CN102173817A - 一种ito靶材的制备方法 - Google Patents
一种ito靶材的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102173817A CN102173817A CN2011100316693A CN201110031669A CN102173817A CN 102173817 A CN102173817 A CN 102173817A CN 2011100316693 A CN2011100316693 A CN 2011100316693A CN 201110031669 A CN201110031669 A CN 201110031669A CN 102173817 A CN102173817 A CN 102173817A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ito
- preparation
- oxide powder
- target
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110031669 CN102173817B (zh) | 2011-01-30 | 2011-01-30 | 一种ito靶材的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110031669 CN102173817B (zh) | 2011-01-30 | 2011-01-30 | 一种ito靶材的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102173817A true CN102173817A (zh) | 2011-09-07 |
CN102173817B CN102173817B (zh) | 2013-05-08 |
Family
ID=44517116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201110031669 Active CN102173817B (zh) | 2011-01-30 | 2011-01-30 | 一种ito靶材的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102173817B (zh) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102432282A (zh) * | 2011-09-08 | 2012-05-02 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种凝胶注模成型技术制备ito靶材的方法 |
CN102531636A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-07-04 | 昆明理工大学 | 一种大尺寸ito靶材的制备方法 |
CN102731067A (zh) * | 2012-07-04 | 2012-10-17 | 韶关西格玛技术有限公司 | 一种高密度ito蒸镀靶材的制备方法 |
CN104760118A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-07-08 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种消除压力注浆成型时ito坯体中间夹层的方法 |
CN104987060A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-10-21 | 桂林电子科技大学 | 具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法 |
CN105294072A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-03 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种tft级ito靶材的常压烧结方法 |
CN107140949A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-08 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 一种高纯、高烧结活性氧化铟锡混合粉体的制备方法 |
CN107200562A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-09-26 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | Ito蒸镀靶的制备方法 |
CN109207947A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-15 | 上海大学 | 一种靶材的制备方法 |
CN110818404A (zh) * | 2018-08-09 | 2020-02-21 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种新型高密度ito靶材制备方法 |
CN115159975A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-10-11 | 中山智隆新材料科技有限公司 | 一种ito溅射靶材的制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1218843A (zh) * | 1997-11-27 | 1999-06-09 | 中南工业大学 | 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法 |
CN1978324A (zh) * | 2005-12-08 | 2007-06-13 | 华东理工大学 | 一种纳米氧化锡的制备方法 |
CN101045986A (zh) * | 2006-03-27 | 2007-10-03 | 正隆股份有限公司 | 溅镀靶材的制造方法 |
CN101392362A (zh) * | 2008-10-30 | 2009-03-25 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种纳米均相ito粉制备ito靶材的方法 |
-
2011
- 2011-01-30 CN CN 201110031669 patent/CN102173817B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1218843A (zh) * | 1997-11-27 | 1999-06-09 | 中南工业大学 | 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法 |
CN1978324A (zh) * | 2005-12-08 | 2007-06-13 | 华东理工大学 | 一种纳米氧化锡的制备方法 |
CN101045986A (zh) * | 2006-03-27 | 2007-10-03 | 正隆股份有限公司 | 溅镀靶材的制造方法 |
CN101392362A (zh) * | 2008-10-30 | 2009-03-25 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种纳米均相ito粉制备ito靶材的方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102432282A (zh) * | 2011-09-08 | 2012-05-02 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种凝胶注模成型技术制备ito靶材的方法 |
CN102531636A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-07-04 | 昆明理工大学 | 一种大尺寸ito靶材的制备方法 |
CN102731067A (zh) * | 2012-07-04 | 2012-10-17 | 韶关西格玛技术有限公司 | 一种高密度ito蒸镀靶材的制备方法 |
CN102731067B (zh) * | 2012-07-04 | 2014-04-23 | 韶关西格玛技术有限公司 | 一种高密度ito蒸镀靶材的制备方法 |
CN104760118A (zh) * | 2015-04-20 | 2015-07-08 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种消除压力注浆成型时ito坯体中间夹层的方法 |
