WO2011016352A1 - 超薄板ガラス基板の製造方法 - Google Patents

超薄板ガラス基板の製造方法 Download PDF

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WO2011016352A1
WO2011016352A1 PCT/JP2010/062443 JP2010062443W WO2011016352A1 WO 2011016352 A1 WO2011016352 A1 WO 2011016352A1 JP 2010062443 W JP2010062443 W JP 2010062443W WO 2011016352 A1 WO2011016352 A1 WO 2011016352A1
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glass substrate
preform
ultra
roll
thin glass
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PCT/JP2010/062443
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裕 黒岩
盛輝 大原
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旭硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/02—Re-forming glass sheets
    • C03B23/037—Re-forming glass sheets by drawing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
    • C03B5/16—Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/235—Heating the glass
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present technology relates to a method for manufacturing an ultrathin glass substrate having a thickness of 50 ⁇ m or less, which is used for manufacturing a display device, electronic paper, a touch panel, a semiconductor integrated circuit, a MEMS, an organic EL lighting device, and the like.
  • a method for manufacturing a thin glass substrate having a thickness of 1 mm or less As a method for manufacturing a thin glass substrate having a thickness of 1 mm or less, a float method, a fusion method, a slot down draw method, and a redraw method have been used.
  • the float method floats molten glass on molten tin, and expands the width of the molten glass while holding both ends in the width direction of the molten glass to produce a glass substrate.
  • the equilibrium thickness of the molten glass on the molten tin is more than 4 mm, and in order to produce a thin glass substrate having a thickness of 4 mm or less, both ends in the width direction of the molten glass are pulled more strongly. Therefore, it is extremely difficult to make the entire thickness of the thin glass substrate uniform.
  • the limit of the thickness of the thin glass substrate by the float method is about 0.3 mm.
  • molten glass is poured into a bowl, the molten glass overflows from the bowl, and a thin glass substrate is manufactured while pulling down the molten glass integrated under the bowl.
  • a thin glass substrate is manufactured while pulling down the molten glass integrated under the bowl.
  • it is necessary to adjust the tension for pulling down the molten glass and the lateral tension for holding the molten glass in a well-balanced manner.
  • the limit of the thickness of the thin glass substrate by the fusion method is about 50 ⁇ m.
  • a molten glass is poured into a bowl, and a thin glass substrate is manufactured while being pulled down by gravity and downward tension while cooling the molten glass coming out of the slot formed at the bottom of the bowl. Since the temperature range in the pulling-down process ranges from a low-viscosity temperature range to a temperature range close to a solid, it is difficult to control the deformation of the thin glass substrate in such a wide temperature range.
  • the limit of the thickness of the thin glass substrate by the slot down draw method is about 0.1 mm. Further, since the surface of the thin glass substrate is in contact with the slot, it is easily affected by the shape and material of the slot. Therefore, there exists a fault that the surface quality of a thin glass substrate tends to deteriorate.
  • Patent Document 1 discloses a method of manufacturing an ultra-thin glass substrate by heating and stretching one preform.
  • Patent Document 1 In recent years, in order to efficiently mass-produce electronic devices, it has been considered to wind a long thin glass substrate in a roll shape and supply it to a subsequent process (including customers).
  • the manufacturing method in Patent Document 1 employs a batch method, and the length of the ultrathin glass substrate to be manufactured is limited according to the length of the preform. For example, when a preform having a length of 1 m and a thickness of 0.1 mm is stretched to an ultra-thin glass substrate having a thickness of 10 ⁇ m, the length ratio is 10: 1 when the similarity ratio of the cross-sectional shape in the width direction of the preform is 10: 1.
  • Non-Patent Document 1 The limit is to manufacture a 100 m ultra-thin glass substrate, and it is impossible to manufacture a long ultra-thin glass substrate.
  • the manufacturing method in Non-Patent Document 1 is such that the upper end and the lower end of adjacent preforms before the heating process is charged are heat-bonded with a burner or the like, and the heat-bonded preform is heated and stretched. Manufactures ultra-thin glass substrates.
  • the end portions of the preform having a thin plate thickness are heat-bonded, the preform end portion may be damaged or deformed by partial heating of the preform end portion. Further, even if the heating conditions such as alignment between the preform ends and a burner are optimized, process time for alignment and heat bonding is required, and productivity is reduced.
  • the present inventor has intensively studied in order to solve the above problems, and has completed the present invention. That is, the present invention relates to the following (1) to (7).
  • (1) A supplying process for supplying a glass substrate to a production line while holding a preform, a heating process for heating the preform supplied from the supplying process to the vicinity of the softening point, and a preform softened in the heating process And a stretching step to form an ultra-thin glass substrate, wherein the preform is wound around a cylindrical first take-up roll having a roll diameter of 100 mm to 1500 mm.
  • the preform is wound around the first take-up roll with a first protective sheet having a thickness of 10 ⁇ m to 1000 ⁇ m overlapped on one or both sides of the preform, and the preform is subjected to the heating step.
  • the method for producing an ultra-thin glass substrate according to (1) further comprising: a protective sheet peeling step for peeling the first protective sheet from the preform before introducing the reform.
  • the stretching step is a step of stretching with one or a pair of stretching rolls, and pulling the ultrathin glass substrate while contacting the ultrathin glass substrate after the heating step with a single stretching roll, Alternatively, the ultra-thin glass substrate according to (1) or (2), wherein the ultra-thin glass substrate after the heating step is held by a pair of stretching rolls and pulled.
  • the productivity is higher than that of a conventional redraw method using a short preform.
  • a method for producing a thin glass substrate can be provided.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a method for producing an ultrathin glass substrate in the present invention.
  • FIG. 2A is a schematic front view showing a width extending step of the embodiment of FIG.
  • FIG. 2B is a schematic front view showing a modification of FIG. 2A.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a method for producing an ultra-thin glass substrate in the present invention.
  • the preform 1 taken up by the first take-up roll 2 in the supply process is fed downward by the transport roll 3.
  • the protective sheet peeling step the first protective sheet 5 that is in close contact with one or both sides of the preform 1 is peeled from the preform 1 by the protective sheet peeling roll 4.
  • the preform 1 is put into a heating furnace 6 and heated to the vicinity of the softening point to be softened.
  • the preform 1 softened in the heating furnace 6 is drawn and drawn downward by the drawing roll 7 in the drawing process to become an ultrathin glass substrate 9.
  • a second protective sheet 8 is inserted between the ultra-thin glass substrate 9 and the drawing roll 7, and the second protective sheet 8 is in close contact with the surface of the ultra-thin glass substrate 9. Protect the surface.
  • the ultrathin glass substrate 9 is wound around the second winding roll 10.
  • the preform 1 in the present invention will be described.
  • the shape of the preform 1 is not particularly limited, and is preferably a substantially rectangular shape.
  • the thickness of the preform 1 is 20 ⁇ m to 250 ⁇ m, preferably 30 ⁇ m to 200 ⁇ m, more preferably 40 ⁇ m to 150 ⁇ m, and still more preferably 50 ⁇ m to 100 ⁇ m. If the thickness of the preform 1 is 20 ⁇ m or more, the preform 1 softened in the heating furnace 6 is hardly broken by pulling by the drawing roll 7. If the thickness of the preform 1 is 250 ⁇ m or less, the preform 1 can be wound around the first winding roll 2 having a small roll diameter without being damaged.
  • the width of the preform 1 is 10 mm to 2000 mm, preferably 20 mm to 1800 mm, more preferably 30 mm to 1600 mm, and still more preferably 40 mm to 1400 mm. If the width of the preform 1 is 10 mm or more, the preform 1 softened in the heating furnace 6 is difficult to break by pulling with the drawing roll 7. If the width of the preform 1 is 2000 mm or less, the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus can be reduced in size, and it is not necessary to increase the size of the first protective sheet 5 that protects the preform 1 and is easily available. .
  • the length of the preform 1 is 1 m to 5000 m, preferably 2 m to 4000 m, more preferably 3 m to 3000 m, and still more preferably 5 m to 2000 m. If the length of the preform 1 is 1 m or more, the length of the ultra-thin glass substrate 9 manufactured by the redraw method becomes long, and an effect of improving productivity can be obtained. If the length of the preform 1 is 5000 m or less, the roll diameter of the preform 1 wound around the first winding roll 2 becomes small, and the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus can be downsized.
  • the composition of the preform 1 is not particularly limited, and may be the same as, for example, a conventionally known glass containing an alkali metal oxide or an alkali-free glass. Among these, alkali-free glass is preferable in that the strength and chemical durability of the obtained ultrathin glass substrate 9 are excellent.
  • a method for producing the preform 1 is not particularly limited, and a conventionally known method can be used. For example, a float method, a fusion method, a slot down draw method, and a pulling method can be applied.
  • the 1st winding roll 2 in this invention is demonstrated.
  • the first winding roll 2 is a roll for winding the preform 1.
  • the shape of the first winding roll 2 is preferably a cylindrical shape.
  • the cylindrical shape is substantially a substantially cylindrical shape.
  • the width of the first winding roll 2 is not particularly limited as long as it is equal to or larger than the width of the preform 1 in order to protect the preform 1.
