CN102400105B

CN102400105B - 旋转接头以及溅射装置

Info

Publication number: CN102400105B
Application number: CN201110262680.0A
Authority: CN
Inventors: 安松保志
Original assignee: Canon Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 2010-09-10
Filing date: 2011-09-07
Publication date: 2014-04-09
Anticipated expiration: 2031-09-07
Also published as: JP5570359B2; CN102400105A; JP2012057755A; TW201221673A; TWI441934B

Abstract

本发明公开了一种旋转接头以及溅射装置。旋转接头具备：具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、插通于筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于筐体相对旋转的轴体单元、被设置在沿旋转轴方向形成在轴体单元内、且用于与导入口连通的第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换流体的流量的切换部件。切换部件具有第一孔和比第一孔的直径小、且比第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路的直径小的第二孔。通过切换部件，能够改变在第一轴体单元导入路流动的流体的流量以及在第二轴体单元导入路流动的流体的流量。

Description

旋转接头以及溅射装置

技术领域

本发明涉及旋转接头以及具备它的溅射装置。

背景技术

以往，在溅射装置等的等离子处理装置中，为使流体从固定部侧向旋转部侧流动，使用旋转接头。例如，在日本特开2003-147519号公报中，公开了包括具有能够搭载多个靶材的阴极面的支撑体的溅射装置。为了同时冷却该溅射装置的阴极，例如使用日本特开2006-177453号公报那样的旋转接头。在日本特开2006-177453号公报中，公开了由对多个流路进行切换的圆柱状的轴体和圆筒状的筐体构成，若圆柱状的轴体旋转，则由圆筒状的筐体供给的流体的流路的朝向被改变的旋转接头。

但是，随着对溅射装置的小型化的要求的提高，以往的旋转接头不能对应。因此，发明人认真研究的结果是，发现在谋求旋转接头的小型化的同时，为了有效地冷却靶材，由大流量的冷却水集中地冷却正在使用的靶材，对未使用的靶材用较少量的冷却水冷却的方法。

发明内容

因此，本发明是为解决上述课题而做出的发明，其目的在于，提供一种在谋求装置尺寸的紧凑化的同时，能够有效地进行冷却的旋转接头以及具备旋转接头的溅射装置。

为了解决上述的课题，有关本发明的一个侧面的旋转接头的特征在于，具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、

沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、

设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；

上述切换部件

具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且

能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

有关本发明的另一侧面的溅射装置的特征在于，具备：

旋转接头、

用于支撑多个靶材的可旋转的支撑体、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自上述第一轴体单元导入路的流体流动的第一配管的第一阴极、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自上述第二轴体单元导入路的流体流动的第二配管的第二阴极；

