KR20230062512A - 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

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wheel unit
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 구동원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 연마휠부를 포함하고, 연마휠부의 내부에는 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과유로가 형성되고, 통과유로와 연결되며 연마휠부로 유입되는 유체의 외부로의 배출 경로를 제공하는 배출유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 연마 장치 및 연마 방법을 제공한다.

Description

연마 장치 및 연마 방법{Polishing apparatus and polishing method}
본 발명의 실시예들은 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
최근 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 컴퓨터, 대형 TV와 같은 각종 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평면 디스플레이 장치에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평면 디스플레이 장치에는 현재 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평면 디스플레이 장치 등에 사용되는 기판은 일반적으로 그 강도가 증가된 강화 유리 재질로 제작되지만, 그럼에도 불구하고 원판(mother glass)에서 휠(wheel)에 의한 절단 과정 중 기계적 커팅 공정으로 인해 절단면에서 미세 크랙 등이 발생하여 그 강도가 떨어지는 문제가 있었다.
특히, 이러한 미세 크랙 등은 절단된 기판의 에지 라인을 따라 주로 발생하게 되는데, 발생된 미세 크랙 등을 숫돌과 같은 장비를 이용하여 그라인딩(grinding) 처리함으로써 에지 라인의 강도를 강화시키고 있다. 하지만 최근에는 기판의 두께가 점차 얇아지고 있어 에지 라인의 강도 문제가 더욱 부각되고 있어, 이를 해결하기 위해 그라인딩 공정 후 별도의 폴리싱(polishing) 공정을 통해 에지 라인의 강도를 더욱 강화하고 있다.
이러한 폴리싱(또는 연마) 공정에서는 연마부, 구체적으로 연마휠부와 연마수 공급이 연마 품질과 공정 시간을 결정하는 중요한 요소로 작용하게 되는데, 종래 연마수를 외부에서 공급함으로 인하여 연마대상체의 연마휠부 접촉면으로의 연마수 유입이 원활하게 이뤄지지 않는 문제점이 있었다.
이에 더하여 연마수가 제대로 연마면에 공급되지 않음으로 인하여 저속 연마로 여러 번 연마 공정을 거쳐야 했으므로 연마 속도가 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 실시예들은 유체가 연마휠부의 내부를 통과하여 연마휠부와 연마대상체 간 접촉이 이루어지는 연마면에 직접 분사됨으로 인하여 연마 속도를 향상시키고, 연마량을 증가시킬 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 구동원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 연마휠부;를 포함하고, 상기 연마휠부의 내부에는 상기 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과유로가 형성되고, 상기 통과유로와 연결되며 상기 연마휠부로 유입되는 유체의 외부로의 배출 경로를 제공하는 배출유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 연마 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동원으로부터 동력을 전달받아 연마휠부를 회전시키는 단계; 상기 연마휠부로 유체를 공급하는 단계; 및 상기 연마휠부를 연마대상체로 이동시키는 단계;를 포함하며, 상기 유체는 상기 연마휠부의 내부로 유입되며, 상기 연마휠부의 외주면에 형성되는 배출유로를 통해 상기 연마휠부와 접촉되는 대상체로 배출되는 것을 특징으로 하는 연마 방법을 제공한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치 및 연마 방법은, 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과유로가 형성되고, 유체공급부를 통해 통과유로, 배출유로를 통과하여 회전하며 연마대상체의 연마면에 대해 유체를 직접 분사, 배출할 수 있어, 연마면을 향해 연마수 등 유체를 분사할 별도의 노즐의 구성이 필요하지 않아 연마 장치의 구조를 단순화할 수 있다.
또한, 연마휠부의 회전 속도와, 연마휠부의 내부에 형성되는 통과유로, 배출유로의 단면적의 크기를 조절하여 연마면에 직접 분사되는 유체의 압력과 유량을 설계할 수 있는 효과가 있다.
