CN102173392B - 六氟化硫气体分离净化装置及其六氟化硫净化方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种六氟化硫气体分离净化装置及其六氟化硫净化方法，其净化装置包括第一分离容器和第二分离容器，第一分离容器的进气口通过第一压缩机与六氟化硫气源相连，第一分离容器的出气口通过缓冲容器和第二压缩机与第二分离容器的进气口相连，第二压缩机与第二分离容器之间设置有第九开关阀，第一分离容器的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀，第一分离容器的出液口通过第二开关阀与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀与第一压缩机的进气口连通，第二分离容器的出气口通过减压阀与第五开关阀与大气连通，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连。
Description
技术领域
本发明涉及一种将六氟化硫气体分离净化的装置，同时本发明还涉及基于该六氟化硫气体分离净化装置的六氟化硫净化方法。
背景技术
在目前的电网中六氟化硫电气设备日益增多，据国内有关权威资料数据统计，国内在生产开关产品时一年使用的六氟化硫气体共10000吨左右。目前的检修周期按10年计算，每年需要更换六氟化硫气体十分之一，一年的更换量在1000吨左右，每吨约14万元，平均每年耗资1.4亿元左右。另外，六氟化硫气体也被联合国环境署定为温室气体，它的温室效应是等量二氧化碳气体的23500倍，目前地球气候正经历一次全球变暖，减少温室气体的排放具有重大的战略意义，因此，研发循环净化六氟化硫气体的装置具有深远的意义。目前国内外的处理设备主要以回收装置为主，此种装置对回收后的气体无法再利用，导致气体浪费，气体的大量废弃严重恶化了人类的生存环境。气体的净化处理设备有着巨大的市场，在未来将成为回收装置的替代产品，目前国内外的六氟化硫的分离技术水平不高，研发高品质的净化分离装置将成为行业的发展趋势。
目前国内的六氟化硫净化分离设备存在着二次污染与气体分离不彻底以及排放超标问题。国外设备的分离纯度低，不能满足国内的实际使用要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种六氟化硫气体分离净化装置，以解决现有技术中气体分离不彻底、分离出来的六氟化硫气体的纯度低的问题。同时，本发明还涉及基于该六氟化硫气体分离净化装置的六氟化硫净化方法。
为实现上述目的，本发明的六氟化硫气体分离净化装置采用如下技术方案：一种六氟化硫气体分离净化装置，该装置包括第一分离容器和第二分离容器，两分离容器均具有可换热的冷却介质通道和六氟化硫容腔，第一分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口、进液口和出液口，第二分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口和出液口，第一分离容器的进气口通过第一压缩机与六氟化硫气源相连，第一分离容器的出气口通过缓冲容器和第二压缩机与第二分离容器的进气口相连，第二压缩机与第二分离容器之间设置有第九开关阀，第二压缩机的工作压力大于第一压缩机的工作压力，第一分离容器的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀，第一分离容器的出液口通过第二开关阀与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀与第一压缩机的进气口连通，第二分离容器的出气口通过减压阀与第五开关阀与大气连通，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连。
所述的第一分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第一压力表，所述的第二分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第二压力表。
所述第一分离容器的冷却介质通道的两个端口分别与一制冷机组的制冷介质出口和制冷介质进口相连，所述第二分离容器的制冷介质通道的两个端口分别与所述制冷机组的制冷介质出口和制冷介质进口相连。
所述第一分离容器的进气口与六氟化硫气源之间依次串设有干燥过滤器、低氟化物过滤器和颗粒过滤器。
所述的储液容器的出液口通过注液泵连通有储液钢瓶，注液泵与储液钢瓶之间设置有第七开关阀。
所述的注液泵的出口处为两路，一路通过第七开关阀与储液钢瓶连通，另一路通过第八开关阀与储液容器的出气口相连。
所述的储液钢瓶的进口通过第十开关阀连通有真空泵。
所述第一分离容器和第二分离容器的冷却介质通道为设置在容器内腔中管道，所述第一分离容器和第二分离容器的六氟化硫容腔为容器的内腔。
