CN101833227A - 执行机构、光扫描器及图像形成装置 - Google Patents

执行机构、光扫描器及图像形成装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种可实现低成本化及小型化的、可使可动板绕X轴及与X轴垂直的Y轴中的每个轴旋转的投影仪、光扫描器及图像形成装置。投影仪包括：框状的驱动部件(211)；第一振动系统(21)，用于双支承驱动部件，以便使驱动部件可绕X轴旋转；可动板(221)，设置在框状的驱动部件的框的内侧，可动板包括具有光反射性的光反射部；第二振动系统(22)，用于将可动板双支承于驱动部件，以便使可动板可绕与X轴垂直的Y轴旋转；永久磁铁(61)，固定于框状的驱动部件的框；线圈(62)，与永久磁铁相对地设置；以及光源，向光反射部照射光，其中，永久磁铁形成长条状，该长条方向相对X轴和Y轴的各轴倾斜，并且，永久磁铁设置在离开可动板的可动范围的位置上，由光反射部反射光源的光。

Description

执行机构、光扫描器及图像形成装置
本申请是申请号为200810007465.4、申请日为2008年3月7日、发明名称为“执行机构、光扫描器及图像形成装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种投影仪、执行机构、光扫描器及图像形成装置。
背景技术
例如，作为用于在打印机等中通过光扫描进行描绘的光扫描器，公开有对光进行二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1)。
专利文献1的光扫描器包括：扫描器主体，该扫描器主体包括框状的外侧可动板、可绕X轴摇动(旋转)地轴支承该外侧可动板的一对第一扭杆、被设置在外侧可动板的内侧的内侧可动板、以及可绕与X轴垂直的Y轴摇动地轴支承该内侧可动板的一对第二扭杆；一对驱动线圈，分别设置在外侧可动板及内侧可动板上；以及一对永久磁铁，隔着扫描器主体，相互相对地设置。
但是，由于这样的光扫描器通过光扫描器主体以相互对置的方式设置有一对永久磁铁，所以，难以实现光扫描器的小型化。而且，由于分别在外侧可动板及内侧可动板上各设置一个驱动线圈，所以难以实现低成本化。
专利文献1：日本特开平8-322227号公报
发明内容
本发明鉴于上述问题，目的在于提供可实现低成本化及小型化的、可使可动板绕X轴及与X轴垂直的Y轴中的每个轴旋转的执行机构、光扫描器及图像形成装置。
通过以下所述的本发明来实现上述目的。
根据本发明的投影仪，其包括：框状的驱动部件；第一振动系统，用于双支承上述驱动部件，以便使上述驱动部件可绕X轴旋转；可动板，设置在上述框状的驱动部件的框的内侧，上述可动板包括具有光反射性的光反射部；第二振动系统，用于将上述可动板双支承于上述驱动部件，以便使上述可动板可绕与上述X轴垂直的Y轴旋转；永久磁铁，固定于上述框状的驱动部件的上述框；线圈，与上述永久磁铁相对地设置；以及光源，向上述光反射部照射光。其中，上述永久磁铁形成长条状，该长条方向相对上述X轴和上述Y轴的各轴倾斜，并且，上述永久磁铁设置在离开上述可动板的可动范围的位置上，由上述光反射部反射上述光源的光。
由此，可以提供可实现低成本化及小型化的、可使上述可动板绕上述X轴及上述Y轴中的每个轴旋转的投影仪。
在本发明的投影仪中，优选方式是，上述光源发射红色、蓝色、绿色的激光。
在本发明的投影仪中，优选方式是，上述永久磁铁经过上述X轴和上述Y轴的交点，沿着相对于上述X轴或者上述Y轴倾斜30～60度的线段设置上述永久磁铁。
由此，可以使上述可动板极其顺利地绕上述X轴及上述Y轴中的每个轴转动。
在本发明的投影仪中，优选方式是，上述线圈被设置在上述永久磁铁的正下面。
由此，可以实现执行机构的省电化及小型化。
在本发明的投影仪中，优选方式是，上述可动板包括在与上述永久磁铁相反侧的面上具有光反射性的光反射部。
由此，可用于例如激光打印机、条形码阅读器、激光共聚焦扫描显微镜、成像用显示器等图像形成装置所具备的光学设备。
附图说明
图1是表示本发明的执行机构的优选实施例的立体图；
图2是图1中的A-A线的剖面图；
图3是表示具备如图1所示的执行机构的驱动单元的电压施加单元的框图；
图4是在如图3所示的第一电压产生部及第二电压产生部中产生的电压的示意图；以及
图5是表示本发明的图像形成装置的概略图。
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的执行机构、光扫描器及图像形成装置的优选实施例进行说明。
图1是表示本发明的执行机构的优选实施例的俯视图，图2是图1中的A-A线的剖面图，图3是表示具备如图1所示的执行机构的驱动单元的框图，图4是在如图3所示的第一电压产生部及第二电压产生部中产生的电压的示意图。此外，下面，为了便于说明，将图1中纸面的读者侧称为“上”，将图1中纸面的里侧称为“下”，将右侧称为“右”，将左侧称为“左”，将图2中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”，将右侧称为“右”，将左侧称为“左”。
