CN102473593B - 异常检测系统以及异常检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种高精度地对装置中产生的异常进行检测的异常检测系统。对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行检测的异常检测系统(100)具备：多个超声波传感器(41)，其检测由异常的产生所引起的AE；分配器(65)，其将超声波传感器(41)的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发器(52)，其例如以10kHz对第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；触发产生时刻计数器(54)，其接收触发信号并决定触发产生时刻；数据记录器(55)，其例如以1MHz对第二信号进行采样来制作采样数据；以及PC(50)，其通过对采样数据中的与以由触发产生时刻计数器(54)决定的触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行分析。

Description

异常检测系统以及异常检测方法
技术领域
本发明涉及一种异常检测系统、使用异常检测系统进行的异常检测方法以及存储了由异常检测系统使用的程序的计算机可读取的存储介质。 
背景技术
对半导体晶圆、平板显示器等衬底实施规定的等离子体处理的等离子体处理装置通常具备收容衬底的收容室(以下称为“腔室”)。在这种衬底处理装置中，一边将处理气体导入到腔室内一边对腔室内施加高频电力，由此从处理气体产生等离子体，使用该等离子体对衬底实施等离子体处理。 
在对腔室内施加了高频电力时，有时由于各种原因而产生等离子体异常放电(例如微弧(micro arching))等异常。等离子体异常放电导致衬底表面产生裂纹、切口等，或者烧坏配置在腔室内的结构部件等，另外，导致使附着于腔室内的结构部件(例如上部电极)上的沉积物等剥离而产生微粒。 
因此，需要提前检测出等离子体异常放电，在检测出等离子体异常放电时迅速进行停止等离子体处理装置的动作等的适当的处理，防止衬底、结构部件的损伤以及微粒的产生。因此，开发出了各种提前检测等离子体异常放电等异常的方法。 
例如，作为等离子体处理方法的能够进行高灵敏度检测的方法，正在研究对由等离子体异常放电时的能量释放引起的AE(声发射(Acoustic Emission))进行检测的方法。作为利用AE的检测装置已知以下装置：在腔室的外壁具备多个超声波传感器，使用这些超声波传感器对由产生等离子体异常放电时的能量释放引起的AE进行检测的装置；以及以与载置半导体晶圆的载置台(基座)抵接的方式，或者以与在载置于载置台上的半导体晶圆的周边设置的聚焦环抵接的方式来设置多个声音探针，通过超声波传感器对由这些声音探针传导的超声波进行检测的装置(例如参照专利文献1)。此时，有时还一并使用对用于产生等离子体的高频电力(电压或者电流)进行监视的方法。 
专利文献1：日本特开2003-100714号公报 
发明内容
发明要解决的问题
然而，超声波传感器不仅将由等离子体异常放电引起的AE检测为噪声，还将由等离子体处理装置的闸阀的打开和关闭等引起的机械振动等检测为噪声。由此，产生等离子体异常放电的检测精度降低这种问题。为了解决该问题，要求改进超声波传感器所检测出的AE信号的分析方法。 
作为AE信号的分析方法例如有以下方法：对超声波传感器的输出信号(检测信号)进行高速采样，在PC(Personal Computer：个人计算机)上对得到的数据进行数字处理。但是，在该方法中，由于需要处理由高速采样引起的大容量数据，因此存在数据处理成本变高这种问题、无法实时地进行数据处理等问题。 
另外，还存在一并使用实体模型(mock up)来进行数字处理的方法，但是由于DSP(Digital Signal Processor：数字信号处理器)的处理能力的限制，所以仅具有与10kHz采样对应的程度的能力。该采样频率对于高频电力的监视来说是足够的，但是对于从产生至结束的时间为微秒级的由异常引起的AE信号的监视来说是不够的。 
另外，以往，即使在配置了多个超声波传感器的情况下，也按照每个超声波传感器对AE信号进行分析。在该情况下，例如，由于等离子体异常放电的产生部位的不同而AE信号的大小产生差，因此有可能错过等离子体异常放电的产生。 
本发明的目的在于，提供一种异常检测系统、使用异常检测系统进行的异常检测方法以及存储了用于异常检测系统的程序的计算机可读取的存储介质，其能够一边获取与处理装置中产生的异常有关的大容量数据，一边将数据处理成本抑制为较低并能够高精度地检测所产生的异常。 
用于解决问题的方案
为了达到上述目的，本申请发明所涉及的异常检测系统用于对处理装置中产生的异常进行检测，该异常检测系统特征在于，包括：多个超声波传感器，其用于检测在上述处理装置中产生的声发射；分配单元，其将上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发产生单元，其以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；触发产生时刻决定单元，其接收上述触发信号来决定触发产生时刻；数据制作单元，其以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及数据处理单元，其通过对上述采样数据中的与以由上述触发产生时刻决定单元决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对上述处理装置中产生的异常进行分析。 
另外，异常检测系统的特征在于，还具备触发信号处理单元，在规定期间内产生了多个上述触发信号时，该触发信号处理单元将多个上述触发信号汇总为一个信号来作为代表触发信号，上述触发产生时刻决定单元针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。 
另外，异常检测系统的特征在于，还具有滤波器，该滤波器从上述多个超声波传感器的各输出信号中去除噪声。 
另外，异常检测系统的特征在于，上述第一频率是10kHz～5MHz，上述第二频率是500kHz～5MHz。 
为了达到上述目的，本申请的发明所涉及的异常检测方法对处理装置中产生的异常进行检测，其特征在于，包括以下步骤：检测步骤，通过多个超声波传感器来检测在上述处理装置中产生的声发射；分配步骤，通过分配单元将在上述检测步骤中得到的来自上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发信号产生步骤，通过A/D变换单元以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时通过信号产生单元来产生触发信号；触发产生时刻决定步骤，通过时刻计数器单元接收上述触发信号来决定上述触发信号的触发产生时刻；采样数据制作步骤，通过A/D变换单元以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及数据处理步骤，通过由计算机对上述采样数据中的以在上述触发产生时刻决定步骤中决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间所对应的数据进行波形分析，由此对上述处理装置中产生的异常进行分析。 
