CN111397513A - 一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 - Google Patents
一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111397513A CN111397513A CN202010289564.7A CN202010289564A CN111397513A CN 111397513 A CN111397513 A CN 111397513A CN 202010289564 A CN202010289564 A CN 202010289564A CN 111397513 A CN111397513 A CN 111397513A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- calibration
- camera
- matrix
- light source
- electrically connected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种X‑Y正交运动平台运动标定系统,包括电源、变压器、可编程逻辑控制器PLC、光源控制器、光源、交换机、计算机、X‑Y正交运动轴及电机、相机,移动导轨传送带,本发明公开了一种标定方法,包括S1:将标定板放入轨道中间待标定区域;S2:调整标定板位置,调整相机分辨率及工作距离;S3:从起始位置根据相机的工作距离进行取相获取取相图片;S4:对取相图片进行偏移计算;S5:存储理论位置与偏移位置对应关系表;S6:实际移动取相时输入移动位置,根据关系表查到位置区间,求得矩阵变换公式,代入求得实际移动位置。本发明的方法,不依赖正交系统倾角参数,无需运动系统产品提供补偿功能。只需要通过相机进行视觉处理,操作简单方便。
Description
技术领域
本发明涉及一种X-Y正交运动平台运动标定系统以及方法。
背景技术
在视觉检测领域,对于视觉检测设备的制造过程中,存在零/部件加工与装配误差、以及零/部件的热变形,往往导致正交运动轴相互不垂直,另外,使用的运动系统存在固有的运动控制系统分辨率、机构传动链误差,将会导致运动位置不准确,以上因素均能导致运动位置存在偏差,影响检测效果。
对于X-Y正交运动平台而言,通常会存在的角度偏差的问题,而现有技术中,通常采用测量正交运动平台的夹角,在标定过程中增加倾角补偿的方法进行修正角度偏差。
而这样的修正方法需要测量正交轴间的倾角,易受到机械结构影响,不易得出相对测量平面的真实角度,再者,采用该运动平台的产品参差不齐,具备补偿功能产品成本大。
发明内容
为克服上述技术中的缺陷,本发明提供一种X-Y正交运动平台运动标定系统,包括:电源、变压器、可编程逻辑控制器PLC、光源控制器、光源、交换机、计算机、X-Y正交运动轴及电机、相机,移动导轨传送带,所述电源分别与所述光源控制器、所述变压器电连接;所述变压器分别与所述可编程逻辑控制器PLC、相机电连接;所述可编程逻辑控制器PLC分别与所述光源控制器、所述相机电连接;所述光源控制器与所述光源电连接;所述相机分别与所述交换机电连接,所述交换机与所述计算机电连接,所述计算机与所述可编程逻辑控制器PLC电连接。
本发明还提供一种采用所述标定系统的标定方法,包括如下步骤:
S1:将标定板放入轨道中间待标定区域;
S2:调整标定板位置,调整相机分辨率及工作距离;
S3:从起始位置根据相机的工作距离进行取相获取取相图片;
S4:对取相图片进行偏移计算;
S5:存储理论位置与偏移位置对应关系表;
S6:实际移动取相时输入移动位置,根据关系表查到位置区间,求得矩阵变换公式,代入求得实际移动位置。
进一步地,在S1中,具体地,进行以下步骤:
获取一个水平测试平台,所述水平测试平台装配有移动导轨传送带,水平测试平台上方架有X-Y正交运动轴,X-Y正交运动轴的平面与水平测试平台垂直,X轴两端架在Y轴上,且所述X轴与传送带(1-11)平行,X轴安装有滑块,滑块下方挂有相机及光源,其中,所述相机的镜头与水平测试平台并行,将带有刻度的标定板,置于工作平台传送带上,其中,标定板为一块M×N个圆形标定点的标定板,标定点半径r微米,圆心间距为d微米,呈阵列分布,标定板长宽L×W应大于设备测试产品最大长宽I×w。
进一步地,在S2中,具体地,调整相机分辨率时,使得相机成像应满足:图像中每像素Um数m应为的标定板参数2r的因子。
进一步地,在S3中,具体地,选择起始标定位(x,y),将起始标定位与所述标定板上圆形标定点对齐;
更具体地,对齐方法如下:使用所述相机,通过不断移动获取取相相片,进而获取中心与圆形标定点重合的取相图片。
进一步地,在S4中,具体地,以所述起始标定点(x,y)为起点,移动步长为XY方向均为d,则X方向最大移动次数为:
N=[(l-x)/d]+1([]为取整) (1)
Y方向最大移动次数为:
M=[(w-y)/d]+1([]为取整) (2)
则得到一个运动位置矩阵:AMN,
其中;
aij=(x+(i-1)*d,y+(j-1)*d),i=1,2...,M,j=1,2,...,N
按矩阵行依次进行移动取像,计算图像中标定点与图像中心的差,得到偏移矩阵OMN。
进一步地,在S5中,基于移动位置矩阵AMN和偏移矩阵OMN,进行类似分段线性插值处理,将标定过程分解为求解矩阵AMN中每相邻四个点ABCD到实际运动位置四个点A′B′C′D′的映射关系,即四个点A(x+i*d,y+j*d)、B(x+i*d,y+(j+1)*d)、C(x+(i+1)*d,y+j*d)、D(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)构成的理论位置区域到A′(x+i*d,y+j*d)+Oij、B′(x+i*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)j、C′(x+(i+1)*d,y+j*d)+Oi(j+1)、D′(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)(j+1)构成的实际位置区域的映射关系,其中i=1,2,...,M-1;j=1,2,...,N-1,之后,利用透视变换得到位置对应表,其公式如下:
设变换矩阵为
进一步地,在S6中,具体地,
依据透视变化原理,四边形ABCD内理论位置(X,Y)与四边形A′B′C′D′实际
满足以下关系:
求解可得:
将上述八个点ABCD A′B′C′D′坐标代入上面对应关系(5)、(6)即可得到此变换矩阵K的值,其中K33=1,那么区域ABCD内任意位置对应的实际位置即可代入上面变换公式(5)、(6)得到,同理,矩阵内任意相邻四点构成的区域实际移动位置皆可得到。
本发明的有益效果:
本发明中相对于现有技术而言,不依赖正交系统倾角参数,无需运动系统产品提供补偿功能。只需要通过相机进行视觉处理,操作简单方便。
附图说明
图1为标定台示意图;
图2为刻度标定板示意图;
图3为圆形标定板示意图;
图4为相机采集图像示意图;
图5为取相结果示意图;
图6为理论位置和实际位置示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
一种X-Y正交运动平台运动标定系统,包括:电源、变压器、可编程逻辑控制器PLC、光源控制器、光源、交换机、计算机、X-Y正交运动轴1、电机、相机2,移动导轨传送带3以及标定板4(如图1所示),所述电源分别与所述光源控制器、所述变压器电连接;所述变压器分别与所述可编程逻辑控制器PLC、相机电连接;所述可编程逻辑控制器PLC分别与所述光源控制器、所述相机电连接;所述光源控制器与所述光源电连接;所述相机分别与所述交换机电连接,所述交换机与所述计算机电连接,所述计算机与所述可编程逻辑控制器PLC电连接。
一种基于以上标定系统的标定方法,包括如下步骤:
S1:将标定板放入轨道中间待标定区域;
S2:调整标定板位置,调整相机分辨率及工作距离;
S3:从起始位置根据相机的工作距离进行取相获取取相图片;
S4:对取相图片进行偏移计算;
S5:存储理论位置与偏移位置对应关系表;
S6:实际移动取相时输入移动位置,根据关系表查到位置区间,求得矩阵变换公式,代入求得实际移动位置。
在S1中,具体地,进行以下步骤:
获取一个水平测试平台,所述水平测试平台装配有移动导轨传送带,水平测试平台上方架有X-Y正交运动轴,X-Y正交运动轴的平面与水平测试平台垂直,X轴两端架在Y轴上,且所述X轴与传送带平行,X轴安装有滑块,滑块下方挂有相机及光源,其中,所述相机的镜头与水平测试平台并行,将带有刻度的标定板(如图2所示),置于工作平台传送带上,其中,标定板为一块M×N个圆形标定点的标定板(如图3所示),标定点半径r微米,圆心间距为d微米,呈阵列分布,标定板长宽L×W应大于设备测试产品最大长宽I×w。
在S2中,具体地,调整相机分辨率时,使得相机成像应满足:图像中每像素Um数m应为的标定板参数2r的因子。这样可以避免后续像素与微米转换产生的小数导致的误差。
在S3中,具体地,选择起始标定位(x,y),将起始标定位与所述标定板上圆形标定点对齐。
更具体地,对齐方法如下:见图4,使用所述相机,通过不断移动获取取相相片,进而获取中心与圆形标定点重合的取相图片,取相结果如图5所示。这样可有效避免零点误差,此过程即使存在零点误差,会使得后续所有位置运动均会和此位置运动误差一致,从而抵消此位置产生的运动误差影响。
在S4中,具体地,以所述起始标定点(x,y)为起点,移动步长为XY方向均为d,则X方向最大移动次数为:
N=[(I-x)/d]+1([]为取整) (1)
Y方向最大移动次数为:
M=[(w-y)/d]+1([]为取整) (2)
则得到一个运动位置矩阵:AMN,
其aij=(x+(i-1)*d,y+(j-1)*d),i=1,2...,M,j=1,2,...,N中;
按矩阵行依次进行移动取像,计算图像中标定点与图像中心的差,得到偏移矩阵OMN。
在S5中,基于移动位置矩阵AMN和偏移矩阵OMN,进行类似分段线性插值处理,见图6,将标定过程分解为求解矩阵AMN中每相邻四个点ABCD到实际运动位置四个点A′B′C′D′的映射关系,即四个点A(x+i*d,y+j*d)、B(x+i*d,y+(j+1)*d)、C(x+(i+1)*d,y+j*d)、D(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)构成的理论位置区域到A′(x+i*d,y+j*d)+Oij、B′(x+i*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)j、C′(x+(i+1)*d,y+j*d)+Oi(j+1)、D′(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)(j+1)构成的实际位置区域的映射关系,其中i=1,2,...,M-1;j=1,2,...,N-1,之后,利用透视变换得到位置对应表,其公式如下:
设变换矩阵为
在S6中,具体地,
则依据透视变化原理,四边形ABCD内理论位置(X,Y)与四边形A′B′C′D′实际位置(X′,Y′)的满足以下关系:
求解可得:
将上述八个点ABCD A′B′C′D′坐标代入上面对应关系(5)、(6)即可得到此变换矩阵K的值,其中K33=1,那么区域ABCD内任意位置对应的实际位置即可代入上面变换公式(5)、(6)得到,同理,矩阵内任意相邻四点构成的区域实际移动位置皆可得到。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种X-Y正交运动平台运动标定系统,其特征在于:包括电源、变压器、可编程逻辑控制器PLC、光源控制器、光源、交换机、计算机、X-Y正交运动轴及电机、相机,移动导轨传送带,所述电源分别与所述光源控制器、所述变压器电连接;所述变压器分别与所述可编程逻辑控制器PLC、相机电连接;所述可编程逻辑控制器PLC分别与所述光源控制器、所述相机电连接;所述光源控制器与所述光源电连接;所述相机分别与所述交换机电连接,所述交换机与所述计算机电连接,所述计算机与所述可编程逻辑控制器PLC电连接。
