CN101838112B - 三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备方法,为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构,薄膜采用电化学诱导溶胶-凝胶方法制成,复合薄膜结构具有良好的非线特性,三阶非线性光学极化率χ(3)达到10-8esu以上;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶采用电化学方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用电化学诱导从溶胶中析出TeO2和/或Te,与SiO2形成膜,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶-凝胶采用真空镀膜的方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用热处理的温度控制,调控凝胶粉末中的组成和结构,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单可靠可靠,膜层厚度均匀。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学薄膜及制备方法,特别涉及一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备方法。
背景技术
非线性光学材料是光学性质依赖于入射光强度的材料,非线性光学材料作为现代光通讯领域的物质基础,在光通讯、光计算机、光信息处理、光开关等领域应用较为广泛。现有技术中,具有种类繁多的非线性光学材料,其中碲基材料,如TeO2和TeO2基玻璃等固体材料,因有独特的高非线性折射率而受到格外的关注,研究表明TeO2玻璃是制备光开关器件、声光器件和光放大器等器件的理想材料。但是在光通讯等高技术领域,很多器件或设备都具有很高的集成度,块状材料的应用受到很大限制,因而需要能够适应光电子器件微型化要求的薄膜类材料。
薄膜类材料较普遍的制备方法根据材料性质可采用提拉法,其中采用溶胶制备薄膜材料中体现得最为突出,该方法制备薄膜无需昂贵的设备,具有工艺简单、成本低的特点。但是对于TeO2-SiO2透明溶胶体系采用提拉法制成的碲基薄膜,得到的薄膜组成就不稳定(如与空气中的水反应),而且厚度不易控制均匀,最终影响薄膜的质量;同时,仅用提拉法不能根据需要改变溶胶成膜后的组成,也就无法从根本上改变膜的性质。
因此,需要一种溶胶制膜的方法,成膜过程中能根据需要改变溶胶成膜后的组成,从而在根本上改变膜的性质,同时,得到的薄膜组成稳定,厚度均匀,能够保证薄膜的质量。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提供一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备,成膜过程中能根据需要改变溶胶成膜后的组成,从而在根本上改变膜的性质,同时,得到的薄膜组成稳定,厚度均匀,能够保证薄膜的质量。
本发明的三阶非线性光学性碲基复合薄膜,为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构。
本发明还公开了一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
d.将TeO2-SiO2透明复合溶胶以电化学的方式在工作电极上生成复合薄膜,通过控电位、控电流方法或调控循环伏安方法中的起止电位调整复合薄膜中Te/TeO2的组成、结构及其和SiO2的比例;
c.将附着有Te/TeO2-SiO2复合薄膜的工作电极在室温下自然晾干。
进一步,步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成;
进一步,步骤b中,工作电极为导电玻璃ITO,Pt为辅助电极,在-0.1V下进行恒电位电化学诱导,时间10-50s。
本发明还公开了另一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
d.将透明复合溶胶干燥直至成为凝胶后磨成粉末,将粉末进行热处理,从室温升到50℃保温30min,以每升高50℃保温30min的方式升温至350-500℃,保温30-60min,得到Te/TeO2-SiO2粉体材料后自然冷却至室温;通过控制热处理温度来调整粉末中Te/TeO2的组成、结构及其和SiO2的比例;
c.将步骤b得到的粉体,采用真空镀膜的方法得到薄膜材料。
进一步,步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成;
进一步,步骤b将透明复合溶胶放在60℃干燥箱干燥直至成为凝胶后在150℃下保温2h后进行热处理;
进一步,步骤c中,以Te/TeO2-SiO2粉体压制成的坯做为靶材,利用射频磁控溅射,得到Te/TeO2-SiO2复合薄膜。
本发明的有益效果是:本发明的三阶非线性光学性碲基复合薄膜,采用SiO2中嵌有TeO2和/或Te,形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构,具有良好的非线特性,三阶非线性光学极化率χ(3)达到10-8esu量级以上;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶采用电化学方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用电化学诱导从溶胶中析出Te/TeO2,与SiO2形成膜,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶-凝胶采用真空镀膜的方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用热处理的温度控制,调控凝胶粉末中Te/TeO2的组成和结构,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单可靠可靠,膜层厚度均匀。
具体实施方式
实施例一
本发明的三阶非线性光学性碲基复合薄膜,为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构。