另外，本申请发明所涉及的异常检测方法的特征在于，还包括触发信号处理步骤，在上述触发信号产生步骤中在规定期间内产生了多个上述触发信号时，在该触发信号处理步骤中将多个上述触发信号作为代表触发信号而汇总为一个信号，在上述触发产生时刻决定步骤中，针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。 
另外，本申请发明所涉及的异常检测方法的特征在于，还包括噪声去除步骤，在该噪声去除步骤中通过滤波器从在上述 分配步骤中得到的上述第一信号和上述第二信号中去除噪声。 
另外，本申请发明所涉及的异常检测方法的特征在于，上述第一频率是10kHz～5MHz，上述第二频率是500kHz～5MHz。 
另外，本申请的发明所涉及的异常检测方法的特征在于，上述数据处理步骤包括以下步骤：切取步骤，从上述采样数据切取与上述固定期间相对应的数据；第一波形特征量抽取步骤，对通过上述切取步骤切取出的数据采用代表值来进行下采样，在制作得到的下采样数据中存在有效的波形的情况下，从上述下采样数据中抽取波形特征量；第二波形特征量抽取步骤，对通过上述第一波形特征量抽取步骤抽取出的波形特征量的时刻进行估计，由此减少通过上述切取步骤切取出的数据的分析对象，针对上述分析对象从通过上述切取步骤切取出的数据中抽取波形特征量；以及判断步骤，进行通过上述第二波形特征量抽取步骤得到的波形特征量与预先设定的异常模式识别模型之间的模式识别，由此判断上述处理装置中产生的异常。 
另外，本申请发明所涉及的异常检测方法的特征在于，还包括在上述检测步骤之前进行的工艺条件获取步骤，在该工艺条件获取步骤中获取由上述处理装置执行的规定处理的工艺条件，仅在通过上述工艺条件获取步骤获取的上述工艺条件中包含的上述规定处理的执行期间内执行上述检测步骤。 
为了达到上述目的，本申请发明所涉及的计算机可读取的存储介质保存以下程序，该程序用于使通过计算机控制的异常检测系统执行对由规定的处理装置中产生的异常进行检测的异常检测方法，上述异常检测方法具有以下步骤：检测步骤，通过多个超声波传感器来检测在上述处理装置中产生的声发射；分配步骤，通过分配单元将通过上述检测步骤得到的来自上述多个超声波传感器的各检测信号分别分配为第一信号和第二信 号；触发信号产生步骤，通过A/D变换单元以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时通过信号产生单元来产生触发信号；触发产生时刻决定步骤，通过时刻计数器单元接收上述触发信号来决定上述触发信号的触发产生时刻；采样数据制作步骤，通过A/D变换单元以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及数据处理步骤，通过计算机对上述采样数据中的以通过上述触发产生时刻决定步骤决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间所对应的数据进行波形分析，由此对上述处理装置中产生的异常进行分析。 
根据本申请发明所涉及的异常检测系统、异常检测方法以及计算机可读取的存储介质，一边获取与处理装置中产生的异常有关的大容量数据一边能够将数据处理成本抑制为较低，并且能够高精度地检测所产生的异常。 
另外，根据本申请发明所涉及的异常检测系统以及异常检测方法，通过产生代表触发信号，能够减轻对数据处理施加的负荷，而不会降低异常检测的精度。 
另外，根据本申请的发明所涉及的异常检测方法，通过滤波器来从超声波传感器的各输出信号中去除噪声，因此能够提高触发信号的产生、采样数据的分析精度。 
另外，根据本申请发明所涉及的异常检测系统以及异常检测方法，能够对于因产生后在微秒级内结束而以往难以检测的异常引起的AE信号无遗漏地进行检测。 
另外，根据本申请的发明所涉及的异常检测方法，在通过数据的切取来将成为分析处理对象的数据量减少的基础上，使用数据量少的下采样数据，进一步减少分析处理的对象，因此能够缩短数据处理时间，而不会降低异常检测的精度。 
另外，根据本申请的发明所涉及的异常检测方法，仅在工艺条件中包含的规定的处理的执行期间内通过检测步骤来获取数据，因此能够减轻全部处理中的数据处理的负荷，并且，能够以减少检测出的异常的种类的方式进行分析和判断。 
附图说明
图1是表示应用了本发明所涉及的异常检测系统的等离子体处理装置的概要结构的截面图。 
图2是表示超声波传感器的概要结构的截面图。 
图3是本发明的实施方式所涉及的异常检测系统的概要结构图。 
图4是表示异常检测系统的运转方式的概要的流程图。 
图5是表示异常检测系统的异常检测/分析处理方法的概要过程的流程图。 
图6是表示图5中的步骤S23(触发输出)的详细过程的流程图。 
图7是表示图5中的步骤S24(波形切取/保存)的详细过程的流程图。 
图8是表示图5中的步骤S25(波形分析)的详细过程的流程图。 
图9是表示图5中的步骤S27(异常模式判断)的详细过程的流程图。 
具体实施方式
下面，参照附图来说明本发明的实施方式。 
图1是表示应用了本发明的实施方式所涉及的异常检测系统的等离子体处理装置的概要结构的截面图。该等离子体处理 装置2对半导体晶圆(以下称为“晶圆”)W实施蚀刻处理，具备由铝或者不锈钢等金属构成的圆筒型的腔室10，在腔室10内例如具备圆柱状的基座11，该圆柱状的基座11作为用于载置直径300mm的晶圆W的载置台。 
腔室10具备使腔室10的内部与外部连通的维护用开口部(未图示)以及将该开口部自由地打开和关闭的维护用盖(未图示)。另外，在腔室10的侧壁与基座11之间设置有排气通路12，该排气通路12作为将基座11上方的气体排出到腔室10外的流路而发挥功能。在排气通路12的两端之间配置有环状的排气板13，排气板13下游的空间通向作为可变式蝶形阀的APC(压力控制阀：Adaptive Pressure Control Valve)14。APC 14与作为抽真空用的排气泵的TMP(涡轮分子泵：Turbomolecular Pump)15相连接，TMP 15与作为排气泵的DP(干式泵：Dry Pump)16相连接。 
此外，下面将由APC 14、TMP 15以及DP 16构成的排气流路称为“主排气管”。在该主排气管中，能够通过APC 14对腔室10内进行压力控制，并且通过TMP 15和DP 16将腔室10内减压到高真空状态。 
排气板13下游侧的空间通过与主排气管不同的排气流路(以下称为“初步吸引管”)与DP 16相连通。该初步吸引管例如具备直径25mm的排气管17以及配置于排气管17的两端之间的阀V2，在驱动DP 16时，能够通过初步吸引管排出腔室10内的气体。 
