201007812 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於在半導體或液晶的製造領域等所使用的 短弧型放電燈及其製造方法。 【先前技術】 習知，在被使用於半導體或液晶基板的曝光用的短弧 Φ 型放電燈的點燈時’保持高點燈壓力下，爲了確保放電空 間內與該燈外部的氣密性作爲目的，採用與玻璃封裝鉬等 的金屬箔而加以密封的方法。 如此地，利用鉬等的金屬箔被密封的單重密封構造的 短弧型放電燈是眾知有如揭示於專利文獻1。 在近年來的半導體或液晶基板的曝光，被要求提高半 導體處理時的生產率，或是提昇以液晶基板或濾色片作爲 對象的大面積照射時的處理能力。 • 對於此種要求，使用於曝光用光源的短弧型放電燈， 是將接通電力作成比習知以上還要高，就可加以對應。隨 著此，電極會大型化，而電極成爲極重。 如專利文獻1所述地，短弧型放電燈是僅保持著電極 的一端的懸臂構造。所以，當電極變重，則在製造時，經 由電極的軸部有很大應力施加於金屬箔，而在密封後的金 屬箔會形成皺紋，或是有金屬箔本身斷裂的情形。又，在 金屬箔形成有皺紋的狀態下點燈短弧型放電燈，則有損壞 密封部構造的問題。 -5- 201007812 爲了對應於此種問題，本案申請人是在專利文獻2中 ，提案一種具有雙重密封構造的短弧型放電燈。第6圖是 表示具有習知的雙重密封構造的短弧型放電燈的整體構成 〇 發光管1是封入有水銀的石英玻璃製的管。陽極2, 陰極3是分別具有配置於發光管內的本體部21、31，及 朝外側密封管內延伸的軸部22、32。 φ 短弧型放電燈是具有利用外側密封管1 2，內側密封 管11，金屬箔10及玻璃構件6被氣密的雙重密封構造。 以下，針對於陽極2側的密封部構造加以說明，惟陰極側 的密封部構造也與陽極側同樣。 外側密封管12是連續於發光管1的兩端的圓筒狀部 分。 內側密封管11是用於氣密地密封的圓筒狀的玻璃構 件。 • 玻璃構件6是在形成於兩部位的有底穴，保持軸部 22與外部導棒7。 電極保持部5是具有用以保持軸部22的開口的筒狀 體。 外部導棒保持體9是具有用以保持外部導棒7的開口 的筒狀體。 金屬箔1 0是介裝於玻璃構件6與內側密封管1 1之間 ’而電性地接觸第1聚電板4與第2聚電板8。 第1聚電板4是電性地連接軸部22與金屬箔10的金 -6- 201007812 屬製構件。 第2聚電板8是電性地連接外部導棒7與金屬箱1〇 的金屬製的構件。 第7圖是表示習知的短弧型放電燈的一次密封的次序 的斷面圖。爲了方便上，僅說明陽極側的密封構造。利用 依次地進行以下的（a)〜（f)的次序，以完成表示於（g )的電極裝配台。 φ 如（a)所示地’準備藉由軸部22，電極保持體5， 第1聚電板4’玻璃構件6，金屬箔10，第2聚電板8， 外部導棒7’外部導棒保持體9，裝配台帶23所構成的電 極裝配台構成體。 如（b)所示地，將電極裝配台構成體插入在具備排 氣用的分支管11a的內側密封管11的內部。 如（c )所示地，以燃燒器等加熱內側密封管1 1的兩 端部予以密封之後，經由排氣用分支管1 1 a而排氣內側密 φ 封管11內使之成爲真空狀態。 如（d)所示地，藉由以燃燒器來加熱電極保持體5 ，玻璃構件6及外部導棒保持體9的周圍的內側密封管 11，俾將電極保持體5，玻璃構件6及外部導棒保持體9 的3件零件焊著於內側密封管11。藉由將複數金屬箔1〇 夾住在內側密封管1 1與玻璃構件6之間進行焊著使之密 封，實現內側密封管1 1與外部之間的氣密狀態。 