  • the roll diameter of the first take-up roll 2 is 100 mm to 1500 mm, preferably 150 mm to 1000 mm, more preferably 200 mm to 800 mm, and still more preferably 300 mm to 500 mm. If it is 100 mm or more, the preform 1 can be wound around the first winding roll 2 without losing the flexibility of the preform 1. If the roll diameter of the 1st winding roll 2 is 1500 mm or less, the roll diameter of the preform 1 wound up by the 1st winding roll 2 will become small, and an ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus can be reduced in size.
  • the material of the first take-up roll 2 is not particularly limited as long as it is rigid so as not to be deformed by the weight of the preform 1 taken up.
  • the preform 1 is wound around the first winding roll 2 with the first protective sheet 5 overlapped on one side or both sides of the preform 1. Therefore, the surface of the preforms 1 can be prevented from being damaged by contact between the preforms 1 or between the preforms 1 and the first take-up roll 2. When the surface of the preform 1 is scratched, the preform 1 may be destroyed during the production of the ultrathin glass substrate 9.
  • the thickness of the first protective sheet 5 is preferably 10 ⁇ m to 1000 ⁇ m, more preferably 12 ⁇ m to 800 ⁇ m, still more preferably 15 ⁇ m to 700 ⁇ m, and most preferably 20 ⁇ m to 600 ⁇ m. If it is 10 micrometers or more, since the intensity
  • the material of the 1st protection sheet 5 will not be restrict
  • resin or paper is mentioned. If resin, polyester resin, polycarbonate resin, polyethersulfone resin, polyolefin resin, polyvinyl alcohol resin, silicone resin, polyamide resin, acrylic resin, polystyrene resin, triacetyl cellulose resin, polyimide resin, polyvinyl chloride resin, fluorine resin Etc. Moreover, what contained additives, such as these copolymers and a filler, may be used. Examples of the paper include widely used wooden paper, straw half paper, non-combustible paper, and flame-retardant paper. These papers may be specially processed.
  • the structure of the 1st protective sheet 5 may consist of two or more layers.
  • the thickness of the first protective sheet 5 means the total thickness of all the layers.
  • the kind of resin or paper which forms each layer may differ.
  • the preform 1 and the first protective sheet 5 When the preform 1 and the first protective sheet 5 are wound around the first winding roll 2, the preform 1 and the first protective sheet 5 may be simply overlapped with each other, Alternatively, the preform 1 and the first protective sheet 5 may be integrated by any one of the adhesion forces resulting from van der Waals forces between solid molecules. However, in order to easily peel the first protective sheet 5 from the preform 1 while protecting the surface of the preform 1, the preform 1 and the first protective sheet 5 are brought into close contact with each other with the above-described adhesion force. Preferably it is.
  • the protective sheet peeling step is not particularly limited as long as the first protective sheet 5 can be easily peeled from the preform 1 without destroying the preform 1.
  • an adhesive is applied to the curved surface of the cylindrical peeling roll 4, the curved surface of the peeling roll 4 is pressed against the surface of the first protective sheet 5, and the first protective sheet 5 is peeled from the preform 1, It is wound up on a peeling roll 4.
  • the first protective sheet 5 can be peeled from the preform 1 using a material having an adhesive force instead of the adhesive.
  • the ultra-thin glass substrate 9 in the present invention will be described.
  • the ultra-thin glass substrate 9 can be manufactured by stretching the preform 1 softened in the heating furnace 6 downward by a stretching roll 7.
  • the cross-sectional shape of the ultra-thin glass substrate 9 is a similar shape in which the cross-sectional size of the preform 1 before heating is reduced.
  • the thickness of the ultrathin glass substrate 9 is 2 ⁇ m to 50 ⁇ m, preferably 3 ⁇ m to 40 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 30 ⁇ m, and still more preferably 7 ⁇ m to 20 ⁇ m.
  • the thickness of the ultra-thin glass substrate 9 is 50 ⁇ m or less for weight reduction. Moreover, by setting it as 50 micrometers or less, the possibility of cracking by stress when bent can be suppressed low. More preferably, it is 30 ⁇ m or less.
  • the thickness of the ultra-thin glass substrate 9 is 50 ⁇ m or less, it is difficult to manufacture except for the manufacturing method of the present invention (for example, the fusion method). Since it cannot be manufactured, the advantage of the present invention can be maintained.
  • the width of the ultrathin glass substrate 9 is 0.3 mm to 500 mm, preferably 1 mm to 400 mm, more preferably 10 mm to 350 mm, and still more preferably 100 mm to 300 mm. If the width
  • the length of the ultrathin glass substrate 9 is 5 m to 500,000 m, preferably 10 m to 200,000 m, more preferably 20 m to 100,000 m, and even more preferably 50 m to 50,000 m. If the length of the ultrathin glass substrate 9 is 5 m or more, a long ultrathin glass substrate 9 with high productivity, which is impossible by the heat bonding of the preform used in the conventional redraw method, can be manufactured. If the length of the ultra-thin glass substrate 9 is 500000 m or less, the storage occupation area of the ultra-thin glass substrate 9 can be reduced, and the manufacturing apparatus for products using the ultra-thin glass substrate 9 can be downsized.
  • the thickness of the ultrathin glass substrate 9 is Tg
  • the reduction rate in the thickness direction of the preform 1 by the stretching roll 7 is Tg / Tp
  • Tg / Tp 1 / 125 ⁇ 1/2, preferably 1/75 to 1/3, more preferably 1/50 to 1/4, and even more preferably 1/25 to 1/5.
  • Tg / Tp is 1/125 or more
  • the ultrathin glass substrate 9 is hardly broken by pulling by the drawing roll 7.
  • Tg / Tp is 1/2 or less, the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus and the product manufacturing apparatus using the ultra-thin glass substrate 9 can be downsized.
  • the width of the preform 1 is Wp
  • the width of the ultra-thin glass substrate 9 is Wg
  • the reduction rate in the width direction of the preform 1 by the stretching roll 7 is Wg / Wp
  • Wg / Wp 1/125 to 1. 1/75 to 4/5 is preferable, 1/50 to 2/3 is more preferable, and 1/25 to 1/2 is still more preferable.
  • Wg / Wp is 1/125 or more
  • the ultrathin glass substrate 9 is hardly broken by pulling by the drawing roll 7.
  • Wg / Wp is 1 or less, an ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus and an apparatus for manufacturing a product using the ultra-thin glass substrate 9 can be reduced in size.
  • the preform 1 is supplied to the production line while being held.
  • the direction in which the preform 1 is held is not limited. As shown in FIG. 1, the preform 1 may be supplied downward while being held vertically, or may be supplied while being held horizontally. Moreover, if the process can be conveyed to a heating process without damaging the preform 1, it will not be restrict
  • the preform 1 sent from the supplying step is heated and softened in the heating furnace 6 to the vicinity of the softening point. If it is a heating furnace which can heat the preform 1 to the softening point vicinity, it will not restrict
  • limit For example, an electric furnace and a gas furnace are mentioned.
  • the stretching step in the present invention is a step of stretching with one or a pair of stretching rolls 7, and pulling the ultrathin glass substrate 9 while bringing the ultrathin glass substrate 9 after the heating step into contact with one stretching roll 7, Alternatively, it is preferable to pull the ultrathin glass substrate 9 while holding the ultrathin glass substrate 9 after the heating step with the pair of stretching rolls 7.
  • the drawing roll 7 rotates while the ultrathin glass substrate 9 is in contact with or gripped by the drawing roll, the rotational torque of the drawing roll 7 acts on the ultrathin glass substrate, and the ultrathin glass substrate is pulled.
  • the preform 1 softened by the heating process is stretched to form an ultrathin glass substrate 9. Since the softened preform 1 is stretched in free space, an ultra-thin glass substrate 9 with good surface quality can be manufactured.
  • the shape of the drawing roll 7 is preferably cylindrical.
  • the cylindrical shape is substantially a substantially cylindrical shape.
  • the width of the drawing roll 7 is not particularly limited as long as it is equal to or larger than the width of the ultra-thin glass substrate 9 to be manufactured, and the roll diameter of the drawing roll 7 is not particularly limited.
  • the stretching roll 7 is rotationally driven by a driving device such as an electric motor.
  • the ultra-thin glass substrate 9 is bent toward the drawing roll 7 while one side of the ultra-thin glass substrate 9 that has passed through the heating furnace 6 is brought into contact with the curved surface of the drawing roll 7 and drawn.
  • the roll 7 is rotated.
  • the ultra-thin glass substrate 9 is pulled by the rotational torque acting on the ultra-thin glass substrate 9 from the stretching roll 7, and the preform 1 softened in the heating furnace 6 is stretched according to the pulling to become the ultra-thin glass substrate 9. .
  • the bending direction of the ultrathin glass substrate 9 in the drawing roll 7 is not particularly limited as long as the ultrathin glass substrate 9 having a desired size can be obtained.
  • the ultrathin glass substrate 9 that has passed through the heating furnace 6 is inserted between the pair of stretching rolls 7.
  • the pair of stretching rolls 7 is rotated while the curved surfaces of the pair of stretching rolls 7 are in contact with both surfaces of the ultrathin glass substrate.
  • the ultra-thin glass substrate 9 is pulled by the rotational torque acting on the ultra-thin glass substrate 9 from the pair of stretching rolls 7, and the preform 1 softened in the heating furnace 6 is stretched in accordance with the pulling to stretch the ultra-thin glass substrate 9. become.
