CN101680761B - 传感器装置 - Google Patents

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Abstract

传感器装置具有时刻测量单元，测量时刻信息，并对从被故障诊断单元输出的与生成故障检测信号有关的输出以及与生成传感信号有关的输出附加时刻信息。由此，能够将故障检测信号和传感信号通过时间信息相对应。或者传感器装置具有将故障检测信号和与该故障检测信号为同一时刻的传感信号相对应，并以分时方式输出的输出电路单元。

Description

传感器装置
技术领域
本发明涉及用于汽车、各种电子设备等的传感器装置。
背景技术
图9是作为以往的传感器装置例子的惯性传感器的方框图。该传感器装置具有：驱动电路单元1A、1B；检测元件2；检测电路单元3A、3B；处理电路单元4A、4B；输出电路单元5A、5B；以及故障诊断电路6。驱动电路单元1A、1B输出驱动信号。检测元件2中输入来自驱动电路单元1A、1B的驱动信号。检测元件2包含角速度检测单元和加速度检测单元。检测电路单元3A、3B从检测元件2取出响应信号。处理电路单元4A、4B从来自检测电路单元3A、3B的响应信号中取出传感信号(sense signal)。输出电路单元5A、5B输出来自处理电路单元4A、4B的传感信号。故障诊断电路6判断被故障诊断单元正常还是异常，并输出基于该结果的故障检测信号。这里，检测电路单元3A、3B、处理电路单元4A、4B、输出电路单元5A、5B中至少任一个作为被故障诊断单元。另外，作为与本申请有关的以往技术文献信息，例如已知专利文献1。
在这样的以往的传感器装置中，在其可靠性的提高方面存在课题。即，在上述的结构中，由于传感信号和故障检测信号没有在时间上相对应，所以不能瞬时、准确地判断所输出的传感信号是正常时的信号还是故障时的信号。因此，基于该传感器装置的输出而受到控制的汽车等控制对象有可能使用故障时的传感信号受到控制。
专利文献1：日本特开平8-327363号公报
发明内容
本发明是提高可靠性的传感器装置。本发明的传感器装置具有时间测量单元，测量时刻信息，并对从被故障诊断单元输出的与生成故障检测信号有关的输出以及与生成传感信号有关的输出附加时刻信息。由此，能够将故障检测信号和传感信号通过时刻信息相对应。或者传感器装置具有将故障检测信号和与该故障检测信号为同一时刻的传感信号相对应，并以分时方式输出的输出电路单元。
根据这样的任一结构，能够将故障检测信号和传感信号在时间上相对应。因此，能够正确地判断所输出的传感信号为正常时的信号还是异常时的信号。其结果，能够提高基于传感信号的控制的可靠性。
附图说明
图1是本发明的实施方式1中的传感器装置的方框图。
图2是表示在图1所示的传感器装置中，附加了时刻信息的响应信号的图。
图3是表示在图1所示的传感器装置中，附加了时刻信息的故障检测信号的图。
图4是本发明的实施方式1中的另一传感器装置的方框图。
图5是本发明的实施方式2中的传感器装置的方框图。
图6是表示图5所示的传感器装置的输出信号的变化的图。
图7是本发明的实施方式2中的另一传感器装置的方框图。
图8是表示图7所示的传感器装置的输出信号的变化的图。
图9是以往的传感器装置的方框图。
标号说明
11A第1驱动电路单元(驱动电路单元)
11B第2驱动电路单元(驱动电路单元)
12检测元件单元
12A角速度检测元件(第1检测元件)
12B加速度检测元件(第2检测元件)
13A、113A第1检测电路单元(检测电路单元)
13B、113B第2检测电路单元(检测电路单元)
14A、114A第1处理电路单元(处理电路单元)
14B、114B第2处理电路单元(处理电路单元)
15A第1输出电路单元(输出电路单元)
15B第2输出电路单元(输出电路单元)
16故障诊断电路
16A第1故障诊断电路(故障诊断电路)
16B第2故障诊断电路(故障诊断电路)
17时间测量单元
18、19、20输出电路单元
30端子
50A、51A第1控制电路
50B、51B第2控制电路
具体实施方式
(实施方式1)
