CN102282691A - 热电转换模块的制造方法 - Google Patents

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CN102282691A CN2010800045958A CN201080004595A CN102282691A CN 102282691 A CN102282691 A CN 102282691A CN 2010800045958 A CN2010800045958 A CN 2010800045958A CN 201080004595 A CN201080004595 A CN 201080004595A CN 102282691 A CN102282691 A CN 102282691A
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广山雄一
贞冈和男
泽边佳成
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    • H10N10/01—Manufacture or treatment

Abstract

提供一种能够进一步提高热电转换元件和电极之间的密接性的热电转换模块的制造方法。热电转换模块（1）的制造方法具备：将热电转换元件（10）和电极（6，8）通过对热电转换元件（10）进行电磁感应加热来进行接合的工序。

Description

热电转换模块的制造方法
技术领域
本发明涉及热电转换模块的制造方法。
背景技术
作为在制作热电转换模块时对电极和热电转换元件进行接合的方法，例如在专利文献1中记载有从基板的形成有电极的面的相反侧，使用被感应加热的夹具对基板上的电极和多个热电转换元件进行加热及加压的方法。
此外，在专利文献2中，公开了在电路基板上形成的金属电路与半导体元件之间设置含有强磁性材料的接合金属层，通过进行接合金属层的电磁感应加热，将半导体元件接合到电路基板上的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本实开平5-13660号公报；
专利文献2：日本特开2008-112955号公报。
发明内容
发明要解决的课题
可是，在专利文献1的方法中，热电转换元件和电极的密接性并不充分。此外，即使对热电转换模块应用专利文献2的方法，热电转换元件与电极的密接性也不充分。
因此本发明提供一种能够提高热电转换元件和电极之间的密接性的热电转换模块的制造方法。
用于解决课题的方案
本发明的热电转换模块的制造方法具备：将热电转换元件和电极通过对热电转换元件进行电磁感应加热来接合的工序。
根据本发明，通过对热电转换元件直接进行电磁感应加热，能够容易地使热电转换元件为高温，能够提高热电转换元件与电极之间的密接性。
在这里，优选热电转换元件含有铁磁性材料（ferromagnetic material）和/或亚铁磁性材料（ferrimagnetic material）。
由于铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的磁导率大，所以当进行电磁感应加热时，产生更多的热。因此，当热电转换元件含有铁磁性材料时，热电转换元件自身变得更容易发热，能够进一步提高热电转换元件和电极之间的密接性。
此外，在本发明的制造方法中，优选在使热电转换元件和电极接触的状态下，到电极表面的与热电转换元件的接触区域熔融为止对热电转换元件进行电磁感应加热。
通过到电极表面的与热电转换元件接合的区域熔融为止对热电转换元件进行电磁感应加热，从而能够进一步提高热电转换元件与电极之间的密接性。
此外，通过在热电转换元件和所述电极之间插入接合材料，对热电转换元件进行电磁感应加热，从而也能够经由接合材料对热电转换元件和电极进行接合，是优选的。
通过对热电转换元件进行电磁感应加热而从热电转换元件产生的热，对在热电转换元件和电极之间插入的接合材料进行熔融，由此能够进一步提高热电转换元件和接合材料之间的密接性。
此外，优选热电转换元件在热电转换元件的表面中的与电极相向的面具有金属层，该金属层含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。
通过接合在热电转换元件的表面中的与电极相向的面具有的金属层与电极，能够进一步提高热电转换元件和电极之间的密接性。此外，因为金属层包含铁磁性材料和/或亚铁磁性材料，所以在热电转换元件之外该金属层也通过电磁感应加热进行发热，能够进一步提高电极和热电转换元件之间的密接性。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种能够进一步提高热电转换元件和电极之间的密接性的热电转换模块的制造方法。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。