在表示於（e)的2部位，切斷內側密封管11。 如（f)所示地’將軸部22的前端部嵌入本體部21 201007812 的有底穴21a。 (g)是表示完成的電極裝配台2〇 /。 第8圖是表示習知的短弧型放電燈的二次密封的次序 的斷面圖。利用依次地進行以下的（a) ~(d)的次序’ 完成氣密地被密封的密封部構造。 如（a )所示地’將電極裝配台20 /插入在外側密封 管12內。 φ 如（b)所示地，將陽極2的本體部21的軸部22的 一部分配置在發光管的內部，而且除了本體部21以外將 電極裝配台20 /的構成零件都配置於外側密封管12的內 部。 如（c )所示地，以燃燒器加熱外側密封管1 2的端部 使之密封，經由設於發光管1的未圖示的排氣用分支管， 並將發光管1與外側密封管12的內部予以排氣而成爲真 空狀態。 φ 如（d )所示地，以燃燒器等加熱外側密封管12的〇 部分。藉此，焊著內側密封管1 1與外側密封管1 2。如上 述地，在將複數金屬箔10夾住在內側密封管11與玻璃構 件6之間的狀態下經加熱而焊著有內側密封管！丨與玻璃 構件6。因此藉由焊著有內側密封管n與外側密封管12 ’而實現外側密封管1 2內部與外部之間的氣密狀態。 專利文獻1:日本專利第3379438號 專利文獻2 :日本特開2005-243484號 201007812 【發明內容】 具有習知的雙重密封構造的短弧型放電燈，是焊著內 側密封管11與玻璃構件6而結束一次密封之後，俾將重 量大的電極的本體部21嵌入於軸部22。亦即，具有雙重 密封構造的短弧型放電燈是在進行一次密封的階段中，重 量大的電極的本體部21未嵌入於軸部22的前端側之故， 因而在製造時可防止皺紋形成於金屬箔1 〇的情形。因此 φ ，在點燈時不會有損壞外側密封管1 2之顧慮。 然而，如上述地，具有習知的雙重密封構造的短弧型 放電燈，是外側密封管1 2與內側密封管1 1，爲內側密封 管11的全長全面以燃燒器等經加熱而被焊著之故，因而 會新發生如下的問題。 如上述的第8(d)圖所示地，以燃燒器等加熱相當 於外側密封管1 2的內側密封管1 1的全長度的領域D。使 得焊著的範圍較長之故，因而加熱費時，而且爲了驅動燃 φ 燒器等需要很大能量。因此，具有習知的雙重密封構造的 短弧型放電燈，是有生產效率不好的問題。 又，如第8(b)圖所示地’習知的短弧型放電燈是 在進行將電極裝配台20〃插入在外側密封管12內的次序 之際，成爲必須將本體部21及軸部22 —致於外側密封管 1 2的中心軸的情形。該對位是內側密封管1 1的外徑與外 側密封管12的內徑並不一定一致之故’因而藉由利用設 於外部導棒7的基端部的裝配台帶23的伸縮力所進行。 該對位是需要作業人員的高度熟練’而在每一作業人員會 -9- 201007812 產生位置精度的差異的問題。如此地，具有習知的雙重密 封構造的短弧型放電燈是將電極裝配台20 /插入在外側 密封管12內，而將本體部21及軸部22配置於適當位置 上有困難。 由以上，本發明的目的是利用解決上述的習知的問題 ，以提高具有雙重密封構造的短弧型放電燈的生產效率， 作爲目的。 φ 本發明的短弧型放電燈，是具備：發光管，及連續於 其兩端的一對外側密封管，及與該外側密封管同軸上地配 置於上述外側密封管的內側而被焊著於上述外側密封管的 內側密封管，及相對於上述發光部內部所配置的本體部與 連續於其基端側而朝外側密封管的基端側延伸的軸部所構 成的一對電極，及電性地連接於上述電極的第1聚電板， 及電性地連接於上述第1聚電板的複數金屬箔，及上述複 數金屬箔不會互相地重疊被配置於外周面，夾住上述複數 Φ 金屬箔的方式焊著於上述內側密封管內部的玻璃構件，及 電性地連接於上述金屬箔的第2聚電板，及電性地連接於 上述第2聚電板的外部導棒，其特徵爲：上述內側密封管 是具有並未焊著於上述外側密封管而從上述外側密封管的 端部朝外部伸出的部位。 