  • the pair of stretching rolls 7 operates as a pair of stretching rolls 7 having a variable gap. With this variable gap, it is possible to cope with a change in the specification of the thickness of the ultrathin glass substrate 9.
  • the heating step it is preferable to grip both ends of the softened preform 1 in the width direction with a gripping roll.
  • the glass substrate manufactured by the redraw method can reduce the plate thickness, there is a problem that the plate width becomes narrow. Therefore, by grasping the width direction both ends of the preform 1 softened in the heating process, it is possible to suppress the softened preform 1 from shrinking in the width direction in the stretching process, and the ultra-thin sheet glass having a wide plate width.
  • the substrate 9 can be manufactured.
  • FIG. 2A is a schematic front view in which the steps from the heating furnace 6 to the drawing roll 7 in the embodiment of FIG. 1 are enlarged.
  • FIG. 2B is a schematic front view of a modification in which a pair of gripping rolls 11 is added to the heating furnace 6 of FIG. 2A.
  • the pair of gripping rolls 11 has a substantially cylindrical shape.
  • the pair of gripping rolls 11 are installed in the heating furnace 6 and rotate the softened preform 1 outward in the width direction while gripping both ends in the width direction of the preform 1 softened in the heating furnace 6.
  • the rotational torque acting in the width direction of the softened preform 1 can suppress shrinkage in the width direction due to the stretching of the softened preform 1, and an ultra-thin glass substrate 9 having a wide plate width can be manufactured. .
  • the stretching step it is preferable to insert the second protective sheet 8 between the stretching roll 7 and the ultrathin glass substrate 9. This is because the second protective sheet 8 is inserted between the stretching roll 7 and the ultrathin glass substrate 9 so that the surface of the ultrathin glass substrate 9 is not damaged by the stretching roll 7.
  • the second protective sheet 8 is inserted between the curved surface of the drawing roll 7 and one side of the ultrathin glass substrate 9.
  • the second protective sheet 8 is inserted between the curved surface of the pair of stretching rolls 7 and both surfaces of the ultrathin glass substrate 9. That is, the second protective sheet 8 is configured to sandwich the ultrathin glass substrate 9 in the thickness direction.
  • the width and length of the second protective sheet 8 are not particularly limited as long as they are large enough to protect the surface of the ultrathin glass substrate 9, and are larger than the width and length of the ultrathin glass substrate 9, respectively. It is preferable.
  • the thickness of the second protective sheet 8 is preferably 10 ⁇ m to 1000 ⁇ m, more preferably 12 ⁇ m to 800 ⁇ m, still more preferably 15 ⁇ m to 700 ⁇ m, and most preferably 20 ⁇ m to 600 ⁇ m. If the thickness of the 2nd protective sheet 8 is 10 micrometers or more, since the intensity
  • the type of the second protective sheet 8 has heat resistance that does not cause combustion, ashing, odor or the like due to heat of the ultrathin glass substrate 9 in the stretching process, and protects the surface of the ultrathin glass substrate 9. If it can, it will not restrict
  • heat-resistant resins include polyimide resins, fluororesins, polyamide resins, polyaramid resins, polyethersulfone resins, polyetherketone resins, polyetheretherketone resins, polyethylene naphthalate resins, polycarbonate resins, and various liquid crystal polymer resins. .
  • what contained additives, such as these copolymers and a filler may be used.
  • heat-resistant paper examples include glass fiber paper, ceramic paper, non-combustible paper, flame retardant paper, polyester paper, synthetic resin mixed paper, and fluorine fiber paper.
  • the heat resistance may not be present, and in that case, the same type as the first protective sheet 5 can be used.
  • the second protective sheet 8 may consist of two or more layers.
  • the thickness of the second protective sheet 8 means the total thickness of all the layers.
  • the kind of resin or paper which forms each layer may differ.
  • the ultra-thin glass substrate 9 and the second protective sheet 8 When the ultra-thin glass substrate 9 and the second protective sheet 8 are overlapped with the stretching roll 7, the ultra-thin glass substrate 9 and the second protective sheet 8 may be simply overlapped and bonded by an adhesive or the like.
  • the sheet 8 may be integrated.
  • the process of winding up the ultrathin glass substrate 9 in the present invention will be described.
  • the step of winding the ultrathin glass substrate 9 in the present invention is a step of winding the ultrathin glass substrate 9 obtained by the stretching step with the second winding roll 10.
  • the shape of the second winding roll 10 is preferably cylindrical.
  • the cylindrical shape is substantially a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second winding roll 10 is not particularly limited as long as it is larger than the width of the ultrathin glass substrate 9 in order to protect the ultrathin glass substrate 9.
  • the roll diameter of the second winding roll 10 is preferably 50 mm to 2000 mm, more preferably 60 mm to 1800 mm, still more preferably 70 mm to 1500 mm, and most preferably 90 mm to 1200 mm. . If the roll diameter of the second winding roll 10 is 50 mm or more, the ultrathin glass substrate 9 can be wound around the second winding roll 10 without losing the flexibility of the ultrathin glass substrate 9. Therefore, it is preferable.
  • the roll diameter of the 2nd winding roll 10 is 2000 mm or less, the roll diameter of the ultra-thin glass substrate 9 wound up by the 2nd winding roll 10 will become small, an ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus and ultra-thin The product manufacturing apparatus using the plate glass substrate 9 can be miniaturized, which is preferable.
  • the type of the second winding roll 10 is not particularly limited, and preferably has a rigidity that does not deform due to the weight of the wound ultrathin glass substrate 9.
  • the first 10 ⁇ m to 1000 ⁇ m thickness is formed on one or both surfaces of the ultrathin glass substrate 9 after the stretching step.
  • 3 protective sheet (not shown) is supplied, and it is preferable to wind up with the 2nd winding roll 10, with the ultra-thin glass substrate 9 and the 3rd protective sheet piled up. This is because the surface of the ultrathin glass substrate 9 due to contact between the ultrathin glass substrates 9 or between the ultrathin glass substrate 9 and the second winding roll 10 can be prevented.
  • the second protective sheet 8 is stacked on one or both sides of the ultrathin glass substrate 9 in the stretching step, and then a third protection is further performed. Sheets may be stacked.
  • the thickness of the third protective sheet is preferably 10 ⁇ m to 1000 ⁇ m, more preferably 12 ⁇ m to 800 ⁇ m, still more preferably 15 ⁇ m to 700 ⁇ m, and most preferably 20 ⁇ m to 600 ⁇ m. If the thickness of the third protective sheet is 10 ⁇ m or more, it is preferable because the strength of the third protective sheet is sufficiently high and prevents the surface of the ultrathin glass substrate 9 from being damaged. If the thickness of the third protective sheet is 1000 ⁇ m or less, the roll diameter of the ultrathin glass substrate 9 wound around the second winding roll 10 is preferably reduced.
  • the type of the third protective sheet is not particularly limited as long as the surface of the ultrathin glass substrate 9 can be protected.
  • the same resin or paper as the first and second protective sheets 5 and 8 can be used.
  • the third protective sheet may be composed of two or more layers. In this case, the thickness of the third protective sheet means the total thickness of all the layers. Further, when the third protective sheet is composed of two or more layers, the type of resin or paper forming each layer may be different.
  • the ultra-thin glass substrate 9 and the third protective sheet When the ultra-thin glass substrate 9 and the third protective sheet are wound on the second winding roll 10, the ultra-thin glass substrate 9 and the third protective sheet may be simply overlapped and bonded.
  • the ultrathin glass substrate and the third protective sheet may be integrated by any one of an adhesive force due to a material or the like, or an adhesion force resulting from van der Waals force between solid molecules.
  • the ultrathin glass substrate 9 and the third protective sheet have the above-mentioned adhesion force. It is preferable that they are closely attached.
  • Example 1 First, a preform having a thickness of 120 ⁇ m, a width of 120 mm, and a length of 2 m is prepared (AN100, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), and the surface is cleaned by cleaning with pure water and UV. Next, a first PET film having a thickness of 30 ⁇ m is stacked on one side of the preform, and the preform and the first PET film are wound on a cylindrical first take-up roll having a roll diameter of 160 mm. Reform the roll. The preform fed from the first winding roll is put into the supply process of the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus, and the first PET film is peeled from the preform in the protective sheet removing process.
  • AN100 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
  • the preform from which the first PET film has been peeled is placed in an electric furnace heated to 1000 ° C. and heated to near the softening point to be softened.
  • the ultra-thin glass substrate is pulled by rotating the pair of stretching rolls by sandwiching both surfaces of the ultra-thin glass substrate that has already passed through the electric furnace with a pair of stretching rolls.
  • the preform softened in the heating process is stretched by pulling the ultrathin glass substrate, and an ultrathin glass substrate having a thickness of 10 ⁇ m, a width of 10 mm, and a length of 200 m is obtained.
  • the ultra-thin glass substrate When the ultra-thin glass substrate is sandwiched between a pair of stretching rolls in the stretching step, by inserting the second PET film having a thickness of 30 ⁇ m between the ultra-thin glass substrate and the stretching roll, The surface of the second PET film is adhered to both sides.
  • the ultrathin glass substrate After the stretching step, the ultrathin glass substrate is wound around a cylindrical second winding roll having a roll diameter of 160 mm. Since the surface of the ultra-thin glass substrate is protected by the second PET film adhered to both surfaces of the ultra-thin glass substrate, it is possible to suppress scratches that lead to a decrease in strength.
