CN102384918A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物的检查装置。检查装置（10）具备：观察光学系统（11）、反射照明机构（12）、透射照明机构（14）、和可在保持粘贴有检查对象物（44）的带（42）的环状部件（43）的内侧从透射照明机构（14）侧保持带（42）的筒状的保持台（34）。透射照明机构（14）具有从保持台（34）的外侧向观察面（Fp）射出从光源（51）导光的透射光的射出部（53），在保持台（34）具有：透射部件（35），其呈在观察光学系统侧设有规定沿着观察面（Fp）的平面的平坦面（35a）的板状，而且允许从射出部（53）射出的透射光的透射；位置调整机构（37、38），其以可相对于保持台（34）进行有关观察光轴（Oa）方向的位置调整的方式保持透射部件（35）。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及将半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置。

背景技术

已知有对LED芯片等半导体元件，通过边照射各种照明光边用观察光学系统观察该半导体元件，从而将该半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置（例如，参照专利文献1）。在该检查装置中，作为各种照明光之一，使用来自从检查对象物进行观察从观察光学系统的相反侧对该检查对象物进行照明的透射照明机构的透射照明。

在此，常见为半导体元件在保持粘贴于带（薄膜）的状态下从晶片切出，并以该带保持于环状部件的状态进行处理。因此，在检查装置中，考虑为了在保持维持该状态的状态下进行检查，而从观察光学系统的相反侧设置在环状部件的内侧保持带的筒状的保持台。

另外，在由保持台保持带的状态下，根据带的材质、检查对象物的重量等，有时带会产生挠曲，有时难以通过观察光学系统进行适当的观察。因此，在现有的检查装置中认为，在透射照明机构中设置呈长条的棒状且以平坦的前端面为射出面的射出部，利用该射出部的射出面推起由保持台保持的带，由此，使检查对象物位于观察光学系统的适当的观察位置（观察面）以进行检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－107254号公报。

但是，在作为透射照明机构的射出部中，由于需要做成具有用于使透射光射出的光学元件和保护并保持该光学元件的外框部的构成，所以，由于其外框部和保持台的内壁的干涉，可通过透射光适当照射由保持台保持的带的照射区域、即使用透射照明的有效检查区域要比保持台的内侧的区域小。换言之，不能将保持台的内侧作为有效检查区域最大限度地利用，会因保持带的保持台而导致检查的作业效率降低。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种检查装置，其能够使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物。

方案一所述的发明是，一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从所述透射照明机构侧保持所述带，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有从所述保持台的外侧向所述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，所述保持台具有：透射部件，其呈在所述观察光学系统侧设有规定沿着所述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从所述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。

方案二所述的发明是，根据方案一所述的检查装置，其特征在于，有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜。

方案三所述的发明是，根据方案一或方案二所述的检查装置，其特征在于，所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设成比所述保持台中的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件。

方案四所述的发明是，根据方案一～方案三的任一个所述的检查装置，其特征在于，还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构。

方案五所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件。

方案六所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引。

方案七所述的发明是，根据方案一～方案六的任一个所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射。

方案八所述的发明是，根据方案七所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器光学部件。

根据本发明的检查装置，透射照明机构的射出部是从保持台的外侧照射观察面的构成，因此，能够可靠地防止射出部和保持台发生干涉。因此，由于可以对保持台的内侧的全区域照射透射光，所以可以遍及整个区域地将保持台的内侧设为有效检查区域，可以最大限度地确保有效检查区域。

另外，在检查装置中，利用设于保持台的透射部件的平坦面使保持于保持台的带成为平坦的状态，可以使粘贴于其上的检查对象物位于观察面上，因此，即使透射照明机构的射出部为从保持台的外侧照射观察面的构成，也能够利用观察光学系统进行适当的观察。

进而，在检查装置中，由于透射部件利用位置调整机构可相对于保持台进行有关观察光轴的位置调整，所以可以根据带的挠曲变形的量及状态，使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。

在上述的构成的基础上，当有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜时，可以根据带的挠曲变形的量及状态使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。

在上述的构成的基础上，当所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设为比所述保持台中的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件时，可以使粘贴于带的检查对象物更适当地位于观察面上。

在上述的构成的基础上，当还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构时，可以利用按压机构的按压仿照透射部件的平坦面将带平坦化并同时进行固定。因此，可以适当地检查粘贴于带的检查对象物。

在上述的构成的基础上，当所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件时，可以利用按压机构的按压仿照透射部件的平坦面可靠地将带平坦化并同时进行固定。

在上述的构成的基础上，当所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引时，可以引入带的挠曲变形的剩余量，因此，可以使粘贴于带的检查对象物适当位于观察面上。

在上述的构成的基础上，当所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射时，可以对观察面上的相对于观察光学系统的适当的区域进行照射，因此，能够更高效地进行观察光学系统的适当的观察。

在上述的构成的基础上，当所述聚光光学部件为还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器光学部件时，可以进行观察光学系统的更适当的观察。

附图说明

图1是示意性表示本申请发明的实施例1的检查装置10的构成的说明图。

图2是表示检查装置10的功能构成的框图。

图3是示意性表示检查装置10的保持台34的立体图。

图4是用于说明检查对象工件40的种类的说明图，（a）表示在保持各半导体元件44粘贴于带42的状态下被各边界面切断了的状态，（b）表示将带42拉伸并将各半导体元件44各个截断的状态。

