CN102358954B - 一种生长CaxBa1-xNb2O6系列晶体的方法 - Google Patents
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Abstract
一种生长CaxBa1-xNb2O6系列晶体的方法属于晶体生长领域。将粉料CaCO3、BaCO3和Nb2O5按CaxBa1-xNb2O6化学计量比进行配料,其中x=0.22、0.25、0.28、0.32或0.35,球磨烘干、200目过筛;预烧,再次球磨、烘干,80目过筛;将粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,等静压下制成粗细、密度均匀的素坯棒;将素坯棒在提拉旋转烧结炉中烧结得到致密均匀多晶料棒;将多晶料棒置于浮区炉中,以60~100℃/min的速率升温至料棒和籽晶融化,对接;设置晶体生长速度为2~5mm/h开始生长后冷却至室温。本发明首次用光学浮区法生长出直径为6~8mm、长50~115mm无宏观缺陷的CaxBa1-xNb2O6晶体,成晶质量高,简化了工艺,效率高。
Description
技术领域
本发明属于CaxBa1-xNb2O6(简称CBN)系列晶体生长领域,具体涉及到一种生长CaxBa1-xNb2O6系列晶体的方法。
背景技术
四方钨青铜型(TTB)晶体材料由于具有不溶于水,物理化学性质稳定等优点且大多数具有优良的电学性质、非线性光学性质、电光性质、带隙宽以及变晶相界等特殊性质,易获得大尺寸、优质的晶体材料,从而广泛应用于激光倍频、电光调制、联想存储记忆、光学信息处理、图像放大、实时和动态干涉计量、超导、湿度传感器、热电探测器固体燃料等领域.
光学浮区法作为一种新的高效的晶体生长方法近年来得到迅速发展,它采用光学聚焦红外加热系统熔融多晶料棒,在生长的晶体和多晶料棒之间形成一段非常窄的熔区,靠溶液的表面张力和重力的平衡来维持稳定,熔区自上而下或者自下而上移动完成结晶,广泛应用于高温难熔氧化物、金属间化合物、易挥发易污染材料的生长。光学浮区法能快速自发成核生长晶体,易保留晶体高温相,能在电脑屏幕上对熔区进行实时动态精确观察,便于对熔区进行有效调控,优化结晶质量。由于采用料棒边熔化边结晶的生长方式,能够在高压气氛环境下,通过快速生长有效抑制挥发。在前期系统性试验阶段,采用光学浮区法能在较短时间积累丰富的实验数据,从而节约了时间和成本。
已被广泛研究的TTB型结构的铌酸锶钡晶体的铁电相变温度比较低(随组分变化,在25到120℃之间),容易退极化,大大限制了其在较高温度下的广泛应用。因为钙离子半径接近锶离子和钡离子的半径,可以同族替代锶离子,成为铌酸钙钡晶体,该系列晶体具有和铌酸锶钡同样优良的性质,但铁电相变温度较高(随组分变化在156到301℃之间),从而在器件应用方面占据优势。
CaxBa1-xNb2O6熔体比较大的表面张力对浮区法形成高稳定性 的熔区颇为有利。我们采用的光学浮区法进行的CaxBa1-xNb2O6(x=0.22,0.25,0.28,0.32,0.35)系列单晶的生长,对生长气氛和压强无特殊要求,晶体完整性好,结晶质量高,重复性好,是一种棒状晶体生长的新方法,长度最高可达115mm.