  • Example 2 A preform (AN100, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a thickness of 100 ⁇ m, a width of 50 mm, and a length of 100 m is prepared, and the surface is cleaned by pure water cleaning and UV cleaning. Next, a first PET film having a thickness of 30 ⁇ m is stacked on one side of the preform, and the preform and the first PET film are wound on a cylindrical first take-up roll having a roll diameter of 200 mm. Reform the roll. The preform fed from the first winding roll is put into the supply process of the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus, and the first PET film is peeled from the preform in the protective sheet removing process.
  • AN100 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
  • the preform from which the first PET film has been peeled is placed in an electric furnace heated to 1000 ° C. and heated to near the softening point to be softened.
  • One side of the ultra-thin glass substrate that has already passed through the electric furnace is brought into contact with one stretching roll, and the ultra-thin glass substrate is pulled by rotating one stretching roll.
  • the preform softened in the heating process is stretched to obtain an ultrathin glass substrate having a thickness of 20 ⁇ m, a width of 10 mm, and a length of 2000 m.
  • a second PET film having a thickness of 20 ⁇ m is inserted between one surface of the ultrathin glass substrate and the curved surface of the stretching roll.
  • the surface of the second PET film is brought into close contact with one surface of the obtained ultrathin glass substrate.
  • Example 3 A preform (AN100, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a thickness of 200 ⁇ m, a width of 1000 mm, and a length of 50 m is prepared, and the surface is cleaned by pure water cleaning and UV cleaning. Next, a first PET film having a thickness of 50 ⁇ m is stacked on one side of the preform, and the preform and the first PET film are wound on a cylindrical first winding roll having a roll diameter of 500 mm. Make the preform into a roll. The preform fed from the first winding roll is put into the supply process of the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus, and the first PET film is peeled from the preform in the protective sheet removing process.
  • AN100 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
  • the preform from which the first PET film has been peeled is placed in an electric furnace heated to 1000 ° C. and heated to near the softening point to be softened.
  • the ultrathin glass substrate is pulled by rotating both of the stretching rolls by sandwiching both surfaces of the ultrathin glass substrate that has already passed through the electric furnace with a pair of stretching rolls.
  • the preform softened in the heating process is stretched by pulling the ultrathin glass substrate to obtain an ultrathin glass substrate having a thickness of 30 ⁇ m, a width of 150 mm, and a length of 2000 m.
  • the second PET film having a thickness of 10 ⁇ m is inserted between the ultrathin glass substrate and the stretching roll, thereby forming the ultrathin glass substrate.
  • the surface of the second PET film is adhered to both sides.
  • the ultrathin glass substrate is wound around a cylindrical second winding roll having a roll diameter of 300 mm. Since the surface of the ultra-thin glass substrate is protected by the second PET film adhered to both surfaces of the ultra-thin glass substrate, it is possible to suppress scratches that lead to a decrease in strength.
  • a first PET film having a thickness of 50 ⁇ m is stacked on one side of the preform, and the preform and the first PET film are wound on a cylindrical first winding roll having a roll diameter of 500 mm. Make the preform into a roll.
  • the preform fed from the first winding roll is put into the supply process of the ultra-thin glass substrate manufacturing apparatus, and the first PET film is peeled from the preform in the protective sheet removing process.
  • the preform from which the first PET film has been peeled is placed in an electric furnace heated to 1000 ° C. and heated to near the softening point to be softened.
  • the ultrathin glass substrate that has already passed through the electric furnace is sandwiched between a pair of stretching rolls, the stretching roll is rotated, and the preform softened in the heating process is stretched to become an ultrathin glass substrate having a thickness of 1 ⁇ m.
  • the preform softened during stretching breaks.
