JP3496209B2 - ベアリングの転動体欠落検査装置 - Google Patents
ベアリングの転動体欠落検査装置Info
- Publication number
- JP3496209B2 JP3496209B2 JP13882095A JP13882095A JP3496209B2 JP 3496209 B2 JP3496209 B2 JP 3496209B2 JP 13882095 A JP13882095 A JP 13882095A JP 13882095 A JP13882095 A JP 13882095A JP 3496209 B2 JP3496209 B2 JP 3496209B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- rolling element
- center
- rolling elements
- missing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、転動体の数などを画像
処理によって検査するベアリングの転動体欠落検査装置
に関する。 【0002】 【従来の技術】従来、ベアリングの転動体の数を計数す
る方法として、特公平6−29713号公報で示される
方法が提案されている。図6は従来の方法によってベア
リングの転動体の数を計数する検査装置の構成を示す説
明図である。 【0003】従来の検査装置は、ジグ1a、リングライ
ト2a、カメラ3a、画像処理装置4aなどから構成さ
れ、ジグ1aにセットされたベアリング5aをリングラ
イト2aで照明し、CCD等の撮像素子を有するカメラ
3aで撮らえた画像を画像処理装置4aに取り込んで処
理する。画像処理装置4aは二値化回路11a、画像メ
モリ12a、タイミングコントロール回路13a、CP
U14aおよびプログラムROM15aを有する。 【0004】図7はベアリングの構成要素を示す説明図
である。一般に、ベアリングは外輪部21a、内輪部2
2aおよび転動体部23aから構成されている。さら
に、転動体部23aは数個から数十個の転動体24aお
よびこの転動体24aを保持する保持器25aから構成
されている。 【0005】図8は画像処理装置4aによって実行され
る画像処理手順を示すフローチャートである。まず、画
像処理装置4aに取り込まれた画像は、二値化回路11
aで二値化処理される(ステップS1a)。つづいて、
内輪部22aと一致する固定円でマスクされる(ステッ
プS2a)。 【0006】外輪部21aの内側の転動体24aを除い
た部分(図9における斜線部分)の面積および重心を求
める(ステップS3a)。図9は外輪部の内側の転動体
を除いた部分の重心を求める領域を示す説明図である。 【0007】外輪部21aの内側の転動体24aを除い
た部分の面積と等価な円の中心と半径Rを求める(ステ
ップS4a)。図10は固定円による同心状のウインド
ウの決め方を示す説明図である。半径Rに対して内外に
オフセット量a、bを加減算した半径R1(=R+
a)、R2(=R−b)で囲まれた部分、すなわち転動
体部23aだけを抽出する(ステップS5a)。 【0008】抽出された転動体部23aにおいて、転動
体の個々の面積を算出し、予め設定されている面積と比
較することによって転動体の数を判定する(ステップS
6a)。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ベアリングの転動体の数を計数する方法における装置で
は、以下に掲げる問題があった。 【0010】即ち、第1に、内輪部22aと一致する同
心円でマスクしなければならないので、ベアリングを所
定の位置に固定するためのジグが必要となる。 【0011】第2に、前記ステップS2aで固定円と内
輪部22aの間には一般に中心ずれが生じ、転動体部2
3aの一部までマスクしてしまう虞れがある。さらに、
マスクの中心座標および半径は予め経験的に定めておく
ものとされているが、その基準に普遍性がない。 【0012】第3に、前記ステップS3aで実際の画像
の外輪部の内側の転動体を除いた部分の重心は、外輪部
の中心と一般に一致しない。特に、転動体部23aには
転動体24aおよび保持器25aがあるために複雑で照
明系の影響を受け易く、重心と外輪部の中心は一致しな
いのが普通である。このような状況はたびたび起こり、
誤判定の原因になる。 【0013】第4に、前記ステップS5aでオフセット
量a、bの決定法についての記載がなく、オフセット量
a、bの値は経験的に求められると推測されるが、その
基準に普遍性がなく、重心と中心とが完全に一致してい
