CN102471128A - 超薄板玻璃基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种超薄板玻璃基板的制造方法，具备：保持玻璃基板的预成形坯而向制造生产线供给的供给工序；将从该供给工序供给的该预成形坯加热至软化点附近的加热工序；及使在该加热工序中软化了的预成形坯延伸而形成为超薄板玻璃基板的延伸工序，所述超薄板玻璃基板的制造方法的特征在于，所述预成形坯是卷绕在辊直径100mm～1500mm的圆筒状的第一卷绕辊上的、厚度Tp＝20μm～250μm、宽度Wp＝10mm～2000mm、长度＝1m～5000m的预成形坯，通过所述延伸工序而制造的超薄板玻璃基板是厚度Tg＝2μm～50μm、宽度Wg＝0.3mm～500mm、长度＝5m～500000m的基板，设由所述延伸工序引起的所述预成形坯的厚度方向的缩小率为Tg/Tp、宽度方向的缩小率为Wg/Wp时，Tg/Tp＝1/125～1/2，Wg/Wp＝1/125～1。

Description

超薄板玻璃基板的制造方法

技术领域

本技术涉及在显示装置、电子纸、触摸面板、半导体集成电路、MEMS、有机EL照明装置等的制造中使用的厚度50μm以下的超薄板玻璃基板的制造方法。

背景技术

厚度为1mm以下的薄板玻璃基板的制造方法一直使用浮法、熔化法、狭缝下拉法、再曳引(redraw)法。

浮法使熔融玻璃浮游在熔融锡上，保持熔融玻璃的宽度方向两端部，并扩大熔融玻璃的宽度，从而制造玻璃基板。然而，为了制造熔融锡上的熔融玻璃的平均厚度超过4mm且厚度为4mm以下的薄板玻璃基板，而需要更强地拉伸熔融玻璃的宽度方向两端部，并进一步扩大熔融玻璃的宽度，因此极难使薄板玻璃基板整体的厚度均一。浮法产生的薄板玻璃基板的厚度的极限为0.3mm左右。

熔化法将熔融玻璃向桶内注入，使熔融玻璃从桶溢出，将在桶下方一体化后的熔融玻璃下拉而制造薄板玻璃基板。为了制造薄板玻璃基板，需要平衡性良好地调整下拉熔融玻璃的张力和保持熔融玻璃的向横向的张力。若所述平衡性差，则板厚偏差大，成为存在起伏的薄板玻璃基板。熔化法产生的薄板玻璃基板的厚度的极限为50μm左右。

狭缝下拉法将熔融玻璃向桶内注入，对从形成于桶底的狭缝流出的熔融玻璃进行冷却，并利用重力及向下方的张力下拉而制造薄板玻璃基板。下拉的工序中的温度区域从低粘性的温度区域到接近固体的温度区域，因此在这样广的温度区域中，难以控制薄板玻璃基板的变形。狭缝下拉法产生的薄板玻璃基板的厚度的极限为0.1mm左右。另外，由于薄板玻璃基板的表面与狭缝接触，因此容易受到狭缝的形状、材质的影响。因此，存在薄板玻璃基板的表面品质容易变差这样的缺点。

再曳引法是垂直地保持玻璃基板并向下方输送，利用电炉等的加热工序将输送到下方的玻璃基板的下端加热至软化点附近，使软化后的玻璃基板向下方延伸，从而制造薄板玻璃基板。薄板玻璃基板的截面成为加热前的玻璃基板(以下，称为“预成形坯”)的相似形，因此通过提高预成形坯的尺寸精度，而能够高尺寸精度地制造出薄板玻璃基板。

作为再曳引法的制造方法，在专利文献1中记载有对1个预成形坯进行加热及延伸并制造超薄板玻璃基板的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特表2008-508179公报

非专利文献

非专利文献1：“玻璃工学手册”，朝仓书店，1999年，P419

发明内容

近年来，为了效率良好地量产电子装置，而考虑有将长条的薄板玻璃基板卷绕成辊状而向后工序(包括客户处)供给。

然而，专利文献1的制造方法采用分批式，根据预成形坯的长度而制造的超薄板玻璃基板的长度受到限制。例如，在使长度1m、厚度0.1mm的预成形坯延伸成厚度10μm的超薄板玻璃基板时，若设预成形坯的宽度方向的截面形状的相似比为10∶1，则制造长度100m的超薄板玻璃基板是极限，不可能制造出长条的超薄板玻璃基板。