图1是本发明的实施方式1中的传感器装置的方框图。本实施方式中的传感器装置包括：第1控制电路50A、第2控制电路50B、检测元件单元12、故障诊断电路16、以及时间测量单元17。第1控制电路50A包括：第1驱动电路单元(以下为驱动电路单元)11A、第1检测电路单元(以下为检测电路单元)13A、第1处理电路单元(以下为处理电路单元)14A、以及第1输出电路单元(以下为输出电路单元)15A。同样，第2控制电路50B包括：第2驱动电路单元(以下为驱动电路单元)11B、第2检测电路单元(以下为检测电路单元)13B、第2处理电路单元(以下为处理电路单元)14B、以及第2输出电路单元(以下为输出电路单元)15B。
驱动电路单元11A、11B输出驱动信号。检测元件单元12的第1检测元件即角速度检测元件12A中输入来自驱动电路单元11A的驱动信号。另外，检测元件单元12的第2检测元件即加速度检测元件12B中输入来自驱动电路单元11B的驱动信号。检测电路单元13A、13B从检测元件单元12取出响应信号。处理电路单元14A、14B从来自检测电路单元13A、13B的响应信号中取出第1、第2传感信号。另外，也可以同时取出第1、第2监视信号。输出电路单元15A、15B输出来自处理电路单元14A、14B的传感信号。故障诊断电路16判断被故障诊断单元正常还是异常，并输出基于该结果的故障检测信号。这里，检测电路单元13A、13B、处理电路单元14A、14B、输出电路单元15A、15B的至少任意一个被作为被故障诊断单元。
在处理电路单元14A、14B取出监视信号的情况下，驱动电路单元11A能够基于来自处理电路单元14A的第1监视信号，调整第1驱动信号的振幅。同样地，驱动电路单元11B能够基于来自处理电路单元14B的第2监视信号，调整第2驱动信号的振幅。
并且，通过时间测量单元17测量时刻信息，并对来自被故障诊断单元的输出附加该时刻信息，从而将故障检测信号和传感信号通过时刻信息相对应。
作为一例，参照图1～图3说明检测电路单元13A、13B是被故障诊断单元的情况。图2是表示在图1所示的传感器装置中附加了时刻信息的响应信号的图，图3是表示附加了时刻信息的故障检测信号的图。
首先，将时间测量单元17电连接到检测电路单元13A、13B。由此，时间测量单元17将测量出的时刻信息传送到检测电路单元13A、13B。并且，如图2所示，在从检测电路单元13A、13B输出响应信号(r011～r998)时，被附加时刻信息(t01～t99)。并且，附加了该时刻信息(t01～t99)的响应信号(r011～r998)经由处理电路单元14A、14B，作为传感信号从输出电路单元15A、15B输出。此时也成为对传感信号附加了时刻信息(t01～t99)的状态。
另一方面，故障诊断电路16判断作为被故障诊断单元的检测电路单元13A、13B正常还是异常。故障诊断电路16输出基于该结果的故障检测信号。并且，检测电路单元13A、13B向故障诊断电路16输出有关故障检测的信息时，也附加与上述的响应信号(r011～r998)相同的时刻信息(t01～99)。因此，在故障诊断电路16从与故障检测有关的信息生成故障检测信号(f011～f998)并将其输出时，如图3所示，也对故障检测信号(f011～f998)附加时刻信息(t01～t99)。
通过这样的构成，能够使用时刻信息(t01～t99)将故障检测信号(f011～f998)和传感信号在时间上相对应。即，时间测量单元17对从被故障诊断单元输出的与生成故障检测信号有关的输出以及与生成传感信号有关的输出附加时刻信息。由此，故障检测信号和传感信号通过时刻信息相对应。因此，能够正确地判断所输出的传感信号是正常时的信号还是故障时的信号。其结果，能够降低基于传感器装置的输出所控制的汽车等控制对象使用故障时的传感信号受到控制的可能性。这样，可靠性提高。
另外，在本实施方式中，作为检测元件单元12，使用两个元件即角速度检测元件12A和加速度检测元件12B。并且，作为与它们对应的电路结构，使用具有驱动电路单元11A、11B、检测电路单元13A、13B、处理电路单元14A、14B的结构进行了说明。但是，也可以是使检测元件为一个，作为与其对应的电路结构，将驱动电路单元、检测电路单元、处理电路单元分别仅设置一个的结构。
另外，在本实施方式中，说明了设被故障诊断单元为检测电路单元13A、13B，将角速度检测系统、加速度检测系统各自中的同一部分作为被故障诊断单元的例子，但不限于这种结构。也可以设第1被故障诊断单元为输出电路单元15A，设第2被故障诊断单元为处理电路单元14B，使两个被故障诊断单元分别在角速度检测系统、加速度检测系统中不为同一部分的结构。此时，需要将第1时刻信息附加到传感信号以及与故障检测有关的信息，所述第1时刻信息是来自输出电路单元15A的所述传感信号和输出电路单元15A向故障诊断电路16输出的与所述故障检测有关的信息两者共用的信息。另一方面，需要将第2时刻信息附加到传感信息以及与故障检测有关的信息，所述第2时刻信息是来自处理电路单元14B的传感信号和处理电路单元14B向故障诊断电路16输出的与故障检测有关的信息两者共用的信息。
另外，在本实施方式中，将角速度检测系统、加速度检测系统各自中的某一个部分作为被故障诊断单元，但是也可以是故障诊断电路16具有多个被故障诊断单元的结构。具体而言，例如，可以为对所有的检测电路单元13A、13B、处理电路单元14A、14B、输出电路单元15A、15B电连接故障诊断电路16，并输出各个故障检测信号的结构。通过这样的结构，能够利用多个被故障诊断单元进行故障诊断来检测通过一个被故障诊断单元不能检测出的故障，能够提高故障检测的精度。
另外，在本实施方式中，使用角速度检测元件12A、加速度检测元件12B等进行了说明，但是，对于压力传感器、温度传感器等其它各种传感器装置也能实施。
另外，优选在故障诊断电路16输出了被故障诊断单元为异常的意旨的故障检测信号的情况下，输出电路单元15A、15B不输出具有与故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号的结构。即，在接受了具有与故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号的情况下，输出电路单元15A、15B对输出电路单元15A、15B自身禁止输出该传感信号。或者，也可以设置未图示的控制单元，对输出电路单元15A、15B禁止输出该传感信号。另外，可以通过输出电路单元15A、15B自身或者上述的控制单元，将在汽车等控制对象侧不能检测出的级别的信号输出到输出电路单元15A、15B。输出电路单元15A、15B实质上不输出传感信号即可，该方法不受限定。
通过这种控制，在汽车等控制对象侧，不需要基于来自传感器装置的故障检测信号，判断可否使用与其建立了对应的传感信号。即，能够防止使用与故障检测信号相对应的传感信号而使控制对象受到控制。
作为具体的结构，将输出电路单元控制电路(未图示)电连接到故障诊断电路16，或者将其设置在故障诊断电路16内或输出电路单元15A、15B内。并且，输出电路单元控制电路判断故障诊断电路16是否输出了表示被故障诊断单元异常的故障检测信号。在输出电路单元控制电路判断为输出故障检测信号的情况下，输出电路单元控制电路不使具有与故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号从输出电路单元15A、15B输出。这样，能够防止具有与故障检测信号为同一时刻的时刻信息的传感信号被输出。
接着，参照图4说明本实施方式的传感装置的另一例。图4是本实施方式中的其它传感器装置的方框图。在该结构中，输出来自处理电路单元14A、14B的第1、第2传感信号和来自故障诊断电路16的故障检测信号的输出电路单元18被共用。输出电路单元18对传感信号和故障检测信号以分时方式进行数字输出。能够通过这样的结构来削减端子30的数目，并将传感器装置小型化。
另外，输出电路单元18以分时方式使基于时刻信息相对应的第1、第2传感信号和故障检测信号连结输出。因此，在控制对象侧，由于能够省略使基于时刻信息相对应的传感信号和故障检测信号连结的处理，所以较理想。
另外，在图4所示的结构中，优选在故障诊断电路16输出了被故障诊断单元异常的意旨的故障检测信号的情况下，输出电路单元18不输出具有与故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号。通过该控制，不需要在控制对象侧，基于来自传感器装置的故障检测信号，判断可否使用与其相对应的传感信号。即，能够防止使用与故障检测信号相对应的传感信号而使控制对象受到控制。
作为具体的结构，将输出电路单元控制电路(未图示)电连接到故障诊断电路16，或者将其设置在故障诊断电路16内或输出电路单元18内。并且，输出电路单元控制电路判断故障诊断电路16是否输出了表示被故障诊断单元异常的故障检测信号。在输出电路单元控制电路判断出输出故障检测信号的情况下，输出电路单元控制电路不使具有与故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号从输出电路单元18输出。这样，能够防止具有与故障检测信号为同一时刻的时刻信息的传感信号被输出。
另外，即使在图4所示的结构中，被故障诊断单元也可以将角速度检测系统、加速度检测系统各自中的某一个部分作为被故障诊断单元。另外，也可以是具有多个被故障诊断单元的结构。如果是具有多个被故障诊断单元的结构，则能够通过多个被故障诊断单元进行故障诊断来检测通过一个被故障诊断单元未能检测出的故障，能够提高故障检测的精度。
另外，在本实施方式中，由于需要附加时刻信息，所以需要被故障诊断电路是数字电路。因此，驱动电路单元11A、11B不包含在被故障诊断单元中。另外，在图4的结构中，故障诊断电路16位于输出电路单元18的前级，所以在输出电路单元18发生故障的情况下，不能区别处于异常状态的传感信号的输出是异常时的信号，还是正常时的信号。因此，在图4的结构中，输出电路单元18不包含在被故障诊断单元中。
(实施方式2)
图5是本发明的实施方式2中的传感器装置的方框图。本实施方式中的传感器装置与图4所示的结构不同之处在于，具有第1控制电路51A、第2控制电路51B以取代第1控制电路50A、第2控制电路50B，并且没有时间测量单元17。另外，具有输出电路单元19以取代输出电路单元18。除此以外的结构与实施方式1一样，因此省略说明。
第1控制电路51A具有第1驱动电路单元(以下为驱动电路单元)11A、第1检测电路单元(以下为检测电路单元)113A以及第1处理电路单元(以下为处理电路单元)114A。第2控制电路51B具有第2驱动电路单元(以下为驱动电路单元)11B、第2检测电路单元(以下为检测电路单元)113B、以及第2处理电路单元(以下为处理电路单元)114B。
检测电路单元113A从角速度检测元件12A取出第1响应信号。检测电路单元113B取出来自加速度检测元件12B的第2响应信号。处理电路单元114A中输入来自检测电路单元113A的第1响应信号。处理电路单元114A从第1响应信号中取出第1传感信号。另外，也可以同时取出第1监视信号。处理电路单元114B中输入来自检测电路单元113B的第2响应信号。处理电路单元114B从第2响应信号中取出第2传感信号。另外，也可以同时取出第2监视信号。
在处理电路单元114A、114B取出监视信号的情况下，驱动电路单元11A能够基于来自处理电路单元114A的第1监视信号调整第1驱动信号的振幅。同样地，驱动电路单元11B能够基于来自处理电路单元114B的第2监视信号调整第2驱动信号的振幅。
故障诊断电路16电连接到驱动电路单元11A、检测电路单元113A、处理电路单元114A中的至少一个。另外，故障诊断电路16也电连接到驱动电路单元11B、检测电路单元113B、处理电路单元114B中的至少一个。即，驱动电路单元11A、检测电路单元113A、处理电路单元114A中的至少一个为第1被故障诊断单元。驱动电路单元11B、检测电路单元113B、处理电路单元114B中的至少一个为第2被故障诊断单元。输出电路单元19将来自故障诊断电路16的故障检测信号和来自处理电路单元114A、114B的第1传感信号、第2传感信号以分时方式进行数字输出。
图6是表示来自输出电路单元19的数字输出的情况的图。从处理电路单元114A、114B输出的第1传感信号、第2传感信号随时间变化。同样地，从故障诊断电路16输出的故障检测信号也随时间变化。第1传感信号、第2传感信号和故障检测信号输入到输出电路单元19时，输出电路单元19在各个定时，将第1、第2传感信号的信息和与其对应的故障检测信号以分时方式进行数字输出。
这样，输出电路单元19将故障检测信号、与故障检测信号为同一时刻的第1、第2传感信号以分时方式进行数字输出。由此，能够判断第1、第2传感信号为正常时的结果还是异常时的结果。
在图6所示的例子中，在ts1时刻，根据故障检测信号的判断为“正常”，但是在ts2时刻，为“异常”。与该判断为异常的故障检测信号信息相对应的第1传感信号、第2传感信号的输出被处理为“异常时的结果”。因此，例如，如果在汽车控制中使用本实施方式所示的传感器装置，汽车的控制单元(未图示)进行不在控制上使用被判断为“异常时的结果”的ts2时刻的第1传感信号、第2传感信号等的判断。通过该判断，能够抑制基于时刻ts2中的第1传感信号、第2传感信号控制汽车的汽车所引起的自身的误动作的发生。
通过这样的结构，无需在故障诊断电路16设置输出端子，就能够从输出电路单元19的输出端子30输出与传感信号一一对应的故障检测信号。其结果，能够将传感器装置小型化。
另外，在本实施方式中，也可以将检测元件设为一个，作为与其对应的电路结果，可以是仅分别将驱动电路单元、检测电路单元、处理电路单元各设置一个的结构。
例如，仅设置驱动电路单元11A、检测电路单元113A、处理电路单元114A。此时，输出电路单元19将来自故障诊断电路16的故障检测信号和与该故障检测信号为同一时刻的来自处理电路单元114A的传感信号以时分方式进行数字输出。由此，能够判断传感信号为正常时的结果还是异常时的结果。
另外，在本实施方式中，故障诊断电路16也可以由多个故障诊断电路构成。并且，这多个故障诊断电路各自都可以电连接到驱动电路单元11A、11B、检测电路单元113A、113B以及处理电路单元114A、114B中的至少任一个。此时，输出电路单元将来自该多个故障诊断电路的多个故障检测信号和来自处理电路单元114A、114B的传感信号以分时方式进行数字输出。这样的结构也可以。关于这样的结构，参照图7进行说明。图7是本发明的实施方式2中的其它传感器装置的方框图。
在该结构例中，设置第1故障诊断电路16A、第2故障诊断电路16B(以下都为故障诊断电路)，以取代故障诊断电路16。第1故障诊断电路16A、第2故障诊断电路16B电连接到输出电路单元20。故障诊断电路16A电连接到检测电路单元113A、113B，故障诊断电路16B电连接到驱动电路单元11A、11B。
在这样的结构中，来自输出电路单元20的输出信号如图8所示那样。即，从处理电路单元114A、114B输出的第1传感信号、第2传感信号随时间变化。同样地，从电连接到检测电路单元113A、113B的故障诊断电路16A输出的第1故障检测信号也随时间变化。从电连接到驱动电路单元11A、11B的故障诊断电路16B输出的第2故障检测信号也随时间变化。该第1传感信号、第2传感信号和第1故障检测信号、第2故障检测信号输入到输出电路单元20。输出电路单元20在各个定时，将第1传感信号、第2传感信号的信息和与其对应的第1、第2故障检测信号的信息以分时方式进行数字输出。
在图8所示的例子中，在ts1时刻，根据故障检测信号的判断为“正常”，但是在ts2时刻，虽然第1故障检测信号为正常，但是第2故障检测信号为异常。因此，作为整体为“异常”的判断，与判断出该异常的第2故障检测信号信息相对应的第1、第2传感信号的输出被处理为“异常时的结果”。
因此，例如如果在汽车的控制中使用本实施方式所示的传感器装置，则汽车的控制单元(未图示)进行不在控制上使用被判断为“异常时的结果”的ts2时刻的第1传感信号、第2传感信号等的判断。通过该判断，能够抑制基于时刻ts2中的第1传感信号、第2传感信号控制汽车所引起的汽车自身的误动作的发生。
通过这样的结构，无需在故障诊断电路16A、16B设置输出端子，就能够从输出电路单元20的输出端子30输出与传感信号一一对应的故障检测信号。其结果，能够将传感器装置小型化。
进而，即使采用多个故障诊断电路16A、16B，输出端子30的数目也不会与故障诊断电路的数目成比例地增加。其结果，能够将传感器装置小型化。而且，通过使用多个故障诊断电路16A、16B，被故障诊断单元的数目增加，可靠性进一步提高。
另外，对于将检测元件设为一个，作为与其对应的电路结构，仅分别将驱动电路单元、检测电路单元、处理电路单元各设置一个的结构，可以设置多个故障诊断电路。例如，在图7所示的结构中，可以去除第2控制电路51B以及加速度检测元件12B，将故障诊断电路16A连接至检测电路单元113A，将故障诊断电路16B连接至驱动电路单元11A。
此时，检测电路单元113A为第1被故障诊断单元，驱动电路单元11A为第2被故障诊断单元。故障诊断电路16A判断检测电路单元113A正常还是异常，并输出基于判定结果的第1故障检测信号。另一方面，故障诊断电路16B判断驱动电路单元11A正常还是异常，并输出基于判定结果的第2故障检测信号。输出电路单元20将来自故障诊断电路16A的第1故障检测信号、来自故障诊断电路16B的第2故障检测信号和来自处理电路单元114A的第1传感信号以分时方式进行数字输出。这样，对于构成第1控制电路51A的电路单元中的两个以上电路，通过设置与各自分别对应的故障诊断电路，从而进一步提高故障诊断的可靠性。
另外，在本实施方式中，不需要如实施方式1那样将时刻信息附加到响应信号等。因此，如图6、图8所示，传感信号也可以不是数字信号。即，被故障诊断单元除了检测电路单元113A、113B、处理电路单元114A、114B之外，还可以是驱动电路单元11A、11B。另外，这些电路单元也可以为模拟电路。向外部以分时方式输出信号的输出电路单元19(20)为数字电路即可。
产业上的可利用性
本发明的传感器装置具有能够提高可靠性的效果，在数字照相机、车载导航等各种电子设备和汽车中是有用的。

Claims (8)

1.传感器装置，包括：
驱动电路单元，输出驱动信号；
检测元件，输入来自所述驱动电路单元的所述驱动信号；
检测电路单元，从所述检测元件取出响应信号；
处理电路单元，从来自所述检测电路单元的所述响应信号中取出传感信号；
输出电路单元，输出来自所述处理电路单元的所述传感信号；
故障诊断电路，将所述检测电路单元、所述处理电路单元、所述输出电路单元中至少任一个作为被故障诊断单元，并电连接到所述被故障诊断单元，判断所述被故障诊断单元正常还是异常，输出基于判断结果的故障检测信号；以及
时间测量单元，通过测量时刻信息，并对从所述被故障诊断单元输出的与生成所述故障检测信号有关的输出以及与生成所述传感信号有关的输出附加所述时刻信息，将所述故障检测信号和所述传感信号通过所述时刻信息相对应。
2.如权利要求1所述的传感器装置，
在所述输出电路单元从所述故障诊断电路接收了表示所述被故障诊断单元有异常的故障检测信号的情况下，所述输出电路单元不输出具有与所述故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号。
3.传感器装置，包括：
驱动电路单元，输出驱动信号；
检测元件，输入来自所述驱动电路单元的所述驱动信号；
检测电路单元，从所述检测元件取出响应信号；
处理电路单元，从来自所述检测电路单元的所述响应信号中取出传感信号；
故障诊断电路，将所述检测电路单元、所述处理电路单元中至少任一个作为被故障诊断单元，并电连接到所述被故障诊断单元，判断所述被故障诊断单元正常还是异常，输出基于判定结果的故障检测信号；
输出电路单元，以分时方式输出来自所述处理电路单元的所述传感信号和来自所述故障诊断电路的所述故障检测信号；以及
时间测量单元，通过测量时刻信息，并对从所述被故障诊断单元输出的与生成所述故障检测信号有关的输出以及与生成所述传感信号有关的输出附加所述时刻信息，将所述故障检测信号和所述传感信号通过所述时刻信息相对应。
4.如权利要求3所述的传感器装置，