るという前提の上で成り立っている。したがって、重心
と中心とがずれている場合、オフセット量a、bの値を
調節して中心のずれを吸収しなければならないが、ずれ
が大きい場合にはオフセット量をa、bの値を調節して
も、中心ずれの影響を吸収しきれない場合も起こり得
る。 【0014】そこで、本発明は、かかる問題を一気に解
決し、ベアリングの転動体の数をより一層正確に計数す
るベアリングの転動体欠落検査装置を提供することを目
的とする。 【0015】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1に係るベアリングの転動体欠落検
査装置は、ベアリングの転動体の欠落を検査するベアリ
ングの転動体欠落検査装置において、前記ベアリングを
撮像する撮像手段と、該撮像されたベアリングの画像に
対し、前記ベアリングの中心および該中心から円環状に
前記転動体の有無を走査するための領域を設定する設定
手段と、該設定された領域を半径方向に走査して所定角
度毎に画素データを加算する加算手段と、該所定角度毎
の加算結果に基づいて、前記転動体の数を計数する計数
手段とを備えたことを特徴とする。 【0016】 【作用】本発明の請求項1に係るベアリングの転動体欠
落検査装置では、ベアリングの転動体の欠落を検査する
際に、撮像手段により前記ベアリングを撮像し、該撮像
されたベアリングの画像に対し、設定手段により前記ベ
アリングの中心および該中心から円環状に前記転動体の
有無を走査するための領域を設定し、加算手段により該
設定された領域を半径方向に走査して所定角度毎に画素
データを加算し、計数手段により該所定角度毎の加算結
果に基づいて、前記転動体の数を計数する。 【0017】 【実施例】本発明のベアリングの転動体欠落検査装置の
実施例について説明する。図1は実施例の転動体欠落検
査装置の構成を示す説明図である。 【0018】転動体欠落検査装置は、コンベア1、照明
4、拡散板5、カメラ3、画像処理装置6、モニタ7な
どを備える。画像処理装置6は、画像処理部11、ビデ
オインターフェース12、メモリ13およびCPU14
を有する。 【0019】かかる構成を有する転動体欠落検査装置で
は、コンベア1の上に載置されて搬送されたベアリング
としてのワーク2はカメラ3の真下に位置決めされる。
位置決め精度はワーク2全体がカメラ3の視野に入って
いればよい。 【0020】以下に本転動体欠落検査装置を用いた検査
方法について説明する。 【0021】ワーク2は下からの照明4により拡散板5
を透かしたシルエットとして撮像手段であるカメラ3に
より撮影され、撮影された画像は画像処理装置6に取り
込まれる。一般に、透過光照明の方が反射光照明によっ
て得られる画像よりワーク2の周囲の変化に対して安定
しているので、本実施例では透過光照明を採用してい
る。画像処理装置6に取り込まれた画像は同時にモニタ
7に表示される。 【0022】図2は画像処理装置6によって実行される
画像処理手順を示すフローチャートである。画像処理装
置6に取り込まれた画像に対し、画像処理部11は二値
化処理を行う(ステップS1)。図3は二値化処理が行
われた画像を示す説明図である。 【0023】つづいて、周知の方法によりワークの中心
Oを求め(ステップS2)、設定手段によりワークの中
心Oから内輪と外輪を含む円環状の領域Gを求める(ス
テップS3)。領域Gを放射状に走査し、加算手段によ
り黒く見える点を加算して半径方向の射影値を求めてメ
モリ13に記憶する。この射影値を求める走査を0.5
°の割出し角で時計廻りに一周行う(ステップS4)。 【0024】ステップS4の走査によって得られた一周
分(720個)の射影値データに対し、16個単位の移
動平均を行う(ステップS5)。 【0025】図4は射影値を半径方向にその大きさに対
応させて表示する放射状パターンを示す説明図である。
この放射状パターンにおいて、半径方向の山の大きさが
転動体の有無に対応するので、計数手段により周知の閾
値処理を施すことにより転動体の欠落を判定する(ステ
ップS6)。図4は転動体の欠落がない場合の放射状パ
ターンを示している。一方、図5は転動体に欠落がある
場合の放射状パターンを示す説明図である。図4と較べ
て、転動体が1個欠落していることが分かる。 【0026】尚、本実施例では詳細については割愛した
が、ワークの中心Oを求める操作を多数回行い、その平
均を求めることにより雑音の影響を減している。また、
領域Gは内輪と外輪とを含んでさえいればよいので、厳
密に狭い範囲に制限する必要はない。 【0027】さらに、移動平均長Lは各転動体が占有す
るデータのおよその長さから設定される。本実施例のよ
