CN101857606B

CN101857606B - 甲基氯硅烷并联双效精馏方法

Info

Publication number: CN101857606B
Application number: CN2010102099282A
Authority: CN
Inventors: 许春建
Original assignee: Tianjin University
Current assignee: Tianjin University
Priority date: 2010-06-25
Filing date: 2010-06-25
Publication date: 2012-08-08
Anticipated expiration: 2030-06-25
Also published as: CN101857606A

Abstract

本发明公开了甲基氯硅烷并联双效精馏方法，它包括以下步骤：合成甲基氯硅烷的产物经脱高塔脱除重组分、脱低塔脱除轻组分后得到二甲基二氯硅烷和一甲基三氯硅烷的混合物，将混合物分为两股物料分别送入彼此之间并联设置的高压精制和低压精制两条精馏系统，其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔和二甲基二氯硅烷低压塔组成的低压精制精馏系统，一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔、二甲基二氯硅烷低压塔塔底再沸器的热源。采用并联的两条加工线可节约能耗20％～40％以上，并且节约了循环水的用量。

Description

甲基氯硅烷并联双效精馏方法

技术领域

本发明涉及一种双效精馏方法，特别是涉及一种甲基氯硅烷并联双效精馏方法。

背景技术

甲基氯硅烷是由氯甲烷和硅粉在催化剂的作用下合成的，其反应产物主要有二甲基二氯硅烷(Me2)，一甲基三氯硅烷(Me1)，低沸点物质如三甲基一氯硅烷(Me3)和高沸物，其中以Me2含量最高，价值最大。

Me2的主要用途是生产有机硅材料聚硅氧烷的重要中间体，但对Me2的纯度要求较高，一般在99.9％(wt.)以上，制备高温硅橡胶需要在99.95％以上。制备高纯度Me2的方法是精馏，但是由于Me2的常压沸点(70.1℃)与Me1的常压沸点(66.1℃)非常接近，仅相差4℃，因此，实现二者的精密分离需要较多的理论板数和100以上的回流比，能量消耗很大。

目前工业上应用的甲基氯硅烷精制流程虽然各有不同，但原则上流程可以概括为：粗甲基氯硅烷进入脱高塔，脱除重组分，然后进入脱低塔，脱除Me3、四氯化硅等轻组分，轻组分进入后续分离，Me2与Me1的混合物进入Me1、Me2精制系统。Me1、Me2精制系统由Me2与Me1分离塔和Me2精制塔组成(进一步脱除重组分，该塔是否建立取决于厂家追求的Me2的纯度)。Me2与Me1分离塔，可以是在一个塔内实现两组分分离的二元塔，也可以是两个塔，即在一个塔的塔顶得到Me1，塔釜含有少量的Me1，进入第二个塔回收Me1，在塔底得到Me2。这两种分离方式没有本质的区别，只是两塔分离较二元塔操作更稳定可靠。Me2精制的能耗，包括Me2与Me1间的分离和Me2与高沸物之间的分离，几乎占了整个有机硅单体精制能耗的80％以上。

为了降低能耗，申请号为200680046120.9的中国专利提出了加入第三组分，提高Me2与Me1之间的相对挥发度，进而降低能耗的方法，但是第三组分的加入虽然降低了Me2与Me1间分离的难度，所形成的共沸组分的分离成为新的问题，且该方法没有解决Me2与高沸物之间分离能耗高的问题。申请号为200810159460.3的中国专利提出了一种甲基氯硅烷精制的流程，合理安排了切割流程顺序，但是并没有解决Me2与Me1间分离和Me2精制的能耗高的问题。

精馏过程在化工精制过程中应用广泛，但其主要缺点是热力学效率低，能耗大。为了克服以上缺点，带有能量耦合的三效蒸馏和双效蒸馏得到了越来越多的应用。以双效精馏为例，如果A塔的塔顶温度比B塔的温度高于一定的数值，就可以将A塔的冷凝器与B塔的再沸器合为一个设备，节省A塔塔顶冷凝所需要的冷凝水和B塔塔釜加热所需要的蒸汽或其他热源。一般双效精馏可以节约40％以上的加热量。

目前，甲基氯硅烷生产装置向大型化发展，新建装置的生产能力一般在8万吨/年以上。由于Me2精制需要大量的理论板，故新设计一般采用高效丝网规整填料塔。以8万吨/年甲基氯硅烷装置为例，Me2与Me1分离塔的直径在Φ4000左右，而大塔径的丝网填料塔对液体、气体的初始分布和再分布要求很高，放大效应随着塔径的增大而增大。