图5是示意性表示检查装置10的保持机构13及透射照明机构14的立体图。

图6是以局部的剖面表示沿图5所示的I－I线的部位的说明图。

图7是示意性表示作为用于说明技术课题的比较例的检查装置10’的保持机构13及透射照明机构14’的构成的说明图。

图8是用于说明检查装置10’中使检查对象物位于观察面Fp上的情况的说明图。

图9是用于说明在检查装置10’中有效检查区域Sa’缩窄的说明图，表示在上方从观察光学系统侧观察保持台34’的情况，表示在下方沿上方的III－III线得到的剖面。

图10是用于说明在检查装置10中有效检查区域Sa扩大的说明图，表示在上方从观察光学系统侧观察保持台34的情况，表示在下方沿上方的III－III线得到的剖面。

图11是示意性表示实施例2的检查装置10A的构成的说明图。

图12是示意性表示实施例3的检查装置10B的保持机构13B的构成的说明图。

附图标记说明

10、10A、10B检查装置

11（作为观察光学系统的）观察机构

12反射照明机构

14透射照明机构

24（作为观察光学系统的）摄像机

34、34A保持台

34a（成为带的保持位置的）前端部

35（作为透射部件的）透射台

35a（作为平坦面的）上端面

37（作为位置调整机构的）Z轴螺合部件

38（作为位置调整机构的）正交轴螺合部件

42带

43环状部件

44（作为检查对象物的）半导体元件

51透射用光源

53射出部

71（作为位置调整机构的）Z轴调整部件

81按压机构

Fp观察面

Oa观察光轴

Pa透射光轴。

具体实施方式

下面，一边参照附图一边对本申请发明的检查装置的各实施例进行说明。

[实施例1]

首先，说明本申请发明的实施例1的检查装置10的概略构成。图1是示意性表示作为本申请发明的检查装置之一例的检查装置10的构成的说明图。图2是表示检查装置10的功能构成的框图。另外，图5中，为了易于理解，省略检查对象工件40中的晶片41及带42进行表示。

如图1及图2所示，检查装置10大致由观察机构11、反射照明机构12、保持机构13、透射照明机构14、控制机构15构成。如图1所示，该检查装置10具有主体部21。在该主体部21上设有省略图示的中继透镜及循环式的转台部，在该转台部设有多个物镜镜筒22。在该各物镜镜筒22上设有物镜23。在该主体部21的上部安装有摄像机24。该摄像机24能够按由所设定的物镜23决定的倍率经该物镜23及主体部21（中继透镜）取得该光轴（观察光轴Oa）上的规定位置的图像数据。因此，摄像机24、主体部21、各物镜镜筒22及其物镜23作为观察机构11中的观察光学系统发挥功能，其光轴为观察光轴Oa。另外，包含观察光轴Oa上的摄像机24可取得适当的图像的位置、即观察光学系统中的焦点位置且与该观察光轴Oa正交的平面（物体侧的成像面）为观察面Fp。下面，将观察光轴Oa的方向设为Z轴方向，将与其正交的面设为X－Y平面。由该摄像机24取得的图像数据通过后述的图像控制部61进行适宜解析，并且可在监视器39进行显示（参照图2）。

在该主体部21的内部，在观察光轴Oa上设有由半透明反光镜或棱镜构成的反射部件25。在主体部21中，在反射部件25引起的来自观察光轴Oa的反射方向上经由连接器部26安装有导光纤维27。该导光纤维27可将从同轴用光源28射出的照射光向反射部件25导光。如图2所示，该同轴用光源28可选择性地使卤素灯28a和闪光放电管28b这两方发光，任一方发光都可向导光纤维27射出。如图1所示，从该同轴用光源28射出的照射光能够经导光纤维27及反射部件25在观察光轴Oa上行进，经各物镜镜筒22的物镜23在观察光轴Oa上对观察面Fp进行照明。因此，同轴用光源28、导光纤维27及反射部件25作为用于通过与各物镜镜筒22的物镜23的合作而对观察光学系统生成来自后述的检查对象物（44）的同轴方向上的反射光的反射照明机构12、即同轴落射照明机构29发挥功能。

该主体部21可通过后述的Z轴驱动机构66（参照图2）在观察光轴Oa方向（Z轴方向）上移动。因此，观察机构11中的观察光学系统和同轴落射照明机构29可一体地在观察光轴Oa方向（Z轴方向）上移动。

另外，如图1所示，在主体部21上以包围物镜镜筒22的外周的方式设有照明光导出用环形盘30。该照明光导出用环形盘30省略图示，但是，以与观察光轴Oa隔开规定间隔来环绕该观察光轴Oa的方式设有多个发光部，各发光部可从相对观察光轴Oa倾斜的方向向观察面Fp进行照射。在照明光导出用环形盘30安装有导光纤维31。该导光纤维31可将从圆环用光源32射出的照射光向照明光导出用环形盘30的各发光部（未图示）导光。如图2所示，该圆环用光源32可选择性使卤素灯32a和闪光放电管32b双方发光，任一方发光均可向导光纤维31射出。如图1所示，从该圆环用光源32射出的照射光能够经导光纤维31从照明光导出用环形盘30的各发光部（未图示）以相对观察光轴Oa倾斜的方向对观察面Fp进行照明。因此，圆环用光源32、导光纤维31及照明光导出用环形盘30（其各发光部）作为用于相对于观察光学系统生成来自后述的检查对象物（44）的在与观察光轴Oa倾斜的方向的反射光的反射照明机构12、即斜光照明机构33发挥功能。该照明光导出用环形盘30可通过后述的Z轴驱动机构66（参照图2）在观察光轴Oa方向（Z轴方向）上移动。向该观察光轴Oa方向的移动可以与主体部21一体，也可以相互独立。

在该主体部21及照明光导出用环形盘30的下方设有保持机构13。该保持机构13具有保持台34。如图3所示，该保持台34呈带台阶的圆筒形状，由其环状的前端部34a构成后述检查对象物（44）的保持部。在该前端部34a设有圆环状的环状槽34b，并且在该槽内设有用于抽真空的吸气孔34c。因此，在保持台34可如后述将载置的带42（参照图4等）由前端部34a吸附保持。在该保持台34中在其内侧设有透射台35。