所述旋转接头具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

上述切换部件具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

根据本发明，通过在旋转接头内具备用于切换流体的切换部件，能够提供一种在谋求装置尺寸的小型化的同时，能有效地进行冷却的旋转接头以及具备了旋转接头的溅射装置。

附图说明

图1是用于说明有关本发明的溅射装置的整体结构的概略俯视图。

图2是从基板侧看图1所示的三个支撑体的概略俯视图。

图3是有关本发明的第一实施方式的旋转接头结构和流体量的切换部件的分解立体图。

图4是图3的旋转接头的概略剖视图。

图5是说明有关本发明的实施方式的控制系统的结构的图。

图6是从图4使流体量的切换部件旋转，改变了流量时的旋转接头的概略剖视图。

图7是说明流体量的切换部件的平面形状的俯视图。

图8是说明对处于图1的溅射装置的溅射室的靶材70a进行成膜时，阴极和流体量的切换部件的位置关系的剖视图。

图9是说明处于图1的溅射装置的溅射室的靶材70a在从基板侧旋转了180°的方向放电时，阴极和流体量的切换部件的位置关系的剖视图。

图10是有关本发明的第二实施方式的旋转接头的剖视图。

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的实施方式，但本发明并不限于本实施方式。

（第一实施方式）

溅射室14具备用于搭载基板（玻璃基板）12的基板保持器10，在基板保持器10的两面侧各具备三个结构相同的支撑体50、52、54、50’、52’、54’。基板12的形状是矩形的平行平面板。基板保持器10从箭头a的方向，以搭载了基板12的状态，经门阀16向溅射室14内运入，并被定位。支撑体50、52、54、50’、52’以及54’分别呈六角柱的形状。六角柱的截面通过交替地形成边的长度短的边和长的边而构成。在含有边的长度长的边的六角柱的侧面设置阴极。在支撑体50、52、54、50’、52’、54’具备分别以中心轴C50、C52、C54、C50’、C52’、C54’为旋转轴，像箭头c所示那样在正反方向旋转（转动），并能够在适当的旋转位置停止的旋转驱动机构101（图5）。各支撑体的中心轴C50、C52、C54、C50’、C52’、C54’相对于被成膜面平行，且各自的中心轴相对于其它的中心轴平行。另外，如图5所示，用于使支撑体旋转的旋转驱动机构101由控制部100控制旋转动作。

使支撑体50以及52的各自的旋转轴为C50以及C52，使设置在支撑体的三个侧面的阴极为60a、60b、60c以及62a、62b、62c。在各阴极的靶材搭载面50a、50b、50c、52a、52b、52c上分别搭载着靶材70a、70b、70c、72a、72b、72c。在一个支撑体的三个靶材搭载面的每一个上能够按照进行溅射的顺序搭载不同种类的靶材。在这种情况下，在支撑体彼此中，在与相同的顺序对应的靶材搭载面上搭载种类相同的靶材。例如，在表示靶材搭载面的附图标记的追加字母“a”“b”“c”表示进行溅射的顺序的情况下，在支撑体50的靶材搭载面50a以及支撑体52的靶材搭载面52a搭载第一靶材。另外，在靶材搭载面50b以及52b搭载虽然与第一靶材种类不同，但相互种类相同的第二靶材。然后，在靶材搭载面50c以及52c上搭载虽然与第一以及第二靶材种类不同，但相互种类相同的第三靶材。通过按照进行溅射的顺序，使支撑体旋转，种类相同的靶材相对于基板同时相向。另外，如图5所示，在各阴极设置用于将DC电力导入的电力导入机构102，由控制部100控制向哪个阴极导入电力。

在图1所示的结构例中，使支撑体50、52、54、50’、52’、54’旋转，使相互种类相同的第一靶材与基板相向，并定位，进行成膜。在第二次成膜时，使各自的支撑体旋转，对虽然与第一靶材种类不同，但相互种类相同的第二靶材以与基板相向的方式进行定位，进行成膜。在第三次成膜时，使各自的支撑体进一步旋转，对虽然与第一以及第二靶材种类不同，但相互种类相同的第三靶材以与基板相向的方式进行定位，进行成膜。这样，在相同的溅射室14内，能够在一张基板12上成膜三个不同成分的膜。

在图1所示的结构例中，成膜时，使靶材的被溅射面与基板12的被成膜面12a相向。被配置在基板12的中心侧的支撑体52（中心侧支撑体）的靶材搭载面与被成膜面12a平行。另外，被配置在基板的周边侧的支撑体50（周边侧支撑体）的靶材搭载面相对于被成膜面12a倾斜α角度。但是，本发明的主旨并不限定于该例，也可以在成膜时，使面对基板的所有的靶材的被溅射面以相对于被成膜面12a平行的方式配置各支撑体。

在图1所示的结构例中，还在各支撑体上分别设置覆盖支撑体的护罩（又称防沉积夹具。）80、82、84、80’、82’、84’。这些护罩沿各自的支撑体的中心轴方向，以在上下方向实质上覆盖阴极、靶材的全长的方式被设置。于是，该护罩80、82、84、80’、82’、84’以包围支撑体的周围的方式，且以不会成为支撑体旋转的妨碍的方式被设置。再有，这些护罩以在成膜时与基板12的被成膜面相向的靶材70a、72a从该护罩80、82露出的方式，即，以相对于成膜时被溅射的该靶材为非包围的方式被形成。