因此，找到一种操作方便、可靠且低能耗的甲基氯硅烷精制方法，同时解决大型甲基氯硅烷精馏装置可能存在的放大效应，是有必要的。

发明内容

本发明的目的在于克服已有技术的缺点，提供一种操作方便、可靠、能耗低且可以解决大型甲基氯硅烷精馏装置存在的放大效应的甲基氯硅烷并联双效精馏方法。

本发明的甲基氯硅烷并联双效精馏方法，它包括以下步骤：

合成甲基氯硅烷的产物经脱高塔脱除重组分、脱低塔脱除轻组分后得到二甲基二氯硅烷和一甲基三氯硅烷的混合物，将所述的混合物分为两股物料分别送入彼此之间并联设置的高压精制和低压精制两条精馏系统，两条精馏系统中各有一个相同功能的塔彼此对应，其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔和二甲基二氯硅烷低压塔组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔、二甲基二氯硅烷低压塔塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷塔高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔、二甲基二氯硅烷低压塔塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。

本发明的有益效果和优点在于：采用并联的两条加工线，利用操作压力的不同，使高压塔的气相加热相应低压塔的再沸器，实现了能量的二次利用，可节约能耗20％～40％以上，并且同时节约了循环水的用量；由于采用了并联操作，每条加工线的精馏塔的塔径均较一条加工线时塔径减小，这样避免了由于塔径过大，造成放大效应带来的效率下降的问题，这一点对大型有机氯硅烷精制尤为重要。同时本发明是以并联的两条加工线进行甲基氯硅烷的双效精馏，设备是普通的精馏塔，工艺可靠；由于采用了双效精馏，能耗降低40％以上；采用了并联的加工方式，缩小了单个塔的塔径，避免了大型塔器的放大效应和可能带来的分离效率的下降；对于现有的有机硅生产厂家，在扩大生产能力时，采用并联、不同操作压力的两条线对原有装置进行改造，可以在少量增加能耗的同时，达到扩产100％的目的，使单耗降低20％～40％以上。

附图说明

附图是本发明的甲基氯硅烷并联双效精馏方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

本发明处理的物料为甲基氯硅烷经脱轻和脱重后的Me1和Me2混合物。本发明采用并联的两条加工路线实现Me2和Me1的精制，其中一条线为高压加工线，另一条线为低压加工线，两条线的精馏顺序完全相同，不同的是加工量和操作压力。调整高压加工线和低压加工线的操作压力，使高压塔的塔顶温度高于低压塔塔釜10℃以上(相差温度不宜过高，温度差加大，使得能耗增加)，这样高压塔的塔顶气相能够作为低压塔再沸器的热源。调整两条线的处理能力(即两股物料流量的比例)，具体的加工量根据塔板数和回流比的不同进行调节，使高压塔冷凝器的热量与相应的低压塔再沸器的热量匹配。

基于上述工作原理，如附图所示的本发明的甲基氯硅烷并联双效精馏方法，它包括以下步骤：合成甲基氯硅烷的产物经脱高塔脱除重组分、脱低塔脱除轻组分后得到二甲基二氯硅烷和一甲基三氯硅烷的混合物，将所述的混合物分为两股物料分别送入彼此之间并联设置的高压精制和低压精制两条精馏系统，两条精馏系统中各有一个相同功能的塔彼此对应，其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔1和二甲基二氯硅烷高压塔2组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔4和二甲基二氯硅烷低压塔5组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1和二甲基二氯硅烷高压塔2的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷塔高压塔1和二甲基二氯硅烷高压塔2的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。如果产品Me2中的重组分很高或者脱除Me1后，Me2的产品纯度不能达到要求，则设置Me2精制塔，流程中相应的增加Me2高压、低压精制塔3和6。即：所述的二甲基二氯硅烷高压塔2的塔底出料送入二甲基二氯硅烷高压精制塔3进行进一步精馏；所述的二甲基二氯硅烷低压塔5的塔底出料送入二甲基二氯硅烷低压精制塔6进行进一步精馏；所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相作为二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器的热源，所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相温度高于所述的二甲基二氯硅烷低压精制塔塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。