如图1所示，执行机构1包括具备第一振动系统21和第二振动系统22的基体2。此外，如图2所示，执行机构1包括：支承基板3，通过接合层4支承基体2；对置基板5，隔着支承基板3与基体2对置；以及驱动单元6，分别驱动第一振动系统21和第二振动系统22。
如图1所示，基体2包括：框状的支承部23；第一振动系统21，由支承部23所支承；以及第二振动系统22，由第一振动系统21所支承。
第一振动系统21包括：框状的驱动部件211，被设置在支承部23的内侧；以及一对第一轴部件212、213，用于将驱动部件211双支承于支承部23。而且，第二振动系统22包括：可动板221，被设置在驱动部件211的内侧；以及一对第二轴部件222、223，用于将可动板221双支承于驱动部件211上。
即，基体2包括可动板221、一对第二轴部件222和223、驱动部件211、一对第一轴部件212和213、支承部23。
在俯视图1(即，俯视可动板221)的情况下，驱动部件211呈圆环状。但是，只要驱动部件211的形状是框状，则并没有特别的限定。而且，在该驱动部件211的下面设置有后述的永久磁铁61。这样的驱动部件211通过一对第一轴部件212、213被双支承于支承部23。
第一轴部件212、213中的每个轴部件形成长条状，且可弹性变形。第一轴部件212、213中的每个轴部件连接驱动部件211和支承部23，以便使驱动部件211相对于支承部23可以转动。这样的第一轴部件212、213被设置成相互同轴，以该轴(下面称为“转动中心轴X”)为中心，驱动部件211相对于支承部23转动。
在俯视的情况下，形成在驱动部件211的内侧的可动板221形成圆形。但是，对可动板221的形状并没有特别的限定。而且，在可动板221的上表面形成具有光反射性的光反射部221a。这样的可动板221通过一对第二轴部件222、223被双支承于驱动部件211。
第二轴部件222、223中的各轴部件形成长条状，且可弹性变形。第二轴部件222、223中的各轴部件连接可动板221和驱动部件211，以便使可动板221相对于驱动部件211可转动。这样的第二轴部件222、223被设置成相互同轴，以该轴(下面称为“转动中心轴Y”)为中心，可动板221相对于驱动部件211转动。
此外，如图1所示，转动中心轴X和转动中心轴Y是相互垂直的轴。即，转动中心轴X和转动中心轴Y所成的角为90度。而且，在俯视图1的情况下，驱动部件211的中心及可动板221的中心中的各中心位于转动中心轴X和转动中心轴Y的交点上。
这样的基体2例如以硅为主要材料而构成，且与可动板221、第二轴部件222和223、驱动部件211、第一轴部件212和213、支承部23一体形成。由于以硅为主要材料，可以实现卓越的转动特性，同时，可以发挥卓越的可靠性。而且，可以进行微细处理(加工)，从而可以实现执行机构1的小型化。
此外，基体2也可以通过具有SOI基板等的层压结构的基板来形成可动板221、第二轴部件222和223、驱动部件211、第一轴部件212和213、支承部23。此时，优选在层压结构基板的一层来一体构成可动板221、第二轴部件222和223、驱动部件211、第一轴部件212和213、支承部23。
如图2所示，这样的基体2提高接合层4与支承基板3接合。这样的支承基板3例如以玻璃或硅为主要材料而构成。在俯视可动板221的情况下，支承基板3与支承部23大致形成相同的形状(即，形成框状)。但是，支承基板3的形状只要是可支承基体2即可，并没有特别的限定。而且，也可以根据支承部23的形状等而省略支承基板3。
形成在支承基板3和基体2之间的接合层4例如以玻璃、硅、或者SiO2为主要材料而构成。但是，也可以省略这样的接合层4。即，基体2和支承基板3也可以直接接合。
如图2所示，以通过支承基板3与基体2相对的方式设置对置基板5。这样的对置基板5例如以玻璃或硅为主要材料而构成。
在对置基板5的上面，设置有用于对永久磁铁61产生磁场的线圈62。如图2所示，该线圈62电连接于电压施加单元63。由这样的永久磁铁61、线圈62、电压施加单元63来构成驱动单元6。
如图2所示，永久磁铁61形成长条状。而且，永久磁铁61通过粘接层81、82，接合于驱动部件211的下表面。即，永久磁铁61被设置在与可动板221的光反射部221a相反的一面的一侧上。由此，通过永久磁铁61，可以防止妨碍在光反射部221a中的光扫描。
而且，在俯视图1的情况下，通过转动中心轴X和转动中心轴Y的交点(下面，将该交点称为“交点G”)、且沿着相对于转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴倾斜的线段(下面，将该线段称为“线段J”)设置永久磁铁61。
