CN102387869A - 涂布装置、涂布方法及电子器件 - Google Patents

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Abstract

在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。

Description

涂布装置、涂布方法及电子器件
技术领域
本发明涉及下述涂布装置、涂布方法及由所述涂布装置或涂布方法制造的电子器件，所述涂布装置是在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时，将涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物表面的涂布装置。特别是，在如上所述的将涂布液涂布于旋转的涂布对象物的表面的过程中，具有能够从涂布喷嘴将涂布液以恒定厚度均一地涂布于涂布对象物表面的特征。
背景技术
以往，在制造半导体器件等电子器件时，用涂布装置在半导体晶片等涂布对象物的表面进行涂布液的涂布。
作为这种涂布装置之一，采用专利文献1～3等所示的如下涂布装置，即，在使涂布对象物保持水平旋转的同时使设于该涂布对象物上方的筒状涂布喷嘴一边在旋转的涂布对象物的半径方向上移动、一边从涂布喷嘴的前端吐出涂布液而将涂布液涂布于涂布对象物的表面的涂布装置。
此外，在如上所述的将涂布液涂布于涂布对象物表面的过程中，作为上述涂布喷嘴，采用专利文献1、2所示的前端部收缩为圆锥状的涂布喷嘴或专利文献3所示的前端面平坦的筒状涂布喷嘴。
这里，如图1所示，在使用前端部收缩为圆锥状的涂布喷嘴1将涂布液2涂布于旋转的涂布对象物3表面的场合下，该涂布喷嘴1前端部的平坦部分的面积非常小，因此不能从该涂布喷嘴1前端的喷嘴孔1a将涂布液2充分平坦地供给到旋转的涂布对象物3表面，存在涂布于涂布对象物3表面的涂布液2的厚度或宽度等产生不均的问题。
此外，如图2所示，在使用前端面平坦的筒状涂布喷嘴1将涂布液2涂布于旋转的涂布对象物3表面的场合下，该涂布喷嘴1前端部的平坦部分的面积较大，因此从该涂布喷嘴1前端的喷嘴孔1a供给到旋转的涂布对象物3表面的涂布液2被平坦地涂布于涂布对象物3表面。
但是，在使用这种前端面平坦的筒状涂布喷嘴1的场合下，如图2所示，从涂布喷嘴1前端的喷嘴孔1a供给到涂布对象物3表面的涂布液2的一部分被导向涂布对象物3上涂布液2供给位置的上流侧的涂布喷嘴1的前端部2，该涂布液2因表面张力等原因而在涂布对象物3上涂布液2供给位置的上流侧的涂布喷嘴1的前端部积聚而堆起。
于是，如此堆起的涂布液2流落于涂布对象物3，存在图2和图3所示的在涂布对象物3上产生涂布液2的部分堆起2a及图4所示的涂布液2的部分堆起2a以分散状态存在于涂布了涂布液2的涂布对象物3上而难以将涂布液2均一地涂布于涂布对象物3表面的问题。
专利文献1 日本专利第3776745号公报
专利文献2 日本专利特开2001-310155号公报
专利文献3 日本专利特开2003-117477号公报
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，在使涂布对象物保持水平旋转的同时，将涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在旋转的涂布对象物的半径方向上移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物表面的场合下的上述问题。
也就是说，本发明以在如上所述的将涂布液涂布于旋转的涂布对象物表面的过程中能够从涂布喷嘴将涂布液以恒定厚度均一地涂布于涂布对象物表面为课题。
本发明为解决上述技术问题，在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时、将前端面平坦的筒状涂布喷嘴导向该涂布对象物上方、使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液、将涂布液涂布于涂布对象物的表面的涂布装置中，形成向吐出涂布液的涂布喷嘴的前端部的一部分倾斜的缺口部，并且设置旋转控制单元，该旋转控制单元以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式控制涂布喷嘴的旋转。
