CN102292794B - 放电管、放电管的反射膜形成方法及发光装置 - Google Patents

Abstract

通过具备玻璃球管(2)和在玻璃球管(2)的外周面的至少230°的范围内形成的反射膜(13)，由此能够在放电管(22)的外周面的广阔的区域内获得足够的膜厚的反射膜(13)，能够获得具有均匀的光强度分布的发光装置。

Description

放电管、放电管的反射膜形成方法及发光装置

技术领域

本发明涉及作为照片摄影用等人工光源而使用的放电管、放电管的反射膜形成方法及发光装置。

背景技术

近年，对袖珍相机(compact camera)或带相机功能的便携式电话要求小型化，对于附带在其上而作为人工光源使用的闪光灯装置也要求小型化。

为了应对小型化需要使结构简化，为了简化该闪光灯装置的发光部的结构，废除以往在闪光灯单元使用的反射伞，提出了在放电管的外周面设置反射膜的闪光灯装置(参照专利文献1)。

图10是在以往的闪光灯装置中使用的放电管的剖视图。在该闪光灯装置中，在作为放电管91的构成要件的圆筒状的玻璃球管92的外周面，保留光所透过的带状(在图10中为从纸面的表面到背面方向)的透光部93地设置反射膜94。反射膜94通过蒸镀铝、银等金属而形成，具有使在放电管91内发出的光反射的反射伞的作用。

然而，放电管91的发光由在放电管91内激励的气体整体发光而产生，如图10所示，在点L的发光未在反射膜94被反射，如箭头D所示，其向放电管91的后方照射而造成损失。为了降低该光量损失而使光向放电管91的前方反射，形成在放电管91上的反射膜94需要在外周面的圆周方向180°以上的蒸镀角度的更适当的范围内形成为足够的厚度。

另外，通过以往的蒸镀方法在圆筒状的放电管91的外周面沿箭头Y的方向形成基于金属蒸镀的反射膜时，与蒸镀源对置的外周面95容易附着蒸镀材料。然而，在相对于蒸镀源成为阴面的外周面96(管面中远离蒸镀源的半周面)难以附着蒸镀材料，造成反射膜96的膜厚极端地变薄。因此，无法使在放电管91内发出的光充分反射。

因此，使用以往的放电管的闪光灯装置的这种发光装置由于光量不足而无法得到均匀的光强度分布。

【专利文献1】日本特开平7-72535号公报

发明内容

本发明的目的在提供一种能够降低光量的损失的放电管、在外周面的广阔区域内能够获得足够的膜厚的放电管的反射膜形成方法、以及能够获得均匀的光强度分布的发光装置。

本发明的放电管具备玻璃球管和在玻璃球管的外周面的至少230°的范围内形成的反射膜。根据该结构，在放电管内的发光不会向放电管的后方照射，而是向照射方向被反射，因此能够降低放电管的光量损失。

本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，通过从至少两个方向向玻璃球管的外表面蒸镀来自蒸镀源的金属而形成反射膜。根据该结构，能够在放电管的外周面的广阔的区域内获得足够的膜厚。

本发明的发光装置具备上述放电管。根据该结构，由于通过反射膜使在放电管内发出的光不产生向后方照射的成分，从而能够获得均匀的光强度分布。因此，能够获得小型且高效的发光装置。

