CN109988188B - 基于非清晰分割精馏技术分离有机硅混合单体甲基氯硅烷的装置及分离方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于非清晰分割精馏技术分离有机硅混合单体甲基氯硅烷的装置，在二元塔前增设二甲塔，以提供新的能级，同时分离出部分合格二甲产品；对脱高塔、二甲塔、二元塔之间采用三效精馏办法，将脱高塔的塔顶物料蒸汽向二甲塔塔底的再沸器供热，二甲塔塔顶的塔顶物料蒸汽向二元塔塔底的再沸器供热。还公开了分离方法，在顺式切割的八塔流程上改进：在二元塔之前增设二甲塔，用于分离出部分合格的二甲基二氯硅烷产品，同时提供一个新的用于换热的能级；通过调节各塔温度压力，使脱高塔塔顶蒸汽可为二甲塔供热，二甲塔塔顶蒸汽可为二元塔、脱低塔、轻分塔供热。本发明实现有机硅精馏工艺流程的显著节能节水效果，具备较高的经济效益。
Description
技术领域
本发明涉及有机硅单体精馏技术领域，尤其是节能节水型甲基氯硅烷精馏方法；具体涉及一种使用非清晰分割技术与多效精馏技术分离甲基氯硅烷装置和方法。
背景技术
有机硅化合物，一般指代含有Si-C键的化合物，因兼具无机材料与有机材料的性能，其聚合物拥有诸多优异性能，被广泛应用在电子电气、建筑、化工、纺织、轻工、医疗等各行业，有“工业味精”之称。而有机硅单体作为有机硅高聚物的起始生产原料，在有机硅产业中占据重要地位。甲基氯硅烷，主要包括一甲基三氯硅烷(后称一甲)、二甲基二氯硅烷(后称二甲)、三甲基一氯硅烷(后称三甲)三种，作为重要的有机硅单体种类，其分离工艺的节能优化具备巨大的经济效益。目前，对工业中常见的甲基氯硅烷分离技术，工业中仅实现了普通精馏技术的应用。对应的精馏方案主要分为顺式切割、反式切割、中段切割三种，其中，反式切割与中段切割因为实际操作中容易导致二甲产品不达标，目前工业中主要使用顺式切割流程方案。
常见的顺式切割流程有八塔流程、九塔流程等。典型的顺式八塔流程包括脱高塔、高沸塔、脱轻塔、二元塔、轻分塔、一甲含氢塔、共沸塔、三甲塔共八塔。物料从脱高塔进入，经轻分塔分离轻组分与一甲二甲混合物，之后从二元塔塔底采出二甲基二氯硅烷，塔顶采出一甲基三氯硅烷；从一甲含氢塔顶采出甲基氢二氯硅烷；从三甲塔塔顶采出三甲基一氯硅烷，具体流程可参考《国内甲基氯硅烷分离技术现状及改进方法》(孙建阳等，2015)。由于该流程较长，精馏塔数目多，整体能耗大，而对其的改进技术主要针对于如何在。因而，有必要结合多种新式精馏技术，探索高效节能办法。
多效精馏技术(multi-effect distillation，简称MED)是指通过将整个精馏流程分为能量等级(即温度)不同的多个塔，用温度较高塔的塔顶蒸汽向温度较低塔的再沸器供热，同时将蒸汽冷凝。这样，在循环多效精馏中，只有第一个塔的塔釜需要高压蒸汽提供热量，最后一个塔的塔顶蒸汽用冷却工质来进行冷凝，其余各塔不再需要由外界进行供热和冷却，因而具备明显的节能效果。需要注意的是，实际操作中，通常可以通过将单个精馏塔拆分成能级不同的多个塔的方式，构成多效精馏。常见的多效精馏技术以双效精馏为主。
非清晰分割技术，是指在精馏时，选择不在一个塔内将主要产物进行完全的分离，而是选择在塔顶/塔底一端分离出高纯度的部分产物，另一端分离出含有该产物的混合物。这种方法以前主要是为了解决主产物分离纯度无法达标而提出的，而在结合多效精馏技术后，也可提供一个额外的能级。
发明内容
本发明为克服现有技术的不足，提供一种基于非清晰分割精馏技术分离有机硅混合单体甲基氯硅烷的装置及分离方法。
