201111308 · 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種於顯示裝置、電子紙、觸控面板、半 導體積體電路、MEMS(Micro Electro Mechanical System， 微機電系統）、有機EL(Electro-Luminescence，電致發光） 照明裝置等之製造中所使用的厚度50 μιη以下之超薄板玻 璃基板之製造方法。 【先前技術】 厚度為1 mm以下之薄板玻璃基板之製造方法係使用浮 式法、融合法、流孔下引法、再拉法。 浮式法係使溶融玻璃懸浮於溶融锡上，一面保持炫融玻 璃之寬度方向兩端部’ 一面擴大熔融玻璃之寬度而製造玻 璃基板。然而，炼融錫上之熔融玻璃之平衡厚度大於4 mm， 為製造厚度為4 mm以下之薄板玻璃基板，必須將熔融玻璃 之寬度方向兩端部進而強有力地拉引，從而使熔融玻璃之 寬度進而擴大，因此使薄板玻璃基板整體之厚度均勻極為 困難。藉由浮式法之薄板玻璃基板之厚度的極限為〇 3 mm 左右。 融合法係將熔融玻璃注入至桶内，使熔融玻璃自桶溢 出，於桶下方拉下一體化之熔融玻璃，而製造薄板玻璃基 板。為製造薄板玻璃基板，必須使拉下熔融玻璃之張力與 向保持熔融玻璃之水平方向之張力以較佳之平衡性進行調 整。若上述平衡性較差，則扳厚偏差較大，製成存在不平 整之薄板玻璃基板。利用融合法之薄板玻璃基板之厚度的 150067.doc 201111308 極限為50 μηι左右。 流孔下引法係將熔融玻璃注入至桶内，將自形成於桶底 之流孔流出之熔融玻璃冷卻，並利用重力及向下方之張力 將其拉下，從而製造薄板玻璃基板。由於拉下步驟中之溫 度區域係自低黏性之溫度區域直至接近於固體之溫度區域 為止，因此難以於此種較廣之溫度區域内控制薄板玻璃基 板之變形。利用流孔下引法之薄板玻璃基板之厚度的極限 為0.1 mm左右。又，由於薄板玻璃基板之表面接觸於流 孔，因此易受流孔之形狀或材質之影響。因此，存在薄板 玻璃基板之表面品質易變差之缺點。 再拉法係一面將玻璃基板垂直保持一面將其向下方傳 送，將傳送至下方之玻璃基板之下端藉由電爐等的加熱步 驟而加熱至軟化點附近，並使經軟化之玻璃基板向下方延 伸’藉此製造薄板玻璃基板。由於薄板玻璃基板之剖面成 為加熱前之玻璃基板（以下，稱為「預成型坯」）之相似 形’因此藉由提咼預成型述之尺寸精度，亦可以較高之尺 寸精度製造薄板玻璃基板。 作為再拉法之製造方法’於專利文獻1中記載有將1塊預 成型达加熱及延伸，而製造超薄板玻璃基板之方法。 先前技術文獻 專利文獻 專利文獻1:曰本專利特表2008-508179公報 非專利文獻 非專利文獻1 :「玻璃工程學手冊」、朝倉書店、1999年、P419 150067.doc 201111308 * 【發明内容】 發明所欲解決之問題 近年來，為效率良好地量產電子設備，考慮將長尺寸之 薄板玻璃基板捲繞成輥狀後供给至後步驟（包含客戶 然而，專利文iu之製造方法係採用批量式，根據預成 型坯之長度’所製造之超薄板玻璃基板之長度有限。例 如，於使長度1 m、厚度(U _之預成型述延伸為厚度1〇 _ 之超薄板玻璃基板之情形時，若將預成型赵之寬度方向之 剖面形狀的相似比設為10: !，則最多製造長度i〇〇 m之超 薄板玻璃基板’無法製造長尺寸之超薄板玻璃基板。 又，非專利文獻1之製造方法係將加熱步驟投入前之鄰 接之預成型链的上端與下端藉由燃燒器等加熱接合，並使 經加熱接合之預成型述加熱及延伸，藉㈣造長尺寸之超 薄板玻璃基板。然而，於對板厚較薄之預成型述之端部彼 此進订加熱接合之情形時，由於對預成型链端部之部分加 熱，而存在發生預成型链端部之破損或變形之可能。又， 即便使預成㈣端部彼此之位置對準或藉由燃燒器等之加 熱條件最佳化’亦需要用以進行位置對準或加熱接合之步 驟時間，故生產性降低。 解決問題之技術手段 本發明者為解決上述課題反覆進行銳意研究而完成了本 發明。 亦即，本發明關於以下（丨）〜(7)。 ⑴-種超薄板玻璃基板之製造方法，其包括：供給步 150067.doc 201111308 驟，一面保持玻璃基板之預成型坯一面將其供給至生產 線；加熱步驟，將由上述供給步驟所供給之該預成型坯加 熱至軟化點附近；及延伸步驟，使於上述加熱步驟中軟化 之預成型堪延伸，而製成超薄板玻璃基板，該製造方法之 特徵在於：上述預成型坯係捲繞於輥徑1〇〇 mm〜l5〇〇 mm 之圓筒狀之第1捲繞輥’且厚度Τρ=2〇 μηι〜250 μιη、寬度 Wp=l〇 mm〜2〇〇〇 mm、長度=1 m〜5〇〇〇 m ;藉由上述延伸步 驟而製造之超薄板玻璃基板係厚度Tg=2 μιη〜5〇 μιη、寬度
Wg - 〇·3 mm~500 mm、長度=5 m〜500000 m;若將由上述延伸 步驟所造成之上述預成型坯之厚度方向之縮小率設為 Tg/Tp ’將寬度方向之縮小率設為Wg/Wp，則Tg/Tp=1/125〜1/2， Wg/Wp=l/125~l。 (2) 如（1)之超薄板玻璃基板之製造方法，其更包括保護 薄片剝離步驟’於該上述預成型坯之單面或兩面上重疊厚 度為10 μηι〜1000 μιη之第1保護薄片，並捲繞至上述第1捲 繞轉上，且於將該預成型坯投入上述加熱步驟之前，將該 第1保護薄片自該預成型坯上剝離。 (3) 如（1)或（2)之超薄板玻璃基板之製造方法，其中上述 延伸步驟係藉由一根或一對之延伸輥進行延伸之步驟；且 一面使上述加熱步驟後之上述超薄板玻璃基板接觸於一根 延伸輥’一面拉引該超薄板玻璃基板；或者一面藉由一對 延伸輕保持上述加熱步驟後之上述超薄板玻璃基板，一面 拉引該超薄板玻璃基板。 (4) 如（1)至（3)中任一項之超薄板玻璃基板之製造方法， 150067.doc 201111308 * 其中上述加熱步驟係藉由保持輥來保持上述經軟化之預成 型坯之寬度方向上之兩端部。 (5)如（1)至（4)中任一項之超薄板玻璃基板之製造方法， 其更包括如下步驟：於上述延伸步驟之後，將上述超薄板 玻璃基板捲繞至輥徑5〇 mm〜2〇〇〇 mm之圓筒狀之第2捲繞 輥上。 (6) 如（3)至（5)中任一項之超薄板玻璃基板之製造方法， 其中於上述延伸步驟t，在上述延伸輥與上述超薄板玻璃 基板之間插入厚度10 〜1〇〇〇 μη1之第2保護薄片。 (7) 如（5)或（6)之超薄板玻璃基板之製造方法，其中於上 伸γ驟之後，將厚度1〇刪叫之第3保護薄片供 向上述超薄板玻璃基板之單面或兩面，使該超薄板玻 璃基板與該第3保護薄#會聶，廿μ @ λ ^ 更溥月董疊，並以上述第2捲繞輥加以捲 繞。 發明之效果 根據本發明，藉由將捲繞於圓筒狀之輕之長尺寸的預成 型㈣用再拉法延伸’可提供—種生產性較先前之使用短 尺寸之預成型坯之再杈沐#古认且 之製造方法。的長尺寸之超薄板玻璃基板 【實施方式】 使用圖式，對本發明夕# g 之超溥板玻璃基板之製造方 施形態加以說明。 k乃次之貝 圖！係表示本發明之㈣板玻璃基板之 形態的概略剖面圖。 乃次之貫把 150067.doc 201111308 ,;圖1所不之Λ施形$中’在供給步驟中，將捲繞於第1 捲堯輥2之預成型坯!藉由搬送輥3向下方抽出。其後，於 保蒦薄片亲J離步驟中，藉由保護薄片剝離棍4將密著於預 成型坯1之單面或兩面之第1保護薄片5自預成型坯i上剝 離。於加熱步驟中，將預成型⑴投人加熱爐6,並加熱至 軟化點附近使其軟化。於加熱爐6内軟化之預成型坯^在延 伸步驟中藉由延伸輥7而向下方拉引使其延伸，製成超 薄板玻璃基板9。在上述超薄板玻璃基板9與延伸輥7之 間插入第2保遵薄片8，第2保護薄片8與超薄板玻璃基板 9之表面密著’保護超薄板玻璃基板9之表面。最後將超薄 板玻璃基板9捲繞至第2捲繞輥1〇上。 對本發明之預成型坯】進行說明。 預成型坯1之形狀並無特別限制，較好的是大致矩形形 狀。預成型坯i之厚度為2〇 _〜25〇叫，較好的是3〇 pm〜200 μηι，更好的是4〇 μιη〜15〇 _，進而好的是5〇 μΓη〜1〇〇 μΐη以下。若預成型坯丨之厚度為⑼以上，則於 加熱爐6内軟化之預成型坯丨變得不易因延伸輥7之拉引而 斷裂。