另外，非专利文献1的制造方法利用加热器等对加热工序投入前的相邻的预成形坯的上端和下端进行加热接合，通过对加热接合后的预成形坯进行加热及延伸，来制造长条的超薄板玻璃基板。可是，在对板厚较薄的预成形坯的端部彼此进行加热接合时，由于向预成形坯端部的局部加热，而预成形坯端部可能会发生破损、变形。另外，即使使预成形坯端部彼此的位置对合、基于加热器等的加热条件最适化，但需要用于位置对合、加热接合的工序时间，生产性下降。

本发明者为了解决上述课题而仔细地反复研究，完成了本发明。

即，本发明与以下的(1)～(7)相关。

(1)一种超薄板玻璃基板的制造方法，具备：保持玻璃基板的预成形坯而向制造生产线供给的供给工序；将从该供给工序供给的该预成形坯加热至软化点附近的加热工序；及使在该加热工序中软化了的预成形坯延伸而形成为超薄板玻璃基板的延伸工序，所述超薄板玻璃基板的制造方法的特征在于，所述预成形坯是卷绕在辊直径100mm～1500mm的圆筒状的第一卷绕辊上的、厚度Tp＝20μm～250μm、宽度Wp＝10mm～2000mm、长度＝1m～5000m的预成形坯，通过所述延伸工序而制造的超薄板玻璃基板是厚度Tg＝2μm～50μm、宽度Wg＝0.3mm～500mm、长度＝5m～500000m的基板，设由所述延伸工序引起的所述预成形坯的厚度方向的缩小率为Tg/Tp、宽度方向的缩小率为Wg/Wp时，成为Tg/Tp＝1/125～1/2，Wg/Wp＝1/125～1。

(2)根据(1)所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述预成形坯在该预成形坯的单面或双面上重叠厚度10μm～1000μm的第一保护片而卷绕于所述第一卷绕辊，在将该预成形坯投入到所述加热工序之前，还具备将该第一保护片从该预成形坯剥离的保护片剥离工序。

(3)根据(1)或(2)所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述延伸工序是利用一个或一对延伸辊进行延伸的工序，使所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板与一个延伸辊接触而拉伸该超薄板玻璃基板，或者，利用一对延伸辊把持所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板而拉伸该超薄板玻璃基板。

(4)根据(1)～(3)中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述加热工序利用把持辊来把持所述软化了的预成形坯的宽度方向两端部。

(5)根据(1)～(4)中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述延伸工序后，还具备将所述超薄板玻璃基板卷绕于辊直径50mm～2000mm的圆筒状的第二卷绕辊的工序。

(6)根据(3)～(5)中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述延伸工序中，在所述延伸辊与所述超薄板玻璃基板之间插入厚度10μm～1000μm的第二保护片。

(7)根据(5)或(6)所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述延伸工序后，向所述超薄板玻璃基板的单面或双面供给厚度10μm～1000μm的第三保护片，使该超薄板玻璃基板与该第三保护片重合，利用所述第二卷绕辊来卷绕。

发明效果

根据本发明，利用再曳引法使卷绕于圆筒状的辊上的长条的预成形坯延伸，由此，与以往的使用短的预成形坯的再曳引法相比，能够提供一种生产性高、长条的超薄板玻璃基板的制造方法。

附图说明

图1是表示本发明的超薄板玻璃基板的制造方法的实施方式的简要剖视图。

图2A是表示图1的实施方式的宽度延伸工序的简要主视图。

图2B是表示图2A的变形例的简要主视图。

具体实施方式

使用附图，说明本发明的超薄板玻璃基板的制造方法的实施方式。

图1是表示显示本发明的超薄板玻璃基板的制造方法的实施方式的简要剖视图。

在图1所示的实施方式中，在供给工序中，卷绕于第一卷绕辊2的预成形坯1由输送辊3向下方放出。然后，在保护片剥离工序中，通过保护片剥离辊4将粘接在预成形坯1的单面或双面上的第一保护片5从预成形坯1剥离。在加热工序中，预成形坯1被投入到加热炉6，被加热至软化点附近而软化。在加热炉6内软化了的预成形坯1在延伸工序中由延伸辊7向下方拉伸而延伸，成为超薄板玻璃基板9。在所述超薄板玻璃基板9与延伸辊7之间插入第二保护片8，第二保护片8与超薄板玻璃基板9的表面粘接，对超薄板玻璃基板9的表面进行保护。最后，将超薄板玻璃基板9卷绕于第二卷绕辊10。

对本发明的预成形坯1进行说明。

预成形坯1的形状并未特别限制，但优选大致矩形形状。预成形坯1的厚度为20μm～250μm，优选为30μm～200μm，更优选为40μm～150μm，进一步优选为50μm～100μm以下。若预成形坯1的厚度为20μm以上，则在加热炉6中软化后的预成形坯1难于因延伸辊7的拉伸而发生断裂。若预成形坯1的厚度为250μm以下，则能够不使预成形坯1破损地卷绕在辊直径小的第一卷绕辊2上。

