CN102431798A - 物品运送设备 - Google Patents

物品运送设备 Download PDF

Info

Publication number
CN102431798A
CN102431798A CN201110287700XA CN201110287700A CN102431798A CN 102431798 A CN102431798 A CN 102431798A CN 201110287700X A CN201110287700X A CN 201110287700XA CN 201110287700 A CN201110287700 A CN 201110287700A CN 102431798 A CN102431798 A CN 102431798A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
article
space
moving body
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201110287700XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102431798B (zh
Inventor
粕谷透
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN102431798A publication Critical patent/CN102431798A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102431798B publication Critical patent/CN102431798B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B1/00General arrangement of stations, platforms, or sidings; Railway networks; Rail vehicle marshalling systems
    • B61B1/005Rail vehicle marshalling systems; Rail freight terminals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Handcart (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)

Abstract

提供能够由卷帘门自如地开闭形成在壁上的开口、且尽量不产生行走导致的尘埃及振动地在壁两侧的空间之间运送物品的物品运送设备。运送空间被具有开口的壁分隔成第1空间和第2空间,设有沿着第1空间的第1行走轨道行走的第1移动体和沿着第2空间的第2行走轨道行走的第2移动体,在第1空间中以不与自如地开闭开口的卷帘门产生干涉的状态装配有自如地支撑物品的中转部,第1行走轨道装配成经由在第1移动体与中转部之间交接物品的第1空间侧移载位置,第2行走轨道装配成经由使物品在第2移动体与中转部之间以通过开口的形态交接的第2空间侧移载位置。

Description

物品运送设备
技术领域
本发明涉及一种物品运送设备,具备能够沿着设于运送空间中的行走轨道自如地行走、且在与移载对象场所之间自如地交接运送对象的物品的运送物品用的移动体。
背景技术
在上述物品运送设备中,存在运送空间被壁分隔成第1空间和第2空间,在壁上形成有连通第1空间和第2空间的开口,并设有自如地开闭该开口的卷帘门的情况。这是为了在第1空间或者第2空间的某一空间发生了火灾之际防止火灾向其它的空间蔓延,或者是为了在第1空间和第2空间为不同的氛围环境(即充满空间的空气的状态不同)的情况下阻断两空间之间的空气流通。
这样,在设有卷帘门、且该卷帘门开闭设在将运送空间分隔成第1空间和第2空间的壁上的开口的物品运送设备中,为了能够将物品从第1空间向第2空间运送、或者能够从第2空间向第1空间运送,以往是设置从第1空间穿过开口而到达第2空间的行走轨道,使保持着物品的移动体沿着该行走轨道行走并通过开口,从而将物品在第1空间和第2空间之间运送(例如参照专利文献1)。
【专利文献1】特开平6-100163号公报
如专利文献1所记载的那样,在如上所述将行走轨道从第1空间设置到第2空间的情况下,为了开闭开口的卷帘门能够适当地封闭开口,行走轨道的长度方向上与卷帘门的开闭位置相对应的部分要形成卷帘门通过用的间隙,通过使卷帘门的厚度比该间隙的长度薄,在关闭卷帘门的情况下,开口被适当地封闭。
如果是以往的物品运送设备,则由于行走轨道为了形成卷帘门通过用的间隙而被切断,所以在移动体通过开口之际,移动体的车轮将行走过该切断场所。因此,存在行走轨道的切断场所与车轮相互摩擦而产生尘埃的问题。特别是在运送空间是半导体制造工厂等清洁环境的情况下,尘埃的产生将成为大问题。
而且,在移动体通过开口之际,当移动体的车轮行走过该切断场所时,在移动体上产生振动,这样一来,由于运送中的物品振动而有可能物品的姿势变乱或者物品受到损伤。因此,在以往的物品运送设备中,需要抑制物品的振动的对策。进而,由于当在移动体上产生振动时,在移动体的机械部分或整体的寿命上产生不良影响,所以从这一点来看也是不希望的。
发明内容
本发明是鉴于上述实情而提出的,其目的在于提供一种物品运送设备,能够通过卷帘门自如地开闭形成在将运送空间分隔成第1空间和第2空间的壁上的开口,并且能够尽量不发生移动体的行走所产生的尘埃或振动地在第1空间和第2空间之间运送物品。
为了实现该目的,本发明的物品运送设备具备能够沿着设于运送空间中的行走轨道自如地行走、且在与移载对象场所之间自如地交接运送对象的物品的运送物品用的移动体,其中还具备:将上述运送空间分隔成第1空间和第2空间的壁、在上述壁上形成有连通上述第1空间和上述第2空间的开口;开闭上述开口的卷帘门;中转部,配置在上述第1空间中与上述开口邻接的场所,以不与上述卷帘门产生干涉的状态支撑物品;第1移动体,沿着作为设在上述第1空间中的上述行走轨道的第1行走轨道行走;第2移动体,沿着作为设在上述第2空间中的上述行走轨道的第2行走轨道行走。上述第1行走轨道装配成经由第1空间侧移载位置,该第1空间侧移载位置是用于在上述第1移动体和上述中转部之间交接物品的位置,并且上述第2行走轨道装配成经由第2空间侧移载位置,该第2空间侧移载位置是用于使物品在上述第2移动体和上述中转部之间以通过上述开口的形态进行交接的位置。