如图1、图3、图5及图6所示，透射台35呈圆板形状，上侧（观察光学系统侧）的上端面35a为平坦面，下侧（透射照明机构14的后述的照射机构部16侧）的下端面35b为散射面。在实施例1中，该上端面35a为研磨了的平坦面，下端面35b从后述那样的得到散射效果的观点出发适宜考虑扩散率等而进行设定。该透射台35由至少允许从透射照明机构14的后述的照射机构部16（其射出部53）射出的透射光的透射的透明部件（透射部件）形成，在实施例1中，由玻璃形成。透射台35其周缘部的下端经由支承框36（参照图6）从下方进行支承。如图6所示，该支承框36呈圆环状，通过多个Z轴螺合部件37（在图6中只图示出一个）从下方进行支承，并且通过多个正交轴螺合部件38（在图6中只图示出一个）限制向Z轴方向上侧（观察光学系统侧）的移动。各Z轴螺合部件37在Z轴方向贯通保持台34而设置，可通过螺母37a进行Z轴方向的定位。该Z轴螺合部件37按照在以Z轴为中心的旋转方向观察时隔开规定间隔的方式设置至少三个以上。各正交轴螺合部件38的前端为圆锥形状，可与支承框36的上端位置的倾斜面卡合。因此，在保持台34中，通过适宜变更各Z轴螺合部件37的支承位置而可调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台35的位置（高度位置）和相对该观察光轴Oa的透射台35（上端面35a）的倾斜双方地设置该透射台35。因此，各Z轴螺合部件37和各正交轴螺合部件38作为相对于保持台34可进行与观察光轴Oa有关的位置调整地保持透射台35的位置调整机构发挥功能。

该透射台35的厚度尺寸即上端面35a与下端面35b的间隔通过边酌量透射台35的光学特性及硬度特性边考虑以下三点来进行设定。在实施例1中，透射台35的厚度尺寸为5cm～15cm的范围，其为整体均等的尺寸。

第一点为，在从透射照明机构14的后述的照射机构部16射出并向下端面35b入射并从上端面35a射出的透射光中，能够确保规定的光量。这是因为，在透射台35，以经观察光学系统由摄像机24取得的图像进行观察，需要适当照明后述的检查对象物（44）。这一点主要影响透射台35的厚度尺寸的上限值。

第二点为，由于周缘部的下端从下方进行支承，因此，在中央位置，洼下这种挠曲变形的变形量在规定的范围以内。这是因为，如后述，在透射台35，因为上端面35a具有使后述的检查对象物（44）位于观察光学系统中的适当位置即观察面Fp上的功能，因此，需要将上端面35a遍布整个面地沿着观察面Fp。因此，上述的变形量中的规定范围最大为观察光学系统中的景深。这一点主要影响透射台35的厚度尺寸的下限值。

第三点为，在从上端面35a射出的透射光中充分得到成为散射面的下端面35b引起的散射效果。详细而言，以可将照射观察面Fp上的带42的透射光、即从上端面35a射出的透射光设为规定的散射状态的方式酌量并设定下端面35b的散射面的程度（粗面度）。在此，规定的散射状态是指，防止来自摄像机24的图像数据中带42的多个阴影的部分产生，即在经过观察光学系统由摄像机24取得了被照射了来自透射照明机构14的透射光的观察面Fp上的带42时，在其图像数据中带42为均匀明亮的状态。

如图1所示，保持该透射台35的保持台34通过后述的XY驱动机构64（参照图2）相对观察光轴Oa（观察光学系统）可在与其正交的X－Y平面上移动。另外，保持台34通过后述的旋转驱动机构65（参照图2）可绕Z轴旋转。在该保持台34吸附保持检查对象工件40。

如图4所示，将粘贴了晶片41（也包括玻璃基板等）的带（薄膜）42在环状部件43的内侧保持而构成检查对象工件40。在该检查对象工件40中，有如（a）所示由晶片41形成的多个半导体元件44具有在保持粘贴于带42的状态下在各边界面切断（切割）的状态、和如（b）所示在粘贴于带42并切断后拉伸带42而各个截断（扩展）的状态。在此，环状部件43不管状态的差异（检查对象工件40的种类）都设为比保持台34的前端部34a（参照图1）大的径尺寸。在检查装置10中，在这些任一状态下均可用于检查是否适当形成各半导体元件44。因此，将各半导体元件44作为检查对象物，能够在保持维持检查对象工件40的状态的状态下进行该检查对象物的检查。如图1、图5及图6所示，在该检查对象工件40中，保持台34位于环状部件43的内侧，在将带42载置于其前端部34a的状态中，利用环状槽34b及吸气孔34c的作用将带42吸附保持于前端部34a。此时，在保持台34中，当透射台35的上端面35a位于比前端部34a（吸附保持位置）靠上方（观察光学系统侧）时，带42中的位于比吸附保持的部位靠内侧的区域由于通过透射台35的上端面35a被拉伸，因此以粘贴于该上端面35a的方式被平坦化（参照图1）。因此，通过将透射台35关于观察光轴Oa进行位置调整，从而能够使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）以适当的状态位于观察面Fp上。在该保持台34的下方设有作为透射照明机构14的照射机构部16（参照图1）。

如图1所示，透射照明机构14对由保持台34吸附保持的检查对象物（各半导体元件44）从观察光学系统（观察机构11）的相反侧照射透射光。该透射照明机构14具有照射机构部16。该照射机构部16可将经后述的导光部52从透射用光源51射出的透射光向后述的射出部53导光。如图2所示，该透射用光源51可选择性地使卤素灯51a和闪光放电管51b双方发光，任一方发光均可向导光部52射出。

如图5及图6所示，该照射机构部16在上述的透射用光源51（参照图2）的基础上，还具有导光部52、射出部53和支承部54。导光部52省略图示，但设于一端侧的入射面以可入射从透射用光源51（参照图2）的卤素灯51a及闪光放电管51b发光的光（透射光）的方式分别相向设置，将从该入射面入射的来自透射用光源51（参照图2）的透射光向设于另一端侧的射出面52a（参照图6）导光。该导光部52在实施例1中由光纤形成。在导光部52的射出面52a连接有射出部53（参照图6）。