预成形坯1的宽度为10mm～2000mm，优选为20mm～1800mm，更优选为30mm～1600mm，进一步优选为40mm～1400mm。若预成形坯1的宽度为10mm以上，则在加热炉6中软化了的预成形坯1难于因延伸辊7的拉伸而发生断裂。若预成形坯1的宽度为2000mm以下，则能够实现超薄板玻璃基板制造装置的小型化，以及无需使保护预成形坯1的第一保护片5的尺寸大型化，容易获得。

预成形坯1的长度为1m～5000m，优选为2m～4000m，更优选为3m～3000m，进一步优选为5m～2000m。若预成形坯1的长度为1m以上，则通过再曳引法制造的超薄板玻璃基板9的长度成为长条，能得到生产性的改善效果。若预成形坯1的长度为5000m以下，则卷绕于第一卷绕辊2的预成形坯1的辊直径减小，能够实现超薄板玻璃基板制造装置的小型化。

预成形坯1的组成并未特别限制，例如可以与以往已知的含有碱金属氧化物的玻璃、无碱玻璃相同。其中，从能得到超薄板玻璃基板9的强度、化学耐久性优良的方面出发，优选无碱玻璃。

制造预成形坯1的方法也并未特别限制，可列举有以往已知的方法。例如，能够适用浮法、熔化法、狭缝下拉法、引上。

对本发明的第一卷绕辊2进行说明。

第一卷绕辊2是用于卷绕预成形坯1的辊。第一卷绕辊2的形状优选为圆筒状。在此，圆筒状是指实质上为大致圆筒状。为了保护预成形坯1，第一卷绕辊2的宽度的尺寸只要为预成形坯1的宽度以上就无特别限制。

第一卷绕辊2的辊直径为100mm～1500mm，优选为150mm～1000mm，更优选为200mm～800mm，进一步优选为300mm～500mm。若为100mm以上，则能够不失去预成形坯1的挠性地将预成形坯1卷绕于第一卷绕辊2。若第一卷绕辊2的辊直径为1500mm以下，则卷绕于第一卷绕辊2的预成形坯1的辊直径减小，能够实现超薄板玻璃基板制造装置的小型化。

第一卷绕辊2的材质只要是不会因卷绕的预成形坯1的重量而发生变形的刚性就无特别限制。

另外，预成形坯1在预成形坯1的单面或双面上重叠第一保护片5而卷绕于第一卷绕辊2。因此，能够防止预成形坯1彼此或预成形坯1与第一卷绕辊2的接触造成的预成形坯1表面的损伤。在预成形坯1表面具有损伤时，在制造超薄板玻璃基板9期间，预成形坯1可能会发生损坏。

第一保护片5的厚度优选为10μm～1000μm，更优选为12μm～800μm，进一步优选为15μm～700μm，最优选为20μm～600μm。若为10μm以上，则第一保护片5的强度充分强，起到防止对预成形坯1表面造成损伤的作用，因此优选。若第一保护片5的厚度为1000μm以下，则卷绕在第一卷绕辊2上的预成形坯1的辊直径减小，因此优选。

此外，第一保护片5优选在将预成形坯1投入到加热炉6之前从预成形坯1剥离。具体而言，优选，在加热炉6附近，在第一保护片5发生软化、熔融、燃烧等状态的变化之前，将第一保护片5从预成形坯1剥离。

第一保护片5的材质只要能够保护预成形坯1的表面就无特别限制，例如可列举有树脂或纸。若为树脂，则可列举有聚酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚烯烃树脂、聚乙烯醇树脂、硅酮树脂、聚酰胺树脂、丙烯酸树脂、聚苯乙烯树脂、三乙酰纤维素树脂、聚亚胺树脂、聚氯乙烯树脂、氟系树脂等。另外，也可以是它们的共聚物或含有填料等添加剂的树脂。若为纸，则可列举有例如广泛普及的木质纸、草纸、不燃纸、难燃纸。也可以对这些纸实施特殊加工。

需要说明的是，第一保护片5的结构也可以由2层以上构成。这种情况下，第一保护片5的厚度表示全部的层的总计的厚度。另外，第一保护片5由2层以上构成时，形成各层的树脂或纸的种类也可以不同。

在将预成形坯1和第一保护片5卷绕于第一卷绕辊2时，预成形坯1和第一保护片5仅重叠即可，也可以通过粘接材料等产生的粘接力、或固体分子间的范德瓦尔斯力引起的粘接力中的任一种力将预成形坯1和第一保护片5形成为一体。但是，为了保护预成形坯1的表面并将第一保护片5从预成形坯1容易地剥离，而预成形坯1和第一保护片5优选以所述粘接力来粘接。