根据这种结构,在将物品从第1空间向第2空间运送之际,保持着运送对象的物品的第1移动体沿着设在第1空间中的行走轨道行走到第1空间侧移载位置,将物品转交到装配在与开口邻接的场所的中转部上。并且通过预先打开卷帘门而使开口敞开,第2移动体沿着设在第2空间中的第2行走轨道行走到第2空间侧移载位置,使由设在第1空间中的中转部支撑的运送对象的物品以通过开口的形态进行接收。这样,能够将物品从第1移动体经由中转部而中转到第2移动体上,将运送对象的物品从第1空间向第2空间运送。
同样,能够将物品从第2移动体经由中转部中转到第1移动体上,将运送对象的物品从第2空间向第1空间运送。
而且,由于第1行走轨道经由位于第1空间内的第1空间侧移载位置装配在第1空间中,所以能够在第1空间内连续地装配第1行走轨道。同样,能够在第2空间内连续地装配第2行走轨道。因此,由于第1移动体以及第2移动体均能够在连续的行走轨道上行走,所以能够尽量防止因移动体行走过行走轨道的切断场所而产生尘埃及振动。
而且,由于在第1移动体和第2移动体之间中转物品的运送的中转部装配在第1空间中,并且例如在开口与第2空间侧移载位置之间装配卷帘门等,以不与自如地开闭开口的卷帘门产生干涉的状态与开口邻接地装配,所以即使设置中转部,也能够由卷帘门适当地封闭开口。
这样,得到了通过卷帘门自如地开闭形成在将运送空间分隔成第1空间和第2空间的壁上的开口,并且能够尽量不产生移动体的行走所导致的尘埃及振动地在第1空间和第2空间之间运送物品的物品运送设备。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述移动体具备保持物品的物品保持部,上述第1移动体构成为在停止在上述第1空间侧移载位置的状态下,使上述第1移动体的上述物品保持部水平移动到俯视时与上述中转部重合的交接位置,并且构成为在使上述物品保持部位于上述交接位置的状态下,在与上述中转部之间交接运送对象的物品,上述第2移动体构成为在停止在上述第2空间侧移载位置的状态下,使上述第2移动体的上述物品保持部水平移动到俯视时与上述中转部重合的交接位置,并且构成为在使上述物品保持部位于上述交接位置的状态下,在与上述中转部之间交接运送对象的物品。
根据这种结构,由于第1移动体以及第2移动体在使物品保持部位于俯视时与上述中转部重合的交接位置的状态下,在与中转部之间自如地交接运送对象的物品,所以为了中转部接收第1移动体保持的物品,例如中转部具备支撑物品并进退自如的支撑部,不必设置使该支撑部突出移动的机构。因此,能够谋求中转部结构的简单化。而且,虽然在运送物品用的移动体上,存在例如为了在与物品保管库的入、出库口等移载对象场所之间自如地移载物品而将物品保持部水平移动自如地构成的情况,但在这种情况下,能够利用移动体上已设的结构,在与中转部之间进行物品的交接。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述中转部具备多个支撑物品的支撑部,该支撑部为在上述开口的横宽方向上排列的状态,上述第1空间侧移载位置与上述多个支撑部的每一个相对应地设定,上述第2空间侧移载位置与上述多个支撑部的每一个相对应地设定,上述第1行走轨道以及上述第2行走轨道构成为上述第1移动体在上述多个第1空间侧移载位置移动时的移动方向与上述第2移动体在上述多个第2空间侧移载位置移动时的移动方向为相反方向,上述多个支撑部中上述第1移动体的移动方向上游一侧的支撑部是作为物品从上述第1移动体转交并且物品由上述第2移动体接收的顺方向中转用支撑部设定的,上述多个支撑部中上述第1移动体的移动方向下游一侧的支撑部是作为物品转交到上述第2移动体上并且物品由上述第1移动体接收的逆方向中转用支撑部设定的。
根据这种结构,由于中转部所具备的多个支撑部是第1移动体的移动方向上游一侧的支撑部是作为顺方向中转用支撑部设定的,第1移动体的移动方向下游一侧的支撑部是作为逆方向中转用支撑部设定的,所以在第1移动体保持着运送对象的物品时,将该物品转交到第1移动体的行走方向上游一侧的支撑部、即顺方向中转用支撑部上后向下游一侧移动,如果逆方向中转用支撑部上支撑有其它的运送对象的物品,则能够接收该物品并以保持着物品的状态移动。
而且,在向与第1移动体的移动方向的相反方向移动的第2移动体保持着运送对象的物品时,将该物品转交到第2移动体的行走方向上游一侧的支撑部、即逆方向中转用支撑部上后向下游一侧移动,如果顺方向中转用支撑部上支撑着其它的运送对象的物品,则能够接收该物品并以保持着物品的状态移动。
这样,如第1移动体以及第2移动体在各自的移动方向的上游一侧将运送对象的物品转交到中转部上,如果在下游一侧有其它的运送对象的物品则接收该物品那样,能够利用将至第1空间侧移载位置以及第2空间侧移载位置的物品转交到中转部的行走,从中转部接收物品。因此,由于仅将物品转交到中转部上,或者仅从中转部接收物品,所以能够尽量防止使第1移动体以及第2移动体行走到第1空间侧移载位置或第2空间侧移载位置,使移动体更有效地行走。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述移动体沿着设置在天花板一侧的上述行走轨道行走。
根据这种结构,将行走轨道设置在天花板一侧的情况与例如将行走轨道敷设在地面上的情况相比,难以稳定地支撑行走轨道。因此,行走轨道因移动体的行走而产生摇摆等的可能性大,当如上述专利文献1所记载的以往的物品运送设备那样,在行走轨道上存在用于形成卷帘门通过用的间隙的切断场所时,在发生了行走轨道的摇摆的情况下存在切断场所的间隙变大的可能性。因此,虽然考虑尽可能地减小切断场所的间隙,但由于要使卷帘门通过切断场所的间隙,所以必须要确保切断场所的间隙为某一程度,大的间隙能够使移动体的行走车轮通过,产生振动或尘埃的可能性也增大。