这样的永久磁铁61相对于该长度方向的交点G，一侧为S极，另一侧为N极。即，连接永久磁铁61的S极和N极的线段(即，线段J)相对于转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴倾斜。此外，在图2中，为了便于说明，图示了将永久磁铁61的长度方向的纸面左侧作为S极，将纸面右侧作为N极的情况。
在俯视图1的情况下，优选线段J的相对于转动中心轴X的倾斜角θ为30～60度，进一步优选为40～50度，最为优选为大约45度。通过这样地设置永久磁铁61，可以极其顺利地使可动板221绕转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴转动。与此相对，当倾斜角θ为小于上述下限值时，存在以下情况：根据施加给线圈62的电压强度等，无法顺利地使可动板221绕X轴转动。另一方面，当倾斜角θ超过上述上限值时，存在以下情况：根据施加给线圈62的电压强度等，无法顺利地使可动板221绕Y轴转动。
在本实施例中，线段J相对于转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴倾斜45度角。
而且，如图2所示，在永久磁铁61的可动板221侧的面(即，上表面)上形成有凹部611。该凹部611是用于防止永久磁铁61和可动板221接触的间隙部。通过形成有这样的凹部(间隙部)，可以顺利地绕Y轴的转动可动板221。而且，通过将间隙部设定为凹部611，可以极其简单地防止永久磁铁61和可动板221相接触。但是，作为间隙部，只要是可以防止可动板221和永久磁铁61接触即可，并没有特别的限定，例如，也可以是朝向与转动中心轴X及转动中心轴Y中的每个轴垂直的方向形成的贯通孔。而且，例如，当粘接层81、82具有可以防止永久磁铁61和可动板221相接触这样程度的厚度等情况下，也可以省略这样的凹部611。
作为这样的永久磁铁61，并没有特别的限定，例如，优选使用将钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁、粘结磁体等硬磁性体磁化后的磁铁。
此外，也可以通过在驱动部件211的下面设置已经被磁化后的硬磁性体(即，永久磁铁)，并将其作为永久磁铁61。还可以通过将硬磁性体设置在驱动部件211上，并使该硬磁性体磁化，将其作为永久磁铁61。
用于接合永久磁铁61和驱动部件211的粘接层81、82例如通过粘接剂构成。由此，可以坚固地粘接(接合)驱动部件211和永久磁铁61。但是，只要可以将永久磁铁61设置在驱动部件211的下面，则对于构成粘接层81、82的材料并没有特别的限定。而且，对于接合永久磁铁61和驱动部件211的接合方法，也可以省略粘接层81、82。
在永久磁铁61的正下面设置有线圈62。即，以分别与可动板221及驱动部件211的下表面相对的方式设置线圈62。这样，通过将线圈62设置在永久磁铁61的正下面，可以有效地使由线圈62产生的磁场作用于永久磁铁61。由此，可以实现执行机构1的省电和小型化。
而且，如图1所示，在俯视图1的情况下，线圈62形成为包围驱动部件211的外周。通过这样地形成线圈62，当执行机构1驱动时，可以可靠地防止驱动部件211和线圈62相接触。由此，可以使线圈62和永久磁铁61之间的间隔距离极小，并可有效地将由线圈62产生的磁场作用于永久磁铁61。即，可以实现执行机构1的省电和小型化。这样的线圈62例如也可以被缠绕在磁心上。
这样的线圈62与电压施加单元63电连接。然后，通过电压施加单元63向线圈62施加电压，从而由线圈62产生磁场，该磁场具有与转动中心轴X及转动中心轴Y中的每个轴相垂直的轴方向的磁通。
如图3所示，电压施加单元63包括：第一电压产生部631，生成用于使可动板221绕中心轴X转动的第一电压V1；第二电压产生部632，生成用于使可动板221绕中心轴Y转动的第二电压V2；以及电压叠加部633，用于叠加第一电压V1和第二电压V2，并将该叠加后的电压施加给线圈62。
如图4(a)所示，第一电压产生部631用于生成以周期T1周期性变化的第一电压V1(垂直扫描用电压)。
第一电压V1形成锯齿波这样的波形。因此，执行机构1可以对光进行有效地垂直扫描(副扫描)。此外，第一电压V1的波形并不仅限于此。在此，第一电压V1的频率(1/T1)只要是适用于垂直扫描的频率即可，并没有特别限定，但是优选为30～80Hz(60Hz的程度)。
在本实施例中，将第一电压V1的频率调整为与由驱动部件211和一对第一轴部件212、213构成的第一振动系统21的扭转共振频率不同的频率。
另一方面，如图4(b)所示，第二电压产生部632用于生成以与周期T1不同的周期T2周期性变化的第二电压V2(水平扫描用电压)。
