CN101645390A - 短弧型放电灯及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种短弧型放电灯及其制造方法。短弧型放电灯具备：发光管；一对外侧密封管，在发光管的两端连续形成；内侧密封管，在外侧密封管的内侧与外侧密封管配置于相同的轴上，且熔着于外侧密封管；一对电极，由在发光部的内部相对配置的主体部和与该主体部的基端侧连续而朝向外侧密封管的基端侧延伸的轴部构成；第1集电板，与电极电连接；多个金属箔，与第1集电板电连接；玻璃部件，使多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上，以夹住多个金属箔的方式熔着于内侧密封管的内部；第2集电板，与金属箔电连接；以及外部导棒，与第2集电板电连接，短弧型放电灯的特征在于，内侧密封管具有没有熔着于外侧密封管而从外侧密封管的端部朝向外部伸出的部位。

Description

短弧型放电灯及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种在半导体及液晶的制造领域等中使用的短弧型放电灯及其制造方法。

背景技术

以往，为了在半导体及液晶基板的曝光中使用的短弧型放电灯点灯时保持高点灯压力，并确保放电空间内与该灯外部的气密性，采用使钼等金属箔与玻璃密封的方法。

这样具有通过钼等金属箔密封的单重密封构造的短弧型放电灯例如揭示于专利文献1。

近年来半导体及液晶基板的曝光要求提高半导体处理时的生产率，提高以液晶基板或滤色片为对象的大面积照射时的处理能力。

对于上述要求，曝光用光源中使用的短弧型放电灯是使接通电力比以往高而满足上述要求。从而，引起电极大型化，电极重量大幅增大。

如专利文献1所述，短弧型放电灯是仅保持电极的一端的悬臂构造。所以，若电极变重，则在制造时经由电极的轴部有很大的应力施加于金属箔，在密封后的金属箔上形成褶皱，或金属箔本身断裂。此外，在金属箔形成有褶皱的状态下点灯短弧型放电灯时，有损坏密封部构造的问题。

为了对应上述问题，本申请人在专利文献2中提出了一种具有双重密封构造的短弧型放电灯。图6表示具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯的整体构成。

发光管1是封入有水银的石英玻璃制的管。阳极2、阴极3分别具有配置于发光管内的主体部21、31及朝外侧密封管内延伸的轴部22、32。

短弧型放电灯具有通过外侧密封管12、内侧密封管11、金属箔10及玻璃部件6气密地密封的双重密封构造。以下，对阳极2侧的密封部构造加以说明，阴极侧的密封部构造也与阳极侧同样。

外侧密封管12是在发光管1的两端连续形成的圆筒状部分。

内侧密封管11是用于气密地密封的圆筒状的玻璃部件。

玻璃部件6用形成于两处的有底穴保持轴部22与外部导棒7。

电极保持部5是具有用于保持轴部22的开口的筒状体。

外部导棒保持体9是具有用于保持外部导棒7的开口的筒状体。

金属箔10位于玻璃部件6与内侧密封管11之间，与第1集电板4和第2集电板8电连接。

第1集电板4是电连接轴部22与金属箔10的金属制的部件。

第2集电板8是电连接外部导棒7与金属箔10的金属制的部件。

图7是表示现有的短弧型放电灯的一次密封步骤的剖视图。为了便于说明，仅说明阳极侧的密封构造。通过依次进行以下图7(a)～(f)的步骤，完成图7(g)所示的电极安装件。

如图7(a)所示，准备由轴部22、电极保持体5、第1集电板4、玻璃部件6、金属箔10、第2集电板8、外部导棒7、外部导棒保持体9、安装件带23构成的电极安装件构成体。