这样,在将行走轨道设置在天花板一侧的情况下,形成在行走轨道上的间隙的问题成为了棘手的问题,但在本发明中,由于可不在行走轨道上设置切断场所,所以本发明的效果更为显著。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述移动体沿着设置在天花板一侧的上述行走轨道行走,上述开口配置在天花板一侧,上述中转部以从天花板一侧悬吊支撑的状态设置,载置并支撑物品,在上述壁上形成有以与上述开口上下排列的状态配置在地面一侧而使作业者通过的作业者通过用开口,上述卷帘门具备自如地开闭上述开口以及上述作业者通过用开口的单一的开闭体。
根据这种结构,由于能够通过单一的开闭体开闭使物品通过的天花板一侧的开口以及作业者通过的地面一侧的作业者通过用开口双方,所以与在物品通过用开的开口和作业者通过用的开口的每一处设置开闭体的情况相比,能够使卷帘门的结构简单。
另外,在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述中转部配置在俯视时其一部分与上述壁的面对上述第1空间的侧面相比进入到上述开口内的位置。
通过将中转部配置在这种位置上,能够使中转部尽可能地接近位于第2空间侧移载位置的第2移动体,使中转部与物品的交接作业高效化。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,上述卷帘门具有能够在关闭位置和打开位置之间移动的开闭体,上述开闭体配置在上述壁的面对上述第2空间的侧面的上述第2空间一侧,上述中转部配置成俯视时上述中转部的一侧的缘部接近上述开闭体的位置。
通过将开闭体及中转部配置在这种位置上,能够使中转部尽可能地接近位于第2空间侧移载位置的第2移动体,使中转部与物品的交接作业高效化。
在本发明的物品运送设备的实施方式中,优选地是,从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的一个的距离,和从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的另一个的距离的差不超过从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的上述一个的距离的20%。
这样,通过使从中转部到第1轨道的距离,和从中转部到第2轨道的距离相等或者大致相等,能够使中转部与第1移动体之间的交接作业的效率和中转部与第2移动体之间的交接作业的效率大致相同,使运送设备整体的效率最佳化。
附图说明
图1是物品运送设备的整体俯视图;
图2是物品运送设备的主要部分立体图;
图3是天花板运送车的主视图;
图4是物品运送设备的主要部分侧视图;
图5是物品运送设备的主要部分俯视图;
图6是其它实施方式中的物品运送设备的主要部分立体图。
附图标记说明:
W:壁,Z1:第1空间,Z2:第2空间,S:天花板,K1:开口,K2:作业者通过用开口,F:地面,P1:第1空间侧移载位置,P2:第2空间侧移载位置,1:行走轨道,1a:第1行走轨道,1b:第2行走轨道,2:移动体,2a:第1移动体,2b:第2移动体,7:物品,9:卷帘门,10:单一的开闭体,12:中转部,21:物品保持部,36f:顺方向中转用支撑部,36b:逆方向中转用支撑部。
具体实施方式
基于附图对本发明的物品运送设备的实施方式进行说明。
如图1以及图2所示,物品运送设备中的运送空间被壁W分隔成第1空间Z1和第2空间Z2,在第1空间Z1以及第2空间Z2中分别具备多个物品运送车2,该物品运送车2沿着行走轨道1以一定方向(图中箭头所示的方向)行走,该行走轨道1形成将呈直线状的行走路径的直线部位4和呈圆弧状的行走路径的曲线部位5组合设定的设定行走路径。
第1空间Z1中具备的多个第1物品运送车2a相当于沿着设在第1空间Z1中的第1行走轨道1a行走自如的第1移动体,第2空间Z2所具备的多个第2物品运送车2b相当于沿着设在第2空间Z2中第2行走轨道1b行走自如的第2移动体。
并且第1空间Z1以及第2空间Z2中的设定行走路径是以经由多个物品处理部3的状态设定的,物品运送车2在多个物品处理部3之间运送物品7。在本实施方式中,物品7是收容多片半导体基板的树脂性的容器,但并不仅限于此。在图1所示的物品运送设备中,作为设定行走路径,具备经由多个物品处理部3的分别为环状的多个副行走路径6a,和与这多个副行走路径6a的每一个相连的环状的主行走路径6b,物品运送车2构成为能够在分支部位30从主行走路径6b分支行走到副行走路径6a上,以及能够在合流部位31从副行走路径6a合流行走到主行走路径6b上。
行走轨道1如图2~图4所示设定在天花板一侧,装配成在作为设定行走路径的主行走路径6b以及多个副行走路径6a的整个全长上沿着设定行走路径延伸。行走轨道1是通过行走轨道用托架8以固定状态设置在天花板S上。图2是设置分隔出第1空间Z1和第2空间Z2的壁W的场所的立体图,图3是从沿着物品运送车2的行走方向的方向看到主视图,图4是形成在分隔出第1空间Z1以及第2空间Z2的壁W上的开口K1的纵向剖视图。
如图1、如2以及图4所示,在壁W上形成有连通第1空间Z1和第2空间Z2的开口K1。开口K1配置在天花板一侧,在壁W上形成有以与该天花板一侧的开口K1上下排列的状态配置在地面F一侧、使作业者通过的作业者通过用开口K2。在本实施方式中,运送物品用的开口K1以及作业者通过用开口K2是由从天花板S到地面F连续地敞开的一个开口形成的。
在开口K1的上部的构成天花板S的顶棚的上表面上,如图2以及图4所示设有使片状的部件升降的类型的卷帘门。卷帘门9具备片状的单一的开闭体10,和以卷取的状态收容该开闭体的卷帘门盒11。在第1空间Z1或者第2空间Z2的某一个中发生了火灾的情况下,通过驱动内装在卷帘门盒11中的图外的电动马达旋转,该单一的开闭体10被操作而送出,开口K1以及作业者通过用开口K2双方被封闭,能够防止火灾向另一个空间蔓延。
如图1、图2以及图4所示,在第1空间Z1中与开口K1邻接的场所,以不与开闭开口K1的卷帘门9产生干涉的状态装配有自如地支撑物品7的中转部12。在中转部12上,以固定状态设有通过与天花板S相连的中转部用托架13从天花板S一侧悬吊支撑的四边形的板状部件,自如地载置并支撑物品7。
如图5所示,第1行走轨道1a装配成经由第1空间侧移载位置P1,该第1空间侧移载位置P1是在第1物品运送车2a与中转部12之间自如地收受(即交接)物品7的位置,并且第2行走轨道1b装配成经由第2空间侧移载位置P2,该第2空间侧移载位置P2是使物品7在第2物品运送车2b与中转部12之间以通过开口K1的形态自如地收受的位置。