保护片剥离工序只要不使预成形坯1损坏地容易地将第一保护片5从预成形坯1剥离就无特别限制。例如，在圆筒状的剥离辊4的曲面涂敷粘接材料，将剥离辊4的曲面按压在第一保护片5的表面，将第一保护片5从预成形坯1剥离而卷绕于剥离辊4。或者能够取代所述粘接材料而使用具有粘接力的材料来从预成形坯1将第一保护片5剥离。

对本发明的超薄板玻璃基板9进行说明。

能够利用延伸辊7使在加热炉6中软化后的预成形坯1向下方延伸，由此制造超薄板玻璃基板9。超薄板玻璃基板9的截面形状成为将加热前的预成形坯1的截面的尺寸缩小后的相似形状。

超薄板玻璃基板9的厚度为2μm～50μm，优选为3μm～40μm，更优选为5μm～30μm，进一步优选为7μm～20μm。若超薄板玻璃基板9的厚度为2μm以上，则难于因延伸辊7产生的拉伸而发生断裂。为了轻量化，超薄板玻璃基板9的厚度为50μm以下。另外，通过形成为50μm以下，能够将弯曲时因应力而破裂的可能性抑制得较低。更优选为30μm以下。此外，若超薄板玻璃基板9的厚度为50μm以下，则除了本发明的制造方法以外(例如熔化法)，制造变得困难，若比30μm薄，则除了本发明的制造方法以外，例如在熔化法中不能制造，因此确保本发明的优越性。

超薄板玻璃基板9的宽度为0.3mm～500mm，优选为1mm～400mm，更优选为10mm～350mm，进一步优选为100mm～300mm。若超薄板玻璃基板9的宽度为0.3mm以上，则难于因延伸辊7产生的拉伸而发生断裂。若超薄板玻璃基板9的宽度为500mm以下，则能够实现超薄板玻璃基板制造装置及使用超薄板玻璃基板9的产品的制造装置的小型化。

超薄板玻璃基板9的长度为5m～500000m，优选为10m～200000m，更优选为20m～100000m，进一步优选为50m～50000m。若超薄板玻璃基板9的长度为5m以上，则能够制造出在以往的再曳引法中使用的预成形坯的加热接合中不可能实现的高生产性的长条的超薄板玻璃基板9。若超薄板玻璃基板9的长度为500000m以下，则能够实现超薄板玻璃基板9的保管占有面积的缩小化、使用超薄板玻璃基板9的产品的制造装置的小型化。

若设预成形坯1的厚度为Tp、设超薄板玻璃基板9的厚度为Tg、设由延伸辊7引起的预成形坯1的厚度方向的缩小率为Tg/Tp，则Tg/Tp＝1/125～1/2，优选为1/75～1/3，更优选为1/50～1/4，进一步优选为1/25～1/5。若Tg/Tp为1/125以上，则超薄板玻璃基板9难于因延伸辊7的拉伸而发生断裂。若Tg/Tp为1/2以下，则能够实现超薄板玻璃基板制造装置及使用超薄板玻璃基板9的产品的制造装置的小型化。

若设预成形坯1的宽度为Wp、设超薄板玻璃基板9的宽度为Wg、设由延伸辊7引起的预成形坯1的宽度方向的缩小率为Wg/Wp，则Wg/Wp＝1/125～1，优选为1/75～4/5，更优选为1/50～2/3，进一步优选为1/25～1/2。若Wg/Wp为1/125以上，则超薄板玻璃基板9难于因延伸辊7产生的拉伸而发生断裂。若Wg/Wp为1以下，则能够实现超薄板玻璃基板制造装置及使用超薄板玻璃基板9的产品的制造装置的小型化。

接下来，分别说明本发明中的供给工序、加热工序、延伸工序及卷绕超薄板玻璃基板的工序。

对本发明的供给工序进行说明。

本发明中的供给工序保持预成形坯1而向制造生产线供给。保持预成形坯1的方向并未受到限制，可以如图1所示那样垂直地保持预成形坯1而向下方供给，也可以水平地保持而供给。另外，只要是能够不使预成形坯1破损而向加热工序输送的工序就无特别限制。例如，可列举有把持图1所示的预成形坯1的两面而输送预成形坯1的输送辊3。

对本发明的加热工序进行说明。

本发明的加热工序利用加热炉6将从所述供给工序送出的预成形坯1加热至软化点附近而使其软化。只要是能够将预成形坯1加热至软化点附近的加热炉就无特别限制，例如可列举有电炉、煤气炉。