本发明的六氟化硫净化方法采用如下技术方案：
一种六氟化硫净化方法，该六氟化硫净化方法的净化装置包括第一分离容器和第二分离容器，两分离容器均具有可换热的冷却介质通道和六氟化硫容腔，第一分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口、进液口和出液口，第二分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口和出液口，第一分离容器的进气口通过第一压缩机与六氟化硫气源相连，第一分离容器的出气口通过缓冲容器和第二压缩机与第二分离容器的进气口相连，第二压缩机与第二分离容器之间设置有第九开关阀，第二压缩机的工作压力大于第一压缩机的工作压力，第一分离容器的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀，第一分离容器的出液口通过第二开关阀与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀与第一压缩机的进气口连通，第二分离容器的出气口通过减压阀与第五开关阀与大气连通，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连，第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀、第六开关阀以及第九开关阀均为电磁阀，第一分离容器内设置有第一压力传感器，第一压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第一压力值比较，当第一压力传感器测得的数值大于预设的较大的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀与第九开关阀打开，同时控制第二压缩机启动，将第一分离容器内的气体通过缓冲容器吸入到第二分离容器，当第一压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀与第九开关阀关闭，同时控制第二压缩机停机，第一分离容器内还设置有第一重量测定装置，第一重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第一重量值进行比对，当第一重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第一重量值时，控制系统控制第二开关阀打开，同时控制系统控制第一开关阀、第三开关阀与第四开关阀打开，并控制第一压缩机启动，第一分离容器内的液体流尽后，控制系统控制第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀与第四开关阀关闭，并控制第一压缩机停机，第二分离容器内设置有第二压力传感器，第二压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第二压力值比较，当第二压力传感器测得的数值大于预设的较大的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀打开，第二分离容器内的气体排入大气，当第二压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀关闭，第二分离容器内还设置有第二重量测定装置，第二重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第二重量值进行比对，当第二重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第二重量值时，控制系统控制第六开关阀打开，第二分离容器内的液态六氟化硫充入到第一分离容器，进行第二次提纯。
本发明通过向第一分离容器的冷却介质通道内通入温度较低的冷却介质对通过第一压缩机压入第一分离容器的六氟化硫容腔内的六氟化硫气体进行冷却，使得六氟化硫气体在压力下液化，当液体存到一定的量后，将液体排入储液容器中，储液容器的气压较小，液体中会挥发出一定量的气体，将挥发出来的气体通过第一压缩机压入第一分离容器中进行二次冷却提纯，保证储液容器内的液体纯度。当第一分离容器内的气压达到一定的大小后，启动第二压缩机将第一分离容器内的气体抽入第二离容器内进行冷却，并让这部分气体在更高的压力下液化，并将不液化的气体通过减压阀排入大气中。本发明经过两次冷却提纯保证储液容器内的液体的纯度，同时通过将经过两次加压冷却仍不液化的纯度很低的气体排入空气中，减小六氟化硫中的杂质含量，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连，可以将第二分离容器的六氟化硫容腔中的液体导入第一分离容器继续循环提纯，提高六氟化硫的分离率，减少六氟化硫的浪费，提高六氟化硫的回收率。