本实施例的三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
d.将TeO2-SiO2透明复合溶胶以电解的方式在工作电极上生成复合薄膜;通过控电位、控电流方法或调控循环伏安方法中的起止电位调整复合薄膜中Te/TeO2的组成和形态以及和SiO2的比例;通过调整,可以使TeO2和Te之间形成各种数值的比例,还可以调整Te/TeO2与SiO2之间的比例,以达到不同的使用目的。
c.将附着有凝胶膜的工作电极缓慢移出电解池,在基底边缘用滤纸将多余的溶胶吸掉,薄膜在室温下干燥48h,在室温下自然晾干。
本实施例中,步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成;步骤b中,工作电极为ITO,大面积Pt片为辅助电极,饱和甘汞电极为参比电极;
本实施例中,透明复合溶胶中TeO2和SiO2的摩尔比为1∶9,是指二者的相对含量;复合溶胶为电解液,在普通三室电解池中,在-0.1V下进行恒电位电化学诱导溶胶,时间10-50s,本实施例中为10s;时间过长会使复合薄膜失去性能。
实施例二
本发明还公开了另一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
b.将透明复合溶胶干燥直至成为凝胶后磨成粉末,将粉末进行热处理,从室温升到50℃保温30min,以每升高50℃保温30min的方式升温至350-500℃,本实施例中采用500℃;保温30-60min,本实施例中,保温30min,得到Te/TeO2-SiO2粉体材料后自然冷却至室温;通过控制热处理温度来调整粉末Te/TeO2的组成、结构及其与SiO2的比例;
c.将步骤b得到的粉体,采用真空镀膜的方法得到薄膜材料;以Te/TeO2-SiO2粉体压制成的坯做为靶材,放入装载室,利用射频磁控溅射,得到Te/TeO2-SiO2薄膜;本实施例中,具体工艺参数为本底真空,溅射功率150W,溅射电压2kV,溅射时间100min,溅射压1.0Pa左右。
本实施例中,步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成;本实施例中,透明复合溶胶中TeO2和SiO2的摩尔比为3∶2;
本实施例中,步骤b将透明复合溶胶放在60℃干燥箱干燥直至成为凝胶后在150℃下保温2h后进行热处理。
以上两实施例中,透明复合溶胶中TeO2的摩尔浓度和SiO2的摩尔浓度均可以在达到透明并形成溶胶的情况下变化,都能够实现发明目的;实践中,溶胶中TeO2的摩尔百分比可以为2%~80%,SiO2的摩尔百分比可以为20%~98%,都能达到发明目的。
最后说明的是,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (5)
1.一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,所述三阶非线性光学性碲基复合薄膜为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构,其特征在于:包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
b.将TeO2-SiO2透明复合溶胶以电化学的方式在工作电极上生成复合薄膜,工作电极为导电玻璃ITO,Pt为辅助电极,在-0.1V下进行恒电位电化学诱导,时间10-50s;通过控电位、控电流方法或调控循环伏安方法中的起止电位调整复合薄膜中Te/TeO2的组成、结构及其和SiO2的比例;
c.将附着有Te/TeO2-SiO2复合薄膜的工作电极在室温下自然晾干。
2.根据权利要求1所述的三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,其特征在于:步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成。
3.一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,所述三阶非线性光学性碲基复合薄膜为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构,其特征在于:包括以下步骤:
a.制备TeO2-SiO2透明复合溶胶;
b.将透明复合溶胶放在60℃干燥箱干燥直至成为凝胶后在150℃下保温2h,将凝胶磨成粉末,将粉末进行热处理,从室温升到50℃保温30min,以每升高50℃保温30min的方式升温至350-500℃,保温30-60min,得到Te/TeO2-SiO2粉体材料后自然冷却至室温;通过控制热处理温度来调整粉末中Te/TeO2的组成、结构及其和SiO2的比例;
c.将步骤b得到的粉体,采用真空镀膜的方法得到薄膜材料。
4.根据权利要3所述的三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,其特征在于:步骤a中,TeO2-SiO2透明复合溶胶由异丙醇碲、正硅酸乙酯、异丙醇、乙醇、水、盐酸和乙二醇混合配制而成。
5.根据权利要求3所述的三阶非线性光学性碲基复合薄膜的制备方法,其特征在于:步骤c中,以Te/TeO2-SiO2粉体压制成的坯做为靶材,利用射频磁控溅射,得到Te/TeO2-SiO2复合薄膜。
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Citations (2)
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Non-Patent Citations (2)
Title |
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吴荣.介电相玻璃相共烧结多相复合厚膜的制备.《浙江大学博士学位论文》.2006,第36-46页. * |
魏长生等.溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜.《四川大学学报(自然科学版)》.2005,第42卷(第增刊2期),第407页第1段-最后1段. * |
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