若对行走轨道的壁W周边的形态进行说明,则装配在第1空间侧的第1行走轨道1a在沿着开口K1的横宽方向(即图5中壁W的侧面延伸的方向)的直线部位4的上游一侧以及下游一侧延伸设置曲线部位5,在各曲线部位延伸设置直线部位4,形成俯视为U字型的行走路径。装配在第2空间侧的第2行走轨道1b在沿着开口K1的横宽方向的直线部位4的上游一侧以及下游一侧延伸设置曲线部位5,在各曲线部位延伸设置直线部位4,形成俯视为U字型的行走路径。
而且,装配在第1空间Z1中的第1行走轨道1a的U字型部分与装配在第2空间Z2中的第2行走轨道1b的U字型部分是在距中转部12为相同距离地分离的位置以对向的状态配置的。即,中转部12位于在第1空间Z1与第2空间Z2的排列方向(图5中与壁W的侧面延伸的方向垂直的方向)上位于开口K1的两侧的第1行走轨道1a的直线部位4与第2行走轨道1b的直线部位4的中间位置。这样,以从中转部12到第1行走轨道1a的距离与从中转部12到第2行走轨道1b的距离相等为好,但优选地是,例如从中转部12到第1行走轨道1a与到第2行走轨道1b中的一个的距离、和从中转部12到第1行走轨道1a与到第2行走轨道1b中的另一个的距离的差不超过从中转部12到第1行走轨道1a与到第2行走轨道1b中的上述一个的距离的20%,更优选地是不超过10%。而且,根据图5可知,第2行走轨道1b的U字型的部分是比第1行走轨道1a的U字型的部分更接近壁W地装配。换句话说,壁W位于从第1空间Z1和第2空间Z2的排列方向上的中转部12的中间位置偏靠第2行走轨道1b一侧的位置。而且,在图5所示的俯视图中,中转部12的一侧的侧缘配置成超过壁W的面对第1空间Z1的侧面而进入开口K1,但配置成不超过壁W的面对第2空间Z2的侧面而进入第2空间一侧。
物品运送车2如图3所示,包括具备在行走轨道1上行走的行走车轮26的行走部16,和悬吊支撑在行走部16上且支撑物品7自如地升降移动的主体部17,以位于一对轨道部分15之间的状态设有连结行走部16和主体部17的连结体18。
主体部17包括:作为自如地把持物品7的物品保持部的把持件21,使把持件21升降移动的升降操作机构22,使升降操作机构22以及把持件21在横宽方向上相对于行走部16在行走部16的正下方的后退位置、以及相对于行走部16在横宽方向上错开的突出位置之间滑动移动的滑动操作机构(横向移动装置)23,和覆盖由把持件21支撑的物品7的上方、前后方向的双方、左右方向的一方的罩体24。并且在主体部17上,以位于一对轨道部分15之间的方式设有受电线圈25,通过在沿着行走轨道1装配的供电线14中通入交流电流而产生磁场,在该磁场的作用下物品运送车2一侧受电线圈25中产生必要的电力,相对于物品运送车2以非接触状态进行供电。
升降操作机构22包括:卷绕卷取皮带27、被升降用马达28驱动旋转旋转卷筒29,由卷取皮带27悬吊支撑、通过把持用马达19的动作将把持件21的姿势切换操作成把持物品7的把持姿势或解除把持的把持解除姿势的切换机构20,和支撑该旋转卷筒29及切换机构20的升降用支撑体32。并且升降操作机构22能够通过由升降用马达28驱动旋转卷筒29旋转,从而将把持件21以及由其支撑的物品7沿着上下方向在从物品运送车2的移动方向上看过去物品7位于罩体24内的上升位置和上升位置下方的下降位置之间升降移动,通过把持用马达19使切换机构20动作,将把持件21切换操作成把持姿势或把持解除姿势,从而能够进行相对于物品7的把持及把持的解除。
滑动操作机构23具备卷绕环形皮带33、由图外的滑动用马达驱动旋转的旋转滑轮34,和支撑该旋转滑轮34旋转自如的滑动用支撑体35。并且滑动用支撑体35由罩体24支撑而在横宽方向上移动自如,且环形皮带33的上部与罩体24相连,因而随着环形皮带33的转动,滑动用支撑体35沿着横宽方向相对于罩体24移动。而且,升降用支撑体32由滑动用支撑体35支撑而在横宽方向上移动自如,且与环形皮带33的下部相连,因而随着环形皮带33的转动,升降用支撑体32沿着横宽方向相对于滑动用支撑体35移动。
这样构成的滑动操作机构23构成为通过由滑动用马达驱动旋转滑轮34旋转而使环形皮带33向正方向和反方向转动,滑动用支撑体35在宽度方向上相对于行走部16滑动移动,并且使升降用支撑体32在横宽方向上相对于滑动用支撑体35滑动移动,滑动用支撑体35和升降用支撑体32在横宽方向的同一侧滑动移动。并且滑动操作机构23构成为能够使升降操作机构22以及把持件21滑动移动到后退位置或突出位置,该后退位置如图3中假想线所示,是使升降操作机构22以及把持件21向行走部16一侧后退地滑动移动,使升降操作机构22以及把持件21位于行走部16的正下方的位置,该突出位置如图3中实线所示,是使升降操作机构22以及把持件21向横宽方向的一侧突出地滑动移动,升降操作机构22以及把持件21从行走部16的正下方向横宽方向的一侧偏离的位置。突出位置如图4所示,设定成升降操作机构22以及把持件21向横宽方向的一侧偏离到在物品运送车2在与中转部12之间收受物品的情况下,升降操作机构22以及把持件21在俯视时与中转部12重合。
这样,第1物品运送车2a构成为在停止于第1空间侧移载位置P1的状态下,第1物品运送车2a的把持件21自如地水平移动到俯视时与中转部12重合的位置,并且构成为在使该把持件21位于突出位置的状态下,在与中转部12之间自如地收受运送对象的物品7,第2物品运送车2b构成为在停止于第2空间侧移载位置P2的状态下,第2物品运送车2b的把持件21自如地水平移动到突出位置,并且构成为在使该把持件21位于突出位置的状态下,在与中转部12之间自如地收受运送对象的物品7。
如图5所示,中转部12具备两个支撑物品7的支撑部36,该支撑部36为在开口K1的横宽方向上排列的状态,在各支撑部36上各设有三个定位销37,该定位销37卡合在物品7的底部的三个场所凹入形成的定位用的卡合孔中,对物品7进行定位。并且作为用于在与这些支撑部36之间收受物品7的物品运送车2的行走停止位置,相对于两个支撑部36的每一个,针对第1物品运送车2a设定有两个场所的第1空间侧移载位置P1,而且,针对第2物品运送车2b设定有两个场所的第2空间侧移载位置P2。另外,在图5中用假想线图示了卷帘门9的开闭体10。在本实施方式中,开闭体10配置在壁W的面对第2空间Z2的侧面的第2空间Z2一侧,开闭体10的侧面一部分配置成与壁W的面对第2空间Z2的侧面相接。