对本发明的延伸工序进行说明。

本发明中的延伸工序是利用一个或一对延伸辊7进行延伸的工序，优选使加热工序后的超薄板玻璃基板9与一个延伸辊7接触而拉伸超薄板玻璃基板9，或利用一对延伸辊7把持加热工序后的超薄板玻璃基板9而拉伸超薄板玻璃基板9。在使超薄板玻璃基板9与延伸辊接触或由所述延伸辊把持的状态下使延伸辊7旋转时，延伸辊7的旋转转矩作用于超薄板玻璃基板而拉伸超薄板玻璃基板，对应于该拉伸，利用加热工序软化了的预成形坯1延伸，从而形成超薄板玻璃基板9。

软化后的预成形坯1在自由空间内延伸，因此能够制造表面品位良好的超薄板玻璃基板9。

延伸辊7的形状优选为圆筒状。在此，圆筒状是指实质上为大致圆筒状。延伸辊7的宽度的尺寸只要是制造的超薄板玻璃基板9的宽度以上的尺寸就无特别限制，延伸辊7的辊直径的尺寸也未特别限制。

所述延伸辊7通过电动机等驱动装置进行旋转驱动。

在延伸工序的延伸辊7为1个时，使通过加热炉6的超薄板玻璃基板9的单面与延伸辊7的曲面接触而使超薄板玻璃基板9向延伸辊7侧弯曲，使延伸辊7旋转。通过从延伸辊7作用于超薄板玻璃基板9的旋转转矩来拉伸超薄板玻璃基板9，对应于该拉伸，在加热炉6中软化了的预成形坯1延伸，从而成为超薄板玻璃基板9。延伸辊7的超薄板玻璃基板9的弯曲方向只要是能得到所希望的尺寸的超薄板玻璃基板9的方向就无特别限制。

在延伸工序的延伸辊7为一对时，将通过了加热炉6的超薄板玻璃基板9插入到一对延伸辊7之间。使一对延伸辊7的曲面与该超薄板玻璃基板的双面接触而使一对延伸辊7旋转。通过从一对延伸辊7作用于超薄板玻璃基板9的旋转转矩来拉伸超薄板玻璃基板9，对应于该拉伸，在加热炉6中软化了的预成形坯1延伸，从而成为超薄板玻璃基板9。

此外，一对延伸辊7作为具有可变的间隙的一对延伸辊7而进行动作。通过该可变的间隙，能够应对超薄板玻璃基板9的板厚的规格变更。

另外，在加热工序中，优选利用把持辊把持软化后的预成形坯1的宽度方向两端部。利用再曳引法所制造的玻璃基板能够使板厚减薄，而反面地存在板宽变窄的问题。因此，通过把持在加热工序中软化了的预成形坯1的宽度方向两端部，能够抑制软化后的预成形坯1因延伸工序而沿宽度方向收缩的情况，从而能够制造板宽较宽的超薄板玻璃基板9。

把持辊只要是抑制软化后的预成形坯1向其宽度方向的收缩的结构就无特别限制。图2A是将图1的实施方式的从加热炉6到延伸辊7的工序放大的简要主视图。图2B是向图2A的加热炉6加入一对把持辊11的变形例的简要主视图。一对把持辊11呈大致圆筒状的形状。一对把持辊11设置在加热炉6内，把持在加热炉6中软化了的预成形坯1的宽度方向两端部，并使软化后的预成形坯1朝向其宽度方向外侧旋转。通过作用在软化后的预成形坯1的宽度方向上的旋转转矩，能够抑制软化后的预成形坯1的延伸引起的向宽度方向的收缩，能够制造出板宽较宽的超薄板玻璃基板9。

此外，在延伸工序中，优选在延伸辊7与所述超薄板玻璃基板9之间插入第二保护片8。这是因为，通过将第二保护片8插入到延伸辊7与超薄板玻璃基板9之间，从而在超薄板玻璃基板9表面不会产生延伸辊7带来的伤痕。

在延伸工序中使用的延伸辊7为1个时，在延伸辊7的曲面与超薄板玻璃基板9的单面之间插入第二保护片8。在延伸工序中使用的延伸辊7为一对时，将第二保护片8插入到一对延伸辊7的曲面与所述超薄板玻璃基板9的双面之间。即，成为第二保护片8将超薄板玻璃基板9在其厚度方向上夹持的结构。