本发明提供了一个使用非清晰分割与多效精馏技术，尤其是三效精馏技术来分离有机硅单体甲基氯硅烷混合物的装置及方法，该装置包括有原料预热器E1，脱高塔T1，脱高塔塔底再沸器H1；高沸塔T9，高沸塔塔底再沸器H9，高沸塔塔顶冷凝器C9；脱轻塔T2，脱轻塔塔底再沸器H2，脱轻塔塔顶冷凝器C2；二甲塔T3，二甲塔塔底再沸器H3A，二甲塔塔底第二再沸器H3B；二元塔T4，二元塔塔底再沸器H4，二元塔塔顶冷凝器C4；轻分塔T5，轻分塔塔底再沸器H5，轻分塔塔顶冷凝器C5；一甲含氢塔T6，一甲含氢塔塔底再沸器H6，一甲含氢塔塔顶冷凝器C6；共沸塔T7，共沸塔塔底再沸器H7，共沸塔塔顶冷凝器C7；三甲塔T8，三甲塔塔底再沸器H8，三甲塔塔顶冷凝器C8。其中，脱高塔T1塔顶蒸汽管道和二甲塔塔底第一再沸器H3A相连；二甲塔T3塔顶蒸汽管道和二元塔塔底再沸器H4、脱轻塔塔底再沸器H2、轻分塔塔底再沸器H5相连；高压蒸汽冷凝后的高温水管道与原料预热器E1，共沸塔塔底再沸器H7、一甲含氢塔塔底再沸器H6相连；二甲塔T3塔底高温产品物流和共沸塔底再沸器H8相连。其余再沸器均和高压蒸汽管道相连，冷凝器均与工艺冷却水管道相连。
应用该装置的方法，首先利用非清晰分割技术，在二元塔T4前增设二甲塔T3，用以提供新的能级，同时分离出部分合格二甲产品；在此基础上，通过调节脱高塔T1、二甲塔T3、二元塔T4的工作压力与温度，分成三个能级差距显著的塔，从而构成三效精馏，起到显著的节能节水效果。
本发明的第一个技术方案如下：基于非清晰分割精馏技术分离有机硅混合单体甲基氯硅烷的装置，包括:原料预热器E1，脱高塔T1，脱高塔塔底再沸器H1；高沸塔T9，高沸塔塔底再沸器H9，高沸塔塔顶冷凝器C9；脱轻塔T2，脱轻塔塔底再沸器H2，脱轻塔塔顶冷凝器C2；二元塔T4，二元塔塔底再沸器H4，二元塔塔顶冷凝器C4；轻分塔T5，轻分塔塔底再沸器H5，轻分塔塔顶冷凝器C5；一甲含氢塔T6，一甲含氢塔塔底再沸器H6，一甲含氢塔塔顶冷凝器C6；共沸塔T7，共沸塔塔底再沸器H7，共沸塔塔顶冷凝器C7；三甲塔T8，三甲塔塔底再沸器H8，三甲塔塔顶冷凝器C8；
在二元塔T4前增设二甲塔T3，用以提供新的能级，同时分离出部分合格二甲产品；对脱高塔T1、二甲塔T3、二元塔T4之间采用三效精馏办法，将脱高塔T1的塔顶物料蒸汽向二甲塔T3塔底的再沸器H3A供热，二甲塔T3塔顶的塔顶物料蒸汽向二元塔T4塔底的再沸器H4供热；
脱高塔T1塔顶蒸汽出口连接到二甲塔T3塔底第一再沸器H3A高温流体进口，二甲塔T3塔底第一再沸器H3A高温流体出口连接到脱高塔T1的塔顶冷凝液入口；
二甲塔T3塔顶蒸汽出口经蒸汽分配器，连接到二元塔T4塔底再沸器H4、脱轻塔塔底再沸器H2、轻分塔塔底再沸器H5的高温流体进口，二元塔塔底再沸器H4、脱轻塔塔底再沸器H2、轻分塔塔底再沸器H5的高温流体出口连接到二甲塔T3的塔顶冷凝液入口；
高压蒸汽冷凝后的高温水用来给原料预热器E1、共沸塔塔底再沸器H7、一甲含氢塔再沸器H6供热，高压蒸汽冷凝后的高温水管道连接到原料预热器E1高温流体进口，原料预热器E1高温流体出口连接到共沸塔塔底再沸器H7高温流体进口，共沸塔塔底再沸器H7高温流体出口连接到一甲含氢塔塔底再沸器H6高温流体进口；
二甲塔T3塔底高温产品物流出口连接到共沸塔底再沸器H8高温流体进口；二甲塔T3的塔底产品用于三甲塔T8塔底再沸器H8供热，之后作为产品流出；
所述脱高塔T1塔底再沸器H1采用高压蒸汽冷凝供热。
本发明的第二个技术方案是采用上述装置的分离方法，包括如下步骤：
1)原料粗单体经预热后进入脱高塔T1，塔底产出温度不高于130℃的混合物，流入到高沸塔T9中；
高沸塔T9塔顶蒸汽经高沸塔塔顶冷凝器C9完全冷凝成液体后，回流部分流入高沸塔T9，产品部分流入到脱高塔T1中，塔底流出高沸物产品；