附图说明

图1是在本发明的一实施方式的放电管的反射膜形成方法使用的真空蒸镀装置的简图。

图2是表示在该实施方式的放电管的反射膜形成方法中使用的蒸镀夹具的立体图。

图3A是用于说明该实施方式的放电管的反射膜形成方法的放电管的剖视图。

图3B是用于说明该实施方式的放电管的反射膜形成方法的放电管的另一剖视图。

图3C是用于说明该实施方式的放电管的反射膜形成方法的放电管的又一剖视图。

图4A是表示该实施方式的放电管的反射膜的反射率与膜厚的关系的图。

图4B是表示该实施方式的放电管的反射膜的反射率与膜厚的关系的特性图。

图5A是表示该实施方式的放电管的尺寸与反射膜的蒸镀角度的关系的图。

图5B是表示该实施方式的放电管的尺寸与反射膜的蒸镀角度的另一关系的图。

图6A是表示该实施方式的放电管的光放射方向与光量的关系的特性图。

图6B是表示该实施方式的放电管的光放射方向与光量的关系的另一特性图。

图7是表示对该实施方式的放电管的发光时的色温进行的比较的图。

图8是该实施方式的闪光灯单元的主要部分分解图。

图9A是表示该实施方式的闪光灯单元的示例的剖视图。

图9B是表示该实施方式的闪光灯单元的其他例子的剖视图。

图10是表示形成有以往的反射膜的放电管的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图根据实施方式对本发明进行说明。图1是在本发明的一实施方式的放电管的反射膜形成方法中使用的真空蒸镀装置的简图。图2是表示在该实施方式的放电管的反射膜形成方法中使用的蒸镀夹具的立体图。

首先，对基于真空蒸镀的放电管的反射膜形成方法的概要进行说明。在图1中，将玻璃球管2固定于蒸镀夹具3并设置在真空蒸镀装置1的真空腔室4内。通过从蒸镀源6蒸镀金属，在玻璃球管2的外周面形成反射膜。从生产效率的观点考虑，蒸镀夹具3能够设置多个玻璃球管2。蒸镀夹具3安装在真空腔室4内的上方的摆动台5上。摆动台5以沿箭头W的方向使蒸镀夹具3摆动的方式设置旋转角度。

另一方面，在真空腔室4内的下方设置有在玻璃球管2被蒸镀而成为反射膜的金属材料的蒸镀源6。作为蒸镀源6，可以使用铝、银等金属材料。在设置作为蒸镀的对象物的玻璃球管2和蒸镀源6后，使真空腔室4内成为真空状态，通过加热蒸镀源6并使金属材料向箭头X的方向蒸发，从而向玻璃球管2形成反射膜。

接下来，对将玻璃球管2固定到蒸镀夹具3上的方法和将蒸镀夹具3设置在真空腔室4内的方法进行说明。如图2所示，蒸镀夹具3构成为在基板7上设置多个掩模用夹具8。各掩模用夹具8配置为与成为蒸镀的对象物的玻璃球管2沿着彼此的长度方向。此外，当在各掩模用夹具8上放置玻璃球管2之后，各玻璃球管2的靠近圆筒形状的两端部的部分通过压板9固定。压板9以与各玻璃球管2的两端部抵接的方式通过螺钉11固定于基板7上的安装部10。

当在基板7上固定了全部的掩模用夹具8和玻璃球管2之后，蒸镀夹具3以上下翻转的状态(玻璃球管2位于比掩模用夹具8靠下方的状态)设置在真空蒸镀装置1的真空腔室4内。蒸镀夹具3如前述那样安装在真空腔室4内的摆动台5上，但蒸镀夹具3被安装成摆动台5旋转的方向与玻璃球管2的长度方向正交。即，通过使摆动台5的旋转角度变化，蒸镀源6相对于玻璃球管2的外周的角度在玻璃球管2的圆周方向上发生变化。因此，通过使摆动台5旋转，能够使玻璃球管2和蒸镀源6的相对位置变化，从而能够从蒸镀源6向玻璃球管2的外表面蒸镀金属材料而形成反射膜。

需要说明的是，掩模用夹具8用于设置玻璃球管2的外周面上未形成反射膜的部分，即，成为光透过的带状的透光部的部分。另外，压板9除了固定掩模用夹具8和玻璃球管2之外，还起到使玻璃球管2的两端部的电极12及两端部的玻璃部分不成膜的作用。

图3A、图3B是表示通过使摆动台5的旋转角度变化，从而使蒸镀源6相对于玻璃球管2的外周的角度在玻璃球管2的圆周方向上变化并进行二次蒸镀时的蒸镀源6和玻璃球管2的相对位置的放电管的剖视图。图3C为通过进行该二次蒸镀而形成反射膜的放电管的剖视图。如前述那样，当固定有掩模用夹具8和玻璃球管2的蒸镀夹具3设置在真空腔室4内并使真空腔室4内成为真空状态后，通过加热蒸镀源6而蒸发金属材料，向玻璃球管2形成反射膜13。