第二电压V2形成正弦波这样的波形。因此，执行机构1可以对光进行有效地主扫描。此外，第二电压V2的波形并不仅限于此。
优选这样的第二电压V2的频率大于第一电压V1的频率。即，优选周期T2小于周期T1。由此，可以使可动板221以第一电压V1的频率更可靠、且更顺利地绕转动中心轴X旋转，并可以使可动板221以第二电压V2的频率绕转动中心轴Y旋转。
而且，只要第二电压V2的频率与第一电压V1的频率不同、且是适用于水平扫描的频率即可，并没有特别的限定，但是优选为10～40kHz。这样，将第二电压V2的频率设定为10～40kHz，并如上所述，将第一电压V1的频率设定为60Hz程度，从而可以使可动板221以适用于在显示器上进行描绘的频率绕转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴旋转。但是，只要可以使可动板221绕转动中心轴X及转动中心轴Y中的各轴进行旋转，则对于第一电压V1的频率、第二电压V2的频率、第一电压V1的频率与第二电压V2的组合等，并没有特别的限定。
在本实施例中，将第二电压V2的频率调整为与由可动板221和一对第二轴部件222、223构成的第二振动系统22的扭转共振频率相等。即，将第二振动系统22设计(制造)成其扭转共振频率为适用于水平扫描的频率。由此，可以增大可动板221绕转动中心轴Y的转动角。
而且，当第一振动系统21的共振频率设定为f1[Hz]、第二振动系统22的共振频率设定为f2[Hz]时，优选f1和f2满足f2＞f1的关系，更为优选其满足f2≥10f1的关系。由此，可以使可动板221更顺利地以第一电压V1的频率绕转动中心轴X旋转、以第二电压V2的频率绕转动中心轴Y旋转。
这样的第一电压产生部631及第二电压产生部632分别连接于控制部7，并根据来自该控制部7的信号而进行驱动。电压叠加部633被连接于上述第一电压产生部631及第二电压产生部632。
该电压叠加部633包括用于对线圈62施加电压的加法器633a。加法器633a从第一电压产生部631接受第一电压V1，同时，从第二电压产生部632接受第二电压V2，并叠加这些电压，施加给线圈62。
如上所述构成的执行机构1进行以下的驱动。此外，在本实施例中，如上所述，将第一电压V1的频率设定为与第一振动系统21的扭转共振频率不同的值，将第二电压V2的频率设定成与第二振动系统22的扭转共振频率相等、且大于第一电压V1的频率(例如，第一电压V1的频率为60Hz，且第二电压V2的频率为15KHz)。
例如，在电压叠加部633中叠加如图4(a)所示的第一电压V1和如图4(b)所示的第二电压V2，并将叠加后的电压施加给线圈62。
于是，根据第一电压V1，交替转换以下两个磁场：将驱动部件211的粘接层81附近吸引到线圈62的同时使驱动部件211的粘接层82附近与线圈62分离的磁场(将该磁场称为“磁场A1”)、以及使驱动部件211的粘接层81附近与线圈62分离的同时将驱动部件211的粘接层82的附近吸引到线圈62的磁场(将该磁场称为“磁场A2”)。
在此，在俯视图1的情况下，相对于驱动部件211的转动中心轴X，粘接层81位于一侧，而粘接层82位于另一侧。换言之，在俯视图1的情况下，隔着转动中心轴X将一对第一粘接层81、82设置在驱动部件211上。因此，通过交替转换上述磁场A1和磁场A2，使第一轴部件212、213挠曲变形，且驱动部件211与可动板221一起以第一电压V1的频率绕转动中心轴X旋转。
此外，与第二电压V2的频率相比，将第一电压V1的频率设定得极低。而且，将第一振动系统21的共振频率设定得小于第二振动系统22的共振频率(例如，小于等于第二振动系统22的共振频率的1/10)。即，由于将第一振动系统21设计得比第二振动系统22更易振动，所以，第一振动系统21根据第一电压V1绕转动中心轴X旋转。即，根据第二电压V2，可以防止驱动部件211绕转动中心轴X旋转。
另一方面，根据第二电压V2，交替转换将驱动部件211的粘接层81附近吸引到线圈62的同时使驱动部件211的粘接层82附近与线圈62分离的磁场(将该磁场称为“磁场B 1”)、以及使驱动部件211的粘接层81附近与线圈62分离的同时将驱动部件211的粘接层82的附近吸引到线圈62的磁场(将该磁场称为“磁场B2”)。
在此，在俯视图1的情况下，相对于驱动部件211的转动中心轴Y，粘接层81位于一侧，而粘接层82位于另一侧。换言之，在俯视图1的情况下，将一对第一粘接层81、82隔着转动中心轴Y设置在驱动部件211上。因此，通过交替转换磁场B1和磁场B2，使第二轴部件222、223挠曲变形、且可动板221以第二电压V2的频率(15kHz)绕转动中心轴Y旋转。
此外，第二电压V2的频率等于第二振动系统22的扭转共振频率。因此，根据第二电压V2，可以使可动板221有控制性地绕转动中心轴Y旋转。即，根据第一电压V1，可以防止可动板221绕转动中心轴Y旋转。