2)脱高塔T1塔顶蒸汽经二甲塔塔底再沸器H3完全冷凝成液体后，回流部分流入脱高塔T1，产品部分流入脱轻塔T2中；
脱轻塔T2塔底一甲二甲混合物产品流入到二甲塔T3中；
二甲塔T3塔顶混合物蒸汽经二元塔塔底再沸器H4、脱轻塔塔底再沸器H2、轻分塔塔底再沸器H5完全冷凝后，回流部分流入二甲塔T3，产品部分流入到二元塔T4中；
二甲塔T3塔底高温高纯二甲基二氯硅烷产品经三甲塔塔底再沸器H8冷却供热后，与二元塔T4塔底产品混合，作为二甲基二氯硅烷产品流出；
二元塔T4塔顶高纯一甲基三氯硅烷蒸汽经塔顶冷凝器C4完全冷凝后，回流部分流入二元塔T4，产品部分作为一甲基三氯硅烷产品流出；
二元塔T4塔底混合物与二甲塔T3塔底产品混合，作为二甲基二氯硅烷产品流出；
3)脱轻塔T2塔顶蒸汽经脱轻塔塔顶冷凝器C2完全冷凝后，回流部分流入脱轻塔T2，产品部分流入轻分塔T5中；
轻分塔T5塔顶轻组分产品蒸汽经轻分塔塔顶冷凝器C5完全冷凝后，回流部分流入轻分塔T5，产品部分作为废弃轻组分流出，塔底产品流入到一甲含氢塔T6中；
一甲含氢塔T6塔顶甲基氢二氯硅烷产品蒸汽经一甲含氢塔塔顶冷凝器C6完全冷凝后，回流部分流入一甲含氢塔T6，产品部分作为甲基氢二氯硅烷产品流出，塔底产品流入到共沸塔T7中；
共沸塔T7塔顶共沸物产品蒸汽经共沸塔塔顶冷凝器C7完全冷凝后，回流部分流入共沸塔T7，产品部分作为共沸物流出，塔底产品流入到三甲塔T8中；
三甲塔T8塔顶三甲基一氯硅烷产品蒸汽经三甲塔塔顶冷凝器C8完全冷凝后，回流部分流入三甲塔T8，产品部分作为三甲基一氯硅烷产品流出，塔底产品循环回原料罐或送出界区。
脱高塔T1与二甲塔T3、二甲塔T3与二元塔T4、二甲塔T3与脱轻塔T2、二甲塔T3与轻分塔T5的各温度差至少为15℃。
通过调节流入二甲塔T3的操作温度压力与二元塔T4的塔底循环用产品流量，使二甲塔T3的塔顶物料蒸汽足够用来给二元塔T4塔底再沸器H4、脱低塔T2塔底再沸器H2、轻分塔T5塔底再沸器H5供热。
所述脱高塔T1的塔顶回流比为4-8，全塔压力为300kPa-450kPa。
所述脱轻塔T2的塔顶回流比为40-90，全塔压力为110kPa-140kPa。
所述二甲塔T3的塔顶回流比为10-20，全塔压力在为180kPa-250kPa，塔底设有第一再沸器H3A和第二再沸器H3B，第一再沸器H3A采用脱高塔塔顶物料蒸汽供热，第二再沸器H3B采用高压蒸汽冷凝供热。
所述二元塔T4的塔顶回流比在为60-150，全塔压力为100kPa-140kPa。
所述轻分塔T5的塔顶采出轻组分，回流比为50-100，全塔压力为180kPa-250kPa；所述一甲含氢塔T6的塔顶回流比为2-5，全塔压力维持在常压状态。
所述共沸塔T7的塔顶回流比为100-200，全塔压力维持为150kPa-200kPa；所述三甲塔T8的塔顶回流比为4-6，全塔压力维持在常压状态；
所述高沸塔T9的塔顶回流比为2-9，全塔压力维持在常压状态。
本发明的有益效果体现在：
1.在常见的顺式切割八塔分离流程基础上，根据非清晰分割技术的理念，在二元塔前增设了二甲塔，用于提供新的额外能级，同时分离部分二甲基二氯硅烷产品；
2.通过增设调节脱高塔T1的操作压力，使得脱高塔T1与二甲塔T3、二甲塔T3与二元塔T4、二甲塔T3与脱轻塔T2、二甲塔T3与轻分塔T5的温度差不小于15℃；同时，通过调节流入二甲塔T3的操作温度压力与二元塔T4的塔底循环用产品流量，使二甲塔T3的塔顶物料蒸汽恰巧足够用来给二元塔T4塔底再沸器H4、脱低塔T2塔底再沸器H2、轻分塔T5塔底再沸器H5供热。