首先，在第一步骤中，如图3A所示，设定摆动台5的旋转角度，并沿箭头X1的方向对玻璃球管2进行蒸镀。由于通过掩模用夹具8隐藏的部分不附着金属材料，从而反射膜13不能成膜。

在将与箭头X1平行且通过玻璃球管2的中心点O的线作为轴X1、与轴X1正交且通过中心点O的线作为轴Y1的情况下，从轴X1(0°)到轴Y1(右90°)的区域R1、以及从轴X1(0°)到轴Y1(左90°)的区域L1与蒸镀源6对置，所以金属材料容易附着，从而反射膜13形成为从轴X1到轴Y1逐渐变薄。

不与蒸镀源6对置的外周部分15(轴X1的左右90°以上的角度大的部分，即超过轴Y1的半周面)由于相对于蒸镀源6成为阴面，所以金属材料几乎不附着。因此，无法以必要的膜厚形成反射膜13。

接下来，在第二步骤中，使摆动台5的旋转角度(例如，超过90°的程度)变化，如图3B所示，对玻璃球管2沿箭头X2的方向进行蒸镀。在图3B中，示出在第一步骤中蒸镀的反射膜13a从区域R1横跨区域L1地形成。

在第二步骤中，在通过掩模用夹具8隐藏的部分未成膜，在将与箭头X2平行且通过玻璃球管2的中心点O的线作为轴X2，将与轴X2正交且通过中心点O的线作为轴Y2的情况下，在与蒸镀源6对置的区域L2、R2容易附着金属材料。因此，反射膜13形成为从轴X2到Y2轴逐渐变薄。该情况与沿箭头X1的方向进行蒸镀时同样。

由于先被蒸镀后的区域L1因蒸镀夹具3的旋转而超过轴Y2，并相对于蒸镀材6成为阴面，从而难以附着金属材料。然而，由于区域R1位于与区域L2大致重叠的位置，因此与蒸镀源6对置，所以金属材料再次附着而形成反射膜13，从而成为重叠区域16(图3C)。

另外，当沿箭头X1的方向进行蒸镀时相对于蒸镀源6成为阴面的外周部分15由于也位于与蒸镀源6对置的区域R2，所以金属材料附着而形成反射膜13。

需要说明的是，由于基于溅射的蒸镀在射出区域不带有较强的指向性，因此如本实施方式那样，即使仅旋转摆动台5，蒸镀也会绕入玻璃球管的四周。也就是说，即使不使各个玻璃球管2旋转而进行蒸镀，也能够在多个玻璃球管2上同时形成如图3C所示的反射膜13。因此，装置不会变得复杂，从而能够抑制成本。

通过进行至少两次或根据必要的膜厚进行多次上述顺序的工作，可以在玻璃球管2的未被掩模用夹具8覆盖的全部外周面附着金属材料。也就是说，即使在反射膜13的蒸镀角度超过180°的情况下，也能够完成图3C所示的以不透光的膜厚形成蒸镀膜13的放电管22。

此时，蒸镀区域R1和L2与蒸镀区域L1和R2相比，其与蒸镀源6对置的次数变多。因此，如图3C所示，蒸镀膜13中，重叠部分16形成为最厚，而随着朝向开口部18其膜厚形成为逐渐变薄。

图4A、图4B是表示在放电管22上形成的反射膜13的反射率与反射膜13的厚度的关系的图和特性图。在图4A、图4B中，作为蒸镀源6使用银而形成反射膜13，其示出对发光波长400～700nm域内的分光反射率进行测量时的平均值。

根据上述结果，反射膜13的厚度蒸镀为至少50nm以上，优选蒸镀为100nm以上。若反射膜13的厚度为50nm以上，能够大致达到以往的闪光灯装置中使用的反射伞的反射率92％，从而能够使在放电管22内发出的光被充分反射。