또한, 통과유로, 배출유로가 연마휠부의 중심에서 멀어지는 방향으로 형성됨으로 인하여 원심력을 통해 유체를 강제 분사할 수 있어, 연마면에서 연마 공정 수행 시 발생하는 가공열 냉각 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 커버부에서 미리 설정되는 구간이 개구되며 상기 구간을 통해 유체가 연마면에 직접 분사됨으로 인하여 연마와 무관한 공간으로의 유체의 분사를 방지하고, 연마면을 향해 유체의 집중 분사가 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 부분적으로 확대한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부를 도시한 평단면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 연마휠부를 부분적으로 도시한 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 방법을 도시한 순서도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 부분적으로 확대한 도면이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부를 도시한 평단면도이다. 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 연마휠부를 부분적으로 도시한 측단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)는 연마휠부(100), 커버부(200), 유체공급부(300)를 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)는 구동원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 것으로, 연마대상체(5)에 직접 접촉하며 연마 공정을 수행할 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)는 챔버(10)에 회전가능하게 설치될 수 있고, 스핀들 모터(spindle motor) 등의 구동원으로부터 회전 동력을 전달받아 연마휠부(100)의 중심을 회전 중심축으로 하여 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전될 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)는 챔버(10)로부터 동력을 전달받아, 마주보는 연마대상체(5)의 일면을 향해 이동할 수 있고, 연마 공정이 이루어지는 연마대상체(5)의 상기 일면과 나란하게 이동하면서 연마대상체(5)의 에지(edge)를 연마 가공할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)의 외측에는 커버부(200)가 배치될 수 있다. 연마휠부(100)는 커버부(200)와 중심(C)을 공유하며, 커버부(200)의 내측에서 상기 중심(C)을 회전 중심으로 하여 회전가능하다.
도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)는 커버부(200)의 내측에 배치되며, 연마휠부(100)의 회전이 커버부(200)에 영향을 미치지 않는다. 커버부(200)는 연마휠부(100)가 회전가능하게 설치되는 챔버(10) 등에 위치 고정되며 설치될 수 있다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예예 따른 연마휠부(100)의 일측에는 통과유로(110)가 형성되며, 외부에서 공급되는 유체(F)가 통과유로(110)를 통해 연마휠부(100)의 내부로 유동될 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 통과유로(110)는 연마휠부(100)의 중심(C)을 기준으로 반경 방향으로 둘레를 따라 연장 형성될 수 있다.
그러나 이에 한정하는 것은 아니고 연마휠부(100)의 외부에서 공급되는 유체(F)가 연마휠부(100)를 거쳐 연마휠부(100)의 내부로 유입될 수 있는 기술적 사상 안에서 연마휠부(100)의 중심을 기준으로 반경 방향으로 복수 개의 통과유로(110)가 연마휠부(100)의 중심(C)을 기준으로 등각 배치되며 독립적으로 형성되는 등 다양한 변형 실시가 가능하다.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 통과유로(110)는 뒤에 설명할 배출유로(130)와 연결되며, 외부에서 유입되는 유체(F)가 통과유로(110)를 통해 연마휠부(100)의 내부에 유입되고, 통과유로(110)를 따라 유동되며, 통과유로(110)와 연결되는 배출유로(130)를 통해 연마휠부(100)의 외측으로 유체(F)를 배출시킬 수 있다.
본 명세서에서 '유체'는 연마수를 의미하는 것으로, 연마대상체(5)에 연마휠부(100)가 접촉하며 연마 공정을 수행하는 경우에 연마가 이루어지는 영역을 향해 분사되는 것을 의미한다.
도 2, 도 4, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)에 연마수인 유체(F)가 공급되고, 연마수가 통과유로(110)를 통과하여 배출유로(130)를 통해 배출됨으로 인하여, 연마휠부(100)가 연마를 위해 연마대상체(5)와 접촉하는 영역을 향해 직접 연마수를 직접 분사하여 연마 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)에 형성되는 통과유로(110)를 통해 연마수가 연마휠부(100)의 중심으로부터 반경 방향으로 유동됨에 따라 연마휠부(100)의 중심(C)을 회전 중심축으로 하여 중심(C)에서 멀어지는 방향으로 유체(F)가 유동될 때 원심력이 증가되며, 통과유로(110)와 연통되는 배출유로(130)를 통해 연마대상체(5)의 연마면을 향해 분사 시 상대적으로 고압으로 분사될 수 있는 효과가 있다.