在筒状的壳体53a收纳至少一个以上的光学元件53b而构成该射出部53。该光学元件53b构成与导光部52的射出面52a相向的入射面53c和射出由此入射的透射光的射出面53d。光学元件53b以使从入射面53c入射的透射光作为期望的状态从射出面53d射出的方式具有规定的光学特性。将成为该光学元件53b的中心轴位置的旋转对称轴设为照射机构部16（透射照明机构14（透射照明系统））的透射光轴Pa（参照图1）。在该照射机构部16中，当从导光部52向射出部53入射透射光时，从射出部53射出沿透射光轴Pa的透射光。光学元件53b的规定的光学特性是指将在与成为行进方向的透射光轴Pa正交的剖面观察到的光量分布均匀化、和抑制照射区域的扩大（扩散）。该光学元件53b由具有上述规定光学特性（积分器功能及防扩散（聚光）功能）的光学元件构成，在实施例1中，光学元件53b由棒状积分器光学部件构成。

另外，在实施例1中，将在壳体53a位于比光学元件53b的入射面53c更下方的下端部53e形成为筒状，可将导光部52的另一端部（设置有射出面52a的一侧的端部）嵌入于内侧。因此，射出部53和导光部52通过将导光部52的另一端部嵌入于射出部53的下端部53e而将导光部52的射出面52a和射出部53的入射面53c对接连结（连接）。在该状态下，导光部52和射出部53由支承部54固定支承。

因此，在照射机构部16中，能够使从透射用光源51射出的透射光经导光部52向射出部53行进，并作为均匀的光量分布的大致平行光从射出部53朝向透射光轴Pa（参照图1）方向射出，照射透射台35的下端面35b。该透射光通过成为散射面的下端面35b而成为散射光，从背面侧照射观察面Fp。该透射光至少透射吸附保持于保持台34的检查对象工件40的带42，可通过观察光学系统（摄像机24）观察（参照图1）。因此，照射机构部16（透射用光源51、导光部52及射出部53）与成为散射面的透射台35的下端面35b合作，作为生成从观察光学系统的相反侧照射观察面Fp（检查对象物（半导体元件44））的透射光的透射照明机构14发挥功能。在实施例1中，透射光轴Pa与Z轴方向平行地设定，以透射光轴Pa和观察光轴Oa一致的方式设定照射机构部16相对于观察光学系统的位置。另外，透射照明机构14通过由棒状积分器光学部件构成的照射机构部16的光学元件53b以在观察面Fp上观察的透射光的照射区域可满足由观察光学系统（摄像机24）可观察的观察区域的方式进行设定。

在该检查装置10中，在控制机构15（参照图2）的控制下统一控制如上构成的观察机构11、反射照明机构12、保持机构13及透射照明机构14。如图2所示，该控制机构15具有图像控制部61、照明控制部62和驱动控制部63。

图像控制部61适宜解析由摄像机24取得的图像数据。该解析可列举出识别粘贴于带42的多个检查对象物（半导体元件44）的轮廓线、判断观察点的聚焦状态、识别各检查对象物中的缺陷、识别设于各检查对象物的电极或布线等的缺点、以及识别各检查对象物（半导体元件44）从晶片41的切出不良等。另外，图像控制部61使基于由摄像机24取得的图像数据的影像显示于监视器39。

照明控制部62对同轴用光源28、圆环用光源32和透射用光源51适宜地进行点亮熄灭控制。即，在同轴用光源28、圆环用光源32及透射用光源51中，照明控制部62选择性地使卤素灯（28a、32a、51a）或闪光放电管（28b、32b、51b）适宜地点亮熄灭，并且使同轴用光源28、圆环用光源32和透射用光源51同时或个别地点亮和熄灭。该卤素灯（28a、32a、51a）作为观察用照明使用，闪光放电管（28b、32b、51b）作为检查用照明使用。另外，照明控制部62可在各光源（28、32、51）中进行作为检查用照明的闪光放电管（28b、32b、51b）的亮度调整。该亮度调整例如可通过适宜选择多个ND过滤器的任一个来实现。

驱动控制部63适宜驱动控制XY驱动机构64、旋转驱动机构65及Z轴驱动机构66。即，驱动控制部63通过驱动控制Z轴驱动机构66而能够使观察机构11中的观察光学系统及同轴落射照明机构29沿观察光轴Oa方向（Z轴方向）适宜移动，并且能够使斜光照明机构33沿观察光轴Oa方向（Z轴方向）适宜移动。由此，可在适当的照明下适当地观察吸附保持于保持台34的检查对象工件40的检查对象物（各半导体元件44）。另外，驱动控制部63通过驱动控制XY驱动机构64及旋转驱动机构65，能够使保持台34即吸附保持于此的检查对象工件40相对于观察光轴Oa（观察光学系统）及透射光轴Pa（照射机构部16）在与其正交的X－Y平面上适宜移动，并且，能够使其绕观察光轴Oa（透射光轴Pa（Z轴方向））适宜旋转。由此，可检查吸附保持于保持台34的检查对象工件40中的任意位置的检查对象物（半导体元件44）。

在控制机构15中，除此之外还可进行上述的保持台34中的吸附动作的控制等，并且可进行用于检查的图像数据的比较等。

在该检查装置10中，首先根据粘贴了成为检查对象的检查对象物的检查对象工件40进行关于透射台35的观察光轴Oa的位置调整。这是因为以下原因。在检查装置10中，在保持台34的前端部34a吸附保持环状部件43的内侧位置的带42，因此，将带42的周缘部从下方支承，由此，有时会以中央位置洼下的方式挠曲变形。于是，由于该挠曲变形，从而担心带42上的各半导体元件44偏离观察面Fp，不能通过观察光学系统（摄像机24）进行适当的观察。该带42的挠曲变形的量及状态根据带42的材质或粘贴的各半导体元件44的位置及个数等而不同，因此，其根据检查对象工件40的种类而不同。因此，在由保持台34吸附保持成为对象的检查对象工件40的状态下，以使带42上的各半导体元件44位于观察面Fp上的方式，根据带42的挠曲变形的量及状态调节在透射台35的Z轴即观察光轴Oa方向观察的位置（高度位置）和透射台35（上端面35a）相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。