第二保护片8的宽度及长度只要是能够保护超薄板玻璃基板9的表面的尺寸就无特别限制，优选分别大于超薄板玻璃基板9的宽度及长度。

第二保护片8的厚度优选为10μm～1000μm，更优选为12μm～800μm，进一步优选为15μm～700μm，最优选为20μm～600μm。若第二保护片8的厚度为10μm以上，则第二保护片8的强度充分强，起到防止对超薄板玻璃基板9表面的损伤的作用，因此优选。若第二保护片8的厚度为1000μm以下，则卷绕于第二卷绕辊10的超薄板玻璃基板9的辊直径减小，因此优选。

第二保护片8的种类只要是具有在延伸工序中的超薄板玻璃基板9的热量的作用下不产生燃烧、灰化、异臭等的耐热性且能够保护超薄板玻璃基板9的表面就无特别限制，例如可列举有耐热树脂或耐热纸。若为耐热树脂，则可列举有聚亚胺树脂、氟系树脂、聚酰胺树脂、聚芳酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。另外，也可以是它们的共聚物或含有填料等添加剂的树脂。若为耐热纸，则可列举有玻璃纤维纸、陶瓷纸、不燃纸、难燃纸、聚酯纸、合成树脂混合纸、氟系纤维纸。在延伸工序中的超薄板玻璃基板9的温度充分低时，可以不需要耐热性，这种情况下，可以使用与第一保护片5同样的种类。

需要说明的是，第二保护片8也可以由2层以上构成。这种情况下，第二保护片8的厚度表示全部的层的总计的厚度。另外，在第二保护片8由2层以上构成时，形成各个层的树脂或纸的种类也可以不同。

使超薄板玻璃基板9和所述第二保护片8在延伸辊7重叠时，可以仅使超薄板玻璃基板9与第二保护片8重叠，也可以利用粘接材料等产生的粘接力、或固体分子间的范德瓦尔斯力产生的粘接力、或由所述超薄板玻璃基板9的热量产生的热熔敷力中的任一种力来对超薄板玻璃基板9和第二保护片8进行一体化。

对本发明的卷绕超薄板玻璃基板9的工序进行说明。

本发明的卷绕超薄板玻璃基板9的工序是利用第二卷绕辊10卷绕由延伸工序得到的超薄板玻璃基板9的工序。

第二卷绕辊10的形状优选为圆筒状。在此，圆筒状是指实质上为大致圆筒状。为了保护超薄板玻璃基板9，而第二卷绕辊10的宽度的尺寸只要是超薄板玻璃基板9的宽度以上的尺寸就无特别限制。

所述第二卷绕辊10的辊直径优选为50mm～2000mm，更优选为60mm～1800mm，进一步优选为70mm～1500mm，最优选为90mm～1200mm。若第二卷绕辊10的辊直径为50mm以上，则能够不会失去超薄板玻璃基板9的挠性地将超薄板玻璃基板9卷绕于第二卷绕辊10，因此优选。若第二卷绕辊10的辊直径为2000mm以下，则卷绕于第二卷绕辊10的超薄板玻璃基板9的辊直径减小，能够实现超薄板玻璃基板制造装置及使用超薄板玻璃基板9的产品的制造装置的小型化，因此优选。

第二卷绕辊10的种类也并未特别限制，优选为不会因卷绕的超薄板玻璃基板9的重量而发生变形的刚性。

优选在延伸工序中，在延伸辊7与超薄板玻璃基板9之间未插入第二保护片8时，在延伸工序后，向超薄板玻璃基板9的单面或双面供给厚度10μm～1000μm的第三保护片(未图示)，在使超薄板玻璃基板9与第三保护片重叠，在此状态下，利用第二卷绕辊10进行卷绕。这是因为能够防止超薄板玻璃基板9彼此、或超薄板玻璃基板9与第二卷绕辊10的接触对超薄板玻璃基板9表面的损伤。另外，若在超薄板玻璃基板9的进一步的保护、使用上需要，则也可以在延伸工序中使第二保护片8与超薄板玻璃基板9的单面或双面重叠之后进而重叠第三保护片。

第三保护片的厚度优选为10μm～1000μm，更优选为12μm～800μm，进一步优选为15μm～700μm，最优选为20μm～600μm。若第三保护片的厚度为10μm以上，则第三保护片的强度充分强，起到防止对超薄板玻璃基板9表面的损伤的作用，因此优选。若第三保护片的厚度为1000μm以下，则卷绕于第二卷绕辊10的超薄板玻璃基板9的辊直径减小，因此优选。

第三保护片的种类只要能够保护超薄板玻璃基板9的表面就无特别限制。例如可列举有与所述第一、第二保护片5、8同样的树脂或纸。

需要说明的是，所述第三保护片也可以由2层以上构成。这种情况下，第三保护片的厚度表示全部的层的总计的厚度。另外，在第三保护片由2层以上构成时，形成各个层的树脂或纸的种类也可以不同。