发明内容
本发明的目的是针对CaxBa1-xNb2O6系列晶体生长过程中存在的问题和材料本身的特点,提供了一种在常压空气中,制备出高质量厘米级CaxBa1-xNb2O6系列晶体的新生长方法。首先要制备出致密均匀单相的优质料棒,其次是摸索出光学浮区法生长该系列单晶的生长功率、生长速度、料棒籽晶转速等最佳工艺参数。
为了解决上述技术问题,本发明是通过以下方案实现的:
(1)将粉料CaCO3、BaCO3和Nb2O5按CaxBa1-xNb2O6化学计量比进行配料,其中x=0.22、0.25、0.28、0.32或0.35,球磨烘干、200目过筛;在1200~1250℃保温12~30h条件下预烧,再次球磨、烘干,80目过筛;
(2)将(1)中制得的80目过筛后的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在65~70MPa等静压下制成粗细、密度均匀的素坯棒;
(3)将(2)中制得的素坯棒在提拉旋转烧结炉中1380~1440℃保温6h~24h烧结得到致密均匀多晶料棒;
(4)将(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置料棒和籽晶的旋转方向为反向,旋转速度为20~40rpm,浮区炉的卤素灯的输出功率为1100~1210W/h,以60~100℃/min的速率升温至料棒和籽晶融化,对接;设置晶体生长速度为2~5mm/h开始生长;
(5)设置降温时间为0.5~6h,将生长出的晶体冷却至室温。
与现有工艺相比本发明工艺的明显优点是
(1)提供了一种CaxBa1-xNb2O6系列晶体生长的新方法,首次用光学浮区法生长出直径为6~8mm、长50~115mm浅黄透明无宏观缺陷的CaxBa1-xNb2O6系列晶体。晶体粉末X射线衍射图(峰尖锐,相纯)、透过率谱图(大于80%)、X射线双晶衍射摇摆曲线 (半高宽为0.104°~0.137°)、晶体较高的介电、压电、铁电性能,较低的介电损耗(详见表1)表明该系列晶体成晶质量高。
(2)光学浮区法无需坩埚,避免了高温熔体对坩埚的腐蚀问题,消除了坩埚带来的潜在污染。
(3)不需要特殊气氛压强环境,只需在常压空气气氛中即可完成晶体生长,简化了工艺。
(4)本工艺生长速度快(2~5mm/h),制备周期较短,效率高。
附图说明
图1是实施例1、2、3、4的CaxBa1-xNb2O6晶体的形貌图
图2是实施例5的Ca0.35Ba0.65Nb2O6晶体的形貌图
图3是实施例1、2、3、4、5的CaxBa1-xNb2O6晶体的粉末XRD图谱
图4是实施例1、2、3、4、5的CaxBa1-xNb2O6晶体的透过率谱图
图5是实施例1Ca0.22Ba0.78Nb2O6晶体(001)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图6是实施例1Ca0.22Ba0.78Nb2O6晶体(330)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图7是实施例2Ca0.25Ba0.75Nb2O6晶体(001)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图8是实施例2Ca0.25Ba0.75Nb2O6晶体(330)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图9是实施例3Ca0.28Ba0.72Nb2O6晶体(001)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图10是实施例3Ca0.28Ba0.72Nb2O6晶体(330)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图11是实施例4Ca0.32Ba0.68Nb2O6晶体(330)面的X射线双晶衍射摇摆曲线图
图12是实施例4Ca0.35Ba0.65Nb2O6晶体(001)面的X射 线双晶衍射摇摆曲线图
图13是实施例1Ca0.22Ba0.78Nb2O6晶体沿[001]晶向的电滞回线图
图14是实施例1Ca0.22Ba0.78Nb2O6晶体沿[100]晶向的电滞回线图
表1CaxBa1-xNb2O6系列晶体的介电、压电性能
具体实施方式
实施例1:
(1)本发明所使用的晶体生长炉为日本Crystal Systems Corporation生产的FZ-T-10000-VI-VPO-PC光学浮区法单晶生长炉,生长的为Ca0.22Ba0.78Nb2O6晶体。
将粉料CaCO3(99.99%)、BaCO3(99.95%)和Nb2O5(99.9985%)按Ca0.22Ba0.78Nb2O6化学计量比进行称量,置于装有ZrO2磨介的尼龙罐中,以无水乙醇为弥散剂球磨、烘干,200目过筛后再将粉料放入Al2O3坩埚中,用硅钼炉在1200℃预烧12h,粉碎80目过筛后再次球磨、烘干、200目过筛。得到纯相Ca0.22Ba0.78Nb2O6粉料。
(2)将步骤(1)制得的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在65MPa等静压下制成粗细密度均匀的素坯棒。
(2)将步骤(2)制得的料棒放在垂直提拉旋转炉中1380℃烧结6h得到致密均匀多晶料棒。
(4)将步骤(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置升温速率为100℃/min至料棒和籽晶融化,卤素灯的输出功率为1100W/h,调整料棒和籽晶的旋转方向为反向,上旋转速率为40rpm,下旋转速率为25rpm,对接。设置晶体生长速度为5mm/h开始生长。生长的晶体尺寸为Ф6mm×50mm,生长时间为11h。
(5)设置降温时间为0.5h,将生长出的晶体冷却至室温。
实施例2:
(1)本发明所使用的晶体生长炉为日本Crystal Systems Corporation生产的FZ-T-10000-VI-VPO-PC光学浮区法单晶生长 炉,生长的为Ca0.25Ba0.75Nb2O6晶体。
将粉料CaCO3(99.99%)、BaCO3(99.95%)和Nb2O5(99.9985%)按Ca0.25Ba0.75Nb2O6化学计量比进行称量,置于装有ZrO2磨介的尼龙罐中,以无水乙醇为弥散剂球磨,烘干200目过筛后再将粉料放入Al2O3坩埚中,用硅钼炉在1220℃预烧18h,粉碎80目过筛后再次球磨、烘干、200目过筛。得到纯相Ca0.25Ba0.75Nb2O6粉料。
(2)将步骤(1)制得的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在70MPa等静压下制成粗细密度均匀的素坯棒。
(3)将步骤(2)制得的料棒放在垂直提拉旋转炉中1400℃烧结12h得到致密均匀多晶料棒。
(4)将步骤(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置升温速率为80℃/min至料棒和籽晶融化,卤素灯的输出功率为1120W/h调整料棒和籽晶的旋转方向为反向,上旋转速率为40rpm,下旋转速率为20rpm,对接。设置晶体生长速度为5mm/h开始生长。生长的晶体尺寸为Ф6.7mm×115mm,生长时间为25h。
(5)设置降温时间为1h,将生长出的晶体冷却至室温。
实施例3:
(1)本发明所使用的晶体生长炉为日本Crystal Systems Corporation生产的FZ-T-10000-VI-VPO-PC光学浮区法单晶生长炉,生长的为Ca0.28Ba0.72Nb2O6晶体。
将粉料CaCO3(99.99%)、BaCO3(99.95%)和Nb2O5(99.9985%)按Ca0.28Ba0.72Nb2O6化学计量比进行称量,置于装有ZrO2磨介的尼龙罐中,以无水乙醇为弥散剂球磨,烘干200目过筛后再将粉料放入Al2O3坩埚中,用硅钼炉在1230℃预烧24h,粉碎80目过筛后再次球磨、烘干、200目过筛。得到纯相Ca0.28Ba0.72Nb2O6粉料。
(2)将步骤(1)制得的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在65MPa等静压下制成粗细密度均匀的素坯棒。
(3)将步骤(2)制得的料棒放在垂直提拉旋转炉中1410℃烧 结18h得到致密均匀多晶料棒。
(4)将步骤(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置升温速率为60℃/min至料棒和籽晶融化,卤素灯的输出功率为1140W/h调整料棒和籽晶的旋转方向为反向,上旋转速率为35rpm,下旋转速率为35rpm,对接。设置晶体生长速度为3mm/h开始生长。生长的晶体尺寸为Ф6.5mm×103mm,生长时间为39h。