高频电源18经由供电棒40和匹配器19连接于基座11，该高频电源18将规定的高频电力提供给基座11。由此，基座11作为下部电极而发挥功能。另外，匹配器19降低来自基座11的高频电力的反射，提高高频电力向基座11的提供效率。此外，利用电流传感器或者电压传感器(未图示)监视从高频电源18输出的 电力。 
为了通过静电吸附力来吸附晶圆W，在基座11的内部上方配置有由导电膜构成的圆板状的电极板20，在电极板20上电连接有直流电源22。利用由从直流电源22施加到电极板20的直流电压产生的库仑力或者约翰逊-拉伯克(Johnsen-Rahbek)力来将晶圆W吸附保持在基座11的上表面。另外，为了使在基座11的上方的空间S中产生的等离子体朝向晶圆W收敛，在基座11的上方配置有由硅(Si)等构成的圆环状的聚焦环24。 
在基座11的内部设置有制冷剂室25，在此，将制冷剂室25设为在圆周方向延伸的环状。在制冷剂室25中，从冷却装置(未图示)通过配管26循环提供规定温度的制冷剂(例如冷却水)，利用制冷剂的温度对配置在基座11上的晶圆W的处理温度进行控制。 
在基座11的上表面上吸附晶圆W的部分(以下称为“吸附面”)上设置有多个导热气体提供孔27和导热气体提供槽(未图示)。导热气体提供孔27等经由设置于基座11内部的导热气体提供管28与导热气体提供部29相连接，导热气体提供部29将He气体等导热气体提供给吸附面与晶圆W的背面之间的间隙。此外，导热气体提供部29与DP 16相连接，使得能够对吸附面与晶圆W的背面之间的间隙进行抽真空。 
在基座11的吸附面上配置有作为从基座11的上表面自由突出的升销(lift pin)的多个推动销(pusher pin)30。马达(未图示)的旋转运动通过滚珠螺杆等变换为直线运动，由此推动销30在图1的上下方向上进行移动。在将晶圆W吸附保持在吸附面上时，推动销30被收容到基座11内，在将晶圆W搬入到腔室10或者从腔室10搬出晶圆W时，推动销30从基座11的上表面突出，使晶圆W从基座11分离而向上方抬起。 
在腔室10的顶部配置有喷头33。高频电源21经由匹配器23连接于喷头33，高频电源21将规定的高频电力提供给喷头33。由此，喷头33作为上部电极而发挥功能。此外，匹配器23的功能与上述匹配器19的功能相同。 
另外，利用未图示的电流传感器或者电压传感器监视从高频电源21输出的电力。 
喷头33具有电极板35和电极支承体36，该电极板35被配置于喷头33的下表面侧，具有多个气体通气孔34，电极支承体36以可装卸的方式支承电极板35。另外，在电极支承体36的内部设置有缓冲室37，缓冲室37与处理气体提供部(未图示)通过处理气体导入管(配管)38进行连接。在处理气体导入管38的两端之间配置有配管绝缘体39，配管绝缘体39由绝缘体构成，防止提供给喷头33的高频电力通过处理气体导入管38流向处理气体提供部。 
在腔室10的侧壁上安装有闸阀5，该闸阀5用于将晶圆W的搬入搬出口31打开或关闭。 
在等离子体处理装置2中，分别向基座11和喷头33提供高频电力，并且从喷头33将处理气体提供给基座11与喷头33之间的空间S，由此在空间S中产生包含离子、自由基的高密度的等离子体。 
在等离子体处理装置2中，在进行蚀刻处理时，首先打开闸阀5，将作为处理对象的晶圆W搬入到腔室10内并载置在基座11上。接着，从直流电源22将直流电压施加给电极板20，使晶圆W吸附在基座11上。 
之后，从喷头33将处理气体(例如，由规定流量比率的C2F8气体、O2气体以及Ar气体构成的混合气体)以规定流量以及流量比导入到腔室10内，通过主排气管使腔室10内的压力成为规定 值。并且，通过基座11和喷头33对腔室10内施加高频电力。这样，在空间S内，使处理气体等离子体化，所生成的自由基、离子通过聚焦环24收敛于晶圆W的表面，以物理或者化学的方式对晶圆W的表面进行蚀刻。 
此时在产生了微弧等等离子体异常放电的情况下，通过使用超声波传感器，检测由随着产生等离子体异常放电而能量释放引起的AE来检测离子体异常放电。超声波传感器是后述的异常检测系统100的结构要素之一。 
图2是表示超声波传感器的概要结构的截面图。超声波传感器41具备：平板状的受波板42，其由Al2O3等绝缘体构成；压电元件(例如锆钛酸铅系压电陶瓷)44，其隔着银蒸镀膜等金属膜43安装于受波板42上；以及壳体状的屏蔽罩45，其以覆盖压电元件44的方式安装于由金属(例如铝、不锈钢等)构成的受波板42。 
当接收到超声波等物理性振动时，压电元件44产生与该振动的大小相应大小的电压。为了取出其电压信号，在屏蔽罩45的侧壁配置露出到屏蔽罩45的内部和外部的连接器46，金属膜47与连接器46通过内部布线48相连接，并且，在连接器46上连接有外部布线49，通过外部布线49取出由压电元件44产生的电压信号。 
超声波传感器41被安装于在等离子体处理装置2中预测会产生等离子体异常放电的结构部件、例如腔室10、配管绝缘体39的外部。具体地说，为了对由于产生等离子体异常放电而引起并传播到腔室10的外壁的超声波进行检测，使受波板42与腔室10的外壁贴紧，将超声波传感器41安装到腔室10。 
此外，由于等离子体处理装置2的结构部件的不同，漏电流从该结构部件流向超声波传感器41，从而有时超声波传感器41 无法正确地检测异常放电。但是，在超声波传感器41中，由绝缘体构成的受波板42屏蔽漏电流，因此能够避免该问题。用于受波板42的绝缘体只要能够传播超声波，则并不限于Al2O3。 
接着，说明在等离子体处理装置2中产生的等离子体异常放电等的异常检测系统。图3是本发明的实施方式所涉及的异常检测系统的概要结构图。 
在等离子体处理装置2中，如上所述，可监视从高频电源18、21输出的电力，因此能够将该监视信号用于异常检测(主要是等离子体产生时的异常检测)。但是，如以下所说明的那样，例如与将监视信号的采样频率设为10kHz相对地，例如将超声波传感器41的输出信号(以下称为“传感器信号”)的采样频率设为1MHz，由此详细地获取传感器信号。于是，在此，根据传感器信号对等离子体处理装置2所产生的异常进行检测并分析(以下称为“异常检测/分析处理”)，监视信号辅助性地用于异常检测分析。 
异常检测系统100具备：超声波传感器41，其被配置于等离子体处理装置2；分配器65，其将来自超声波传感器41的传感器信号分配为两个系统的相同信号；滤波器51a，其用于从分配器65输出的一个传感器信号(第一信号)中去除噪声；滤波器51b，其用于从分配器65输出的另一个传感器信号(第二信号)中去除噪声；触发器(Trigger)52，其对通过了滤波器51a的传感器信号中包含的规定的特征进行检测，从而产生触发信号；OR电路53，其对从触发器52输出的触发信号进行规定的动作(处理)；以及PC(个人计算机：Personal Computer)50，其对来自OR电路53的输出信号以及通过了滤波器51b的传感器信号进行数据处理。 
异常检测系统100具备多个超声波传感器41，由此，即使是根据一个来自超声波传感器41的信息难以发现的异常，仍然能 够通过其它超声波传感器41来强力地提高检测出该异常的概率。也就是说，通过对来自多个超声波传感器41的信息进行分析即多变量(多通道)分析，由此来实现高检测精度。在此，将超声波传感器41的数量设为四个，但是并不限定于此。 
在异常检测系统100中，由分配器65将从超声波传感器41输出的传感器信号分配为两个系统的相同信号。如后述那样，其目的在于，高效率地进行传感器信号的数据处理。 
从超声波传感器41输出的传感器信号是模拟的电压信号。在该传感器信号中作为噪声包含由等离子体处理装置2的运转而产生的机械振动等形成噪声，在较多情况下，这种噪声与表示要检测的等离子体异常放电等的异常的AE的波长不同。因此，为了在输入到触发器52之前去除不需要的低频噪声，而使从分配器65输出的一个传感器信号通过滤波器51a(具体地说是HPF(High-Pass Filter：高通滤波片))。滤波器51a有助于触发器52中对触发输出条件进行判断。 
对此，在输入到PC 50所具备的数据记录器55(后面说明)之前，为了去除不需要的低频噪声，而使从分配器65输出的另一个传感器信号通过滤波器51b(具体地说是BPF(Band Pass Filter：带通滤波器))。滤波器51b有助于在PC 50中执行的异常检测/分析处理中对作为异常判断材料的频率关系的特征量进行计算。 
触发器52是如下硬件(H/W)：通过对传感器信号进行简单分析，抽取传感器信号中包含的规定的特征，由此判断超声波传感器41是否检测出异常。此外，触发器52具备用于对H/W的动作条件进行变更和设定的软件以及条件输入单元(例如操作面板等)。 
触发器52例如具备作为以10kHz的采样频率对各个采样信 号进行采样的A/D变换器的功能。能够从10kHz～5MHz的范围中选择触发器52的采样频率。 
触发器52具备作为信号产生器的功能，在判断为等离子体处理装置2没有产生异常时以固定周期产生表示没有产生异常意思的“0”信号并输出到OR电路53，在发现怀疑是产生了异常的规定的特征的情况下以固定周期产生“1”的信号(以下称为“触发信号”)并输出到OR电路53。例如，在检测出表示比预先设定的阈值大的最大值的波峰的情况下，触发器52判断为等离子体处理装置2产生了异常，并产生触发信号。 
触发器52的输出线可以按照每个传感器信号来设置，也可以汇总为一个。在此假设为形成前者的结构。OR电路53具备四个系统输入线，这四个系统输入线与按照四个超声波传感器41的每个超声波传感器41设置的触发器52的输出线相对应。 
OR电路53是以下这样的硬件：检查从触发器52发送过来的信号，当接收到触发信号时，通过以下说明的第一或者第二触发信号处理方法来进行处理。 
OR电路53的第一触发信号处理方法是以下方法：如果从触发器52接收到触发信号，则不管是来自哪一个输入线的触发信号，都将全部触发信号按时序实质上没有延迟地发送到PC 50。在超声波传感器41的配置数量少(例如两个)的情况下等，即使产生很多触发信号，但在PC 50中的异常检测/分析处理的负荷增加也有限的情况下，优选使用该第一方法。 
OR电路53的第二触发信号处理方法是以下方法：不管通过四个系统的输入线中的哪一个接收到触发信号，将在固定期间内产生的触发信号汇总为一个触发信号而输出到PC 50。 
具体地说，OR电路53当从触发器52接收到最初的触发信号时，将从该接收时刻起固定期间(以下称为“汇总期间”)内接收 到的全部触发信号视作是由于与导致最初的触发信号的异常相同的异常所引起的触发信号，产生将这些触发信号汇总为一个而得到的触发信号(以下称为“代表触发信号”)，将该代表触发信号输出到PC 50。代表触发信号被输出到PC 50之后又最初接收到的触发信号成为下一个汇总期间的开始基准。 
在第一、第二触发信号处理方法中的任一个触发信号处理方法，从OR电路53向PC 50的输出线为一个即可，因此OR电路53具备一个输出线。此外，也可以将触发器52和OR电路53构成为一个硬件。 
在PC 50中，根据从OR电路53输出的触发信号或者代表触发信号以及通过了滤波器51b的传感器信号，来进行用于确定等离子体处理装置2中产生异常的异常检测/分析处理。 
下面，在异常检测系统100中，以OR电路53按照上述第二触发信号处理方法来输出代表触发信号为例，来说明PC 50的结构以及数据处理方法等。 
PC 50具备：CPU 59；RAM 58，其为了进行异常检测/分析处理而临时存储程序数据、成为运算对象的数据；ROM 57，其用于存储引导程序、OS(Operating System：操作系统)用程序等；以及作为存储装置的HDD(硬盘驱动器)61，其用于保存在异常检测/分析处理中使用的程序、数据以及在异常分析中得到的中间数据、分析结果等。 
除此以外，PC 50例如还具备键盘、鼠标等输入单元、作为监视器的LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、图形板、使用CD-ROM、DVDRAM等存储介质的驱动器以及用于与局域网(LAN)、因特网等通信线路进行连接的接口等。 
另外，PC 50具备：触发产生时刻计数器54，其接收从OR电路53输出的代表触发信号，确定生成代表触发信号的时刻(以 下称为“触发产生时刻”)；数据记录器(Data Logger Board)55，其按照每个传感器信号以规定频率对通过了滤波器51b的四个系统的传感器信号进行数字采样，并保存为数字数据；以及数据记录器56，其以规定频率对高频电源19、21的监视信号进行数字采样，并保存为数字数据。 
触发产生时刻计数器54以及数据记录器55、56例如分别被安装于PC 50的PCI总线等上，通过安装于PC 50的驱动器进行动作控制。 
触发产生时刻计数器54具备内部时钟，例如将接收到代表触发信号的时间识别为触发产生时刻。如上所述，在从成为产生该代表触发信号的基准的、来自触发器52的最初的触发信号的产生时刻起经过了汇总期间时生成代表触发信号。因此，在等离子体处理装置2实际产生异常的时刻与触发产生时刻之间产生时间间隔。因此，如后述那样，在PC 50中进行考虑了该时间间隔的异常检测/分析处理。 
数据记录器55具备作为A/D变换器的功能，例如以1MHz的频率对通过了滤波器51b的传感器信号进行高速采样而变换为数字数据(以下称为“高速采样数据”)并存储。 
将采样频率设为1MHz是因为还能够检测出在产生之后几微妙内结束的微弧那样的异常放电。此外，能够从500kHz～5MHz的范围内选择数据记录器55中的采样频率。 
数据记录器55也具备内部时钟，高速采样数据作为按照该内部时钟的时序数据，被存储到数据记录器55，以固定周期向HDD 61移动并保存。这样，能够防止数据记录器55中的储存数据的溢出。 
数据记录器55的内部时钟与触发产生时刻计数器54的内部时钟同步。高速采样数据虽然表现出是在等离子体处理装置2 中实际产生异常的时刻由该异常引起的特征，但是如上所述，在等离子体处理装置2中实际产生异常的时刻与触发产生时刻之间会产生时间间隔。后述那样，在PC 50中，考虑该时间间隔来对高速采样数据进行处理。 
将数据记录器56中的采样频率例如设为10kHz来将监视信号变换为数字数据(以下称为“低速采样数据”)。 
数据记录器56也具备与触发产生时刻计数器54的内部时钟同步的内部时钟，低速采样数据作为按照该内部时钟的时序数据，被存储到数据记录器56，以固定周期向HDD 61移动并保存。这样，能够防止数据记录器56中的储存数据的溢出。 
这样，在异常检测系统100中，作为高速采样数据而无遗漏地获取用于确定等离子体处理装置2中产生的异常的详细数据。但是，高速采样数据的数据量是庞大的，如果对高速采样数据的全部进行分析，则需要很大的处理成本和时间。另外还需要，考虑在等离子体处理装置2中实际产生异常的时刻与触发产生时刻之间的时间间隔，来可靠地取得表示在高速采样数据中出现异常的特征。 
因此，在PC 50中，大致当触发产生时刻计数器54接收代表触发信号而决定触发产生时刻时，按照四个系统的每个传感器信号对存储在HDD 61中的高速采样数据中的触发产生时刻的前后固定期间(时间宽度)的数据进行切取(以下，将这样切取出的数据称为“范围限定数据”)并进行分析。其结果，对实际是否产生了异常以及在产生了异常的情况下具体产生了哪一种异常进行判断。PC 50执行用于进行这样的一系列处理的异常检测/分析程序。 
这样，通过在异常检测/分析处理中使用范围限定数据，能够减少数据处理量而将处理成本抑制为较低，同时还能够高效 率地进行高精度的异常检测，能够进行实时的异常检测/分析处理。另外，构成为分别通过不同的线程来执行触发产生时刻的决定、高速采样数据的收集、异常检测/分析处理，因此能够防止各处理的延迟。后面详细说明PC 50中的异常检测/分析处理方法。 
异常检测系统100可以构成为：在通过高速采样数据的分析而判断出产生了被认为对等离子体处理装置2的运转产生障碍的异常的情况下，将用于对等离子体处理装置2进行报警或者使下一个晶圆W的处理开始延迟的控制信号发送给等离子体处理装置2。 
在PC 50上连接有知识数据库(Knowledge Data Base)63，该知识数据库63保存了用于异常检测/分析处理的各种数据、异常检测/分析处理结果以及异常检测/分析处理结果的关联信息。 
存储在HDD 61中的高速采样数据中的、范围限定数据以外的数据是基本上是不需要的，因此在确定了范围限定数据之后将其它数据从HDD 61删除，并适当地将范围限定数据从HDD 61转移到知识数据库63并保存。 
在知识数据库63中，以与范围限定数据链接的方式保存异常检测/分析处理的结果、用于晶圆W的处理的工艺条件(制程数据)。在知识数据库63中，能够以与异常检测/分析处理的结果链接的方式保存由等离子体处理装置2产生的异常的种类、原因、处理方法等。 
保存在知识数据库63中的各种数据有助于设定用于此后的异常检测/分析处理的各种参数(例如，后述的正常模型、异常模式识别用模型的定义、各种阈值的定义等)。 
此外优选为，在与等离子体处理装置2相同类型的、配置于别处的等离子体处理装置上附加的异常检测系统构成为能够利 用通信线路访问到知识数据库63。由此，将与配置在别处的等离子体处理装置中产生的异常有关的信息储存到知识数据库63中，由此能够有助于等离子体处理装置2的异常检测/分析处理。另外，在配置于别处的等离子体处理装置上附加的异常检测系统通过从知识数据库63引用需要的信息，由此能够容易地应对该等离子体处理装置中产生的异常。 
接着，说明异常检测系统100的异常检测/分析处理方法。首先，说明异常检测/分析处理方法的概要，之后，详细说明在异常检测/分析处理中成为关键的处理。 
图4是表示异常检测系统100的运转方式的概要的流程图。 
等离子体处理装置2的新启动或者维护后启动，同时启动异常检测系统100。此时，有时会出现等离子体处理装置2的装置状况不明或者装置状况发生变化的情况，因此，首先通过小批测试(Pilot Run：小批试产)对超声波传感器41和高频电源19、21进行监视传感器的噪声级识别(步骤S1)。 
将在步骤S1中测量得到的噪声级与正常模型进行比较，如果处于允许范围内，则根据小批测试的测量结果来对正常模型的S/N比等进行调整，定义正常模型(步骤S2)。此外，正常模型是根据进行了规定的滤波处理等后的统计值、例如最大、最小、平均、分散等参数，针对等离子体处理装置2的空闲状态、等离子体产生中、以及除此以外(例如晶圆输送中)的区间等已定义区间内的来自各超声波传感器41的时序数据来定义的波形。 
另一方面，在图4中并未图示，但是在步骤S1中测量得到的噪声级表示任意的装置异常的情况、或者与以前的正常模型之差较大的情况下，进行报警等并将等离子体处理装置2锁定，是离子体处理装置2成为操作员、管理人员的检查对象。 
在步骤S2中定义了正常模型之后，进行波形识别用的阈值 的调整(步骤S3)。例如，确定用于在触发器52中产生触发信号的阈值、用于后述的下采样数据所示的波形中的波峰判断、特征量抽取的阈值。 
接着，对保存在HDD 61(或者知识数据库63)中的异常模式识别用模型进行上载(步骤S4)。异常模式识别用模型是表示波形的各种特征量，在PC 50中被用于与基于范围限定数据(高速采样数据)的波形之间的模式识别，例如被保存到RAM 58中。 
此外，在步骤S4中，也可以按照原因清楚的每个异常来上载一个或者多个异常模式识别用模型，另外，还能够上载过去检测出的异常即表示原因不清楚的波形的异常模式识别用模型。 
接着，通过异常模式识别用模型的模拟来进行识别率确认和评价(步骤S5)。在步骤S5中，能够使用在小批测试中得到的高速采样数据和低速采样数据来执行，但是也可以通过重新进行小批测试来执行。在步骤S5中得到了一定的识别率(例如90％)的情况下，结束对新启动和维护之后的启动进行的处理，等离子体处理装置2和异常检测系统100能够进行通常的运转(步骤S6)。 
此外，在图4中并未图示，但是在步骤S5中没有得到一定的识别率的情况下，反复进行操作步骤S2～S4直到得到一定的识别率。 
接着，在使等离子体处理装置2运转的情况下，在到步骤S5为止设定的条件下，由异常检测系统100进行等离子体处理装置2的监视(运转持续时处理开始)。当在等离子体处理装置2的运转过程中检测出异常(触发器52产生触发信号)时，异常检测系统100执行用于确定该异常的异常检测/分析处理(步骤S7)。 
针对通过步骤S7的异常检测/分析处理得到的结果判断是否正确地进行了异常判断(步骤S8)。例如在与异常模式识别用模型之间的模式识别的识别率低的情况下，设为“异常判断存在问题(步骤S8：“否”)”，重新设定各种参数(步骤S10)。 
在步骤S10中，例如进行阈值的调整、波形特征量的追加、异常模式识别用模型的追加等，接着，进行正常模型的再次定义以及识别率确认和评价(步骤S11)。在步骤S11中，在得到了固定的识别率的情况下，返回到步骤S7(异常检测/分析处理)。 
虽然在图4中并未明确示出，但是在步骤S11中没有得到固定的识别率的情况下，反复进行操作步骤S10～S11直到得到固定的识别率。 
在步骤S8中判断为“异常判断不存在问题(步骤S8：“是”)”的情况下，异常检测系统100继续运转(步骤S9)，直到等离子体处理装置2的运转停止为止进行等离子体处理装置2的监视(运转持续时处理结束)。 
接着，说明步骤S7(异常检测/分析处理)的详细过程。 
图5是表示异常检测/分析处理方法的概要过程的流程图。 
首先，获取晶圆W的工艺条件(制程数据)的信息(步骤S21)。例如，在仅希望检测出等离子体产生过程中产生的异常的情况下，通过获取工艺条件，能够仅在等离子体的产生开始起到结束的期间获取高速采样数据和低速采样数据。 
当开始接收来自超声波传感器41的传感器信号时，传感器信号被分配器65分配为两个系统的相同信号，一个信号通过滤波器51a减少频带之后，被输入到触发器52，另一个信号通过滤波器51b减少频带之后，被输入到PC 50(数据记录器55)(步骤S22)。 
当触发器52检测到在接收到的传感器信号中存在具有规定 阈值以上的最大值的波峰时，产生触发信号并输出到OR电路53。当OR电路53接收到触发信号时，按照上述第二触发信号处理方法来生成代表触发信号，输出到PC 50(步骤S23)。 
在步骤S22之后直接输入到PC 50的传感器信号通过数据记录器55被变换为高速采样数据并被临时存储，以固定周期转移并保存到HDD 61。当触发产生时刻计数器54从OR电路53接收到代表触发信号时，决定触发产生时刻，从高速采样数据中切取出范围限定数据(步骤S24)，并将除范围限定数据以外的不需要数据删除。 
关于在步骤S24中切取出的范围限定数据的期间，如果考虑到由等离子体处理装置2所产生的异常引起的AE在产生之后以固定期间衰减的情况以及在产生之后迅速生成触发信号的情况，则优选考虑到汇总期间而在触发产生时刻的时间前侧设定得较短，在触发产生时刻的时间后侧设定得较长以使波峰波形不会在中途中断。 
接着，对范围限定数据执行波形分析(步骤S25)。后面详细说明波形分析方法。步骤S25的处理由于需要针对在OR电路53中产生的、切出了全部代表触发信号的范围限定数据进行处理，因此要判断是否执行了接收到的代表触发信号数量的处理。 
如果接收到的代表触发信号数量的处理结束(步骤S26“是”)，则进行异常模式判断(步骤S27)。此时，即使是难以仅根据一个超声波传感器41的传感器信号来确定异常，也能够通过对从四个超声波传感器41得到的各传感器信号进行比较来大大提高能够确定异常原因的概率。 
另一方面，在接收到的代表触发信号数量的处理完成之前(步骤S26：“否”)，反复进行步骤S24、S25的处理。 
根据步骤S27的判断结果判断是否实际产生了异常(步骤 S28)。在异常的产生被确认的情况下(步骤S28：“是”)，PC 50向等离子体处理装置2发送用于执行警报发出、下一工序停止等的信号(步骤S29)，结束异常检测/分析处理。 
另一方面，在异常的产生没有被确认的情况、以及虽然是确认了异常的产生但是判断为不需要采取警报发出、下一工序停止等的措施的情况下(步骤S28：“否”)，结束异常检测/分析处理。此外，在结束异常检测/分析处理结束时，将在步骤S24、S25、S27中得到的各种数据保存到知识数据库63中。 
下面，更详细地说明上述步骤S23、S24、S25以及S27。 
图6是表示步骤S23(触发输出)的详细过程的流程图。 
通过了滤波器51a的传感器信号被输入到触发器52，进行简单的预处理(在此是10kHz的数字采样处理)(步骤S31)。 
根据在步骤S31中得到的采样数据，判断在传感器信号中是否存在最大值为阈值以上的波峰(步骤S32)。在存在最大值为阈值以上的波峰的情况下(步骤S32：“是”)，为了进一步将该波峰与噪声等的波峰区别，判断波峰是否持续固定期间以上、即是否存在固定期间以上的时间宽度(步骤S33)。 
在波峰持续固定期间以上的情况下(步骤S33：“是”)，触发器52产生触发信号，将触发信号输出到OR电路53(步骤S34)。在OR电路53中，判断是否从最初的触发信号起经过了汇总期间(步骤S35)，等待汇总期间的经过(步骤S35：“否”)。 
如果在步骤S35中经过了汇总期间(步骤S35：“是”)，则OR电路53使在汇总期间内接收到的触发信号结合来产生代表触发信号(步骤S36)，并输出到PC 50(步骤S37)。 
在步骤S37中输出了代表触发信号之后又最初接收到的触发信号成为生成下一个代表触发信号的基准的触发信号。在步骤S32、S33的判断为“否”的情况下，继续进行监视(步骤S38)， 根据步骤S37、S38的结束，结束步骤S23的处理。 
图7是表示步骤S24(波形切取/保存)的详细过程的流程图。 
当PC 50所配备的触发产生时刻计数器54接收到代表触发信号时(步骤S41)，决定触发产生时刻(步骤S42)。当在步骤S42中决定触发产生时刻时，通过对触发产生时刻应用预定的期间，对于高速采样数据和低速采样数据切取出触发产生时刻周边数据(范围限定数据的制作)(步骤S43)。此外，考虑到代表触发信号的生成所需的汇总时间来决定“预定的期间”。 
在步骤S43中切取出的范围限定数据被保存到HDD 61(步骤S44)，从HDD 61删除不需要的高速采样数据和低速采样数据。 
接着，进行范围限定数据的分析(波形分析：步骤S25)，将在步骤S25的过程中得到的时序数据保存到HDD 61(步骤S45)，适当地转移并保存到知识数据库63。另外，在HDD 61中保存在步骤S25中得到的分析结果(表示异常的波峰的特征量)(步骤S46)，结束波形切取/保存处理。 
图8是表示步骤S25(波形分析)的详细过程的流程图。 
对于一个代表触发信号存在四个范围限定数据。因此，对每个范围限定数据，判断峰值(最大振幅)是否为规定的阈值以上(是否存在具有阈值以上的峰值的波峰)(步骤S51)。在峰值小于阈值的情况下(步骤S51：“否”)，判断为不是有效的波形(步骤S55)，结束对该范围限定数据进行的波形分析处理。 
在峰值为阈值以上的情况下(步骤S51：“是”)，进行代表值抽取(下采样)(步骤S52)。由超声波传感器41产生的传感器信号表示电压值在正值与负值之间发生变化的振动波形，因此例如能够采用最大振幅(绝对值)作为代表值。在这种情况下，在步骤S52中，将负值变换为正值而与原始的正值进行叠加，将这 样得到的波形的最大振幅值连接起来的波形的数据加工成采样频率例如为10kHz的采样数据。 
此外，作为能够在步骤S52中采用的代表值，除了最大振幅以外，可以列举出最小振幅、平均振幅等，要根据检测对象信号的特性来选择。通过在步骤S52中减少数据数，能够减轻以后的步骤S53～S58中的数据处理负荷，并缩短数据处理时间。 
接着，根据所得到的下采样数据的波形，判断波峰是否持续固定期间以上(步骤S53)。例如，判断在固定期间以上的时间宽度内波形的高度是否维持在最大振幅的15％以上的高度。 
在波峰没有持续固定期间以上的情况下(步骤S53：“否”)，判断为不是有效的波形(步骤S55)，结束与该下采样数据以及作为其来源的范围限定数据有关的波形分析处理。 
在波峰持续固定期间以上的情况下(步骤S53：“是”)，判断为有效的波形(步骤S54)，估计该波形的时刻(用于确定波形的时刻)(步骤S56)。作为该时刻估计方法，按照数据处理时间从短到长的顺序，可以列举出能量监视、相互相关值监视、局部恒定AR模型等。在使用能量监视方法的情况下，能够将表示出最大振幅的时刻设为波形的时刻。 
之后，从下采样数据中抽取波形特征量(步骤S57)。作为波形特征量，可以列举出最大能量(最大振幅的时间积分值)、表示出最大能量的时刻、最大能量到达时刻(向表示出最大能量的时间前方向进行计数，低于最大能量的例如25％的最初的时刻)、最大能量消耗时刻(从表示最大能量的时刻向时间后方向进行计数，低于最大能量的例如25％的最初的时刻)以及间断波/连续波(在规定的期间内没有低于最大能量的例如25％的情况下为连续波，在低于的情况下为间断波)等。 
根据在步骤S56中求出的估计时刻以及在步骤S57中求出 的波形特征量，减少分析对象(范围)(步骤S58)。然后，关于在步骤S58中减少了的分析对象，从范围限定数据中抽取波形特征量(步骤S59)。具体地说，对范围限定数据(采样频率：1MHz)进行高速傅立叶变换(FFT：Fast Fourier Transform)，弄清楚波形特征。 
作为波形特征量，可以列举出FFT开始时刻(＝最大能量到达时间)、FFT结束时刻(从最大能量消耗时刻向时间前方向，FFT采样数成为2的乘方的最初的时刻)、FFT采样数(是用于FFT的采样数，例如能够将16348设为上限)、最大波峰频率(表示出最大振幅的频率)、平均频率(波峰面积(能量)超过全部波峰面积的50％的频率)以及基准频率以上的比例(基准频率(例如，采样频率的20％)以上的比例)等。这样，结束波形分析处理。 
图9是表示步骤S27(异常模式判断)的详细过程的流程图。 
首先，读取出工序处理条件(步骤S61)。根据读取出的工序处理条件能够限定可能发生的异常，因此能够进行异常模式识别用模型的减少，能够缩短判断时间。另外，能够提高判断发生异常时的正确度。 
接着，读取出通过波形分析(步骤S25)得到的波形特征量(步骤S62)，并且读取出异常模式识别用模型(步骤S63)。通过对在步骤S62中读取出的波形特征量与在步骤S63中读取出的异常模式识别用模型进行对比的模式识别算法，判断所发生的异常为哪种异常(步骤S64)。作为模式识别算法，能够使用公知的方法、例如将SVM(Support Vector Machine：支持向量机)等扩展到多级式判断等。这样，结束异常模式判断处理。 
接着，说明异常检测系统100的变形例。 
<变形例1> 
触发产生时刻计数器54和数据记录器55、56的结构并不限 于上述实施方式，也可以通过一个外部基准同步时钟对触发产生时刻计数器54和数据记录器55、56进行时钟控制。 
<变形例2> 
在上述实施方式中，在OR电路53中将多个触发信号汇总为一个代表触发信号(第二触发信号处理方法)，但是作为代表触发信号的生成方法，也可以使用以下方法。 
即，具有以下结构：在PC 50中，代替触发产生时刻计数器54，设置缓冲端口和时刻计数器，外部基准同步时钟向时刻计数器提供时刻信息。在OR电路53中，按照上述第一触发信号处理方法，按时序将从触发器52接收到的触发信号依次输出到缓冲端口。与此并行地，从时刻计数器输出的计数值被取入到缓冲端口。这样，对触发信号赋予计数值。 
缓冲端口将处于固定期间内的多个触发信号汇总为一个代表触发信号。此时，各触发信号具备时刻信息，因此作为代表触发信号的触发产生时刻，例如能够使用固定期间内的最初的触发信号所具有的时刻信息。 
于是，在使用上述第二触发信号处理方法的情况下，代表触发信号的触发产生时刻成为从产生代表触发信号的最初的触发信号的产生时刻起经过了汇总期间的时刻，但是在该方法中，能够将代表触发信号的触发产生时刻设为与等离子体处理装置2实际产生异常的时刻接近的时刻。 
<变形例3> 
作为OR电路53中的代表触发信号的其它产生方法能够使用以下方法：将最初接收到的触发信号作为代表触发信号输出到PC 50，之后，在经过与汇总期间相当的时间之前，不将接收到的触发信号输出到PC 50。在该方法中，也能够将由触发产生时刻计数器54决定的触发产生时刻设为与等离子体处理装置2 实际产生异常的时刻接近的时刻。 
<变形例4> 
在上述实施方式中，从保存在HDD 61中的高速采样数据中切取范围限定数据，但是并不限于此，也可以是以下结构：在将高速采样数据存储在数据记录器55中时，按照代表触发信号的接收来进行范围限定数据的切取，将切取出的范围限定数据从数据记录器55转移并保存到HDD 61，同时从数据记录器55将除范围限定数据以外的数据删除。对低速采样数据也能够使用同样的方法。 
另外，在根据高速采样数据来确定范围限定数据并删除不需要的数据时，也可以在确认了在不需要的数据中不存在固定阈值以上的波峰的基础上，执行删除。另外，即使范围限定数据被确定，也可以在固定时间不删除不需要数据，也可以将高速采样数据周期地转移到HDD 61而保存固定期间，适当地删除不需要的数据。 
<变形例5> 
在上述实施方式中，在波形分析处理的步骤S51中，将判断为峰值小于规定的阈值的范围限定数据从此后的分析对象中排除，并且，在步骤S53中，将波峰没有持续固定期间以上的下采样数据以及成为该下采样数据的来源的范围限定数据从此后的分析对象中排除，但是也可以构成以下的处理方法：将与一个代表触发信号对应的四个范围限定数据考虑为群，在群中存在被判断为峰值为规定阈值以上的范围限定数据的情况下，并且在波峰持续固定期间以上的下采样数据至少存在一个的情况下，对该群的全部数据进行下一步骤的处理。由此，能够掌握来自四个超声波传感器41的传感器信号的相互关系。 
<变形例6> 
在等离子体处理装置2中在等离子体产生过程中产生的异常放电在监视信号中出现的概率也高。于是，也可以构成为根据监视信号来产生触发信号。另外，对监视信号进行与对传感器信号的处理相同的处理，不仅是传感器信号，也可以根据监视信号所示的波形的特征量判断并确定异常原因等。 
<变形例7> 
在对传感器信号以1MHz进行高速采样时，也可以与高速采样数据同时制作与实际以10kHz进行采样的情况相同的间隔剔除数据，使用该间隔剔除数据来进行到时间估计的分析对象的减少(步骤S58)为止的数据处理。 
其中，该方法优选限定于以下情况：根据经验确认了即使使用10kHz采样数据来进行使用1MHz采样数据的步骤S51的峰值判断也不会有障碍的情况。 
以上，说明了本发明的实施方式，但是本发明并不限定于上述方式。将存储了实现上述实施方式的功能的软件的程序代码的存储介质提供给PC 50或者外部服务器，该PC 50或者外部服务器的CPU读取并执行存储在存储介质中的程序代码，由此也能达到本发明的目的。 
在这种情况下，从存储介质读取出的程序代码本身实现上述实施方式的功能，存储了该程序代码的存储介质构成本发明。 
另外，作为用于提供程序代码的存储介质，例如能够使用软盘(注册商标)、硬盘、光磁盘、CD-ROM、CD-R、CDRW、DVD-ROM、DVD-RAM、DVD-RW、DVD+RW、磁带、非易失性存储卡以及ROM等。另外，也可以通过网络来下载程序代码。在这种情况下，从与因特网、商用网络、或者局域网络等相连接的未图示的其它计算机、数据库等下载并提供上述程序代码。 
另外，不仅包括由CPU通过执行所读取出的程序代码来实现上述实施方式的功能的情况，还包括以下情况：根据该程序代码的指示，在CPU上运行的OS等进行实际处理的一部分或者全部，通过该处理来实现上述实施方式的功能。 
并且，还包括以下情况：从存储介质读取出的程序代码被写入到插入到PC 50或者外部服务器中的功能扩展卡、与PC 50、外部服务器相连接的功能扩展单元所具备的存储器之后，根据该程序代码的指示，该功能扩展卡、功能扩展单元所具备的CPU等进行实际处理的一部分或者全部，通过该处理来实现上述实施方式的功能。 
上述程序代码的方式也可以由对象代码、由解释程序执行的程序代码、提供给OS的脚本数据等的方式构成。 
在上述实施方式所涉及的等离子体处理装置中，为了检测等离子体异常放电，除了使用来自超声波传感器的传感器信号以外，还使用来自高频电源19、21的监视信号，但是还能够与该监视信号一并使用，或者不使用该监视信号而使用其它信号，例如来自电流值监视器、反射波监视器以及相位监视器的监视信号，其中，上述电流值监视器对流向基座、晶圆W吸附用的电极板的电流的值进行测量，该反射波监视器对来自基座的高频电力的反射波进行测量，该相位监视器对高频电力的相位的变动进行测量。 
在上述实施方式中，说明了将异常检测系统应用于作为等离子体处理装置的一种的蚀刻装置的情况，但是异常检测系统还能够应用于CVD成膜装置、灰化装置等其它等离子体处理装置，并且，并不限定于等离子体处理装置，还能够应用于涂敷显影装置、衬底清洗装置、热处理装置以及蚀刻装置等。 
在上述实施方式中，作为被处理的衬底，提出了晶圆W，但是被处理衬底并不限于此，也可以是FPD(Flat Panel Display：平板显示器)等玻璃衬底。 

Claims (10)

1.一种异常检测系统，其用于对处理装置中产生的异常进行检测，该异常检测系统特征在于，包括：
多个超声波传感器，其用于检测在上述处理装置中产生的声发射；
分配单元，其将上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；
触发产生单元，其以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；
触发产生时刻决定单元，其接收上述触发信号来决定触发产生时刻；
数据制作单元，其以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及
数据处理单元，其通过对上述采样数据中的与以由上述触发产生时刻决定单元决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对上述处理装置中产生的异常进行分析。
2.根据权利要求1所述的异常检测系统，其特征在于，
还具备触发信号处理单元，在规定期间内产生了多个上述触发信号时，该触发信号处理单元将多个上述触发信号汇总为一个信号来作为代表触发信号，
上述触发产生时刻决定单元针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。
3.根据权利要求1或2所述的异常检测系统，其特征在于，
还具有滤波器，该滤波器从上述多个超声波传感器的各输出信号中去除噪声。
4.根据权利要求1或2所述的异常检测系统，其特征在于，
上述第一频率是10kHz～5MHz，
上述第二频率是500kHz～5MHz。
5.一种异常检测方法，对处理装置中产生的异常进行检测，其特征在于，包括以下步骤：
检测步骤，通过多个超声波传感器来检测在上述处理装置中产生的声发射；
分配步骤，通过分配单元将在上述检测步骤中得到的来自上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；
触发信号产生步骤，通过A/D变换单元以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时通过信号产生单元来产生触发信号；
触发产生时刻决定步骤，通过时刻计数器单元接收上述触发信号来决定上述触发信号的触发产生时刻；
采样数据制作步骤，通过A/D变换单元以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及
数据处理步骤，通过由计算机对上述采样数据中的以在上述触发产生时刻决定步骤中决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间所对应的数据进行波形分析，由此对上述处理装置中产生的异常进行分析。
6.根据权利要求5所述的异常检测方法，其特征在于，
还包括触发信号处理步骤，在上述触发信号产生步骤中在规定期间内产生了多个上述触发信号时，在该触发信号处理步骤中将多个上述触发信号作为代表触发信号而汇总为一个信号，
在上述触发产生时刻决定步骤中，针对上述代表触发信号决定上述触发产生时刻。
7.根据权利要求5或6所述的异常检测方法，其特征在于，
还包括噪声去除步骤，在该噪声去除步骤中通过滤波器从在上述分配步骤中得到的上述第一信号和上述第二信号中去除噪声。
8.根据权利要求5或6所述的异常检测方法，其特征在于，
上述第一频率是10kHz～5MHz，
上述第二频率是500kHz～5MHz。
9.根据权利要求5或6所述的异常检测方法，其特征在于，
上述数据处理步骤包括以下步骤：
切取步骤，从上述采样数据切取与上述固定期间相对应的数据；
第一波形特征量抽取步骤，对通过上述切取步骤切取出的数据采用代表值来进行下采样，在制作得到的下采样数据中存在有效的波形的情况下，从上述下采样数据中抽取波形特征量；
第二波形特征量抽取步骤，对通过上述第一波形特征量抽取步骤抽取出的波形特征量的时刻进行估计，由此减少通过上述切取步骤切取出的数据的分析对象，针对上述分析对象从通过上述切取步骤切取出的数据中抽取波形特征量；以及
判断步骤，进行通过上述第二波形特征量抽取步骤得到的波形特征量与预先设定的异常模式识别模型之间的模式识别，由此判断上述处理装置中产生的异常。
10.根据权利要求5或6所述的异常检测方法，其特征在于，
还包括在上述检测步骤之前进行的工艺条件获取步骤，在该工艺条件获取步骤中获取由上述处理装置执行的规定处理的工艺条件，
仅在通过上述工艺条件获取步骤获取的上述工艺条件中包含的上述规定处理的执行期间内执行上述检测步骤。
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