又，本發明的短弧型放電燈，爲上述外側密封管是朝 上述第1聚電板的徑方向外方延伸，爲其特徵者。 又，本發明的短弧型放電燈，是上述外側密封管的全 長比上述內側密封管的全長還要短，爲其特徵者。 -10- 201007812 又，本發明的短弧型放電燈，是在上述發光管內，作 爲發光物質封入有水銀，爲其特徵者。 爲了實現本發明的短弧型放電燈的雙重密封構造的電 極裝配台，其特徵爲：具有：本體部與連續於其基端側的 軸部所構成的電極，及電性地連接於上述電極的第1聚電 板，及電性地連接於上述第1聚電板的複數金屬箔，及上 述複數金屬箔不會互相地重疊被配置於外周面的玻璃構件 φ ，及電性地連接於上述複數金屬箔的第2聚電板，及電性 地連接於上述第2聚電板的外部導棒，及夾住上述金屬箔 的方式焊著於上述玻璃構件的徑方向外方的內側密封管， 上述內側密封管朝上述第1聚電板的徑方向外方延伸，而 且超過上述外部導棒的基端部延伸。 本發明的短弧型放電燈的製造方法，其特徵爲：進行 裝配具有：本體部與連續於其基端側的軸部所構成的電極 ，及電性地連接於上述電極的第1聚電板，及電性地連接 φ 於上述第1聚電板的複數金屬箔，及上述複數金屬箔不會 互相地重疊被配置於外周面的玻璃構件，及電性地連接於 上述複數金屬箔的第2聚電板，及電性地連接於上述第2 聚電板的外部導棒，及夾住上述金屬箔的方式焊著於上述 玻璃構件的徑方向外方的內側密封管的電極裝配台的次序 :及 上述內側密封管從外側密封管的端部朝外部延伸的方 式，將上述電極裝配台插入於外側密封管內的次序；及 焊著上述外側密封管與配置在該外側密封管內的上述 201007812 內側密封管的次序。 本發明的短弧型放電燈是具有利用玻璃構件，及內側 密封管，及被夾住於玻璃構件與內側密封管之間的金屬箱 ，及外側密封管所構成的雙重密封構造。因此，與習知相 同在製造時皺紋不會形成在金屬箔，確實地可防止短弧型 放電燈的點燈時的密封部之損壞。 而且，本發明的短弧型放電燈是上述內側密封管具有 不會焊著於上述外部密封管而從外側密封管的端部朝外部 伸出的部位。因此，內側密封管僅在其全長中有限的部位 焊著於外側密封管之故，因而加熱內側密封管與外側密封 管而爲了焊著所需要時間被縮短，且可減低爲了焊著所需 要的能量。因此，利用採用本發明的雙重密封構造，可提 高短弧型放電燈的生產效率。 【實施方式】 φ 第1圖是表示本發明的短弧型放電燈全體的構成例的 斷面圖。 同圖的短弧型放電燈是具備：形成大約球狀的發光管 1，及連續於其兩端所形成的一對外側密封管1 2。 在發光管1的內部，互相地相對配置有陽極2的本體 部21與陰極3的本體部31，而且封入有發光物質的水銀 〇 陽極2是由在其前端側形成圓形的本體部21，及連 續於該本體部21的基端側的棒狀軸部22所構成。軸部 -12- 201007812 22的即端部嵌入於形成在本體部21的基端側的有底穴 21a ° 陰極3是由其前端側具有隨著朝陽極2的本體部21 逐漸地縮徑的推拔部的本體部31，及連續於該本體部31 的基端側的棒狀軸部32所構成。使得軸部32的前端部被 嵌入在形成於本體部31的基端側的有底穴31a。 