うに、移動平均長Lを16に設定して移動平均を行う
と、射影値の移動平均値は転動体の存在する所で極大と
なり、転動体が存在しない所で極小となるので、転動体
の数を計数する場合に移動平均長Lは有効なパラメータ
となる。 【0028】また、移動平均を行うもう1つの理由は、
データの急激な変動を平滑化するためである。急激な変
動の原因としては、射影値それ自体のばらつきや、ゴミ
などによって黒く写る部分が誤って加算されてしまうこ
となどが挙げられるが、このような影響を減らすためで
ある。 【0029】さらに、射影値を求める有意性は、内外輪
および保持器がそれぞれ中心ずれを起こしていても、そ
の射影値はその性質上、中心ずれを起こしていない場合
のそれとほとんど変わらないからである。 【0030】また、実際に撮影された画像は転動体の存
在しない部分でも、内外輪と保持器が接触しているよう
に見える場合も多い(図3参照)。このような場合、内
外輪と保持器の境界が分からないので、従来の方法では
固定円によるウインドウの大きさの決め方が難しいが、
本実施例では前述したように厳密なウインドウ(領域)
を設ける必要がない。 【0031】さらに、カメラのシャッタ機能を利用して
ベアリングが静止していない状態で検査できるようにし
てもよい。 【0032】本実施例のベアリングの転動体欠落検査装
置によれば、測定値として射影値を利用することにより
その性質上、内輪、外輪、保持器の中心ずれによる影響
をほとんど受けない。したがって、厳密な位置決め精度
なしに転動体数を正確に計数でき、簡単に転動体の欠落
を検査できる。 【0033】 【発明の効果】本発明の請求項1に係るベアリングの転
動体欠落検査装置によれば、ベアリングの転動体の欠落
を検査する際に、撮像手段により前記ベアリングを撮像
し、該撮像されたベアリングの画像に対し、設定手段に
より前記ベアリングの中心および該中心から円環状に前
記転動体の有無を走査するための領域を設定し、加算手
段により該設定された領域を半径方向に走査して所定角
度毎に画素データを加算し、計数手段により該所定角度
毎の加算結果に基づいて、前記転動体の数を計数するの
で、検査毎にベアリングの中心を求めることにより特別
のジグを不要にできる。 【0034】また、円環状に設定された領域を半径方向
に走査して画素データを加算することにより内輪、外
輪、保持器の中心ずれによる影響をほとんど受けず、厳
密な位置決め精度なしに転動体数を正確に計数でき、簡
単に転動体の欠落を検査できる。
処理によって検査するベアリングの転動体欠落検査装置
に関する。 【0002】 【従来の技術】従来、ベアリングの転動体の数を計数す
る方法として、特公平6−29713号公報で示される
方法が提案されている。図6は従来の方法によってベア
リングの転動体の数を計数する検査装置の構成を示す説
明図である。 【0003】従来の検査装置は、ジグ1a、リングライ
ト2a、カメラ3a、画像処理装置4aなどから構成さ
れ、ジグ1aにセットされたベアリング5aをリングラ
イト2aで照明し、CCD等の撮像素子を有するカメラ
3aで撮らえた画像を画像処理装置4aに取り込んで処
理する。画像処理装置4aは二値化回路11a、画像メ
モリ12a、タイミングコントロール回路13a、CP
U14aおよびプログラムROM15aを有する。 【0004】図7はベアリングの構成要素を示す説明図
である。一般に、ベアリングは外輪部21a、内輪部2
2aおよび転動体部23aから構成されている。さら
に、転動体部23aは数個から数十個の転動体24aお
よびこの転動体24aを保持する保持器25aから構成
されている。 【0005】図8は画像処理装置4aによって実行され
る画像処理手順を示すフローチャートである。まず、画
像処理装置4aに取り込まれた画像は、二値化回路11
aで二値化処理される(ステップS1a)。つづいて、
内輪部22aと一致する固定円でマスクされる(ステッ
プS2a)。 【0006】外輪部21aの内側の転動体24aを除い
た部分(図9における斜線部分)の面積および重心を求
める(ステップS3a)。図9は外輪部の内側の転動体
を除いた部分の重心を求める領域を示す説明図である。 【0007】外輪部21aの内側の転動体24aを除い
た部分の面積と等価な円の中心と半径Rを求める(ステ
ップS4a)。図10は固定円による同心状のウインド
ウの決め方を示す説明図である。半径Rに対して内外に
オフセット量a、bを加減算した半径R1(=R+
a)、R2(=R−b)で囲まれた部分、すなわち転動
体部23aだけを抽出する(ステップS5a)。 【0008】抽出された転動体部23aにおいて、転動
体の個々の面積を算出し、予め設定されている面積と比
