CN102094167B - 用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置 - Google Patents

用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。

Description

用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置
技术领域
本发明的方面涉及一种包括第一分离掩模和第二分离掩模的用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。
背景技术
通常，有机发光二极管(OLED)包括设置在第一电极(即，阳极)和第二电极(即，阴极)之间的有机层。第一电极是由例如氧化铟锡(ITO)形成的透明电极，第二电极由具有低逸出功的金属(例如，Ca、Li或Al)形成。当向OLED施加正向电压时，从阳极发射的空穴与从阴极发射的电子组合，以形成激子，在激子从激发态跃迁至基态的同时，发射光。
第二电极通常形成为反射光的反射电极，而第一电极通常形成为透射光的透射电极。因此，可以制造出将从有机层发射的光发射到第二电极的OLED。
这里，有机层可以通过各种方法来形成。方法之一是蒸发方法。为了通过蒸发方法制造OLED显示装置，将具有与要形成的薄膜相同的图案的掩模附着到其上将形成有薄膜的表面，将用于薄膜的材料蒸发，以形成具有预定图案的薄膜。
同时，随着平板显示器变得更大，这样的掩模也变得更大。例如，在掩模的当前制造中，不能制造出与5.5G基底(1320mm×1500mm)的尺寸对应的掩模，因此，应当使用分离掩模。
通常，这样的分离掩模如下形成：将掩模框架四等分成格子类型的子框架；并通过焊接来结合被设置为与分离的开口对应的掩模。
然而，将掩模框架等分为子框架并通过焊接将掩模结合到分离的开口的方法由于子框架而导致阴影效应。因此，难以执行均匀的蒸发。
发明内容
本发明的各方面提供了一种用于蒸发的掩模，该掩模不会由于子框架而具有阴影效应，从而可以制造更大的掩模。
根据本发明的一方面，一种用于蒸发的掩模包括第一分离掩模、第二分离掩模以及形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分。所述第一分离掩模和所述第二分离掩模通过所述焊接部分彼此结合。
所述焊接部分可以在所述焊接部分与所述第一分离掩模之间的界面周围以及在所述焊接部分与第二分离掩模之间的界面周围具有毛刺。所述毛刺的高度可以为大约10μm或更小。
所述第一分离掩模与所述第二分离掩模之间的间隙可以为掩模的厚度的大约10％或更小。
根据本发明的另一方面，一种制造用于蒸发的掩模的方法包括：将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模固定到所述工作台；将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。
设置第一分离掩模和第二分离掩模的步骤可以包括：将主基底设置在所述工作台的所述顶表面上；将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模与所述主基底对准。
可以在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成间隙，所述间隙可以为所述第一分离掩模的厚度的大约10％或更小。
所述方法还可以包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。所述第一辊可以引导所述激光焊接部分。
在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，可以在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成焊接部分。所述方法还可以包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化。所述第二辊可以跟随所述激光焊接部分。
从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。
