CN105509656B - 一种正交性测试方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种正交性测试方法和装置，属于半导体行业光刻技术领域。所述正交性测试装置包括用于提供标准参考系的标定单元，用于采集定点信息的图像采集单元和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元，通过图像采集装置采集标定单元的标定图形，处理单元获取二维可移动平台的移动角度与标定单元的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度。针对现有技术的二维可移动平台的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，达到了同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。

Description

一种正交性测试方法和装置
技术领域
本发明涉及半导体行业光刻技术领域，具体而言，涉及一种正交性测试方法和装置。
背景技术
光刻技术是指在基底表面上印刷具有特征的构图，这种基地可以包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(液晶显示器等)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。
在光刻技术中，极地纺织在精密移动平台的基地平台上，通过处于光刻设备内的曝光装置，在特征构图投射到基底表面的指定位置。为保证图形投射位置的精确定位，需要标定一些列参数，其中移动平台的正交性标定尤其重要。
对于直写式光刻机，为了确定由此而导致的实际曝光位置与正确曝光位置的偏差参数，需要精确标定作精密移动平台X轴和Y轴的正交性。现有技术中多是通过相机实时采集图片，配合人工智能识别技术来实现精密移动平台正交性的标定，此时平台所反馈的位置坐标读数即为定位标记的位置坐标。现有的测量方法计算较为繁琐，且不能同时测量出多组数据，增加了额外计算的步骤，因此计算时间较长。
发明内容
本发明的目的在于提供正交性测试方法和装置，以改善上述的问题。
第一方面，本发明实施例提供的一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括标定单元、图像采集单元和处理单元，所述标定单元固定安装在所测量的二维可移动平台上，所述图像采集单元与所述处理单元电连接，所述标定单元包括均匀排列的标定图形，所述方法包括：所述二维可移动平台移动所述标定单元的所述第一标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；所述处理单元采集所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；所述二维可移动平台移动所述标定单元的所述第二标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；所述处理单元采集所述述二维可移动平台的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；所述二维可移动平台移动所述第三标定图形至图像采集单元的所述图像采集区域；所述处理单元采集所述二维可移动平台的所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)；所述处理单元根据所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(Xm1,Y m1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台的正交性角度。
结合第一方面，本发明还提供了第一方面的第一种可能实施方式，其中，所述第一标定图形位于所述标定单元的第m行、第n列，所述第二标定单元位于所述标定单元的第m行，所述第三标定图形位于所述标定单元的第n列，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定单元围成的所述标定角为直角。
结合第一方面的第二种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第三种可能实施方式，其中，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列，所述方法还包括：
所述处理单元根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
结合第一方面的第三种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第四种可能实施方式，其中，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列，所述方法还包括：所述处理单元根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
第二方面，本发明实施例提供了一种正交性测试装置，其中，所述装置包括标定单元、图像采集单元和处理单元，所述标定单元固定安装在所测量的二维可移动平台上，所述图像采集单元与所述处理单元电连接，所述标定单元包括均匀排列的标定图形；所述二维可移动平台用于移动所述标定单元的所述第一标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；所述处理单元用于采集所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；所述二维可移动平台用于移动所述标定单元的所述第二标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；所述处理单元采集用于所述述二维可移动平台的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；所述二维可移动平台用于移动所述第三标定图形至图像采集单元的所述图像采集区域；所述处理单元采集用于所述二维可移动平台的所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)；所述处理单元用于根据所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Ym1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台的正交性角度。
结合第二方面，本发明实施例还提供了第一方面的第一种可能实施方式，其中，所述二维可移动平台分别移动所述标定单元的所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域，所述第一标定图形位于所述标定单元的第m行、第n列，所述第二标定单元位于所述标定单元的第m行，所述第三标定图形位于所述标定单元的第n列，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定单元围成的所述标定角为直角。