도 4, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 통과유로(110)는 연마휠부(100)의 중심(C)으로부터 멀어질수록 하향 경사지게 형성될 수 있다.
이로 인하여 연마휠부(100)로 연마수 등의 유체(F)가 공급되면, 연마휠부(100)가 회전됨에 따라 신속하게 외측 방향으로 유동될 수 있고, 원심력에 의하여 강한 압력으로 연마면을 향해 유체(F)가 배출될 수 있는 효과가 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 통과유로(110)는 연마휠부(100)의 중심(C)으로부터 멀어질수록 유체(F)가 유동되는 유동 경로의 단면적의 넓이가 상대적으로 감소할 수 있다.
이로 인하여 연마휠부(100)의 외측에 배치되는 연마대상체(5)의 연마면을 향해 고압의 유체(F)를 배출, 분사할 수 있는 효과가 있다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)에는 적어도 하나 이상의 배출유로(130)가 형성되며, 배출유로(130)는 통과유로(110)와 연결되며 연마휠부(100)로 유입되는 유체(F)의 외부로의 배출 경로를 제공할 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배출유로(130)는 연마휠부(100)의 내부에 형성되고, 일측에서는 통과유로(110)와 연결되며, 이에 대향되는 타측은 연마휠부(100)의 외주면과 연통되며, 연마휠부(100)의 외부에 배치되는 연마대상체(5)를 향해 유체(F)가 배출되는 경로를 제공할 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배출유로(130)는 길이 방향을 따라 동일한 단면적을 가지나, 이에 한정하는 것은 아니고 연마휠부(100)의 외주면에 가까워질수록 단면적의 넓이가 작아지게 형성됨으로써 연마면을 향해 유체(F)가 배출되는 경우 고압의 유체(F)가 분사될 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배출유로(130)는 복수 개가 구비될 수 있고, 연마휠부(100)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 형성될 수 있으며, 복수 개의 배출유로(130)는 연마휠부(100)의 중심(C)을 기준으로 등각 배치되며 연마휠부(100)로 유입되는 유체(F)를 외부, 구체적으로 연마 공정이 이루어지는 연마면을 향해 유체(F)가 신속하게 배출될 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 4, 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 배출유로(130)를 도시한 것으로, 도 4와 같이 연마휠부(100)를 yz평면으로 단면 처리 시 z축 방향을 따라 단일의 배출유로(130)가 통과유로(110)와 연통되며 연마휠부(100)로 유입되는 유체(F)를 외부로 배출시킬 수 있다.
그러나 이에 한정하는 것은 아니고, 도 5를 참조하면, 배출유로(130)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 복수 개의 배출유로(130)는 통과유로(110)와 각각 연통되며, 연마휠부(100)로 공급되는 유체(F)를 연마대상체(5)에 형성되는 연마면을 향해 직접 배출시킬 수 있다.
도 5를 참조하면, 복수 개의 배출유로(130)는 연마휠부(100)의 회전 중심축(AX)을 기준으로 하여 높이를 달리하여 병렬 배치될 수 있다. 이로 인하여 연마휠부(100)의 중심(C)을 기준으로 둘레를 따라 형성되는 일 영역에서 연마대상체(5)에 형성되는 연마면을 향해 복수의 배출유로(130)로부터 고압의 유체(F)가 직접 분사, 배출됨으로 인하여 연마 성능이 향상될 수 있다.