若預成型坯丨之厚度為25〇 μηι以下，則可使預成型 坯1不發生破損而捲繞至輥徑較小之第丨捲繞輥2上。 預成型坯1之寬度為10 mm~1800 mm，更好的是 mm〜2000 mm，較好的是20 mm〜1600 mm ’進而好的是40 mm〜1400 mm。若預成型坯i之寬度為1〇 mm以上則於加 熱爐6内軟化之預成型坯丨變得不易因延伸輥7之拉引而斷 裂。右預成型坯1之寬度為2000 mm以下，則可使超薄板玻 150067.doc 201111308 璃基板製造裝置小型化，且無需使保護預成型坯丨之第㈠呆 護薄片5之尺寸大型化而容易獲取。 預成型堪1之長度為1 m〜5000 m，較好的是2 m〜4〇〇〇 m， 更好的是3 m〜3000 m ’進而好的是5 m〜2〇〇〇 m。若預成型 坯1之長度為1 m以上，則藉由再拉法而製造之超薄板玻璃 基板9之長度達到長尺寸，可獲得生產性之改善效果。若 預成型述1之長度為5000 m以下’則捲繞於第1捲繞報2之 預成型坯1之輥徑變小，可使超薄板玻璃基板製造裝置小 型化。 預成型坯1之組成並無特別限制，例如可與先前已知之 含有驗金屬氧化物之玻璃、無鹼玻璃相同。其中，就所獲 得之超薄板玻璃基板9之強度或化學穩定性優異之方面而 言’較好的是無驗玻璃。 製造預成型坯1之方法亦無特別限制，可列舉先前已知 之方法。例如，可應用浮式法、融合法 '流孔下引法、提 拉法。 對本發明之第1捲繞輥2進行說明。 第1捲繞輥2係用以捲繞預成型链1之輥。第1捲繞觀2之 形狀較好的是圓筒狀。此處，所謂圓筒狀，實質上為大致 圓筒狀。為保護預成型坯丨，第丨捲繞輥2之寬度之大小只 要為預成型坯1之寬度以上則無特別限制。 苐1捲繞2之親控為1 〇〇 1500 mm，較好的是15〇 mm〜1〇〇〇 mm，更好的是2〇〇 mm〜8〇〇 mm，進而好的是 300 mm〜500 mm。若為1〇〇 mm以上，則可不喪失預成型 150067.doc 201111308 迷1之可撓性而將預成型坯1捲繞至第1捲繞輥2上。若第1 捲繞輥2之輥徑為1500 mm以下，則捲繞於第1捲繞輥2上之 預成型述1之輥徑變小，可使超薄板玻璃基板製造裝置小 型化。 關於第1捲繞輥2之材質’只要具有不會因所捲繞之預成 型述1之重量而變形之剛性則無特別限制。 又’預成型坯1係於預成型坯1之單面或兩面上重疊第1 保護薄片5而捲繞至第1捲繞輥2上。因此，可防止由於預 成型堪1彼此，或預成型坯1與第1捲繞輥2之接觸而導致預 成型坯1表面之損傷。於預成型坯1表面存在損傷之情形 時’在製造超薄板玻璃基板9中預成型坯1有可能會破裂。 第1保護薄片5之厚度較好的是1〇 〜1 〇 〇 〇 ，更好的 是12 μπι〜800 μηι，進而好的是15 μηι〜700 μιη，最好的是 20 μιη〜600 μιη。若為1〇 以上，則由於第j保護薄片5之 強度變得足夠強，發揮防止對預成型坯丨表面造成損傷之 作用而較佳。若第1保護薄片5之厚度為1000 μιη以下，則 捲繞於第1捲繞親2之預成型坯1之輥徑變小而較佳。 此外，較好的是於將預成型坯丨投入加熱爐6之前，將第 1保護薄片5自預成型坯丨上剝離。具體而言，較好的是於 加熱爐6附近’在第丨保護薄片5發生軟化、熔融、燃燒等 狀態之變化之前，將第1保護薄片5自預成型坯丨上剝離。 關於第1保護薄片5之材質，只要可保護預成型坯丨之表 面則無特別限制，例如可列舉樹脂或紙。若為樹脂，可列 舉聚酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚颯樹脂、聚烯烴樹脂、 150067.doc -10- 201111308 聚乙辦Γ 月旨、酿J接(脂、取w从 7 j w Λ日忒醯胺樹脂、丙烯酸酯樹脂、 聚苯乙烯樹脂、三乙醯纖維素樹脂、聚酿亞胺樹脂、聚氯 乙烯樹脂、氣碳樹脂等。又，亦可為該等之共聚物或含有 填料等添加劑而成者。若為紙，例如可列舉廣泛普及之木 質紙、槁半紙 '不煥紙、阳，祕从 . …、阻燃、我。亦可為對該等紙實施特 殊加工而成者。 