較することによって転動体の数を判定する(ステップS
6a)。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ベアリングの転動体の数を計数する方法における装置で
は、以下に掲げる問題があった。 【0010】即ち、第1に、内輪部22aと一致する同
心円でマスクしなければならないので、ベアリングを所
定の位置に固定するためのジグが必要となる。 【0011】第2に、前記ステップS2aで固定円と内
輪部22aの間には一般に中心ずれが生じ、転動体部2
3aの一部までマスクしてしまう虞れがある。さらに、
マスクの中心座標および半径は予め経験的に定めておく
ものとされているが、その基準に普遍性がない。 【0012】第3に、前記ステップS3aで実際の画像
の外輪部の内側の転動体を除いた部分の重心は、外輪部
の中心と一般に一致しない。特に、転動体部23aには
転動体24aおよび保持器25aがあるために複雑で照
明系の影響を受け易く、重心と外輪部の中心は一致しな
いのが普通である。このような状況はたびたび起こり、
誤判定の原因になる。 【0013】第4に、前記ステップS5aでオフセット
量a、bの決定法についての記載がなく、オフセット量
a、bの値は経験的に求められると推測されるが、その
基準に普遍性がなく、重心と中心とが完全に一致してい
るという前提の上で成り立っている。したがって、重心
と中心とがずれている場合、オフセット量a、bの値を
調節して中心のずれを吸収しなければならないが、ずれ
が大きい場合にはオフセット量をa、bの値を調節して
も、中心ずれの影響を吸収しきれない場合も起こり得
る。 【0014】そこで、本発明は、かかる問題を一気に解
決し、ベアリングの転動体の数をより一層正確に計数す
るベアリングの転動体欠落検査装置を提供することを目
的とする。 【0015】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1に係るベアリングの転動体欠落検
査装置は、ベアリングの転動体の欠落を検査するベアリ
ングの転動体欠落検査装置において、前記ベアリングを
撮像する撮像手段と、該撮像されたベアリングの画像に
対し、前記ベアリングの中心および該中心から円環状に
前記転動体の有無を走査するための領域を設定する設定
手段と、該設定された領域を半径方向に走査して所定角
度毎に画素データを加算する加算手段と、該所定角度毎
の加算結果に基づいて、前記転動体の数を計数する計数
手段とを備えたことを特徴とする。 【0016】 【作用】本発明の請求項1に係るベアリングの転動体欠
落検査装置では、ベアリングの転動体の欠落を検査する
際に、撮像手段により前記ベアリングを撮像し、該撮像
されたベアリングの画像に対し、設定手段により前記ベ
アリングの中心および該中心から円環状に前記転動体の
有無を走査するための領域を設定し、加算手段により該
設定された領域を半径方向に走査して所定角度毎に画素
データを加算し、計数手段により該所定角度毎の加算結
果に基づいて、前記転動体の数を計数する。 【0017】 【実施例】本発明のベアリングの転動体欠落検査装置の
実施例について説明する。図1は実施例の転動体欠落検
査装置の構成を示す説明図である。 【0018】転動体欠落検査装置は、コンベア1、照明
4、拡散板5、カメラ3、画像処理装置6、モニタ7な
どを備える。画像処理装置6は、画像処理部11、ビデ
オインターフェース12、メモリ13およびCPU14
を有する。 【0019】かかる構成を有する転動体欠落検査装置で
は、コンベア1の上に載置されて搬送されたベアリング
としてのワーク2はカメラ3の真下に位置決めされる。
位置決め精度はワーク2全体がカメラ3の視野に入って
いればよい。 【0020】以下に本転動体欠落検査装置を用いた検査
方法について説明する。 【0021】ワーク2は下からの照明4により拡散板5
を透かしたシルエットとして撮像手段であるカメラ3に
より撮影され、撮影された画像は画像処理装置6に取り
込まれる。一般に、透過光照明の方が反射光照明によっ
て得られる画像よりワーク2の周囲の変化に対して安定
しているので、本実施例では透過光照明を採用してい
る。画像処理装置6に取り込まれた画像は同時にモニタ
7に表示される。 【0022】図2は画像処理装置6によって実行される
画像処理手順を示すフローチャートである。画像処理装
置6に取り込まれた画像に対し、画像処理部11は二値
化処理を行う(ステップS1)。図3は二値化処理が行
われた画像を示す説明図である。 【0023】つづいて、周知の方法によりワークの中心
Oを求め(ステップS2)、設定手段によりワークの中