如图7(b)所示，将电极安装件构成体插入在具备排气用的支管11a的内侧密封管11内部。

如图7(c)所示，用燃烧器等加热内侧密封管11的两端部而密封之后，经由排气用支管11a而对内侧密封管11内进行排气使之成为真空状态。

如图7(d)所示，通过用燃烧器加热电极保持体5、玻璃部件6及外部导棒保持体9周围的内侧密封管11，将电极保持体5、玻璃部件6及外部导棒保持体9这3个部件熔着于内侧密封管11。将多个金属箔10夹在内侧密封管11与玻璃部件6之间而熔着并密封，从而实现内侧密封管11与外部之间的气密状态。

在图7(e)所示的2处切断内侧密封管11。

如图7(f)所示，将轴部22的前端部嵌入主体部21的有底穴21a。

图7(g)表示完成的电极安装件20’。

图8是表示现有的短弧型放电灯的二次密封步骤的剖视图。通过依次进行以下图8(a)～(d)的步骤，完成气密地密封的密封部构造。

如图8(a)所示，将电极安装件20’插入在外侧密封管12内。

如图8(b)所示，将阳极2的主体部21和轴部22的一部分配置在发光管的内部，而且将除了主体部21以外的电极安装件20’的构成部件整体配置于外侧密封管12的内部。

如图8(c)所示，用燃烧器加热外侧密封管12的端部使之密封，经由设于发光管1上的未图示的排气用支管，对发光管1与外侧密封管12的内部予进行排气而成为真空状态。

如图8(d)所示，用燃烧器等加热外侧密封管12的D部分，从而熔着内侧密封管11与外侧密封管12。如上所述，在使多个金属箔10夹在内侧密封管11与玻璃部件6之间的状态下对内侧密封管11与玻璃部件6进行加热而熔着。从而，内侧密封管11与外侧密封管12熔着，实现外侧密封管12内部与外部之间的气密状态。

专利文献1：日本专利第3379438号

专利文献2：日本特开2005-243484号

具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯是在将内侧密封管11与玻璃部件6熔着而结束一次密封之后，将重量大的电极的主体部21嵌入于轴部22。即，具有双重密封构造的短弧型放电灯在进行一次密封的阶段中没有使重量大的电极的主体部21嵌入于轴部22的前端侧，因此可防止制造时褶皱形成于金属箔10。因此，在点灯时外侧密封管12不会破损。

然而，如上所述，具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯中，外侧密封管12与内侧密封管11在内侧密封管11的全长上被燃烧器等加热而熔着，因此发生如下的新问题。

如上述的图8(d)所示，用燃烧器等加热外侧密封管12的与内侧密封管11的全长相当的领域D，熔着的范围较长，因此加热费时，而且为了驱动燃烧器等需要很多能量。因此，具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯有生产效率低的问题。

此外，如图8(b)所示，现有的短弧型放电灯在进行将电极安装件20’插入在外侧密封管12内的步骤时，必须将主体部21及轴部22与外侧密封管12的中心轴一致。由于内侧密封管11的外径与外侧密封管12的内径不一定一致，因此通过利用设于外部导棒7的基端部上的安装件带23的伸缩力来进行上述位置对准。该位置对准需要作业人员的高度熟练，存在根据每一作业人员而产生位置精度差异的问题。这样，具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯难以将电极安装件20’插入在外侧密封管12内而将主体部21及轴部22配置于适当位置上。

发明内容

因此，本发明的目的在于，通过解决上述现有的问题，提高具有双重密封构造的短弧型放电灯的生产效率。

本发明的一种短弧型放电灯，具备：发光管；一对外侧密封管，在上述发光管的两端连续形成；内侧密封管，在上述外侧密封管的内侧与上述外侧密封管同轴配置，且熔着于上述外侧密封管；一对电极，由在上述发光部的内部相对配置的主体部和与该主体部的基端侧连续而朝向外侧密封管的基端侧延伸的轴部构成；第1集电板，与上述电极电连接；多个金属箔，与上述第1集电板电连接；玻璃部件，使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上，以夹住上述多个金属箔的方式熔着于上述内侧密封管的内部；第2集电板，与上述金属箔电连接；以及外部导棒，与上述第2集电板电连接，上述短弧型放电灯的特征在于，上述内侧密封管具有没有熔着于上述外侧密封管而从上述外侧密封管的端部朝向外部伸出的部位。