上述涂布装置中，在由上述旋转控制单元控制涂布喷嘴的旋转时，以使涂布喷嘴的缺口部位于以下合成矢量的方向的同侧的方式使涂布喷嘴旋转，即，涂布喷嘴在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动的送液速度矢量和涂布喷嘴在从涂布喷嘴供给涂布液的位置上相对于涂布对象物法线方向的相对移动速度矢量的合成矢量。
此外，上述涂布装置中，缺口部相对于上述涂布喷嘴的平坦前端面的倾斜角α优选在10°～70°的范围内，更优选在20°～60°的范围内。
此外，上述涂布装置中，为了进一步抑制从上述涂布喷嘴前端的喷嘴孔供给到涂布对象物表面的涂布液因其表面张力等而在涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的涂布喷嘴的前端部堆起，优选在沿着形成有缺口部的上述涂布喷嘴前端的外周形成比缺口部小的切角部(日文：角取り部)。
此外，上述涂布装置中，在使上述涂布喷嘴在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动时，可使涂布喷嘴从旋转的涂布对象物的旋转中心部朝着外周侧沿半径方向向外相对移动，除此以外也可使其从涂布对象物的外周侧朝着旋转中心部沿半径方向向内相对移动。从适当控制涂布对象物的旋转中心部的涂布液厚度等观点考虑，优选使涂布喷嘴从旋转的涂布对象物的旋转中心部朝着外周侧沿半径方向向外相对移动。
另外，本发明的涂布方法中，为解决上述技术问题，在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时，将前端面平坦的筒状涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物的表面，此时，形成向吐出涂布液的涂布喷嘴的前端部的一部分倾斜的缺口部，并且以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式使涂布喷嘴旋转。
此外，本发明的电子器件通过上述涂布装置或涂布方法将涂布液涂布于涂布对象物而制造。
通过本发明，可将涂布液平坦且均一地涂布于涂布对象物的表面。
附图说明
图1是显示以往的涂布装置中从前端部收缩为圆锥状的涂布喷嘴的前端的喷嘴孔吐出涂布液、将涂布液涂布于旋转的涂布对象物表面的状态的简要说明图。
图2是显示以往的涂布装置中从前端部平坦的筒状涂布喷嘴的前端的喷嘴孔吐出涂布液、将涂布液涂布于旋转的涂布对象物表面的状态的简要说明图。
图3是显示用图2所示的涂布装置将涂布液涂布于涂布对象物时涂布液在涂布对象物上产生部分堆起的状态的部分说明图。
图4是显示用图2所示的涂布装置将涂布液涂布于涂布对象物时涂布液在涂布对象物上的部分堆起处于分散存在的状态的平面简图。
图5是本发明一实施方式中将涂布液涂布于保持水平旋转的涂布对象物表面的涂布装置的简要主视图。
图6是同一实施方式中涂布装置的简要侧视图。
图7是同一实施方式的涂布装置中所用的涂布喷嘴的部分说明图。
图8是显示同一实施方式的涂布装置中以使设于涂布喷嘴前端部的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式将涂布液涂布于涂布对象物的状态的简要说明图。
图9是显示同一实施方式的涂布装置中以使设于涂布喷嘴前端部的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧、从该涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液而将涂布液涂布于旋转的涂布对象物表面的状态的部分说明图。
图10是显示喷嘴孔的直径d相对于涂布喷嘴的外径D之比(d/D)过小时涂布于涂布对象物的涂布液中断或缺失的状态的部分说明图。
图11是显示喷嘴孔的直径d相对于涂布喷嘴的外径D之比(d/D)过大时对涂布对象物先被涂布的涂布液部分和后被涂布的涂布液部分之间的接触部分堆起的状态的部分说明图。
图12是显示改变喷嘴孔的直径d相对于涂布喷嘴的外径D之比(d/D)和涂布液粘度后将涂布液涂布于涂布对象物的实施例结果的图。
图13是显示同一实施方式的涂布装置中从涂布喷嘴前端的喷嘴孔将涂布液供给到涂布对象物表面的状态例的部分说明图。
图14是显示同一实施方式的涂布装置中所用的涂布喷嘴的变形例的部分说明图。
具体实施方式