根据本发明的又一方面，一种用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，设置在所述工作台上；压板，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；激光焊接部分，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上方。所述夹具将第一分离掩模和第二分离掩模固定到所述工作台的顶表面。所述压板将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。所述激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。
所述装置还可以包括设置在所述工作台与所述第一分离掩模及所述第二分离掩模之间的主基底。
从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。没有一个最大峰会处于所述激光束轮廓的中心周围。
所述装置还可以包括定位在所述激光焊接部分的前面的第一辊和定位在所述激光焊接部分的后面的第二辊。所述第一辊和所述第二辊设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上。
所述装置还可以包括支撑件。所述激光焊接部分以及所述第一辊和所述第二辊可以安装在所述支撑件中。在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模的同时，所述支撑件可以沿焊接方向移动。所述第一辊可以引导所述激光焊接部分，并可以将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模期间，所述第二辊可以跟随所述激光焊接部分，并可以将形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分的表面平坦化。
本发明的附加方面和/或优点将部分地在下面的描述中进行说明，并部分地根据描述将是明显的，或者可以由本发明的实施而明了。
附图说明
因为通过参考结合附图考虑的以下详细描述，本发明变得更益于理解，所以本发明的更充分的认识和本发明的许多伴随的优点将更加显而易见，在附图中相同的标号指示相同的或类似的组件，其中：
图1A是根据实施例的用于制造用于蒸发的掩模的装置的示意性透视图；
图1B是沿图1A的剖视线A-A截取的剖视图；
图2是支撑件的示意性透视图，其中安装了根据实施例的用于制造用于蒸发的掩模的装置的激光焊接部分；
图3A示出传统的激光束轮廓；
图3B是示出通过图3A的激光束焊接的部分的照片；
图3C是沿图3B的剖视线B-B截取的剖视图；
图4A示出根据实施例的激光束轮廓；
图4B是示出通过图4A的激光束焊接的部分的照片；
图4C是沿图4B的剖视线C-C截取的剖视图；
图5A是根据实施例的用于蒸发的掩模的示意性平面图；
图5B是沿图5A的剖视线D-D截取的剖视图；
图5C是图5A的区域E的放大照片；
图6是包括用于蒸发的掩模的蒸发装置的示意性剖视图。
具体实施方式
通常，有机发光二极管(OLED)包括设置在第一电极(即，阳极)和第二电极(即，阴极)之间的有机层。第一电极是由例如氧化铟锡(ITO)形成的透明电极，第二电极由具有低逸出功的金属(例如，Ca、Li或Al)形成。当向OLED施加正向电压时，从阳极发射的空穴与从阴极发射的电子组合，以形成激子，在激子从激发态跃迁至基态的同时，发射光。第一电极通常形成为反射光的反射电极，而第二电极通常形成为透射光的透射电极。因此，可以制造出将从有机层发射的光发射到第二电极的OLED。这里，有机层可以通过各种方法来形成。方法之一是蒸发方法。为了通过使用蒸发方法制造OLED显示装置，将具有与要形成的薄膜相同的图案的掩模附着到其上将形成有薄膜的表面，并将用于薄膜的材料蒸发，以形成具有预定图案的薄膜。
现在，在下文中将参照附图更充分地描述本发明，在附图中示出了本发明的示例性实施例。相同的标号贯穿说明书指示相同的元件，当一个部件与另一个部件连接时，这些部件可以彼此“直接连接”，或者在它们之间具有第三装置的情况下彼此“电连接”。此外，在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。
图6是示意性地示出在蒸发方法中使用的包括掩模的蒸发装置2的剖视图。蒸发装置2设置在真空室内部。