此时，带42的挠曲变形越大，越使透射台35的上端面35a位于比保持台34的前端部34a（吸着保持位置）更靠上方（观察光学系统侧）。这是因为以下原因。在使透射台35的上端面35a位于比保持台34的前端部34a更靠上方时，带42中的位于比被吸附保持的部位更靠内侧的区域通过透射台35的上端面35a而向上方拉伸，因此，以在该上端面35a粘贴带42的方式将其平坦化。因此，根据带42的挠曲变形，通过使透射台35的上端面35a位于上方，从而能够使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）以更适当的状态位于观察面Fp上。此时，不用说，在透射台35的上端面35a根据高度位置使观察机构11、反射照明机构12及透射照明机构14的照射机构部16沿Z轴方向适宜移动。该带42的挠曲变形的量及状态能够例如通过在图像控制部61解析来自摄像机24的图像数据而取得。

然后，在检查装置10中，在保持台34吸附保持检查对象工件40进行芯片扫描。在该芯片扫描中，以遍及整个面地扫描保持台34的前端部34a的内侧位置即检查对象工件40（带42）中比吸附保持的部位更靠内侧的位置的方式，通过驱动控制部63使保持台34相对观察光轴Oa移动。该扫描中，边照射来自透射照明机构14的透射光边取得摄像机24得到的图像。

接着，进行芯片图的制作。该芯片图表示检查对象工件40（带42）中的各检查对象物（半导体元件44）的位置、及姿势。在控制机构15中，通过由图像控制部61解析利用芯片扫描的来自摄像机24的图像数据，识别轮廓线，由此判别粘贴于带42的多个检查对象物（半导体元件44），并且，通过附带驱动控制部63的移动位置信息从而取得各检查对象物（半导体元件44）的位置及姿势。

接着，进行检查对象物（半导体元件44）的判定。在该判定中，基于作成的芯片图决定观察光学系统的观察位置，根据该决定并利用驱动控制部63使保持台34移动。之后，将处于该观察位置的检查对象物（半导体元件44）与该检查对象物的合格产品的数据进行比较，进行该检查对象物（半导体元件44）是否优良的判断。该是否优良的判断通过将来自摄像机24的图像数据由图像控制部61进行解析而进行。

通过基于作成的芯片图对检查对象工件40（带42）上的所有的检查对象物（半导体元件44）依次进行该检查对象物（半导体元件44）的判定，结束对该检查对象工件40的检查。另外，该检查也可以通过目视在图像控制部61的控制下显示于监视器39的基于由摄像机24取得的图像数据的影像来进行。

（技术课题）

下面，使用图7至图9对技术课题进行说明。图7是表示用于说明技术课题的检查装置10’的保持机构13’及透射照明机构14’的构成的说明图。该检查装置10’为相对于实施例1的检查装置10未在保持台34’上设置透射台35，且透射照明机构14’（其照射机构部16’）的使用方法及其功能不同的例子。检查装置10’的基本构成与上述的检查装置10相同，因此，对相同的构成部位标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。

首先，通常，在成为检查对象物的半导体元件中，常见为将粘贴有晶片41的带（薄膜）42在环状部件43的内侧保持的状态的检查对象工件40（参照图4）直接进行处理，因此，优选多个半导体元件44的检查也直接对检查对象工件（40）进行处理。因此，在检查装置10’中，如上所述，由保持台34’的前端部34a吸附保持环状部件43的内侧位置的带42，且使用观察机构11、反射照明机构12（参照图1）及透射照明机构14’进行粘贴于该带42上的各半导体元件44的检查。

此时，为了使作为检查对象物的各半导体元件44位于观察机构11（观察光学系统（摄像机24（参照图1）））的适当的部位即观察面Fp上，而需要将粘贴有该各半导体元件44的带42做成平坦的状态的同时进行保持。这是因为，由于由保持台34’的前端部34a吸附保持环状部件43的内侧位置的带42，所以将带42的周边部从下方支承，由此，有时以中央位置洼下的方式发生挠曲变形，并由于该挠曲变形，从而有时带42上的各半导体元件44偏离了观察面Fp。但是，在检查装置10’中，在保持台34’上未设置透射台35。因此，透射照明机构14’（其照射机构部16’）的使用方法及其功能与检查装置10不同。

详细而言，如图7所示，在检查装置10’中，透射照明机构14’的照射机构部16’的射出部53’的光学元件53b’的上侧（观察光学系统侧）的射出面53d’为平坦面。在该检查装置10’中，在由保持台34’的前端部34a吸附保持环状部件43的内侧位置的带42时，如图7及图8所示，通过将照射机构部16’的射出部53’的射出面53d’推到带42的背面（照射机构部16’侧的面）上并举起其抵接部位，从而使检查对象物位于观察光学系统（摄像机24（参照图1））中的适当的位置即观察面Fp上。这样，在检查装置10’中，作为透射照明机构14’的照射机构部16’的射出部53’的射出面53d’具有使检查对象物位于观察光学系统（摄像机24）的适当的位置即观察面Fp上的功能。

但是，在照射机构部16’的射出部53’，由于在筒状的框体53a’收容光学元件53b’而构成，因此，可照射的区域与光学元件53b’的射出面53d’（其面积）大致相等。与之相对，在与透射光轴Pa（Z轴方向）正交的方向观察，保持台34’的内侧的照射机构部16’的可相对移动的区域因其框体53a’和保持台34’的内周壁面的干涉而受到限制（参照图9）。因此，在照射机构部16’（透射照明机构14’），如图9所示，在保持台34’的内侧，以框体53a’与其内周壁面抵接的状态（正确的是刚要抵接之前的位置）下的光学元件53b’的位置为最外位置的区域成为可有效照射透射光的区域（有效检查区域Sa’），在保持台34’上不能向吸附保持带42的前端部34a的内侧的整个区域照射透射光。换言之，不能将保持台34’的前端部34a的内侧最大限度地利用为检查区域，担心会因保持带42的保持台34’而导致检查作业效率的降低。