本发明的涂布装置及涂布方法中，如上所述在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时，将前端面平坦的筒状涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物的表面，此时，形成向吐出涂布液的前端部平坦的涂布喷嘴的前端部的一部分倾斜的缺口部，并且用旋转控制单元以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧、即未涂布侧的方式控制涂布喷嘴的旋转。由此，从涂布喷嘴前端的喷嘴孔向涂布对象物吐出的涂布液通过未设缺口部的涂布喷嘴的平坦前端面以平坦地状态供给到涂布对象物的表面。
此外，由于如上所述地通过旋转控制单元以使涂布喷嘴前端部的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式使涂布喷嘴旋转，因而在从涂布喷嘴前端的喷嘴孔向涂布对象物表面供给涂布液时，即使涂布液被导向涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的涂布喷嘴的前端部，该涂布液也会藉由上述缺口部回到涂布对象物表面上供给涂布液的正常位置。因此，涂布液因表面张力等原因而在涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的涂布喷嘴的前端部积聚而短时供给到涂布对象物表面的状况得以防止。
结果，本发明的涂布装置及涂布方法中，在如上所述地将涂布液涂布于旋转的涂布对象物表面时，可从涂布喷嘴将涂布液以恒定厚度均一地涂布于涂布对象物的表面。
此外，本发明的涂布装置及涂布方法中，如果缺口部相对于上述涂布喷嘴的平坦前端面的倾斜角α在10°～70°的范围内、特别在20°～60°的范围内，则涂布液在涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的涂布喷嘴的前端部的积聚被进一步抑制，防止了涂布于涂布对象物表面的涂布液产生部分堆起，更加能够从涂布喷嘴将涂布液以恒定厚度均一地涂布于涂布对象物的表面。
此外，本发明的涂布装置及涂布方法中，如果沿着形成有缺口部的上述涂布喷嘴前端的外周形成比缺口部小的切角部，则因表面张力等原因被导向缺口部的涂布液可藉由沿着涂布喷嘴前端外周形成的切角部回到涂布对象物上供给涂布液的正常位置，从而使涂布液在缺口部的滞留得以进一步抑制，能够更进一步平滑且均一地将涂布液涂布于涂布对象物的表面。
下面，根据附图对本发明实施方式的涂布装置、涂布方法及电子器件进行具体说明。本发明的涂布装置及涂布方法不受下述实施方式所限，在不改变本发明技术思想的范围内可实施适当变更。
该实施方式的涂布装置中，如图5和图6所示，从基座10向上方延伸的旋转装置11的旋转轴11a前端安装有旋转台12。使涂布涂布液31的晶片等涂布对象物13水平地吸引保持在该旋转台12上，在该状态下通过旋转装置11使安装在旋转轴11a前端的旋转台12旋转。
此外，在上述旋转台12两侧的基座10上设置移动轨14，藉由移动装置17使架台15在这一对移动轨14上移动。在这一对架台15之间，以可升降的方式安装保持构件16，该保持构件16以可旋转的方式保持吐出涂布液31的涂布喷嘴20，使保持在该保持构件16上的上述涂布喷嘴20一边调整来自涂布液供给装置30的适当量的涂布液31一边供给。
此外，作为对以可旋转的方式保持在保持构件16上的涂布喷嘴20的旋转进行控制的旋转控制单元40，设有使用让上述涂布喷嘴20在上述保持构件16上旋转的马达或滑轮的喷嘴旋转装置41、和对由该喷嘴旋转装置41使涂布喷嘴20产生的旋转进行控制的控制装置42。
此外，该实施方式中，作为上述涂布喷嘴20，采用图7所示的使涂布液31从喷嘴21吐出的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20，其设有向该前端部的一部分倾斜的缺口部。这里，向上述的涂布喷嘴20前端部的一部分倾斜设置的缺口部22相对于水平面的倾斜角α、和喷嘴孔21的直径d相对于涂布喷嘴20的外径D之比(d/D)将在后面描述。另外，上述喷嘴20的前端面形状可为圆形、矩形或其它形状，而喷嘴孔21的形状也可为圆形、矩形或其它形状。