如上所述,物品运送车2沿着行走轨道1在图1中箭头所示的方向上移动自如。因此,在中转部12的两旁侧,第1物品运送车2a从位于其移动方向上游一侧的第1空间侧移载位置P1(图5中实线所示的位置)朝向位于下游一侧的第1空间侧移载位置P1(图5中假想线所示的第1空间侧移载位置P1)直线状行走,第2物品运送车2b从位于其移动方向上游一侧的第2空间侧移载位置P2(图5中实线所示的位置)朝向位于下游一侧的第2空间侧移载位置P2(图5中假想线所示的第2空间侧移载位置P2)直线状行走。这样,第1行走轨道1a以及第2行走轨道1b在第1物品运送车2a在多个第1空间侧移载位置P1移动时的移动方向与第2物品运送车2b在多个第2空间侧移载位置P2移动时的移动方向为相反方向。
并且如图5所示,第1物品运送车2a在停止在位于其移动方向上游一侧的第1空间侧移载位置P1的状态下,相对于顺方向中转用支撑部36f转交物品7。即,通过在停止在第1空间侧移载位置P1的状态下,使滑动操作机构23动作,使升降操作机构22以及把持件21从后退位置突出到突出位置,使升降操作机构22仅下降动作设定量,物品7一边被定位销37定位一边就位在顺方向中转用支撑部36f上。然后,在使切换机构20动作,使把持件21为把持解除姿势,使升降操作机构22仅上升动作设定量后,使滑动操作机构23动作,使升降操作机构22以及把持件21从突出位置后退到后退位置,结束物品7的转交作业。而且,第1物品运送车2a在停止位于其移动方向下游一侧的第1空间侧移载位置P1的状态下,从逆方向中转用支撑部36b接收物品7。即,与转交物品7的情况同样,依次使滑动操作机构23、升降操作机构22、切换机构20动作,进行物品7的接收。
另一方面。第2物品运送车2b在停止在位于其移动方向上游一侧的第2空间侧移载位置P2的状态下,相对于逆方向中转用支撑部36b转交物品7。而且,第2物品运送车2b在停止在位于其移动方向下游一侧的第2空间侧移载位置P2的状态下,从顺方向中转用支撑部36f接收物品7。
即,多个支撑部36中第1物品运送车2a的移动方向上游一侧的支撑部是作为物品7从第1物品运送车2a转交并且物品7由第2物品运送车2b接收的顺方向中转用支撑部36f设定的,多个支撑部36中第1物品运送车2a的移动方向下游一侧的支撑部是作为物品7转交到第2物品运送车2b上并且物品7由第1物品运送车2a接收的逆方向中转用支撑部36b设定的。
另外,在当第1物品运送车2a未保持物品7时由第2物品运送车2b去接收交接到中转部12的逆方向中转用支撑部36b上的物品7的情况下,不使第1物品运送车2a停止在位于移动方向上游一侧的第1空间侧移载位置P1,而停止在位于移动方向下游一侧的第1空间侧移载位置P1接收物品7。而且,在当物品7未由逆方向中转用支撑部36b支撑时第1物品运送车2a所保持的物品7向中转部12的顺方向中转用支撑部36f交接的情况下,使第1物品运送车2a停止在位于移动方向上游一侧的第1空间侧移载位置P1,在转交了物品7后,在位于移动方向下游一侧的第1空间侧移载位置P1不停止地继续行走。关于第2物品运送车2b也同样。
在以上所说明的本实施方式的物品运送设备中,能够像在第2空间Z2中行走的第2物品运送车2b以使由在第1空间Z1中行走的第1物品运送车2a转交到中转部12上的物品7以通过开口K1的形态接收该物品7,或者相反,在第1空间Z1中行走的第1物品运送车2a以使由在第2空间Z2中行走的第2物品运送车2b转交到中转部12上的物品7通过开口K1的形态接收该物品7那样,即使物品运送车2不通过开口K1也能够在第1空间Z1和第2空间Z2之间运送运送对象物的物品7。因此,由于没有了为了在开口K1处设置卷帘门9而使行走轨道1具备切断场所这种情况,所以能够防止在行走轨道1上行走之际产生尘埃。而且,由于各物品运送车2是在其移动方向上游一侧的移载位置将物品7转交到中转部12上,在下游一侧的移载位置从中转部12接收物品7,所以能够利用将运送对象的物品7向中转部12转交的行走而接收其它的运送对象的物品7,因而能够使物品运送车2更有效地行走。
[其它实施方式]
以上,基于本发明的实施方式对本发明者提出的发明具体地进行了说明,但本发明并不仅限于上述实施方式,能够在不脱离其宗旨的范围内进行各种变更。以下,对本发明的其它实施方式进行说明。
(1)在上述实施方式中,例示了具备自如地水平移动以及自如地升降移动物品保持部的移动体的结构,但也可以代之为移动体不能够自如地水平移动物品保持部的结构。在这种情况下,只要是在中转部中设置使支撑部在第1空间以及第2空间排列的方向(即与壁W延伸的方向垂直的方向)上进退自如的滑动台等即可。
(2)在上述实施方式中,也可以在支撑部36上设置使三个定位销37绕纵轴心一体旋转的转台。这样一来,能够变更由中转部12支撑的物品7的朝向。
(3)在上述实施方式中,例示了移动体沿着设置在天花板一侧的行走轨道行走自如的结构,但作为移动体,也可以是沿着敷设在地上一侧的行走轨道行走自如的物品运送台车等。
(4)在上述实施方式中,例示了移动体沿着行走轨道仅向一个方向行走自如的结构,但并不仅限于此,也可以是移动体沿着行走轨道向两个方向行走自如的结构。
(5)在上述实施方式中,例示了中转部两旁侧的行走轨道部分俯视时为U字型的结构,但装配在中转部的某一侧或者两侧的行走轨道也可以是将移动体相对于中转部在远近方向上进行行走导向的单一的直线状的行走轨道部分。在中转部具备多个支撑部的情况下,也可以相对于这多个支撑部的每一个,在开口的横宽方向上排列多个地设置单一的直线状的行走轨道部分。
(6)在上述实施方式中,作为卷帘门例示了平时将开口敞开而仅在火灾时封闭开口的防火卷帘门,但也可以如专利文献1所示,在第1空间和第2空间为不同的氛围环境的情况那样平时将开口关闭,仅在使物品移动时将开口敞开的卷帘门。而且,作为卷帘门例示了开闭体升降的升降式的卷帘门,但可以是变更成开闭体分成左右而向左右两侧滑动移动的左右对开式的卷帘门等,卷帘门的开闭体的具体结构能够进行各种变更。
(7)在上述实施方式中,例示了由一个开口兼用物品通过用的开口K1和作业者通过用开口K2的结构,但也可以代之为图6所示那样,通过夹在物品通过用的开口K1和作业者通过用开口K2之间的壁部分38,在地面F一侧和天花板S一侧分别形成不同的开口。