3.脱高塔T1、二甲塔T3、二元塔T4之间采用三效精馏办法，将脱高塔T1的塔顶物料蒸汽向二甲塔T3塔底的再沸器H3A供热，二甲塔T3塔顶的塔顶物料蒸汽向二元塔T4塔底的再沸器H4供热。所述的脱高塔T1塔顶物料蒸汽可分出部分蒸汽，给脱轻塔T2的再沸器H2和轻分塔T5的再沸器H5供热；所述的脱高塔塔底再沸器H1采用高压蒸汽冷凝供热。通过非清晰分割技术，增加了新的能级，之后结合多效精馏技术中的三效精馏，充分利用高压蒸汽可以提供的热量，大幅降低了整个流程中高压蒸汽的需求，节能节水效果明显。
4.与工业常见的顺式切割流程相比，本方法在起到显著节能效果的同时，只增加了一个二甲塔的要求，对设备仪表控制提出的要求基本一致，操作可控性强、安全性高，具备较强的工业实践可行性。
附图说明：
图1为基于循环多效精馏技术的有机硅单体循环三效精馏分离流程示意图；
其中：E1—原料预热器，T1—脱高塔，H1—脱高塔塔底再沸器，T2—脱轻塔，H2—脱轻塔塔底再沸器，C2—脱轻塔塔顶冷凝器，T3—二甲塔，H3A—二甲塔塔底第一再沸器，H3B—二甲塔塔底第二再沸器，T4—二元塔，H4—二元塔塔底再沸器，C4—二元塔塔顶冷凝器，T5—轻分塔，H5—轻分塔塔底再沸器，C5—轻分塔塔顶冷凝器,T6—一甲含氢塔，H6—一甲含氢塔塔底再沸器，C6—一甲含氢塔塔顶冷凝器,T7—共沸塔，H7—共沸塔塔底再沸器，C7—共沸塔塔顶冷凝器,T8—三甲塔，H8—三甲塔塔底再沸器,C8—三甲塔塔顶冷凝器，T9—高沸塔，H9—高沸塔塔底再沸器，C9—高沸塔塔顶冷凝器。
具体实施方式：
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明：
实施例1
如图1所示，一种基于非清晰分割精馏技术分离有机硅单体甲基氯硅烷的方法，其装置连接方式如下：脱高塔T1塔顶蒸汽管道和二甲塔塔底第一再沸器H3A相连；二甲塔T3塔顶蒸汽管道和二元塔塔底再沸器H4、脱轻塔塔底再沸器H2、轻分塔塔底再沸器H5相连；高压蒸汽冷凝后的高温水管道与原料预热器E1，共沸塔塔底再沸器H7、一甲含氢塔塔底再沸器H6相连；二甲塔T3塔底高温产品物流和共沸塔底再沸器H8相连。其余再沸器均和高压蒸汽管道相连，冷凝器均与工艺冷却水管道相连。
本发明采用循环三效精馏技术，其工艺流程包括如下步骤：1)原料粗单体经预热后进入脱高塔T1；2)脱高塔T1塔底产品进入高沸塔T9，高沸塔T9塔顶馏分打回原料粗单体罐区循环使用，塔底产出高沸物产品；3)脱高塔T1塔顶产出物料进入脱低塔T2，脱低塔为流程分岔点，塔底物流为大宗一甲二甲产品线，塔顶物流为多种小股产品线；4)脱低塔T2塔底物流流入到二甲塔T3中，塔底产出部分高温二甲基二氯硅烷产品，塔顶产出一甲二甲混合物，流入到二元塔T4中；二元塔T4塔顶产出一甲基三氯硅烷产品，塔底产出剩余二甲基二氯硅烷产品，与T3产品混合后作为合格二甲基二氯硅烷产品流出，所述的一甲基三氯硅烷和二甲基二氯硅烷产品冷却到40℃送入储罐。5)脱低塔T2塔顶物料进入轻分塔T5，塔顶产品为沸点高于甲基氢二氯硅烷以上的组分混合物，塔底产品为含有甲基氢二氯硅烷、四氯化硅和三甲基一氯硅烷的混合物，依次经过一甲含氢塔T6(塔顶产品甲基氢二氯硅烷)、共沸塔T7(塔顶产品四氯化硅和三甲基一氯硅烷共沸物、确保三甲塔产品纯度)和三甲塔T8(塔顶产出三甲基一氯硅烷，塔底出少量杂质，循环回粗单体罐区或出界区)。