再者第1保4薄片5之構成亦可包含2詹以上。於此情 形時，第1保護薄片5之厚度係指全部之層之合計厚度。 又，於第！保護薄片5包含2層以上之情形時，形成各個層 之树脂或紙之種類亦可不同。 於將預成型堪1與第1保護薄片5捲繞至Ρ捲繞輥2時’ 既可僅將預成型⑹與第1保護W 5單純地重疊，亦可利 用接著材等之接著力、. ^由固體为子間之凡得瓦耳力（Van er Waals force)產生之密著力. 1與第1保護薄片5-體化Λ / 成型柱 、，— ν、中，為保護預成型坯1之表面 亚谷易地將第1保護薄片 預成型㈣“離，較好的是 一弟1保4缚片5藉由上述密著力而密著。 關=保護缚片剝離步驟，只要可使預成型⑴不發生破 裂而谷易地將第i保護薄 限制m 片自預成型坯1上剝離則無特別 J。例如’於圓筒狀之剝離輕4之曲面塗佈接著材伯 剝離輥4之曲面接觸於幻保護薄片5之# :佈接者材，使 護薄片5自預成型片之表面，一面將第1保 者，亦可使用呈P 一面捲繞至剝離輥4。或 刀J使用具有密著力4士 ψ 保護薄片5自述接著材，將第1 寻月5自預成型坯1上剝離。
S 150067.doc -11- 201111308 對本發明之超薄板玻璃基板9進行說明。 超薄板玻璃基板9可藉由將於加熱爐6内軟化之預成型坯 1藉由延伸輥7向下方延伸而製造。超薄板玻璃基板9之剖 面形狀成為使加熱前之預成型坯1之剖面之大小縮小的相 似形狀。 超薄板玻璃基板9之厚度為2 μιη〜50 μπι，較好的是3 4〇卩m ’更好的是5 μηι〜30 μηι ’進而好的是7 μπι〜20 μιη。若超薄板玻璃基板9之厚度為2 μπι以上，則變得不易 因延伸輥7之拉引而發生斷裂。超薄板玻璃基板9之厚度為 50 μιη以下以實現輕量化。又，藉由設為5〇 μιη以下，可將 於彎曲時由於應力而導致破裂之可能性控制得較低。更好 的是30 μιη以下。此外，若超薄板玻璃基板9之厚度為5〇 μιη以下，則本發明之製造方法以外（例如融合法）會使得製 造變得困難’若小於30 μιη，則藉由本發明之製造方法以 外之例如融合法會變得無法製造，因此可保持本發明之優 勢。 超薄板玻璃基板9之寬度為〇_3 mm〜500 rnm，較好的是 1 mm〜400 mm ’更好的是10 mm〜350 mm，進而好的是100 mm〜300 mm»若超薄板玻璃基板9之寬度為〇.3 mm以上， 則變得不易因延伸輕7之拉引而發生斷裂。若超薄板玻璃 基板9之寬度為500 mm以下，則可使超薄板玻璃基板製造 裝置及使用超薄板玻璃基板9之產品的製造裝置小型化。 超薄板玻璃基板9之長度為5 m〜5 0〇〇〇〇 m，較好的是1〇 m~200000 m，更好的是20 m~1000〇〇 m，進而好的是5〇 150067.doc -12- 201111308 m〜50〇00 m。若超薄板玻璃基板9之長度為5爪以上，則可 製造藉由先前之再拉法令所使用之預成型坯之加熱接合無 法實現之生產性較高之長尺寸的超薄板玻璃基板9。若超 薄板玻璃基板9之長度為500000 m以下，則可實現超薄板 玻璃基板9之保管佔據面積之縮小化或使用超薄板玻璃基 板9之產品之製造裝置的小型化。 右將預成型坯1之厚度設為Tp，將超薄板玻璃基板9之厚 度設為Tg，將由延伸輥7所造成之預成型坯丨之厚度方向之 縮小率設為丁g/Tp，則丁g/Tp=1/125〜1/2，較好的是1/75〜1/3， 更好的是1/5G〜1/4 ’進而好的是1/25〜1/5。若Tg/Tp為ι/ΐ25 以上，則超薄板玻璃基板9變得不易因延伸輥7之拉引而發 生斷裂。若Tg/Tp為1/2以下，則可使超薄板玻璃基板製造 裝置及使用超薄板玻璃基板9之產品之製造裝置小型化。 若將預成型坯1之寬度設為Wp，將超薄板玻璃基板9之 寬度設為Wg，將由延伸輥7所造成之預成型坯丨之寬度方 向之縮小率設為Wg/Wp，則Wg/WpM/USi，較好的是 1/75 4/5，更好的疋1/5〇〜2/3 ,進而好的是1/25〜1/2。若