2.根据采用权利要求1所述标定系统的标定方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:将标定板放入轨道中间待标定区域;
S2:调整标定板位置,调整相机分辨率及工作距离;
S3:从起始位置根据相机的工作距离进行取相获取取相图片;
S4:对取相图片进行偏移计算;
S5:存储理论位置与偏移位置对应关系表;
S6:实际移动取相时输入移动位置,根据关系表查到位置区间,求得矩阵变换公式,代入求得实际移动位置。
3.根据权利要求2所述的标定方法,其特征在于,在S1中,具体地,进行以下步骤:
获取一个水平测试平台,所述水平测试平台装配有移动导轨传送带,水平测试平台上方架有X-Y正交运动轴,X-Y正交运动轴的平面与水平测试平台垂直,X轴两端架在Y轴上,且所述X轴与传送带(1-11)平行,X轴安装有滑块,滑块下方挂有相机及光源,其中,所述相机的镜头与水平测试平台并行,将带有刻度的标定板,置于工作平台传送带上,其中,标定板为一块M×N个圆形标定点的标定板,标定点半径r微米,圆心间距为d微米,呈阵列分布,标定板长宽L×W应大于设备测试产品最大长宽l×w。
4.根据权利要求2所述的标定方法,其特征在于,在S2中,具体地,调整相机分辨率时,使得相机成像应满足:图像中每像素Um数m应为的标定板参数2r的因子。
5.根据权利要求2所述的标定方法,其特征在于,在S3中,具体地,选择起始标定位(x,y),将起始标定位与所述标定板上圆形标定点对齐。
更具体地,对齐方法如下:使用所述相机,通过不断移动获取取相相片,进而获取中心与圆形标定点重合的取相图片。
6.根据权利要求2所述的标定方法,其特征在于,在S4中,具体地,以所述起始标定点(x,y)为起点,移动步长为XY方向均为d,则X方向最大移动次数为:
N=[(l-x)/d]+1([]为取整) (1)
Y方向最大移动次数为:
M=[(w-y)/d]+1([]为取整) (2)
则得到一个运动位置矩阵:AMN,
其中,aij=(x+(i-1)*d,y+(j-1)*d),i=1,2...,M,j=1,2,...,N;
按矩阵行依次进行移动取像,计算图像中标定点与图像中心的差,得到偏移矩阵OMN。
7.根据权利要求2所述的标定方法,其特征在于,在S5中,基于移动位置矩阵AMN和偏移矩阵OMN,进行类似分段线性插值处理,将标定过程分解为求解矩阵AMN中每相邻四个点ABCD到实际运动位置四个点A′B′C′D′的映射关系,即四个点A(x+i*d,y+j*d)、B(x+i*d,y+(j+1)*d)、C(x+(i+1)*d,y+j*d)、D(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)构成的理论位置区域到A′(x+i*d,y+j*d)+Oij、B′(x+i*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)j、C′(x+(i+1)*d,y+j*d)+Oi(j+1)、D′(x+(i+1)*d,y+(j+1)*d)+O(i+1)(j+1)构成的实际位置区域的映射关系,其中i=1,2,...,M-1;j=1,2,...,N-1,之后,利用透视变换得到位置对应表,其公式如下:
设变换矩阵为
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010289564.7A CN111397513A (zh) | 2020-04-14 | 2020-04-14 | 一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010289564.7A CN111397513A (zh) | 2020-04-14 | 2020-04-14 | 一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111397513A true CN111397513A (zh) | 2020-07-10 |
Family
ID=71429476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010289564.7A Pending CN111397513A (zh) | 2020-04-14 | 2020-04-14 | 一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111397513A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112596460A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-02 | 读书郎教育科技有限公司 | 一种用于伺服/步进驱动运动系统的材料快速定位的方法 |
CN112945102A (zh) * | 2021-03-09 | 2021-06-11 | 武汉先河激光技术有限公司 | 一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿方法 |
CN114519747A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-05-20 | 嘉兴市像景智能装备有限公司 | 一种泛电子领域自动光学检测设备的标定方法 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6067165A (en) * | 1997-09-12 | 2000-05-23 | Mitutoyo Corporation | Position calibrating method for optical measuring apparatus |