结合第二方面的第二种可能实施方式，本发明实施例还提供了第二方面的第三种可能实施方式，其中，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列；
所述处理单元还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
结合第二方面的第三种可能实施方式，本发明实施例还提供了第二方面的第四种可能实施方式，其中，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列；
所述处理单元还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量
位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
本发明实施例提供的正交性测试方法和装置，针对现有技术的二维可移动平台的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，提供了一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括：用于提供标准参考系的标定单元，用于采集定点信息的图像采集单元和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元，通过图像采集装置采集标定单元的标定图形，处理单元获取二维可移动平台的移动角度与标定单元的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度。达到了同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明实施例了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。通过附图所示，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1为本发明实施例提供的一种正交性测试方法的步骤流程图；
图2为本发明实施例提供的一种正交性测试装置的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的另一种正交性测试方法的步骤流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参见图1和图2，本发明实施例提供的一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括标定单元202、图像采集单元203和处理单元204，所述标定单元202固定安装在所测量的二维可移动平台201上，所述图像采集单元203与所述处理单元204电连接，所述标定单元202包括均匀排列的标定图形2021，所述方法包括：
S101：所述二维可移动平台201分别移动所述标定单元202的第一标定图形2021、第二标定图形2021和第三标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域中的预定位置，所述第一标定图形2021、所述第二标定图形2021和所述第三标定图形2021围成标定角；
S102：所述处理单元204分别获取所述第一标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第一测量位置坐标、所述第二标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第二测量位置坐标和所述第三标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第三测量位置坐标，所述第一测量位置坐标、所述第二测量位置坐标和所述第三测量位置坐标围成移动角；
S103:所述处理单元204根据所述标定角和所述移动角得出所述二维可移动平台201的正交性角度。
本发明实施例提供的正交性测试方法，应用于正交性测试装置，用于测试二维可移动平台201的正交性。所述正交性测试装置包括标定单元202、图像采集单元203和处理单元204，所述标定单元202上设置有均匀排列的标定图形2021，标定图形2021在所述标定单元202上的排列顺序整齐，正交性标准，用于为二维可移动平台201的测量提供标准参考系。所述标定单元202的所述标定图形2021可以有多种，可以优选为标定圆形，所述标定圆形的圆心均匀排列。所述标定单元202固定安装在所测量的二维可移动平台201上，由所述二维可移动平台201的移动带动所述标定单元202的移动，移动过程中所述标定单元202与所述二维可移动平台201之间不会出现相对运动。
所述图像采集单元203用于采集图像信息，所述图像采集单元203可以优选为电荷耦合元件，即为CCD。所谓CCD，英文全称:Charge-coupled Device，中文全称:电荷耦合元件。可以称为CCD图像传感器,也叫图像控制器。CCD是一种半导体器件，能够把光学影像转化为数字信号。CCD上植入的微小光敏物质称作像素(Pixel)。一块CCD上包含的像素数越多，其提供的画面分辨率也就越高。CCD的作用就像胶片一样，但它是把光信号转换成电荷信号。CCD上有许多排列整齐的光电二极管，能感应光线，并将光信号转变成电信号，经外部采样放大及模数转换电路转换成数字图像信号。所述图像采集单元203的图像采集区域包括预定位置，用于定点采集图像范围内的某一点的图像信息，所述预定位置可以为所述图像采集单元203的图像采集镜头的正下方中心点，用于精确采集某一点的图像信息。
所述图像采集单元203与所述处理单元204电连接，可以将所述图像采集单元203采集的图像信息发送至所述处理单元204，用于所述处理单元204根据所述图像信息进行相关的数据处理，例如所述标定单元202的所述标定图形2021的相关点的坐标采集。所述处理单元204也可以与所述二维可移动平台201电连接，用于获得二维可移动平台201的坐标信息，进而进行后续二维可移动平台201的正交性计算过程。
所述用于测试二维可移动平台201的正交性测试方法，具体包括：
在所述标定板上选取三个标定图形2021，分别为第一标定单元202、第二标定单元202和第三标定单元202，通过移动所述二维平台，将与所述二维平台固定连接的标定单元202的选定标定图形2021分别移动至所述图像采集单元203的图像采集区域的预定位置。
将第一标定图形2021的中心点移动到所述图像采集单元203的图像采集区域的预定位置处，此时所述二维可移动平台201获得所述第一测量位置坐标。
将第二标定图形2021的中心点移动到所述图像采集单元203的图像采集区域的预定位置处，此时所述二维可移动平台201获得所述第二测量位置坐标；
将所述第三标定图形2021的中心点移动到所述图像采集单元203的图像采集区域的预定位置处，此时所述二维可移动平台201获得所述第三测量位置坐标；