此外，本发明的短弧型放电灯的特征在于，上述外侧密封管在上述第1集电板的径向外方延伸。

此外，本发明的短弧型放电灯的特征在于，上述外侧密封管的全长比上述内侧密封管的全长短。

此外，本发明的短弧型放电灯的特征在于，在上述发光管内封入有水银作为发光物质。

用于实现本发明的短弧型放电灯的双重密封构造的电极安装件，其特征在于，具备：由主体部和在该主体部的基端侧连续形成的轴部构成的电极；与上述电极电连接的第1集电板；与上述第1集电板电连接的多个金属箔；使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上的玻璃部件；与上述多个金属箔电连接的第2集电板；与上述第2集电板电连接的外部导棒；以及以夹住上述金属箔的方式熔着于上述玻璃部件的径向外方的内侧密封管，上述内侧密封管在上述第1集电板的径向外方延伸，并且超出上述外部导棒的基端部而延伸。

本发明的一种短弧型放电灯的制造方法，其特征在于，进行以下步骤：组装电极安装件，该电极安装件具备由主体部和在该主体部的基端侧连续形成的轴部构成的电极、与上述电极电连接的第1集电板、与上述第1集电板电连接的多个金属箔、使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上的玻璃部件、与上述多个金属箔电连接的第2集电板、与上述第2集电板电连接的外部导棒、以夹住上述金属箔的方式熔着于上述玻璃部件的径向外方的内侧密封管；以上述内侧密封管从外侧密封管的端部朝向外部伸出的方式，将上述电极安装件插入外侧密封管内；以及将上述外侧密封管熔着于配置在该外侧密封管内的上述内侧密封管上。

本发明的短弧型放电灯具有由玻璃部件、内侧密封管、夹在玻璃部件与内侧密封管之间的金属箔、外侧密封管构成的双重密封构造。因此，不存在现有技术中制造时在金属箔上形成褶皱的问题，能够切实地防止密封部在短弧型放电灯点灯时损坏。

而且，本发明的短弧型放电灯的上述内侧密封管具有不熔着于上述外部密封管而从外侧密封管的端部朝外部伸出的部位。因此，内侧密封管的全长中的有限的部位熔着于外侧密封管，因此加热并熔着内侧密封管与外侧密封管所需要时间被缩短，且能够降低熔着所需要的能量。因此，通过采用本发明的双重密封构造，能够提高短弧型放电灯的生产效率。

附图说明

图1是表示本发明的短弧型放电灯整体的构成例的剖视图。

图2是表示短弧型放电灯的双重密封构造的放大剖视图。

图3是表示短弧型放电灯的一次密封步骤的剖视图。

图4是表示短弧型放电灯的二次密封步骤的剖视图。

图5是与现有的双重密封构造比较而表示本发明的效果的放大剖视图。

图6是表示现有的短弧型放电灯整体的构成的剖视图。

图7是表示现有的短弧型放电灯的一次密封步骤的剖视图。

图8是表示现有的短弧型放电灯的二次密封步骤的剖视图。

具体实施方式

图1是表示本发明的短弧型放电灯整体的构成例的剖视图。

该图1的短弧型放电灯具备：形成为大致球状的发光管1；及在其两端连续形成的一对外侧密封管12。

在发光管1的内部，彼此相对配置有阳极2的主体部21与阴极3的主体部31，而且封入有作为发光物质的水银。

阳极2由在其前端侧形成圆形的主体部21及连接于该主体部21的基端侧的棒状的轴部22构成。轴部22的前端部嵌入于形成在主体部21的基端侧的有底穴21a。

阴极3由在其前端侧具有随着靠向阳极2的主体部21而逐渐缩径的锥体部的主体部31、连接于该主体部31的基端侧的棒状的轴部32构成。轴部32的前端部嵌入在形成于主体部31的基端侧的有底穴31a。

