CN102354086A - 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 201110301696 CN102354086B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 201110301696 CN102354086B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102354086A true CN102354086A (zh) | 2012-02-15 |
CN102354086B CN102354086B (zh) | 2013-03-27 |
Family
ID=45577670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN 201110301696 Active CN102354086B (zh) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102354086B (zh) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: TIANJIN XINSHUO PRECISION MACHINERY CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: HEFEI ADVANTOOLS SEMICONDUCTOR CO., LTD. Effective date: 20130912 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 230601 HEFEI, ANHUI PROVINCE TO: 300000 TANGGU, TIANJIN CITY |
|
TR01 | Transfer of patent right |
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|
ASS | Succession or assignment of patent right |
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|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
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CP03 | Change of name, title or address |
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