이에 더하여 연마휠부(100)에서 연마대상체(5)의 연마면을 향해 유체(F)를 직접 분사함으로 인하여, 연마휠부(100)의 외측에서 연마 공정이 이루어지는 연마대상체(5)를 향해 연마수 등의 유체(F)를 공급하는 것에 비해 연마 효율을 향상시킬 수 있고, 복수 회의 연마 공정을 수행할 필요가 없어 연마 공정 시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(200)는 연마휠부(100)를 커버하는 것으로, 미리 설정되는 영역이 개구(210)될 수 있다. 커버부(200)는 연마휠부(100)의 외측에 배치되며 위치가 고정될 수 있도록 챔버(10)에 연결될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(200)에는 뒤에 설명할 유체공급부(300)가 연결될 수 있다. 유체공급부(300)를 통하여 연마수 등의 유체(F)가 커버부(200)를 통과하여 연마휠부(100), 구체적으로 연마휠부(100)에 형성되는 통과유로(110)로 유입될 수 있도록 한다.
도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(200)는 연마휠부(100)와 중심(C)을 공유하며, 연마휠부(100)를 커버할 수 있고, 상기 중심(C)을 기준으로 둘레를 따라 형성되는 측부에서 미리 설정되는 영역이 개구(210)될 수 있다.
커버부(200)의 외측면 둘레를 따라 형성되는 개구 영역(210)을 통해 연마휠부(100)에 형성되는 배출유로(130)를 통해 배출되는 유체(F)가 마주보며 연마 공정이 가해지는 연마면에 직접 분사 및 도달될 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(200)의 외주면 둘레를 따라 형성되는 측부에서 미리 설정되는 영역만 개구됨으로 인하여, 유체(F)가 연마휠부(100)의 내부에 형성되는 통과유로(110) 및 통과유로(110)와 연통되는 배출유로(130)를 통과하여 연마휠부(100)의 외부로 배출될 때 유체(F)의 공급이 필요한 연마면에만 유체(F)를 분사하고, 나머지 영역에서는 원심력에 의한 유체(F)의 분사 경로를 차단할 수 있다.
도 2, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급부(300)는 외부로부터 연마수 등의 유체(F)가 공급되는 경로를 제공하는 것으로, 연마휠부(100)로 유체(F)를 공급할 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급부(300)는 커버부(200)와 연결될 수 있다. 유체공급부(300)는 연마휠부(100)가 회전가능하게 설치되는 챔버(10)에 설치될 수 있고, 선택적 실시예로서 챔버(10)와 독립적으로 배치되며, 커버부(200)에 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체공급부(300)는 제어부(도면 미도시)와 전기적으로 연결되며, 제어부로부터 전기적 신호를 전달받아 연마휠부(100)로 유체(F)를 공급하도록 구동이 제어될 수 있다.
구체적으로 제어부는 연마휠부(100)와 전기적으로 연결되며, 연마휠부(100)에 회전 동력이 전달되며, 회전 중심축(AX)을 기준으로 연마휠부(100)의 회전 동력이 발생되면, 제어부로 전기적 신호를 전달하고, 제어부는 유체공급부(300)로 전기적 신호를 전달하여, 유체공급부(300)에서 연마휠부(100)로 유체(F)를 공급하도록 유체공급부(300)의 구동을 제어할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)를 이용한 연마 방법에 관하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)를 이용한 연마 방법을 도시한 순서도이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)를 이용한 연마 방법은 연마휠부(100)를 회전시키는 단계(S10), 연마휠부(100)로 유체(F)를 공급하는 단계(S20), 연마휠부(100)를 연마대상체(5)로 이동시키는 단계(S30)를 포함할 수 있다.
연마휠부(100)를 회전시키는 단계(S10)에서는 챔버(10)에 설치되는 스핀들 모터 등의 구동원으로부터 연마휠부(100)로 동력을 전달하여 연마휠부(100)를 회전시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(100)는 디스크(disc) 형상으로 형성되는 것으로, 중심(C)을 회전 중심축(AX)으로 하여 회전될 수 있다.
도 6을 참조하면, 연마휠부(100)로 유체(F)를 공급하는 단계(S20)에서는 연마휠부(100)의 외측에 배치되는 유체공급부(300)에서 유체(F)를 연마휠부(100)를 향해 공급할 수 있다.