如上所述，对于执行机构1而言，通过将叠加第一电压V1和第二电压V2后的电压施加给线圈62，可以使可动板221以第一电压V1的频率绕转动中心轴X旋转、以第二电压V2的频率绕转动中心轴Y旋转。由此，可以实现低成本化及小型化，并使可动板221可极为顺利地绕转动中心轴X及转动中心轴Y中的各个轴旋转。
尤其是，由于可以分别减少作为驱动源的永久磁铁和线圈数量，所以可以实现简单且小型的结构。
而且，通过适当地改变第一电压V1和第二电压V2，可以获得想要的振动特性，而无需改变基体2和永久磁铁61的设计。
而且，在执行机构1中，在驱动部件211上设置永久磁铁61，且以与永久磁铁61相对的方式在对置基板5上设置线圈62。即，不在第一振动系统21上设置作为散热体的线圈62。因此，可以抑制由于通电而由线圈62产生的热导致基体2的热膨胀。其结果是，即使长时间的连续使用执行机构1，也可发挥希望的振动特性。
由于如上所述的执行机构1包括光反射部221a，所以，优选适用于例如激光打印机、条形码阅读器、激光共聚焦扫描显微镜、成像用显示器等图像形成装置所包括的光扫描器。此外，本发明的光扫描器是与上述执行机构相同的结构，所以省略其说明。
在此，根据图5，作为图像形成装置的一例，对将执行机构1用作成像用显示器的光扫描器的情况进行说明。此外，将屏幕S的长度方向称为“横向”，将与长度方向垂直的方向称为“纵向”。而且，转动中心轴X与屏幕S的横向平行，转动中心轴Y与屏幕S的纵向平行。
图像形成装置(投影器)9包括用于射出激光等光的光源装置91、多个分色镜92、92、92、以及执行机构1。
光源装置91包括照射出红光的红色光源装置911、照射出蓝光的蓝色光源装置912、照射出绿光的绿色光源装置913。
各分色镜92是一种光学元件，用于合成分别从红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913照射出的光。
这样的投影器9根据来自未图示的主计算机的图像信息，在分色镜92中合成从光源装置91(红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913)照射出的光，并通过执行机构1对该合成的光进行二维扫描，在屏幕S上形成彩色图像。
当进行二维扫描时，由于执行机构1的可动板221绕转动中心轴Y转动，所以沿屏幕S的横向扫描(主扫描)被光反射部221a反射的光。另一方面，由于执行机构1的可动板221绕转动中心轴X转动，所以沿屏幕S的纵向扫描(副扫描)被光反射部221a反射的光。
此外，在图5中，在通过执行机构1对被分色镜92合成的光进行二维扫描之后，通过固定镜M使该光反射，然后在屏幕S上形成图像，但是，也可以省略固定镜M，而将通过执行机构1进行二维扫描的光直接照射在屏幕S上。
以上，根据图示的实施例，对本发明的执行机构、光扫描器及图像形成装置进行了说明。但是本发明并不仅限于此。例如，在本发明的执行机构、光扫描器及图像形成装置中，可以将各部分的结构置换为可以发挥同样功能的任意结构，而且，也可以附加任意的结构。
而且，虽然在上述实施例中，执行机构相对于Y轴及X轴中的各轴大致形成对称形状，但是也可以不对称。
此外，虽然在上述实施例中，对使用形成长条状的永久磁铁的情况进行了说明，但是在俯视可动板的情况下，只要连接两极的线段相对于Y轴及X轴中的每个轴倾斜即可，对其形状并没有特别的限定，例如，在俯视可动板的情况下，也可以形成圆形，还可以形成正方形。而且，例如，也可以构成为：设置一对磁轭(yoke)，以便在连接该两极的线段方向上夹持永久磁铁，并通过该磁轭来引导磁通。
附图标记
1执行机构                 2基体
21第一振动系统            221驱动部件
212、213第一轴部件        22第二振动系统
221可动板                 221a光反射部
222、223第二轴部件        23支承部
3支承基板                 4接合层
5对置基板                 6驱动单元
61永久磁铁                611凹部
62线圈                    62电压施加单元
631第一电压产生部         632第二电压产生部
633电压叠加部             633a加法器
7控制部                   81、82粘接层
9图像形成装置(投影器)     91光源装置
911红色光源装置           912蓝色光源装置
913绿色光源装置           92分色镜
M固定镜                   S屏幕
X、Y转动中心轴

Claims (3)

1.一种投影仪，其特征在于，包括：