在图1所示的结构例中，该护罩的横截面大致呈C字状的形状。因此，成膜时必要的靶材被定位在该C字状的护罩80、82、84、80’、82’、84’的纵切开口部80a、82a、84a、80’a、82’a、84’a上。

这样，通过设置护罩80、82、84、80’、82’、84’，能够防止成膜时飞来的溅射原子、不希望的粒子层叠在成膜时不使用而是退让的靶材、阴极的面上。

图2是从基板12侧看图1所示的三个支撑体的概略俯视图。在溅射室14中配置多个支撑体50（阴极60a、靶材70a）、52（阴极62a、靶材72a）、54（阴极64a、靶材74a），能够相对于矩形型的平行平面板形状的基板12进行成膜。另外，在各靶材的背后，设置用于为了冷却各个支撑体的靶材而经旋转接头200将冷却水导入的配管，细节在后面阐述。

这里，参照图1，说明使用了本发明的溅射装置的电子设备的制造方法。另外，下面以支撑体50为例进行说明，但其它的支撑体也同样。

将靶材70a从基板12侧旋转180°，使之与C字状的护罩80相向，进行溅射。该溅射是指为了成膜开始时的放电稳定化，使溅射室14大气开放，对被氧化的靶材表面（被溅射面）在基板成膜前进行溅射并除去的情况。为了对处于从基板12侧旋转了180°的位置上的靶材70a进行溅射，将DC输电线的触点切换到靶材70a的阴极60a。即，不向靶材70b、70c的阴极供给电力，不进行溅射。同时，为了使靶材70a的温度不会上升，通过切换后述的旋转接头200，相对于靶材70a侧供给流量较多的冷却水，向靶材70b和靶材70c供给流量较少的冷却水，进行溅射。因为来自溅射装置内的加热器的热、来自等离子的热等，也加热了没有使用的阴极，所以，必须由冷却水冷却阴极。

接着，旋转靶材70a，使之与基板12相向，相对于基板12进行溅射成膜。将DC输电线的触点切换到旋转到基板12侧的靶材70a，且切换旋转接头200，一面相对于旋转到基板12侧的靶材70a供给流量较多的冷却水，使流量较少的冷却水流向靶材70b和靶材70c，一面相对于基板12进行溅射成膜。

参照图3以及图4，说明作为本发明的特征部分的旋转接头200的结构。

图3是说明有关本发明的旋转接头200内部的结构和用于切换冷却水的流体量的切换部件的分解立体图。

旋转接头200包括形成有由轴体205所插通的插通孔的大致圆筒形的筐体204和由大致圆柱形的轴体205等构成的轴体单元201，轴体单元201和筐体204被构成为能够围绕轴体单元201的旋转轴217相对旋转。在筐体204的侧壁形成用于从外部导入流体的导入口215和用于将从导入口215导入的该流体向外部导出的导出口216。

如图3所示，筐体204呈圆筒形，被固定在溅射室14。另一方面，由于轴体单元201与支撑体50连结，所以，轴体单元201能够与支撑体50一起旋转。轴体单元201可将支撑体50、密封板207a、切换部件208、密封板207b以及配管体230重合而组装地被构成。在轴体205的内部沿旋转轴217方向形成用于与导入口215连通的三条导入路213a、214a、215a以及用于与导出口216连通的三条导出路213b、214b、215b。具体地说，一个导入路213a将形成在轴体205内的流通路、形成在密封板207a上的孔、形成在切换部件208上的孔、形成在密封板207b上的孔、形成在配管体230上的配管组合而构成。同样，导入路以及导出路213b、214a、214b、215a、215b也将形成在轴体205内的各导入路以及导出路、形成在密封板207a上的各孔、形成在切换部件208上的各孔、形成在密封板207b上的各孔、形成在配管体230上的各配管组合而构成。另外，在本实施例中，导入路以及导出路213a、213b、214a、214b、215a、215b均做成相同直径的大小，但并不局限于此，也可以是各种直径的大小不同。