本发明的第一分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第一压力表，所述的第二分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第二压力表，通过第一压力表与第二压力表可以准确的确定两分离容器内的压力，准确把握将第一分离容器内的气体压入第二分离容器内的时刻，与将第二分离容器内的气体排出的时刻。
本发明的储液容器的出液口通过注液泵连通有储液钢瓶，注液泵与储液钢瓶之间设置有第七开关阀，通过开启开关阀可以将储液容器中的液体导入储液钢瓶中存储备用，同时，也使得净化装置得以持续工作。
本发明的注液泵的出口处为两路，一路通过第七开关阀与储液钢瓶连通，另一路通过第八开关阀与储液容器的出气口相连，在将第七开关阀打开向储液钢瓶中注液之前可以先打开第八开关阀使管道内的介质在注液泵的作用下循环，使管道内充满液体，保证注入储液钢瓶内的都是液体。
附图说明
图1是本发明实施例的原理图。
具体实施方式
一种六氟化硫气体分离净化装置的实施例，在图1中，该装置包括第一分离容器22，第一分离容器22的内腔中设置有冷却介质通道82，第一分离容器22的冷却介质通道82的两个端口分别与制冷机组80的制冷介质出口和制冷介质进口连通，第一分离容器22的冷却介质通道的端口与制冷机组80的冷介质出口之间设置有第一截止阀。第一分离容器22的进气口与第一压缩机8的出气口连通，第一压缩机8的进气口用于六氟化硫气源连通，这里的六氟化硫气源可以是装在储液钢瓶中的气体，在第一压缩机8与第一分离容器22之间依次串设有低氟化物过滤器13和颗粒过滤器14，第一压缩机8的进气口处串设有干燥过滤器5。第一分离容器22的出气口通过第一开关阀19与缓冲容器21连通，缓冲容器21的出气口与第二压缩机44的进气口连通，第二压缩机的工作压力大于第一压缩机的工作压力。第二压缩机44的出气口通过第九开关阀49与第二分离容器58的进气口相连，第二分离容器58的内腔中设置有冷却介质通道，第二分离容器58的冷却介质通道的两个端口分别与制冷机组80的制冷介质出口和制冷介质进口连通，第二分离容器58的冷却介质通道的端口与制冷机组80的冷介质进口之间设置有第二截止阀。第二分离容器58的出气口与减压阀78的进口连通，减压阀78的出口通过第五开关阀59与大气连通。第二分离容器58的出气口处分为了两路，一路与减压阀78相连，另一路通过第六开关阀38与第一分离容器22的出液口相连。第一分离容器22的出液口分为两路，一路与第六开关阀38相连，另一路通过第二开关阀36与储液容器23的进液口连通，储液容器23的进液口分为两路，其中一路与第二开关阀36连通，另一路通过注液泵35与储液钢瓶81连通，储液钢瓶81与注液泵35之间设置有第七开关阀29，注液泵35的出口处分为了两路，其中一路与第七开关阀29连通，另一路通过第八开关阀32与储液容器23的出气口连通，储液容器23的出气口处分为了两路，一路与第八开关阀32连通，另一路通过第三开关阀12与低氟化物过滤器13的进口连通并通过颗粒过滤器14经第一分离容器22的进气口与出气口和缓冲容器的进气口相连。缓冲容器的出气口与第二压缩机之间具有通过第四开关阀65与第一压缩机8连通的端口。
第一分离容器22的出气口处设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第一压力表18，第二分离容器58的容器侧壁上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第二压力表50。
作为以上技术方案的改进，第七开关阀29与储液钢瓶之间的端口和第八开关阀32与储液容器23的出气口之间的端口通过管道相连，第七开关阀29与储液钢瓶之间的端口和储液钢瓶之间设置有第十开关阀31，储液容器的出液口与第一压缩机和六氟化硫气源之间的端口通过第十一开关阀63连通，第一压缩机和六氟化硫气源之间的端口经过一段第一压缩机和六氟化硫气源之间的管道连接有一个真空泵70，真空泵70的进气口处设置有第十二开关阀69。为了管路的独立性，在第一压缩机8与低氟化物过滤器13之间设置了第十三开关阀62。储液钢瓶81的进口通过第十开关阀31与连通第七开关阀29和储液钢瓶之间的端口与第八开关阀32与储液容器23的出气口之间的端口的管道及第十一开关阀63和真空泵70相连。