  • the ultra-thin glass substrate obtained by the production method of the present invention can be used for display devices, electronic paper, touch panels, semiconductor integrated circuits, MEMS, organic EL lighting devices, and the like.

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Abstract

　本発明は、ガラス基板のプリフォームを保持しながら製造ラインに供給する供給工程と、該供給工程から供給された該プリフォームを軟化点近傍まで加熱する加熱工程と、該加熱工程で軟化したプリフォームを延伸させて超薄板ガラス基板にする延伸工程と、を備える超薄板ガラス基板の製造方法において、前記プリフォームが、ロール径１００ｍｍ～１５００ｍｍの円筒状の第１の巻き取りロールに巻かれた、厚さＴｐ＝２０μｍ～２５０μｍ、幅Ｗｐ＝１０ｍｍ～２０００ｍｍ、長さ＝１ｍ～５０００ｍであり、前記延伸工程によって製造される超薄板ガラス基板が、厚さＴｇ＝２μｍ～５０μｍ、幅Ｗｇ＝０．３ｍｍ～５００ｍｍ、長さ＝５ｍ～５０００００ｍであり、前記延伸工程による前記プリフォームの厚さ方向の縮小率をＴｇ／Ｔｐ、幅方向の縮小率をＷｇ／Ｗｐとすると、Ｔｇ／Ｔｐ＝１／１２５～１／２、Ｗｇ／Ｗｐ＝１／１２５～１になることを特徴とする、超薄板ガラス基板の製造方法に関する。

Description

超薄板ガラス基板の製造方法
　本技術は、表示装置、電子ペーパー、タッチパネル、半導体集積回路、ＭＥＭＳ、有機ＥＬ照明装置等の製造に使用される、厚さ５０μｍ以下の超薄板ガラス基板の製造方法に関する。
　厚さが１ｍｍ以下の薄板ガラス基板の製造方法は、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法、リドロー法が用いられてきた。
　フロート法は、溶融スズの上に溶融ガラスを浮遊させ、溶融ガラスの幅方向両端部を保持しながら、溶融ガラスの幅を拡げてガラス基板を製造する。しかしながら、溶融スズの上での溶融ガラスの平衡厚さは４ｍｍ超であり、厚さが４ｍｍ以下の薄板ガラス基板を製造するには、溶融ガラスの幅方向両端部を更に強く引っ張って、溶融ガラスの幅を更に広げる必要があるため、薄板ガラス基板全体の厚さを均一にすることは極めて困難である。フロート法による薄板ガラス基板の厚さの限界は０．３ｍｍ程度である。
　フュージョン法は、溶融ガラスを桶に注ぎ込み、桶から溶融ガラスを溢れ出させ、桶下方で一体化した溶融ガラスを引き下ろしながら薄板ガラス基板を製造する。薄板ガラス基板を製造するには、溶融ガラスを引き下ろす張力と溶融ガラスを保持する横方向への張力とをバランス良く調整させる必要がある。前記バランスが悪いと、板厚偏差が大きく、うねりがある薄板ガラス基板となる。フュージョン法による薄板ガラス基板の厚さの限界は、５０μｍ程度である。
　スロットダウンドロー法は、溶融ガラスを桶に注ぎ込み、桶の底に形成されたスロットから出る溶融ガラスを冷却しながら重力および下方への張力で引き下ろしながら薄板ガラス基板を製造する。引き下ろす工程での温度領域は、低粘性の温度領域から固体に近い温度領域まで及ぶため、そのような広い温度領域で薄板ガラス基板の変形を制御することは困難である。スロットダウンドロー法による薄板ガラス基板の厚さの限界は０．１ｍｍ程度である。また、薄板ガラス基板の表面はスロットに接触するため、スロットの形状や材質の影響を受け易い。したがって、薄板ガラス基板の表面品質が悪くなり易いという欠点がある。
　リドロー法は、ガラス基板を垂直に保持しながら下方に送り、下方に送られたガラス基板の下端を電気炉などの加熱工程で軟化点近傍まで加熱し、軟化したガラス基板を下方に延伸させることで、薄板ガラス基板を製造する。薄板ガラス基板の断面は、加熱前のガラス基板（以下、「プリフォーム」という。）の相似形となるため、プリフォームの寸法精度を高くすることで、薄板ガラス基板も高い寸法精度で製造することが可能である。
  リドロー法の製造方法としては、１枚のプリフォームを加熱および延伸し、超薄板ガラス基板を製造する方法が特許文献１に記載されている。
日本国特表２００８－５０８１７９公報
「ガラス工学ハンドブック」、朝倉書店、１９９９年、Ｐ４１９
　近年、電子デバイスを効率良く量産するため、長尺の薄板ガラス基板をロール状に巻き取って後工程（客先を含む）に供給することが考えられている。
  しかしながら、特許文献１における製造方法はバッチ式を採用しており、プリフォームの長さに応じて、製造される超薄板ガラス基板の長さが制限される。例えば、長さ１ｍ、厚さ０．１ｍｍのプリフォームを厚さ１０μｍの超薄板ガラス基板に延伸させた場合、プリフォームの幅方向の断面形状の相似比を１０：１とすれば、長さ１００ｍの超薄板ガラス基板を製造するのが限界であり、長尺の超薄板ガラス基板を製造することは不可能である。
  また、非特許文献１における製造方法は、加熱工程投入前の隣接するプリフォームの上端と下端とをバーナー等で加熱接合し、加熱接合されたプリフォームを加熱および延伸させることで、長尺の超薄板ガラス基板を製造している。しかし、板厚が薄いプリフォームの端部同士を加熱接合した場合、プリフォーム端部への部分加熱によって、プリフォーム端部の破損や変形が発生する恐れがある。また、プリフォーム端部同士の位置合わせやバーナー等による加熱条件を最適化しても、位置合わせや加熱接合のための工程時間が必要となり、生産性が低下する。
　本発明者は上記課題を解決するために鋭意検討を重ね、本発明を完成した。
  すなわち、本発明は以下の（１）～（７）に関する。
  （１）ガラス基板のプリフォームを保持しながら製造ラインに供給する供給工程と、該供給工程から供給された該プリフォームを軟化点近傍まで加熱する加熱工程と、該加熱工程で軟化したプリフォームを延伸させて超薄板ガラス基板にする延伸工程と、を備える超薄板ガラス基板の製造方法において、前記プリフォームが、ロール径１００ｍｍ～１５００ｍｍの円筒状の第１の巻き取りロールに巻かれた、厚さＴｐ＝２０μｍ～２５０μｍ、幅Ｗｐ＝１０ｍｍ～２０００ｍｍ、長さ＝１ｍ～５０００ｍであり、前記延伸工程によって製造される超薄板ガラス基板が、厚さＴｇ＝２μｍ～５０μｍ、幅Ｗｇ＝０．３ｍｍ～５００ｍｍ、長さ＝５ｍ～５０００００ｍであり、前記延伸工程による前記プリフォームの厚さ方向の縮小率をＴｇ／Ｔｐ、幅方向の縮小率をＷｇ／Ｗｐとすると、Ｔｇ／Ｔｐ＝１／１２５～１／２、Ｗｇ／Ｗｐ＝１／１２５～１になることを特徴とする、超薄板ガラス基板の製造方法。
  （２）前記プリフォームは、該プリフォームの片面または両面に、厚さ１０μｍ～１０００μｍの第１の保護シートを重ねて前記第１の巻き取りロールに巻かれており、前記加熱工程に該プリフォームを投入する前に、該第１の保護シートを該プリフォームから剥離する保護シート剥離工程と、を更に備えることを特徴とする、（１）に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  （３）前記延伸工程は、一本または一対の延伸ロールで延伸する工程であり、前記加熱工程後の前記超薄板ガラス基板を一本の延伸ロールに接触させながら該超薄板ガラス基板を引っ張る、または、前記加熱工程後の前記超薄板ガラス基板を一対の延伸ロールで把持しながら該超薄板ガラス基板を引っ張ることを特徴とする、（１）または（２）に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  （４）前記加熱工程は、前記軟化したプリフォームの幅方向両端部を把持ロールで把持することを特徴とする、（１）～（３）のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  （５）前記延伸工程後、前記超薄板ガラス基板をロール径５０ｍｍ～２０００ｍｍの円筒状の第２の巻き取りロールに巻き取る工程と、を更に備えることを特徴とする、（１）～（４）のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  （６）前記延伸工程にて、前記延伸ロールと前記超薄板ガラス基板との間に厚さ１０μｍ～１０００μｍの第２の保護シートを挿入させることを特徴とする、（３）～（５）のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  （７）前記延伸工程後、前記超薄板ガラス基板の片面または両面に厚さ１０μｍ～１０００μｍの第３の保護シートを供給し、該超薄板ガラス基板と該第３の保護シートとを重ねて、前記第２の巻き取りロールで巻き取ることを特徴とする、（５）または（６）に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
　本発明によれば、円筒状のロールに巻かれた長尺のプリフォームをリドロー法で延伸することで、従来の短尺のプリフォームを用いたリドロー法より、生産性が高い、長尺の超薄板ガラス基板の製造方法を提供することができる。
図１は、本発明における超薄板ガラス基板の製造方法の実施形態を示す概略断面図である。 図２Ａは、図１の実施形態の幅延伸工程を示す概略正面図である。 図２Ｂは、図２Ａの変形例を示す概略正面図である。
　本発明の超薄板ガラス基板の製造方法の実施形態について図を用いて説明する。
  図１には、本発明における超薄板ガラス基板の製造方法の実施形態を示す概略断面図が示されている。
  図１に示す実施形態では、供給工程にて、第１の巻き取りロール２に巻き取られたプリフォーム１は搬送ロール３によって下方に繰り出される。その後、保護シート剥離工程にて、保護シート剥離ロール４によってプリフォーム１の片面または両面に密着している第１の保護シート５をプリフォーム１から剥離する。加熱工程にて、プリフォーム１は加熱炉６に投入され、軟化点近傍まで加熱されて軟化する。加熱炉６内で軟化したプリフォーム１は、延伸工程にて、延伸ロール７によって、下方に引っ張られて延伸し、超薄板ガラス基板９となる。前記超薄板ガラス基板９と延伸ロール７との間には、第２の保護シート８が挿入され、第２の保護シート８が超薄板ガラス基板９の表面と密着し、超薄板ガラス基板９の表面を保護する。最後に超薄板ガラス基板９は第２の巻き取りロール１０に巻き取られる。
　本発明におけるプリフォーム１について説明する。
  プリフォーム１の形状は特に制限されず、略矩形状であることが好ましい。プリフォーム１の厚さは２０μｍ～２５０μｍであり、３０μｍ～２００μｍであることが好ましく、４０μｍ～１５０μｍであることがより好ましく、５０μｍ～１００μｍ以下であることが更に好ましい。プリフォーム１の厚さが２０μｍ以上であれば、加熱炉６で軟化したプリフォーム１が延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。プリフォーム１の厚さが２５０μｍ以下であれば、プリフォーム１を破損せずにロール径が小さい第１の巻き取りロール２に巻き付けることができる。