在所述输出电路单元从所述故障诊断电路接收了表示所述被故障诊断单元异常的故障检测信号的情况下，所述输出电路单元不输出所述输出电路单元中具有与所述故障检测信号具有的时刻信息为同一时刻的时刻信息的传感信号。
5.传感器装置，包括：
第1驱动电路单元，输出第1驱动信号；
第1检测元件，输入来自所述驱动电路单元的所述第1驱动信号；
第1检测电路单元，从所述第1检测元件取出响应信号；
第1处理电路单元，从来自所述检测电路单元的所述响应信号中取出第1传感信号；
第1故障诊断电路，将所述第1驱动电路单元、所述第1检测电路单元以及所述第1处理电路单元中至少任一个作为第1被故障诊断单元，并电连接到所述第1被故障诊断单元，判断所述第1被故障诊断单元正常还是异常，输出基于判定结果的第1故障检测信号；以及
输出电路单元，将来自所述第1故障诊断电路的所述第1故障检测信号以及与所述第1故障检测信号为同一时刻的、来自所述第1处理电路单元的所述第1传感信号以分时方式进行数字输出，以便能够判断所述第1传感信号为正常时的结果还是异常时的结果。
6.如权利要求5所述的传感器装置，
还包括：第2故障诊断电路，将所述第1驱动电路单元、所述第1检测电路单元以及所述第1处理电路单元中至少任一个作为第2被故障诊断单元，并电连接到所述第2被故障诊断单元，判断所述第2被故障诊断单元正常还是异常，并输出基于判定结果的第2故障检测信号，
所述输出电路单元将来自所述第1故障诊断电路的所述第1故障检测信号、来自所述第2故障诊断电路的所述第2故障检测信号以及来自所述第1处理电路单元的所述第1传感信号以分时方式进行数字输出。
7.如权利要求5所述的传感器装置，还包括：
第2驱动电路单元，输出第2驱动信号；
第2检测元件，输入来自所述第2驱动电路单元的所述第2驱动信号；
第2检测电路单元，从所述第2检测元件取出第2响应信号；
第2处理电路单元，输入来自所述第2检测电路单元的所述第2响应信号，并从所述第2响应信号中取出第2传感信号；以及
第2故障诊断电路，将所述第2驱动电路单元、所述第2检测电路单元以及所述第2处理电路单元中的至少任一个作为第2被故障诊断单元，电连接到所述第2被故障诊断单元，判断所述第2被故障诊断单元正常还是异常，输出基于判定结果的第2故障检测信号，
所述输出电路单元将来自所述第1故障诊断电路的所述第1故障检测信号、来自所述第2故障诊断电路的所述第2故障检测信号以及来自所述第1处理电路单元、第2处理电路单元的所述第1传感信号、第2传感信号以分时方式进行数字输出。
8.传感器装置，包括：
第1驱动电路单元，输出第1驱动信号；
第1检测元件，输入来自所述驱动电路单元的所述第1驱动信号；
第1检测电路单元，从所述第1检测元件取出响应信号；
第1处理电路单元，从来自所述检测电路单元的所述响应信号中取出第1传感信号；
第2驱动电路单元，输出第2驱动信号；
第2检测元件，输入来自所述第2驱动电路单元的所述第2驱动信号；
第2检测电路单元，从所述第2检测元件取出第2响应信号；
第2处理电路单元，输入来自所述第2检测电路单元的所述第2响应信号，并从所述第2响应信号中取出第2传感信号；
故障诊断电路，将所述第1驱动电路单元、所述第1检测电路单元以及所述第1处理电路单元中至少任一个作为第1被故障诊断单元，将所述第2驱动电路单元、所述第2检测电路单元以及所述第2处理电路单元中至少任一个作为第2被故障诊断单元，并电连接到所述第1被故障诊断单元、第2被故障诊断单元，判断所述第1被故障诊断单元和所述第2被故障诊断单元两者正常、还是所述第1被故障诊断单元和所述第2被故障诊断单元的至少任一个异常，输出基于判定结果的故障检测信号；以及
输出电路单元，将来自所述故障诊断电路的所述故障检测信号以及与所述故障检测信号为同一时刻的、来自所述第1处理电路单元、第2处理电路单元的所述第1传感信号、所述第2传感信号以分时方式进行数字输出，以便能够判断所述第1传感信号、所述第2传感信号为正常时的结果还是异常时的结果。
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