心Oから内輪と外輪を含む円環状の領域Gを求める(ス
テップS3)。領域Gを放射状に走査し、加算手段によ
り黒く見える点を加算して半径方向の射影値を求めてメ
モリ13に記憶する。この射影値を求める走査を0.5
°の割出し角で時計廻りに一周行う(ステップS4)。 【0024】ステップS4の走査によって得られた一周
分(720個)の射影値データに対し、16個単位の移
動平均を行う(ステップS5)。 【0025】図4は射影値を半径方向にその大きさに対
応させて表示する放射状パターンを示す説明図である。
この放射状パターンにおいて、半径方向の山の大きさが
転動体の有無に対応するので、計数手段により周知の閾
値処理を施すことにより転動体の欠落を判定する(ステ
ップS6)。図4は転動体の欠落がない場合の放射状パ
ターンを示している。一方、図5は転動体に欠落がある
場合の放射状パターンを示す説明図である。図4と較べ
て、転動体が1個欠落していることが分かる。 【0026】尚、本実施例では詳細については割愛した
が、ワークの中心Oを求める操作を多数回行い、その平
均を求めることにより雑音の影響を減している。また、
領域Gは内輪と外輪とを含んでさえいればよいので、厳
密に狭い範囲に制限する必要はない。 【0027】さらに、移動平均長Lは各転動体が占有す
るデータのおよその長さから設定される。本実施例のよ
うに、移動平均長Lを16に設定して移動平均を行う
と、射影値の移動平均値は転動体の存在する所で極大と
なり、転動体が存在しない所で極小となるので、転動体
の数を計数する場合に移動平均長Lは有効なパラメータ
となる。 【0028】また、移動平均を行うもう1つの理由は、
データの急激な変動を平滑化するためである。急激な変
動の原因としては、射影値それ自体のばらつきや、ゴミ
などによって黒く写る部分が誤って加算されてしまうこ
となどが挙げられるが、このような影響を減らすためで
ある。 【0029】さらに、射影値を求める有意性は、内外輪
および保持器がそれぞれ中心ずれを起こしていても、そ
の射影値はその性質上、中心ずれを起こしていない場合
のそれとほとんど変わらないからである。 【0030】また、実際に撮影された画像は転動体の存
在しない部分でも、内外輪と保持器が接触しているよう
に見える場合も多い(図3参照)。このような場合、内
外輪と保持器の境界が分からないので、従来の方法では
固定円によるウインドウの大きさの決め方が難しいが、
本実施例では前述したように厳密なウインドウ(領域)
を設ける必要がない。 【0031】さらに、カメラのシャッタ機能を利用して
ベアリングが静止していない状態で検査できるようにし
てもよい。 【0032】本実施例のベアリングの転動体欠落検査装
置によれば、測定値として射影値を利用することにより
その性質上、内輪、外輪、保持器の中心ずれによる影響
をほとんど受けない。したがって、厳密な位置決め精度
なしに転動体数を正確に計数でき、簡単に転動体の欠落
を検査できる。 【0033】 【発明の効果】本発明の請求項1に係るベアリングの転
動体欠落検査装置によれば、ベアリングの転動体の欠落
を検査する際に、撮像手段により前記ベアリングを撮像
し、該撮像されたベアリングの画像に対し、設定手段に
より前記ベアリングの中心および該中心から円環状に前
記転動体の有無を走査するための領域を設定し、加算手
段により該設定された領域を半径方向に走査して所定角
度毎に画素データを加算し、計数手段により該所定角度
毎の加算結果に基づいて、前記転動体の数を計数するの
で、検査毎にベアリングの中心を求めることにより特別
のジグを不要にできる。 【0034】また、円環状に設定された領域を半径方向
に走査して画素データを加算することにより内輪、外
輪、保持器の中心ずれによる影響をほとんど受けず、厳
密な位置決め精度なしに転動体数を正確に計数でき、簡
単に転動体の欠落を検査できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の転動体欠落検査装置の構成を示す説明
図である。 【図2】画像処理装置6によって実行される画像処理手
順を示すフローチャートである。 【図3】二値化処理が行われた画像を示す説明図であ
る。 【図4】射影値を半径方向にその大きさに対応させて表
示する放射状パターンを示す説明図である。 【図5】転動体に欠落がある場合の放射状パターンを示
す説明図である。 【図6】従来の方法によってベアリングの転動体の数を
計数する検査装置の構成を示す説明図である。 【図7】ベアリングの構成要素を示す説明図である。 【図8】画像処理装置4aによって実行される画像処理