密封板207a以及密封板207b例如由氟树脂、弹性体等构成。另一方面，切换部件208例如由不锈钢构成。在该导入路以及导出路213a、213b、214a、214b、215a、215b的途中，设置用于对向轴体的旋转轴方向移动的流体的流量进行切换的切换部件208。在切换部件208上设置具有与导入路以及导出路213a、213b、214a、214b、215a、215b直径大致相同的大小的一对第一孔（大的孔）209a、209b、具有比该第一孔（大的孔）209a、209b直径小，且比导入路以及导出路213a、213b、214a、214b、215a、215b的直径小的直径的一对第二孔（小的孔）210a、210b以及与第二孔同样大小的一对第三孔（小的孔）211a、211b。另外，孔的数量并不局限于此，也可以不设置第三孔，仅设置一对第一孔和一对第二孔。另外，第一孔（大的孔）209a、209b的直径的大小可以比导入路以及导出路的直径大，也可以稍小。另外，在下面的说明中，作为简化表示，将第一孔（大的孔）209a、209b表示为“第一孔209”，将第二孔（小的孔）210a、210b表示为“第二孔210”，再有，将第三孔（小的孔）211a、211b表示为“第三孔211”。另外，对孔的尺寸与第二孔相同的第三孔不进行区分，在下面的说明中，统称为“第二孔”。

另外，有关本实施方式的旋转接头具有沿旋转轴方向形成在轴体单元201内，用于与导入口215连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路。这里，第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路是导入路213a、214a、215a中的任意两条。另外，有关本实施方式的旋转接头具有在轴体单元201内形成在旋转轴方向，通过配管与第一轴体单元导入路连通，且与第二环状流路219b连通的第三轴体单元导出路。再有，有关本实施方式的旋转接头具有在轴体单元201内形成在旋转轴方向，通过配管与第二轴体单元导入路连通，且与第二环状流路219b连通的第四轴体单元导出路。这里，第三轴体单元导出路以及第四轴体单元导出路是指与成为第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路的两条导入路成对的两条导出路。即，切换部件208是具有第一孔209、以及比第一孔的直径小，且比第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路的直径小的第二孔210，能够对切换部件的第一孔209进行切换，以便与第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且能够对切换部件的第二孔210进行切换，以便与第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通的部件。

图4是有关本发明的旋转接头200的概略剖视图。

在轴体205和筐体204之间设置着以油封、O型环等为基础的密封部件206。在轴体205的外侧形成作为第一环状流路219a的槽。形成在筐体204上的导入口215以与第一环状流路219a连通的方式被形成为与第一环状流路219a高度相同。在形成在轴体205的外侧的第一环状流路219a的内侧侧面，设置三个孔，这些孔是分别成为上述导入路213a、214a、215a的起点的第一贯通孔。在图4中，仅表示了成为导入路213a的起点的第一贯通孔221a，但成为导入路214a、215a的起点的第一贯通孔也是与第一贯通孔221a同样地被形成的孔。从这些第一贯通孔221a形成L字型的导入路213a、214a、215a。

在轴体205的外侧，在第一环状流路219a的上方形成作为第二环状流路219b的槽。形成在筐体204上的导出口216以与第二环状流路219b连通的方式被形成为与第二环状流路219b高度相同。在形成在轴体205的外侧的第二环状流路219b的内侧侧面，设置三个孔，这些孔是分别成为上述导出路213b、214b、215b的终点的第二贯通孔。在图4中，仅表示了成为导入路213a的起点的第二贯通孔221b，但成为导入路214a、215a的起点的第二贯通孔也是与第二贯通孔221b同样地被形成的孔。从第二贯通孔221b形成L字型的导出路213b、214b、215b。