本发明采用非清晰分割技术与三效精馏技术，通过调整各塔的操作压力与温度，以及二甲塔塔底二甲基二氯硅烷产品流量大小，使得脱高塔T1塔顶蒸汽可用来给二甲塔T3塔底再沸器H3供热，二甲塔T3的塔顶蒸汽正好可以给二元塔T4塔底再沸器H4、脱轻塔T2塔底再沸器H2、轻分塔H5塔底再沸器H5供热。高压蒸汽冷凝后的高温水，在预热器E1给原料粗单体预热、一甲含氢塔T6塔底再沸器H6与共沸塔T7塔底再沸器H7供热；二甲塔T3的塔底高温产品给三甲塔T8塔底再沸器H8供热。
所述的脱高塔T1全塔平均操作压力为300kPa，塔顶回流比为4，塔釜温度控制在130℃；所述脱轻塔T2的全塔压力平均操作为110kPa，塔顶回流比为40；所述的二甲塔T3全塔平均操作压力为180kPa，塔顶回流比为10，在塔底设置有两个再沸器，用不同的工质来进行加热；所述的二元塔T4全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为60；所述的轻分塔T5全塔平均操作压力为220kPa，塔顶回流比为50；所述一甲含氢塔T6的塔顶回流比为3.5，全塔压力为110kPa；所述共沸塔T7的塔顶回流比为100，全塔压力为150kPa；所述的三甲塔T8全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为6；所述的高沸塔T9全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为9。
与现有的工业流程相比，本流程方案的单位单体产品的蒸汽消耗为0.78，该指标低于目前正在运行的装置(单耗为1.8)约56％左右。
实施例2
如图1所示，一种基于循环多效精馏技术分离有机硅单体甲基氯硅烷的方法，其工艺流程与实例例1一致，其中所述的脱高塔T1全塔平均操作压力为380kPa，塔顶回流比为8，塔釜温度控制在130℃；所述脱轻塔T2的全塔压力平均操作为140kPa，塔顶回流比为65；所述的二甲塔T3全塔平均操作压力为220kPa，塔顶回流比为15，在塔底设置有两个再沸器，用不同的工质来进行加热；所述的二元塔T4全塔平均操作压力为120kPa，塔顶回流比为90；所述的轻分塔T5全塔平均操作压力为180kPa，塔顶回流比为75；所述一甲含氢塔T6的塔顶回流比为2，全塔压力为110kPa；所述共沸塔T7的塔顶回流比为150，全塔压力为180kPa；所述的三甲塔T8全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为5；所述的高沸塔T9全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为2。
与现有的工业流程相比，本流程方案的单位单体产品的蒸汽消耗为0.84，该指标低于目前正在运行的装置(单耗为1.8)约53％左右。
实施例3
如图1所示，一种基于循环多效精馏技术分离有机硅单体甲基氯硅烷的方法，其工艺流程与实例例1一致，其中所述的脱高塔T1全塔平均操作压力为450kPa，塔顶回流比为6，塔釜温度控制在130℃；所述脱轻塔T2的全塔压力平均操作为125kPa，塔顶回流比为90；所述的二甲塔T3全塔平均操作压力为250kPa，塔顶回流比为20，在塔底设置有两个再沸器，用不同的工质来进行加热；所述的二元塔T4全塔平均操作压力为140kPa，塔顶回流比为150；所述的轻分塔T5全塔平均操作压力为250kPa，塔顶回流比为100；所述一甲含氢塔T6的塔顶回流比为5，全塔压力为110kPa；所述共沸塔T7的塔顶回流比为200，全塔压力为200kPa；所述的三甲塔T8全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为4；所述的高沸塔T9全塔平均操作压力为100kPa，塔顶回流比为5。