　プリフォーム１の幅は１０ｍｍ～２０００ｍｍであり、２０ｍｍ～１８００ｍｍであることが好ましく、３０ｍｍ～１６００ｍｍであることがより好ましく、４０ｍｍ～１４００ｍｍであることが更に好ましい。プリフォーム１の幅が１０ｍｍ以上であれば、加熱炉６で軟化したプリフォーム１が延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。プリフォーム１の幅が２０００ｍｍ以下であれば、超薄板ガラス基板製造装置を小型化できる、および、プリフォーム１を保護する第１の保護シート５のサイズを大型化する必要がなく、入手し易い。
　プリフォーム１の長さは１ｍ～５０００ｍであり、２ｍ～４０００ｍであることが好ましく、３ｍ～３０００ｍであることがより好ましく、５ｍ～２０００ｍであることが更に好ましい。プリフォーム１の長さが１ｍ以上であれば、リドロー法によって製造される超薄板ガラス基板９の長さが長尺となり、生産性の改善効果が得られる。プリフォーム１の長さが５０００ｍ以下であれば、第１の巻き取りロール２に巻き取られたプリフォーム１のロール径が小さくなり、超薄板ガラス基板製造装置を小型化できる。
　プリフォーム１の組成は特に制限されず、例えば従来知られているアルカリ金属酸化物を含有するガラス、無アルカリガラスと同様であってよい。中でも、得られる超薄板ガラス基板９の強度や化学的耐久性が優れる点で、無アルカリガラスであることが好ましい。
  プリフォーム１を製造する方法も特に制限されず、従来知られている方法が挙げられる。例えば、フロート法、フュージョン法、スロットダウンドロー法、引上げ法を適用できる。
　本発明における第１の巻き取りロール２について説明する。
  第１の巻き取りロール２はプリフォーム１を巻き取るためのロールである。第１の巻き取りロール２の形状は円筒状であることが好ましい。ここで、円筒状とは、実質的に略円筒状である。第１の巻き取りロール２の幅の大きさは、プリフォーム１を保護するため、プリフォーム１の幅以上であれば特に制限されない。
　第１の巻き取りロール２のロール径は１００ｍｍ～１５００ｍｍであり、１５０ｍｍ～１０００ｍｍであることが好ましく、２００ｍｍ～８００ｍｍであることがより好ましく、３００ｍｍ～５００ｍｍであることが更に好ましい。１００ｍｍ以上であれば、プリフォーム１の可撓性を失わずに、プリフォーム１を第１の巻き取りロール２に巻き取ることができる。第１の巻き取りロール２のロール径が１５００ｍｍ以下であれば、第１の巻き取りロール２に巻き取られたプリフォーム１のロール径が小さくなり、超薄板ガラス基板製造装置を小型化できる。
　第１の巻き取りロール２の材質は、巻き取ったプリフォーム１の重量によって変形しない剛性であれば特に制限されない。
　また、プリフォーム１は、プリフォーム１の片面または両面に、第１の保護シート５を重ねて第１の巻き取りロール２に巻かれている。したがって、プリフォーム１同士、または、プリフォーム１と第１の巻き取りロール２との接触によるプリフォーム１表面の傷付きを防ぐことができる。プリフォーム１表面に傷がある場合、超薄板ガラス基板９を製造中にプリフォーム１が破壊する恐れがある。
　第１の保護シート５の厚さは１０μｍ～１０００μｍであることが好ましく、１２μｍ～８００μｍであることがより好ましく、１５μｍ～７００μｍであることが更に好ましく、２０μｍ～６００μｍであることが最も好ましい。１０μｍ以上であれば、第１の保護シート５の強度が十分強くなり、プリフォーム１表面への傷付き防止の役割を果たすため好ましい。第１の保護シート５の厚さが１０００μｍ以下であれば、第１の巻き取りロール２に巻き取られたプリフォーム１のロール径が小さくなり好ましい。
  更に、第１の保護シート５は、プリフォーム１を加熱炉６に投入する前に、プリフォーム１から剥離されることが好ましい。具体的には、加熱炉６近傍にて、第１の保護シート５が軟化、溶融、燃焼などの状態の変化が起こる前に、第１の保護シート５をプリフォーム１から剥離することが好ましい。
　第１の保護シート５の材質は、プリフォーム１の表面を保護することができれば特に制限されず、例えば樹脂または紙が挙げられる。樹脂であれば、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、シリコーン樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、トリアセチルセルロース樹脂、ポリイミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。また、これらの共重合体やフィラー等の添加剤を含有したものでもよい。紙であれば、例えば広く普及している木質紙、わら半紙、不燃紙、難燃紙が挙げられる。これらの紙に特殊加工を施したものでも良い。
  なお、第１の保護シート５の構成は２層以上からなっていてもよい。この場合、第１の保護シート５の厚さは、全ての層の合計の厚さを意味するものとする。また、第１の保護シート５が２層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂または紙の種類が異なってもよい。
　プリフォーム１と第１の保護シート５とを第１の巻き取りロール２に巻き取る際、プリフォーム１と第１の保護シート５とは単に重ねただけでも良く、接着材等による接着力、または、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する密着力、のいずれかの力によって、プリフォーム１と第１の保護シート５とが一体化してもよい。ただし、プリフォーム１の表面を保護しつつ、第１の保護シート５をプリフォーム１から容易に剥離するために、プリフォーム１と第１の保護シート５とは、前記密着力で密着されていることが好ましい。
　保護シート剥離工程は、プリフォーム１を破壊せずに、第１の保護シート５をプリフォーム１から容易に剥離することができれば特に制限されない。例えば、円筒状の剥離ロール４の曲面に接着材を塗布し、剥離ロール４の曲面を第１の保護シート５の表面に押し当て、第１の保護シート５をプリフォーム１から剥離しながら、剥離ロール４に巻き取る。あるいは、前記接着材の代わりに、密着力を有する材料を用いて、プリフォーム１から第１の保護シート５を剥離することもできる。
　本発明における超薄板ガラス基板９について説明する。
  超薄板ガラス基板９は、加熱炉６で軟化したプリフォーム１を、延伸ロール７によって下方に延伸することで製造することができる。超薄板ガラス基板９の断面形状は、加熱前のプリフォーム１の断面の大きさを縮小させた相似形状となる。
　超薄板ガラス基板９の厚さは２μｍ～５０μｍであり、３μｍ～４０μｍであることが好ましく、５μｍ～３０μｍであることがより好ましく、７μｍ～２０μｍであることが更に好ましい。超薄板ガラス基板９の厚さが２μｍ以上であれば、延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。超薄板ガラス基板９の厚さは軽量化のために５０μｍ以下である。また５０μｍ以下にすることにより、曲げた際に応力によって割れる可能性を低く抑えることができる。より好ましくは３０μｍ以下である。さらに、超薄板ガラス基板９の厚さが５０μｍ以下であれば、本発明の製造方法以外（例えばフュージョン法）では製造が困難となり、３０μｍより薄いと、本発明の製造方法以外、例えばフュージョン法では製造不可となるので、本発明の優位性が保てる。
　超薄板ガラス基板９の幅は０．３ｍｍ～５００ｍｍであり、１ｍｍ～４００ｍｍであることが好ましく、１０ｍｍ～３５０ｍｍであることがより好ましく、１００ｍｍ～３００ｍｍであることが更に好ましい。超薄板ガラス基板９の幅が０．３ｍｍ以上であれば、延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。超薄板ガラス基板９の幅が５００ｍｍ以下であれば、超薄板ガラス基板製造装置および超薄板ガラス基板９を使用する製品の製造装置を小型化できる。
　超薄板ガラス基板９の長さは５ｍ～５０００００ｍであり、１０ｍ～２０００００ｍであることが好ましく、２０ｍ～１０００００ｍであることがより好ましく、５０ｍ～５００００ｍであることが更に好ましい。超薄板ガラス基板９の長さが５ｍ以上であれば、従来のリドロー法で用いられているプリフォームの加熱接合では不可能な、生産性の高い長尺の超薄板ガラス基板９が製造できる。超薄板ガラス基板９の長さが５０００００ｍ以下であれば、超薄板ガラス基板９の保管占有面積の縮小化や超薄板ガラス基板９を使用する製品の製造装置を小型化できる。
　プリフォーム１の厚さをＴｐ、超薄板ガラス基板９の厚さをＴｇとして、延伸ロール７によるプリフォーム１の厚さ方向の縮小率をＴｇ／Ｔｐとすると、Ｔｇ／Ｔｐ＝１／１２５～１／２であり、１／７５～１／３であることが好ましく、１／５０～１／４であることがより好ましく、１／２５～１／５であることが更に好ましい。Ｔｇ／Ｔｐが１／１２５以上であれば、超薄板ガラス基板９が延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。Ｔｇ／Ｔｐが１／２以下であれば、超薄板ガラス基板製造装置および超薄板ガラス基板９を使用する製品の製造装置を小型化できる。
　プリフォーム１の幅をＷｐ、超薄板ガラス基板９の幅をＷｇとして、延伸ロール７によるプリフォーム１の幅方向の縮小率をＷｇ／Ｗｐとすると、Ｗｇ／Ｗｐ＝１／１２５～１であり、１／７５～４／５であることが好ましく、１／５０～２／３であることがより好ましく、１／２５～１／２であることが更に好ましい。Ｗｇ／Ｗｐが１／１２５以上であれば、超薄板ガラス基板９が延伸ロール７による引っ張りによって破断し難くなる。Ｗｇ／Ｗｐが１以下であれば、超薄板ガラス基板製造装置および超薄板ガラス基板９を使用する製品の製造装置を小型化できる。
　次に、本発明における供給工程、加熱工程、延伸工程および超薄板ガラス基板を巻き取る工程の各々について説明する。
　本発明における供給工程について説明する。
  本発明における供給工程は、プリフォーム１を保持しながら製造ラインへ供給する。プリフォーム１を保持する方向は制限されず、図１で示すようにプリフォーム１を垂直に保持しながら下方へ供給しても良いし、水平に保持しながら供給してもよい。また、プリフォーム１を破損せずに、加熱工程に搬送することができる工程であれば特に制限されない。例えば、図１に示すようなプリフォーム１両面を把持しながらプリフォーム１を搬送する搬送ロール３が挙げられる。