另外，虽未图示出，但导入路213a、导出路213b通过设置在支撑体50的阴极内的配管相连。同样，导入路214a、215a和导出路214b、215b通过各自的配管相连。

如图4所示，由于轴体205和密封板207a、207b以及配管体230连结，所以，密封板207a、207b以及配管体230也同样与支撑体50一起旋转。在密封板207a和207b之间设置不锈钢制的切换部件208。对流量进行切换的切换部件208以及密封板207a、207b的表面粗糙度被加工在6.3a以下，防止流体的泄漏。

切换部件208经旋转轴217固定在旋转驱动器（伺服马达）220上。因此，切换部件208即使支撑体50旋转也不旋转，但经旋转轴217与作为三个传递部件的齿轮218a、齿轮218b以及齿轮218c卡合。因为齿轮218c与旋转驱动器（伺服马达）220的旋转轴连结，所以，通过驱动旋转驱动器220，切换部件208能够与支撑体50相独立地旋转。另外，旋转驱动器220的旋转动作由控制部100（图5）控制。

接着，参照图4，说明旋转接头200内部的冷却水的流动。从设置在旋转接头200的筐体204侧面的导入口215导入的冷却水从轴体205内的第一环状流路219a向第一轴体单元流通路213a、214a、215a分支，然后，在支撑体50的内部通过，向形成在阴极60a、60b、60c内的配管600a、600b、600c（图8、9）供给。在第一轴体单元流通路213a、214a、215a的途中设置用于对流体的流量进行切换的切换部件208，通过该切换部件208能够变更分别向第一轴体单元流通路213a、214a、215a供给的冷却水的流量。从第一轴体单元流通路213a、214a、215a开始，冷却了靶材70a、70b、70c后的返回方向的冷却水在第二轴体单元流通路213b、214b、215b通过，在轴体205内的第二环状流路219b合流，从导出口216被排出。

图5中表示本发明的实施方式的溅射装置中的控制系统的主要的结构。控制部100包括一个或多个微电脑，对单元内的各部，尤其是支撑体的旋转驱动机构101、针对各阴极的电力导入机构102以及切换部件208的旋转驱动器220、基板保持器10的移动构件103等各个的动作和整体的动作（次序）进行控制。尤其是控制部100具有存储用于执行与溅射处理以及基板的运送处理、旋转接头的旋转处理、支撑体的旋转处理相关的一切控制、与各种附加功能相关的一切控制的程序（软件）的程序存储器，微电脑的中央演算控制部（CPU）从程序存储器依次读取并执行所需要的程序。另外，程序的保存管理可以使用硬盘、光盘、闪速存储器等各种储存媒体。

图6是说明使切换部件208旋转，从第一孔（大的孔）209切换到第二孔（小的孔）210时的状态的图。若驱动旋转驱动器220，使切换部件208旋转，则能够切换向导入路213a以及导出路213b流动的流体的流量，结果，能够使向支撑体50中的各阴极供给的冷却水的流量可变。

图7是切换部件208的俯视图。为使流路的直径可变，在切换部件208上形成第一孔（大的孔）209、作为第二孔的小的孔210、211。在切换部件208的中心部设置旋转轴217。另外，在本实施例中，使作为第二孔的小的孔210和小的孔211为相同大小，但是，并不局限于此，也可以是孔211的尺寸与孔210的尺寸不同，使第一孔209、第二孔210、第三孔211均为不同的大小。

参照图8以及图9，说明支撑体的旋转动作和切换部件的旋转动作的关系。

图8是处于阴极60a能够溅射成膜的状态的支撑体50的剖视图。三个阴极60a、阴极60b以及阴极60c被配置在支撑体50的各面。在阴极60a、阴极60b以及阴极60c的内部分别设置使用于冷却靶材的冷却水流过的配管600a、600b、600c。另外，如上所述，溅射装置的动作、支撑体的旋转动作以及切换部件208的旋转动作等本发明的动作均由控制部100控制。