框状的驱动部件；
第一振动系统，用于双支承所述驱动部件，以便使所述驱动部件可绕X轴旋转；
可动板，设置在所述框状的驱动部件的框的内侧，所述可动板包括具有光反射性的光反射部；
第二振动系统，用于将所述可动板双支承于所述驱动部件，以便使所述可动板可绕与所述X轴垂直的Y轴旋转；
永久磁铁，固定于所述框状的驱动部件的所述框；
线圈，与所述永久磁铁相对地设置；以及
光源，向所述光反射部照射光，
其中，所述永久磁铁形成长条状，该长条方向相对所述X轴和所述Y轴的各轴倾斜，并且，所述永久磁铁设置在离开所述可动板的可动范围的位置上，
由所述光反射部反射所述光源的光。
2.根据权利要求1所述的投影仪，其特征在于，
所述光源发射红色、蓝色、绿色的激光。
3.根据权利要求1或2所述的投影仪，其特征在于，
所述永久磁铁经过所述X轴和所述Y轴的交点，沿着相对于所述X轴或者所述Y轴倾斜30～60度的线段设置所述永久磁铁。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110431438A (zh) * 2017-03-15 2019-11-08 三星电子株式会社 用于检测对象的方法及其电子设备

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4232835B2 (ja) 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP5206610B2 (ja) 2008-08-25 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
US8035874B1 (en) * 2009-02-25 2011-10-11 Advanced Numicro Systems, Inc. MEMS device with off-axis actuator
JP5577742B2 (ja) * 2010-02-23 2014-08-27 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5381801B2 (ja) * 2010-02-23 2014-01-08 セイコーエプソン株式会社 画像形成装置
JP5333286B2 (ja) * 2010-02-23 2013-11-06 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
CN102193189B (zh) * 2010-03-01 2012-11-28 财团法人工业技术研究院 光学多环扫描元件
US8771085B1 (en) 2010-08-06 2014-07-08 Arthur C. Clyde Modular law enforcement baton
CN103053167B (zh) 2010-08-11 2016-01-20 苹果公司 扫描投影机及用于3d映射的图像捕获模块
JP5915100B2 (ja) * 2011-11-10 2016-05-11 セイコーエプソン株式会社 ミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
WO2013121366A1 (en) 2012-02-15 2013-08-22 Primesense Ltd. Scanning depth engine
JP6111532B2 (ja) * 2012-05-11 2017-04-12 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP2015087444A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6550207B2 (ja) 2013-10-29 2019-07-24 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6444035B2 (ja) * 2014-02-07 2018-12-26 国立大学法人信州大学 電磁振動アクチュエータ
US9525863B2 (en) 2015-04-29 2016-12-20 Apple Inc. Time-of-flight depth mapping with flexible scan pattern
JP6565455B2 (ja) * 2015-08-05 2019-08-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6643697B2 (ja) * 2015-09-24 2020-02-12 ミツミ電機株式会社 電磁変換装置及びアクチュエータ及びポンプ