　本発明における加熱工程について説明する。
  本発明における加熱工程は、前記供給工程から送られたプリフォーム１を軟化点近傍まで加熱炉６で加熱して軟化させる。プリフォーム１を軟化点近傍まで加熱できる加熱炉であれば特に制限されず、例えば電気炉やガス炉が挙げられる。
　本発明における延伸工程について説明する。
  本発明における延伸工程は、一本または一対の延伸ロール７で延伸する工程であり、加熱工程後の超薄板ガラス基板９を一本の延伸ロール７に接触させながら超薄板ガラス基板９を引っ張る、または、加熱工程後の超薄板ガラス基板９を一対の延伸ロール７で把持しながら超薄板ガラス基板９を引っ張ることが好ましい。超薄板ガラス基板９が延伸ロールに接触または把持された状態で延伸ロール７が回転すると、延伸ロール７の回転トルクが超薄板ガラス基板に作用して超薄板ガラス基板が引っ張られ、その引っ張りに応じて加熱工程によって軟化したプリフォーム１が延伸されて超薄板ガラス基板９となる。
  軟化したプリフォーム１は自由空間で延伸されるため、表面品位が良好な超薄板ガラス基板９を製造することができる。
　延伸ロール７の形状は円筒状であることが好ましい。ここで、円筒状とは、実質的に略円筒状である。延伸ロール７の幅の大きさは、製造される超薄板ガラス基板９の幅以上の大きさであれば特に制限はなく、延伸ロール７のロール径の大きさも特に制限はない。
  前記延伸ロール７は電気モータ等の駆動装置によって回転駆動する。
　延伸工程の延伸ロール７が１本の場合、加熱炉６を通過した超薄板ガラス基板９の片面を延伸ロール７の曲面に接触させながら超薄板ガラス基板９を延伸ロール７側に曲げて、延伸ロール７を回転させる。延伸ロール７から超薄板ガラス基板９に作用する回転トルクによって、超薄板ガラス基板９が引っ張られ、その引っ張りに応じて加熱炉６で軟化したプリフォーム１が延伸されて超薄板ガラス基板９になる。延伸ロール７における超薄板ガラス基板９の曲げ方向は、所望のサイズの超薄板ガラス基板９が得られる方向であれば特に制限されない。
　延伸工程の延伸ロール７が一対の場合、加熱炉６を通過した超薄板ガラス基板９を一対の延伸ロール７間に挿入する。一対の延伸ロール７の曲面を該超薄板ガラス基板の両面に接触させながら一対の延伸ロール７を回転させる。一対の延伸ロール７から超薄板ガラス基板９に作用する回転トルクによって、超薄板ガラス基板９が引っ張られ、その引っ張りに応じて加熱炉６で軟化したプリフォーム１が延伸されて超薄板ガラス基板９になる。
  更に一対の延伸ロール７は、可変の間隙を持つ一対の延伸ロール７として動作する。この可変の間隙により、超薄板ガラス基板９の板厚の仕様変更に対応することができる。
　また、加熱工程において、軟化したプリフォーム１の幅方向両端部を把持ロールで把持することが好ましい。リドロー法によって製造されるガラス基板は板厚を薄くできる反面、板幅が狭くなる問題がある。したがって、加熱工程で軟化したプリフォーム１の幅方向両端部を把持することで、軟化したプリフォーム１が延伸工程によって幅方向に収縮するのを抑制することができ、板幅が広い超薄板ガラス基板９を製造することができる。
　把持ロールは、軟化したプリフォーム１が、その幅方向への収縮するのを抑制する構成であれば特に制限されない。図２Ａは、図１の実施形態の加熱炉６から延伸ロール７までの工程を拡大した概略正面図である。図２Ｂは、図２Ａの加熱炉６に一対の把持ロール１１を加えた、変形例の概略正面図である。一対の把持ロール１１は略円筒状の形状をしている。一対の把持ロール１１は加熱炉６内に設置され、加熱炉６で軟化したプリフォーム１の幅方向両端部を把持しながら、軟化したプリフォーム１をその幅方向外側に向かって回転する。軟化したプリフォーム１の幅方向に作用する回転トルクによって、軟化したプリフォーム１の延伸による幅方向への収縮を抑制することができ、板幅が広い超薄板ガラス基板９を製造することができる。
　さらに延伸工程において、延伸ロール７と前記超薄板ガラス基板９との間に、第２の保護シート８を挿入させることが好ましい。延伸ロール７と超薄板ガラス基板９との間に、第２の保護シート８を挿入させることで、超薄板ガラス基板９表面に延伸ロール７による傷が付かないようにするためである。
  延伸工程に用いる延伸ロール７が１本の場合、延伸ロール７の曲面と超薄板ガラス基板９の片面との間に第２の保護シート８が挿入される。延伸工程に用いる延伸ロール７が一対の場合、一対の延伸ロール７の曲面と前記超薄板ガラス基板９の両面との間に第２の保護シート８が挿入される。つまり、第２の保護シート８が超薄板ガラス基板９をその厚さ方向において挟む構成となる。
　第２の保護シート８の幅および長さは、超薄板ガラス基板９の表面を保護することができる大きさであれば特に制限されず、超薄板ガラス基板９の幅および長さのそれぞれより大きいことが好ましい。
　第２の保護シート８の厚さは１０μｍ～１０００μｍであることが好ましく、１２μｍ～８００μｍであることがより好ましく、１５μｍ～７００μｍであることが更に好ましく、２０μｍ～６００μｍであることが最も好ましい。第２の保護シート８の厚さが１０μｍ以上であれば、第２の保護シート８の強度が十分強くなり、超薄板ガラス基板９表面への傷付きを防止する役割を果たすため好ましい。第２の保護シート８の厚さが１０００μｍ以下であれば、第２の巻き取りロール１０に巻き取られた超薄板ガラス基板９のロール径が小さくなり好ましい。
　第２の保護シート８の種類は、延伸工程における超薄板ガラス基板９の熱によって燃焼、灰化、異臭等が発生しない耐熱性を有し、且つ、超薄板ガラス基板９の表面を保護することができれば特に制限されず、例えば耐熱樹脂または耐熱紙が挙げられる。耐熱樹脂であれば、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、各種液晶ポリマー樹脂等が挙げられる。また、これらの共重合体やフィラー等の添加剤を含有したものでもよい。耐熱紙であれば、ガラス繊維紙、セラミック紙、不燃紙、難燃紙、ポリエステル紙、合成樹脂混合紙、フッ素繊維紙が挙げられる。延伸工程における超薄板ガラス基板９の温度が十分に低い場合、耐熱性は無くてもよく、その場合、第１の保護シート５と同様の種類が使用できる。
　なお、第２の保護シート８は２層以上からなっていてもよい。この場合、第２の保護シート８の厚さは、全ての層の合計の厚さを意味するものとする。また、第２の保護シート８が２層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂または紙の種類が異なってもよい。
　超薄板ガラス基板９と前記第２の保護シート８とを延伸ロール７にて重ねた際、超薄板ガラス基板９と第２の保護シート８とは単に重ねただけでも良く、接着材等による接着力、または、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する密着力、または、前記超薄板ガラス基板９の熱による熱融着力、のいずれかの力によって、超薄板ガラス基板９と第２の保護シート８とが一体化してもよい。
　本発明における超薄板ガラス基板９を巻き取る工程について説明する。
  本発明における超薄板ガラス基板９を巻き取る工程は、延伸工程によって得られた超薄板ガラス基板９を第２の巻き取りロール１０で巻き取る工程である。
　第２の巻き取りロール１０の形状は円筒状であることが好ましい。ここで、円筒状とは、実質的に略円筒状である。第２の巻き取りロール１０の幅の大きさは、超薄板ガラス基板９を保護するため、超薄板ガラス基板９の幅以上の大きさであれば特に制限されない。
　前記第２の巻き取りロール１０のロール径は５０ｍｍ～２０００ｍｍであることが好ましく、６０ｍｍ～１８００ｍｍであることがより好ましく、７０ｍｍ～１５００ｍｍであることが更に好ましく、９０ｍｍ～１２００ｍｍであることが最も好ましい。第２の巻き取りロール１０のロール径が５０ｍｍ以上であれば、超薄板ガラス基板９の可撓性を失わずに、超薄板ガラス基板９を第２の巻き取りロール１０に巻き取ることができるため好ましい。第２の巻き取りロール１０のロール径が２０００ｍｍ以下であれば、第２の巻き取りロール１０に巻き取られた超薄板ガラス基板９のロール径が小さくなり、超薄板ガラス基板製造装置および超薄板ガラス基板９を用いる製品の製造装置を小型化できるため好ましい。
　第２の巻き取りロール１０の種類も特に制限されず、巻き取った超薄板ガラス基板９の重量によって変形しない剛性であることが好ましい。
　延伸工程にて、延伸ロール７と超薄板ガラス基板９との間に第２の保護シート８を挿入しない場合、延伸工程後に、超薄板ガラス基板９の片面または両面に厚さ１０μｍ～１０００μｍの第３の保護シート（不図示）を供給し、超薄板ガラス基板９と第３の保護シートとを重ねたまま、第２の巻き取りロール１０で巻き取ることが好ましい。超薄板ガラス基板９同士、または、超薄板ガラス基板９と第２の巻き取りロール１０との接触による、超薄板ガラス基板９表面の傷付きを防ぐことができるためである。また、超薄板ガラス基板９の更なる保護や使用上で必要であれば、延伸工程にて超薄板ガラス基板９の片面または両面に第２の保護シート８を重ねた後、更に第３の保護シートを重ねても良い。
　第３の保護シートの厚さは１０μｍ～１０００μｍであることが好ましく、１２μｍ～８００μｍであることがより好ましく、１５μｍ～７００μｍであることが更に好ましく、２０μｍ～６００μｍであることが最も好ましい。第３の保護シートの厚さが１０μｍ以上であれば、第３の保護シートの強度が十分強くなり、超薄板ガラス基板９表面への傷付きを防止する役割を果たすため好ましい。第３の保護シートの厚さが１０００μｍ以下であれば、第２の巻き取りロール１０に巻き取られた超薄板ガラス基板９のロール径が小さくなり好ましい。
　第３の保護シートの種類は、超薄板ガラス基板９の表面を保護することができれば特に制限されない。例えば前記第１、第２の保護シート５、８と同様の樹脂または紙が挙げられる。
  なお、前記第３の保護シートは２層以上からなっていてもよい。この場合、第３の保護シートの厚さは、全ての層の合計の厚さを意味するものとする。また、第３の保護シートが２層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂または紙の種類が異なってもよい。