陽極2及陰極3是例如鎢所成的各本體部21、31及 φ 各軸部22、32所構成。 陽極2及陰極3是如上述地各本體部21、31與各軸 部22、32互相爲其他構件也可以，或是各本體部與各軸 部一體地形成也可以。 水銀的封入量是例如20mg/cc以上。 第2圖是表示第1圖的短弧型放電燈的雙重密封構造 的擴大斷面圖。針對於陰極側的密封部構造，雖省略說明 ，惟與陽極側的密封部構造相同。 φ 在軸部22的基端部設有金屬製第丨聚電板4。第1 聚電板4是具有在其中央具有貫通孔4a的圓板形狀。軸 部22是其基端部貫通第1聚電板4的貫通孔4a，而配置 成從第1聚電板4的基端面伸出，例如藉由焊接等被固定 於第1聚電板4的開口端部。 電極保持體5是例如石英玻璃所成的筒狀構件，其前 端部不會從內側密封管11的前端部伸出而把其全體被收 容於內側密封管11的內方，而鄰接配置於第1聚電板4 。軸部22是貫通被形成於電極保持體5的中央的貫通孔 -13- 201007812 5a所配置。 玻璃構件6是例如石英玻璃所成的柱狀構件，鄰接配 置於第1聚電板4。在玻璃構件6，用於保持軸部22與外 部導棒7的有底穴6a、6b，分別形成於前端側與基端側 的雙方。在玻璃構件6的前端側的有底穴6a，嵌入有軸 部22的基端部而保持著軸部22。在玻璃構件6的基端側 的有底穴6b，嵌入有外部導棒7的前端部，而保持著外 φ 部導棒7。 外部導棒7是例如鎢所構成的棒狀構件，在其前端部 設有金屬製的第2聚電板8。第2聚電板8是具有在其中 央具有貫通孔8a的圓板形狀。外部導棒7是其前端部貫 通第2聚電板8的貫通孔8a，而配置成從第2聚電板8 的前端面伸出，例如藉由焊接等被固定於第2聚電板8的 開口端部。 外部導棒保持體9是例如石英玻璃所成的筒狀構件， φ 鄰接配置於第2聚電板8。外部導棒7是貫通外部導棒保 持體9的貫通孔9a被配置。 在玻璃構件6的側周面，不會互相重疊，而與外側密 封管12的管軸方向平行地排列配置有複數金屬箔10。各 金屬箔10是例如鋁等金屬所構成。各金屬箔10是例如藉 由焊接等，使其前端部電性地連接於第1聚電板4的側周 面，而且使其基端部電性地連接於第2聚電板8的側周面 〇 內側密封管1 1是例如石英玻璃所構成的直管狀構件 -14- 201007812 ，朝著電極保持體5,玻璃構件6及外部導棒保持體9的 徑方向外方延伸，而且配置成使其前端不會朝發光管1內 方伸出。將複數金屬箔10夾在兩者之間，藉由燃燒器等 被加熱而焊著有內側密封管1 1與玻璃構件6。內側密封 管11是具有從外側密封管12的基端部朝外部延伸的部位 1 1 X 〇 外側密封管12是藉由例如石英玻璃直管狀地形成， φ 其前端部連續於發光管1的端部。外側密封管12是朝電 極保持體5及第1聚電板4的徑方向外方延伸較佳。外側 密封管1 2的內部，藉由例如以燃燒器等加熱在同軸焊著 有內側密封管1 1。內側密封管1 1是比外側密封管1 2全 長還要長，不會與外側密封管12焊著，具有從外側密封 管12的基端部朝外方伸出的部位11χ。 具有上述構成的短弧型放電燈，是以所定燈電力進行 點燈驅動，藉此在陽極2與陰極3之間形成有放電，使得 # 波長365nm的紫外線朝發光管1的外方射出。 短弧型放電燈的點燈條件，是例如燈電力爲1 〇kW以 上。 陽極2的本體部21是爲了能耐住此種點燈條件，例 如爲ψ 30mm以上，重量爲800g以上。 以下，第3圖是表示圖示於第1圖的短弧型放電燈的 一次密封次序的斷面圖。藉由依次地進行第3(a)圖至 第3(f)圖的次序，而完成圖示於第3(g)圖的電極裝 配台。