JP7331750B2 - 製造装置監視システムおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態の製造装置監視システムについて、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の製造装置監視システムは、半導体装置を製造する工場等で適用されると好適であり、対象となる製造装置の異常判定を行う。以下では、対象となる製造装置がプラズマエッチング装置であり、プラズマエッチング装置で加工対象物である半導体ウェハを処理する例について説明する。
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対し、異常判定部50で行う処理を変更したものである。その他に関しては、第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
12 プロセスデータ検出部
32 プロセスデータ処理部
50 異常判定部
Claims (8)
- 加工対象物に対して複数の異なる処理ステップ(S1~S3)を順に実行する製造装置(10)の異常判定を行う製造装置監視システムであって、
前記製造装置で前記加工対象物を処理するプロセスを可視化した検出プロセスデータを出力するプロセスデータ検出部(12)と、
前記検出プロセスデータを取得し、前記検出プロセスデータに所定の処理を行った処理プロセスデータを構成するプロセスデータ処理部(32)と、
前記製造装置の異常判定を行う異常判定部(50)と、を有し、
前記プロセスデータ処理部は、前記処理ステップ内に複数の前記処理プロセスデータが存在するように、連続的に前記検出プロセスデータを取得して前記処理プロセスデータを構成し、
前記異常判定部は、それぞれの前記処理ステップにおいて、複数の前記処理プロセスデータを用いた前記製造装置の異常判定を行う製造装置監視システム。 - 前記製造装置の処理条件に基づいた検出因子データを出力する因子データ検出部(11)と、
前記検出因子データを取得し、前記検出因子データに所定の処理を行った処理因子データを構成する因子データ処理部(31)と、を備え、
前記因子データ処理部は、前記処理ステップ内に複数の前記処理因子データが存在するように、連続的に前記検出因子データを取得して前記処理因子データを構成し、
前記異常判定部は、それぞれの前記処理ステップにおいて、複数の前記処理プロセスデータおよび複数の前記処理因子データを用いた前記製造装置の異常判定を行う請求項1に記載の製造装置監視システム。 - 前記異常判定部は、前記処理プロセスデータおよび前記処理因子データの時間軸を一致させて前記製造装置の異常判定を行う請求項2に記載の製造装置監視システム。
- 前記異常判定部は、前記処理ステップを複数に分割した分割期間(B1~B3)を構成し、それぞれの前記分割期間において、前記製造装置の異常判定を行う請求項1ないし3のいずれか1つに記載の製造装置監視システム。
- 前記異常判定部は、前記分割期間として、前記処理ステップを少なくとも3分割した第1~第3分割期間を構成し、前記第1~第3分割期間において、前記製造装置の異常判定を行う請求項4に記載の製造装置監視システム。
- 前記異常判定部は、前記分割期間のそれぞれに対し、所定の処理を行った処理データの平均値を算出し、算出した前記平均値を用いた多変量解析を行って前記製造装置の異常判定を行う請求項4または5に記載の製造装置監視システム。
- 前記製造装置は、プラズマエッチング装置であり、
前記プロセスデータ検出部は、プラズマの波長に基づく発光強度に関する前記検出プロセスデータを出力し、
前記プロセスデータ処理部は、少なくとも1つ以上の波長の発光強度に関する前記検出プロセスデータに所定の処理を行って前記処理プロセスデータを構成する請求項1ないし6のいずれか1つに記載の製造装置監視システム。 - 複数の異なる処理ステップ(S1~S3)を順に実行する製造装置(10)で処理されることを含む半導体装置の製造方法であって、
前記製造装置で前記処理ステップを順に実行し、加工対象物としての半導体ウェハを処理することと、
前記製造装置の異常判定を行うことと、を行い、
前記異常判定を行うことでは、
前記半導体ウェハを処理することの際に、前記製造装置で前記半導体ウェハを処理するプロセスを可視化した検出プロセスデータを取得することと、
前記検出プロセスデータに所定の処理を行って連続的に処理プロセスデータを構成し、前記処理ステップ内に複数の前記処理プロセスデータが存在するようにすることと、
それぞれの前記処理ステップにおいて、複数の前記処理プロセスデータを用いて前記製造装置の異常判定を行うことと、を行う半導体装置の製造方法。
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JP2006128304A (ja) | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置、該装置の異常放電検出方法、プログラム、及び記憶媒体 |
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