的组晶片(L1+L2+隔件30)。

检查后，绘出检查PC将检查信息记录到该数据文件中，上载到服务器PC，服务器PC更新数据文件。

作为由绘出检查PC记录到数据文件中的检查信息，包括特定是规格外透镜单元的特定信息(出错信息Err)。

接下去用外观检查摄影PC(方框C4)实施外观检查，用图像确认用PC(方框C5)实施图像确认。设想这些检查是由检查人员进行的，但也可以用自动化的自动检查PC(方框D)进行检查，来代替上述检查人员的作业。

各PC(C4、C5、D)通过附属的条形码读取器，从检查对象的组晶片(L1+L2+隔件30)上的ID记录部21b读取第2晶片透镜L2的晶片ID，识认检查对象的ID。该PC从服务器PC下载该ID的数据文件，参照在先已结束的检查时的出错信息Err，以已被认定为是规格外的透镜单元为检查对象外，对其余所有的透镜单元，进行检查或检查用的图像输出等。该PC将检查信息记录到该数据文件中，上载到服务器PC，服务器PC更新数据文件。

作为由各PC(C4、C5、D)记录到数据文件中的检查信息，包括特定是规格外透镜单元的特定信息(出错信息Err)。

以上多个检查的中途或所有的检查结束之后，相应操作者的要求等需要，在图像显示装置中显示晶片透镜的表面，根据从对象晶片透镜的晶片ID特定到的数据文件，在所述表面布图上的检查对象光学零件的形成区域的位置上，显示透镜单元的检查信息。

本实施方式中如图10所示，在晶片透镜表面布图上的该透镜单元的位置上，显示数据文件中记录的透镜单元的出错信息Err。

图10中，“0”是无效区域，表示本来就没有形成透镜的区域，“1”是正常，表示检查合格的透镜，“2”表示MTF/FB检查不合格的透镜，“3”表示绘出检查不合格的透镜，“4”表示外观检查不合格的透镜。

以上所有检查工序结束后，根据记录在数据文件中的出错信息Err，对确定为检查不合格品的光学零件、即图10中显示“2”、“3”或“4”的透镜，用激光标志器LM2，选择性地加工凸透镜部22a表面，形成表示检查不合格的视觉性显示(例如×记号)。此时因为凸透镜部22a是透明的，所以优选由激光标志器LM2实施变色加工再作标志。

如上所述组装检查后的晶片透镜，如图2所示，在邻接的各光学部件的透镜周边突部12b间的凹部，用比该凹部宽狭窄的刀片切断，分离成各个透镜单元。

如上所示，因为对检查不合格品标表示不合格的标志，所以，使用时可以除去分离后透镜单元的检查不合格品。这样，具有在切断工序以后用别的工序进行与传感单元组装等时，不会误使用不合格品之效果。

并下述效果：若与晶片ID附属的晶片透镜一起，将其出错信息Err提供给上述别的工序，则作业人员或制造机械可以通过参照被提供的晶片ID及出错信息Err，在制造中控制不将检查不合格品装入产品。

以上说明的都是在检查工序检查组合多个晶片透镜的组晶片透镜的情况，但本发明并不局限于此，也可以在各检查工序检查单一晶片透镜。另外，制造的透镜单元也不局限于组透镜结构，也可以是单透镜结构。

符号说明

4MTF/FB检查机

5翘曲矫正夹具

7反射性检查机

10玻璃基板

11遮光性光阻层

11a 光阑

11b ID记录部

12 树脂层

12a 凸透镜部

12b 透镜周边突部

12c 周边平板部

13 树脂层

13a 凹透镜部

20 玻璃基板

21 遮光性光阻层

21a 光阑

21b ID记录部

22b、22c 透镜周边突部

22 树脂层

22a 凸透镜部

23 树脂层

23a 凹透镜部

30 隔件

L1 第1晶片透镜

L2第2晶片透镜

Claims

1.一种晶片透镜的制造方法，是在基板上形成多个固化性树脂光学部件的晶片透镜的制造方法，备有以下工序：测定晶片上各透镜单元的后焦点之工序；根据所述后焦点的测定结果，选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件之工序；粘结所述晶片与所述选择的隔件之工序，

根据所述后焦点的测定结果选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件之工序，包括下述工序：准备厚度差间隔小于焦点深度的0.5倍的多种隔件，从该多种隔件进行选择，并且将特定应选择的最适合的隔件之信息，以及选择所述最适合的隔件后特定为规格外透镜单元之信息，记录到数据文件中之工序。

2.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其中，在选择所述隔件的工序中，求各个透镜单元的后焦点的平均值，在考虑焦点深度的同时，以预先设定的后焦点容许参差内的为规格内，以超过的为规格外。

3.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，在测定所述后焦点的工序之前还备有下述工序：

叠层工序，在所述基板上叠层同一材料层，该同一材料层构成作为光学零件的光阑和记录着晶片透镜个体识别信息的识别信息记录部；

固化工序，使所述固化性树脂固化。

4.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其中，

使所述叠层工序中的所述同一材料层为遮光性光阻剂层，

在所述图案化工序中曝光、显影所述遮光性光阻剂层之后，

在所述识别信息记录工序中通过选择性除去所述遮光性光阻剂层，形成所述识别信息记录部。

5.如权利要求3中记载的晶片透镜的制造方法，其中，在粘结所述晶片与所述选择的隔件的工序之后备有：

检查工序，检查被构成为晶片透镜上的光学部件；

识别信息读取工序，从所述识别信息记录部读取晶片透镜的个体识别信息；

保存工序，使所述检查工序的检查信息，与检查对象的晶片透镜的所述个体识别信息相关联，保存到管理服务器中。

6.如权利要求5中记载的晶片透镜的制造方法，其中，备有下述保存工序：

预先设定用来特定晶片透镜上各光学部件形成区域上的各光学部件的零件识别信息，

使得在所述检查工序中对各光学部件的检查信息，与检查对象光学部件所属的晶片透镜的所述个体识别信息，及检查对象光学部件的零件识别信息相关联，保存到管理服务器中。

7.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其中，备有下述显示工序：在图像显示装置中显示晶片透镜的表面布图，根据所述个体识别信息、所述零件识别信息以及与它们相关联的所述检查信息，将光学部件的检查信息显示在所述表面布图上的与检查对象光学部件的形成区域相对应的位置上。

8.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其中，备有下述检查不合格记录工序：在所述检查工序之后，根据所述检查信息，对确定为检查不合格品的光学部件，用激光标志器选择性加工所述光学部件，形成表示为检查不合格的视觉性显示。

9.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其中，还包括：

在将所述隔件粘结到所述晶片透镜之后，切断所述晶片透镜和隔件，分离为各个透镜单元的工序。

10.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其中，在所述后焦点的测定工序中，进行通过翘曲矫正夹具矫正了翘曲的晶片透镜的测定。

11.如权利要求1中记载的晶片透镜的制造方法，其中，在根据所述后焦点的测定结果选择厚度最适合于与所述晶片组合的隔件之工序包括：与在所述晶片透镜的基板上形成的识别信息记录部中记录的个体识别信息相关联，在数据文件中记录特定应选择的最合适的隔件的信息，以及在选择了所述最适合的隔件时，特定将会成为规格外的透镜单元的信息。