在以下，「電極裝配台構成體」是指未焊著有內側 -15- 201007812 密封管者，而「電極裝配台」是指焊著有內側密封管者。 第3(a)圖是表示製造電極裝配台構成體的次序。 準備在前端側與基端側的雙方形成有底穴6a、6b的玻璃 構件6，在基端部固定有第1聚電板4的軸部22，電極保 持體5,在前端部固定有第2聚電板8，而且在基端側設 有裝配台帶23的外部導棒7,外部導棒保持體9,及複數 金屬箔10。將軸部22的基端部嵌入於玻璃構件6前端側 的有底穴6a，同時使得軸部22的前端部貫通電極保持體 5的貫通孔5a的方式進行配置電極保持體5。同時，將外 部導棒7的前端部嵌入於玻璃構件6基端側的有底穴6b ，而且外部導棒7的基端部貫通外部導棒保持體9的貫通 孔9a的方式配置外部導棒保持體9。最後，將複數金屬 箔1 〇的前端部配置成不會互相地重疊於玻璃構件6的側 周面上並將各金屬箔10的前端部藉由焊接等固定於第1 聚電板4的側周面，而且將各金屬箔1〇的基端部藉由焊 φ 接等固定於第2聚電板8的側周面。 桌3(b)圖是表不將在第3(a)圖所製造的電極裝 配台構成體插入於內側密封管11內部的次序。將電極裝 配台構成體插入於內側密封管11內，使得電極裝配台構 成體全體能收容於內側密封管1 1內部。內側密封管u的 全長是比電極裝配台構成體全長還要更長。電極裝配台構 成體是利用裝配台帶23的伸縮力，使得軸部22配置成一 致於內側密封管1 1的中心軸。 第3(c)圖是表示密封內側密封管u的兩端部的次 -16- 201007812 序。以燃燒器等進行加熱內側密封管1 1的雙方端部而予 以密封。又，經設於內側密封管1 1的排氣用分支管1 1 a 俾將內側密封管U內予以排氣而作成真空狀態。在結束 內側密封管1 1的排氣之後，密封排氣用的分支管1 1 a。 第3(d)圖是表示將內側密封管11焊著於電極裝配 台構成體的次序。在將複數金屬箔10夾住在玻璃構件6 與內側密封管1 1之間的狀態下，以燃燒器等進行加熱朝 φ 內側密封管11的玻璃構件6的徑方向外方延伸的部位。 內側密封管1 1藉由熱被縮徑而焊著於玻璃構件6。又， 作成同樣進行加熱而焊著朝內側密封管1 1的電極保持體 5及外部導棒保持體9的徑方向延伸的部位。 第3(e)圖是表示切斷焊著於電極裝配台構成體的 內側密封管11的端部的次序。在表示於第3(e)圖的2 部位切斷內側密封管。切斷部位是比電極保持體5的前端 面還要稍靠近軸部22前端的部位。 〇 第3(f)圖是表示將陽極2的本體部21安裝於電極 裝配台構成體的軸部22的次序。將軸部22的前端部是嵌 入於設在本體部21基端側的有底穴21a。 第3(g)圖是表示完成的電極裝配台20。 在此，完成的電極裝配台20的內側密封管11是具有 超過外部導棒7的基端部延伸的部位11 b較佳。亦即，在 切斷第3(e)圖的內側密封管11的次序，留下超過外部 導棒7的基端部所延伸的部位1 1 b的方式進行切斷內側密 封管11者較佳。作成如此的情形，在下述二次密封中， -17- 201007812 可容易地進行對於外側密封管12的電極裝配台20的對位 的次序。 以下，第4圖是表示圖示於第1圖的短弧型放電燈的 二次密封次序的斷面圖。利用依次地進行表示於第4(a )圖至第4(c)圖的次序’完成表示於第1圖的短弧型 放電燈。 第4 ( a )圖是表示對於外側密封管1 2的中心軸進行 φ 對位電極裝配台20的次序。將一方的外側密封管12固定 於一方的密封用車床41。