参照图6，为了蒸发，为了使用掩模1蒸发用于OLED显示装置的包括薄膜的有机层(即，发射层)的材料，结合到掩模1的框架4安装在坩埚3的前面，坩埚3包含用于薄膜的材料。其上将形成薄膜的对象5设置在框架4的后面。磁体单元6设置在对象5的后面。磁体单元6支撑对象5，并朝向结合到框架4的掩模1驱动对象5。此时，通过用于蒸发薄膜的坩埚3的操作，包含在坩埚3中的材料被蒸发到对象5上。
图1A是根据实施例的用于制造用于蒸发的掩模(称作“蒸发掩模”)的装置的示意性透视图，图1B是沿图1A的剖视线A-A截取的剖视图。
参照图1A和图1B，根据实施例的用于制造蒸发掩模的装置100包括设置在工作台110上的主基底120、激光焊接部分160和CCD相机150。
根据实施例的用于制造蒸发掩模的第一分离掩模170a和第二分离掩模170b设置在主基底120上。在附图中，示出两个分离掩模，但是分离掩模的数量可根据掩模的尺寸改变。
同时，夹具130设置在工作台110上，以将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台110。即，夹具130是用于在焊接操作期间防止分离掩模移动的固定构件。在附图中，示出一对夹具，但是如果需要，则可以包括多个夹具。因此，本发明不限于在图1A中示出的夹具的数量或其位置。
根据实施例的用于制造蒸发掩模的装置包括设置在工作台110上的压板140。具体地说，压板140设置在第一分离掩模170a和第二分离掩模170b的外围区域上，并将第一分离掩模和第二分离掩模压到工作台上。第一分离掩模和第二分离掩模的外围区域是将要结合在一起的第一分离掩模和第二分离掩模的边缘部分。
即，压板140通过将分离掩模170a和170b的外围区域彼此紧密焊接来提供精密焊接。每个压板设置在第一分离掩模区域或第二分离掩模区域上。同时，如上所述，当有多个分离掩模时，可以将多个焊接部分压板设置在将要焊接的相应分离掩模的外围区域上。
图2是支撑件的示意性透视图，其中安装了根据实施例的用于制造用于蒸发的掩模的装置的激光焊接部分。
根据实施例的激光焊接部分160和CCD相机150安装在支撑件191中。此外，第一辊180a和第二辊180b安装在支撑件191中。第一辊180a定位在激光焊接部分160的前面，第二辊180b定位在激光焊接部分160的后面。这里，激光焊接部分的前面和后面基于支撑件191移动所沿着的方向。导向杆190引导支撑件191的移动。元件170是第一分离掩模170a或第二分离掩模170b。
如图2所示，当支撑件191沿导向杆190在X方向上移动时，第一辊180a被描述为设置在激光焊接部分160的前面，第二辊180b被描述为设置在激光焊接部分160的后面。在这种情况下，第一辊180a引导激光焊接部分160，第二辊180b跟随激光焊接部分160。可选地，当支撑件191沿导向杆190在Y方向上移动时，第二辊180b被描述为设置在激光焊接部分160的前面，第一辊180a被描述为设置在激光焊接部分160的后面。在这种情况下，第一辊180a跟随激光焊接部分160，第二辊180b引导激光焊接部分160。因为第一辊和第二辊的参考是相对的，所以可以转换第一辊和第二辊的参考，通常会描述第一辊引导激光焊接部分，第二辊跟随激光焊接部分。随后将描述第一辊180a和第二辊180b的效用。这里，因为在激光焊接部分160沿焊接方向移动的同时执行焊接操作，所以将X方向或Y方向称作焊接方向。
同时，虽然在附图中未示出，但是根据实施例的用于制造蒸发掩模的装置还可以包括用于沿垂直方向驱动工作台110的垂直台驱动构件。由于垂直台驱动构件，工作台可以向上或向下移动，从而有助于工作构件(即，分离掩模)的装载或卸载操作。另外，激光焊接部分160还可以包括在分离掩模的焊接位点提供氮气的气体供给器。然而，这样的驱动构件或气体供给器在本领域中是众所周知的，所以将省略其详细描述。
在下文中，将描述根据实施例的使用用于制造蒸发掩模的装置来制造蒸发掩模的方法。
将要被焊接的分离掩模(即，第一分离掩模170a和第二分离掩模170b)在工作台110的顶表面上对准。这里，第一分离掩模170a和第二分离掩模170b的精密对准可以使用CCD相机150来执行。为了对准第一分离掩模170a和第二分离掩模170b，工作台110由上面描述的台驱动装置来驱动，由此将第一分离掩模170a和第二分离掩模170b装载到适当的焊接位置。
第一分离掩模170a和第二分离掩模170b可以在设置于工作台110上的主基底120上对准。当分离掩模设置在工作台的顶表面上时，主基底120提供精密对准的参考点。然而，可以不包括主基底120。另外，主基底可以不设置在工作台110上，而是插到工作台中。