这里，对该实施方式的以下场合进行说明，即，在吸引保持在上述旋转台12上的由基板构成的涂布对象物13藉由旋转装置11而旋转的同时，使设于该涂布对象物13上方的上述涂布喷嘴20藉由移动装置17沿着旋转的涂布对象物13的半径方向移动，使涂布液31从该涂布喷嘴20前端的喷嘴孔21吐出，将涂布液31涂布于涂布对象物13的表面的场合。
首先，藉由上述移动装置17使架台15沿着移动轨14移动，将上述涂布喷嘴20导向保持在旋转台12上的涂布对象物13的旋转中心部上方，同时将安装于该架台15上的上述保持构件16沿着架台15下降，将吐出涂布液31的涂布喷嘴20的前端隔开所需间隔设置于上述涂布对象物13的旋转中心部的上方。
然后，在藉由上述旋转装置11使保持在旋转台12上的涂布对象物13旋转的同时，藉由上述移动装置17使架台15沿着移动轨14移动，使涂布喷嘴20的前端从涂布对象物13的旋转中心部朝着外周侧沿半径方向向外移动。此外，藉由上述旋转控制装置42对由喷嘴旋转装置41使涂布喷嘴20产生的旋转进行控制，以使设于该涂布喷嘴20前端部的上述缺口部22位于旋转的涂布对象物13上涂布液31供给位置的上流侧，同时从该涂布喷嘴20前端的喷嘴孔21向涂布对象物31吐出涂布液31，以使涂布液31涂布于涂布对象物13的表面。
这里，该实施方式中，在通过上述控制装置42对藉由上述喷嘴旋转装置41使涂布喷嘴20产生的旋转进行控制以使设于涂布喷嘴20前端部的上述缺口部22位于旋转的涂布对象物13上涂布液31供给位置的上流侧时，求出上述涂布喷嘴20朝半径方向的送液速度矢量Vr和涂布喷嘴在从涂布喷嘴20供给涂布液31的位置上相对于涂布对象物13法线方向的相对移动速度矢量Vθ的合成矢量Vt的方向。然后，藉由喷嘴旋转装置41控制涂布喷嘴20的旋转，以使设于涂布喷嘴20前端部的缺口部22位于该合成矢量Vt的方向的同侧。另外，涂布喷嘴20本身不在涂布对象物13的旋转方向上移动，但涂布对象物13在图8所示的箭头所指的X方向上旋转移动，因此涂布喷嘴的相对移动速度矢量Vθ朝向与涂布对象物13的箭头所指的X方向相反的方向。
接着，随着涂布喷嘴20的前端从涂布对象物13的旋转中心点沿半径方向向外移动，通过上述控制装置42使涂布喷嘴20藉由喷嘴旋转装置41缓缓旋转，如图8所示，在涂布喷嘴20的前端被导向任意一点A时，涂布喷嘴20前端部的缺口部22位于涂布喷嘴20朝半径方向的送液速度矢量Vr和涂布喷嘴在该点A位置上相对于涂布对象物13法线方向的相对移动速度矢量Vθ的合成矢量Vt的方向的同侧。进而，在涂布喷嘴20沿半径方向向外移动而到达结束涂布的最终位置时，停止从涂布喷嘴20吐出涂布液31。
如果像这样使设于涂布喷嘴20前端部的缺口部22位于旋转的涂布对象物13上涂布液31供给位置的上流侧，从该涂布喷嘴20前端的喷嘴孔21吐出涂布液31，将涂布液31涂布于涂布对象物13的表面，则如图9所示，从涂布喷嘴20前端的喷嘴孔21吐出到涂布对象物13的涂布液31会通过未设缺口部22的涂布喷嘴20的平坦前端面以平坦的状态供给到涂布对象物13的表面。
此外，即使供给到涂布对象物13的涂布液31被导向涂布对象物13上涂布液31供给位置的上流侧的涂布喷嘴20的前端部，该涂布液31也会藉由位于其上流侧的缺口部22回到涂布对象物13表面供给涂布液31的正常位置。因此，涂布液31因表面张力等原因在上流侧的涂布喷嘴20的前端部积聚而堆起的状况得以防止。
结果，在涂布喷嘴20的上流侧堆起的涂布液31从涂布喷嘴20前端部短时供给到涂布对象物13的表面而使涂布于涂布对象物13表面的涂布液31产生厚度或宽度等部分不均的状况不会发生，可在涂布液31的厚度和宽度等恒定状态下将涂布液31均一地涂布于涂布对象物13的表面。
此外，如图7所示，在设置向涂布喷嘴20前端部的一部分倾斜的缺口部22时，如果该缺口部22相对于水平面的倾斜角α过大，则导向涂布喷嘴20上流侧的涂布液31藉由缺口部22回到涂布对象物13上涂布液31供给位置的效果降低。而如果缺口部22相对于水平面的倾斜角α过小，则和未设缺口部的图2所示的以往形式趋于相同。因此，缺口部22相对于水平面的倾斜角α过大也好过小也好，都会导致涂布液因表面张力等原因而在涂布喷嘴的上流侧积聚堆起。
结果，如以往的图3和图4所示，堆起的涂布液流落于涂布对象物，在涂布了涂布液的涂布对象物上产生涂布液的部分堆起。
这里，采用向涂布喷嘴20前端的一部分倾斜设置的缺口部22相对于水平面的倾斜角α被改变的各涂布喷嘴20，分别将涂布液31涂布于直径300mm的涂布对象物13，调查涂布对象物13上的涂布液31的部分堆起状态。