为了冷却成膜时在靶材上产生的热，超过每分钟100升的冷却水经第一孔（大的孔）209a向配管600a供给。此时，为了未进行成膜处理的靶材的冷却，每分钟10升的冷却水分别经第二孔（小的孔）210a、211a向阴极60b的配管600b和阴极60c的配管600c供给。

在阴极60c被溅射成膜时，将支撑体50逆时针旋转约120°，使阴极60c与基板12相向。此时，旋转驱动器220没有驱动而是经旋转轴217固定切换部件208。这样，即使支撑体50旋转，也经第一孔（大的孔）209a向被溅射的阴极60c的配管600c导入超过每分钟100升的大流量的冷却水。每分钟10升的冷却水分别经小的孔210a、211a向阴极60a和阴极60b供给。

在阴极60b被溅射成膜时，进一步将支撑体50逆时针旋转约120°，使阴极60b与基板12相向。此时，旋转驱动器220没有驱动而是经旋转轴217固定切换部件208。这样，即使支撑体50旋转，也经第一孔（大的孔）209a向被溅射的阴极60b的配管600b导入超过每分钟100升的大流量的冷却水。每分钟10升的冷却水分别经小的孔210a、211a向阴极60a和阴极60c供给。

图9是预溅射时的支撑体50的概略剖视图。此时，为对阴极60a侧进行预溅射，而旋转支撑体50，阴极60a被定位在从基板侧旋转了180°的位置。此时，旋转驱动器220同时进行驱动，经旋转轴217，使切换部件208旋转。此时，切换部件208的第一孔（大的孔）209也被定位在从基板侧旋转了180°的位置。这样，即使在阴极60a旋转了180°的情况下，也能够使切换部件208旋转，经第一孔（大的孔）209a，将超过每分钟100升的冷却水向配管600a供给。每分钟10升的冷却水分别经第二孔（小的孔）210a、211a向阴极60b的配管600b和阴极60c的配管600c供给。

如上所述，能够使第一孔相对于实施溅射处理的阴极的配管一致，由大流量的冷却水冷却阴极，且使第二孔与不实施溅射处理的阴极的配管一致，由较少量的冷却水冷却阴极。即，能够一面使旋转接头的导入口、导出口、第一环状流路、第二环状流路小型化，一面有效地冷却多个阴极。

另外，上述控制部110能够对旋转接头进行控制，以便使第一孔相对于实施溅射处理的第一阴极的第一配管一致，使第二孔与不实施溅射处理的第二阴极的第二配管一致。

（第二实施方式）

图10是有关本发明的第二实施方式的旋转接头的剖视图。本实施方式中的旋转接头与图4所示的有关第一实施方式的旋转接头不同，导入口215以及导出口216被设置在筐体204的底部。

另外，为了与筐体204的导入口215连通，在轴体205的底部形成作为第一环状流路219a的槽。在第一环状流路219a的上侧面设置三个孔，这些孔是分别成为导入路213a、214a、215a的起点的第一贯通孔。在图10中，仅表示了成为导入路213a的起点的第一贯通孔221a，但成为导入路214a、215a的起点的第一贯通孔也是与第一贯通孔221a同样地被形成的孔。三条导入路213a、214a、215a为弯曲的流路。

同样，为了与筐体204的导出口216连通，在轴体205的底部，且是相对于第一环状流路219a以旋转轴217为中心的径向的内侧，形成作为第二环状流路219b的槽。在形成在轴体205的底部的第二环状流路219b的上侧面设置三个孔，这些孔是分别成为导出路213b、214b、215b的终点的第二贯通孔。在图10中，仅表示了成为导入路213a的起点的第二贯通孔221b，但成为导入路214a、215a的起点的第二贯通孔也是与第二贯通孔221b同样地被形成的孔。导出路213b、214b、215b为弯曲的流路。