CN1797024A (zh) * | 2004-12-20 | 2006-07-05 | 香港理工大学 | 用于全球定位系统的二维动态校准台及校准方法 |
CN102152007A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-08-17 | 北京金橙子科技有限公司 | 一种精密的振镜校正系统及校正方法 |
CN102354086A (zh) * | 2011-09-29 | 2012-02-15 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 |
CN102620653A (zh) * | 2012-02-28 | 2012-08-01 | 王锦峰 | 一种非线性坐标校正方法 |
CN102788552A (zh) * | 2012-02-28 | 2012-11-21 | 王锦峰 | 一种线性坐标校正方法 |
CN103529655A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-01-22 | 天津芯硕精密机械有限公司 | 一种标定位移平台线性度的方法及系统 |
CN105629678A (zh) * | 2016-01-25 | 2016-06-01 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 | 一种直写系统运动平台的正交性测定方法 |
CN107014312A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-08-04 | 西安交通大学 | 一种振镜式线激光扫描三维测量系统的整体标定方法 |
CN107424126A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-12-01 | 广州视源电子科技股份有限公司 | 图像校正方法、装置、设备、系统及摄像设备和显示设备 |
CN108072319A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种运动平台的快速标定系统及标定方法 |
CN109813214A (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-28 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置 |
CN109856926A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-07 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置及方法 |
CN109916342A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-21 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种定位平台直线度测量系统及方法 |
CN110666798A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-01-10 | 华中科技大学 | 一种基于透视变换模型的机器人视觉标定方法 |
CN110695520A (zh) * | 2019-09-26 | 2020-01-17 | 南京魔迪多维数码科技有限公司 | 基于视觉的全自动振镜视场校准系统及其校准方法 |
-
2020
- 2020-04-14 CN CN202010289564.7A patent/CN111397513A/zh active Pending
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6067165A (en) * | 1997-09-12 | 2000-05-23 | Mitutoyo Corporation | Position calibrating method for optical measuring apparatus |
CN1797024A (zh) * | 2004-12-20 | 2006-07-05 | 香港理工大学 | 用于全球定位系统的二维动态校准台及校准方法 |
CN102152007A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-08-17 | 北京金橙子科技有限公司 | 一种精密的振镜校正系统及校正方法 |
CN102354086A (zh) * | 2011-09-29 | 2012-02-15 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种精密移动平台的正交性实时标定方法 |
CN102620653A (zh) * | 2012-02-28 | 2012-08-01 | 王锦峰 | 一种非线性坐标校正方法 |
CN102788552A (zh) * | 2012-02-28 | 2012-11-21 | 王锦峰 | 一种线性坐标校正方法 |
CN103529655A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-01-22 | 天津芯硕精密机械有限公司 | 一种标定位移平台线性度的方法及系统 |
CN105629678A (zh) * | 2016-01-25 | 2016-06-01 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 | 一种直写系统运动平台的正交性测定方法 |
CN108072319A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种运动平台的快速标定系统及标定方法 |