在工作时将第一压缩机8的进口接通气源，并将气源的开关打开，六氟化硫气体在第一压缩机8的作用的下经过干燥过滤器5、低氟化物过滤器13和颗粒过滤器14被压入第一分离容器22中，这时制冷机组开始工作，六氟化硫气体在第一分离容器中被冷却并在第一压缩机8的作用下被压缩，当温度降到一定程度，六氟化硫气体液化，由于六氟化硫气体中含有空气等杂质，会存在不液化的气体，当第一分离容器22中的压力达到设定值后，打开第一开关阀19和第九开关阀49，同时启动第二压缩机44将第一分离容器22中的气体经缓冲容器21压入第二分离容器58中，由于第二压缩机的工作压力大于第一压缩机，含杂质的六氟化硫气体在第二分离容器58中继续液化，当压力达到设定值之后开启第五开关阀59将仍然没有液化的纯度很低的气体经减压阀78排入大气中。当第一分离容器22中的压力下降到设定值后，可以停止第二压缩机44并将第九开关阀49关上。当第一分离容器22中液面达到设定值后，打开第二开关阀36，液体会由第一分离容器22中流入储液容器23中，于此同时，将六氟化硫气源的开关关上，同时将第三开关阀12打开，在储液容器23的低压环境中，液体会挥发出一部分气体，这时气体会经过缓冲容器21在第一压缩机8的作用下进入第一分离容器22进行第二次冷却提纯，储液容器23的进液结束后将第三开关阀12关上。当第二分离容器内的液体积聚到一定程度，打开第六开关阀38将液体导入第一分离容器中继续循环提出，需要注意的是：在将第二开关阀36打开时，不可将第六开关阀打开，以防止第二分离容器内的液体误入储液容器中。
当储液容器内的液体达到一定的量后，可以将第十开关阀31、第十一开关阀63与第十二开关阀69打开，同时保证气源开关阀、第十三开关阀62、第七开关阀29、第三开关阀12、第二开关阀36和第八开关阀32处于关闭的状态，然后将真空泵70打开，对储液钢瓶81抽真空，当储液开关阀处于真空状态后，关闭第十开关阀31、第十一开关阀63与第十二开关阀69，打开第八开关阀32同时启动注液泵35，使液体循环开后，关闭第八开关阀32，打开第七开关阀29与第十开关阀31，对储液钢瓶进行注液。
为了方便安装与方便设备的制造，本实施例中的第一分离容器22的出液口和进液口为一个端口，循环回路之间的管路也有一定的重合，当然也可以设置两个端口，将进液口与储液口分开，相应的循环管路也可以分开。同样，本实施例中的第二分离容器58也的出气口和出液口也为同一个端口，当然也可以设置为两个端口，相应的循环线路也可以分开设置。
本实施例中的储液容器的出气口先通过第三开关阀与第一分离容器的进气口连通然后再通过第一分离容器的出气口与缓冲容器相连，当然，也可以另设一循环管路使储液容器通过第三开关阀直接与缓冲容器的进气口相连，以上不同形式的管路连接对本领域的技术人员的来说属于为节省管路而进行的常规改变，不经过创造性劳动就可以作出。
本实施例中的开关阀可以都设置成电磁阀，编程控制各开关阀与两个压缩机，实现整个装置的自动化控制。
为保证系统的压力安全，本实施例中压力元件和压力管道上均设置有安全阀。
由于本实施例中的有些管路是重合的，为了保证各管路的独立性，在管路上增设了一些开关阀，这对本领域的技术人员来说是显而易见的。
一种六氟化硫净化方法的实施例，结合图1，该六氟化硫净化方法的净化装置包括第一分离容器22和第二分离容器58，两分离容器均具有可换热的冷却介质通道和六氟化硫容腔，第一分离容器22具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口、进液口和出液口，第二分离容器58具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口和出液口，第一分离容器22的进气口通过第一压缩机8与六氟化硫气源相连，第一分离容器22的出气口通过缓冲容器和第二压缩机44与第二分离容器58的进气口相连，第二压缩机44与第二分离容器58之间设置有第九开关阀49，第二压缩机44的工作压力大于第一压缩机8的工作压力，第一分离容器22的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀19，第一分离容器22的出液口通过第二开关阀36与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀12与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀65与第一压缩机8的进气口连通，第二分离容器58的出气口通过减压阀与第五开关阀59与大气连通，第二分离容器58的出液口通过第六开关阀38与第一分离容器22的进液口相连，第一开关阀19、第二开关阀36、第三开关阀12、第四开关阀65、第五开关阀59、第六开关阀38以及第九开关阀49均为电磁阀，第一分离容器22内设置有第一压力传感器，第一压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第一压力值比较，当第一压力传感器测得的数值大于预设的较大的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀19与第九开关阀49打开，同时控制第二压缩机44启动，将第一分离容器22内的气体通过缓冲容器吸入到第二分离容器58，当第一压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀19与第九开关阀49关闭，同时控制第二压缩机44停机，第一分离容器22内还设置有第一重量测定装置，第一重