CN102272570A - 泄漏探测方法 - Google Patents

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Abstract

泄漏探测方法设计为，以测试气体填充的试样(24)被设置在抽吸开口(11)之前。所吸取的空气沿着试样的表面扫过并且在泄漏的情况下吸收测试气体。测试气体被测试气体探测器(17，17a)识别。本发明保证在检查过程期间试样(24)的完全可运动性，使得也可以在试样运动经过抽吸开口期间执行检查。

Description

泄漏探测方法
本发明涉及一种泄漏探测方法，其中将填充以测试气体的试样暴露于气流并且检查气流或其部分气流是否存在测试气体。
公开了用于泄漏探测的方法，其中试样即要检查泄漏的对象填充有测试气体。试样置于密封室中，该室被运载气体流通。运载气体从该室离开之后被检查是否存在测试气体。这种方法在WO 2005/054806 A1(Sensistor Technologies AB)中予以描述。该方法要求将试样引入可封闭的室中，该室的内部空间与大气隔离。
在JP 2005-121481(电装)中描述了一种泄漏探测方法，其中试样被插入室中，该室具有楔形形状，其中楔形尖端与抽吸装置相连，而厚的端部对大气敞开并且仅以过滤器覆盖。通过过滤器吸取空气，该空气沿着试样流动。从试样内部渗到外部的测试气体借助测试气体探测器来识别，向该测试气体探测器输送从该室吸出的气体的部分气流。
已知的泄漏探测方法的前提条件在于存在围绕对象的室，该室对周围环境以压力密封的方式封闭或者与周围环境形成气动连接。无论如何都需要一空间来容纳试样。
此外，公开了嗅探检漏器，其适于检查未被包覆的试样。这种嗅探检漏器具有棒状的薄探头，通过该探头吸入周围气体。探头与测试气体探测器相连，该测试气体探测器能够在被吸取的气体中确定测试气体的存在。这种嗅探检漏器必然具有狭窄受限的空间探测范围。该嗅探检漏器不仅用于探测泄漏的存在而且也能够辨别泄漏的位置。在识别泄漏时，泄漏的位置通过如下位置来确定，在泄漏识别时探头尖端占据该位置。因此根据该泄漏探测方法的特性，该嗅探检漏器的空间探测范围非常受限。
本发明所基于的任务是提出一种泄漏探测方法，其能够实现泄漏探测而对试样的运动能力无任何限制并且无需包覆。
根据本发明的泄漏探测方法通过权利要求1来限定。其特征在于，仅仅通过抽吸将在周围大气中的气流基本上沿着未被包覆的试样的整个表面以未偏转的气流的形式引导。
“未偏转的气流”意味着：气流仅仅通过抽吸而沿着试样的表面运动，而不受导向板或类似的导向装置影响。试样24的表面可以在所有位置自由接近。
根据本发明，试样在无任何包覆的情况下暴露于气流，其被吸入到大尺寸的抽吸开口中。抽吸开口具有大于试样的最大尺寸的5％的直径。通过大的抽吸开口保证了，所吸取的气流基本上扫过试样的整个外表面，使得可以探测在试样上在任何位置上存在的泄漏，而不定位在试样上的泄露的位置。
本发明尤其也适于对可运动的试样进行泄漏检查。其能够实现如在大规模制造中所制造的行经的产品在其运动期间被检查。这种产品例如是泵或者容器，其填充以测试气体、尤其是过压下的氦气。根据本发明的方法对这些产品在整体上就泄漏进行检查。
根据本发明的方法也能够实现对制造设备的整个区域在整体上进行检查在试样上是否存在泄露，而不包覆相应的测试区域。
测试气体探测可以对整个气流进行或者对其部分气流进行。如果部分气流从气流分支，则该部分气流可以输送给质谱仪或者选择性地对测试气体起反应的石英窗传感器。
气流具有比较高的为每秒至少100标准立方厘米的流率并且尤其是每秒至少1标准升的流率。抽吸管的直径相应地大，其为至少5cm，尤其是为至少10cm。
在下文中，参照附图进一步阐述了本发明的实施例。
其中：
图1示出了泄漏探测方法的第一实施形式的示意图，以及
图2示出了泄漏探测方法的第二实施形式的示意图。
在根据图1的方法中，抽吸管10设置有相对大的直径。该直径为至少5cm，尤其是至少10cm。外部空气通过在抽吸管10的端部上的抽吸开口11被吸取，这通过箭头12来阐明。外部空气在没有任何空气导向装置的情况下被吸取，使得其不仅轴向地被吸入抽吸管中，而且带有侧向分量，如箭头12所示。
抽吸管的下游侧的端部13通过柔性的软管14与输送单元15相连，输送单元驱动气流16。
沿着气流16的路线设置有部分气流提取部位1、2和3，测试气体探测器17可以分别连接到部分气流提取部位上。这种测试气体探测器17在部分气流提取部位2上示出。测试气体探测器17具有质谱仪18，其与真空泵19相连。测试气体探测器17的入口20与部分气流提取部位连接。
部分气流提取部位1处于抽吸管10上，部分气流提取部位2处于软管14上并且在输送单元15之前，并且部分气流提取部位3处于输送单元15之后。
此外在图1中示出了测试气体探测器17a，其构建为石英窗探测器。这种石英窗探测器在DE 100 31 882 A1中进行描述。该石英窗探测器具有壳体21，其用隔膜22闭合。隔膜22对于测试气体例如氦气是选择性地透过的。在壳体21的内部中存在压力传感器。气体流沿着隔膜22流动。当在气流中存在测试气体时，测试气体穿过隔膜22渗入壳体21中。在此，压力升高，这在测量设备上显示。石英窗传感器对其功能而言在试样的区域中不需要真空。
试样24处于抽吸开口11之前的围绕的大气中，使得其整个表面暴露于气流。试样填充以测试气体(氦气)。在存在泄漏时，测试气体渗入气流中并且被气流带走。
为了试样的整个表面被气流扫过，抽吸开口11的横截面应为试样至抽吸开口的平面上的投影面的至少10％。尤其是，其应为投影面的至少20％。
检查可以以如下方式进行：试样24连续地或断续地沿着抽吸开口11运动。根据本发明的方法因此适于连续生产或大规模生产。也存在如下可能性：对试样的整个区域或积聚检查是否存在泄漏，其方式是使抽吸管10靠近试样。柔性的软管14能够实现这。
在图2的实施例中，输送单元15以通风机形式设置在抽吸管10的内部中。如在第一实施例中那样的软管并不存在。测试气体探测器17a可以连接到抽取部位1、2之一。在图2中示出了石英窗传感器，然而也可以使用质谱仪式传感器。部分气流提取部位1、2可以设置在输送单元15之前或之后。
也存在围绕抽吸开口设置凸缘的可能性。
本发明能够实现在探漏时的高度灵活性。本发明主要用于单纯的探漏，而不对试样上的泄漏进行定位。

Claims (14)

1.一种泄漏探测方法，其中将以测试气体填充的试样(24)暴露于气流，并且对气流(16)或其部分气流检查是否存在测试气体，其特征在于，在周围大气中，气流仅仅通过抽吸以未偏转的流动的形式基本上沿着未包覆的试样的整个表面来引导。
2.根据权利要求1所述的泄漏探测方法，其特征在于，试样(24)定位在抽吸管(10)的抽吸开口(11)之前，该抽吸管将来自地球大气且经过试样的空气抽吸。
3.根据权利要求1或2所述的泄漏探测方法，其特征在于，抽吸开口(11)的横截面为试样至抽吸开口的平面上的投影面的至少10％。
4.根据权利要求1至3之一所述的泄漏探测方法，其特征在于，从试样(24)之后的气流(16)中分支出部分气流，该部分气流被输送给测试气体探测器(17，17a)。
5.根据权利要求4所述的泄漏探测方法，其特征在于，在抽吸管中在流动方向上气体涡流在分支气流的分支之前进行。
6.根据权利要求4所述的泄漏探测方法，其特征在于，部分气流居中地在抽吸管(10)的中部提取。
7.根据权利要求4所述的泄漏探测方法，其特征在于，部分气流在抽吸管的横截面的多个部位上被提取。
8.根据权利要求4所述的泄漏探测方法，其特征在于，将质谱仪用作测试气体探测器(17)。
9.根据权利要求1至8之一所述的泄漏探测方法，其特征在于，石英窗传感器用作测试气体探测器(17a)。
10.根据权利要求2所述的泄漏探测方法，其特征在于，使用具有至少2cm的净直径的抽吸管(10)。
11.根据权利要求10所述的泄漏探测方法，其特征在于，使用具有至少5cm的净直径的抽吸管(10)。
12.根据权利要求1至11之一所述的泄漏探测方法，其特征在于，气流(16)为每秒至少100标准立方厘米。
13.根据权利要求12所述的泄漏探测方法，其特征在于，气流为每秒至少1标准升。
14.根据权利要求1至13之一所述的泄漏探测方法，其特征在于，试样(24)连续地或者断续地运动经过抽吸开口(11)。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104884923A (zh) * 2012-11-09 2015-09-02 英福康有限责任公司 泄漏检测器

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009059824A1 (de) 2009-12-21 2011-06-22 Inficon GmbH, 50968 Verfahren und Vorrichtung zur Leckbestimmung
US9038441B2 (en) * 2012-01-20 2015-05-26 TLI Enterprises, Inc. High speed helium leak detection system and method
US9032780B2 (en) * 2012-03-28 2015-05-19 Honeywell International Inc. Detector with interchangeable sample probes
DE102013217279A1 (de) * 2013-08-29 2015-03-05 Inficon Gmbh Selbstreinigender Partikelfilter in einer Schnüffelsonde
DE102013021313A1 (de) * 2013-12-17 2015-06-18 Robert Brockmann Schnüffelsonde mit einer Fremdgasbarriere
WO2016130119A1 (en) 2015-02-11 2016-08-18 Lone Star Leak Detection, Llc Liquid level monitoring for reservoirs
JP6534627B2 (ja) 2016-03-15 2019-06-26 日揮株式会社 被検査容器の漏洩検査方法、及び漏洩検査装置
DE102017007149A1 (de) * 2017-07-27 2019-01-31 DILO Armaturen und Anlagenbau GmbH Verfahren zur Lokalisierung von Leckstellen
DE102021119256A1 (de) * 2021-07-26 2023-01-26 Inficon Gmbh Leckdetektoren

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3757587A (en) * 1969-05-06 1973-09-11 Schwarzkopf Gmbh Hans Device for testing the tightness of containers
US4601194A (en) * 1983-01-18 1986-07-22 Damco Testers, Inc. Method and apparatus for leak testing of pipe
US6314793B1 (en) * 1999-09-28 2001-11-13 Gas Research Institute Test device for measuring chemical emissions
JP2005121481A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Denso Corp 気密漏れ検査方法及び装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1138254B (de) * 1960-02-18 1962-10-18 Kernreaktor Bau Und Betr S Ges Lecksuchroehre nach dem Massenspektrometerprinzip
US3837228A (en) 1973-04-09 1974-09-24 Vacuum Inst Corp Tracer gas-permeable probe for leak detectors
US4459844A (en) * 1982-06-17 1984-07-17 Smith & Denison Gas separation chamber and portable leak detection system
JPS6336128A (ja) * 1986-07-31 1988-02-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス封入機器の漏洩検査装置
JPH0737912B2 (ja) * 1987-09-22 1995-04-26 食品産業オンラインセンサー技術研究組合 窒素ガス充填包装体におけるリークの検査方法
DE58906917D1 (de) * 1989-12-15 1994-03-17 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung.
DE4326265A1 (de) * 1993-08-05 1995-02-09 Leybold Ag Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
US5417105A (en) 1994-02-18 1995-05-23 Hughes Aircraft Company Flow accelerator for leak detector probe
US5563335A (en) 1995-02-28 1996-10-08 Gas Research Institute High flow rate sampler for measuring emissions at process components
US5537879A (en) 1995-08-02 1996-07-23 Praxair Technology, Inc. Particle sampling system for gas supply system
GB9913443D0 (en) 1999-06-09 1999-08-11 Air Dispersions Ltd Sampling devices
DE10031882A1 (de) 2000-06-30 2002-01-10 Leybold Vakuum Gmbh Sensor für Helium oder Wasserstoff
DE10110987B4 (de) * 2001-03-07 2005-09-22 Wöhler Meßgeräte Kehrgeräte GmbH Verfahren für die Bestimmung einer Leckrate
US6619103B1 (en) * 2002-02-25 2003-09-16 Advanced Test Products, Inc. Sample flow path assembly for electronic gas leak detectors
WO2004111598A1 (en) * 2003-06-11 2004-12-23 Varian, Inc. Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles
DE602004013199T2 (de) 2003-12-05 2009-07-09 Adixen Sensistor Ab System und verfahren zur bestimmung der lecksicherheit eines objekts
DE102005021909A1 (de) 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor
US7743670B2 (en) * 2006-08-14 2010-06-29 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for gas flow measurement
DE102006056215A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
US7905132B1 (en) * 2007-08-14 2011-03-15 LACO Technologies, Inc. Leak testing using tracer gas permeable membrane

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3757587A (en) * 1969-05-06 1973-09-11 Schwarzkopf Gmbh Hans Device for testing the tightness of containers
US4601194A (en) * 1983-01-18 1986-07-22 Damco Testers, Inc. Method and apparatus for leak testing of pipe
US6314793B1 (en) * 1999-09-28 2001-11-13 Gas Research Institute Test device for measuring chemical emissions
JP2005121481A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Denso Corp 気密漏れ検査方法及び装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
唐月生等: "一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究", 《仪器仪表学报》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104884923A (zh) * 2012-11-09 2015-09-02 英福康有限责任公司 泄漏检测器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2373969A1 (de) 2011-10-12
DE102009004363A1 (de) 2010-07-15
CN102272570B (zh) 2014-10-08
US20110283769A1 (en) 2011-11-24
WO2010079055A1 (de) 2010-07-15
DE102009004363B4 (de) 2022-08-25
JP2012514743A (ja) 2012-06-28
US8893543B2 (en) 2014-11-25

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