CN101779157B - 修复平板显示器的方法 - Google Patents

Abstract

在此公开了一种修复显示器装置的亮点像素瑕疵的方法，该方法能够使用激光有效地修复显示器装置的亮点像素瑕疵。当该显示器装置包括黑色基质时，该方法包括使用激光在具有亮点像素瑕疵的滤色器处或在该滤色器和玻璃之间形成一个间隙，并且使用激光分解与该滤色器相邻的黑色基质。

Description

修复平板显示器的方法

技术领域

本发明涉及修复显示器装置的亮点像素(bright pixel)瑕疵的方法，且更具体地涉及这样一种修复显示器装置的亮点像素瑕疵的方法，该方法能够使用激光有效地修复显示器装置的亮点像素瑕疵。

背景技术

近些年，液晶显示器作为具有低功耗和高便携性、技术密集和高附加值的下一代高技术显示器装置已成为众所瞩目的中心。其中，一种有源矩阵型液晶显示器——其包括用于开关针对每个像素所施加的电压的开关装置——因其高分辨率和优质的动态画面(motionpicture)实现而最为引人瞩目。

参见图1，液晶面板500被构造为这样的结构，在该结构中，为上衬底的滤色器衬底530和为下衬底的薄膜晶体管(TFT)阵列衬底510彼此接合并且彼此相对，且一个液晶层520被布置在这些衬底之间。液晶面板500被以这样的方式驱动，其中，通过用于像素选择的地址线(address wire)，开关连接到几十万个像素的TFT，以施加电压到相应的像素。这里，滤色器衬底530包括玻璃531，红/绿/蓝(RGB)滤色器532，形成于滤色器532之间的黑色基质533，外覆层，用于公共电极的氧化铟锡(ITO)膜535，以及配向膜(alignment film)536。在玻璃的顶部附接有起偏振片(polarizing plate)537。

执行薄膜晶体管阵列衬底工艺、滤色器衬底工艺以及液晶晶元(cell)工艺，以制造这样的液晶板。

薄膜晶体管阵列衬底工艺是一种重复执行沉积、光刻法(photolithography)和蚀刻以在玻璃衬底上形成栅线(gate wire)、数据线(data wire)、薄膜晶体管和像素电极的工艺。

滤色器衬底工艺是用于制造以预定序列布置在具有黑色基质的玻璃上的RGB滤色器以实现颜色并且形成用于公共电极的ITO膜的工艺。

液晶晶元工艺是这样一种工艺：用于接合薄膜晶体管阵列衬底和滤色器衬底使得在薄膜晶体管阵列衬底和滤色器衬底之间保持预定间隙，并且将液晶注入薄膜晶体管阵列衬底和滤色器衬底之间的所述间隙以形成液晶层。替代地，近些年已经使用滴注(one drop filling)(ODF)工艺以均匀地将液晶施用到薄膜晶体管阵列衬底，然后将该薄膜晶体管阵列衬底与滤色器衬底接合。

在检查这样的液晶显示器时，在液晶面板的屏幕上显示测试图案，以检测是否存在瑕疵像素。当瑕疵像素被发现时，执行用于修复瑕疵像素的工艺。液晶瑕疵可包括点瑕疵、线瑕疵和显示不均匀。点瑕疵可由于不良TFT器件、不良像素电极或不良滤色器线路而出现。线瑕疵可由于在线路之间的开路、线路之间的短路、静电所导致的TFT击穿或与驱动电路的不良连接而出现。显示不均匀可由于不均匀的晶元厚度、不一致的液晶配向、特定地方的TFT分布或相对较大的线路时间常数而出现。

其中，点瑕疵和线瑕疵通常由于不良线路而出现。在常规技术中，当发现开路线路时，只是将开路线路彼此连接，当发现短路线路时，只是将短路线路彼此分开。

除上述瑕疵之外，在液晶面板制造期间，包括灰尘、有机物、金属等等的杂质可被吸附到液晶面板。当这样的杂质被吸附到靠近某些滤色器的区域时，相应于这些滤色器的像素会发射出比其余正常像素的亮度明亮得多的光，这称为漏光现象。现在正在研究使用激光修复这样的亮点像素瑕疵的方法。