阳极2及阴极3通过由例如钨构成的各主体部21、31及各轴部22、32构成。

阳极2及阴极3中，如上所述，各主体部21、31与各轴部22、32可以是彼此不同的部件，各主体部与各轴部也可以一体地形成。

水银的封入量是例如20mg/cc以上。

图2是表示图1的短弧型放电灯的双重密封构造的放大剖视图。省略说明阴极侧的密封部构造，其与阳极侧的密封部构造相同。

在轴部22的基端部设有金属制第1集电板4。第1集电板4具有在其中央具有贯通孔4a的圆板形状。轴部22被配置成其基端部贯通第1集电板4的贯通孔4a而从第1集电板4的基端面伸出，例如通过焊接等固定于第1集电板4的开口端部。

电极保持体5是由例如石英玻璃构成的筒状部件，以其前端部不从内侧密封管11的前端部伸出的方式将整体收容于内侧密封管11的内方，电极保持体5与第1集电板4相邻配置。轴部22贯通形成于电极保持体5中央的贯通孔5a。

玻璃部件6是由例如石英玻璃构成的柱状部件，与第1集电板4相邻配置。在玻璃部件6上，用于保持轴部22与外部导棒7的有底穴6a、6b分别形成于前端侧与基端侧双方。在玻璃部件6的前端侧的有底穴6a嵌入轴部22的基端部而保持轴部22。在玻璃部件6的基端侧的有底穴6b嵌入外部导棒7的前端部而保持外部导棒7。

外部导棒7是由例如钨构成的棒状部件，在其前端部设有金属制的第2集电板8。第2集电板8具有在其中央具有贯通孔8a的圆板形状。外部导棒7被配置成其前端部贯通第2集电板8的贯通孔8a而从第2集电板8的前端面伸出，例如通过焊接等固定于第2集电板8的开口端部。

外部导棒保持体9是由例如石英玻璃构成的筒状部件，与第2集电板8相邻配置。外部导棒7贯通外部导棒保持体9的贯通孔9a。

在玻璃部件6的侧周面，多个金属箔10被配置成不彼此重合且与外侧密封管12的管轴方向平行排列。各金属箔10由例如钼等金属构成。各金属箔10例如通过焊接等使其前端部电连接于第1集电板4的侧周面，而且使其基端部电连接于第2集电板8的侧周面。

内侧密封管11是由例如石英玻璃构成的直管状部件，在电极保持体5、玻璃部件6及外部导棒保持体9的径向外方延伸，而且配置成其前端不朝发光管1内方伸出。内侧密封管11与玻璃部件6在两者之间夹着多个金属箔10而通过燃烧器加热而熔着。内侧密封管11具有从外侧密封管12的基端部朝外部伸出的部位11x。

外侧密封管12由例如石英玻璃形成为直管状，其前端部与发光管1的端部连接。优选外侧密封管12在电极保持体5及第1集电板4的径向外方延伸。在外侧密封管12的内部，通过例如用燃烧器等加热而同轴熔着内侧密封管11。内侧密封管11的全长比外侧密封管12长，具有不与外侧密封管12熔着而从外侧密封管12的基端部朝外方伸出的部位11x。

具有上述构成的短弧型放电灯以预定的灯电力进行点灯驱动，从而在阳极2与阴极3之间形成放电，使波长365nm的紫外线朝发光管1的外方射出。

短弧型放电灯的点灯条件例如是灯电力为10kW以上。

阳极2的主体部21为了能耐住上述点灯条件，例如为φ30mm以上，重量为800g以上。

以下，图3是表示图1所示的短弧型放电灯的一次密封步骤的剖视图。通过依次进行图3(a)至图3(f)的步骤，完成图3(g)所示的电极安装件(Mount)。以下，“电极安装件构成体”是指未熔着内侧密封管，“电极安装件”是指熔着有内侧密封管。