所述处理单元204获取所述第一标定图形2021、第二标定图形2021和第三标定图形2021围成的标定角，所述标定角可以为以三个标定图形2021的中心点连接成的三角形中的任一点，优选为以第二标定图形2021的中心点为所述标定角的端点。所述处理单元204还要获取所述二维可移动平台201的第一测量位置坐标、第二测量位置坐标和第三测量位置坐标，得出所述第一测量位置坐标、第二测量位置坐标和第三测量位置坐标围成的移动角，所述移动角的选择与所述标定角的选择保持一致，可以优选为将所述第二测量位置坐标选择为所述移动角的端角。所述处理单元204根据所述标定角和所述移动角的差值比例，计算出所述二维可移动平台201的正交性角度。
上述本发明实施例提供的正交性测试方法，针对现有技术的二维可移动平台201的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，提供了一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括：用于提供标准参考系的标定单元202，用于采集定点信息的图像采集单元203和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元204，通过图像采集装置采集标定单元202的标定图形2021，处理单元204获取二维可移动平台201的移动角度与标定单元202的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度。达到了同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。
在上述实施例的基础上，所述第一标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第n列，所述第二标定单元202位于所述标定单元202的第m行，所述第三标定图形2021位于所述标定单元202的第n列，所述第一标定图形2021、所述第二标定图形2021和所述第三标定单元202围成的所述标定角为直角。
本发明实施例提供的正交性测试方法，优选将所述第一标定图形2021选择位于所述标定单元202的第m行、第n列，所述第二标定图形2021优选位于所述标定单元202的第m行，非第n列的任意一列，所述第三标定图形2021优选位于所述标定单元202的第n列、非第m行的任意一行，则所述第一标定图形2021、第二标定图形2021和第三标定图形2021所围成的以第二标定图形2021为端点的标定角为直角pi/2，通过比较此时的移动角与pi/2之间的差值，即可得出所述二维可移动平台201的正交性，计算方法更为直观、简单。
在上述实施例的基础上，所述第一标定图形2021位于所述标定单元202的第1行、第1列，所述第二标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第1列的，所述第三标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第n列，所述方法具体包括：
所述二维可移动平台201移动所述标定单元202的所述第一标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域；
所述处理单元204采集所述二维可移动平台201的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；
所述二维可移动平台201移动所述标定单元202的所述第二标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域；
所述处理单元204采集所述述二维可移动平台201的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；
所述二维可移动平台201移动所述第三标定图形2021至电荷耦合元件的所述图像采集区域；
所述处理单元204采集所述二维可移动平台201的所述第三测量位置坐标Am1(Xm1,Y m1)；
所述处理单元204根据所述二维可移动平台201的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Ym1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台201的正交性角度为：θ-pi/2。
上述本实施例提供的正交性测试方法，所述标定单元202的标定图形2021选择第一行第一列、第m行第一列和第一行第n列的三个标定图像，移动采集过程更为方便直接，计算步骤简洁。测试较多组数据获得平均值的步骤简单、准确。
参见图3，在上述实施例的基础上，本发明实施例还提供了另一种正交性测试方法，其中，所述标定单元202的所述标定图形2021按等间距d排列，所述方法还包括：
S301:所述处理单元204根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
请继续参见图3，在上述实施例的基础上，所述方法还可以包括：
S302:所述处理单元204根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
上述本发明实施例提供的正交性测试方法，还可以根据测量数据计算所述二维可移动平台201横轴涨缩值和纵轴的纵轴涨缩值，若得出的所述涨缩值为1，则证明该二维可移动平台201的轴向移动距离未出现涨缩，若二维可移动平台201小于1，则证明该二维可移动平台201的移动轴向距离有一定程度的收缩，若二维可移动平台201大于1，则证明该二维可移动平台201的移动轴向距离有一定程度涨幅。
以上均为本发明实施例提供的正交性测试方法，针对现有技术的二维可移动平台201的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，提供了一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括：用于提供标准参考系的标定单元202，用于采集定点信息的图像采集单元203和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元204，通过图像采集装置采集标定单元202的标定图形2021，处理单元204获取二维可移动平台201的移动角度与标定单元202的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度，同时还可以根据已经测定的坐标值得出所述二维可移动平台201的轴向涨缩值，达到了，同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。
请继续参见图2,，本发明实施例提供了一种正交性测试装置，其中，所述装置包括标定单元202、图像采集单元203和处理单元204，所述标定单元202固定安装在所测量的二维可移动平台201上，所述图像采集单元203与所述处理单元204电连接，所述标定单元202包括均匀排列的标定图形2021；