第一分离掩模和第二分离掩模可以在具有间隙的情况下对准。换句话说，在第一分离掩模170a和第二分离掩模170b之间存在间隙，间隙的尺寸为分离掩模的厚度的大约10％或更少。在图5B中示出间隙G。
换句话说，为了对准，第一分离掩模和第二分离掩模的侧面可以彼此接触，但是由于制造装置和对准技术的限制而产生特定间隙。因此，将第一分离掩模和第二分离掩模之间的间隙调节为分离掩模的厚度的大约10％或更少，由此确保良好的焊接质量。
随后，布置设置在工作台110上的夹具130，以将第一分离掩模固定到工作台110，布置另一夹具，以将第二分离掩模固定到工作台110。
然后，布置压板140，以保持将要彼此紧密焊接的分离掩模的外围区域，由此对分离掩模的将要焊接的区域执行更精密的焊接。
这里，可以使用诸如马达的驱动构件使夹具130和压板140移动并布置到适当的位置，但是移动夹具和压板的顺序不受限制。
然后，驱动激光焊接部分160，以执行焊接操作。如在图2中所示，焊接操作可以沿X方向或Y方向执行。
如上所述，第一辊180a和第二辊180b分别定位在激光焊接部分160的前面和后面，从而可以在焊接操作期间提高分离掩模170a和170b与工作台110之间的紧密附着。在焊接操作期间，可以将在分离掩模的顶表面上产生的毛刺平坦化，由此进一步提高了焊接部分的平坦度。
也就是说，如在图2中所示，当支撑件191沿导向杆190在X方向上移动时，可以通过定位在激光焊接部分160的前面的第一辊180a来提高分离掩模和工作台之间的紧密附着。可以通过定位在激光焊接部分160的后面的第二辊180b使得在焊接操作期间在分离掩模的顶表面上产生的毛刺平坦化，由此进一步提高焊接部分的平坦度。换言之，引导激光焊接部分160的第一辊180a将第一分离掩模170a和第二分离掩模170b压到工作台110上，跟随激光焊接部分160的第二辊180b使第一分离掩模170a和第二分离掩模170b的表面平坦化。
可选地，当支撑件191沿导向杆190在Y方向上移动时，可以通过定位在激光焊接部分160的前面的第二辊180b来提高分离掩模和工作台之间的紧密附着。可以通过定位在激光焊接部分160的后面的第一辊180a使得在焊接操作期间在分离掩模的顶表面上产生的毛刺平坦化，由此进一步提高焊接部分的平坦度。
这里，第一辊180a和第二辊180b可以与具有激光焊接部分160的支撑件191一起形成，因此，第一辊180a和第二辊180b与激光焊接部分一起沿导向杆190移动。
如上所述，在驱动激光焊接部分160以执行焊接操作之后，可以将夹具130和压板140移开，可以将蒸发掩模(即，焊接的第一分离掩模和第二分离掩模)从工作台110卸载，由此完成根据实施例的蒸发掩模。
在下文中，将描述从激光焊接部分产生的激光束轮廓和毛刺之间的关系。
图3A示出传统的激光束轮廓，其示出激光束的强度作为激光束的剖面位置的函数，图3B是示出通过图3A的激光束焊接的部分的照片，图3C是沿图3B的剖视线B-B截取的剖视图。
图4A示出根据实施例的激光束轮廓，其示出激光束的强度作为激光束的剖面位置的函数，图4B是示出通过图4A的激光束焊接的部分的照片，图4C是沿图4B的剖视线C-C截取的剖视图。
如在本领域中已知的是，激光束的强度依赖于激光束的剖视位置而改变。将示出激光束的强度与剖视位置之间的关系的曲线称作激光束轮廓。图3A示出用于焊接操作的传统激光的激光束轮廓。在传统的激光中，激光束强度的最大峰I1的位置P1对应于激光束的剖视位置的中心R1。
在焊接操作期间，会在分离掩模的焊接部分的表面上产生毛刺。图3B示出围绕中心区域(较亮的区域)的环形黑暗区域。较亮的中心区域对应于激光束的剖视位置的中心R1。毛刺200a形成在黑暗区域中，被毛刺围绕的凹槽200b会形成在中心区域中。图3C示出沿图3B的剖视线B-B截取的焊接部分的剖视轮廓。如在图3B和图3C中所示，围绕位置R1形成焊接深度D1(即，被毛刺围绕的凹槽的深度)，在这种情况下，位置R1与具有激光束强度的最大峰I1的位置P1相同。产生具有高度H1的毛刺。用于定义在图3C中示出的深度D1和高度H1的基线是分离掩模的顶表面，如在图5B中所示。通过实验观察到，随着激光束强度增大，凹槽的焊接深度D1和毛刺的高度H1增大。