Claims (8)

1.一种物品运送设备,具备能够沿着设于运送空间中的行走轨道自如地行走、且在与移载对象场所之间自如地交接运送对象的物品的运送物品用的移动体,将上述运送空间分隔成第1空间和第2空间的壁、在上述壁上形成有连通上述第1空间和上述第2空间的开口,以及开闭上述开口的卷帘门,其特征在于,还具备:
中转部,配置在上述第1空间中与上述开口邻接的场所,以不与上述卷帘门产生干涉的状态支撑物品;
第1移动体,沿着作为设在上述第1空间中的上述行走轨道的第1行走轨道行走;
第2移动体,沿着作为设在上述第2空间中的上述行走轨道的第2行走轨道行走;
在此,上述第1行走轨道装配成经由第1空间侧移载位置,该第1空间侧移载位置是用于在上述第1移动体和上述中转部之间交接物品的位置,并且上述第2行走轨道装配成经由第2空间侧移载位置,该第2空间侧移载位置是用于使物品在上述第2移动体和上述中转部之间以通过上述开口的形态进行交接的位置。
2.如权利要求1所述的物品运送设备,其特征在于,
上述移动体具备保持物品的物品保持部,
上述第1移动体构成为在停止在上述第1空间侧移载位置的状态下,使上述第1移动体的上述物品保持部水平移动到俯视时与上述中转部重合的交接位置,并且构成为在使上述物品保持部位于上述交接位置的状态下,在与上述中转部之间交接运送对象的物品,
上述第2移动体构成为在停止在上述第2空间侧移载位置的状态下,使上述第2移动体的上述物品保持部水平移动到俯视时与上述中转部重合的交接位置,并且构成为在使上述物品保持部位于上述交接位置的状态下,在与上述中转部之间交接运送对象的物品。
3.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
上述中转部具备多个支撑物品的支撑部,该支撑部为在上述开口的横宽方向上排列的状态,
上述第1空间侧移载位置与上述多个支撑部的每一个相对应地设定,
上述第2空间侧移载位置与上述多个支撑部的每一个相对应地设定,
上述第1行走轨道以及上述第2行走轨道构成为上述第1移动体在上述多个第1空间侧移载位置移动时的移动方向与上述第2移动体在上述多个第2空间侧移载位置移动时的移动方向为相反方向,
上述多个支撑部中上述第1移动体的移动方向上游一侧的支撑部是作为物品从上述第1移动体转交并且物品由上述第2移动体接收的顺方向中转用支撑部设定的,
上述多个支撑部中上述第1移动体的移动方向下游一侧的支撑部是作为物品转交到上述第2移动体上并且物品由上述第1移动体接收的逆方向中转用支撑部设定的。
4.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
上述移动体沿着设置在天花板一侧的上述行走轨道行走。
5.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
上述移动体沿着设置在天花板一侧的上述行走轨道行走,
上述开口配置在天花板一侧,
上述中转部以从天花板一侧悬吊支撑的状态设置,载置并支撑物品,
在上述壁上形成有以与上述开口上下排列的状态配置在地面一侧而使作业者通过的作业者通过用开口,
上述卷帘门具备自如地开闭上述开口以及上述作业者通过用开口的单一的开闭体。
6.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
上述中转部配置在俯视时其一部分与上述壁的面对上述第1空间的侧面相比进入到上述开口内的位置。
7.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
上述卷帘门具有能够在关闭位置和打开位置之间移动的开闭体,
上述开闭体配置在上述壁的面对上述第2空间的侧面的上述第2空间一侧,
上述中转部配置成俯视时上述中转部的一侧的缘部接近上述开闭体的位置。
8.如权利要求1或2所述的物品运送设备,其特征在于,
从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的一个的距离,和从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的另一个的距离的差不超过从上述中转部到上述第1轨道与到上述第2轨道中的上述一个的距离的20%。
CN201110287700.XA 2010-09-27 2011-09-26 物品运送设备 Active CN102431798B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-215677 2010-09-27
JP2010215677A JP5633738B2 (ja) 2010-09-27 2010-09-27 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102431798A true CN102431798A (zh) 2012-05-02
CN102431798B CN102431798B (zh) 2015-10-28

Family

ID=45870850

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110287700.XA Active CN102431798B (zh) 2010-09-27 2011-09-26 物品运送设备

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9045147B2 (zh)
JP (1) JP5633738B2 (zh)
KR (1) KR101888976B1 (zh)
CN (1) CN102431798B (zh)
TW (1) TWI498264B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106660566A (zh) * 2014-07-16 2017-05-10 艾森曼欧洲公司 用于运输装置的驱动小车以及运输系统
CN106920764A (zh) * 2015-10-20 2017-07-04 细美事有限公司 用于制造集成电路装置的移送装置