然后，将完全未发生部分堆起的情况记为◎，部分堆起在3个以下的情况记为○，部分堆起在4个以上的情况记为×，其结果示于下表1。
表1
Figure BPA00001447159900091
从结果可知，缺口部22相对于水平面的倾斜角α优选在10°～70°的范围内，倾斜角α更优选在20°～60°的范围内。
然后，对图7所示的喷嘴20中喷嘴孔21的直径d相对于涂布喷嘴20的外径D之比(d/D)进行研究。
结果，如果上述d/D的值过小，则从涂布喷嘴20的喷嘴孔21吐出的涂布液31的量变少，如图10所示，涂布于涂布对象物13的涂布液31中断或缺失，产生涂布液31未涂布的部分或涂布液31厚度变薄的部分。而如果上述d/D的值过大，则如图11所示，先对涂布对象物13涂布的涂布液31部分和后对涂布对象物13涂布的涂布液31部分之间的接触部分会形成堆起的状态。
这里，使用外径D为5mm、使缺口部22相对于水平面形成45°倾斜角α的涂布喷嘴20，改变该涂布喷嘴20中喷嘴孔21的直径d和上述涂布液31的粘度，将涂布液31涂布于涂布对象物13，进行调查上述涂布液31的中断或涂布液31的接触部分堆起的实验。
然后，如图12所示，以d/D的值为x轴、涂布液的粘度为y轴，将产生上述涂布液的中断或涂布液的接触部分堆起的点记为▲，不产生这些状况的点记为●。
从该结果可知，在使用外径D为5mm、使缺口部22相对于水平面形成45°倾斜角α的涂布喷嘴20的场合下，涂布液31的粘度如果在常用范围内，则d/D的值优选满足0.16＜d＜0.8的条件，特别优选满足0.2≤d/D≤0.6的条件。此外，如果从d/D的值与涂布液31的粘度之间的关系来考虑，则涂布液的粘度为y、d/D的值为x时优选满足x6.9097×8×106≤y≤1.6441e12.527x的条件。
此外，在如上所述地使上述涂布喷嘴20相对于旋转的涂布对象物13从涂布对象物13的旋转中心部沿半径方向向外移动而将涂布液31涂布于涂布对象物13的表面时，从涂布液31的粘度等特性考虑，可适当控制上述涂布对象物13的旋转速度和上述涂布喷嘴20朝半径方向的送液速度。例如，可以如图13(A)所示地以使从喷嘴20前端的喷嘴孔21供给到涂布对象物13的涂布液31成为依次紧挨着的状态的方式将涂布液31供给到涂布对象物13，或者可以如图13(B)所示地以使从喷嘴20前端的喷嘴孔21供给到涂布对象物13的涂布液31一部分重叠的方式将涂布液31供给到涂布对象物13。特别是在如图13(B)所示地以使涂布液31的一部分重叠的方式将涂布液31涂布于涂布对象物13的场合下，上述涂布喷嘴20的缺口部22位于已涂布了涂布液31的部分和从涂布喷嘴20吐出的涂布液31合流的部分，因此即使涂布液31的量增加，也能抑制涂布液31向涂布喷嘴20堆起。进而，通过增大涂布液31的重叠部分，还能抑制涂布液31的涂布厚度不均。
另外，该实施方式中使用设有向涂布喷嘴20前端部的一部分倾斜的缺口部22的涂布喷嘴20，但也可使用如图14所示的沿着形成有缺口部22的涂布喷嘴20前端的外周形成有比缺口部22小的切角部23的涂布喷嘴20。
如果使用这种沿着形成有缺口部22的涂布喷嘴20前端的外周形成有比缺口部22小的切角部23的涂布喷嘴20，则被导向涂布对象物13上涂布液31供给位置的涂布喷嘴20上流侧的上述缺口部22的涂布液31会藉由该切角部23回到涂布对象物13上供给涂布液31的正常位置。结果，涂布液31在缺口部的滞留得以抑制，可进一步平滑且均一地将涂布液31涂布于涂布对象物13的表面。
另外，该实施方式中，在将涂布液31涂布于涂布对象物13表面时，采用了使上述涂布喷嘴20相对于旋转的涂布对象物13从涂布对象物13的旋转中心部朝着外周侧沿半径方向向外移动的方式，但也可采用使上述涂布喷嘴20从旋转的涂布对象物13的外周侧朝着旋转中心部沿半径方向向内移动的方式。
即使在这种使涂布喷嘴20从旋转的涂布对象物13的外周侧朝着旋转中心部沿半径方向向内移动的场合下，如果以上述设于涂布喷嘴20前端的缺口部22位于旋转的涂布对象物13上涂布液31供给位置的上流侧的方式从该涂布喷嘴20前端的喷嘴孔21吐出涂布液31而将涂布液31涂布于涂布对象物13，则也能和上述场合相同地防止涂布液31因表面张力等原因向涂布喷嘴20的上流侧堆起。结果，可在涂布液31的厚度和宽度等恒定的状态下将涂布液31均一地涂布于涂布对象物13的表面。