Wg/Wp為1/125以上，則超薄板玻璃基板9變得不易因延伸 輥7之拉引而發生斷裂。若Wg/Wpg丨以下，則可使超薄板 玻璃基板製造裝置及使用超薄板玻璃基板9之產品之製造 裝置小型化。 其次，分別對本發明之供給步驟、加熱步驟、延伸步驟 及捲繞超薄板玻璃基板之步驟進行說明。 對本發明之供給步驟進行說明。 150067.doc -13- 201111308 本發明之供給步驟係一面保持預成型坯丨一面將其供給 至生產線❶保持預成型述丨之方向並無限制，既可如圖 示般一面將預成型坯丨垂直保持一面向下方供給，亦可為 -面水平保持一面供給。又’只要為可使預成型坯^不發 生破損而搬送至加熱步驟之步驟則無特別限制。例如，可 列舉如圖1所示之一面保持預成型坯丨之兩面一面搬送預成 型坯1之搬送輥3。 對本發明之加熱步驟進行說明。 本發明之加熱步驟係將由上述供給步驟所搬送之預成型 坯1藉由加熱爐6加熱至軟化點附近並使其軟化。只要為可 將預成！达1加熱至軟化點附近之加熱爐則無特別限制， 例如可列舉電爐或煤氣爐。 對本發明之延伸步驟進行說明。 本發明之延伸步驟係藉由一根或一對延伸輥7進行延伸 之步驟，且較好的是一面使加熱步驟後之超薄板玻璃基板 9接觸於一根延伸輥7一面拉引超薄板玻璃基板9，或者一 面藉由一對延伸輥7保持加熱步驟後之超薄板玻璃基板9 一 面拉引超薄板玻璃基板9。超薄板玻璃基板9在接觸或保持 於延伸輥之狀態下，延伸輥7發生旋轉時’延伸輥7之轉矩 作用於超薄板玻璃基板而拉引超薄板玻璃基板，對應於其 拉引’由加熱步驟而軟化之預成型坯1延伸，從而製成超 薄板玻璃基板9。 由於經軟化之預成型坯1係於自由空間延伸，故可製造 表面品質良好之超薄板玻璃基板9。
150067.doc •14- 201111308 延伸輟<7之形狀較好的是圓筒狀。此處，所謂圓筒狀， 實質上為大致圓筒狀。延伸輥7之寬度之大小只要為所製 造之超薄板玻璃基板9之寬度以上之大小則無特別限制， 延伸輥7之輥徑之大小亦無特別限制。 上述延伸輥7係藉由電動馬達等驅動裝置進行旋轉驅 動0 於延伸步驟之延伸輥7為丨根之情形時，一面使已通過加 熱爐6之超薄板玻璃基板9之單面接觸於延伸輥7之曲面一 面使超薄板玻璃基板9向延伸輥7側彎曲，並使延伸輥7旋 轉。藉由自延伸輥7作用於超薄板玻璃基板9之轉矩，拉弓丨 超薄板玻璃基板9，對應於其拉引’於加熱爐6内軟化之預 f型坯1延伸，從而製成超薄板玻璃基板延伸輥7之超 薄板玻璃基板9之彎曲方向只要為可獲得所需尺寸之超薄 板玻璃基板9之方向則無特別限制。 於延伸步驟之延伸親7為—對之情形時，將已通過加熱 爐6之超薄板玻璃基板9插入—對延伸輕7間。—面使一對 延伸輥7之*面接觸於該超薄板麵基板之兩面—面使一 對延伸輥7旋轉。藉由自一對 ^ 卞延伸輥7作用於超薄板玻璃基 板9之轉矩，拉引超薄板玻 為味 對應於其拉引，於加 熱爐6内軟化之預成型坯〗延 從而I成超薄板玻璃基板 可變間隙之一對延伸輥7 可應對超薄板玻璃基板9 再者，一對延伸輥7係作為具有 而進行動作。藉由該可變閭隙， 之板厚之規格變更。 150067.doc 201111308 又’於加熱步料’較好的是藉由保持_持經軟化之 預成加之寬度方向兩端部。#由再拉法而製造之玻璃 基板存在可減小板厚但板寬變窄之問題。因此，萨 於加熱步驟中軟化之預成型以之寬度方向兩端部日，可抑 制經軟化之預成型坯】由於延伸步驟而於寬度方向收縮之 情形，從而可製造板寬較寬之超薄板玻璃基板9。 關於保持輥’只要為抑制經軟化之預成型坯工向豆寬产 方向收縮之構成則無特別限制。圖2轉將圖κ實施形^ 之加熱爐6至延伸輥7為止之步驟擴大表示的概略前視圖。 圖2B係向圖2A之加熱爐6添加一對保持親n之變形例之概 略前視圖。-對保持助呈大致圓筒狀之形狀。—對保持 輥U設置於加熱爐6内’-面保持於加熱爐6内軟化之預成 型⑴之寬度方向兩端部，—面使經軟化之預成型堪ι向其 寬度方向外側旋轉。藉由作用於經軟化之預成型坯1之寬 度方向之轉矩，可抑制由於經軟化之預成型坯1之延伸而 向寬度方向收縮之情形’從而可製造板寬較寬之超薄板玻 璃基板9。 