（透射照明机构14及透射台35的作用）

在检查装置10中，透射照明机构14中的照射机构部16（其射出部53）为从离开保持台34的位置（保持台34的外侧）照射吸附保持于该保持台34的检查对象物（各半导体元件44）的构成（参照图5等）。因此，即使使保持台34和照射机构部16（其射出部53）向与透射光轴Pa正交的方向相对移动，保持台34和照射机构部16（其射出部53）也不会发生干涉（参照图10）。因此，如图10所示，尽管在照射机构部16的射出部53设置有框体53a，利用从光学元件53b射出的透射光，也能照射至在与透射光轴Pa正交的方向观察到达保持台34的内周壁面的位置，因此，可以对在保持台34中吸附保持带42的前端部34a的内侧的整个区域（参照符号Sa）照射透射光。因此，可以遍及全部区域地将保持台34的内侧作为有效检查区域Sa，可以最大限地利用该内侧区域。

此时，设于保持台34的透射台35的上端面35a使吸附保持于保持台34的带42（检查对象工件40）为平坦的状态，并且使粘贴于其上的检查对象物（各半导体元件44）位于观察面Fp上（参照图1及图6）。因此，可以通过观察机构11（观察光学系统（摄像机24））适当地观察检查对象物（各半导体元件44）。

这样，在本发明的检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16（其射出部53）为从离开保持台34的位置（保持台34的外侧）照射吸附保持于该保持台34的检查对象物（各半导体元件44）的构成，因此，能够可靠地防止照射机构部16（其射出部53）和保持台34发生干涉。因此，尽管在照射机构部16的射出部53设置有框体53a，利用从光学元件53b射出的透射光，也能照射至在与透射光轴Pa正交的方向观察到达保持台34的内周壁面的位置，因此，可以对在保持台34中吸附保持带42的前端部34a的内侧的整个区域（参照符号Sa）照射透射光。由此，可以遍及全部区域地将保持台34的内侧作为有效检查区域Sa，可以最大限度地确保有效的检查区域。

另外，在检查装置10中，利用设于保持台34的透射台35的上端面35a，可以使吸附保持于保持台34的带42（检查对象工件40）成为平坦的状态，并可以使粘贴于其上的检查对象物（各半导体元件44）位于观察面Fp上，因此，即使透射照明机构14的照射机构部16（其射出部53）为从离开保持台34的位置照射检查对象物（各半导体元件44）的构成，也能够利用观察机构11（观察光学系统（摄像机24））进行适当的观察。

进而，在检查装置10中，在由保持台34吸附保持检查对象工件40（其带42）时，可以使透射台35的上端面35a位于比保持台34的前端部34a（吸附保持位置）更靠上方（观察光学系统侧），因此，可以使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）更适当地位于观察面Fp上。

在检查装置10中，透射台35可通过位置调整机构对保持台34进行关于观察光轴Oa的位置调整，因此，根据带42的挠曲变形量及状态，能够更适当地使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）位于观察面Fp上。

在检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16（其射出部53）具有抑制照射区域的扩大（扩散）的光学性能（积分器功能），因此，能够照射观察面Fp上的相对于观察光学系统（摄像机24）的适当的区域，因此，能够更有效地进行观察光学系统（摄像机24）的适当的观察。

在检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16（其射出部53）具有将从与成为行进方向的透射光轴Pa正交的剖面观察的光量分布均匀化的光学性能（防扩散（聚光）功能），因此，能够进行根据观察光学系统（摄像机24）的更适当的观察。

在检查装置10中，因为透射台35的下端面35b为散射面，因此，能够防止来自观察光学系统（摄像机24）的图像数据中产生照射了来自透射照明机构14的透射光（从照射机构部16射出并经过了散射面的透射光）的带42中的多个阴影的部分，因此，使用透射照明机构14能够正确地得到粘贴于带42上的检查对象物（实施例1中为各半导体元件44）的信息。这是由于如下原因。在带42中，当以来自观察光学系统（摄像机24）的图像数据观察照射了透射照明的状态时，即使为未粘贴任何部件的状态，也不是均匀明亮的状态，而是存在了线状或点状的局部阴暗的部位（上述的阴影的部分）。该阴影的部分认为是由于在带42上附着了尘埃等或产生了粘着剂的斑而引起的。这种阴影的部分在使用透射照明机构14检查粘贴于带42上的检查对象物（各半导体元件44）时作为噪声成分进行了作用，担心会导致该检查对象物的检查精度的降低。与之相对，在检查装置10中，在透射照明机构14中，来自照射机构部16（其射出部53）的透射光经过作为散射面的透射台35的下端面35b而成为散射光，因此，在经观察光学系统由摄像机24取得照射了来自透射照明机构14的透射光的观察面Fp上的带42时，能够在其图像数据中几乎不能识别到带42中的多个阴影的部分。这认为是对带42的附着的尘埃等或粘接剂的斑以各种角度方向照射透射光而引起的。这样，由于可以除去来自观察光学系统（摄像机24）的图像数据中的噪声成分，所以使用透射照明机构14能够正确地得到粘贴于带42上的检查对象物（各半导体元件44）的信息。

在检查装置10中，在透射光轴Pa方向观察，形成为散射面的下端面35b相距规定观察面Fp的透射台35的上端面35a隔开规定间隔而设置，因此，能够可靠地得到设为散射面而产生的散射效果，因此，在来自观察光学系统（摄像机24）的图像数据中，能够可靠地防止产生照射来自透射照明机构14的透射光的带42中的多个阴影的部分。另外，在以由玻璃形成的透射台35的上端面35a为观察面Fp且以下端面35b为散射面进行了试验的结果是，将观察面Fp和散射面的间隔设为3cm以上，由此可以得到所希望的散射效果。

在检查装置10中，由设有使检查对象物位于观察面Fp上的上端面35a的透射台35的下端面35b构成作为透射照明机构14的散射面，因此，能够容易且可靠地设定相对于在观察光学系统（观察机构11）中作为适当的观察地点的观察面Fp（上端面35a）的在透射光轴Pa方向观察的散射面（下端面35b）的位置，即在透射光轴Pa方向观察的观察面Fp和散射面的间隔。

在检查装置10中，由设置了上端面35a的透射台35的下端面35b构成作为透射照明机构14的散射面，因此，能够通过只设置透射台35而实现使检查对象物位于观察面Fp上的功能及除去图像数据上的噪声成分的功能，从而能够做成简易的构成。