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第一重量值进行比对，当第一重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第一重量值时，控制系统控制第二开关阀36打开，同时控制系统控制第一开关阀19、第三开关阀12与第四开关阀65打开，并控制第一压缩机8启动，第一分离容器22内的液体流尽后，控制系统控制第一开关阀19、第二开关阀36、第三开关阀12与第四开关阀65关闭，并控制第一压缩机8停机，第二分离容器58内设置有第二压力传感器，第二压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第二压力值比较，当第二压力传感器测得的数值大于预设的较大的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀59打开，第二分离容器58内的气体排入大气，当第二压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀59关闭，第二分离容器58内还设置有第二重量测定装置，第二重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第二重量值进行比对，当第二重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第二重量值时，控制系统控制第六开关阀38打开，第二分离容器58内的液态六氟化硫充入到第一分离容器22，进行第二次提纯。
Claims (10)
1.一种六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：该装置包括第一分离容器和第二分离容器，两分离容器均具有可换热的冷却介质通道和六氟化硫容腔，第一分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口、进液口和出液口，第二分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口和出液口，第一分离容器的进气口通过第一压缩机与六氟化硫气源相连，第一分离容器的出气口通过缓冲容器和第二压缩机与第二分离容器的进气口相连，第二压缩机与第二分离容器之间设置有第九开关阀，第二压缩机的工作压力大于第一压缩机的工作压力，第一分离容器的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀，第一分离容器的出液口通过第二开关阀与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀与第一压缩机的进气口连通，第二分离容器的出气口通过减压阀与第五开关阀与大气连通，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连。
2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述的第一分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第一压力表，所述的第二分离容器上设置有测试六氟化硫容腔内的气压力的第二压力表。
3.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述的第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀、第六开关阀以及第九开关阀均为电磁阀，第一分离容器内设置有第一压力传感器，第一压传感器的输出端与一控制系统的第一压力信号输入端相连，控制系统的与第一压力信号输入端相对应的信号输出端与第一开关阀、第九开关阀以及第二压缩机控制相连，第一分离容器内还设置有第一重量测定装置，第一重量测定装置的输出端与控制系统的第一重量信号输入端相连，控制系统的与第一重量信号输入端相对应的信号输出端与第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀以及第一压缩机控制相连，第二分离容器内设置有第二压力传感器，第二压传感器的输出端与控制系统的第二压力信号输入端相连，控制系统的与第二压力信号输入端相对应的信号输出端与第五开关阀控制相连，第二分离容器内还设置有第二重量测定装置，第二重量测定装置的输出端与控制系统的第二重量信号输入端相连，控制系统的与第二重量信号输入端相对应的信号输出端与第六开关阀控制相连。
4.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述第一分离容器的冷却介质通道的两个端口分别与一制冷机组的制冷介质出口和制冷介质进口相连，所述第二分离容器的制冷介质通道的两个端口分别与所述制冷机组的制冷介质出口和制冷介质进口相连，所述制冷机组的制冷介质出口与第一分离容器的冷却介质通道端口之间设置有第一截止阀，制冷机组的制冷介质出口与第二分离容器的冷却介质通道端口之间设置有第二截止阀。