進而，於延伸步驟中，較好的是在延伸輥7與上述超薄 板玻璃基板9之間插入第2保護薄片8。藉由在延伸輥7與超 溥板玻璃基板9之間插入第2保護薄片8，使得超薄板玻璃 基板9表面不會因延伸輥7產生損傷。 於延伸步驟t所使用之延伸輥7為丨根之情形時，在延伸 輞*7之曲面與超薄板玻璃基板9之單面之間插入第2保護薄 片8。於延伸步驟中所使用之延伸輥7為一對之情形時，在 150067.doc 201111308 一對延伸輥7之曲面盥上诚相兹 这超》摩板玻璃基板9之兩面之間插 入第2保護薄片8。亦即，構成 稱成為弟2保濩溥片8在超薄板玻 璃基板9之厚度方向上夹持該超薄板玻璃基板9。 關於第2保濩薄片8之寬声及县玲 σ φ达 心見度及長度，只要為可保護超薄板 玻璃基板9之表面之大小則無特別限制，較好的是分別大 於超薄板玻璃基板9之寬度及長度。 第2保護薄片8之厚度較好的是1〇 ，更好的 是12 μΐη〜800 μιη，進而好的是15 μιη〜7〇〇 μιη，最好的是 2〇㈣〜600 μΐΏ。若第2保護薄片8之厚度為10 μηι以上，則 由於第2保護薄片8之強度變得足夠強，發揮防止對超薄板 玻璃基板9表面造成損傷之作用而較佳。若第2保護薄片8 之厚度為1000 _以下，則捲繞於第2捲繞親ι〇之超薄板玻 璃基板9之輥徑變小而較佳。 “關於第2保護薄片8之種類’只要具有不因延伸步驟之超 薄板玻璃基板9之熱而發生燃燒、灰化、異臭等之耐熱 性’且可保護超薄板玻璃基板9之表面則無特別限制，例 如可列舉耐熱樹脂或耐熱紙。若為耐熱樹脂，可列舉聚醯 亞胺樹脂、氟碳樹脂、聚醯胺樹脂、芳族聚醯胺樹脂、聚 醚颯樹脂、聚醚酮樹脂、聚醚醚酮樹脂、聚萘二甲酸乙一 酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、各種液晶聚合物樹脂等。又，亦 可為該等之共聚物或含有填料等添加劑而成者。若為耐熱 紙，則可列舉玻璃纖維紙、陶瓷紙、不燃紙、阻燃紙、聚 酯紙、合成樹脂混合紙 '氟纖維紙。於延伸步驟之超薄板 玻璃基板9之溫度Μ低之情形時，亦可不具有耐熱性反 150067.doc -17- 201111308 於此情形時，可使用與第1保護薄片5同樣之種類。 再者，第2保護薄片8亦可包含2層以上。於此情形時， 第2保濩薄片8之厚度係指全部之層之合計厚度。又，於第 2保護薄片8包含2層以上之情形時，形成各個層之樹脂或 紙之種類亦可不同。 於错由延伸輥7將超薄板玻璃基板9與上述第2保護薄片8 重；k時，既可僅將超薄板玻璃基板9與第2保護薄片8單純 地：疊’亦可利用接著材等之接著力、或由固體分子間之 凡知·瓦耳力產生之密著力、或由上述超薄板玻璃基板9之 熱產生之熱融合力中的任一力’使超薄板玻璃基板9與第2 保護薄片8 —體化。 對本發明之超薄板玻璃基板9之捲繞步驟進行說明。 本發明之超薄板玻璃基板9之捲繞步驟，係利用第2捲繞 輥1〇捲繞由延伸步驟所獲得之超薄板玻璃基板9之步驟。 第2捲繞輥1〇之形狀較好的是圓筒狀。此處，所謂圓筒 狀貫貝上為大致圓筒狀。為保護超薄板玻璃基板9，第2 捲繞輥10之寬度之大小只要為超薄板玻璃基板9之寬度以 上之大小則無特別限制。 上述第2捲繞輥1〇之輥徑較好的是5〇 mm〜2〇〇〇 mm，更 好的是60 mm〜1800 mm，進而好的是70 mm〜1500 mm，最 好的是90 mm〜1200 mm。若第2捲繞輥1〇之輥徑為5〇 mm 以上’則由於可不喪失超薄板玻璃基板9之可撓性而將超 薄板玻璃基板9捲繞至第2捲繞輥1〇上故而較佳。若第2捲 繞親1〇之輥徑為2000 mm以下’則由於捲繞於第2捲繞輥1〇