日本专利申请公布No.2006-72229公开了这样一种技术：将激光照射到配向膜使得该配向膜被损坏，以削弱液晶的排列特性(arrangement property)并因而降低液晶的透光率，从而消除漏光现象。然而，此技术的问题在于，不能彻底消除液晶的排列特性，且需要大量时间来完成此工艺。

为了解决上述问题，以本申请的申请人的名义提交了韩国专利申请No.10-2006-86569。此专利申请公开了一种使用飞秒(femtosecond)激光使瑕疵像素变暗的方法。

当使用飞秒激光时，可有效地使瑕疵像素变暗；然而，存在的问题是，用于振荡飞秒激光的设备非常昂贵。

发明内容

技术问题

因此，鉴于上述问题作出了本发明，且本发明的一个目的是提供一种修复显示器装置的亮点像素瑕疵的方法，该方法能够使用激光有效地修复显示器装置的亮点像素瑕疵。

技术方案

根据本发明，上述和其他目的可通过提供一种修复包括黑色基质的显示器装置的亮点像素瑕疵的方法实现，该方法包括：使用激光在具有亮点像素瑕疵的滤色器处或在该滤色器和玻璃之间形成一个间隙；以及，使用激光分解与该滤色器相邻的黑色基质。

优选地，当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是红色(R)区域时，使用具有270至550nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是绿色(G)区域时，使用具有270至480nm的波长或600至750nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。此外，当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是蓝色(B)区域时，使用具有270至390nm的波长或520至750nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。

优选地，当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是红色(R)区域时，使用具有400至550nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是绿色(G)区域时，使用具有400至480nm的波长或600至750nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。此外，当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是蓝色(B)区域时，使用具有520至750nm的波长的激光来执行所述形成间隙的步骤。

优选地，该激光在所述形成间隙的步骤具有100ns或更少的脉冲持续时间，且该激光在所述形成间隙的步骤具有1Hz到1kHz的重复频率。

优选地，当所述显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成间隙的步骤具有50ns或更少的脉冲持续时间。当所述显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成间隙的步骤具有1Hz至100Hz的重复频率。此外，当所述显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成间隙的步骤具有10mW或更小的功率。

优选地，该方法还包括在所述形成间隙的步骤调节激光的强度。

优选地，在所述形成间隙的步骤，该激光具有平顶轮廓(profile)。

优选地，在所述形成间隙的步骤，该间隙具有等于所述滤色器厚度的20％至90％的厚度。

优选地，在所述形成间隙的步骤，该激光是使用从由下列项组成的组中选择的至少一个产生：镱激光器、钛-蓝宝石(Ti-Sapphire)激光器、钕:YLF激光器、钕:玻璃激光器、钕:钒酸盐(YVO4)激光器、钕:YAG激光器、光纤激光器和染料(Dye)激光器。

优选地，当黑色基质包含金属成分时，激光在所述分解黑色基质的步骤具有50ns或更少的脉冲持续时间。

优选地，当所述显示器装置未附接有起偏振片时，使用具有270至750nm的波长的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。另一方面，当该显示器装置附接有起偏振片时，使用具有400至750nm的波长的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。

优选地，使用在所述形成间隙的步骤所使用的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。

优选地，该方法还包括使已分解的黑色基质在间隙中扩散。在此情况下，所述使已分解的黑色基质扩散的步骤可包括向该滤色器移动激光，以向该滤色器引导黑色基质的流动。优选地，使用在所述分解黑色基质的步骤所使用的激光或与在所述分解黑色基质的步骤所使用的激光具有相同规格的激光，来执行所述使已分解的黑色基质扩散的步骤。在此情况下，可通过扫描型激光照射方法、阻发(block shot)型激光照射方法或多阻发型激光照射方法，将激光照射到该滤色器或该黑色基质。