将所述超薄板玻璃基板9和所述第三保护片卷绕于所述第二卷绕辊10时，可以仅是将所述超薄板玻璃基板9和第三保护片重叠，或通过粘接材料等产生的粘接力、或固体分子间的范德瓦尔斯力产生的粘接力中的任一种力来对超薄板玻璃基板和第三保护片进行一体化。但是，为了保护超薄板玻璃基板9的表面且容易地将第三保护片从超薄板玻璃基板9剥离，优选利用所述粘接力将超薄板玻璃基板9和第三保护片粘接。

实施例

(实施例1)

首先，准备厚度120μm、宽度120mm、长度2m的预成形坯(旭硝子株式会社制，AN100)，进行纯水清洗、UV清洗而实现表面的清洁化。接下来，使厚度30μm的第一PET薄膜与所述预成形坯的单面重叠，将预成形坯和第一PET薄膜卷绕于辊直径160mm的圆筒状的第一卷绕辊，并使预成形坯形成为辊状。将从第一卷绕辊放出的预成形坯向超薄板玻璃基板制造装置的供给工序投入，在保护片除去工序中，从预成形坯将第一PET薄膜剥离。将剥离了第一PET薄膜后的预成形坯投入到炉内加热成1000℃的电炉，加热至软化点附近而使其软化。利用一对延伸辊夹持已经通过了电炉的超薄板玻璃基板的双面，通过使一对延伸辊旋转而拉伸超薄板玻璃基板。由超薄板玻璃基板的拉伸，而在加热工序中软化后的预成形坯延伸，从而得到厚度10μm、宽度10mm、长度200m的超薄板玻璃基板。在延伸工序中利用一对延伸辊夹持超薄板玻璃基板时，在超薄板玻璃基板与延伸辊之间插入并夹持厚度30μm的第二PET薄膜，从而使第二PET薄膜的表面与超薄板玻璃基板的双面粘接。在延伸工序后，将超薄板玻璃基板卷绕于辊直径160mm的圆筒状的第二卷绕辊。通过与超薄板玻璃基板的双面粘接的第二PET薄膜来保护超薄板玻璃基板表面，因此能够抑制强度下降引起的损伤。

(实施例2)

准备厚度100μm、宽度50mm、长度100m的预成形坯(旭硝子株式会社制，AN100)，进行纯水清洗、UV清洗而实现表面的清洁化。接下来，使厚度30μm的第一PET薄膜与所述预成形坯的单面重叠，将预成形坯和第一PET薄膜卷绕于辊直径200mm的圆筒状的第一卷绕辊，将预成形坯形成为辊状。将从第一卷绕辊放出的预成形坯向超薄板玻璃基板制造装置的供给工序投入，在保护片除去工序中，从预成形坯剥离第一PET薄膜。将剥离了第一PET薄膜后的预成形坯投入到炉内加热成1000℃的电炉，加热至软化点附近而使其软化。使1个延伸辊与已经通过了电炉的超薄板玻璃基板的单面接触，通过使一个延伸辊旋转来拉伸超薄板玻璃基板。通过超薄板玻璃基板的拉伸，在加热工序中软化后的预成形坯延伸，能得到厚度20μm、宽度10mm、长度2000m的超薄板玻璃基板。利用延伸工序使超薄板玻璃基板的单面与一个延伸辊的曲面接触时，在超薄板玻璃基板的单面与延伸辊的曲面之间插入厚度20μm的第二PET薄膜并使它们接触，由此使第二PET薄膜的表面与得到的超薄板玻璃基板的单面粘接。在延伸工序后，将所述超薄板玻璃基板卷绕于辊直径160mm的圆筒状的第二卷绕辊。

(实施例3)

准备厚度200μm、宽度1000mm、长度50m的预成形坯(旭硝子株式会社制，AN100)，进行纯水清洗、UV清洗而实现表面的清洁化。接下来，使厚度50μm的第一PET薄膜与所述预成形坯的单面重叠，将该预成形坯和该第一PET薄膜卷绕于辊直径500mm的圆筒状的第一卷绕辊，使预成形坯形成为辊状。将从第一卷绕辊放出的预成形坯投入到超薄板玻璃基板制造装置的供给工序，在保护片除去工序中，从预成形坯剥离第一PET薄膜。将剥离了第一PET薄膜后的预成形坯投入到炉内加热成1000℃的电炉，并加热至软化点附近而使其软化。利用一对延伸辊夹持已经通过了电炉的超薄板玻璃基板的双面，通过使该延伸辊旋转而拉伸超薄板玻璃基板。通过超薄板玻璃基板的拉伸，而在加热工序中软化后的预成形坯延伸，能得到厚度30μm、宽度150mm、长度2000m的超薄板玻璃基板。在延伸工序中利用一对延伸辊夹持超薄板玻璃基板时，在超薄板玻璃基板与延伸辊之间插入厚度10μm的第二PET薄膜并进行夹持，由此使所述第二PET薄膜的表面与超薄板玻璃基板的双面粘接。在延伸工序后，将超薄板玻璃基板卷绕于辊直径300mm的圆筒状的第二卷绕辊。利用与超薄板玻璃基板的双面粘接的第二PET薄膜来保护超薄板玻璃基板表面，因此能够抑制强度下降带来的损伤。