图3(a)表示制造电极安装件构成体的步骤。准备：在前端侧与基端侧双方形成了有底穴6a、6b的玻璃部件6；在基端部固定有第1集电板4的轴部22；电极保持体5；在前端部固定有第2集电板8且在基端侧设有安装件带23的外部导棒7；外部导棒保持体9及多个金属箔10。将轴部22的基端部嵌入于玻璃部件6前端侧的有底穴6a，并且以使轴部22的前端部贯通电极保持体5的贯通孔5a的方式配置电极保持体5。同时，将外部导棒7的前端部嵌入于玻璃部件6基端侧的有底穴6b，而且以外部导棒7的基端部贯通外部导棒保持体9的贯通孔9a的方式配置外部导棒保持体9。最后，将多个金属箔10不彼此重合地配置在玻璃部件6的侧周面上，将各金属箔10的前端部通过焊接等固定于第1集电板4的侧周面，而且将各金属箔10的基端部通过焊接等固定于第2集电板8的侧周面。

图3(b)表示将在图3(a)中制造的电极安装件构成体插入于内侧密封管11内部的步骤。将电极安装件构成体插入于内侧密封管11内，使电极安装件构成体的整体收容于内侧密封管11内部。内侧密封管11的全长比电极安装件构成体的全长要长很多。电极安装件构成体利用安装件带23的伸缩力配置成轴部22与内侧密封管11的中心轴一致。

图3(c)表示密封内侧密封管11的两端部的步骤。用燃烧器等加热内侧密封管11的双方端部而予以密封。此外，经设于内侧密封管11的排气用支管11a对内侧密封管11内进行排气而成为真空状态。在结束内侧密封管11的排气之后，密封排气用的支管11a。

图3(d)表示将内侧密封管11熔着于电极安装件构成体的步骤。在将多个金属箔10夹在玻璃部件6与内侧密封管11之间的状态下，用燃烧器等加热内侧密封管11的在玻璃部件6的径向外方延伸的部位。内侧密封管11因热而缩径，从而熔着于玻璃部件6。此外，同样加热内侧密封管11的在电极保持体5及外部导棒保持体9的径向上延伸的部位而进行熔着。

图3(e)表示切断熔着于电极安装件构成体的内侧密封管11的端部的步骤。在图3(e)所示的2个部位切断内侧密封管。切断部位是比电极保持体5的前端面稍靠近轴部22前端的部位。

图3(f)表示将阳极2的主体部21安装于电极安装件构成体的轴部22上的步骤。将轴部22的前端部嵌入于设在主体部21基端侧的有底穴21a。

图3(g)表示完成的电极安装件20。

在此，优选完成的电极安装件20的内侧密封管11具有超过外部导棒7的基端部而延伸的部位11b。即，在切断图3(e)的内侧密封管11的步骤中，优选以留下超过外部导棒7的基端部而延伸的部位11b的方式切断内侧密封管11。此时，在下述二次密封中，可容易地进行电极安装件20相对于外侧密封管12的位置对准的步骤。

以下，图4是表示图1所示的短弧型放电灯的二次密封步骤的剖视图。通过依次进行表示于图4(a)至图4(c)的步骤，完成图1所示的短弧型放电灯。

图4(a)表示使电极安装件20与外侧密封管12的中心轴位置对准的步骤。将一方的外侧密封管12固定于一方的密封用旋盘41。同时，将电极安装件20的内侧密封管11固定于另一方的密封用旋盘42。此时，通过将内侧密封管11的超过外部导棒7的基端部而延伸的部位11b固定于另一方的密封用旋盘42，可容易地使阳极2的轴部22与外侧密封管12的中心轴一致。即，通过使内侧密封管11具有超过外部导棒7的基端部而延伸的部位11b，可将该部位由密封用旋盘42予以保持，因此可容易地进行使电极安装件20与外侧密封管12位置对准的步骤。