容易剥离的反射膜13的开口部分形成为薄到反射率不下降程度的50nm以上的膜厚。另一方面，因放电管发光时的冲击或热量可能导致金属粒子飞散的放电管后方部分的反射膜厚优选成为100nm以上，从而防止反射光量的下降。

在欲将反射膜13全域设定为比以往的反射伞高的反射率的情况下，优选以至少80nm以上进行成膜。放电管22后方部分的反射膜厚通过上述的蒸镀方法而成为100nm以上的膜厚。然而，由于膜厚100～200nm的反射率大致相同，所以能够以反射率为大致96％左右的高反射率在反射膜13的全域进行平均化，从而能够有效抑制配光不均。

在未形成有反射膜13的区域(被掩模用夹具8覆盖的部分)成为放电管22的开口部18(透光部)。当放电管22作为闪光灯装置被组装时，若从正面观察到的放电管22的开口部18的圆周方向的角度(开口角)为一定值以下，则产生在放电管内发出的光向后方照射的成分。即，从正面观察作为闪光灯装置组装的放电管22，若开口部18不位于比反射膜13的端部靠前方处，则产生在放电管内发出的光向后方照射的成分。因此，向该后方照射的成分成为光量损失。在此，若开口角为2θ、放电管22的外半径为Ro、放电管22的内半径为Ri，则成立

Cosθ＝Ri/Ro

的关系。因此，需要与放电管22的外半径Ro和内半径Ri的比相对应地使θ为一定值以下。根据通常制造的小径的闪光放电管的尺寸，在图5A中示出反射膜13的蒸镀角度的例子。

在图5A中，例如，在外径为1.3mm、外半径Ro＝0.65(mm)、内半径Ri＝0.425(mm)的情况下，由于成为2θ＝98.3°，所以需要使开口角为该值以下。即，必须使形成反射膜的区域成为360°-98.3°＝261.7°以上。

若考虑到实际使用的各种放电管22的外径与内径的关系、放电管22的制造误差(部件公差)等，则优选使形成反射膜的区域至少成为240°。

另外，因为在由掩模用夹具8隐藏的部分未形成反射膜13，所以能够在需要反射膜13的适合的区域成膜。

最近，存在小型相机的闪光灯装置、大型闪光灯装置等各种大小的闪光灯装置，因此需要各种大小的放电管22。因此，在图5B中示出将玻璃球管2的外形减细而使闪光放电管小型化的情况下、以及将玻璃球管2的外形增大而增加封入气体的容量以成为大发光量的闪光的情况下的反射膜13的蒸镀角度的例子。

在图5B中，例如，对于外径为1.1mm、外半径Ro＝0.55(mm)、内半径Ri＝0.25(mm)的小型闪光灯用的放电管而言，由于成为2θ＝125.9°，所以需要使开口角成为该值以下。即，必须使形成反射膜的区域成为360°-125.9°＝234.1°左右。

若考虑到实际使用的小型的放电管22的外径与内径的关系和放电管22的制造误差(部件公差)等，则形成反射膜的区域优选为至少230°左右。

另外，对于外径为4.0mm、外半径Ro＝2.0(mm)、内半径Ri＝1.65(mm)的大型闪光灯用的放电管而言，由于成为2θ＝68.8°，所以开口角需要为该值以下。即，形成反射膜的区域必须为360°-68.8°＝291.2°左右。

若考虑到实际使用的大型的放电管22的外径与内径的关系和放电管22的制造误差(部品公差)等，则形成反射膜的区域优选为至少290°左右。

如上所述，根据本实施方式的反射膜的形成方法，通过使围绕放电管22的轴的放电管22与蒸镀源6的相对角度位置变化而以至少230°的角度进行成膜，能够最大限度减少实际使用的各种大小的放电管22的光量损失。