所述二维可移动平台201用于分别移动所述标定单元202的第一标定图形2021、第二标定图形2021和第三标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域中的预定位置，所述第一标定图形2021、所述第二标定图形2021和所述第三标定图形2021围成标定角；
所述处理单元204用于分别获取所述第一标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第一测量位置坐标、所述第二标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第二测量位置坐标和所述第三标定图形2021在所述预定位置时所述二维可移动平台201的第三测量位置坐标，所述第一测量位置坐标、所述第二测量位置坐标和所述第三测量位置坐标围成移动角；
所述处理单元204还用于根据所述标定角和所述移动角得出所述二维可移动平台201的正交性角度。上述本发明实施例提供的正交性测试方法，针对现有技术的二维可移动平台201的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，提供了一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括：用于提供标准参考系的标定单元202，用于采集定点信息的图像采集单元203和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元204，通过图像采集装置采集标定单元202的标定图形2021，处理单元204获取二维可移动平台201的移动角度与标定单元202的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度。达到了，同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。
在上述实施例的基础上，所述二维可移动平台201分别移动所述标定单元202的所述第一标定图形2021、所述第二标定图形2021和所述第三标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域，所述第一标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第n列，所述第二标定单元202位于所述标定单元202的第m行，所述第三标定图形2021位于所述标定单元202的第n列，所述第一标定图形2021、所述第二标定图形2021和所述第三标定单元202围成的所述标定角为直角；
所述处理单元204采集所述二维可移动平台201的第一测量位置坐标、第二测量位置坐标和第三测量位置坐标，所述第一测量位置坐标对应所述第一标定图形2021，所述第二测量位置对应所述第二标定图形2021，所述第三测量位置对应所述第三标定图形2021，所述第一测量位置、所述第二测量位置和所述第三测量位置围城所述移动角；
所述处理单元204根据所述移动角得出所述二维可移动平台201的正交性角度。
在上述实施例的基础上，本发明实施例还提供了另一种正交性测试装置，其中，所述第一标定图形2021位于所述标定单元202的第1行、第1列，所述第二标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第1列的，所述第三标定图形2021位于所述标定单元202的第m行、第n列；
所述二维可移动平台201具体用于移动所述标定单元202的所述第一标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域；
所述处理单元204用于采集所述二维可移动平台201的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；
所述二维可移动平台201用于移动所述标定单元202的所述第二标定图形2021至所述电荷耦合元件的图像采集区域；
所述处理单元204采集用于所述述二维可移动平台201的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；
所述二维可移动平台201用于移动所述第三标定图形2021至电荷耦合元件的所述图像采集区域；
所述处理单元204采集用于所述二维可移动平台201的所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)；
所述处理单元204用于根据所述二维可移动平台201的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Ym1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台201的正交性角度。
在上述实施例的基础上，本发明实施例还提供了另一种正交性测试装置，其中，所述标定单元202的所述标定图形2021按等间距d排列；
所述处理单元204还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
在上述实施例的基础上，本发明实施例还提供了另一种正交性测试装置，其中，其中，所述标定单元202的所述标定图形2021按等间距d排列；
所述处理单元204还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
以上均为本发明实施例提供的正交性测试方法，针对现有技术的二维可移动平台的正交性测试方法，不能同时测出多组数据，增加了计算步骤，造成计算方法繁琐的技术问题，提供了一种正交性测试方法，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括：用于提供标准参考系的标定单元，用于采集定点信息的图像采集单元和用于获取相关坐标信息、得出测试结果的处理单元，通过图像采集装置采集标定单元的标定图形，处理单元获取二维可移动平台的移动角度与标定单元的标定角度之间的差值比例，即可获得正交性角度，同时还可以根据已经测定的坐标值得出所述二维可移动平台的轴向涨缩值，达到了，同时获取较多组数据，测试方法简单，计算步骤较少的技术效果。所述正交性测试装置的具体测试过程参照上述正交性测试方法，在此不一一赘述。
另外，附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种正交性测试方法，其特征在于，应用于正交性测试装置，所述正交性测试装置包括标定单元、图像采集单元和处理单元，所述标定单元固定安装在所测量的二维可移动平台上，所述图像采集单元与所述处理单元电连接，所述标定单元包括均匀排列的标定图形，所述方法包括：