此外，在开始涂布液31的涂布时，如果使涂布喷嘴20的喷嘴孔21从越过涂布对象物13旋转中心部的与涂布喷嘴20移动方向相反的方向上错开的位置开始涂布，则能够对涂布液31从喷嘴孔21吐出为止的延迟进行修正。
此外，在使涂布喷嘴20沿半径方向移动的场合下，当移动速度为某种程度的恒定速度时，涂布液31看上去以螺旋状涂布于涂布对象物13的表面。
此外，本实施方式中，作为上述涂布对象物13，可使用陶瓷基板、硅基板、玻璃基板、塑料基板、金属板等。
此外，上述涂布了涂布液31的涂布对象物13可有效地用于电子器件、生物芯片等医疗器件等。
符号说明
10    基座
11    旋转装置
11a   旋转轴
12    旋转台
13    涂布对象物
14    移动轨
15    架台
16    保持构件
17    移动装置
20    涂布喷嘴
21    喷嘴孔
22    缺口部
23    切角部
30    涂布液供给装置
31    涂布液
40    旋转控制单元
41    喷嘴旋转装置
42    控制装置
α    缺口部的倾斜角
D     涂布喷嘴的外径
d     喷嘴孔的直径
Vr    涂布喷嘴朝半径方向的送液速度矢量
Vθ   涂布液供给位置上涂布喷嘴相对于涂布对象物法线方向的相对移动速度矢量
Vt    合成矢量

Claims (9)

1.涂布装置，在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时，将前端面平坦的筒状涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物的表面，
其中，形成向吐出涂布液的涂布喷嘴的前端部的一部分倾斜的缺口部，并且设置旋转控制单元，该旋转控制单元以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式控制涂布喷嘴的旋转。
2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在由所述旋转控制单元控制涂布喷嘴的旋转时，以使涂布喷嘴的缺口部位于以下合成矢量的方向的同侧的方式使涂布喷嘴旋转，即，涂布喷嘴在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动的送液速度矢量和涂布喷嘴在从涂布喷嘴供给涂布液的位置上相对于涂布对象物法线方向的相对移动速度矢量的合成矢量。
3.如权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，缺口部相对于所述涂布喷嘴的平坦前端面的倾斜角α在10°～70°的范围内。
4.如权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，缺口部相对于所述涂布喷嘴的平坦前端面的倾斜角α在20°～60°的范围内。
5.如权利要求1～4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，所用的涂布喷嘴沿着形成有缺口部的所述涂布喷嘴前端的外周形成有比缺口部小的切角部。
6.如权利要求1～5中任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布喷嘴一边从旋转的涂布对象物的旋转中心部沿半径方向向外移动，一边吐出涂布液。
7.如权利要求1～6中任一项所述的涂布装置，其特征在于，以使从所述涂布喷嘴向涂布对象物涂布的涂布液与先被涂布的涂布液的至少一部分重叠的方式进行涂布。
8.涂布方法，在使保持在旋转台上的涂布对象物旋转的同时，将前端面平坦的筒状涂布喷嘴导向该涂布对象物上方，使该涂布喷嘴一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动，一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔吐出涂布液，将涂布液涂布于涂布对象物的表面，
其中，形成向吐出涂布液的涂布喷嘴的前端部的一部分倾斜的缺口部，并且以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧的方式使涂布喷嘴旋转。
9.电子器件，其中，通过权利要求1～7中任一项所述的涂布装置或权利要求8所述的涂布方法将涂布液涂布于涂布对象物而制造。
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