图4(b)表示将电极安装件20插入于发光管1及外侧密封管12内部的步骤。

通过使固定有电极安装件20的另一方的密封用旋盘42朝向一方的密封用旋盘41移动，将电极安装件20插入于另一方的外侧密封管12内。此时，外侧密封管12在电极保持体5及第1集电板4的径向外方延伸，而且内侧密封管11的基端部从外侧密封管12的基端部朝外方伸出。

图4(c)表示将外侧密封管12熔着于电极安装件20的步骤。将稀有气体或氮等惰性气体填充于发光管1内之后，用燃烧器等加热外侧密封管12的同4(c)所示的B的部位。外侧密封管12因热而缩径，从而与内侧密封管11熔着。将惰性气体充满于发光管1的目的在于，防止阳极2的主体部21及轴部22等金属制部件氧化。

此外，阴极侧的双重密封构造与上述的阳极侧的双重密封构造相同，因此省略说明。

上述的本发明的短弧型放电灯在进行一次密封时，重量大的电极主体部21没有设置于轴部22的前端部，因此不会在金属箔10上形成褶皱。而且，本发明的短弧型放电灯与具有现有的双重密封构造的短弧型放电灯相比，在进行二次密封时可缩短对外侧密封管12加热的全长。用图5详细说明这一点。

图5是与现有的双重密封构造比较而表示本发明的双重密封构造的效果的放大剖视图。如图5(b)所示，现有的双重密封构造中，外侧密封管12的全长与内侧密封管11的全长相比相对较长，因此，在二次密封时，用燃烧器等加热外侧密封管12的与内侧密封管11的全长相当的范围D。

与此相对，如图5(a)所示，本发明的双重密封构造中，外侧密封管12的全长与内侧密封管11的全长相比相对较短，从而内侧密封管11具有从外侧密封管12的基端部朝外方伸出的部位11x的构造。因此，在二次密封时，用燃烧器等仅加热图5(a)所示的B的范围，就可实现双重密封构造。

若对比图5(a)、图5(b)，则可知本发明的B的范围比现有的D的范围短。因此，通过采用本发明的双重密封构造，可缩短外侧密封管12加热所需要的时间，而且可减少加热所需要的能量，因此可提升短弧型放电灯的生产效率。

而且，本发明的短弧型放电灯中，内侧密封管11的没有与外侧密封管12熔着的部位11x从外侧密封管12基端部朝外部伸出，因此可期待以下的效果。以下，根据图2所示的双重密封构造进行说明。

在外部导棒7与外部导棒保持体9之间，形成有微小的空隙，因此经由该空隙会侵入大气中的氧气。由钼构成的各金属箔10在例如350℃以上的高温状态下，金属箔10与经由上述空隙侵入的氧气进行反应生成氧化钼而劣化，有无法点灯短弧型放电灯的问题。因此，优选尽量降低由钼构成的各金属箔10的温度。

根据本发明的双重密封构造，夹在内侧密封管11与玻璃部件6之间的多个金属箔10，未配置于外侧密封管12的内部。即，在金属箔10周围仅延伸内侧密封管11，从而可使点灯时的金属箔10的温度低于现有的双重密封构造。

此外，本发明中外侧密封管12与内侧密封管11双方在电极保持体5与第1集电板4的径向外方延伸，因此可期待以下效果。以下，根据图1所示的短弧型放电灯进行说明。

考虑到金属与玻璃的热胀系数不同，使第1集电板4的外径与电极保持体5的外径相比相对较小。所以，配置于第1集电板4两侧的电极保持体5的基端部与玻璃部件6的前端部与在其径向外方延伸的玻璃之间，分别不可避免地形成楔状的空隙。即，在第1集电板4周边形成有楔状的空隙。