另外，在放电管22用于闪光灯装置的情况下，需要在减少光线的损失的同时，在期望的照射范围内减少照射不均的设计。图6A是表示光量相对于本实施方式的放电管22的光照射方向的关系的特性图，其按照蒸镀膜的多个蒸镀角度中的每个角度示出上下方向的光量即要求的角度内的能量。图6B是表示衰减量相对于该实施方式的放电管22的光照射方向的关系的特性图，其以上下方向的配光即中心光量为基准，按照蒸镀膜的多个蒸镀角度中每个角度示出要求的角度内的衰减率。需要说明的是，在各图中示出的特性曲线的数字(0°、180°…310°)表示蒸镀膜的蒸镀角度。需要说明的是，在本实施方式中，在放电管22用于闪光灯装置的情况下，以放电管22的光轴成为水平方向的方式来使用。

在图6A、图6B中，以通过35mm判换算将闪光灯装置的要求规格设定为焦点距离28mm的视场角而适应规格的方式将放电管22的上下方向的照射角度设定为相对于光轴分别27°、共计54°左右。此外，在外径为1.3mm、内径为0.85mm的玻璃球管2上使用反射膜13的蒸镀角度为180°～310°(反射膜13的开口部角度为50°～180°)成膜的放电管22、以及没有反射膜13的放电管22来进行发光。向放电管22的输入电压为320V，主电容器容量为75μF。当发光时，不使用光学面板，仅使放电管22发光。若开口过于狭窄，只在中心聚光。另外，对于使用了玻璃球管的发光管而言，单纯通过光源无法设计配光。因此，使反射伞与面板组合更好，故而光在比54°靠外侧漏出为较好的情况。优选54°的区域尽量不带大的峰值，而具有平坦的配光。

根据图6A可知，由于未蒸镀有反射膜13的放电管22(蒸镀角度0°)以放电管22为中心向全角度进行照射，所以照射到照射范围外的光线多。

在蒸镀角度为180°～220°的情况下，上下分别到27°的范围的曝光量近似约30lux·sec程度。在蒸镀角度成为230°以上的情况下，蒸镀角度每增加10°(开口部变窄10°)，则中心部分的光量增加约2lux·sec左右。由此，通过使开口角变狭，能够降低照射到照射范围外的光线损失。

另一方面，考虑到上下方向的配光平衡且为了抑制照射不均，在中心部分的光量为100％的情况下，需要使上下各27°附近的光量下降设为25％左右以下。如图6B所示，当以300°以上的角度对反射膜进行蒸镀时，由于开口部狭窄而仅向中心部分照射光线。因此，在上下方向18°以上的部分光量下降为25％以上，从而产生照射不均。当以290°以下的角度蒸镀反射膜时，能够使上下各27°附近的光量下降形成为25％左右以下。

这样，为了降低光量损失需要使开口部变狭，另外，为了降低照射不均而需要增大开口部。因此，为了同时实现光量损失、照射不均的降低，230°～290°左右的蒸镀角度为最适合的范围。

所述蒸镀角度的范围设定根据所使用的放电管22的外径、内径并基于前述的式子进行设定即可。

在本实施方式中，根据前述的式子将蒸镀角度设定为约260°。此时，根据图6A、图6B可知，曝光量到上下方向各17°附近成为35lux·sec，关于配光，在上下方向27°附近也可抑制到10％左右的光量降低。即，能够获得使光量损失降低和抑制照射不均的双重效果。

可以在蒸镀了反射膜13后设置保护层(未图示)。保护层以如下方式形成，即，将形成有反射膜13的放电管22放入加热到500～700度的炉中，并向放电管22的外周面喷射例如锡、铟这种金属。锡、铟这种金属在一般的闪光放电管中用作透明导电性膜(奈塞膜)。因此，即使其形成在形成有反射膜13的放电管22的外周面，也能够使放电管22的光透过。而且，通过在加热的炉中进行喷射，能够成为透明的结晶体层，因此其最适合作为反射膜13的保护层。