CN104987060A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-10-21 | 桂林电子科技大学 | 具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法 |
CN104987060B (zh) * | 2015-06-18 | 2017-06-23 | 桂林电子科技大学 | 具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法 |
CN105294072B (zh) * | 2015-11-06 | 2018-06-08 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种tft级ito靶材的常压烧结方法 |
CN105294072A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-03 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种tft级ito靶材的常压烧结方法 |
CN107140949A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-08 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 一种高纯、高烧结活性氧化铟锡混合粉体的制备方法 |
CN107140949B (zh) * | 2017-05-26 | 2020-08-28 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 一种高纯、高烧结活性氧化铟锡混合粉体的制备方法 |
CN107200562A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-09-26 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | Ito蒸镀靶的制备方法 |
CN110818404A (zh) * | 2018-08-09 | 2020-02-21 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种新型高密度ito靶材制备方法 |
CN109207947A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-15 | 上海大学 | 一种靶材的制备方法 |
CN109207947B (zh) * | 2018-09-28 | 2020-03-03 | 上海大学 | 一种靶材的制备方法 |
CN115159975A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-10-11 | 中山智隆新材料科技有限公司 | 一种ito溅射靶材的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102173817B (zh) | 2013-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102173817B (zh) | 一种ito靶材的制备方法 | |
CN101609847B (zh) | 太阳能电池电极形成用浆料 | |
CN101268026B (zh) | 氧化物材料及溅射靶 | |
JP6125689B1 (ja) | 酸化インジウム−酸化亜鉛系(izo)スパッタリングターゲット | |
JP6291593B2 (ja) | Itoスパッタリングターゲット及びその製造方法並びにito透明導電膜の製造方法 | |
CN101392362A (zh) | 一种纳米均相ito粉制备ito靶材的方法 | |
CN106082230A (zh) | 一种亚微米级碳化硼粉体及其制备方法和用途 | |
WO2011043235A1 (ja) | 酸化インジウム焼結体、酸化インジウム透明導電膜及び該透明導電膜の製造方法 | |
CN103787653A (zh) | 一种碳改性CaCu3Ti4O12高介电材料的制备方法 | |
CN101613199A (zh) | 一种高性能氧化锌复合陶瓷压敏电阻材料及制备方法 | |
JP6159867B1 (ja) | 透明導電膜形成用ターゲット、透明導電膜形成用ターゲットの製造方法及び透明導電膜の製造方法 | |
CN102643086A (zh) | 一种二氧化锡基压敏电阻材料及制备方法 | |
CN103165867A (zh) | 利用石油焦生产锂离子电池负极材料的方法 | |
CN115504768A (zh) | 一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 | |
CN102863210A (zh) | 高致密、高导电氧化锡锑陶瓷的制备方法 | |
CN101638246A (zh) | 一种高纯度高活性氧化锡粉体的制备方法 | |
Fu et al. | Achieving fabrication of highly transparent Y2O3 ceramics via air pre‐sintering by deionization treatment of suspension | |
CN101376931A (zh) | 含大块板状碳化钨晶粒的硬质合金的制备方法 | |
Liu et al. | Fabrication, microstructure, dielectric, and ferroelectric properties of (Bi0. 5Na0. 5) 0.94 Ba0. 06TiO3 nanograined ceramics via cold-sintering-assisted sintering | |
JP5381724B2 (ja) | ZnO蒸着材の製造方法 | |
JP5381725B2 (ja) | ZnO蒸着材の製造方法 | |
CN102219516A (zh) | 一种高固含量氧化铈基陶瓷颗粒水系流延浆料的制备方法 | |
CN105218088B (zh) | 一种非化学计量钛酸锶钡基电介质瓷料及制备方法 | |
CN110004416A (zh) | 一种钼靶材的制备方法 | |
JP5428872B2 (ja) | ZnO蒸着材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: HEBEI HENGBO FINE CERAMIC MATERIALS CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: PENGDAXIN MATERIAL SCIENCE + TECHNOLOGY CO., LTD., HEBEI PROV. Effective date: 20150624 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20150624 Address after: 057250 Hebei city of Handan Province in Quzhou county Luo Zhuang Industrial Zone Patentee after: Hebei Hengbo Fine Ceramic Material Co., Ltd. Address before: 057250 in Quzhou County of Hebei province Luo Zhuang Industrial Zone Patentee before: Pengdaxin Material Science & Technology Co., Ltd., Hebei Prov. |
|
C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 057250 Hebei city of Handan Province in Quzhou county Luo Zhuang Industrial Zone Patentee after: Hebei Hengbo new materials Polytron Technologies Inc Address before: 057250 Hebei city of Handan Province in Quzhou county Luo Zhuang Industrial Zone Patentee before: Hebei Hengbo Fine Ceramic Material Co., Ltd. |