5.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述第一分离容器的进气口与六氟化硫气源之间依次串设有干燥过滤器、低氟化物过滤器和颗粒过滤器。
6.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述的储液容器的出液口通过注液泵连通有储液钢瓶，注液泵与储液钢瓶之间设置有第七开关阀。
7.根据权利要求6所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述的注液泵的出口处为两路，一路通过第七开关阀与储液钢瓶连通，另一路通过第八开关阀与储液容器的出气口相连。
8.根据权利要求7所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述的储液钢瓶的进口通过第十开关阀连通有真空泵。
9.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离净化装置，其特征在于：所述第一分离容器和第二分离容器的冷却介质通道为设置在容器内腔中管道，所述第一分离容器和第二分离容器的六氟化硫容腔为容器的内腔。
10.一种六氟化硫净化方法，其特征在于：该六氟化硫净化方法的净化装置包括第一分离容器和第二分离容器，两分离容器均具有可换热的冷却介质通道和六氟化硫容腔，第一分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口、进液口和出液口，第二分离容器具有分别与六氟化硫容腔连通的进气口、出气口和出液口，第一分离容器的进气口通过第一压缩机与六氟化硫气源相连，第一分离容器的出气口通过缓冲容器和第二压缩机与第二分离容器的进气口相连，第二压缩机与第二分离容器之间设置有第九开关阀，第二压缩机的工作压力大于第一压缩机的工作压力，第一分离容器的出气口与缓冲容器之间设有第一开关阀，第一分离容器的出液口通过第二开关阀与储液容器相连，储液容器的出气口通过第三开关阀与缓冲容器的进气口相连，缓冲容器的出气口通过第四开关阀与第一压缩机的进气口连通，第二分离容器的出气口通过减压阀与第五开关阀与大气连通，第二分离容器的出液口通过第六开关阀与第一分离容器的进液口相连，第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀、第六开关阀以及第九开关阀均为电磁阀，第一分离容器内设置有第一压力传感器，第一压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第一压力值比较，当第一压力传感器测得的数值大于预设的较大的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀与第九开关阀打开，同时控制第二压缩机启动，将第一分离容器内的气体通过缓冲容器吸入到第二分离容器，当第一压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第一压力值时，控制系统控制第一开关阀与第九开关阀关闭，同时控制第二压缩机停机，第一分离容器内还设置有第一重量测定装置，第一重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第一重量值进行比对，当第一重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第一重量值时，控制系统控制第二开关阀打开，同时控制系统控制第一开关阀、第三开关阀与第四开关阀打开，并控制第一压缩机启动，第一分离容器内的液体流尽后，控制系统控制第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀与第四开关阀关闭，并控制第一压缩机停机，第二分离容器内设置有第二压力传感器，第二压力传感器将测得的压力值传递给控制系统，控制系统将传来压力值与控制系统预设的第二压力值比较，当第二压力传感器测得的数值大于预设的较大的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀打开，第二分离容器内的气体排入大气，当第二压力传感器测得的数值小于控制系统中预设的较小的第二压力值时，控制系统控制第五开关阀关闭，第二分离容器内还设置有第二重量测定装置，第二重量测定装置将测得的重量值传递给控制系统，控制系统将传来的重量值与预设的第二重量值进行比对，当第二重量测定装置测得的重量值大于等于控制系统预设的第二重量值时，控制系统控制第六开关阀打开，第二分离容器内的液态六氟化硫充入到第一分离容器，进行第二次提纯。
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