CN107922113A (zh) * 2015-08-14 2018-04-17 村田机械株式会社 输送车系统
CN108382782A (zh) * 2018-01-09 2018-08-10 惠科股份有限公司 一种基板的仓储方法和仓储系统
CN112955388A (zh) * 2018-12-19 2021-06-11 大和制衡株式会社 直进送料器以及具备该直进送料器的组合计量装置
CN113226670A (zh) * 2018-12-26 2021-08-06 株式会社大福 物品移载设备
WO2022247146A1 (zh) * 2021-05-28 2022-12-01 南京轩世琪源软件科技有限公司 一种基于视觉测量的智能悬挂输送系统及方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104590850A (zh) * 2014-11-26 2015-05-06 芜湖福马汽车零部件有限公司 汽车空压机部件装配检测站
JP6507897B2 (ja) * 2015-07-10 2019-05-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6690497B2 (ja) * 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7069845B2 (ja) * 2018-03-06 2022-05-18 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP7305258B2 (ja) * 2018-07-18 2023-07-10 株式会社ディスコ 搬送システム
WO2020032262A1 (ja) * 2018-08-09 2020-02-13 パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ 無人航空機および配送システム
JP7363752B2 (ja) * 2020-12-08 2023-10-18 株式会社ダイフク 車輪位置調整装置
EP4245695A1 (en) 2020-12-16 2023-09-20 Murata Machinery, Ltd. Transport system
CN114735420B (zh) * 2022-04-06 2023-08-25 茂名市德威圣科技有限责任公司 一种安全稳定的香精生产用运输设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007022677A (ja) * 2005-07-12 2007-02-01 Asyst Shinko Inc ストッカ装置
CN101128915A (zh) * 2005-02-24 2008-02-20 阿赛斯特技术公司 加工设备直接装载
CN101511713A (zh) * 2005-07-11 2009-08-19 布鲁克斯自动化公司 装载端口模块
CN101734459A (zh) * 2008-11-21 2010-06-16 村田机械株式会社 洁净室用自动仓库及自动仓库中的物品保管方法
CN101814420A (zh) * 2009-02-20 2010-08-25 东京毅力科创株式会社 基板处理装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3854603A (en) * 1973-01-22 1974-12-17 Bmr Security Prod Corp Security system and method for valuables
JPH01242305A (ja) * 1988-03-23 1989-09-27 Motoda Electron Co Ltd 自動倉庫
US4936223A (en) * 1988-09-26 1990-06-26 Gerber Garment Technology, Inc. Segmented rail assembly for closed loop work station conveyor system
JP2636457B2 (ja) * 1989-05-08 1997-07-30 富士電機株式会社 垂直搬送装置
JPH06100163A (ja) * 1992-09-24 1994-04-12 Daifuku Co Ltd 台車使用の搬送設備
JPH07303711A (ja) 1994-05-12 1995-11-21 Tsubakimoto Chain Co 搬送装置が通り抜ける防火壁の開口部に設けられた防火シャッター装置
US20020064440A1 (en) * 1994-07-07 2002-05-30 Minoru Ikeda Production line constructing system
JP3427988B2 (ja) * 1995-03-14 2003-07-22 三機工業株式会社 クリーンルームの防火区画浄化装置
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US5924833A (en) * 1997-06-19 1999-07-20 Advanced Micro Devices, Inc. Automated wafer transfer system
US6157866A (en) * 1997-06-19 2000-12-05 Advanced Micro Devices, Inc. Automated material handling system for a manufacturing facility divided into separate fabrication areas
JP2000068348A (ja) * 1998-08-18 2000-03-03 Murata Mach Ltd 移載装置
JP2002110762A (ja) * 2000-09-22 2002-04-12 Applied Materials Inc オープンカセット用ロードポート