(5)设置降温时间为4h,将生长出的晶体冷却至室温。
实施例4:
(1)本发明所使用的晶体生长炉为日本Crystal Systems Corporation生产的FZ-T-10000-VI-VPO-PC光学浮区法单晶生长炉,生长的为Ca0.32Ba0.68Nb2O6晶体。
将粉料CaCO3(99.99%)、BaCO3(99.95%)和Nb2O5(99.9985%)按Ca0.32Ba0.68Nb2O6化学计量比进行称量,置于装有ZrO2磨介的尼龙罐中,以无水乙醇为弥散剂球磨,烘干200目过筛后再将粉料放入Al2O3坩埚中,用硅钼炉在1240℃预烧26h,粉碎80目过筛后再次球磨、烘干、200目过筛。得到纯相Ca0.32Ba0.68Nb2O6粉料。
(2)将(1)制得的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在70MPa等静压下制成粗细密度均匀的素坯棒。
(3)将步骤(2)制得的料棒放在垂直提拉旋转炉中1430℃烧结20h得到致密均匀多晶料棒。
(4)将步骤(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置升温速率为60℃/min至料棒和籽晶融化,卤素灯的输出功率为1180W/h调整料棒和籽晶的旋转方向为反向,上旋转速率为40rpm,旋转速率为30rpm,对接。设置晶体生长速度为2mm/h开始生长。生长的晶体尺寸为Ф7mm×105mm,生长时间为59h。
(5)设置降温时间为5h,将生长出的晶体冷却至室温。
实施例5:
(1)本发明所使用的晶体生长炉为日本Crystal Systems Corporation生产的FZ-T-10000-VI-VPO-PC光学浮区法单晶生长 炉,生长的为Ca0.35Ba0.65Nb2O6晶体。
将粉料CaCO3(99.99%)、BaCO3(99.95%)和Nb2O5(99.9985%)按Ca0.35Ba0.65Nb2O6化学计量比进行称量,置于装有ZrO2磨介的尼龙罐中,以无水乙醇为弥散剂球磨,烘干200目过筛后再将粉料放入Al2O3坩埚中,用硅钼炉在1250℃预烧30h,粉碎80目过筛后再次球磨、烘干、200目过筛。得到纯相Ca0.35Ba0.65Nb2O6粉料。
(2)将步骤(1)制得的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在70MPa等静压下制成粗细密度均匀的素坯棒。
(3)将(2)制得的料棒放在垂直提拉旋转炉中1440℃烧结24h得到致密均匀多晶料棒。
(4)将步骤(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置升温速率为60℃/min至料棒和籽晶融化,浮区炉的卤素灯的输出功率为1210W/h,调整料棒和籽晶的旋转方向为反向,上旋转速率为35rpm,下旋转速率为30rpm,对接。设置晶体生长速度为2mm/h开始生长。生长的晶体尺寸为Ф6.3mm×110mm,生长时间为62h。
(5)设置降温时间为6h,将生长出的晶体冷却至室温。
表1CaxBa1-xNb2O6系列晶体的介电、压电性能
Claims (1)
1.一种生长CaxBa1-xNb2O6系列晶体的方法,其特征在于步骤如下:
(1)将粉料CaCO3、BaCO3和Nb2O5按CaxBa1-xNb2O6化学计量比进行配料,其中x=0.22、0.25、0.28、0.32或0.35,球磨烘干、200目过筛;在1200~1250℃保温12~30h条件下预烧,再次球磨、烘干,80目过筛;
(2)将(1)中制得的80目过筛后的粉料装入长条橡胶气球中压实封闭,抽真空,在65~70MPa等静压下制成粗细、密度均匀的素坯棒;
(3)将(2)中制得的素坯棒在提拉旋转烧结炉中1380~1440℃保温6h~24h烧结得到致密均匀多晶料棒;
(4)将(3)制得的多晶料棒置于浮区炉中,设置料棒和籽晶的旋转方向为反向,旋转速度为20~40rpm,浮区炉的卤素灯的输出功率为1100~1210W/h ,以60~100℃/min的速率升温至料棒和籽晶融化,对接;设置晶体生长速度为2~5mm/h,开始生长;
(5)设置降温时间为0.5~6h,将生长出的晶体冷却至室温。
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