同時，將電極裝配台20的內側 密封管11固定於另一方的密封用車床42。此時，藉由將 超過內側密封管Π的外部導棒7的基端部延伸的部位 11b固定於另一方的密封用車床42，可將陽極2的軸部 22容易地一致對於外側密封管1 2的中心軸。亦即，利用 內側密封管11具有超過外部導棒7的基端部延伸的部位 11b，可將該部位藉由密封用車床42予以保持之故，因而 φ 可將電極裝配台20容易地進行對於外側密封管12進行對 位的次序。 第4(b)圖是表示將電極裝配台20插入於發光管1 及外側密封管1 2內部的次序。 藉由固定有電極裝配台20的另一方的密封用車床42 朝向一方的密封用車床41移動，俾將電極裝配台20插入 於另一方的外側密封管1 2內。此時，外側密封管1 2朝電 極保持體5及第1聚電板4的徑方向外方延伸，而且內側 密封管11的基端部從外側密封管12的基端部朝外方伸出 -18 - 201007812 第4(c)圖是表示將外側密封管12焊著於電極裝配 台20的次序。將稀有氣體或氮體等惰性氣體塡充於發光 管1內之後，以燃燒器等進行加熱外側密封管12的表示 於同圖的B的部位。外側密封管1 2藉由熱經縮徑而與內 側密封管1 1焊著。將惰性氣體充滿於發光管1的目的， 是爲了防止陽極2的本體部21或軸部22等的金屬製構件 φ 氧化。 又，針對於陰極側的雙重密封構造，與上述的陽極側 的雙重密封構造相同之故，因而省略說明。 以上的本發明的短弧型放電燈，是在一次密封之際， 重量大的電極本體部21未設於軸部22的前端部之故，因 而皺紋不會形成在金屬箔10。而且，本發明的短弧型放 電燈是與具有習知的雙重密封構造的短弧型放電燈相比較 ，在二次密封中，可縮短加熱外側密封管12的全長。有 φ 關於此，使用第5圖詳述於以下。 第5圖是表示與習知的雙重密封構造來比較本發明的 雙重密封構造的效果的擴大斷面圖。如第5(b)圖所示 地，習知的雙重密封構造是外側密封管12的全長相對地 成爲內側密封管11的全長還要長，因此，在二次密封中 ，以燃燒器等進行加熱外側密封管1 2的相當於內側密封 管11的全長的範圍D。 對於此，如第5 ( a )圖所示地，本發明的雙重密封 構造是外側密封管1 2的全長相對地作成比內側密封管1 1 -19- 201007812 的全長還要短，藉此，內側密封管11具有從外側密封管 12的基端部朝外方伸出的部位llx的構造。因此，在二 次密封中，僅以燃燒器等進行加熱表示於第5(a)圖的B 的範圍，就可實現雙重密封構造。 若對比第5(a)圖、第5(b)圖，則可知本發明的 B範圍比習知的D範圍還要短。因此，採用本發明的雙重 密封構造，藉此，可縮短外側密封管1 2加熱所需要的時 φ 間，而且可減低加熱所需要的能量之故，因而可提昇短弧 型放電燈的生產效率。 而且，本發明的短弧型放電燈是內側密封管1 1未被 焊著於外側密封管12的部位llx，從外側密封管12基端 部朝外部伸出的構造之故，因而可期待以下的效果。在以 下，依據表示於第2圖的雙重密封構造進行說明。 在外部導棒7與外部導棒保持體9之間，形成有微小 空隙之故，因而經由該空隙會侵入大氣中的氧氣。鉬所成 φ 的各金屬箔10成爲例如3 5 0°C以上的高溫狀態的情形， 則金屬箔10與經由上述空隙所侵入的氧氣進行反應而藉 由生成氧化鉬會劣化，有無法點燈短弧型放電燈之虞。由 此些情事，儘量降低鉬所成的各金屬箔1 0的溫度較佳。 依照本發明的雙重密封構造，被夾住於內側密封管 1 1與玻璃構件6之間的複數金屬箔i 〇，未被配置於外側 密封管12的內部的構造。