优选地，在执行所述形成间隙的步骤、所述分解黑色基质的步骤和所述使已分解的黑色基质扩散的步骤期间，所述滤色器的透光率降低。

有益效果

根据本发明，根据以上描述明显的是，可使用激光有效地修复显示器装置的亮点像素瑕疵。

具体地，可在具有亮点像素瑕疵的滤色器处形成间隙，从而有效地使黑色基质扩散。

此外，黑色基质分解并在滤色器的瑕疵区域扩散，伴随该滤色器的变暗，由此可更有效地修复显示器装置的亮点像素瑕疵。

此外，取决于是否设有起偏振片、是否设有外覆层以及滤色器特性，可非常有效地形成间隙。

附图说明

根据结合附图进行的以下详细描述，将更清楚地理解本发明的上述和其他目的、特征和其它优点，在附图中：

图1是示出了包含杂质的液晶面板的剖面图；

图2至图4是示出了根据本发明的一个实施方案的修复亮点像素瑕疵的方法的视图；

图5是示出了根据本发明的另一个实施方案的修复亮点像素瑕疵的方法的视图；

图6是按照滤色器的波长示出其透射比的曲线图；

图7是按照起偏振片的波长示出其透射比的曲线图；

图8至图10是示出了用于形成间隙的各种不同的激光照射方法的视图；

图11是示出了用于照射激光同时调整焦距的过程的视图；

图12是示出了不具有外覆层的液晶面板的剖面图；

图13是示出了外覆层的光吸收的曲线图；以及

图14是示出了根据本发明的激光束轮廓(形状)的曲线图。

具体实施方式

现在，将参考附图详细描述本发明的优选实施方案。

参见图2，将激光完全照射到被确认具有亮点像素瑕疵的滤色器532，同时该激光沿着箭头以之字形(zigzag)方式在该滤色器上扫描，以在滤色器532和玻璃531(参见图1)之间形成间隙G。当然，除了在滤色器532和玻璃之间形成之外，该间隙G还可在滤色器532的厚度方向上形成。

随后，如图3所示，将激光照射到黑色基质533，同时在该黑色基质上扫描激光以分解该黑色基质533。已分解的黑色基质533被引入间隙G。

最后，如图4所示，将激光照射到黑色基质533和滤色器532，同时在该黑色基质上和该滤色器上以之字形方式扫描该激光，以加速黑色基质533的分解和已分解的黑色基质533的扩散，结果已分解的黑色基质533在间隙G中均匀地分布。

由于黑色基质533在间隙G中的均匀分布，滤色器532的透光率降低，结果滤色器532不透射而是吸收从显示器装置的光源(背光单元)产生的光。以此方式，修复了有瑕疵的滤色器，使得有瑕疵的滤色器的亮点像素变成暗像素(dark pixel)。

发明模式

与以上描述不同，当根据该显示器装置的特征形成间隙G所必需的能量和分解黑色基质533所必需的能量几乎相同时，所述形成间隙的过程和所述分解黑色基质的过程可几乎同时执行。参见图5，将激光照射到该黑色基质533和滤色器532，其中在该黑色基质533和滤色器532上循序地扫描该激光，以修复亮点像素瑕疵。也就是说，黑色基质533的分解和扩散以及间隙G的形成是循序地、但几乎同时执行的。

同时，如前所述，需要用于形成间隙的激光、用于分解黑色基质的激光和用于使已分解的黑色基质扩散到间隙中的激光，以根据本发明修复亮点像素瑕疵。

具体而言，要求所述形成间隙的激光满足诸如如下工艺条件：滤色器的种类，显示器装置是否具有起偏振片，显示器装置是否具有外覆层，等等。满足这样的工艺条件的激光，可分解所述黑色基质和使已分解的黑色基质在所述间隙中扩散。从而，除特定情况之外，该形成间隙的激光可共用。

在下文中，将描述该形成间隙的激光的规格。

当激光照射到有机膜——诸如滤色器时，构成该膜的有机物的分子结合断裂，结果该有机膜消蚀，同时发射基团(radical)、团簇(cluster)、电子和光子，包括由中性原子、分子以及正离子和负离子组成的等离子体，由此在该滤色器处形成间隙。

消蚀是这样一种现象，其中由于有机物的分子结合的离解，有机物被分解成分子和离子。然而，为了实现这样的离解，需要吸收大于该有机物的能级的能量。

从而，需要照射对其处待形成间隙的滤色器波长具有低透射比也即波长具有高吸收性的激光。

此波长参考图6而选择。例如，当滤色器是红色(R)区域时，可以看见红色区域的具有高吸收性的波长是550nm或更小。当具有大于550nm的波长的激光照射到红色(R)区域时，透射比高，因此需要更大量的能量，结果在该滤色器之下的几个膜层诸如外覆层、ITO膜和配向膜等可能被严重损坏。如果在该滤色器之下的膜层被损坏，则液晶达到损坏区域，结果产生气泡，这导致滤色器更为严重的缺陷。

同时，具有低于270nm的波长的激光不透射过玻璃，结果该激光不到达滤色器。具有大于750nm的波长的激光透射过滤色器，结果该激光对该滤色器不起反应。

总之，当其处待形成间隙的滤色器是红色区域时，优选地将具有270至550nm的波长的激光照射到该滤色器，由此可非常有效地在该滤色器处形成间隙，而不损坏在该滤色器之下的膜层。

这样，当要在滤色器处形成这样的间隙时，需要照射具有一具有低滤色器透射比的波长的激光。对于红色(R)区域，如前所述，优选地照射具有270至550nm的波长的激光。对于绿色(G)区域，优选地照射具有270至480nm的波长或600至750nm的波长的激光。对于蓝色(B)区域，优选地照射具有270至390nm的波长或520至750nm的波长的激光。

在一个显示器装置附接有起偏振片的结构中，需要参考图7的透射比曲线图——其按照起偏振片的波长示出了其透射比。如图1所示，一起偏振片附接到滤色器衬底的顶部。被照射的激光必须透射过该起偏振片。

由图7的透射比曲线图可见，该起偏振片在可见光线区域具有50％或更小的透射比，该起偏振片在紫外(UV)区域不具有透射比，且该起偏振片的透射比向着近红外区域增加。为此原因，当需要在该起偏振片附接到其上的面板的RGB滤色器中的任一滤色器处形成间隙时，优选地使用具有400nm或更大的波长的激光。

从而，有必要从由图6的曲线图推得的波长中排除小于400nm的波长，以形成修复该起偏振片附接到其上的显示器装置所需的间隙。总之，当其处待形成间隙的滤色器是红色(R)区域时，优选地向该滤色器照射具有400至550nm的波长的激光。当其处待形成间隙的滤色器是绿色(G)区域时，优选地向该滤色器照射具有400至480nm的波长或600至750nm的波长的激光。当其处待形成间隙的滤色器是蓝色(B)区域时，优选地向该滤色器照射具有520至750nm的波长的激光。

图8至10是示出了向滤色器照射激光的各种不同方法的视图。具体地，图8示出了扫描型激光照射方法，图9示出了阻发型激光照射方法，图10示出了多阻发型激光照射方法。

这里，扫描型激光照射方法是扫描具有相应于滤色器532的区域的一部分的光束大小的激光，以将该激光照射到该滤色器532的整个区域。阻发型激光照射方法是一次照射具有相应于滤色器532的整个区域的光束大小的激光。多阻发型激光照射方法是扫描型激光照射方法和阻发型激光照射方法的结合。也即，多阻发型激光照射方法是按照阻发型激光照射方法照射激光，且同时，按照扫描型激光照射方法连续地照射激光。

同时，当根据上述方法照射激光时，在滤色器消蚀期间，滤色器的透光率降低，而不论黑色基质的扩散。从而，滤色器的亮点像素变成了暗像素，结果该滤色器不透射而是吸收从显示器装置的光源(背光单元)产生的光，由此随着黑色基质的扩散可更有效地修复滤色器的亮点像素瑕疵。

参见图11，示出了照射激光数次以形成间隙的过程。

具体地，当首次照射激光(S1)时，使用Z轴移动扫描仪以将焦深(DOF)定位在相应于滤色器厚度的10％的一个区域，且然后使用XY轴移动扫描仪在该滤色器处形成一个间隙。当通过电荷耦合器件(CCD)照相机(camera)确认了在该滤色器处形成的间隙的状态，并且确定该间隙在该滤色器处未充分地形成时，驱动Z轴移动扫描仪，使得DOF被定位于相应于该滤色器厚度的20％的一个区域，且然后使用XY轴移动扫描仪再次照射激光(S2)。当此过程被重复执行2至4次时，可在该滤色器处形成该间隙到期望的程度。

焦深(DOF)是通过在Z轴移动扫描仪和扫描透镜之间的焦距以及入射光束在2μm或更小范围内的直径计算出的。

[数学方程式1]

DOF＝λ/2(NA)2

[数学方程式2]

NA＝nsinθ

[数学方程式3]

f/#＝1/2(NA)

[数学方程式4]

数学方程式5可由数学方程式3和数学方程式4的组合而推导出。

[数学方程式5]

在上述数学方程式中，NA表示有效数值孔径，λ(希腊语的第十一个字母)表示激光的波长，而ef1表示有效焦距。

可证实，入射光束的直径越大，激光的波长越短，则焦深(DOF)越浅。还可证实，透镜的焦距(ef1)越短，数值孔径(NA)就越大，且因此焦深(DOF)越浅。

优选地，间隙厚度小于滤色器厚度的90％至最大值，优选地是滤色器厚度的20％至40％。替代地，可在该滤色器的不同厚度部分形成多个间隙。

参见图12，示出了不具有外覆层以降低制造成本和简化制造工艺的显示器装置。

同时，外覆层具有光吸收性，如图13所示。由图13可见，在紫外(UV)区域以下的区域，达到很少的透射，而在UV区域，达到了大约80％的吸收和大约20％的透射。

从而，当要在不具有外覆层的显示器装置中形成间隙时，需要使用规格不同于用于具有外覆层的显示器装置的激光的规格的激光。这是因为，由所照射的激光产生的能量会被外覆层吸收。从而，对于不具有外覆层的显示器装置，透射过滤色器的能量会到达液晶层，结果该液晶层可能被损坏。

为此原因，可能可使用具有低能量的激光以避免对液晶层的损坏；然而，在此情况下，可能没有反应会发生。

从而，虑及上述问题，必须满足激光具有低能量且能量施加时间短这些条件。实验结果显示，当使用具有50ns或更少的脉冲持续时间、1Hz至100Hz的重复频率以及10mW或更少的功率的激光时，令人满意地形成了间隙。

根据上述工艺条件，可选择激光的规格以形成该间隙。

此外，可使用所述形成间隙的激光来分解黑色基质和使已分解的黑色基质在该间隙中扩散。

然而，在黑色基质中含有金属成分诸如钛的情况下，特别优选地使用具有50ns或更少的脉冲持续时间的激光，以有效地分解黑色基质。

图14是示出了根据本发明的激光束轮廓的曲线图。

从激光振荡器振荡的激光，是能量集中在一个中央区域的高斯型激光束。当这个激光束通过光束成形器或光束均化器时，该激光束的强度在一个特定范围内被均一化，结果该激光束被转化成具有扩展尺寸的平顶轮廓。此时，所照射的激光的区域也随着光束轮廓的改变而改变。平顶轮廓可变成矩形平顶300或圆形平顶301的形状。

可使用光束成形器和光束调整器改变所照射的激光束的幅度和强度。所照射的激光束的面积越小，在多个滤色器处形成间隙所需的时间就越多。激光束的幅度可被均一地转换，以增加形成间隙的速度，由此本发明可应用于生产线以大规模生产产品。转换成矩形平顶300或圆形平顶301的、具有适当强度的激光可通过Z轴移动扫描仪在厚度方向(thickness-direction)位置使间隙在滤色器处形成达期望的厚度。