这样塔1、2和3的塔顶气相作为塔4、5和6的再沸器7、8和9的热源，塔1与4，2与5，3与6分别共用一台再沸器7、8和9换热，从而达到能量的二次利用。

在图中所示的流程中在一甲基三氯硅烷高压塔1和一甲基三氯硅烷低压塔4塔顶馏出Me1，一甲基三氯硅烷高压塔1塔顶馏出的Me1组分送入一甲基三氯硅烷低压塔4的塔底再沸器7作为其热源；一甲基三氯硅烷高压塔1和一甲基三氯硅烷低压塔4的塔底出料分别送入二甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷低压塔5；在二甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷低压塔5的塔顶馏出富含Me1的组分，其中二甲基二氯硅烷低压塔5的塔顶馏出的富含Me1的组分返回一甲基三氯硅烷低压塔4，二甲基二氯硅烷高压塔2的塔顶馏出的富含Me1的组分送入二甲基二氯硅烷低压塔5的塔底再沸器8作为其热源然后返回一甲基三氯硅烷高压塔1。二甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷低压塔5的塔底出料分别送入二甲基二氯硅烷高压精制塔3和二甲基二氯硅烷低压精制塔6，在二甲基二氯硅烷高压精制塔3和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔顶分别馏出二甲基二氯硅烷，其中二甲基二氯硅烷高压精制塔3塔顶馏出的二甲基二氯硅烷作为二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器9的热源。

Me1与Me2的分离也可以采用二元塔进行分离，Me1与Me2在一个塔内实现清晰分割，将加工流程简化。这样高压和低压加工线的塔2和5将取消，塔1和塔4的塔釜出料Me2直接进入后续的Me2精制塔。即所述的一甲基三氯硅烷高压塔1和二甲基二氯硅烷高压塔2采用一个二元高压塔代替，所述的一甲基三氯硅烷低压塔4和二甲基二氯硅烷低压塔5采用一个二元低压塔代替。

如果产品Me2中的重组分含量很高或者脱除Me1后，Me2的产品纯度不能达到要求，则设置Me2精制塔，流程中相应的增加高压、低压Me2精制塔3和6。即所述的一甲基三氯硅烷高压塔1和二甲基二氯硅烷高压塔2采用一个二元高压塔代替，所述的二元高压塔塔底出料送入二甲基二氯硅烷高压精制塔3进行进一步精馏；所述的一甲基三氯硅烷低压塔4和二甲基二氯硅烷低压塔5采用一个二元低压塔代替，所述的二元低压塔塔底出料送入二甲基二氯硅烷低压精制塔6进行进一步精馏。

所述的高压精制精馏系统中每塔的塔顶操作压力为0.15-1.0MpaG(表压)。

所述的二元高压塔的塔顶操作压力为0.15-1.0MPaG(表压)。

本发明所采用的塔设备为板式塔或者填料塔，由于填料塔具有更低的操作压降，所以优选填料塔。

本发明采用双效精馏节能技术，提供一种新型的甲基氯硅烷分离系统及工艺，大幅度降低甲基氯硅烷精制所需要的能耗。本工艺流程简单，容易实现工业化生产，由于考虑了热量的集成，能较大地降低生产成本。本发明采用了能量集成优化系统，回收冷量和热量，由于采用了高压低压两条加工线，高压塔的塔顶气相作为低压塔再沸器的热源，可以节约操作能耗40％以上。

实施例1

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用双塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7963kg/hr，低压加工线的进料量为9732kg/hr。其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔1、二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔4、甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器中塔底出料的温度11-12℃。高压精制精馏系统的每塔的塔顶操作压力为0.15MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	1997	＞99.5
Me2	14948	＞99.95

如果采用传统工艺的单条线的加工方式，相同处理量和产品纯度下，与本发明的能耗对比数据为：

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的59.77％，冷凝器负荷为传统流程的59.27％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

实施例2

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用二元塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7963kg/hr，低压加工线的进料量为9732kg/hr。其中一股物料进入由二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6组成的低压精制精馏系统，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相分别作为二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器的热源，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相的温度分别高于所述的二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器中塔底出料的温度11-13℃。所述的二元高压塔操作压力为0.15MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	2000	＞99.5
Me2	14987	＞99.95

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的57.05％，冷凝器负荷为传统流程的56.86％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

实施例3

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用双塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7000kg/hr，低压加工线的进料量为11750kg/hr。其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔1、二氯硅烷高压塔2组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔4、甲基二氯硅烷低压塔5组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5的塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5塔底再沸器中塔底出料的温度11-13℃。高压精制精馏系统的每塔的塔顶操作压力为0.5MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	2013	＞99.5

Me2

14970

＞99.96

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的68.13％，冷凝器负荷为传统流程的67.57％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