参照图4A，在根据实施例的激光束轮廓中，位置P2(其中，激光束强度具有最大峰I2)不与激光束的中心R2对应。可以有激光束强度具有最大峰I2的多个位置P2。如在图4A中所示，没有一个最大峰会位于激光束轮廓的中心R2周围。
在这种情况下，当施加相同输出的激光时，根据本发明的激光束轮廓的最大峰I2处的激光束强度比根据在图3A中示出的传统激光束轮廓的最大峰I1处的激光束强度低。也就是说，在实施例中，由于激光束强度具有最大峰I2的多个位置P2，减小了最大峰处的激光束强度，由此与在传统的情况下相比形成较浅的焊接深度。
参照图4B和图4C，焊接深度D2比传统的深度浅，因此，毛刺的高度H2变低。与图3B中的照片相比，图4B示出没有明显的毛刺和凹槽。
这里，毛刺的高度H2可以为大约10μm或更小。当毛刺的高度大于10μm时，阴影效应产生，从而难以执行均匀的蒸发。随着毛刺的高度增大，焊接深度变大，进而导致第一分离掩模和第二分离掩模之间的焊接部分较小。因此，还降低了焊接强度。
同时，激光的输出不受限制，因此可以根据将被焊接的分离掩模的厚度随机地调节激光的输出。然而，重要的是在分离掩模的顶表面上形成高度为大约10μm或更小的毛刺。为此，产生激光束强度具有最大峰I2的多个位置P2，由此控制施加到分离掩模的激光束的强度。
图5A是根据实施例的蒸发掩模的示意性平面图，图5B是沿图5A的剖视线D-D截取的剖视图，图5C是图5A的区域E的放大照片。
参照图5A至图5C，通过经由焊接将两个分离掩模170a和170b直接结合来形成单个蒸发掩模。虽然在附图中示出两个分离掩模，但可以通过焊接将至少两个分离掩模直接结合。即，在本发明中，分离掩模的数量不受限制。
这里，在传统的方法中，掩模框架可以四等分为格子类型的子框架，分离掩模设置为与子框架的每个分离的开口对应。因此，当通过焊接将分离掩模结合到子框架时，子框架的顶表面面对分离掩模的顶表面，使得在子框架的顶表面和分离掩模的顶表面之间产生焊接表面。
然而，在实施例中，焊接表面是分离掩模的侧表面，因为多个分离掩模设置在工作台110上，所以分离掩模的侧表面彼此面对并通过焊接直接结合，而不是使用这样的子框架通过焊接结合。
因此，在传统的技术中，即便通过经由焊接将多个分离掩模结合来制造大尺寸的蒸发掩模，但是由于子框架的厚度，蒸发掩模的平坦化效果较差，并且发生由子框架引起的阴影效应，由此导致难以确保均匀的蒸发。
然而，在实施例中，因为在没有使用子框架的情况下通过焊接将分离掩模直接结合，所以没有发生阴影效应。虽然在焊接操作期间在分离掩模的顶表面上产生毛刺，但是当将毛刺的高度调节至大约10μm或更小时，可以防止由毛刺引起的阴影效应。
这里，根据实施例的第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接结合，间隙G为分离掩模的厚度t的大约10％或更小。
如上所述，将第一分离掩模和第二分离掩模的侧表面对准为彼此接触，但是不可避免的是，由于制造装置和对准技术的局限性，在分离掩模的侧表面之间产生特定尺寸的间隙。另外，随着分离掩模之间的间隙变大，变得更加难以通过焊接将分离掩模直接结合，并且焊接强度降低。
因此，在实施例中，将第一分离掩模和第二分离掩模之间的间隙G设计成是分离掩模的厚度t的大约10％或更小，因此可以确保良好的焊接质量。
随后，参照图5B，如在图5B的放大图中所示，根据实施例的蒸发掩模具有在第一分离掩模170a的侧表面和第二分离掩模170b的侧表面之间形成的焊接部分F。第一分离掩模170a和第二分离掩模170b通过焊接部分F结合在一起。焊接部分F会具有毛刺201a和被毛刺201a围绕的凹槽201b。毛刺201a会在焊接部分与第一分离掩模170a之间的界面周围以及在焊接部分与第二分离掩模170b之间的界面周围形成。毛刺201a会从分离掩模的顶表面突出高度H2，凹槽201b会通过距离分离掩模的顶表面的焊接深度D2形成。
图5C示出在焊接操作之后从分离掩模170a和170b的顶部观看的放大区域E的照片。在焊接操作之后，焊接部分F形成在第一分离掩模170a和第二分离掩模170b之间。在该照片中，焊接部分F具有平坦的顶表面，平坦的顶表面指示出很好地将毛刺控制在期望的高度以下。测量在焊接操作之后蒸发掩模的断裂强度为39.6kgf/mm2，远高于可允许的强度6.34kgf/mm2。
因此，根据实施例的沉积掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生在传统技术中发生的阴影效应，并且就断裂强度而言，可以确保非常好的焊接质量。