유체공급부(300)는 제어부와 전기적으로 연결될 수 있고, 연마휠부(100)에 회전 동력이 전달되며 구동되면 제어부는 유체공급부(300)에 전기적 신호를 전달하여 연마휠부(100)를 향해 유체(F)를 공급하도록 유체공급부(300)를 구동시킬 수 있다.
유체공급부(300)는 연마휠부(100)의 외측에 배치되는 커버부(200)와 연결될 수 있고, 유체공급부(300)에서 공급되는 유체(F)는 커버부(200)의 외면을 통과하여 커버부(200)의 내측에 배치되는 연마휠부(100), 구체적으로 연마휠부(100)의 일면(도 2 기준 상면)에 형성되는 통과유로(110)로 유체(F)를 공급할 수 있다.
도 6을 참조하면, 연마휠부(100)를 연마대상체(5)로 이동시키는 단계(S30)에서는 연마 장치(1), 구체적으로 연마휠부(100)가 설치되는 챔버(10)가 이송부(도면부호 미설정)로부터 동력을 전달받아 연마대상체(5)를 향하는 제1방향(도 1 기준 y방향), 제1방향과 직교를 이루며, 연마대상체(5)에 형성되는 연마면과 나란한 제2방향(도 1 기준 x방향), 연마휠부(100)의 회전 중심축 방향과 나란한 제3방향(도 1 기준 z방향)룰 따라 이동시키며, 연마휠부(100)를 연마대상체(5) 측으로 이동시킬 수 있다.
연마휠부(100)가 연마대상체(5)에 형성되는 연마면과 접촉하며 연마 공정이 수행될 때, 유체공급부(300)로부터 연마휠부(100)로 공급되는 유체(F)는 연마휠부(100)에 형성되는 통과유로(110)를 따라 유동되며, 연마휠부(100)의 내부를 통과하고, 통과유로(110)의 일단부에 연통되는 배출유로(130)를 통해 연마휠부(100)의 외부로 분사, 배출될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 연마 장치(1) 및 연마 방법은, 연마휠부(100)의 중심에서 반경 방향으로 통과유로(110)가 형성되고, 유체공급부(300)를 통해 통과유로(110), 배출유로(130)를 통과하여 회전하며 연마대상체(5)의 연마면에 대해 유체(F)를 직접 분사, 배출할 수 있어, 연마면을 향해 연마수 등 유체(F)를 분사할 별도의 노즐의 구성이 필요하지 않아 연마 장치(1)의 구조를 단순화할 수 있다.
또한, 연마휠부(100)의 회전 속도와, 연마휠부(100)의 내부에 형성되는 통과유로(110), 배출유로(130)의 단면적의 크기를 조절하여 연마면에 직접 분사되는 유체(F)의 압력과 유량을 설계할 수 있는 효과가 있다.
또한, 통과유로(110), 배출유로(130)가 연마휠부(100)의 중심에서 멀어지는 방향으로 형성됨으로 인하여 원심력을 통해 유체(F)를 강제 분사할 수 있어, 연마면에서 연마 공정 수행 시 발생하는 가공열 냉각 성능을 향상시킬 수 있다.
또한, 커버부(200)에서 미리 설정되는 구간이 개구되고, 상기 개구 영역(210)을 통해 유체(F)가 연마면에 직접 분사됨으로 인하여 연마와 무관한 공간으로의 유체(F)의 분사를 방지하고, 연마면을 향해 유체(F)의 집중 분사가 가능한 효과가 있다.