与现有的工业流程相比，本流程方案的单位单体产品的蒸汽消耗为0.91，该指标低于目前正在运行的装置(单耗为1.8)约50％左右。
综上所述，本方法利用多效精馏技术原理，对有机硅单体甲基氯硅烷分离工艺流程实现了相比现行流程50％-56％的节能效果，大幅减少了冷却水与蒸气消耗，具备显著经济效益；其实施难度低，操作可行性与可控性强。
Claims (10)
1.基于非清晰分割精馏技术分离有机硅混合单体甲基氯硅烷的装置，包括:原料预热器(E1)，脱高塔(T1)，脱高塔塔底再沸器(H1)；高沸塔(T9)，高沸塔塔底再沸器(H9)，高沸塔塔顶冷凝器(C9)；脱轻塔(T2)，脱轻塔塔底再沸器(H2)，脱轻塔塔顶冷凝器(C2)；二元塔(T4)，二元塔塔底再沸器(H4)，二元塔塔顶冷凝器(C4)；轻分塔(T5)，轻分塔塔底再沸器(H5)，轻分塔塔顶冷凝器(C5)；一甲含氢塔(T6)，一甲含氢塔塔底再沸器(H6)，一甲含氢塔塔顶冷凝器(C6)；共沸塔(T7)，共沸塔塔底再沸器(H7)，共沸塔塔顶冷凝器(C7)；三甲塔(T8)，三甲塔塔底再沸器(H8)，三甲塔塔顶冷凝器(C8)；
其特征是，在二元塔(T4)前增设二甲塔(T3)，用以提供新的能级，同时分离出部分合格二甲产品；对脱高塔(T1)、二甲塔(T3)、二元塔(T4)之间采用三效精馏办法，将脱高塔(T1)的塔顶物料蒸汽向二甲塔(T3)塔底的再沸器(H3A)供热，二甲塔(T3)塔顶的塔顶物料蒸汽向二元塔(T4)塔底的再沸器(H4)供热；
脱高塔(T1)塔顶蒸汽出口连接到二甲塔(T3)塔底第一再沸器(H3A)高温流体进口，二甲塔(T3)塔底第一再沸器(H3A)高温流体出口连接到脱高塔(T1)的塔顶冷凝液入口；
二甲塔(T3)塔顶蒸汽出口经蒸汽分配器，连接到二元塔(T4)塔底再沸器(H4)、脱轻塔塔底再沸器(H2)、轻分塔塔底再沸器(H5)的高温流体进口，二元塔塔底再沸器(H4)、脱轻塔塔底再沸器(H2)、轻分塔塔底再沸器(H5)的高温流体出口连接到二甲塔(T3)的塔顶冷凝液入口；
高压蒸汽冷凝后的高温水用来给原料预热器(E1)、共沸塔塔底再沸器(H7)、一甲含氢塔再沸器(H6)供热，高压蒸汽冷凝后的高温水管道连接到原料预热器(E1)高温流体进口，原料预热器(E1)高温流体出口连接到共沸塔塔底再沸器(H7)高温流体进口，共沸塔塔底再沸器(H7)高温流体出口连接到一甲含氢塔塔底再沸器(H6)高温流体进口；
二甲塔(T3)塔底高温产品物流出口连接到共沸塔底再沸器(H8)高温流体进口；二甲塔(T3)的塔底产品用于三甲塔(T8)塔底再沸器(H8)供热，之后作为产品流出；
所述脱高塔(T1)塔底再沸器(H1)采用高压蒸汽冷凝供热。
2.采用权利要求1所述的装置的分离方法，其特征是，包括如下步骤：
1)原料粗单体经预热后进入脱高塔(T1)，塔底产出温度不高于130℃的混合物，流入到高沸塔(T9)中；
高沸塔(T9)塔顶蒸汽经高沸塔塔顶冷凝器C9完全冷凝成液体后，回流部分流入高沸塔(T9)，产品部分流入到脱高塔(T1)中，塔底流出高沸物产品；
2)脱高塔(T1)塔顶蒸汽经二甲塔塔底再沸器(H3)完全冷凝成液体后，回流部分流入脱高塔(T1)，产品部分流入脱轻塔(T2)中；
脱轻塔(T2)塔底一甲二甲混合物产品流入到二甲塔(T3)中；
二甲塔(T3)塔顶混合物蒸汽经二元塔塔底再沸器(H4)、脱轻塔塔底再沸器(H2)、轻分塔塔底再沸器(H5)完全冷凝后，回流部分流入二甲塔(T3)，产品部分流入到二元塔(T4)中；
二甲塔(T3)塔底高温高纯二甲基二氯硅烷产品经三甲塔塔底再沸器(H8)冷却供热后，与二元塔(T4)塔底产品混合，作为二甲基二氯硅烷产品流出；