(比较例)

准备厚度50μm、宽度200mm、长度1m的预成形坯(旭硝子株式会社制，AN100)，进行纯水清洗、UV清洗而实现表面的清洁化。接下来，使厚度50μm的第一PET薄膜与所述预成形坯的单面重叠，将该预成形坯和该第一PET薄膜卷绕于辊直径500mm的圆筒状的第一卷绕辊，使预成形坯形成为辊状。将从第一卷绕辊放出的预成形坯向超薄板玻璃基板制造装置的供给工序投入，在保护片除去工序中，从预成形坯剥离第一PET薄膜。将剥离了第一PET薄膜后的预成形坯投入到炉内加热成1000℃的电炉，加热至软化点附近而使其软化。利用一对延伸辊夹持已经通过了电炉的超薄板玻璃基板的双面，使延伸辊旋转，使因所述加热工序而软化了的预成形坯延伸成为厚度1μm的超薄板玻璃基板，但软化了的预成形坯在延伸时断裂。

详细或参照特定的实施方式说明了本发明，但不脱离本发明的宗旨和范围而能够施加各种变更、修正的情况对于本领域技术人员而言不言自明。

本申请基于2009年8月7日申请的日本专利申请2009-184592，并将其内容作为参照而包含于此。

工业实用性

通过本发明的制造方法得到的超薄板玻璃基板能够使用于显示装置、电子纸、触摸面板、半导体集成电路、MEMS、有机EL照明装置等。

标号说明：

1预成形坯

2第一卷绕辊

3输送辊

4保护片剥离辊

5第一保护片

6加热炉

7延伸辊

8第二保护片

9超薄板玻璃基板

10第二卷绕辊

11把持辊

Claims (7)

1.一种超薄板玻璃基板的制造方法，具备：

保持玻璃基板的预成形坯而向制造生产线供给的供给工序；

将从该供给工序供给的该预成形坯加热至软化点附近的加热工序；及

使在该加热工序中软化了的预成形坯延伸而形成为超薄板玻璃基板的延伸工序，

所述超薄板玻璃基板的制造方法的特征在于，

所述预成形坯是卷绕在辊直径100mm～1500mm的圆筒状的第一卷绕辊上的、厚度Tp＝20μm～250μm、宽度Wp＝10mm～2000mm、长度＝1m～5000m的预成形坯，

通过所述延伸工序而制造的超薄板玻璃基板是厚度Tg＝2μm～50μm、宽度Wg＝0.3mm～500mm、长度＝5m～500000m的基板，

设由所述延伸工序引起的所述预成形坯的厚度方向的缩小率为Tg/Tp、宽度方向的缩小率为Wg/Wp时，成为Tg/Tp＝1/125～1/2，Wg/Wp＝1/125～1。

2.根据权利要求1所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述预成形坯在该预成形坯的单面或双面上重叠厚度10μm～1000μm的第一保护片而卷绕于所述第一卷绕辊，在将该预成形坯投入所述加热工序之前，还具备将该第一保护片从该预成形坯剥离的保护片剥离工序。

3.根据权利要求1或2所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述延伸工序是利用一个或一对延伸辊进行延伸的工序，

使所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板与一个延伸辊接触而拉伸该超薄板玻璃基板，

或者，利用一对延伸辊把持所述加热工序后的所述超薄板玻璃基板而拉伸该超薄板玻璃基板。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

所述加热工序利用把持辊来把持所述软化了的预成形坯的宽度方向两端部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序后，还具备将所述超薄板玻璃基板卷绕于辊直径50mm～2000mm的圆筒状的第二卷绕辊的工序。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序中，在所述延伸辊与所述超薄板玻璃基板之间插入厚度10μm～1000μm的第二保护片。

7.根据权利要求5或6所述的超薄板玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述延伸工序后，向所述超薄板玻璃基板的单面或双面供给厚度10μm～1000μm的第三保护片，使该超薄板玻璃基板与该第三保护片重合，利用所述第二卷绕辊来卷绕。

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