150067.doc -18- 201111308 之超薄板玻璃基板9之輥徑變小，可使超薄板玻璃基板製 造裝置及使用超薄板玻璃基板9之產品之製造裝置小型化 故而較佳。 第2捲繞輥1〇之種類亦無特別限制，較好的是具有不會 因所捲繞之超薄板玻璃基板9之重量而變形之剛性。 於延伸步驟中，在延伸輥7與超薄板玻璃基板9之間不插 入第2保護薄片8之情形時，較好的是於延伸步驟後，將厚 度1〇 μΓΠ〜1000 μιη之第3保護薄片（未圖示）供給至超薄板玻 璃基板9之單面或兩面，維持超薄板玻璃基板9與第3保護 薄片重疊之狀態，藉由第2捲繞輥1〇進行捲繞。這樣可防 止由於超薄板玻璃基板9彼此或著超薄板玻璃基板9與第2 捲繞輥之接觸而導致超薄板玻璃基板9表面之損傷。 又，若需要進而保護超薄板玻璃基板9或使用上有需要， 亦可於延伸步驟中在㈣板玻璃基板9之單面或兩面上重 疊第2保護薄片8之後，進而重疊第3保護薄片。 第3保護薄片之厚度較好的是1〇叫〜1〇〇〇㈣，更好的是 12 〜800 μηι，進而好的是15 μιη〜7〇〇 μηι，最好的是2〇 —〇〇 _。若第3保護薄片之厚度為1〇㈣以上，則由於 第3保護薄片之強度變得足夠強，發揮防止對超薄板玻璃 基板9表面造成損傷之作用故而較佳。^第3保護薄片之厚 度為咖μΠ1以下，則捲繞於第2捲繞輥H)之超薄板玻璃基 板9之輥徑變小而較佳。 關於第3保護薄片之 之表面則無特別限制。 種類，只要可保護超薄板玻璃基板9 例如可列舉與上述第1 '第2保護薄 150067.doc 201111308 片5、8同樣之樹脂或紙。 再者，上述第3保護薄片亦可包含2層以上。於此情形 時，第3保濩薄片之厚度係指全部之層之合計厚度。又， 於第3保護薄片包含2層以上之情形時，形成各個層之樹脂 或紙之種類亦可不同。 於將上述超薄板玻璃基板9與上述第3保護薄片捲繞至上 述第2捲繞輥H)時’既可僅將上述超薄板玻璃基板9與第3 保護薄片單純地重疊，亦可利用接著材等之接著力或由 固體分子間之凡得瓦耳力產生之密著力中之任一力使超 薄板玻璃基板與第3保護薄片一體化。然而，為了 一面保 濩超薄板玻璃基板9之表面，一面容易地將第3保護薄片自 超薄板玻璃基板9剝離，較好的是超薄板玻璃基板9與第3 保護薄片藉由上述密著力而密著。 實施例 (實施例1) 首先，準備厚度120 μΓη、寬度12〇 mm、長度2 m之預成 型堪（旭硝子股份有限公司製，AN 1 〇〇)，進行純水清洗、 UV清洗而使表面淨化。其次於上述預成型坯之單面重疊 厚度 30 μιη之弟 1 PET(polyethylene terephthalate，聚對苯 二甲酸乙二酯）膜，且將預成型坯與第1 PET膜捲繞至輥徑 160 mm之圓筒狀之第丨捲繞輥上，使預成型坯成為輥狀。 將自第1捲繞輥抽出之預成型坯投入超薄板玻璃基板製造 裝置之供給步驟’藉由保護薄片去除步驟，將第1 ]?£丁膜 自預成型坯上剝離。將第1 PET膜已剝離之預成型坯投入 150067.doc -20-
201111308 將爐内加熱至1000 C之電爐内，加熱至軟化點附近使其軟 化。將已通過電爐之超薄板玻璃基板之兩面用一對延伸輥 夾住，藉由使一對延伸輥旋轉而拉引超薄板玻璃基板。藉 由超薄板玻璃基板之拉引，於加熱步驟中軟化之預成型坯 延伸，可獲得厚度10 μηι、寬度10 mm、長度2〇〇 m之超薄 板玻璃基板。於延伸步驟令用一對延伸輥夾住超薄板玻璃 基板時’一面在超薄板玻璃基板與延伸輥之間插入厚度3〇 μιη之第2 PET膜一面加以夾持，藉此使第2 pET膜之表面 在、著於超薄板玻璃基板之兩面。於延伸步驟後，將超薄板 玻璃基板捲繞至輥徑160 mm之圓筒狀之第2捲繞輥。由於 藉由密著於超薄板玻璃基板之兩面之第2 ΡΕτ膜，可保護 超薄板玻璃基板表面，因此可抑制如導致強度降低之損 傷。 (實施例2) 準備厚度100 μηι、寬度50 mm、長度100 m之預成型坯 (旭硝子股份有限公司製，AN100)，進行純水清洗、UV清 洗而使表面淨化。其次於上述預成型坯之單面重疊厚度3〇 μιη之第1 PET膜’且將預成型坯與第丨PET膜捲繞至輥徑 200 mm之圓筒狀之第i捲繞輥，使預成型坯成為輥狀。將 自第1捲繞輥抽出之預成型坯投入超薄板玻璃基板製造襄 置之供給步驟，藉由保護薄片去除步驟，將第1 PET膜自 預成型述上剝離。將第丨PET膜已剝離之預成型坯投入將 爐内加熱至100(TC之電爐内，加熱至軟化點附近使其軟 化。使已通過電爐之超薄板玻璃基板之單面接觸於1根延