在检查装置10中，也考虑从照射机构部16（其射出部53）射出后经过透射台35的透射光的光量来设定在透射光轴Pa方向观察的上端面35a和下端面35b的间隔（透射台35的厚度尺寸），因此，能够以规定的光量对观察面Fp上的检查对象物照射透射光，因而，可使用透射照明机构14更正确地得到检查对象物（实施例1中为各半导体元件44）的信息。

在检查装置10中，也将在透射光轴Pa方向观察的上端面35a与下端面35b的间隔（透射台35的厚度尺寸）设定成使透射台35的挠曲变形的变形量为规定范围以内这一点，因此，可通过观察光学系统（摄像机24）适当地观察。

因此，在本发明的检查装置10中，可以使用透射照明高效且适当地检查在保持于环状部件43的带42上粘贴的检查对象物（各半导体元件44）。

[实施例2]

下面，使用图11对本发明的实施例2的检查装置10A进行说明。该实施例2相对实施例1的检查装置10为保持台34A（保持机构13A）中的位置调整机构的构成不同的例子。该实施例2的检查装置10A的基本构成与上述实施例1的检查装置10相同，因此，对相同的构成处标注相同的附图标记，并省略其详细说明。

如图11所示，在检查装置10A中，作为保持机构13A的保持台34A中的位置调整机构，代替各Z轴螺合部件37设有多个Z轴调整机构71。该Z轴调整机构71与Z轴螺合部件37相同，至少设置三个以上（在图11中只图示有两个）。各Z轴调整机构71具有驱动电动机72、安装于其旋转轴72a的凸轮部件73、通过该凸轮部件73而变动的Z轴支承部74。驱动电动机72为Z轴调整机构71中的驱动源，其通过旋转轴72a输出旋转驱动力。在该旋转轴72a连接有凸轮部件73。该凸轮部件73呈圆板状，在从轴线偏心的位置连接于旋转轴72a。凸轮部件73在外侧面可抵接于Z轴支承部74。该Z轴支承部74呈棒状，在Z轴方向观察，其在凸轮部件73的上侧（透射台35侧）沿Z轴方向贯通保持台34A而设置，并在Z轴方向移动自由。Z轴支承部74的上侧（观察光学系统侧）的一端被从下方支承支承框36，其下侧的另一端抵接于凸轮部件73的外侧面。

在该Z轴调整机构71中，通过适宜驱动控制驱动电动机72，从而能够根据凸轮部件73的绕旋转轴72a的旋转姿势使Z轴支承部74沿Z轴方向移动。因此，在保持台34A按如下设置该透射台35，即，通过适宜驱动各Z轴调整机构71、适宜变更各Z轴支承部74的支承位置，从而可调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台35的位置（高度位置）、和透射台35（上端面35a）相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。由此，各Z轴螺合部件37作为相对于保持台34A可进行关于观察光轴Oa的位置调整地保持透射台35的位置调整机构发挥功能。在检查装置10A中，控制机构15的驱动控制部63可适宜驱动控制各Z轴调整机构71即其驱动电动机72。

在该检查装置10A中，在由保持台34A吸附保持成为对象的检查对象工件40的状态中，通过将来自摄像机24的图像数据在控制机构15的图像控制部61进行解析，从而取得带42的挠曲变形的量及状态。接着，根据该带42的挠曲变形的量及状态，控制机构15的驱动控制部63以使带42上的各半导体元件44位于观察面Fp上的方式适宜驱动控制各Z轴调整机构71的驱动电动机72，从而调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台35的位置（高度位置）和透射台35（上端面35a）相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。接着，以使调整关于该观察光轴Oa的位置的透射台35的上端面35a上的粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）位于观察面Fp上的方式，控制机构15的驱动控制部63使观察机构11、反射照明机构12及透射照明机构14（其照射机构部16）沿Z轴方向适宜移动。由此，将粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）以适当的状态位于观察面Fp上。因此，在检查装置10A中，与实施例1的检查装置10相同，能够检查该检查对象物（各半导体元件44）。

在实施例2的检查装置10A中，基本为与实施例1的检查装置10相同的构成，因此基本能够得到与实施例1相同的效果。

除此之外，在实施例2的检查装置10A中，能够使成为对象的检查对象工件40的带42上的检查对象物（在实施例2中为各半导体元件44）自动位于观察面Fp上，因此，能够迅速且适当地检查检查对象物（实施例2中为各半导体元件44）。

因此，在本发明的检查装置10中，可以使用透射照明高效且适当地检查在保持于环状部件43的带42上粘贴的检查对象物（各半导体元件44）。

另外，在实施例2中，各Z轴调整机构71由驱动电动机72（旋转轴72a）、凸轮部件73、Z轴支承部74构成，但只要是通过控制机构15的驱动控制部63的驱动控制而能够对保持台34A调整关于观察光轴Oa的透射台35的位置就可以，不限于实施例2的构成。

[实施例3]

下面，使用图12对本发明实施例3的检查装置10B进行说明。该实施例3为相对实施例2的检查装置10A，保持机构13B的构成不同的例子。该实施例3的检查装置10B的基本构成与上述实施例2的检查装置10A相同，因此，对相同的构成处标注相同附图标记，并省略其详细说明。

如图12所示，在检查装置10B中，在保持机构13B中设有按压机构81。该按压机构81可保持载置于保持台34A的透射台35（上端面35a）上的检查对象工件40。详细而言，按压机构81在以透射台35的上端面35a位于比保持台34A的前端部34a（吸附保持位置）更上方（观察光学系统侧）的方式，调整透射台35相对于保持台34A在Z轴方向的位置时，通过与该透射台35（其上端面35a）的合作，可边使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）适当地位于观察面Fp上，边保持该检查对象工件40。

在实施例3中，该按压机构81具有在与Z轴正交的方向观察设于保持台34A的外侧位置的滑动支承部82、和通过该滑动支承部82在Z轴方向移动自由地保持的按压臂部83。该按压机构81至少设置两个以上（图12中图示有两个）。各按压臂部83从滑动支承部82向内侧延伸出，且可在保持台34A的周边将检查对象工件40的环状部件43从上方（观察光学系统侧）按压。换言之，各按压臂部83以在Z轴方向观察至少前端部分与检查对象工件40的环状部件43重叠的方式设置。