手順を示すフローチャートである。 【図9】外輪部の内側の転動体を除いた部分の重心を求
める領域を示す説明図である。 【図10】固定円による同心状のウインドウの決め方を
示す説明図である。 【符号の説明】 2 ワーク 3 カメラ 6 画像処理装置 11 画像処理部 14 CPU
図である。 【図2】画像処理装置6によって実行される画像処理手
順を示すフローチャートである。 【図3】二値化処理が行われた画像を示す説明図であ
る。 【図4】射影値を半径方向にその大きさに対応させて表
示する放射状パターンを示す説明図である。 【図5】転動体に欠落がある場合の放射状パターンを示
す説明図である。 【図6】従来の方法によってベアリングの転動体の数を
計数する検査装置の構成を示す説明図である。 【図7】ベアリングの構成要素を示す説明図である。 【図8】画像処理装置4aによって実行される画像処理
手順を示すフローチャートである。 【図9】外輪部の内側の転動体を除いた部分の重心を求
める領域を示す説明図である。 【図10】固定円による同心状のウインドウの決め方を
示す説明図である。 【符号の説明】 2 ワーク 3 カメラ 6 画像処理装置 11 画像処理部 14 CPU
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01N 21/84 - 21/958
F16C 33/30 - 33/66
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 ベアリングの転動体の欠落を検査するベ
アリングの転動体欠落検査装置において、 前記ベアリングを撮像する撮像手段と、 該撮像されたベアリングの画像に対し、前記ベアリング
の中心および該中心から円環状に前記転動体の有無を走
査するための領域を設定する設定手段と、 該設定された領域を半径方向に走査して所定角度毎に画
素データを加算する加算手段と、 該所定角度毎の加算結果に基づいて、前記転動体の数を
計数する計数手段とを備えたことを特徴とするベアリン
グの転動体欠落検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13882095A JP3496209B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | ベアリングの転動体欠落検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13882095A JP3496209B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | ベアリングの転動体欠落検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08304290A JPH08304290A (ja) | 1996-11-22 |
JP3496209B2 true JP3496209B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=15231002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13882095A Expired - Fee Related JP3496209B2 (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | ベアリングの転動体欠落検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3496209B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052991A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Topcon Corp | 検査装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1024619C2 (nl) | 2003-10-24 | 2005-04-27 | Staalkat Internat B V | Inrichting voor het inspecteren van objecten. |
JP5368247B2 (ja) * | 2009-10-16 | 2013-12-18 | Ntn株式会社 | スラスト軸受の検査方法および検査装置 |
CN104690001B (zh) * | 2015-02-14 | 2017-05-03 | 浙江大学 | 一种缝合器钉舱验钉装置及方法 |