二元塔(T4)塔顶高纯一甲基三氯硅烷蒸汽经塔顶冷凝器(C4)完全冷凝后，回流部分流入二元塔(T4)，产品部分作为一甲基三氯硅烷产品流出；
二元塔(T4)塔底混合物与二甲塔(T3)塔底产品混合，作为二甲基二氯硅烷产品流出；3)脱轻塔(T2)塔顶蒸汽经脱轻塔塔顶冷凝器(C2)完全冷凝后，回流部分流入脱轻塔(T2)，产品部分流入轻分塔(T5)中；
轻分塔(T5)塔顶轻组分产品蒸汽经轻分塔塔顶冷凝器(C5)完全冷凝后，回流部分流入轻分塔(T5)，产品部分作为废弃轻组分流出，塔底产品流入到一甲含氢塔(T6)中；
一甲含氢塔(T6)塔顶甲基氢二氯硅烷产品蒸汽经一甲含氢塔塔顶冷凝器(C6)完全冷凝后，回流部分流入一甲含氢塔(T6)，产品部分作为甲基氢二氯硅烷产品流出，塔底产品流入到共沸塔(T7)中；
共沸塔(T7)塔顶共沸物产品蒸汽经共沸塔塔顶冷凝器(C7)完全冷凝后，回流部分流入共沸塔(T7)，产品部分作为共沸物流出，塔底产品流入到三甲塔(T8)中；
三甲塔(T8)塔顶三甲基一氯硅烷产品蒸汽经三甲塔塔顶冷凝器(C8)完全冷凝后，回流部分流入三甲塔(T8)，产品部分作为三甲基一氯硅烷产品流出，塔底产品循环回原料罐或送出界区。
3.根据权利要求1所述的分离方法，其特征是：脱高塔(T1)与二甲塔(T3)、二甲塔(T3)与二元塔(T4)、二甲塔(T3)与脱轻塔(T2)、二甲塔(T3)与轻分塔(T5)的各温度差至少为15℃。
4.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：通过调节流入二甲塔(T3)的操作温度压力与二元塔(T4)的塔底循环用产品流量，使二甲塔(T3)的塔顶物料蒸汽足够用来给二元塔(T4)塔底再沸器(H4)、脱低塔(T2)塔底再沸器(H2)、轻分塔(T5)塔底再沸器(H5)供热。
5.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述脱高塔(T1)的塔顶回流比为4-8，全塔压力为300kPa-450kPa。
6.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述脱轻塔(T2)的塔顶回流比为40-90，全塔压力为110kPa-140kPa。
7.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述二甲塔(T3)的塔顶回流比为10-20，全塔压力在为180kPa-250kPa，塔底设有第一再沸器(H3A)和第二再沸器(H3B)，第一再沸器(H3A)采用脱高塔塔顶物料蒸汽供热，第二再沸器(H3B)采用高压蒸汽冷凝供热。
8.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述二元塔(T4)的塔顶回流比在为60-150，全塔压力为100kPa-140kPa。
9.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述轻分塔(T5)的塔顶采出轻组分，回流比为50-100，全塔压力为180kPa-250kPa；所述一甲含氢塔(T6)的塔顶回流比为2-5，全塔压力维持在常压状态。
10.根据权利要求2或3中任一项所述的分离方法，其特征是：所述共沸塔(T7)的塔顶回流比为100-200，全塔压力维持为150kPa-200kPa；所述三甲塔(T8)的塔顶回流比为4-6，全塔压力维持在常压状态；所述高沸塔(T9)的塔顶回流比为2-9，全塔压力维持在常压状态。
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