实施例4

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用二元塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7963kg/hr，低压加工线的进料量为9732kg/hr。其中一股物料进入由二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6组成的低压精制精馏系统，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相分别作为二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器的热源，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相的温度分别高于所述的二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器中塔底出料的温度10.5-12℃以上。所述的二元高压塔的塔顶操作压力为0.5MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	2000	＞99.5
Me2	14995	＞99.96

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的65.04％，冷凝器负荷为传统流程的64.82％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

实施例5

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用双塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7963kg/hr，低压加工线的进料量为9732kg/hr。其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔1、二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔4、甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷高压塔1、甲基二氯硅烷高压塔2和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔4、二甲基二氯硅烷低压塔5和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器中塔底出料的温度10.5-12℃。高压精制精馏系统的每塔的塔顶操作压力为1.0MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	2007	＞99.5
Me2	14950	＞99.96

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的77.70％，冷凝器负荷为传统流程的77.05％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

实施例6

如图1所示，由两条加工线组成，Me2与Me1的分离采用二元塔流程的并联双效精馏流程，总进料量为18750kg/hr，折合150kt/a的Me1和Me2产量。进料中Me2的含量为80％，Me1的含量为10.77％(质量含量)。高压加工线的进料量为7963kg/hr，低压加工线的进料量为9732kg/hr。其中一股物料进入由二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6组成的低压精制精馏系统，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相分别作为二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6的塔底再沸器的热源，所述的二元高压塔和二甲基二氯硅烷高压精制塔3的塔顶气相的温度分别高于所述的二元低压塔和二甲基二氯硅烷低压精制塔6塔底再沸器中塔底出料的温度11-13℃以上。所述的二元高压塔的塔顶操作压力为1.0MPaG。

得到的产品量和产品纯度为：

产品名称	产量kg/hr	产品纯度wt.％
			Me1	2014	＞99.5
Me2	15004	＞99.95

从以上对比数据可以看出，采用并联双效精馏，在相同的处理量和相同产品纯度和产品收率时，热量消耗仅为传统流程的74.17％，冷凝器负荷为传统流程的73.92％，这样，大幅度地降低了蒸汽消耗和循环水的用量。

Claims

1.甲基氯硅烷并联双效精馏方法，其特征在于它包括以下步骤：

合成甲基氯硅烷的产物经脱高塔脱除重组分、脱低塔脱除轻组分后得到二甲基二氯硅烷和一甲基三氯硅烷的混合物，将所述的混合物分为两股物料分别送入彼此之间并联设置的高压精制和低压精制两条精馏系统，两条精馏系统中各有一个相同功能的塔彼此对应，其中一股物料进入由一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔组成的高压精制精馏系统，另外一股物料进入由一甲基三氯硅烷低压塔和二甲基二氯硅烷低压塔组成的低压精制精馏系统，所述的一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔的塔顶气相分别作为一甲基三氯硅烷低压塔、二甲基二氯硅烷低压塔塔底再沸器的热源，所述的一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔的塔顶气相的温度分别高于所述的一甲基三氯硅烷低压塔、二甲基二氯硅烷低压塔塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。

2.根据权利要求1所述的甲基氯硅烷并联双效精馏方法，其特征在于：所述的二甲基二氯硅烷高压塔的塔底出料送入二甲基二氯硅烷高压精制塔进行进一步精馏；所述的二甲基二氯硅烷低压塔的塔底出料送入二甲基二氯硅烷低压精制塔进行进一步精馏；所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔的塔顶气相作为二甲基二氯硅烷低压精制塔塔底再沸器的热源，所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔的塔顶气相温度高于所述的二甲基二氯硅烷低压精制塔塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。

3.根据权利要求2所述的甲基氯硅烷并联双效精馏方法，其特征在于：所述的一甲基三氯硅烷高压塔和二甲基二氯硅烷高压塔采用一个二元高压塔代替，所述的一甲基三氯硅烷低压塔和二甲基二氯硅烷低压塔采用一个二元低压塔代替。

4.根据权利要求3所述的甲基氯硅烷并联双效精馏方法，其特征在于：所述的二元高压塔塔底出料送入二甲基二氯硅烷高压精制塔进行进一步精馏；所述的二元低压塔塔底出料送入二甲基二氯硅烷低压精制塔进行进一步精馏，所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔的塔顶气相作为二甲基二氯硅烷低压精制塔塔底再沸器的热源，所述的二甲基二氯硅烷高压精制塔的塔顶气相温度高于所述的二甲基二氯硅烷低压精制塔塔底再沸器中塔底出料的温度10℃以上。