S 150067.doc •21 - 201111308 伸輥，藉由使一根延伸輥旋轉而拉引超薄板玻璃基板。藉 由超薄板玻璃基板之拉引’於加熱步驟中軟化之預成型述 延伸，可獲得厚度20 μηι、寬度10 mrn、長度2000 m之超 薄板玻璃基板。於延伸步驟中使超薄板玻璃基板之單面接 觸於一根延伸親之曲面時，一面在超薄板玻璃基板之單面 與延伸輥之曲面之間插入厚度20 μηι之第2 PET膜一面使其 接觸’藉此使第2 PET膜之表面密著於所獲得之超薄板玻 璃基板之單面。於延伸步驟後，將上述超薄板玻璃基板捲 繞至輥徑160 mm之圓筒狀之第2捲繞輥。 (實施例3) 準備厚度200 μηι、寬度1〇〇〇 mm、長度5〇爪之預成型坯 (旭硝子股份有限公司製，AN 100)，進行純水清洗' uv清 洗而使表面淨化《其次於上述預成型坯之單面重疊厚度5〇 μηι之第1 PET膜，且將該預成型坯與該第i PET膜捲繞至 輥徑500 mm之圓筒狀之第1捲繞輥，使預成型坯成為輥 狀。將自第1捲繞輥抽出之預成型坯投入超薄板玻璃基板 製造裝置之供給步驟，藉由保護薄片去除步驟，將第丨pET 膜自預成型坯上剥離。將第i叩丁膜已剝離之預成型坯投 入將爐内加熱至100(TC之電爐内，加熱至軟化點附近使其 軟化。將已通過電爐之超薄板玻璃基板之兩面用一對延伸 幸Wi夾住，藉由使該延伸輥旋轉而拉引超薄板玻璃基板。藉 由超薄板玻璃基板之拉引，於加熱步驟中軟化之預成型坯 延伸，可獲得厚度30 μιη、寬度150 mm、長度2000 m之超 薄板玻璃基板。於延伸步驟中用一對延伸輥夾住超薄板玻 150067.doc -22· 201111308 璃基板時’一面在超薄板玻璃基板與延伸輥之間插入厚度 10 μιη之第2 PET膜一面加以夾持，藉此使第2 pet膜之表 面岔著於超薄板玻璃基板之兩面。於延伸步驟後，將超薄 板玻璃基板捲繞至輥徑300 mm之圓筒狀之第2捲繞輥。由 於藉由密著於超薄板玻璃基板之兩面之第2 pet膜，可保 濩超薄板玻璃基板表面’因此可抑制如導致強度降低之損 傷。 (比較例） 準備厚度50 μηι、寬度200 mm、長度1 m之預成型坯（旭 硝子股份有限公司製，AN100)，進行純水清洗、uv清洗 而使表面淨化。其次於上述預成型坯之單面重疊厚度5〇 μιη之第1 pET膜，且將該預成型坯與該第丨ρΕτ膜捲繞至 輥徑500 mm之圓筒狀之第丄捲繞輥，使預成型坯成為輥 狀。將自第1捲繞輥抽出之預成型坯投入超薄板玻璃基板 製這裝置之供給步驟，藉由保護薄片去除步驟，將第1 膜自預成型坯上剝離。將第丨PET膜已剝離之預成型坯投 入將爐内加熱至1000它之電爐内，加熱至軟化點附近使其 軟化。將已通過電爐之超薄板玻璃基板之兩面用一對延伸 輥夾住，使延伸輥旋轉，使上述加熱步驟中軟化之預成型 坯延伸成厚度1 μηι之超薄板玻璃基板，但於延伸時經軟化 之預成型坯發生斷裂。 已詳細地且參照特定之實施形態對本發明進行了說明， 但業者應明瞭只要不脫離本發明之精神與範圍便可施加各 種變更或修正》 150067.doc •23- 201111308 本申請案係基於2009年8月7日申請之曰本專利申請案 2009-184592者，其内容在此處作為參照而併入本文。 產業上之可利用性 藉由本發明之製造方法而獲得之超薄板玻璃基板可使用 於顯不裝置、電子紙、觸控面板、半導體積體電路、 MEMS、有機EL照明裝置等。 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之超薄板玻璃基板之製造方法之實施 形態的概略剖面圖； 圖2 A係表示圖1之實施形態之寬度延伸步驟之概略前視 圖；及 圖2 B係表示圖2 A之變形例之概略前視圖。 【主要元件符號說明】 1 預成型坯 2 第1捲繞輥 3 搬送輥 4 保護薄片剝離觀 5 第1保護薄片 6 加熱爐 7 延伸輥 8 第2保護薄片 9 超薄板玻璃基板 10 第2捲繞輥 11 保持輥 150067.doc -24·