CN102279356A - 集成电路测试方法 - Google Patents

Abstract

一集成电路测试方法，包括提供一具有一电压供应器以及一多个控制通道的集成电路测试系统。一第一开关元件连接于电压供应器和一第一集成电路之间，且一第二开关元件连接于电压供应器以及第二集成电路之间。开关元件例如可包括电磁继电器。此继电器可由相对应的测试系统控制通道作控制，选择性地提供电源至每一集成电路。

Description

集成电路测试方法

技术领域

本发明是有关于一种集成电路的测试，且特别是有关于一种存储元件的测试。

背景技术

集成电路的制造有关于由一系列的制造步骤对一芯片进行处理以在芯片上制造出多个集成电路。一旦芯片制程完成，芯片即被切割成个别的集成电路，接着这些个别的集成电路会再经过不同的焊线接合以及封装步骤。然而在这些集成电路使用前，希望能够先测试这些集成电路的操作。在一些案例中，集成电路可在芯片切割前先作测试。或者，集成电路可在焊线接合及封装步骤之后作测试。一般来说，作这些测试是为了验证集成电路不同的电性。这些从测试得到的信息可以输入到计算机中，由计算机将这些测试结果与储存于存储器中的信息进行比较，并且对于集成电路的可接受度提出判定结果。

市场上可取得的自动测试设备(Automatic test equipment，ATE)是用来执行集成电路自动测试的设备。举例来说，一广为人知的ATE例子为一名称为“Kalos 1”，的集成电路的芯片测试机台，由Credence SystemsCorporation贩卖制造。Kalos 1设计用来测试闪存。Kalos 1包括一个探针卡，此探针卡包括16个测试位置，给每一测试元件(DUT)使用。

由于集成电路为单独测试，此测试为一消耗时间的过程。故而在测试过程的效能改进上，已经投入相当多的努力。尽管如此，在集成电路的测试效能上仍须要有更进一步的改善。

发明内容

本揭露书是有关于装置的测试方法及装置。根据本揭露书的一方面，提出一种测试多个集成电路的方法，此测试多个集成电路的方法包括使用一集成电路测试系统，此集成电路测试系统包括一电压供应器以及多个通讯信道。此测试多个集成电路的方法还包括使用选择通讯信道来当作控制通道。第一开关元件连接于电压供应器以及欲作测试的第一集成电路之间，第二开关元件连接于电压供应器以及欲作测试的第二集成电路之间。其它欲作测试的集成电路直至一预定数目的集成电路，皆可依此方式使用对应的开关元件作连接。接着，此方法包括使用多个已被指定为控制通道的通讯信道来分别地控制此些开关元件。

上述揭露的方法包括使用已知的集成电路设试系统，例如是Kalos 1测试系统。

在一些实施例中，此些开关元件可以包括多个继电器或多个其它的电性可控制开关元件。通过此些继电器或其它开关元件可包括各自的控制端，以从各自的控制通道接收控制讯号。此外，在一些实施例中，此方法可包括使用电流定位器，使电流定位器位于电压供应器和一或多个预作测试的集成电路之间。

根据本揭露书的另一方面，提出一种测试多个集成电路的装置，此测试集成电路的装置包括一集成电路测试系统，此集成电路测试系统包括电压供应器以及多个通讯信道。此些通讯信道包括被分别指定为控制通道的通讯信道。此装置还包括一扩展系统。通过此扩展系统包括连接于测试系统的电压供应器以及欲作测试的多个集成电路之间的多个开关元件。此些被指定为控制通道的通讯信道分别被配置用以控制开关元件。

在一些实施例中，集成电路测试系统可包括Kalos 1测试系统。

在一些实施例中，此些开关元件可包括多个继电器或多个其它电性可控制开关元件。此些继电器或其它开关元件可包括各自的控制端，以从各自的控制通道接收控制讯号。此外，在一些实施例中，电流定位器可连接于电压供应器以及一或多个预作测试的集成电路之间。

附图说明

图1绘示一集成电路测试系统的部分方块图。

图2绘示根据本揭露书所揭露的一实施例的扩展系统的方块图。

图3绘示图2所示的扩展系统的另一区块图。

【主要元件符号说明】

1：输入端

2：输出端

100：集成电路测试系统

102：测试器

104：多任务器

106：探针卡

200：扩展系统

210-217：继电器

220、221：电流定位器

CC0-CC7：控制通道

CH0-CHn：通讯信道

DPS0-DPS7：分布式电源供应点

DUT0-DUT7：测试元件

P1：控制端点

P2：控制接地端点

S0-S15：测试点

VCC0：第一电源供应器

VCC1：第二电源供应器

具体实施方式

为让本揭露书的上述内容以及其它方面能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

图1所示为一集成电路测试系统100的部分区块图。集成电路测试系统100包括商用测试系统，例如Kalos 1。集成电路测试系统100可以允许一限制数目的测试元件的平行测试。集成电路测试系统100包括一测试器102、一多任务器104、以及一探针卡106。在一些实施例中，测试器102及多任务器104之一或两者可实际上整合到探针卡106。探针卡106包括多个测试点S0-S15，每一测试点S0-S15皆可独立测试一各自的集成电路(测试元件)。特别的是，如图1所示的一实施例中，总共有16测试点S0-S15。测试点S0-S15可和各自的测试元件电性连接，例如是通过各自的接触图案，以允许多个测试元件的平行测试。

探针卡106经配置以与一集成电路连接，并且依照来自测试器102的讯息执行一些测试以验证不同的集成电路电性。集成电路测试系统100包括多个编程属性，此些编程属性允许终端使用者在改变集成电路测试系统100于不同的测试上有某种程度上的灵活性。举例来说，测试器102和测试点S0-S15间的通讯可由多个通讯信道CH0-CHn作执行，其中n表示一个整体通道数目的数值，在不同的实施例中可作变换。多任务器104将这些通道分配至测试点S0-S15通道。集成电路测试系统100更可以包括多个本领域中所熟知的附加元件以和多个集成电路测试系统作联系。

本揭露书提供一扩展系统，此扩展系统可增加现行测试系统的测试能力，例如集成电路测试系统100。于此所揭露的扩展系统特别适合于扩增Kalos 1测试机台的产量；然而，扩展系统经改变后的其它实施例可适用于其它集成电路测试系统。

图2绘示根据本揭露书一实施例的一扩展系统200的区块图。扩展系统200包括多个电性操作开关，例如继电器210-217。第一组继电器210到213为电性连接至第一测试系统电源供应器VCC0。第二组继电器214到217为电性连接至第二测试系统电源供应器VCC1。

扩展系统200通过使用继电器210-217，将两个测试系统电源供应器VCC0和VCC1区隔成八个分布式电源供应点DPS0-DPS7。继电器210-217由集成电路测试系统100所控制。具体而言，每一继电器210-217分别由控制通道CC0-CC7其中之一所控制。控制通道CC0-CC7可以是集成电路测试系统100的通讯信道CH0-CHn中的任意所想要的通道。

继电器210-217可以是电磁继电器，且其包括一电磁铁以操作开关机制。每一电磁铁包括控制端P1以及控制接地端P2。第一继电器210的控制端P1连接至第一控制通道CC0。第二继电器211的控制端P1连接至第二控制通道CC1。第三继电器212的控制端P1连接至第三控制通道CC2。第四继电器213的控制端P1连接至第四控制通道CC3。第五继电器214的控制端P1连接至第一控制通道CC4。第六继电器215的控制端P1连接至第一控制通道CC5。第七继电器216的控制端P1连接至第七控制通道CC6。第八继电器217的控制端P1连接至第八控制通道CC7。故而每一继电器210-217得以连接以接收这些分别来自于控制通道CC0-CC7的控制讯号。每一继电器210-217的控制接地端P2为接地。

每一继电器210-217包括一输入端1以及一输出端2。每一继电器210-217包括一各自的开关元件，用以控制一位于输入端1以及输出端2的电性连接件，使其开启或关闭。每一第一继电器到第四继电器210-213的输入端1得以连接以从第一电源供应器VCC0接收电源。每一第五继电器到第八继电器214-217的输入端1连接以从第二电源供应器VCC1接收电源。

第一继电器210的开关元件的导通状态或截止状态由第一控制通道CC0所控制，开关元件导通时，输入端1和输出端2为相连接，开关元件截止时，输入端1和输出端2为不相连接。举例来说，在第一控制通道CC0给出一高位阶控制讯号时，例如是3.3伏特或5伏特，第一继电器210为导通；而第一控制通道CC0给出一低位阶控制讯号时，例如是0伏特，第一继电器210为截止。当第一继电器210导通时，第一电源供应器VCC0的电源被提供至端点2，此电源再由端点2提供至第一分布式电源供应点DPS0。当第一继电器210截止时，第一电源供应器VCC0的电源和端点2为不相连接。

第二继电器到第八继电器211-217各自的开关元件类似地由其各自的控制通道CC1-CC7所控制。第二控制通道CC1可控制是否将第一电源供应器VCC0的电源提供至第二分布式电源供应点DPS1。第三控制通道CC2可控制是否将第一电源供应器VCC0的电源提供至第三分布式电源供应点DPS2。第四控制通道CC3可控制是否将第一电源供应器VCC0的电源提供至第四分布式电源供应点DPS3。第五控制通道CC4可控制是否将第二电源供应器VCC1的电源提供至第五分布式电源供应点DPS4。第六控制通道CC5可控制是否将第二电源供应器VCC1的电源提供至第六分布式电源供应点DPS5。第七控制通道CC6可控制是否将第二电源供应器VCC1的电源提供至第七分布式电源供应点DPS6。第八控制通道CC7可控制是否将第二电源供应器VCC1的电源提供至第八分布式电源供应点DPS7。

在一些实施例中，更可包含额外的电路，用以控制从电源供应器VCC0和VCC1提供至分布式电源供应点DPS0-DPS7的电源的特性，。举例来说，可提供一第一电流定位器220于第一电源供应器VCC0和第一组继电器210-213之间；提供一第二电流定位器221于第二电源供应器VCC1和第二组继电器214-217之间。在一些实施例中，第一电流定位器220和第二电流定位器221可以限制电流不超过500毫安。第一电流定位器220和第二电流定位器221包括防止电流尖波的电路或其它限制流入分布式电源供应点DPS0-DPS7的电流大小。此外，也可分别提供电流定位器于每一继电器210-217和各自相对应的分布式电源供应点DPS0-DPS7之间。

图3绘示根据本揭露书一实施例的另一扩展系统200的区块图。如图3所示，每一继电器210-217可得以连接以选择性地提供电源至一各自的测试元件DUT。第一继电器210可选择性地提供第一电源供应器VCC0的电源至第一测试元件DUT0。第二继电器211可选择性地提供第一电源供应器VCC0的电源至第二测试元件DUT1。第三继电器212可选择性地提供第一电源供应器VCC0的电源至第三测试元件DUT2。第四继电器213可选择性地提供第一电源供应器VCC0的电源至第四测试元件DUT3。第五继电器214可选择性地提供第二电源供应器VCC1的电源至第五测试元件DUT4。第六继电器215可选择性地提供第二电源供应器VCC1的电源至第六测试元件DUT5。第七继电器216可选择性地提供第二电源供应器VCC1的电源至第七测试元件DUT6。第八继电器217可选择性地提供第二电源供应器VCC1的电源至第八测试元件DUT7。每一测试元件包含一各自的集成电路。举例来说，每一测试元件包括一各自的闪存元件。

所以，扩展系统200可使得每一测试点S0-S15能测试八个集成电路。因此，扩展系统200能扩展集成电路测试系统100的处理量，让集成电路测试系统100具有16个测试点S0-S15，以测试128个测试元件。

综上所述，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定的为准。

Claims (14)

1.一种测试多个集成电路的方法，其特征在于，该些集成电路包括一第一集成电路以及一第二集成电路，该方法包括：

选择一第一通讯信道成为一第一控制通道，以及一第二通讯信道成为一第二控制通道，其中该第一通讯信道和该第二通讯信道为一集成电路测试系统的通讯信道，该集成电路测试系统包括一电压供应器通道；

连接一第一开关元件于该电压供应器以及该第一集成电路之间；

连接一第二开关元件于该电压供应器以及该第二集成电路之间；以及

使用该第一控制通道和该第二控制通道分别控制该第一开关元件和该第二开关元件。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该集成电路测试系统包括一Kalos 1测试系统。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该第一开关元件包括一第一继电器。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，该第一继电器包括一第一控制端点，以通过该第一控制通道接收一第一控制讯号。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，该第二开关元件包括一第二继电器。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，该第二继电器包括一第二控制端点，以通过该第二控制通道接收一第二控制讯号。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：连接一电流定位器于该电压供应器以及该第一集成电路和该第二集成电路中至少一者之间。

8.一种测试多个集成电路的装置，其特征在于，该些集成电路包括一第一集成电路以及一第二集成电路，该装置包括：

一集成电路测试系统，包括一电压供应器以及多个通讯信道，该些通讯信道包括一被指定为第一控制通道的第一通讯信道以及一被指定为第二控制通道的第二通讯信道；以及

一扩展系统，包括：

一第一开关元件，该第一开关元件电性连接于该电压供应器以及该第一集成电路之间；以及

一第二开关元件，该第二开关元件电性连接于该电压供应器以及该第二集成电路之间，

其中该第一开关元件以及该第二开关元件被配置，以分别由该第一控制通道以及该第二控制通道所控制。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，该集成电路测试系统包括一Kalos 1测试系统。

10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，该第一开关元件包括一第一继电器。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，该第一继电器包括一第一控制端点，以通过该第一控制通道接收一第一控制讯号。

12.如权利要求11所述的装置，其特征在于，该第二开关元件包括一第二继电器。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该第二继电器包括一第二控制端点，以通过该第二控制通道接收一第二控制讯号。

14.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括一电流定位器，该电流定位器连接于该电压供应器以及该第一集成电路和该第二集成电路中至少一者之间。

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