DE102015113101B4 (de) * | 2015-08-07 | 2017-03-02 | Thyssenkrupp Ag | Verfahren zum Prüfen der Bestückung einer Laufbahn eines Wälzlagers und Prüfvorrichtung |
JP6657912B2 (ja) * | 2015-12-16 | 2020-03-04 | 株式会社ジェイテクト | 検査装置および検査方法 |
CN117647189B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-04-12 | 成都工业职业技术学院 | 一种卧式轴承径向游隙的检测方法及系统 |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP13882095A patent/JP3496209B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052991A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Topcon Corp | 検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08304290A (ja) | 1996-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3826849B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP3647416B2 (ja) | パターン検査装置及びその方法 | |
JP3496209B2 (ja) | ベアリングの転動体欠落検査装置 | |
JP2000031245A (ja) | ウェーハノッチ位置検出装置 | |
JP4581424B2 (ja) | 外観検査方法及び画像処理装置 | |
JP3283356B2 (ja) | 表面検査方法 | |
JP2001004552A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および装置 | |
JP3870208B2 (ja) | 画像処理方法及び検査装置 | |
JPH05203584A (ja) | ワーク表面特徴量検出装置 | |
JP3433333B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JPH04265847A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JPH09218952A (ja) | 加工面検査装置 | |
JPH06160289A (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP2005189167A (ja) | キャップのブリッジ検査装置 | |
JP2001033216A (ja) | 画像計測装置および画像計測方法 | |
JPH05231842A (ja) | 形状パターン検査方法及び装置 | |
JP3232249B2 (ja) | Pga基板の欠ピン検査方法 | |
JPH0823530B2 (ja) | 物体観測装置およびその装置を用いた円筒物の内壁面検査方法 | |
JPH01207878A (ja) | 輪郭検査装置 | |
JP2601232B2 (ja) | Icリードずれ検査装置 | |
JP3055323B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP3474619B2 (ja) | 2重映り検査方法 | |
JPH0726810B2 (ja) | チップ部品位置ずれ検査装置 | |
JPH07175205A (ja) | レチクル検査方法 | |
JP3310016B2 (ja) | 円形被検査物の検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071128 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081128 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081128 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101128 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |