JP4673601B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
(1)配管インシュレータ39の側壁について
チャンバ10内に高周波電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ着火時に、処理ガス導入管38内において異常放電が発生すると、処理ガス導入管38における配管インシュレータ39等の構成部品が溶損して損傷することがある。しかしながら、処理ガス導入管38内は外部から視認不可能であり、チャンバ10の様にメンテナンス用蓋を有していないため、構成部品の損傷を発見することが困難である。そのため、構成部品の損傷が進行して該構成部品の破壊に至る。
(2)給電棒固定用治具62について
チャンバ10内に高周波電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ着火時には、高周波電力が供給される下部電極としてのサセプタ11の近傍で最も異常放電が発生し易いため、サセプタ11は静電破壊し易い。
(3)チャンバ10の下方について
異常放電に起因する超音波の振幅は伝達経路の長さに応じて減衰するため、超音波センサ41を、一方の異常放電の発生箇所、例えば、配管インシュレータ39から遠く、且つ他方の異常放電の発生箇所、例えば、サセプタ11から近い場所に配置することによってどちらの箇所において異常放電が発生したのかを判別することができる。すなわち、検出された超音波の振幅が小さいときには、配管インシュレータ39内において異常放電が発生したと判別し、検出された超音波の振幅が大きいときには、サセプタ11の近傍において異常放電が発生したと判別することができる。
2,113 プラズマ処理装置
5 ゲートバルブ
10 チャンバ
11 サセプタ
12 排気路
13 バッフル板
14 APC
15 TMP
16 DP
17 排気管
18 高周波電源
19 整合器
20,35 電極板
22 直流電源
24 フォーカスリング
25 冷媒室
26 配管
27 伝熱ガス供給孔
28 伝熱ガス供給ライン
29 伝熱ガス供給部
30 プッシャーピン
31 搬入出口
33 シャワーヘッド
34 ガス通気孔
36 電極支持体
37 バッファ室
38 処理ガス導入管
39 配管インシュレータ
40 給電棒
41a,b,c,d,e 超音波センサ
42,91 受波板
43,47,92,101 銀蒸着膜
44,93 ピエゾ素子
45、98 シールドケース
46,99,100 コネクタ
48,102,109,110 内部配線
49,103,104,111 外部配線
50 電位プローブ
51,107,108 プリアンプ
52 パーソナルコンピュータ(PC)
53 アルミ板
54a,94a 閉塞端
54b,94b 開放端
55,95 石英管
56,96 フェライトコア
57,97 導線
58,112 電位変動計測用穴
59a,b Oリング
62 給電棒固定用治具
63 絶縁カバー
64 フランジ部
90 一体型異常放電検出ユニット
105 AND部
106 信号処理部
114 発光モニタ
115 発光モニタ用窓
116 ケーブル
Claims (4)
- 基板を収容する収容室と、該収容室内に配置され且つ該収容室内に高周波電力を印加してプラズマを発生させる電極と、前記収容室に処理ガスを導入する配管とを備えるプラズマ処理装置において、
前記プラズマの発生中に前記収容室内の電位変動を検出する電位変動検出装置と、
前記プラズマの発生中に前記収容室内の超音波及び機械的振動を検出する超音波検出装置と、
前記電位変動検出装置によって前記電位変動が検出されたタイミングと同じタイミングで前記超音波検出装置によって前記超音波が検出されたときに、異常放電が発生したと判別する異常放電判別装置とを備え、
前記電位変動検出装置及び前記超音波検出装置は1つの筺体に収容され、一体化されて前記プラズマ処理装置に取り付けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 他の超音波検出装置をさらに備え、
前記筺体が前記配管の側面に設けられた場合には、前記他の超音波検出装置を前記収容室の外壁に設け、
前記筺体が前記収容室の外壁に設けられた場合には、前記他の超音波検出装置を前記配管の側面に設けることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。 - 前記電極に接続されて該電極に高周波電力を供給する給電棒をさらに備え、
前記超音波検出装置及び前記他の超音波検出装置のうちいずれか一方が前記給電棒に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記電位変動検出装置は、前記電位変動によって誘起された電圧の高周波成分を除去する高周波除去装置を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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