尤其是，当在反射膜13上使用银时，容易因大气中的氧或硫成分等而导致变黑。然而，通过设置保护层能够防止反射膜13的变质，还能够防止反射膜13从开口部18剥离。

另外，由于放电管22的发光透过金属薄膜，从而能够使色温降低。

图7表示对一般的放电管与本发明的放电管发光时的色温进行的比较。

图7表示，使用外径为1.3mm以及1.8mm这两种放电管22并以如下的4种组合形成由透明导电性膜构成的保护膜及反射膜13，并与输入电压320V，主电容器75μF的电路连接而测量发光时的色温的结果。

(1)无保护膜·无反射膜13

(2)有保护膜·无反射膜13

(3)无保护膜·有反射膜13

(4)有保护膜·有反射膜13

根据图7可知，与无保护膜·无反射膜的放电管22相比，有保护膜·有反射膜的放电管22下降约400～600K色温。与无保护膜·有反射膜的放电管22相比，下降约200K色温。

在将放电管22用于闪光灯装置的情况下，放电管22的光可能导致闪光灯装置的光学面板发生白浊。然而，通过使用本发明的保护层能够使放电管22的色温降低，从而能够抑制光学面板的白浊等劣化。

接下来，对将以上述方式形成反射膜的放电管22用于发光部的本实施方式的闪光灯装置进行说明。由于上述的放电管22中，形成反射膜13的区域设定为至少230°，所以在放电管22内发出的光中不产生向后方照射的成分，从而能够获得光量损失少的高效率的闪光灯装置。

图8是组合有放电管22和反射部件19的闪光灯单元的分解图。图9A是表示将具有反射膜13的放电管22用于发光部的闪光灯单元17的一例的剖视图。图9A所示的放电管22与反射部件19密接，并且组装有透明的光学面板20。

在放电管22上形成有反射膜13，反射膜13被蒸镀至比放电管22的内径缘部更靠前方(反射部件19方向)。因此，无需在照射光的后方设置反射伞。然而，为了将从开口部18照射并向前方散乱的光汇聚以提高发光效率，使用反射部件19。反射部件19的与放电管22密接的开口部19a形成为与反射膜13的端部13b重叠。

如此，由蒸镀有反射膜13的放电管22和反射部件19构成的闪光灯单元17不是在后方设置反射伞的结构，能够利用反射膜13有效聚光，所以能够减小光轴方向的尺寸。因此，能够获得小型的闪光灯装置。

通过采用反射部件19与反射膜13的端部13b重叠的结构，从而能够使反射部件19的开口部19a与放电管22的开口部18之间不形成间隙。若在反射部件19的开口部19a与放电管22的开口部18之间形成间隙，则放电管22的闪光从该间隙漏出而成为光量损失。在本实施方式中，由于不存在该间隙而能够防止光量损失，从而放电管22的从开口部18发出的闪光通过反射部件19可靠地被聚光，且通过光学面板20而配光在闪光灯光的照射范围内。

图9B是表示将反射部件19作为蒸镀时的掩模用夹具使用，并在放电管22和反射部件19组合的状态下将其固定在蒸镀夹具上而蒸镀反射膜13的情况下的闪光灯单元17的一例的剖视图。与图9A不同，其并非反射部件19与反射膜13的端部13b重叠的结构。然而，通过利用反射部件19遮掩放电管22而进行蒸镀，能够更简单地以适当的蒸镀角度形成反射膜13。

另外，由于放电管22与反射部件19的间隙部分被蒸镀的金属材料所覆盖，所以难以出现放电管22与反射部件19的间隙，与图9A的结构同样，放电管22的闪光不会在反射部件19的开口部19a与放电管22的开口部18之间形成间隙。因此，能够简易地获得光量损失少的高效率的闪光灯装置。

需要说明的是，本发明不局限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内当然可以做出各种变更。

例如，在上述实施方式中，为了使蒸镀源6相对于放电管22的外周的角度变化使摆动台5旋转。然而，并不局限于此，例如，也可以使放电管22逐根分别地旋转。另外，还可以移动蒸镀源6而改变相对于放电管22的外周的角度。