在检查装置10B中，基本上在保持台34A的前端部34a吸附保持检查对象工件40的带42。在此，在以透射台35的上端面35a位于比保持台34A的前端部34a（吸附保持位置）更上方（观察光学系统侧）的方式，相对保持台34A调整透射台35在Z轴方向的位置时，有时不能将载置于其上端面35a的带42在保持台34A的前端部34a吸附保持。这是由于带42的挠曲变形有限，通过在Z轴方向观察的上端面35a的位置和前端部34a的位置的差变大而产生。此时，在检查装置10B中，在各按压机构81中，将设于各滑动支承部82的按压臂部83按下（使其向照射机构部16侧（参照图11等）移动），用其各按压臂部83将检查对象工件40的环状部件43从上方（观察光学系统侧（参照图11等））向下方按压。于是，检查对象工件40由于其带42的中央由透射台35的上端面35a推起，因此，在其上端面35a以按粘贴带42的方式平坦化的状态固定。因此，各按压臂部83的按压位置（高度位置）根据透射台35（其上端面35a）的相对观察光轴Oa的倾斜个别设定。另外，各按压臂部83的按压位置也可以为相同高度位置（在Z轴方向观察的相对透射台35的位置）。因此，使检查对象物（各半导体元件44）适当地位于作为观察光学系统中的适当的位置的观察面Fp上。在该各滑动支承部82上的按压臂部83的位置的移动在控制机构15（其驱动控制部63）的控制下进行。另外，在各滑动支承部82上的按压臂部83的位置的移动也可以通过手动进行。在该各按压机构81中，在没有按压检查对象工件40的环状部件43的场面下，以不成为检查对象工件40向保持台34A（透射台35）上的载置的妨碍的方式，利用滑动支承部82使按压臂部83退避到上方位置。另外，按压臂部83为了该退避，可以做成在延出方向伸缩自如的构成，也可以做成可绕滑动支承部82旋转的构成。

在实施例3的检查装置10B中，因为基本上为与实施例2的检查装置10A相同的构成，所以，能够得到基本上与实施例2相同的效果。

除此之外，在实施例3的检查装置10B中，以使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）适当地位于观察面Fp上的方式相对保持台34A在Z轴方向对透射台35进行位置调整，因此，即使是不能在保持台34A的前端部34a吸附保持的检查对象工件40，也能通过按压机构81的按压边仿照该透射台35的上端面35a使带42平坦化边将其固定，从而能够适当地检查粘贴于该带42的检查对象物（各半导体元件44）。

另外，在检查装置10B中，按压机构81按压检查对象工件40的环状部件43，因此，能够在抑制向该检查对象工件40的带42或粘贴于此的检查对象物（各半导体元件44）的负载的同时，将该带42（检查对象物（各半导体元件44））推至透射台35的上端面35a。

因此，在本发明的检查装置10B中，可以使用透射照明高效且适当地检查在保持于环状部件43的带42上粘贴的检查对象物（各半导体元件44）。

另外，在实施例3中表示了在实施例2的检查装置10A设置了按压机构81的检查装置10B，但也可以将该按压机构81适用于实施例1的检查装置10，而不限于上述实施例3的构成。

另外，虽然在实施例3中，将按压机构81做成具有滑动支承部82和按压臂部83的构成，但只要是可边保持载置于保持台（34A）的透射台35（上端面35a）上的检查对象工件40边使粘贴于其带42的检查对象物（各半导体元件44）适当地位于观察面Fp上就可以，而不限于上述实施例3的构成。例如，按压机构也可以通过以下构成实现，即，在保持台（34A）中，将前端部（34a）的内侧位置和透射部件（35）和支承框（36）之间密封，并且能够将由前端部（34a）的内侧位置和透射部件（35）和支承框（36）形成的环状槽部抽真空。在这样的构成的情况下，能够将载置于透射部件（35）的上端面（35a）的检查对象工件40的带42在包围其上端面（35a）的位置遍及全周进行吸附。因此，不管是否能够通过保持台34A的前端部34a吸附保持带42，都能够将带42中的挠曲变形的多余部分引入环状的槽部，因此，能够使粘贴于带42的检查对象物（各半导体元件44）适当地位于观察面Fp上。

进而，虽然在实施例3中，按压机构81的按压臂部83做成将检查对象工件40的环状部件43从上方（观察光学系统侧）按压的构成，但也可以按压带42，而不限于上述的实施例3 的构成。

另外，在上述各实施例说明了本发明的检查装置的各例，但是，不限于上述各实施例，只要为以下检查装置就可以，即，一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对上述观察面进行照明；透射照明机构，其从上述观察光学系统的相反侧对上述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从上述透射照明机构侧保持上述带，上述检查装置其特征在于，上述透射照明机构具有从上述保持台的外侧向上述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，上述保持台具有：透射部件，其呈在上述观察光学系统侧设有规定沿着上述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从上述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。

另外，在上述各实施例中，在透射照明机构中设有扩散部（扩散面），但也可以不设置该扩散部，不限于上述的各实施例。

进而，虽然在上述的各实施例中，保持台（34等）做成在前端部34a吸附保持带42的构成，但只要是以将各半导体元件44作为检查对象物的方式在保持维持检查对象工件40的状态的状态下保持该检查对象工件40就可以，而不限于上述的各实施例。

以上，基于各实施例说明了本发明的检查装置，但是对于具体的构成，不限于这些各例及各实施例，只要不脱离本发明的要点，就允许进行设计的变更、追加等。

Claims (8)

1.一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从所述透射照明机构侧保持所述带，其特征在于，

所述透射照明机构具有从所述保持台的外侧向所述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，

所述保持台具有：透射部件，其呈在所述观察光学系统侧设有规定沿着所述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从所述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设成比所述保持台的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的检查装置，其特征在于，

还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件。

6.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引。

7.根据权利要求1～6的任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器光学部件。

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