亦即，在金屬箔10周圍僅延伸 內側密封管1 1，藉此，可將點燈時的金屬箔1 0的溫度作 成比習知的雙重密封構造還要低。 -20- 201007812 又，本發明是外側密封管1 2與內側密封管1 1的雙方 ’朝電極保持體5與第1聚電板4的徑方向外方延伸的構 造，可期待以下的效果。在以下，依據表示於第1圖的短 弧型放電燈進行說明。 第1聚電板4的外徑，是考慮金屬與玻璃之熱脹係數 的不相同，與電極保持體5的外徑相比較成爲相對地小。 所以在配置於第1聚電板4的兩側的電極保持體5的基端 φ 部與玻璃構件6的前端部，及朝其徑方向外方延伸的玻璃 之間’分別形成有不可避免的楔狀空隙。亦即，在第1聚 電板4周邊，形成有楔狀空隙。 第1聚電板4的周邊，是藉由上述空隙之發生，可說 爲機械性地脆弱的部位。在點燈短弧型放電燈時，發光管 內的內壓施加於第1聚電板4附近的空際時，則裂縫發生 在朝該空隙的徑方向外方延伸的玻璃，而發生該裂縫朝玻 璃的徑方向進行的問題。 φ 因此，本發明的短弧型放電燈是外側密封管1 2與內 側密封管1 1的雙方，作成至少朝第1聚電板4的徑方向 外方延伸的構成較佳。藉由如此地構成朝第1聚電板4的 徑方向外方延伸的玻璃的厚度變厚，可提高對於發光管1 的內壓的強度與機械性強度的雙方之故，因而確實可防止 上述的裂縫的進行。 又，第1圖是表示陽極2側與陰極3側的雙方的內側 密封管11，具備從焊著於該內側密封管11的雙方的外側 密封管12的基端部朝外方伸出的構成的短弧型放電燈， -21 - 201007812 惟此並不被限定於本發明的一實施形態。例如，本發明是 具有從陽極側的內側密封管焊著於該內側密封管的外側密 封管的基端部朝外部伸出的部位，陰極側的雙重密封構造 與習知的雙重密封構造相同也可以，又，也可將陰極側作 成如專利文獻1所示的單重密封構造。 亦即，本發明的雙重密封構造是也可適用於陽極側與 陰極側的雙方，或是僅可適用於陽極側或陰極側的任一方 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的短弧型放電燈全體的構成例的 斷面圖。 第2圖是表示短弧型放電燈的雙重密封構造的擴大斷 面圖。 第3(a)圖至第3(g)圖是表示短弧型放電燈的一 0 次密封的次序的斷面圖。 第4(a)圖至第4(c)圖是表示短弧型放電燈的二 次密封的次序的斷面圖。 第5(a)圖及第5(b)圖是表示將本發明的效果與 習知的雙重密封構造比較的擴大斷面圖。 第6圖是表示習知的短弧型放電燈全體的構成的斷面 圖。 第7(a)圖至第7(g)圖是表示習知的短弧型放電 燈的一次密封的次序的斷面圖。 -22- 201007812 第8(a)圖至第8(d)圖是表示習知的短弧型放電 燈的二次密封的次序的斷面圖。 【主要元件符號說明】 1 :發光管 2 :陽極 21 :本體部 φ 22 :軸部 3 :陰極 31 :本體部 32 :軸部 4 :第1聚電板 5 :電極保持體 6 :玻璃構件 7 :外部導棒 φ 8 :第2聚電板 9:外部導棒保持體 1〇 :金屬箔 11 :內側密封管 11a :分支管 lib:超過外部導棒的基端部所延伸的部位 1 lx :從外側密封管的基端部朝外部伸出的部位 1 2 :外側密封管 20 :電極裝配台 -23- 201007812 23 :裝配台帶 41 :—方的密封用車床 42:另一方的密封用車床
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