CN102234762A - 镀膜系统 - Google Patents

Abstract

一种镀膜系统，其包括一腔体、一镀膜伞架及一旋转驱动组件。镀膜伞架用于收容多个待镀膜的基板。旋转驱动组件连接至所述镀膜伞架，用于驱动镀膜伞架在腔体内转动。腔体包括一隔板，隔板将腔体分隔成相互间隔的镀膜腔及喷漆腔。镀膜系统进一步包括一升降驱动组件、一溶剂储室及一喷射装置。升降驱动组件带动旋转驱动组件升降，以使镀膜伞架在镀膜腔及喷漆腔内升降。溶剂储室用于存放涂料溶剂。溶剂储室与喷漆腔相贯通。喷射装置设置在所述溶剂储室内，该喷射装置并连接至所述喷漆腔，以将溶剂储室内的涂料溶剂喷射至待镀膜的基板。本发明的镀膜系统既可对待镀膜的基板进行蒸镀又可对待镀膜的基板喷射涂料。

Description

镀膜系统

技术领域

本发明涉及镀膜制程领域，尤其涉及一种镀膜系统。

背景技术

当前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜以改善产品表面的各种性能。如在光学镜片的表面镀上一层抗反射膜，以降低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量损耗。又如在某些滤光元件表面镀上一层滤光膜，可滤掉某一预定波段的光，制成各种各样的滤光片。一般地，镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。Ichiki，M.等人在2003年5月发表于2003 Symposium on Design，Test，Integrationand Packaging of MEMS/MOEMS的论文《Thin film formation-a fabricationon non-planar surface by spray coating method》中介绍了通过喷涂在非平面形成薄膜的方法。

现有镀膜方式是将镀膜和喷漆在不同的装置中进行的，因此镀膜完成后的待镀物品要经过专门的运送装置运送至喷漆装置中，这无疑增加了运送成本，同时，待镀物品在运送过程中也容易被污染，对待镀物品的镀膜良率造成影响，同时加工步骤烦琐。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可提高镀膜良率及提高镀膜速率的镀膜系统。

一种镀膜系统，其包括一腔体、一镀膜伞架及一旋转驱动组件。所述镀膜伞架用于收容多个待镀膜的基板。所述旋转驱动组件连接至所述镀膜伞架，用于驱动所述镀膜伞架在所述腔体内转动。所述腔体包括一隔板，该隔板将所述腔体分隔成相互间隔的镀膜腔及喷漆腔。所述镀膜系统进一步包括一升降驱动组件、一溶剂储室及一喷射装置。所述升降驱动组件带动旋转驱动组件升降，以使所述镀膜伞架在镀膜腔及喷漆腔内升降。所述溶剂储室用于存放涂料溶剂。所述溶剂储室与所述喷漆腔相贯通，所述喷射装置设置在所述溶剂储室内，该喷射装置并连接至所述喷漆腔，以将溶剂储室内的涂料溶剂喷射至待镀膜的基板。

本发明的镀膜系统既可对待镀膜的基板进行蒸镀又可对待镀膜的基板喷射涂料，省去了由蒸镀制程到喷射涂料制程之间对待镀膜的基板的运送动作，因此节省了镀膜成本及提高了镀膜效率，同时避免待镀膜的基板由于运送而造成的污染，进而提高了镀膜良率。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的镀膜系统的示意图；

图2是图1中的镀膜系统的使用状态示意图；

图3是本发明第二实施方式的镀膜系统的示意图。

主要元件符号说明

镀膜系统        100、200

腔体            10

离子发射源      20

蒸发源          30

镀膜伞架        40

旋转驱动组件    50

升降驱动组件    60、75

闸门结构        70

溶剂储室        80

喷射装置        90

壳体            11

隔板            12

镀膜腔          13

喷漆腔          14

顶板            11a

底板            11b

第一侧板        11c

第二侧板        11d

圆孔            114

排气孔          110

第一通孔        112

镀膜孔          41

待镀膜的基板    44

主体部          502

转轴            504

固定杆          62

转动杆          64

套环            66

第一马达        68

连接杆          69

阀门            71

第二马达        72

固定板          77

第二通孔        710

第三通孔        810

注料口          820

涂料溶剂        85

喷嘴            91

导管          92

开口          121

第一主体部    750

伸缩杆        752

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作一具体介绍。

请参阅图1，所示为本发明第一实施方式的镀膜系统100的结构图，所述镀膜系统100包括一个腔体10、一离子发射源20、一蒸发源30、一镀膜伞架40、一旋转驱动组件50、一升降驱动组件60、一闸门结构70、一溶剂储室80及一喷射装置90。

所述腔体10为一中空箱体，其包括一壳体11、一隔板12。所述隔板12设置于所述壳体11内，以将所述壳体11内部空间分隔为镀膜腔13及喷漆腔14。所述隔板12的中心部开设有一开口121，该开口121使所述镀膜腔13及喷漆腔14相贯通。所述壳体11包括一顶板11a、一与顶板11a相对设置的底板11b、与所述顶板11a及底板11b垂直设置的第一侧板11c及第二侧板11d。所述第一侧板11c及第二侧板11d相对设置。所述顶板11a上开设有一圆孔114。所述第一侧板11c上开设有一排气孔110，该排气孔110用于使所述喷漆腔14与外界相连通。所述第二侧板11d上开设有第一通孔112。

所述离子发射源20及所述蒸发源30均收容在所述镀膜腔13内并固定在所述镀膜腔13的底板11b的内侧。所述蒸发源30与所述离子发射源20相邻设置，该蒸发源30用于使所述离子发射源20发射的靶材加热至蒸气状态。本实施方式中，所述靶材为SiO2。

所述镀膜伞架40在升降驱动组件60的驱动下可升降地设置在壳体11并在所述旋转驱动组件50的驱动下实现转动。所述镀膜伞架40最大端的直径与所述隔板12上的开口121的直径相同或者略小于所述隔板12的开口121的直径。该镀膜伞架40具有多个镀膜孔41，每个镀膜孔41内放置有一待镀膜的基板44。所述待镀膜的基板44可为镜片、金属基板等，本实施方式中，所述待镀膜的基板44为镜片。所述待镀膜的基板44欲镀膜的表面朝向所述离子发射源20及所述蒸发源30。

所述旋转驱动组件50为一致动器。所述旋转驱动组件50包括一主体部502及一可相对主体部502转动的转轴504。所述转轴504穿设于所述顶板11a上的圆孔114，且该转轴504的一端固定连接至所述镀膜伞架40，另一端可转动地连接至所述主体部502并可在所述主体部502的驱动下旋转。所述转轴504转动时带动镀膜伞架40在腔体10内旋转。

所述升降驱动组件60包括一固定杆62、一转动杆64、一套环66及第一马达68。所述固定杆62固定在所述壳体11的顶板11a的外侧。所述转动杆64为一中空结构，所述转动杆64设有外螺纹。所述转动杆64的一端套设于所述固定杆62，且另一端可转动地连接至第一马达68，并在第一马达68的带动下转动。所述套环66设有与所述转动杆64的外螺纹匹配的内螺纹。所述套环66套设在所述转动杆64上且套环66的内螺纹与所述转动杆64的外螺纹相啮合。所述套环66通过一连接杆69连接至所述旋转驱动组件50的主体部502。因此，可通过第一马达68带动转动杆64转动以使套环66沿着所述转动杆64做升降运动，从而使与所述旋转驱动组件50相连接的所述镀膜伞架40可在镀膜腔13及喷漆腔14内上下移动。

所述闸门结构70包括两个阀门71、两个第二马达72。所述两个第二马达72分别设置在所述隔板12上并分别与所述阀门71连接从而使所述阀门71可翻转地设置在所述隔板12上。所述两个阀门71上分别设有半圆形通孔。当该两个阀门71闭合时，所述两个半圆形通孔形成一第二通孔710。所述旋转驱动组件50的转轴504可穿过在所述第二通孔710内转动。所述两个阀门71分别可转动地连接至第二马达72上，并可在第二马达72的带动下相对隔板12翻转以封闭或者开启所述隔板上的开口121。

所述溶剂储室80设置在所述壳体11的第二侧板11d一侧，且对应所述第二侧板11d的第一通孔112位置设有第三通孔810。所述溶剂储室80还开设有一注料口820，其用于往所述溶剂储室80内注入涂料溶剂85，本实施方式中，所述涂料溶剂85为树酯。

所述喷射装置90包括一喷嘴91及一导管92。所述喷嘴91收容在所述第一通孔112及第三通孔810内，且该喷嘴91正对所述喷漆腔14。所述导管92的一端连接至喷嘴91，另一端插入至溶剂储室80内，以将溶剂储室80内的涂料溶剂85导至喷嘴91对待镀膜的基板44进行喷射涂料溶剂85。

请一并参阅图2，镀膜时，所述第二马达72旋转，打开阀门71，通过排气孔110抽取腔体10的空气，以使喷漆腔14及镀膜腔13处于真空状态。随后，第二马达72旋转，阀门71关闭。所述离子发射源20发射靶材，蒸发源30加热所述发射的靶材至蒸汽状态，同时所述旋转驱动组件50旋转所述镀膜伞架40，以使镀膜伞架40在所述镀膜腔13内旋转，以使所述多个镀膜孔41内放置的所述待镀膜的基板44形成一层均匀的增透膜。请一并参阅图2与图3，然后，通过注料口820往所述溶剂储室80内注入涂料溶剂85。随后，所述第二马达72旋转，打开阀门71，所述升降驱动组件60工作，以使所述镀膜伞架40上升至所述喷漆腔14内。随后，打开排气孔110，开启所述喷射装置90，同时驱动组件5驱动所述镀膜伞架40在所述喷漆腔14内旋转，通过喷嘴91向镀膜伞架40内的待镀膜的基板44喷射所述涂料溶剂85，以使所述多个镀膜孔41内放置的所述待镀膜的基板44形成一层均匀的防水膜。

请参阅图3，为本发明第二实施方式的镀膜系统200，本实施方式的镀膜系统200与第一实施方式的镀膜系统100大体相同，其差异主要在于：所述升降驱动组件75为一汽缸，其包括一第一主体部750及一伸缩杆752。所述伸缩杆752的一端可伸缩地连接至所述第一主体部750，所述伸缩杆752的另一端连接至旋转驱动组件50的主体部502。且该升降驱动组件75的第一主体部750固定在一高度高于腔体10的固定板77上。所述升降驱动组件75的伸缩杆752的伸缩带动所述旋转驱动组件50升降，从而带动所述镀膜伞架40在所述镀膜腔13及喷漆腔14内升降。

本发明的镀膜系统既可对待镀膜的基板进行蒸镀又可对待镀膜的基板喷射涂料，省去了由蒸镀制程到喷射涂料制程之间对待镀膜的基板的运送动作，因此节省了镀膜成本及提高了镀膜效率，同时避免待镀膜的基板由于运送而造成的污染，进而提高了镀膜良率。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种镀膜系统，其包括一腔体、一镀膜伞架及一旋转驱动组件，所述镀膜伞架用于收容多个待镀膜的基板，所述旋转驱动组件连接至所述镀膜伞架，用于驱动所述镀膜伞架在所述腔体内转动，其特征在于：所述腔体包括一隔板，该隔板将所述腔体分隔成相互间隔的镀膜腔及喷漆腔，所述镀膜系统进一步包括一升降驱动组件、一溶剂储室及一喷射装置，所述升降驱动组件带动旋转驱动组件升降，以使所述镀膜伞架在镀膜腔及喷漆腔内升降，所述溶剂储室用于存放涂料溶剂，所述溶剂储室与所述喷漆腔相贯通，所述喷射装置设置在所述溶剂储室内，该喷射装置并连接至所述喷漆腔，以将溶剂储室内的涂料溶剂喷射至待镀膜的基板。

2.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述隔板的中心部开设有一开口，该开口使所述镀膜腔及喷漆腔相贯通。

3.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述壳体包括一顶板，所述升降驱动组件包括一固定杆、一转动杆、一套环及第一马达，所述固定杆固定在所述壳体的顶板的外侧，所述转动杆为一中空结构，所述转动杆设有外螺纹，所述转动杆的一端套设于所述固定杆，且另一端转动地连接至第一马达，并在第一马达的带动下转动，所述套环设有与所述转动杆的外螺纹匹配的内螺纹，所述套环套设在所述转动杆上且套环的内螺纹与所述转动杆的外螺纹相啮合，所述套环通过一连接杆连接至所述旋转驱动组件的主体部。

4.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述壳体还包括一与顶板相对设置的底板、均与所述顶板及底板垂直设置的第一侧板及第二侧板，所述第一侧板及第二侧板相对设置，所述第一侧板开设有一排气孔，该进/排气孔用于使所述喷漆腔体与外界相连通。

5.如权利要求4所述的镀膜系统，其特征在于：所述第二侧板上开设有第一通孔，所述溶剂储室设置在所述壳体的第二侧板的外侧上，且对应所述第二侧板的第一通孔位置设有第三通孔，所述喷嘴收容在所述第一通孔及第三通孔内。

6.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述溶剂储室开设有一注料口，该注料口用于往所述溶剂储室内注入涂料溶剂。

7.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述镀膜系统进一步包括一离子发射源及一蒸发源，所述离子发射源及所述蒸发源均设置在所述腔体内，所述蒸发源与所述离子发射源相邻设置，该蒸发源用于使所述离子发射源发射的靶材加热至蒸气状态。

8.如权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于：所述顶板上开设有一圆孔，所述旋转驱动组件包括一主体部及一可相对主体部转动的转轴，所述转轴穿设于所述顶板上的圆孔，且该转轴的一端固定连接至所述镀膜伞架，另一端转动地连接至所述主体部并在所述主体部的驱动下旋转。

9.如权利要求8所述的镀膜系统，其特征在于：所述镀膜系统进一步包括一闸门结构，该闸门结构包括两个阀门、两个第二马达，所述两个第二马达分别设置在所述隔板上分别与所述阀门连接，所述两个阀门上分别设有半圆形通孔，当该两个阀门闭合时，两个半圆形通孔形成一第二通孔，所述致动器的转轴在所述第二通孔内转动，所述两个阀门分别转动地连接至第二马达上，并在第二马达的带动下相对隔板翻转以封闭或者开启所述隔板上的开口。

10.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述喷射装置包括一喷嘴及一导管，所述喷嘴连接至所述喷漆腔，所述导管的一端连接至喷嘴，另一端插入至溶剂储室内，以将溶剂储室内的涂料溶剂引导至喷嘴，以对待镀膜的基板进行喷射涂料溶剂。

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