또한, 연마휠부(100)와 연마대상체(5)의 연마면에 연마수 등 유체(F)를 직접 분사함으로 인하여 chipping, burning, crack 등과 관련된 연마 품질이 향상될 수 있는 효과가 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
실시예에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 실시 예의 범위를 한정하는 것은 아니다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
실시예의 명세서(특히 특허청구범위에서)에서 "상기"의 용어 및 이와 유사한 지시 용어의 사용은 단수 및 복수 모두에 해당하는 것일 수 있다. 또한, 실시 예에서 범위(range)를 기재한 경우 상기 범위에 속하는 개별적인 값을 적용한 발명을 포함하는 것으로서(이에 반하는 기재가 없다면), 상세한 설명에 상기 범위를 구성하는 각 개별적인 값을 기재한 것과 같다. 마지막으로, 실시 예에 따른 방법을 구성하는 단계들에 대하여 명백하게 순서를 기재하거나 반하는 기재가 없다면, 상기 단계들은 적당한 순서로 행해질 수 있다. 반드시 상기 단계들의 기재 순서에 따라 실시 예들이 한정되는 것은 아니다. 실시 예에서 모든 예들 또는 예시적인 용어(예들 들어, 등등)의 사용은 단순히 실시 예를 상세히 설명하기 위한 것으로서 특허청구범위에 의해 한정되지 않는 이상 상기 예들 또는 예시적인 용어로 인해 실시 예의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 당업자는 다양한 수정, 조합 및 변경이 부가된 특허청구범위 또는 그 균등물의 범주 내에서 설계 조건 및 팩터에 따라 구성될 수 있음을 알 수 있다.
1: 연마 장치 F: 유체
5; 연마대상체 10: 챔버
100: 연마휠부 110: 통과유로
130: 배출유로 200: 커버부
210: 개구 영역 300: 유체공급부

Claims (8)

  1. 구동원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 연마휠부;를 포함하고,
    상기 연마휠부의 내부에는 상기 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과유로가 형성되고, 상기 통과유로와 연결되며 상기 연마휠부로 유입되는 유체의 외부로의 배출 경로를 제공하는 배출유로가 형성되고,
    상기 연마휠부를 커버하는 커버부;를 더 포함하고,
    상기 커버부는 상기 연마휠부와 중심을 공유하며 상기 연마휠부의 외측에 배치되며 위치 고정되고, 상기 중심을 기준으로 외측면 둘레를 따라 미리 설정되는 영역이 개구되는 개구 영역이 형성되고,
    상기 연마휠부의 외측에 배치되며, 상기 통과유로가 형성되는 상기 연마휠부의 일면을 향해 유체를 공급하는 유체공급부;를 더 포함하며,
    상기 유체공급부는, 상기 통과유로를 마주보는 상기 커버부의 일면에 연결되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배출유로는 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    복수 개의 상기 배출유로는 상기 연마휠부의 중심을 기준으로 원주 방향을 따라 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 통과유로는 상기 연마휠부의 중심으로부터 멀어질수록 단면적이 상대적으로 감소하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  5. 구동원으로부터 동력을 전달받아 연마휠부를 회전시키는 단계;
    상기 연마휠부로 유체를 공급하는 단계; 및
    상기 연마휠부를 연마대상체로 이동시키는 단계;를 포함하며,
    상기 유체는 상기 연마휠부의 내부로 유입되며, 상기 연마휠부의 외주면에 형성되는 배출유로를 통해 상기 연마휠부와 접촉되는 대상체로 배출되며,
    상기 연마휠부를 커버하는 커버부;가 구비되고,
    상기 커버부는 상기 연마휠부와 중심을 공유하며 상기 연마휠부의 외측에 배치되며 위치 고정되고, 상기 중심을 기준으로 외측면 둘레를 따라 미리 설정되는 영역이 개구되는 개구 영역이 형성되고,
    상기 연마휠부의 내부에는 상기 배출유로와 연결되며, 상기 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과유로가 형성되며,
    상기 연마휠부의 외측에 배치되며, 상기 통과유로가 형성되는 상기 연마휠부의 일면을 향해 유체를 공급하는 유체공급부;를 더 포함하며,
    상기 유체공급부는, 상기 통과유로를 마주보는 상기 커버부의 일면에 연결되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 연마휠부의 내부에는 상기 배출유로와 연통되고, 상기 연마휠부의 중심에서 반경 방향으로 통과 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 배출유로는 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  8. 제5항에 있어서,
    복수 개의 상기 배출유로는 상기 연마휠부의 중심을 기준으로 원주 방향을 따라 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
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