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
US6990721B2 (en) * 2003-03-21 2006-01-31 Brooks Automation, Inc. Growth model automated material handling system
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4858673B2 (ja) * 2005-05-13 2012-01-18 ムラテックオートメーション株式会社 懸垂式昇降搬送台車の搬送システム
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP2009153842A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Renesas Technology Corp 防煙垂れ壁
JP5420286B2 (ja) * 2009-03-23 2014-02-19 オークラ輸送機株式会社 搬送装置
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101128915A (zh) * 2005-02-24 2008-02-20 阿赛斯特技术公司 加工设备直接装载
CN101511713A (zh) * 2005-07-11 2009-08-19 布鲁克斯自动化公司 装载端口模块
JP2007022677A (ja) * 2005-07-12 2007-02-01 Asyst Shinko Inc ストッカ装置
CN101734459A (zh) * 2008-11-21 2010-06-16 村田机械株式会社 洁净室用自动仓库及自动仓库中的物品保管方法
CN101814420A (zh) * 2009-02-20 2010-08-25 东京毅力科创株式会社 基板处理装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106660566A (zh) * 2014-07-16 2017-05-10 艾森曼欧洲公司 用于运输装置的驱动小车以及运输系统
CN106660566B (zh) * 2014-07-16 2019-05-10 艾森曼欧洲公司 用于运输装置的驱动小车以及运输系统
CN107922113A (zh) * 2015-08-14 2018-04-17 村田机械株式会社 输送车系统
CN107922113B (zh) * 2015-08-14 2019-08-27 村田机械株式会社 输送车系统
CN106920764A (zh) * 2015-10-20 2017-07-04 细美事有限公司 用于制造集成电路装置的移送装置
CN106920764B (zh) * 2015-10-20 2020-05-05 细美事有限公司 用于制造集成电路装置的移送装置
CN108382782A (zh) * 2018-01-09 2018-08-10 惠科股份有限公司 一种基板的仓储方法和仓储系统
CN112955388A (zh) * 2018-12-19 2021-06-11 大和制衡株式会社 直进送料器以及具备该直进送料器的组合计量装置
CN113226670A (zh) * 2018-12-26 2021-08-06 株式会社大福 物品移载设备
CN113226670B (zh) * 2018-12-26 2023-08-22 株式会社大福 物品移载设备
WO2022247146A1 (zh) * 2021-05-28 2022-12-01 南京轩世琪源软件科技有限公司 一种基于视觉测量的智能悬挂输送系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201221448A (en) 2012-06-01
CN102431798B (zh) 2015-10-28
KR20120031897A (ko) 2012-04-04
US9045147B2 (en) 2015-06-02
US20120076623A1 (en) 2012-03-29
JP2012066933A (ja) 2012-04-05
TWI498264B (zh) 2015-09-01
KR101888976B1 (ko) 2018-08-16
JP5633738B2 (ja) 2014-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102431798A (zh) 物品运送设备
JP5527619B2 (ja) 天井設置型の物品搬送設備
CN102923427B (zh) 物品运送设备
CN103481893B (zh) 物品输送设备
TWI556344B (zh) 物品搬送設備
JP6278341B2 (ja) 物品搬送設備
JP6314713B2 (ja) 階間搬送設備
TWI419829B (zh) 物品搬送設備
JP5477651B2 (ja) 物品搬送設備
KR102494075B1 (ko) 물품 반송 설비
CN103419794A (zh) 物品输送设备
TW201542433A (zh) 搬運系統及搬運方法
CN102807097A (zh) 物品运送设备
KR20020021357A (ko) 이송 설비
JP6288103B2 (ja) コンベヤ装置
KR102486892B1 (ko) 용기 반송 설비
KR20150012159A (ko) 반송시스템
JP5344366B2 (ja) 搬送システム
EP3875331B1 (en) Vehicle system
TW202028036A (zh) 行走車系統
JP2007246215A (ja) 搬送車
JP2007276958A (ja) 搬送車、搬送車システム、搬送車とステーションとの間の物品移載方法
JP4630386B1 (ja) 処理設備
KR200478160Y1 (ko) 이송장치
JPS63151043A (ja) ウェ−ハカセットの搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant