CN102189460A - 圆盘状工件的倒角装置 - Google Patents

圆盘状工件的倒角装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102189460A
CN102189460A CN2011100335887A CN201110033588A CN102189460A CN 102189460 A CN102189460 A CN 102189460A CN 2011100335887 A CN2011100335887 A CN 2011100335887A CN 201110033588 A CN201110033588 A CN 201110033588A CN 102189460 A CN102189460 A CN 102189460A
Authority
CN
China
Prior art keywords
workpiece
grinding wheel
discoid
wheel
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011100335887A
Other languages
English (en)
Inventor
上田贵大
大桑幸一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
Original Assignee
Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd filed Critical Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
Publication of CN102189460A publication Critical patent/CN102189460A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B9/00Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
    • B24B9/02Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
    • B24B9/06Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B9/08Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass
    • B24B9/10Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of plate glass
    • B24B9/107Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of plate glass for glass plates while they are turning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06Work supports, e.g. adjustable steadies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/14Zonally-graded wheels; Composite wheels comprising different abrasives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

本发明提供一种由硬质脆性材料构成的圆盘状工件的倒角装置,通过尽可能地防止在倒角面与表背面之间的角产生碎屑,从而能够省略倒角加工后的二次磨削加工。该圆盘状工件的倒角装置具备:滑动摩擦由铅直方向的旋转工件轴保持的圆盘状工件的上表面侧和下表面侧的外周角的杯状上下砂轮、装配上下砂轮的上下倒角砂轮轴以及驱动砂轮轴旋转的砂轮电动机。上下砂轮轴以装配于砂轮轴的上下砂轮的周缘与圆盘状工件的上下倒角面分别在一个部位接触的方式沿与工件轴的轴心倾斜地立体相交的方向设置。砂轮电动机驱动这些砂轮旋转,所述砂轮的旋转方向为,使得在砂轮与圆盘状工件的接触部位,上下砂轮的滑动摩擦方向都为从圆盘状工件的内侧朝向外侧的方向。

Description

圆盘状工件的倒角装置
技术领域
本发明涉及一种作为HDD(硬盘驱动器)的存储介质被广泛使用的、由玻璃、陶瓷等硬质脆性材料构成的圆盘状工件的外周角的倒角加工装置。
背景技术
为了实现高存储密度和稳定的高速旋转,对用作HDD的存储介质的圆盘状工件的、作为信息存储面的表背面要求较高的面精度,并且对该圆盘状工件的外周部的加工也要求较高的加工精度。以往,通过两次磨削加工(研磨(lapping))和之后的抛光(仕上げ研磨)来加工这种圆盘状工件的表背面,并通过外周磨削和倒角加工来加工这种圆盘状工件的外周部。其一般的加工顺序为,在进行表背面的一次磨削后,进行外周磨削和倒角,然后进行表背面的二次磨削和抛光。
以往,如图8所示,外周角(表背面与外周面之间的棱线)的倒角加工采用成型砂轮6进行。即,将要加工的圆盘状工件1水平地保持在铅直方向的旋转工件轴11的上端并绕该旋转工件轴11的轴心旋转,并且使装配于与该工件轴11平行的倒角砂轮轴61上的成型砂轮6旋转,通过将圆盘状工件1的外周部插入于在砂轮的外周所形成的梯形槽65中,从而对圆盘状工件1的上外周角和下外周角同时进行倒角。在该情况下,砂轮6在圆盘状工件1的倒角面16处的滑动摩擦方向如图9中的箭头d所示地为圆盘状工件1的圆的切线方向。
在硬质脆性板的磨削中,在磨削面与跟磨削面相邻的面之间的角的部分处产生微少的裂纹、碎片(碎屑(chipping))。在图8所示的现有的倒角加工中,在倒角面16与作为信息存储面的表背面17之间的角18处可能产生50微米左右的碎屑。所述碎屑通过使由前述的二次磨削加工的磨削量和研磨量构成的加工余量达到60微米左右从而被除去。
专利文献1:日本特开2005-271105号公报
为了能够提高圆盘状工件的生产性并更为廉价地提供圆盘状工件,期望缩减圆盘状工件的加工工序。例如,期望在上述的加工中是否可以将磨削加工缩减为一道工序。如果能够省略二次磨削加工而在倒角加工之后马上进行抛光的话,能够大幅地缩减圆盘状工件的加工工序。
此外,现有的倒角加工用的成型砂轮6是将金刚石磨料电沉积于金属基体上而成的砂轮,当砂轮磨损后,需要进行砂轮6自身的更换。并且,砂轮6是成型砂轮,由于砂轮轴61与工件轴11是平行的,因此存在砂轮与工件的接触线长的问题,并且,由于同时加工圆盘状工件的表背侧的角,因此也存在着加工负荷大的问题。
发明内容
本发明正是为了解决这些问题而作出的,其第一课题在于通过尽可能地防止在倒角面16与作为信息存储面的表背面17之间的角18处产生碎屑,从而能够省略倒角加工后的二次磨削加工。
此外,本发明的课题为得到一种如下这样的圆盘状工件的倒角装置:加工负荷小,且即使是在砂轮磨损时也无需更换砂轮,能够通过调整砂轮与圆盘状工件的相对位置来维持高精度的加工形状。
本申请的发明涉及的圆盘状工件的倒角装置具备:旋转工件轴11,该旋转工件轴11以轴心处于铅直方向的方式设置;工件保持器12,该工件保持器12设于该工件轴11的上端并水平地保持要加工的圆盘状工件1;杯状的倒角砂轮2,该倒角砂轮2滑动摩擦由该工件保持器12保持的圆盘状工件1的外周角;砂轮轴21,该砂轮轴21用于装配该倒角砂轮;以及砂轮电动机23,该砂轮电动机23用于驱动该砂轮轴旋转。
倒角砂轮轴21采用使装配于该倒角砂轮轴21的倒角砂轮2的周缘与圆盘状工件1的外周角的一个部位接触的方式,沿与工件轴11的轴心倾斜地立体相交的方向设置。例如,倒角砂轮轴21以其轴心相对于铅直方向倾斜的方式设于从包含工件轴11的轴心在内的面p向一侧偏移且与该面p平行的面s内。
砂轮电动机23驱动倒角砂轮2旋转,使得倒角砂轮2在该倒角砂轮2与圆盘状工件1相接触的接触部位处的滑动摩擦方向d为从圆盘状工件1的内侧朝向外侧的方向、即倒角砂轮2的外周在圆盘状工件1的倒角面16上从表背面17侧向外周面15侧移动的方向。
优选的是,倒角砂轮2由上倒角砂轮2a和下倒角砂轮2b设置为一对,该上倒角砂轮2a滑动摩擦圆盘状工件1的上表面侧的外周角,该下倒角砂轮2b滑动摩擦圆盘状工件1的下表面侧的外周角。上倒角砂轮2a和下倒角砂轮2b隔着圆盘状工件地配置于该圆盘状工件的直径方向两侧,或者使所述上倒角砂轮2a和下倒角砂轮2b这两者接近地配置于单侧。通过前一种配置,能够使一对倒角砂轮2a、2b的加工反作用力平衡。
当设置上下一对的倒角砂轮2a、2b时,通过设置用于磨削圆盘状工件1的外周面15的外周砂轮5,能够同时或者连续地加工圆盘状工件1的外周面15和倒角面16。优选的是,外周砂轮5设置成使该外周砂轮5的轴心与如下这样的工件的直径方向的线一致:该线穿过将一对倒角砂轮2a、2b滑动摩擦圆盘状工件1的位置a、b连结起来的线的中点。
当将一对倒角砂轮2a、2b接近地设置于圆盘状工件1的单侧时,外周砂轮5的配置位置为隔着圆盘状工件1而与倒角砂轮2a、2b对置的位置。由此,能够使倒角砂轮2的加工反作用力与外周砂轮5的加工反作用力平衡。
在本发明的倒角装置中,砂轮2沿着从作为信息存储面的表背面17朝外周面15的方向滑动摩擦圆盘状工件1的倒角面16,从而对外周角进行倒角。由此,能够减少在表背面17与位于砂轮2的滑动摩擦方向d的上游侧的倒角面16之间的角18处产生的碎屑,增加在外周面15与位于砂轮离去方向的倒角面16之间的角19处产生的碎屑。由于外周面侧的角19的碎屑不会成为大的问题,因此通过减少表背面侧的角18的碎屑,能够省略二次磨削加工,由此益处大。
此外,倒角砂轮2仅滑动摩擦圆盘状工件1的外周角的一个部位,且该倒角砂轮2的滑动摩擦方向为倒角面的滑动摩擦长度短的宽度方向,因此作用于砂轮2的负荷小。进而,当砂轮2磨损时,通过根据其磨损量调整工件轴11与砂轮轴21之间的位置关系,即、将砂轮轴21向靠近工件轴11的方向进给砂轮被磨损掉的量,或者使砂轮轴21沿其轴向朝向工件前进砂轮被磨损掉的量,由此,无需更换砂轮就能够进行高精度的倒角加工。
附图说明
图1是从侧方观察第一实施例的主要部分的立体图。
图2是第一实施例的主要部分的俯视图。
图3是杯状砂轮的示意性剖视图。
图4是倒角加工过的圆盘状工件的外周部的局部俯视图。
图5是倒角加工过的圆盘状工件的外周部的局部剖视图。
图6是示出第二实施例的主要部分的俯视图。
图7是示出第二实施例的主要部分的侧视图。
图8是示出现有的倒角加工装置的主要部分的侧视图。
图9是利用现有装置进行倒角加工后的圆盘状工件的外周部的局部放大俯视图。
标号说明
1:圆盘状工件;2a、2b:杯状的倒角砂轮;11:工件轴;12:工件保持器;16:倒角面;17:表背面;18:角;21:砂轮轴;23:砂轮电动机;a、b:工件与倒角砂轮相接触的接触部位;d:倒角砂轮的滑动摩擦方向;p:包含工件轴的轴心在内的面;Ra、Rb:倒角砂轮的旋转方向;s:砂轮轴的配置面。
具体实施方式
以下,参照附图,对本发明的实施例进行说明。图1至图4是示出将上下为一对的倒角砂轮2(2a、2b)配置于作为加工对象的圆盘状工件1的直径方向两端的位置的第一实施例的图。符号5是对圆盘状工件1的外周面15进行磨削加工的外周砂轮。
圆盘状工件1被保持于铅直方向的工件轴11上端的工件保持器12上。工件轴11由未图示的主轴电动机驱动从而以比较慢的速度(2~200rpm)旋转。上下的杯状砂轮2a、2b分别装配于砂轮轴21a、21b的末端,并由砂轮电动机23a、23b驱动着沿图中的箭头Ra、Rb方向以比较高的速度(5000~15000rpm)旋转。
上砂轮电动机23a和下砂轮电动机23b分别搭载于未图示的上砂轮座和下砂轮座,所述砂轮座借助于被数控控制的未图示的进给电动机和进给丝杠而与砂轮轴21a、21b平行地进退。当使砂轮座前进时,杯状砂轮2的杯的周缘25与圆盘状工件1的外周角接触,进行对该外周角的倒角加工。倒角尺寸由在数控装置中设定好的砂轮座的前进结束位置决定。
砂轮轴21a、21b的轴心配置于同一铅直面s上,该砂轮轴配置面s与包含工件轴11的轴心在内的面p平行且相对于该面p偏移距离e。砂轮轴21a、21b以相对于铅直方向倾斜45度的角度配置在砂轮轴配置面s上。其结果是,图3所示的杯状砂轮2的周缘25在图2的俯视图中的一个部位a、b与圆盘状工件1的外周角接触,所述部位a、b为圆盘状工件1的外周与杯状砂轮2a、2b的周缘25的椭圆弧相交的两点中的、靠近工件轴配置面p的一侧的点。
并且,由于杯状砂轮2a、2b的旋转方向是图1中的箭头Ra、Rb所示的方向,因此在所述接触部位a、b处,杯状砂轮的周缘25如图4的箭头d所示地从圆盘状工件1的内侧朝向外侧地滑动摩擦圆盘状工件1的外周角。即,圆盘状工件1的倒角面16由如图4、5所示地从工件的表背面17侧向外周面15侧呈弧状地运动的砂轮周缘25进行磨削。
在图3中举例示出的杯状砂轮2为周缘部分的内侧和外侧由粒度不同的砂轮25i和25e形成的所谓多功能砂轮,通过改变砂轮轴21的倾斜角,能够进行粗磨和精磨。
外周砂轮5是周面为圆筒形的砂轮,其装配于与工件轴11平行地设置的外周砂轮轴51。外周砂轮轴51被轴支撑于相对于工件轴11接近和离开的未图示的砂轮座,通过在外周砂轮轴51旋转的同时使外周砂轮5与圆盘状工件1接触,从而对圆盘状工件1的外周面15进行磨削加工。该外周面的磨削加工与现有装置没有区别。
图6和图7是示出将上下为一对的倒角砂轮2a、2b接近地配置于圆盘状工件1单侧的第二实施例的图,对与第一实施例中说明过的部件相同的部件标以相同符号。倒角砂轮2a、2b与第一实施例同样地装配于由砂轮电动机23a、23b驱动着旋转(5000~15000rpm)的砂轮轴21a、21b上。
砂轮轴21a、21b的轴心以相对于铅直方向倾斜45度的角度配置于各个砂轮轴配置面sa、sb,所述砂轮轴配置面sa、sb与包含工件轴11的轴心在内的面p平行且相对于该面p偏移距离e。其结果是,上下的倒角砂轮2a、2b的周缘在点a、b与圆盘状工件1的外周角接触,所述点a、b为在图6的俯视图中圆盘状工件1的外周与杯状砂轮2a、2b的周缘25的椭圆弧相交的点。
上下的倒角砂轮的砂轮轴21a、21b被轴支撑于砂轮座24a、24b,所述砂轮座24a、24b以在各个砂轮轴的轴向进退自如的方式装配于同一进给座26。一般来说,砂轮电动机23采用装入(built-in)式电动机,该电动机的转子轴成为砂轮轴。在该情况下,通过将砂轮电动机23a、23b固定于砂轮座24a、24b,从而将砂轮轴21a、21b轴支撑于砂轮座24a、24b。
通过使砂轮座26朝向工件轴11前进,倒角砂轮2a、2b的周缘25同时接触圆盘状工件1的上下的外周角。由于砂轮电动机23a、23b驱动倒角砂轮2a、2b向图中的箭头Ra、Rb所示的方向旋转的关系,与第一实施例同样地,上倒角砂轮2a和下倒角砂轮2b从圆盘状工件1的内侧向外侧滑动摩擦圆盘状工件1的上下的外周角,从而进行对所述外周角的倒角加工。
上下的倒角面16的尺寸通过进给座26的前进位置(向工件轴11侧移动的移动结束位置)来设定。对于倒角砂轮磨损后的修正,如果上下的砂轮2a、2b的磨损量相等的话,能够通过修正进给座26的前进位置来进行修正,而当上下的砂轮2a、2b的磨损量不同时,通过修正轴支撑各砂轮的砂轮座24a、24b的砂轮轴方向的前进位置来进行修正。
如以上所说明的那样,在本发明的倒角装置中,倒角砂轮2的周缘25与被保持于工件轴11的圆盘状工件1的外周角在一个部位接触,并将砂轮轴21的位置和砂轮电动机23的旋转方向设定成,使得倒角砂轮在该接触部位处的滑动摩擦方向为从圆盘状工件1的内侧朝向外侧的方向。
这样,在利用砂轮从圆盘状工件的内侧向外侧滑动摩擦该圆盘状工件的外周角从而进行倒角时,能够防止在被加工的倒角面16与作为信息存储面的圆盘状工件的表背面17之间的角18产生碎屑,能够省略以往进行的表背面17的二次磨削加工,而以表背面的一次磨削加工、外周加工和倒角加工、以及抛光这三道工序进行圆盘状工件的磨削和研磨,能够大幅地缩减加工工序。

Claims (4)

1.一种圆盘状工件的倒角装置,
该圆盘状工件的倒角装置具备:
旋转工件轴,该旋转工件轴以轴心处于铅直方向的方式设置;
工件保持器,该工件保持器设于该工件轴的上端,并水平地保持圆盘状工件;
倒角砂轮,该倒角砂轮滑动摩擦由该工件保持器保持的圆盘状工件的外周角;以及
砂轮电动机,所述砂轮电动机驱动该倒角砂轮的砂轮轴旋转,
该圆盘状工件的倒角装置的特征在于,
所述砂轮轴以装配于该砂轮轴的杯状的倒角砂轮的周缘与所述圆盘状工件的外周角的一个部位接触的方式,沿与所述工件轴的轴心立体相交的方向设置,
所述砂轮电动机驱动倒角砂轮旋转,倒角砂轮的旋转方向为,使得在倒角砂轮的周缘与圆盘状工件相接触的接触部位处,倒角砂轮的滑动摩擦方向为从圆盘状工件的内侧朝向外侧的方向。
2.根据权利要求1所述的圆盘状工件的倒角装置,其中,
所述倒角砂轮的砂轮轴以轴心倾斜的方式设置于向包含工件轴的轴心在内的面的一侧偏移且与该面平行的面内。
3.根据权利要求1或2所述的圆盘状工件的倒角装置,其中,
该圆盘状工件的倒角装置具备对圆盘状工件的上下的外周角分别进行倒角的上下为一对的倒角砂轮,所述一对的倒角砂轮以滑动摩擦该工件的方式配置在被保持于工件轴的圆盘状工件的直径方向两端的位置。
4.根据权利要求1或2所述的圆盘状工件的倒角装置,其中,
该圆盘状工件的倒角装置具备对圆盘状工件的上下的外周角分别进行倒角的上下为一对的倒角砂轮,所述一对的倒角砂轮以滑动摩擦该工件的方式配置在被保持于工件轴的圆盘状工件的直径方向的单侧且相互接近的位置,对该工件的外周面进行磨削的外周砂轮配置于隔着该工件与一对倒角砂轮对置的位置。
CN2011100335887A 2010-02-26 2011-01-30 圆盘状工件的倒角装置 Pending CN102189460A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-042328 2010-02-26
JP2010042328 2010-02-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102189460A true CN102189460A (zh) 2011-09-21

Family

ID=44598788

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011100335887A Pending CN102189460A (zh) 2010-02-26 2011-01-30 圆盘状工件的倒角装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2011194561A (zh)
KR (1) KR20110098627A (zh)
CN (1) CN102189460A (zh)
TW (1) TW201139058A (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103506907A (zh) * 2013-09-18 2014-01-15 梁招仙 一种圆形金属件边角打磨机构
CN104759963A (zh) * 2015-04-16 2015-07-08 广东意维高玻璃技术有限公司 平板玻璃集成磨削机构
CN103586751B (zh) * 2012-08-13 2017-08-25 日商·大都电子股份有限公司 晶圆的倒角加工方法和装置以及磨具角度调整用工具
CN107225471A (zh) * 2017-07-11 2017-10-03 唐欣康 一种对称双主轴刀具沟槽磨床
CN110394711A (zh) * 2019-07-17 2019-11-01 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种研磨装置、倒角加工装置及加工方法
CN111451581A (zh) * 2020-05-04 2020-07-28 台州路桥城歌机械有限公司 一种水平状铝带轮的边部倒角加工机构
CN115502860A (zh) * 2022-11-23 2022-12-23 常熟三嵩精密机电有限公司 用于刹车片固定的u型架内表面处理设备

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013168444A1 (ja) * 2012-05-07 2013-11-14 信越半導体株式会社 円板形ワーク用外周研磨装置
JP2014226767A (ja) * 2013-05-27 2014-12-08 株式会社東京精密 ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法
CN105479281B (zh) * 2016-01-25 2017-12-19 张家港市金采阳机械有限公司 硬质合金轮的抛光机
KR102547372B1 (ko) 2016-05-03 2023-06-23 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
CN105965343B (zh) * 2016-05-10 2019-01-04 天津北玻玻璃工业技术有限公司 玻璃双斜边磨边设备
CN105965342B (zh) * 2016-05-10 2019-02-05 天津北玻玻璃工业技术有限公司 玻璃双斜边磨边工艺
CN106271994A (zh) * 2016-08-17 2017-01-04 吉林大华机械制造有限公司 一种双向磨削机
JP2019072788A (ja) * 2017-10-13 2019-05-16 オリンパス株式会社 加工方法、加工装置、及び砥石
KR102098252B1 (ko) * 2018-10-05 2020-04-07 한국생산기술연구원 용접용 전극의 드레싱 공구와 드레싱 장치 및 드레싱 방법
CN111702625B (zh) * 2020-06-24 2021-09-10 盐城工学院 一种风电发电机轴颈冷焊层在线高精度智能磨削装置及其方法
CN114310593A (zh) * 2021-12-29 2022-04-12 南京金城轨道交通设备有限公司 刚性接触网的接触线打磨机
CN115026693A (zh) * 2022-06-15 2022-09-09 深圳顺络电子股份有限公司 一种精密测试组件的自动打磨设备及自动打磨方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2180404Y (zh) * 1993-08-03 1994-10-26 华南理工大学 玻璃磨边机
JPH0760624A (ja) * 1993-07-29 1995-03-07 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh 半導体円板のエッジを研磨する方法
JP2000218482A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Daido Steel Co Ltd 枚葉式端面研磨機
JP2003145398A (ja) * 2001-11-15 2003-05-20 Systemseiko Co Ltd 円板状ワークの研磨方法および研磨装置
JP2004050345A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Hitachi Zosen Corp 薄板状ワーク外周部加工装置
JP2008264941A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Yuhi Denshi Kk 円板形ワークの研磨装置および研磨方法
US20090042493A1 (en) * 2006-11-15 2009-02-12 Shoda Techtron Corp. Chamfering apparatus for chamfering glass substrates

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0760624A (ja) * 1993-07-29 1995-03-07 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh 半導体円板のエッジを研磨する方法
CN2180404Y (zh) * 1993-08-03 1994-10-26 华南理工大学 玻璃磨边机
JP2000218482A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Daido Steel Co Ltd 枚葉式端面研磨機
JP2003145398A (ja) * 2001-11-15 2003-05-20 Systemseiko Co Ltd 円板状ワークの研磨方法および研磨装置
JP2004050345A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Hitachi Zosen Corp 薄板状ワーク外周部加工装置
US20090042493A1 (en) * 2006-11-15 2009-02-12 Shoda Techtron Corp. Chamfering apparatus for chamfering glass substrates
JP2008264941A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Yuhi Denshi Kk 円板形ワークの研磨装置および研磨方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103586751B (zh) * 2012-08-13 2017-08-25 日商·大都电子股份有限公司 晶圆的倒角加工方法和装置以及磨具角度调整用工具
TWI600496B (zh) * 2012-08-13 2017-10-01 大都電子股份有限公司 晶圓的倒角加工方法、晶圓的倒角加工裝置及磨石角度調整輔助具
CN103506907A (zh) * 2013-09-18 2014-01-15 梁招仙 一种圆形金属件边角打磨机构
CN104759963A (zh) * 2015-04-16 2015-07-08 广东意维高玻璃技术有限公司 平板玻璃集成磨削机构
CN107225471A (zh) * 2017-07-11 2017-10-03 唐欣康 一种对称双主轴刀具沟槽磨床
CN107225471B (zh) * 2017-07-11 2023-12-12 极云机械科技(上海)有限公司 一种对称双主轴刀具沟槽磨床
CN110394711A (zh) * 2019-07-17 2019-11-01 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种研磨装置、倒角加工装置及加工方法
CN111451581A (zh) * 2020-05-04 2020-07-28 台州路桥城歌机械有限公司 一种水平状铝带轮的边部倒角加工机构
CN115502860A (zh) * 2022-11-23 2022-12-23 常熟三嵩精密机电有限公司 用于刹车片固定的u型架内表面处理设备
CN115502860B (zh) * 2022-11-23 2023-03-10 常熟三嵩精密机电有限公司 用于刹车片固定的u型架内表面处理设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011194561A (ja) 2011-10-06
KR20110098627A (ko) 2011-09-01
TW201139058A (en) 2011-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102189460A (zh) 圆盘状工件的倒角装置
CN102264508B (zh) 用于双面磨削加工扁平工件的设备
CN101224552B (zh) 圆盘状基板的磨削方法、磨削装置
EP2108480B1 (en) Grinding machine and grinding method
US7121928B2 (en) High smoothness grinding process and apparatus for metal material
CN102205516A (zh) 圆板状工件的外周加工装置
CN102350658B (zh) 核主泵用流体静压密封环圆锥面超精密加工方法
CN101341003A (zh) 砂轮修整装置
TW201309423A (zh) 雙面磨削方法及雙面磨削裝置
JP6445894B2 (ja) 両頭平面研削用研削砥石および両頭平面研削方法
US5551908A (en) Centerless grinder and wheel truing device therefor
JP2016510265A (ja) 高度な表面品質を備えたシャフト部品の高精度センターレス研削のための方法及び研削工具
CN103769984A (zh) 一种砂带打磨机
CN102513899B (zh) 微圆弧槽阵列光学元件的单方向斜轴仿形精密磨削方法
WO2007077964A1 (ja) 砥石車のツルーイング装置及びツルーイング方法
CN101722409B (zh) 研磨刀具的研磨机
JP2012143852A (ja) ガラスディスクの製造装置
JP2012035402A (ja) 研磨加工法
CN203901060U (zh) 一种砂带打磨机
JP3964150B2 (ja) 両頭平面研削方法及び装置
JP5206194B2 (ja) 砥石のツルーイング方法およびツルーイング装置
JP7054226B2 (ja) 両頭平面研削盤および研削方法
JP2011020186A (ja) 両頭平面研削方法および装置
JP2003291069A (ja) 研削盤用の砥石及びこの砥石を使用する研削方法
JP4225819B2 (ja) 竪型両頭平面研削盤の砥石修正装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C05 Deemed withdrawal (patent law before 1993)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20110921