CN107167379A (zh) * 2017-06-24 2017-09-15 天津大学 一种原位双轴裂纹扩展路径自动跟踪测量系统及测量方法
JP6579241B2 (ja) * 2018-08-21 2019-09-25 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ
CN111885364B (zh) * 2020-06-24 2023-08-15 歌尔微电子有限公司 微投影设备及电子设备

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5486944A (en) * 1989-10-30 1996-01-23 Symbol Technologies, Inc. Scanner module for symbol scanning system
JP2987750B2 (ja) * 1995-05-26 1999-12-06 日本信号株式会社 プレーナ型電磁アクチュエータ
JP2000235152A (ja) 1999-02-12 2000-08-29 Victor Co Of Japan Ltd 光偏向器
JP2002148536A (ja) 2000-11-09 2002-05-22 Olympus Optical Co Ltd アクチュエータおよびその駆動方法
US20020130561A1 (en) * 2001-03-18 2002-09-19 Temesvary Viktoria A. Moving coil motor and implementations in MEMS based optical switches
JP2002307396A (ja) 2001-04-13 2002-10-23 Olympus Optical Co Ltd アクチュエータ
JP2003066362A (ja) * 2001-08-23 2003-03-05 Olympus Optical Co Ltd 光偏向器
US6897990B2 (en) 2001-12-28 2005-05-24 Canon Kabushiki Kaisha Rocking member apparatus
JP3848249B2 (ja) 2001-12-28 2006-11-22 キヤノン株式会社 揺動体装置
JP4164421B2 (ja) 2002-08-26 2008-10-15 キヤノン株式会社 揺動装置、揺動装置を用いた光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置、画像形成装置、並びにその製法
US6924915B2 (en) * 2002-08-26 2005-08-02 Canon Kabushiki Kaisha Oscillation device, optical deflector using the oscillation device, and image display device and image forming apparatus using the optical deflector, and method of manufacturing the oscillation device
JP3974068B2 (ja) 2003-03-27 2007-09-12 日本信号株式会社 プレーナー型電磁アクチュエータ
JP4092283B2 (ja) 2003-11-17 2008-05-28 スタンレー電気株式会社 ２次元光スキャナ及び光学装置
KR100636347B1 (ko) * 2004-08-18 2006-10-19 엘지전자 주식회사 스캐닝 디스플레이 시스템
JP4522253B2 (ja) * 2004-12-24 2010-08-11 キヤノン株式会社 光走査装置及びそれを用いた画像表示装置
JP2007078819A (ja) 2005-09-12 2007-03-29 Fujifilm Corp 光スキャナ素子
JP4232835B2 (ja) 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP4232834B2 (ja) 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110431438A (zh) * 2017-03-15 2019-11-08 三星电子株式会社 用于检测对象的方法及其电子设备
CN110431438B (zh) * 2017-03-15 2023-09-15 三星电子株式会社 用于检测对象的方法及其电子设备

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