　前記超薄板ガラス基板９と前記第３の保護シートとを前記第２の巻き取りロール１０に巻き取る際、前記超薄板ガラス基板９と第３の保護シートとは単に重ねただけでも良く、接着材等による接着力、または、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する密着力、のいずれかの力によって、超薄板ガラス基板と第３の保護シートとが一体化してもよい。ただし、超薄板ガラス基板９の表面を保護しつつ、第３の保護シートを超薄板ガラス基板９から容易に剥離するために、超薄板ガラス基板９と第３の保護シートとは、前記密着力で密着されていることが好ましい。
　（実施例１）
　初めに、厚さ１２０μｍ、幅１２０ｍｍ、長さ２ｍのプリフォーム（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を用意し、純水洗浄、ＵＶ洗浄して表面を清浄化する。次に前記プリフォームの片面に、厚さ３０μｍの第１のＰＥＴフィルムを重ねて、プリフォームと第１のＰＥＴフィルムとを、ロール径１６０ｍｍの円筒状の第１巻き取りロールに巻き取り、プリフォームをロール状にする。第１の巻き取りロールから繰り出されたプリフォームを超薄板ガラス基板製造装置の供給工程に投入し、保護シート除去工程にて、プリフォームから第１のＰＥＴフィルムを剥離する。第１のＰＥＴフィルムが剥離されたプリフォームを、炉内を１０００℃に加熱した電気炉に投入し、軟化点近傍まで加熱して軟化させる。既に電気炉を通過した超薄板ガラス基板の両面を一対の延伸ロールで挟んで、一対の延伸ロールを回転させることで超薄板ガラス基板が引っ張られる。超薄板ガラス基板の引っ張りによって、加熱工程で軟化したプリフォームが延伸され、厚さ１０μｍ、幅１０ｍｍ、長さ２００ｍの超薄板ガラス基板が得られる。延伸工程で超薄板ガラス基板を一対の延伸ロールで挟む際、超薄板ガラス基板と延伸ロールとの間に、厚さ３０μｍの第２のＰＥＴフィルムを挿入しながら挟むことで、超薄板ガラス基板の両面に第２のＰＥＴフィルムの表面が密着される。延伸工程後、超薄板ガラス基板をロール径１６０ｍｍの円筒状の第２の巻き取りロールに巻き取る。超薄板ガラス基板の両面に密着した第２のＰＥＴフィルムによって、超薄板ガラス基板表面が保護されるため、強度低下につながるような傷を抑制することができる。
　（実施例２）
　厚さ１００μｍ、幅５０ｍｍ、長さ１００ｍのプリフォーム（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を用意し、純水洗浄、ＵＶ洗浄して表面を清浄化する。次に前記プリフォームの片面に、厚さ３０μｍの第１のＰＥＴフィルムを重ねて、プリフォームと第１のＰＥＴフィルムとを、ロール径２００ｍｍの円筒状の第１巻き取りロールに巻き取り、プリフォームをロール状にする。第１の巻き取りロールから繰り出されたプリフォームを超薄板ガラス基板製造装置の供給工程に投入し、保護シート除去工程にて、プリフォームから第１のＰＥＴフィルムを剥離する。第１のＰＥＴフィルムが剥離されたプリフォームを、炉内を１０００℃に加熱した電気炉に投入し、軟化点近傍まで加熱して軟化させる。既に電気炉を通過した超薄板ガラス基板の片面を１本の延伸ロールに接触させて、一本の延伸ロールを回転させることで超薄板ガラス基板が引っ張られる。超薄板ガラス基板の引っ張りによって、加熱工程で軟化したプリフォームが延伸され、厚さ２０μｍ、幅１０ｍｍ、長さ２０００ｍの超薄板ガラス基板が得られる。延伸工程で超薄板ガラス基板の片面を一本の延伸ロールの曲面に接触する際、超薄板ガラス基板の片面と延伸ロールの曲面との間に、厚さ２０μｍの第２のＰＥＴフィルムを挿入しながら接触させることで、得られた超薄板ガラス基板の片面に第２のＰＥＴフィルムの表面が密着される。延伸工程後、前記超薄板ガラス基板をロール径１６０ｍｍの円筒状の第２の巻き取りロールに巻き取る。
　（実施例３）
　厚さ２００μｍ、幅１０００ｍｍ、長さ５０ｍのプリフォーム（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を用意し、純水洗浄、ＵＶ洗浄して表面を清浄化する。次に前記プリフォームの片面に、厚さ５０μｍの第１のＰＥＴフィルムを重ねて、該プリフォームと該第１のＰＥＴフィルムとを、ロール径５００ｍｍの円筒状の第１巻き取りロールに巻き取り、プリフォームをロール状にする。第１の巻き取りロールから繰り出されたプリフォームを超薄板ガラス基板製造装置の供給工程に投入し、保護シート除去工程にて、プリフォームから第１のＰＥＴフィルムを剥離する。第１のＰＥＴフィルムが剥離されたプリフォームを、炉内を１０００℃に加熱した電気炉に投入し、軟化点近傍まで加熱して軟化させる。既に電気炉を通過した超薄板ガラス基板の両面を一対の延伸ロールで挟んで、該延伸ロールを回転させることで超薄板ガラス基板が引っ張られる。超薄板ガラス基板の引っ張りによって、加熱工程で軟化したプリフォームが延伸され、厚さ３０μｍ、幅１５０ｍｍ、長さ２０００ｍの超薄板ガラス基板が得られる。延伸工程で超薄板ガラス基板を一対の延伸ロールを挟む際、超薄板ガラス基板と延伸ロールとの間に、厚さ１０μｍの第２のＰＥＴフィルムを挿入しながら挟むことで、超薄板ガラス基板の両面に前記第２のＰＥＴフィルムの表面が密着される。延伸工程後、超薄板ガラス基板をロール径３００ｍｍの円筒状の第２の巻き取りロールに巻き取る。超薄板ガラス基板の両面に密着した第２のＰＥＴフィルムによって、超薄板ガラス基板表面が保護されるため、強度低下につながるような傷を抑制することができる。
　（比較例）
　厚さ５０μｍ、幅２００ｍｍ、長さ１ｍのプリフォーム（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を用意し、純水洗浄、ＵＶ洗浄して表面を清浄化する。次に前記プリフォームの片面に、厚さ５０μｍの第１のＰＥＴフィルムを重ねて、該プリフォームと該第１のＰＥＴフィルムとを、ロール径５００ｍｍの円筒状の第１巻き取りロールに巻き取り、プリフォームをロール状にする。第１の巻き取りロールから繰り出されたプリフォームを超薄板ガラス基板製造装置の供給工程に投入し、保護シート除去工程にて、プリフォームから第１のＰＥＴフィルムを剥離する。第１のＰＥＴフィルムが剥離されたプリフォームを、炉内を１０００℃に加熱した電気炉に投入し、軟化点近傍まで加熱して軟化させる。既に電気炉を通過した超薄板ガラス基板の両面を一対の延伸ロールで挟んで、延伸ロールを回転させ、前記加熱工程で軟化したプリフォームを厚さ１μｍの超薄板ガラス基板になるように延伸させるが、延伸時に軟化したプリフォームは破断する。
　本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
　本出願は、２００９年８月７日出願の日本特許出願２００９－１８４５９２に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　本発明の製造方法によって得られた超薄板ガラス基板は、表示装置、電子ペーパー、タッチパネル、半導体集積回路、ＭＥＭＳ、有機ＥＬ照明装置等に使用することができる。
１　　プリフォーム
２　　第１の巻き取りロール
３　　搬送ロール
４　　保護シート剥離ロール
５　　第１の保護シート
６　　加熱炉
７　　延伸ロール
８　　第２の保護シート
９　　超薄板ガラス基板
１０　第２の巻き取りロール
１１　把持ロール

Claims (7)

  1. 　ガラス基板のプリフォームを保持しながら製造ラインに供給する供給工程と、
    　該供給工程から供給された該プリフォームを軟化点近傍まで加熱する加熱工程と、
    　該加熱工程で軟化したプリフォームを延伸させて超薄板ガラス基板にする延伸工程と、
    　を備える超薄板ガラス基板の製造方法において、
    　前記プリフォームが、ロール径１００ｍｍ～１５００ｍｍの円筒状の第１の巻き取りロールに巻かれた、厚さＴｐ＝２０μｍ～２５０μｍ、幅Ｗｐ＝１０ｍｍ～２０００ｍｍ、長さ＝１ｍ～５０００ｍであり、
    　前記延伸工程によって製造される超薄板ガラス基板が、厚さＴｇ＝２μｍ～５０μｍ、幅Ｗｇ＝０．３ｍｍ～５００ｍｍ、長さ＝５ｍ～５０００００ｍであり、
    　前記延伸工程による前記プリフォームの厚さ方向の縮小率をＴｇ／Ｔｐ、幅方向の縮小率をＷｇ／Ｗｐとすると、Ｔｇ／Ｔｐ＝１／１２５～１／２、Ｗｇ／Ｗｐ＝１／１２５～１になることを特徴とする、超薄板ガラス基板の製造方法。
  2. 　前記プリフォームは、該プリフォームの片面または両面に、厚さ１０μｍ～１０００μｍの第１の保護シートを重ねて前記第１の巻き取りロールに巻かれており、前記加熱工程に該プリフォームを投入する前に、該第１の保護シートを該プリフォームから剥離する保護シート剥離工程と、
    を更に備えることを特徴とする、請求項１に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  3. 　前記延伸工程は、一本または一対の延伸ロールで延伸する工程であり、
    　前記加熱工程後の前記超薄板ガラス基板を一本の延伸ロールに接触させながら該超薄板ガラス基板を引っ張る、
    　または、前記加熱工程後の前記超薄板ガラス基板を一対の延伸ロールで把持しながら該超薄板ガラス基板を引っ張る、
    　ことを特徴とする、請求項１または２に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  4. 　前記加熱工程は、前記軟化したプリフォームの幅方向両端部を把持ロールで把持することを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  5. 　前記延伸工程後、前記超薄板ガラス基板をロール径５０ｍｍ～２０００ｍｍの円筒状の第２の巻き取りロールに巻き取る工程と、
    　を更に備えることを特徴とする、請求項１～４のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  6. 　前記延伸工程にて、前記延伸ロールと前記超薄板ガラス基板との間に厚さ１０μｍ～１０００μｍの第２の保護シートを挿入させることを特徴とする、請求項３～５のいずれか一項に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
  7. 　前記延伸工程後、前記超薄板ガラス基板の片面または両面に厚さ１０μｍ～１０００μｍの第３の保護シートを供給し、該超薄板ガラス基板と該第３の保護シートとを重ねて、前記第２の巻き取りロールで巻き取ることを特徴とする、請求項５または６に記載の超薄板ガラス基板の製造方法。
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