虽然为说明的目的公开了本发明的优选实施方案，但是本领域技术人员应理解，在不偏离所附权利要求中所公开的本发明的范围和主旨的前提下，各种修改、增添和替换是可能的。

Claims (25)

1.一种用于修复包括黑色基质的显示器装置的亮点像素瑕疵的方法，该方法包括以下步骤：

使用激光在具有亮点像素瑕疵的滤色器的厚度方向上或在该滤色器和玻璃之间形成一个间隙；

使用激光分解与该滤色器相邻的黑色基质；以及

使已分解的黑色基质在该间隙中扩散。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是红色(R)区域时，使用具有270至550nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是绿色(G)区域时，使用具有270至480nm的波长或600至750nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置未附接有起偏振片，且该滤色器是蓝色(B)区域时，使用具有270至390nm的波长或520至750nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是红色(R)区域时，使用具有400至550nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是绿色(G)区域时，使用具有400至480nm的波长或600至750nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，当该显示器装置附接有起偏振片，且该滤色器是蓝色(B)区域时，使用具有520至750nm的波长的激光来执行所述形成一个间隙的步骤。

8.根据权利要求1所述的方法，其中该激光在所述形成一个间隙的步骤具有100ns或更少的脉冲持续时间，

9.根据权利要求1所述的方法，其中该激光在所述形成一个间隙的步骤具有1Hz到1kHz的重复频率。

10.根据权利要求1所述的方法，其中当该显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成一个间隙的步骤具有50ns或更少的脉冲持续时间。

11.根据权利要求1所述的方法，其中当该显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成一个间隙的步骤具有1Hz至100Hz的重复频率。

12.根据权利要求1所述的方法，其中当该显示器装置不具有外覆层时，该激光在所述形成一个间隙的步骤具有10mW或更少的功率。

13.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在所述形成一个间隙的步骤调节激光的强度。

14.根据权利要求1所述的方法，其中在所述形成一个间隙的步骤，该激光具有平顶轮廓。

15.根据权利要求1所述的方法，其中在所述形成一个间隙的步骤，该间隙具有等于所述滤色器厚度的20％至90％的厚度。

16.根据权利要求1所述的方法，其中在所述形成一个间隙的步骤，该激光是使用从由下列项组成的组中选择的至少一个产生：镱激光器、钛-蓝宝石激光器、钕：YLF激光器、钕：玻璃激光器、钕：钒酸盐(YV04)激光器、钕：YAG激光器、光纤激光器和染料激光器。

17.根据权利要求1所述的方法，其中当该黑色基质包含金属成分时，该激光在所述分解黑色基质的步骤具有50ns或更少的脉冲持续时间。

18.根据权利要求1所述的方法，其中当该显示器装置未附接有起偏振片时，使用具有270至750nm的波长的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。

19.根据权利要求1所述的方法，其中当该显示器装置附接有起偏振片时，使用具有400至750nm的波长的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。

20.根据权利要求18或19所述的方法，使用在所述形成一个间隙的步骤所使用的激光来执行所述分解黑色基质的步骤。

21.根据权利要求1所述的方法，其中所述使已分解的黑色基质扩散的步骤包括向该滤色器移动激光，以向该滤色器引导黑色基质的流动。

22.根据权利要求21所述的方法，其中使用在所述分解黑色基质的步骤所使用的激光或与在所述分解黑色基质的步骤所使用的激光具有相同规格的激光，来执行所述使已分解的黑色基质扩散的步骤。

23.根据权利要求21所述的方法，其中通过扫描型激光照射方法将激光照射到所述滤色器或所述黑色基质。

24.根据权利要求21所述的方法，其中通过阻发型激光照射方法或多阻发型激光照射方法将激光照射到所述滤色器或所述黑色基质。

25.根据权利要求21所述的方法，其中在执行所述形成一个间隙的步骤、所述分解黑色基质的步骤和所述使已分解的黑色基质扩散的步骤期间，所述滤色器的透光率降低。

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