图2是本发明的第2实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。
图3是本发明的第3实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。
具体实施方式
以下，一边参照附图，一边针对本发明的优选实施方式详细地进行说明。再有，在附图的说明中，对同一或相当要素赋予同一符号，省略重复的说明。此外，各附图的尺寸比率并不一定与实际的尺寸比率一致。
首先，针对在本实施方式中制造的热电转换模块进行说明。
<第1实施方式>
（热电转换模块）
图1是在第1实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。在本实施方式中制造的热电转换模块1具备：第1基板2、第1电极8、作为热电转换元件10的p型热电转换元件3和n型热电转换元件4、第2电极6、以及第2基板7。p型热电转换元件3和n型热电转换元件4在第1基板2和第2基板7之间交替地排列而配置，并且它们的两面对于所对应的第1电极8和第2电极6的表面作为整体而被电串联连接。
第1基板2例如形成为矩形形状，电绝缘且具有导热性，覆盖多个热电转换元件10的一端。作为该第1基板的材料，例如举出氧化铝、氮化铝、氧化镁、碳化硅、氧化锆、莫来石等。
第1电极8对在第1基板2上设置的、相互邻接的热电转换元件10的一个端面彼此进行电连接。该第1电极8在第1基板2上的规定位置，例如能够使用溅射、蒸镀等的薄膜技术、丝网印刷、电镀、热喷涂等的方法来形成。此外，将规定形状的金属板等例如以软钎焊、硬钎焊等接合在第1基板2上也可。作为第1电极8的材料，只要是具有导电性的材料的话就不被特别限制，但从使电极的耐热性、耐蚀性、向热电转换元件的粘接性提高的观点出发，优选是将从包括钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、银、钯、金、钨以及铝的组中选择的至少1种元素作为主成分而包含的金属。在这里，主成分指的是在电极材料中含有50体积%以上的成分。
第2基板7例如形成为矩形形状，覆盖热电转换元件10的另一端侧。此外，第2基板7与第1基板2平行地相向配置。第2基板7与第1基板2同样地，只要是电绝缘性且具有导热性的材料的话就不被特别限制，例如能够使用氧化铝、氮化铝、氧化镁、碳化硅、氧化锆、莫来石等的材料。
第2电极6对相互邻接的热电转换元件10的另一端面彼此进行电连接，在第2基板7的下表面能够通过例如溅射、蒸镀等的薄膜技术、丝网印刷、电镀、热喷涂等的方法来形成。而且，通过该第2电极6和在热电转换元件10的下端面侧设置的第1电极8，热电转换元件10被电串联连接。
在热电转换元件10中存在p型热电转换元件3和n型热电转换元件4的2种。构成各热电转换元件10的材料只要是具有p型半导体或n型半导体的性质的材料的话就不被特别限定，能够使用金属、金属氧化物等的各种材料。具有半导体的性质的热电转换元件当赋予交流磁场时，产生电流，进行发热。在后述的热电转换模块的制造方法中，通过这样的作用，即通过对热电转换元件10进行“电磁感应加热”，从而直接加热热电转换元件，由此进行热电转换元件10在第1基板2上与第1电极8（以下，有时仅示为电极6、8。）的接合。从高效率地对热电转换元件进行电磁感应加热的观点出发，热电转换元件优选是电阻率或磁导率高的材料。
在这里，作为p型热电转换元件和n型热电转换元件的材料，举出下述材料。
例如，作为p型的材料，举出NaxCoO2(0<x<1)、Ca3Co4O9等的金属复合氧化物、MnSi1.73、Fe1-xMnxSi2、Si0.8Ge0.2：B(B掺杂Si0.8Ge0.2)、β-FeSi2等的硅化物、CoSb3、FeSb3、RFe3CoSb12(R表示La、Ce、或Yb)等的方钴矿、BiTeSb、PbTeSb、Bi2Te3、PbTe、Sb2Te3等的含有Te的合金、Zn4Sb3等｡
此外，作为n型的材料，例如举出SrTiO3、Zn1-xAlxO、CaMnO3、LaNiO3、BaTiO3、Ti1-xNbxO等的金属复合氧化物、Mg2Si、Fe1-xCoxSi2、Si0.8Ge0.2：P(P掺杂Si0.8Ge0.2)、β-FeSi2等的硅化物、CoSb3等的方钴矿、Ba8Al12Si30、Ba8AlxSi46 ― x、Ba8Al12Ge30、Ba8AlxGe46-x等的包合物、CaB6、SrB6、BaB6、CeB6等硼化合物、BiTeSb、PbTeSb、Bi2Te3、Sb2Te3、PbTe等的含有Te的合金、Zn4Sb3等。