另外，与图4所示的有关第一实施方式的旋转接头不同，与切换部件208连结的旋转轴217未经齿轮218a、218b、218c，而直接与旋转驱动器220连接。本实施方式中的旋转接头与有关第一实施方式的旋转接头相比，能够使筐体的高度方向的厚度薄。

上面，对本发明的实施方式进行了说明，但是，本发明并不限于上述实施方式。

例如，若靶材是两个，则使流体量的切换部件的大小孔为四个，若靶材是四个，则使流体量的切换部件的大小孔为八个，因此，本发明能够相对于任意的流路数加以应用。

另外，作为本发明的流体，能够列举出气体、空气、水、油等。本发明可应用于需要对这些流体的流量进行切换的旋转接头。例如，在经空气的旋转接头驱动空气缸时，通过使用基于本发明的具备流体量的切换部件的旋转接头，能够切换流量，使空气缸的动作速度可变。

另外，在上述实施方式中，在一个旋转接头中设置导入口和导出口，但并不限定于此。例如，也可以做成将具有导入口的旋转接头和具有导出口的旋转接头组合了的装置。

在上述实施方式中，轴体单元和筐体中的筐体固定在溅射装置，但并不局限于此，也可以将轴体单元固定，可旋转地构成筐体。例如，在能够在本发明的支撑体的周围设置可通过移动构件103移动的基板保持器10，与各阴极相向地配置基板保持器10的情况下，或者与支撑体的各靶材相向地配置了各个基板保持器10的情况下有效。另外，基板保持器10的由移动构件103进行的移动动作由控制部110控制。

本发明不仅仅可应用于举例表示的溅射装置，还能够应用于干式蚀刻装置、等离子去胶装置、CVD装置以及蒸镀装置等等离子处理装置。作为有关本发明的电子设备，可列举出液晶显示器、太阳能电池、半导体、磁记录媒体等。

本发明的旋转接头可通过将在各实施方式中阐述的任何特征组合来构成。

Claims

1.一种旋转接头，其特征在于，具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

上述切换部件

2.如权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，具有形成在上述轴体单元的外侧，用于与上述筐体的上述导入口连通的第一环状流路；

上述第一轴体单元导入路和上述第二轴体单元导入路与上述第一环状流路连通。

3.如权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，上述筐体具有将从上述导入口导入的上述流体向外部导出的导出口；

上述旋转接头还具备

形成在上述轴体单元的外侧，用于与上述筐体的上述导出口连通的第二环状流路、

在上述轴体单元内被形成在上述旋转轴方向，通过上述第一轴体单元导入路和第一配管连通，且与上述第二环状流路连通的第三轴体单元导出路、

在上述轴体单元内被形成在上述旋转轴方向，通过上述第二轴体单元导入路和第二配管连通，且与上述第二环状流路连通的第四轴体单元导出路；

上述切换部件被设置在上述第一轴体单元导入路和上述第二轴体单元导入路之间，且上述第三轴体单元导出路和第四轴体单元导出路之间；

上述切换部件

具有一对第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的一对第二孔，

上述切换部件能够对一对第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路以及上述第三轴体单元导出路、或上述第二轴体单元导入路以及上述第四轴体单元导出路的任意一方一致，将上游侧和下游侧连通，且能够对上述切换部件的一对第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路以及上述第三轴体单元导出路、或上述第二轴体单元导入路以及上述第四轴体单元导出路的任意另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

4.一种溅射装置，其特征在于，具备：

旋转接头、

用于支撑多个靶材的可旋转的支撑体、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自第一轴体单元导入路的流体流动的第一配管的第一阴极、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自第二轴体单元导入路的流体流动的第二配管的第二阴极；

所述旋转接头具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

5.如权利要求4所述的溅射装置，其特征在于，还具备控制部，所述控制部对上述旋转接头进行控制，以便相对于实施溅射处理的上述第一阴极的第一配管，使上述第一孔一致，且

相对于未实施溅射处理的上述第二阴极的第二配管，使上述第二孔一致。