CN107014312A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-08-04 | 西安交通大学 | 一种振镜式线激光扫描三维测量系统的整体标定方法 |
CN107424126A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-12-01 | 广州视源电子科技股份有限公司 | 图像校正方法、装置、设备、系统及摄像设备和显示设备 |
CN109813214A (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-28 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置 |
CN109856926A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-07 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 直写光刻曝光设备定位运动平台正交性调试装置及方法 |
CN109916342A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-21 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种定位平台直线度测量系统及方法 |
CN110695520A (zh) * | 2019-09-26 | 2020-01-17 | 南京魔迪多维数码科技有限公司 | 基于视觉的全自动振镜视场校准系统及其校准方法 |
CN110666798A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-01-10 | 华中科技大学 | 一种基于透视变换模型的机器人视觉标定方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112596460A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-02 | 读书郎教育科技有限公司 | 一种用于伺服/步进驱动运动系统的材料快速定位的方法 |
CN112945102A (zh) * | 2021-03-09 | 2021-06-11 | 武汉先河激光技术有限公司 | 一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿方法 |
CN112945102B (zh) * | 2021-03-09 | 2023-07-25 | 武汉先河激光技术有限公司 | 一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿方法 |
CN114519747A (zh) * | 2022-02-28 | 2022-05-20 | 嘉兴市像景智能装备有限公司 | 一种泛电子领域自动光学检测设备的标定方法 |
CN114519747B (zh) * | 2022-02-28 | 2024-02-09 | 嘉兴市像景智能装备有限公司 | 一种泛电子领域自动光学检测设备的标定方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105066884B (zh) | 一种机器人末端定位偏差校正方法及系统 | |
CN111536902B (zh) | 一种基于双棋盘格的振镜扫描系统标定方法 | |
CN111397513A (zh) | 一种x-y正交运动平台运动标定系统以及方法 | |
CN105945909A (zh) | 三自由度并联机器人的误差校正方法及系统 | |
CN109483531A (zh) | 一种用于机械手定点取放fpc板的机器视觉系统及方法 | |
WO2016176833A1 (zh) | 一种提高xy运动平台系统精度的方法、装置及系统 | |
CN101726246B (zh) | 校正方法 | |
JP7189988B2 (ja) | ビジョンシステムの3次元校正のためのシステム及び方法 | |
CN106969704A (zh) | 测量系统、测量方法、机器人控制方法、机器人、机器人系统以及拾取装置 | |
CN103905719B (zh) | 用于校正多个影像撷取装置的校正片及其校正方法 | |
TW201807376A (zh) | 基板測量裝置及雷射加工系統 | |
CN206258081U (zh) | 一种具有实时高度标定功能的三维影像测量装置 | |
CN113421309A (zh) | 单相机跨视野测距平台标定方法、测距方法和系统 | |
CN112802123B (zh) | 一种基于条纹虚拟靶标的双目线阵相机静态标定方法 | |
CN108322736B (zh) | 一种多个线阵相机绕视轴旋转角度校准的校准板和校准方法 | |
CN113532316A (zh) | 一种能同时检测多块pcb板形位偏差的装置及检测方法 | |
CN112082511A (zh) | 一种基于转台的大物体快速标定测量方法 | |
US20120056999A1 (en) | Image measuring device and image measuring method | |
CN207802203U (zh) | 校正设备 | |
CN114964056B (zh) | 一种针对微装配设备的自标定方法 | |
CN116811447A (zh) | 一种基板纠偏和定位方法及相关设备 | |
CN110193673A (zh) | 振镜式激光加工的网格分区域补偿方法 | |
TWM632582U (zh) | 光學量測裝置 | |
JP2013239720A (ja) | 画像歪補正方法 | |
CN111383277A (zh) | 一种宽间距双摄模组aa方法及系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200710 |