当考虑在300°C以上使用热电转换模块的情况时，从耐热性和耐氧化性的观点出发，优选p型热电转换元件和n型热电转换元件在上述材料中作为主成分包含金属氧化物。此外，在金属氧化物中，作为p型的材料优选Ca3Co4O9，作为n型的材料优选CaMnO3。Ca3Co4O9和CaMnO3在高温下大气气氛中具有特别优越的耐氧化性，热电转换性能也高。
在后述的对热电转换元件和电极进行接合的工序中，从通过提高磁导率使热电转换元件10通过电磁感应加热更充分地变为高温的观点出发，优选热电转换元件10含有磁性材料和/或亚铁磁性材料。
作为铁磁性材料，举出铁、钴、镍、钆。此外，作为亚铁磁性材料，举出FeO･Fe2O3、MnO･Fe2O3、NiO･Fe2O3、CoO･Fe2O3、Y3Fe5O12(YIG)等。当考虑在300°C以上使用热电转换模块的情况时，从耐热性和耐氧化性的观点出发，优选铁磁性材料和/或亚铁磁性材料是氧化物。
热电转换元件10中的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的存在形态不被特别限定，在热电转换元件中被分散包含也可，在热电转换元件中或热电转换元件的侧面作为层而存在也可。此外，虽然热电转换元件中的铁磁性材料和亚铁磁性材料的浓度不被特别限定，但优选是10~50重量%。
接着，针对本实施方式的热电转换模块的制造方法进行详细叙述。
（热电转换模块的制造方法）
本实施方式的热电转换模块的制造方法具备：a）热电转换元件准备工序；b）电极形成工序；c）热电转换元件和电极的接合工序。
a）热电转换元件准备工序
准备将上述的材料作为构成成分的p型热电转换元件和n型热电转换元件。热电转换元件主体的形状不被特别限定，但例如举出图1所示那样的长方体等的6面体、圆板等。p型热电转换元件和n型热电转换元件的制造方法根据构成热电转换元件的材料而不同，但如果例如构成材料是合金的话，能够将合金的块体切割成所希望的形状，做成热电转换元件。此外，如果例如构成材料是金属氧化物的话，对包含构成金属氧化物的金属元素的化合物进行混合，在含氧的气氛下进行烧结，对获得的烧结体进行切割之后，做成所希望的形状，由此能够获得热电转换元件。
如上所述，优选在p型热电转换元件和n型热电转换元件的至少一方中含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。例如，将成为热电转换元件的原料的粉体、和粉体状的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料混合，在含氧气氛下或惰性气氛下进行烧结，对获得的烧结体进行切割之后，做成所希望的形状，由此能够获得含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的热电转换元件。此外，将包含铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的构成元素的、铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的原料与成为热电转换元件的原料的粉体混合，之后与上述同样地进行烧结等也可。此外，例如，使热电转换元件的原料层、与铁磁性材料和/或亚铁磁性材料层或其原料层层叠，在含氧气氛下或惰性气氛下进行烧结，由此也能够获得含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的层的热电转换元件。
b）电极形成工序
如图1所示，分别在第1基板2上形成第1电极8，在第2基板7上形成第2电极6。第1电极8和第2电极6在第1基板2和第2基板7的主面上，例如能够使用溅射、蒸镀等的薄膜技术、丝网印刷、电镀、热喷涂等的方法而分别形成。
c）热电转换元件和电极的接合工序
如图1所示，以在第1电极8和第2电极6上适当地配置所获得的热电转换元件10的方式，进行热电转换元件10的定位。然后，在第1电极8和第2电极6上配置热电转换元件10，进行热电转换元件10和电极6、8的接合。接合是通过电磁感应加热来进行的。具体地，例如将进行热电转换元件10与电极6、8的接合之前的热电转换模块1如图1所示那样配置在感应线圈5的内侧。当在感应线圈5中流过交流电流时，从感应线圈5产生的交流磁场被施加到热电转换元件10，热电转换元件10进行发热，由此第1电极6和第2电极8的与热电转换元件10相接的表面（接触区域）被加热，由此热电转换元件10和第1电极8及第2电极6被接合。根据这样的利用电磁感应加热的接合方法，与从基板的接合热电转换元件的面的相反侧对热电转换元件进行加热的方法、仅对接合材料进行感应加热的方法相比，电极和热电转换元件的接合变得强固。此外，通过热电转换元件10本身被直接感应加热，也能够使在热电转换元件10的制造过程中由于经过烧结、切割、研磨等的处理而在内部产生的残留应力、缺陷等减少。