虽然已经参照本发明的预定示例性实施例描述了本发明，但本领域技术人员应当理解，在不脱离在权利要求书及其等价物中限定的本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明做出各种修改和改变。

Claims (10)

1.一种制造用于蒸发的掩模的方法，所述方法包括：
将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；
使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模固定到所述工作台；
将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；
使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模，
所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上，所述第一辊引导所述激光焊接部分，
其中，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成焊接部分，所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化，所述第二辊跟随所述激光焊接部分。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上的步骤包括：
将主基底设置在所述工作台的所述顶表面上；
将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模与所述主基底对准。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成间隙，所述间隙为所述第一分离掩模的厚度的10％或更小。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，从所述激光焊接部分产生的激光的束轮廓具有多个最大峰。
5.一种用于制造用于蒸发的掩模的装置，所述装置包括：
工作台；
夹具，设置在所述工作台上，所述夹具将第一分离掩模和第二分离掩模固定到所述工作台的顶表面；
压板，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上，所述压板将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上；
激光焊接部分，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上方，所述激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模，
第一辊和第二辊，所述第一辊定位在所述激光焊接部分的前面，所述第二辊定位在所述激光焊接部分的后面，所述第一辊和所述第二辊设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上，
其中，所述第一辊引导所述激光焊接部分，并将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模期间，所述第二辊跟随所述激光焊接部分，并将形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分的表面平坦化。
6.根据权利要求5所述的装置，所述装置还包括：主基底，设置在所述工作台与所述第一分离掩模及所述第二分离掩模之间。
7.根据权利要求5所述的装置，其中，从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓具有多个最大峰。
8.根据权利要求7所述的装置，其中，没有一个最大峰处于所述激光束轮廓的中心周围。
9.根据权利要求5所述的装置，所述装置还包括支撑件，所述激光焊接部分以及所述第一辊和所述第二辊安装在所述支撑件中。
10.根据权利要求9所述的装置，其中，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模的同时，所述支撑件沿焊接方向移动。
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