所述二维可移动平台分别移动所述标定单元的第一标定图形、第二标定图形和第三标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域中的预定位置，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定图形围成标定角，其中，所述第一标定图形位于所述标定单元的第m行、第n列，所述第二标定单元位于所述标定单元的第m行，所述第三标定图形位于所述标定单元的第n列，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定单元围成的所述标定角为直角；
所述处理单元分别获取所述第一标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第一测量位置坐标、所述第二标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第二测量位置坐标和所述第三标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第三测量位置坐标，所述第一测量位置坐标、所述第二测量位置坐标和所述第三测量位置坐标围成移动角；
其中，所述二维可移动平台移动所述标定单元的所述第一标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；
所述处理单元采集所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；
所述二维可移动平台移动所述标定单元的所述第二标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；
所述处理单元采集所述述二维可移动平台的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；
所述二维可移动平台移动所述第三标定图形至图像采集单元的所述图像采集区域；
所述处理单元采集所述二维可移动平台的所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)；
所述处理单元根据所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台的正交性角度。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列，所述方法还包括：
所述处理单元根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列，所述方法还包括：
所述处理单元根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
4.一种正交性测试装置，其特征在于，所述装置包括标定单元、图像采集单元和处理单元，所述标定单元固定安装在所测量的二维可移动平台上，所述图像采集单元与所述处理单元电连接，所述标定单元包括均匀排列的标定图形；
所述二维可移动平台用于分别移动所述标定单元的第一标定图形、第二标定图形和第三标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域中的预定位置，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定图形围成标定角，其中，所述二维可移动平台分别移动所述标定单元的所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域，所述第一标定图形位于所述标定单元的第m行、第n列，所述第二标定单元位于所述标定单元的第m行，所述第三标定图形位于所述标定单元的第n列，所述第一标定图形、所述第二标定图形和所述第三标定单元围成的所述标定角为直角；
所述处理单元用于分别获取所述第一标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第一测量位置坐标、所述第二标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第二测量位置坐标和所述第三标定图形在所述预定位置时所述二维可移动平台的第三测量位置坐标，所述第一测量位置坐标、所述第二测量位置坐标和所述第三测量位置坐标围成移动角；
其中，所述第一标定图形位于所述标定单元的第1行、第1列，所述第二标定图形位于所述标定单元的第m行、第1列的，所述第三标定图形位于所述标定单元的第m行、第n列；
所述二维可移动平台具体用于移动所述标定单元的所述第一标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；
所述处理单元用于采集所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)；
所述二维可移动平台用于移动所述标定单元的所述第二标定图形至所述图像采集单元的图像采集区域；
所述处理单元用于采集所述二维可移动平台的所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)；
所述二维可移动平台用于移动所述第三标定图形至图像采集单元的所述图像采集区域；
所述处理单元用于采集所述二维可移动平台的所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Ym1)；
所述处理单元用于根据所述二维可移动平台的所述第一测量位置坐标A11(X11，Y11)、所述第二测量位置坐标Amn(Xmn,Ymn)和所述第三测量位置坐标Am1(X m1,Y m1)和移动角的计算公式cosθ＝{[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]+[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]-[(X11-Xmn)^2+(Y11-Ymn)^2]}/{2*sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]*sqrt[(Xm1-Xmn)^2+(Ym1-Ymn)^2]}，根据所述移动角得出所述二维可移动平台的正交性角度。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列；
所述处理单元还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sx＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(n-1)*d]。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述标定单元的所述标定图形按等间距d排列；
所述处理单元还用于根据所述第一测量位置坐标A11(X1，Y1)和所述第二测量位置坐标为Amn(Xm,Yn)计算出横轴涨缩值Sy＝sqrt[(X11-Xm1)^2+(Y11-Ym1)^2]/[(m-1)*d]。
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