如图1所示，作为用于对第1电极8和第2电极6和热电转换元件10进行接合的优选条件，优选将在感应线圈5中流过的交流电流的频率设为10k~1MHz左右。
在这里，在对热电转换元件10和第1电极8和第2电极6进行接合的情况下，优选到第1电极8和第2电极6的与热电转换元件10相接的面a1、b1熔融为止对热电转换元件10进行电磁感应加热。当将第1电极8及第2电极6的与热电转换元件10相接的面（接触区域）a1、b1加热到构成电极的材料的熔点以上时，电极和热电转换元件的密接性变得更充分。加热强度的调节例如能够对应于基板的材料的导热性、热电转换元件的材质和尺寸、构成电极的材料的熔点、感应线圈5的匝数等的各种条件，通过适宜地调整来自感应线圈5的输出和频率来进行。
<第2实施方式>
（热电转换模块）
接着，针对在第2实施方式中制造的热电转换模块的一例进行说明。图2是在第2实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。在本实施方式中制造的热电转换模块1中，在热电转换元件10和第1电极8及第2电极6之间，设置有接合材料9。接合材料9对热电转换元件10、第1电极8及第2电极6分别进行接合，将多个热电转换元件10电串联连接。作为接合材料9，例如举出AuSb、PbSb类的焊料、银膏等。优选该接合材料在热电转换模块使用时为固体。
（热电转换模块的制造方法）
在本实施方式的热电转换模块的制造方法中，在第1实施方式的制造方法中的电极和热电转换元件的接合工序之前，对第1电极8及第2电极6的表面、或热电转换元件10中的与电极6、8的相向面，预先使用溅射、蒸镀等的薄膜技术、丝网印刷、电镀、热喷涂等的方法，分别形成接合材料9即可。
然后，到接合材料9熔融为止对热电转换元件10进行电磁感应加热，对热电转换元件10和接合材料9进行接合，并且对接合材料9和第1电极8及第2电极6进行接合即可。通过到接合材料9熔融为止对热电转换元件进行加热，从而电极和热电转换元件通过接合材料以高密接性被接合。
<第3实施方式>
（热电转换模块）
接着，针对在第3实施方式中制造的热电转换模块的一例进行说明。图3是在第3实施方式中制造的热电转换模块1的一例的剖面图。在上下相向的第1基板2和第2基板7之间，交替地配置有多个p型热电转换元件13和n型热电转换元件14。在本实施方式中制造的热电转换模块中，p型热电转换元件13和n型热电转换元件14在p型热电转换元件主体3和n型热电转换元件主体4的上表面和底面，分别具有金属（金属化）层21。该金属层21为了提高接合材料9和热电转换元件10的接合性而设置。
金属层21的材质只要是金属、合金的话并不被特别限定，例如举出银、铜、铁、镍、锰、它们的合金。此外，优选在金属层21中包含上述的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。
（热电转换模块的制造方法）
在本实施方式的热电转换模块制造方法中，在第1实施方式的制造方法中的电极和热电转换元件的接合工序之前，对热电转换元件10中的与电极6、8的相向面，预先形成金属层21即可。
作为金属层21的形成方法，例如举出将金属化合物散布在加热到该化合物的分解温度以上的热电转换元件10主体的表面，该金属化合物将通过加热进行分解而生成金属的化合物作为主成分。以这样的方法形成的金属层21对于热电转换元件主体10具有高密接性，因此热电转换元件10和金属层21的接合强度变大，并且热电转换元件10主体和金属层21的接触电阻变低。
将通过加热进行分解而生成金属的化合物作为主成分的金属化合物不被特别限定。作为通过加热进行分解而生成金属的化合物，优选是在该化合物的熔点或升华点以下进行分解而生成金属的化合物。通过加热进行分解而生成金属的化合物，从热电转换元件10和金属层21的密接性的观点出发，优选是银化合物，更优选是Ag2O或Ag2CO3。此外，上述化合物是金属氧化物或金属碳酸盐也可，也优选是从由MnO3、FeCO3、Cu2CO3､NiCO3及MnCO3构成的组中选择的至少一种。由此，能够形成银、铜、铁、镍、锰或它们的合金的膜。特别优选铁、钴的膜是铁磁性材料，能够进行电磁感应加热。
此外，在通过加热进行分解而生成金属的化合物不是生成铁磁性材料、亚铁磁性材料的化合物的情况下，优选在上述通过加热进行分解而生成金属的化合物中添加在实施方式1中叙述的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。这样的混合物进行分解而生成的金属具有强磁性或亚铁磁性，因此优选。
当考虑在300°C以上使用热电转换模块的情况时，从耐热性和耐氧化性的观点出发，优选在金属层中含有的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料是氧化物。
在金属层21包含作为氧化物的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的情况下，作为氧化物的铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的含有量将金属层整体作为基准，优选是10~50重量%。
金属层21的形成方法不限定于上述的形成方法。例如，在热电转换元件主体的表面中的与电极的接合面，通过电镀法、热喷涂、蒸镀、放电等离子体烧结法等，能够形成所希望的金属层、或者包含铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的金属层。
如图3所示，在热电转换元件11在热电转换元件主体10的表面具备上述金属层21的情况下，也能够通过电磁感应加热对热电转换元件主体10直接加热，由此，金属层21、电极6、8被加热，能够进行热电转换元件11和电极6、8的接合。此外，在金属层21包含铁磁性材料和/或亚铁磁性材料的情况下，能够进一步直接对金属层21进行加热，因此是很适宜的。在这里，优选到金属层21、电极7、8的表面熔融为止进行电磁感应加热。由此，能够使热电转换元件11和第1电极8及第2电极6的密接性进一步强固。再有，在热电转换元件11和第1电极8及第2电极6之间插入有接合材料9的情况下，也能够通过同样的电磁感应加热使接合材料9充分熔融，能够使热电转换元件11和第1电极8及第2电极6的密接性进一步强固。
再有，本发明的热电转换模块的制造方法及通过该制造方法制造的热电转换模块并不限于上述的实施方式，能够有各种各样的变形形态。例如，没有图1~图3所示那样的热电转换模块1的彼此相向的1对基板2、7，代替地具备用于以插入多个热电转换元件10之间对各热电转换元件10的高度方向的中央部进行包围的方式进行保持、使各个热电转换元件固定在适合的位置的支承框的、所谓框架型的热电转换模块也可。
附图标记说明
1 热电转换模块；2 第1基板；3、13 p型热电转换元件；4、14 n型热电转换元件；6 第2电极；7 第2基板；8 第1电极；9 接合材料；10、11 热电转换元件；a1、a3 第1电极8的与热电转换元件的相向面；b1、b3 第2电极6的与热电转换元件的相向面。

Claims (5)

1.一种热电转换模块的制造方法，其中，具备：将热电转换元件和电极通过对所述热电转换元件进行电磁感应加热来接合的工序。
2.根据权利要求1所述的热电转换模块的制造方法，其中，所述热电转换元件含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。
3.根据权利要求1或2所述的热电转换模块的制造方法，其中，在使所述热电转换元件和所述电极接触的状态下，到所述电极的表面中的与所述热电转换元件的接触区域熔融为止，对所述热电转换元件进行电磁感应加热。
4.根据权利要求1或2所述的热电转换模块的制造方法，其中，在所述热电转换元件和所述电极之间插入接合材料，对所述热电转换元件进行电磁感应加热，由此经由所述接合材料对所述热电转换元件和所述电极进行接合。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的热电转换模块的制造方法，其中，所述热电转换元件在所述热电转换元件的表面中的与所述电极相向的面具有金属层，所述金属层含有铁磁性材料和/或亚铁磁性材料。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010212579A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Atsumi Tec:Kk 熱電変換素子の製造方法
US9082928B2 (en) 2010-12-09 2015-07-14 Brian Isaac Ashkenazi Next generation thermoelectric device designs and methods of using same
DE102012209619A1 (de) * 2012-06-08 2013-12-12 Robert Bosch Gmbh Thermoelektrisches Element zur Umwandlung von Energie zwischen thermischer Energie und elektrischer Energie und ein Verfahren zum Auseinanderbauen des thermoelektrischen Elements