另外，在上述实施方式中，作为蒸镀方法采用了真空蒸镀法，但是也可以通过溅射法或离子电镀法来进行蒸镀。

另外，在上述各实施方式中，对用于闪光灯装置的放电管进行了说明。然而，最近，还开发出了使用氙灯治疗皮肤疾病的光照射治疗设备、或使用氙灯使粗糙的肌肤变得光滑的光美容设备、使用闪光灯的光脱毛设备等使用放电管的治疗机、美容机等。这种用于治疗机、美容机等的发光装置也需要使放电管发出的光向皮肤或肌肤的方向聚光。因此，与上述实施方式的闪光灯装置的放电管同样，在治疗设备、美容设备等发光装置中，也使用反射膜形成在玻璃球管的外周面的至少230°的范围内的放电管，减少对皮肤或肌肤的光量损失，从而能够提高治疗、美容的效果。

如以上说明的那样，本发明的放电管具备玻璃球管和在玻璃球管的外周面的至少230°的范围内形成的反射膜。根据该结构，由于放电管内的发光不向放电管的后方照射，而是向照射方向被反射，因此能够降低放电管的光量损失。

另外，本发明的放电管的反射膜形成在玻璃球管的外周面的230°～290°的范围内。根据该结构，能够获得降低光量损失和照射不均双重效果

另外，本发明的放电管具有反射膜形成为至少50nm的厚度的区域。根据该结构，由于反射膜未被蒸镀成极端变薄，所以放电管内的发光不透过反射膜而是被反射，从而能够更加可靠地向放电管的光轴方向聚光。

另外，本发明的放电管的反射膜的膜厚形成为从未形成反射膜的开口部至后方变厚。若金属蒸镀膜的膜厚变厚，则金属特性(弹性模量)增加而容易从圆筒形的放电管剥落。另一方面，若放电管重复发光，则因热量或冲击导致金属粒子分散，从而逐渐变薄而透过光。因此，为了用作反射膜，需要具有一定以上的膜厚。因此，由于本发明的放电管形成为容易剥离的反射膜的开口部分变薄，所以反射膜不易剥离。另外，将光较多反射的放电管后方部分的反射膜厚形成得厚，所以即使金属粒子飞散，也能够防止反射率降低的情况。

另外，本发明的放电管在反射膜的表面形成有保护层。根据该结构，保护膜防止反射膜的变质和剥离，并且，在反射膜的开口部分还能够使透过保护膜的光的色温降低。

另外，本发明的放电管的保护层为金属薄膜。根据该结构，金属薄膜能够进一步防止反射膜的变质和剥离，在反射膜的开口部分还能够使透过金属薄膜的光的色温进一步降低。

进一步而言，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，通过至少从两个方向向玻璃球管的外表面蒸镀来自蒸镀源的金属而形成反射膜。根据该构成，由于能够以从不同的角度附着金属材料的方式进行蒸镀，所以能够在例如至少230°这种放电管的外周面的广阔的区域内获得足够的膜厚。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法包括：第一步骤，通过从蒸镀源向玻璃球管的外表面蒸镀金属而形成反射膜；第二步骤，在第一步骤之后，通过使玻璃球管与蒸镀源的相对位置变化并从蒸镀源向玻璃球管的外表面蒸镀金属而形成反射膜。根据该结构，也能够以从不同的角度附着金属材料的方式进行蒸镀，从而能够在例如至少230°这种放电管的外周面的广阔的区域内获得足够的膜厚。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，反射膜形成在玻璃球管的外周面的至少230°的范围内。根据该构成，放电管内的发光不会向放电管的后方照射，而是向照射方向被反射，从而能够降低放电管的光量损失。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，使玻璃球管与蒸镀源的相对位置沿玻璃球管的外周方向变化而进行蒸镀。根据该构成，在玻璃球管的外周面不再有相对于蒸镀源的阴面，并且，与前次蒸镀时的蒸镀范围的端部的部分重叠而附着金属粒子。因此，即使在反射膜的蒸镀角度大的情况下也能够获得必要的膜厚。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，第二步骤中的反射膜通过与在所述第一步骤形成的反射膜重叠地进行蒸镀而形成。根据该构成，即使在反射膜的蒸镀角度大的情况下也能够获得必要的膜厚。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，当在玻璃球管的外表面蒸镀金属时，使用掩模用夹具来设置未将金属蒸镀成膜的区域。根据该构成，由于通过掩模用夹具隐藏的部分未附着金属材料，所以即使放电管与蒸镀源的对置位置发生变化，也能够在需要反射膜的适合的区域蒸镀金属材料。