由于产生上述空隙，第1集电板4的周边为机械性脆弱的部位。在点灯短弧型放电灯时发光管内的内压施加于第1集电板4附近的空际时，在该空隙的径向外方延伸的玻璃上产生裂缝，存在该裂缝在玻璃的径向上扩展的问题。

因此，本发明的短弧型放电灯中，优选外侧密封管12与内侧密封管11双方，至少在第1集电板4的径向外方延伸。根据该构成，在第1集电板4的径向外方延伸的玻璃的厚度变厚，可提高应对发光管1的内压的强度与机械性强度双方，因此能够切实地防止上述裂缝扩展。

此外，图1表示阳极2侧与阴极3侧双方的内侧密封管11从熔着于该内侧密封管11上的双方的外侧密封管12的基端部朝外方伸出的短弧型放电灯，但这仅是本发明的一个实施方式。例如，本发明可以是如下结构：阳极侧的内侧密封管具有从熔着于该内侧密封管上的外侧密封管的基端部朝外部伸出的部位，阴极侧的双重密封构造与上述现有的双重密封构造相同，此外本发明中阴极侧也可以是如专利文献1所示的单重密封构造。

即，本发明的双重密封构造可适用于阳极侧与阴极侧双方，也可以仅适用于阳极侧或阴极侧的任一方。

Claims (6)

1.一种短弧型放电灯，具备：

发光管；

一对外侧密封管，在上述发光管的两端连续形成；

内侧密封管，在上述外侧密封管的内侧与上述外侧密封管同轴配置，且熔着于上述外侧密封管；

一对电极，由在上述发光部的内部相对配置的主体部和与该主体部的基端侧连续而朝向外侧密封管的基端侧延伸的轴部构成；

第1集电板，与上述电极电连接；

多个金属箔，与上述第1集电板电连接；

玻璃部件，使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上，以夹住上述多个金属箔的方式熔着于上述内侧密封管的内部；

第2集电板，与上述金属箔电连接；以及

外部导棒，与上述第2集电板电连接，

上述短弧型放电灯的特征在于，

上述内侧密封管具有没有熔着于上述外侧密封管而从上述外侧密封管的端部朝向外部伸出的部位。

2.如权利要求1所述的短弧型放电灯，其特征在于，

上述外侧密封管在上述第1集电板的径向外方延伸。

3.如权利要求1所述的短弧型放电灯，其特征在于，

上述外侧密封管的全长比上述内侧密封管的全长短。

4.如权利要求1所述的短弧型放电灯，其特征在于，

在上述发光管内封入有水银作为发光物质。

5.一种电极安装件，用于制造权利要求1至4中任一项所述的短弧型放电灯，其特征在于，

具备：由主体部和在该主体部的基端侧连续形成的轴部所构成的电极；

与上述电极电连接的第1集电板；

与上述第1集电板电连接的多个金属箔；

使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上的玻璃部件；

与上述多个金属箔电连接的第2集电板；

与上述第2集电板电连接的外部导棒；以及

以夹住上述金属箔的方式熔着于上述玻璃部件的径向外方的内侧密封管，

上述内侧密封管在上述第1集电板的径向外方延伸，并且超出上述外部导棒的基端部而延伸。

6.一种短弧型放电灯的制造方法，其特征在于，进行以下步骤：

组装电极安装件，该电极安装件具备由主体部和在该主体部的基端侧连续形成的轴部构成的电极、与上述电极电连接的第1集电板、与上述第1集电板电连接的多个金属箔、使上述多个金属箔彼此不重合地配置在外周面上的玻璃部件、与上述多个金属箔电连接的第2集电板、与上述第2集电板电连接的外部导棒、以夹住上述金属箔的方式熔着于上述玻璃部件的径向外方的内侧密封管；

以上述内侧密封管从外侧密封管的端部朝向外部伸出的方式，将上述电极安装件插入外侧密封管内；以及

将上述外侧密封管熔着于配置在该外侧密封管内的上述内侧密封管上。

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