JP6162423B2 (ja) * 2013-02-14 2017-07-12 古河電気工業株式会社 熱電変換素子
US9644769B1 (en) 2013-03-20 2017-05-09 Paul Po Cheng System and method for welding tubular workpieces
US10288193B2 (en) 2017-01-25 2019-05-14 Paul Po Cheng Method and system for forming a pipeline
KR20180114694A (ko) 2017-04-11 2018-10-19 한국에너지기술연구원 스커테루다이트 열전소재의 Fe-Ni/Ti 메탈라이징 방법, 스커테루다이트 열전소재용 Fe-Ni/Ti 다층 메탈라이징 구조, Fe-Ni/Ti 메탈라이징 처리된 스커테루다이트 열전소재 및 이의 제조방법
JP6839690B2 (ja) * 2018-09-27 2021-03-10 アイシン高丘株式会社 熱電モジュールの製造方法
US11413699B2 (en) 2019-08-21 2022-08-16 Paul Po Cheng Method and system for fusing pipe segments
US11597032B2 (en) 2020-03-17 2023-03-07 Paul Po Cheng Method and system for modifying metal objects

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513660U (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 三菱重工業株式会社 熱電変換モジユール接合装置
JP2004186566A (ja) * 2002-12-05 2004-07-02 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 熱電変換モジュールの組立方法
JP2006080432A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Canon Inc 実装基板の接合方法
JP2008112955A (ja) * 2006-10-06 2008-05-15 Toyota Industries Corp 半導体装置、金属接合材料、半田付け方法及び電子機器の製造方法
JP2008141188A (ja) * 2006-11-06 2008-06-19 Toyota Industries Corp 電子部品の接合方法及び電子機器の製造方法
CN101267013A (zh) * 2008-04-30 2008-09-17 晶能光电（江西）有限公司 半导体外延片的压焊结构

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009038323A (ja) * 2007-08-05 2009-02-19 Osamu Yamashita 熱電変換素子の製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513660U (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 三菱重工業株式会社 熱電変換モジユール接合装置
JP2004186566A (ja) * 2002-12-05 2004-07-02 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 熱電変換モジュールの組立方法
JP2006080432A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Canon Inc 実装基板の接合方法
JP2008112955A (ja) * 2006-10-06 2008-05-15 Toyota Industries Corp 半導体装置、金属接合材料、半田付け方法及び電子機器の製造方法
JP2008141188A (ja) * 2006-11-06 2008-06-19 Toyota Industries Corp 電子部品の接合方法及び電子機器の製造方法
CN101267013A (zh) * 2008-04-30 2008-09-17 晶能光电（江西）有限公司 半导体外延片的压焊结构

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