另外，本发明的放电管的反射膜形成方法构成为，在玻璃球管的前表面设置的反射部件在与玻璃球管的外周面密接的状态下用作掩模用夹具。根据该结构，能够更加简单地以适当的蒸镀角度来形成反射膜。而且，由于放电管与反射部件的间隙部分被蒸镀的金属材料所覆盖，所以放电管与反射部件不存在间隙，从而能够简单地获得光量损失少的高效的闪光灯装置。

而且，本发明的发光装置具有将上述放电管用于发光部的结构。根据该结构，由于通过反射膜使在放电管内发出的光不产生向后方照射的成分，从而能够获得小型且高效的发光装置。

另外，本发明的发光装置具有在放电管的前方设置有反射部件的结构。根据该结构，由于反射部件使向前方照射而散乱的光汇聚而提高发光效率，从而能够获得更高效的发光装置。

【产业上的可利用性】

由于本发明能够获得小型且光量损失少的高效的放电管，所以对于闪光灯装置、用于治疗、美容的发光装置等是有用的。

【符号说明】

1  真空蒸镀装置

2  玻璃球管

3  蒸镀夹具

4  真空腔室

5  摆动台

6  蒸镀源

7  基板

8  掩模用夹具

9  压板

10  安装部

11  螺钉

12  电极

13、13a  反射膜

13b  端部

14、15  外周面

16  重叠部分

17  闪光灯单元

18、19a  开口部

19  反射部件

20  光学面板

22  放电管

Claims (5)

1.一种放电管的反射膜形成方法，其通过从至少两个方向的蒸镀源向玻璃球管的外表面蒸镀金属而形成反射膜，其中，

当向所述玻璃球管的外表面蒸镀所述金属时，固定有所述玻璃球管的蒸镀夹具被安装成安装有所述蒸镀夹具的摆动台旋转的方向与所述玻璃球管的长度方向正交，进而，通过将设置在所述玻璃球管的前表面且使向前方照射而散乱的光汇聚的反射部件在与所述玻璃球管的外周面密接的状态下用作掩模用夹具，由此设置未将所述金属蒸镀成膜的区域。

2.一种放电管的反射膜形成方法，其包括：

第一步骤，其通过从蒸镀源向玻璃球管的外表面蒸镀金属而形成反射膜；第二步骤，在所述第一步骤之后，通过使所述玻璃球管与所述蒸镀源的相对位置变化而从所述蒸镀源向所述玻璃球管的外表面蒸镀金属，从而形成所述反射膜，

当向所述玻璃球管的外表面蒸镀所述金属时，固定有所述玻璃球管的蒸镀夹具被安装成安装有所述蒸镀夹具的摆动台旋转的方向与所述玻璃球管的长度方向正交，进而，通过将设置在所述玻璃球管的前表面且使向前方照射而散乱的光汇聚的反射部件在与所述玻璃球管的外周面密接的状态下用作掩模用夹具，由此设置未将所述金属蒸镀成膜的区域。

3.根据权利要求1或2所述的放电管的反射膜形成方法，其中，

所述反射膜形成在所述玻璃球管的外周面的至少230°的范围内。

4.根据权利要求2所述的放电管的反射膜形成方法，其中，

通过使所述玻璃球管与所述蒸镀源的相对位置沿所述玻璃球管的外周方向变化而进行蒸镀。

5.根据权利要求2所述的放电管的反射膜形成方法，其中，

通过与所述第一步骤中形成的所述反射膜重叠地进行蒸镀而形成所述第二步骤中的所述反射膜。

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