CN101639634A - 着色感光性组合物用碱显影液、图像形成方法、滤色器及液晶显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及着色感光性组合物用碱显影液、使用了该碱显影液的图像形成方法、用该方法制造的滤色器、以及液晶显示装置。该着色感光性组合物用碱显影液含有(A)非离子性表面活性剂和(B)碱性组合物，所述(A)非离子性表面活性剂按质量比[(A－1)/[(A－1)+(A－2)]]为0.2～0.9的范围含有(A－1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚和(A－2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)碱性组合物含有(B－1)氢氧化钾。

Description

着色感光性组合物用碱显影液、图像形成方法、滤色器及液晶显示装置

技术领域

本发明涉及在使用了着色感光性组合物的图案图像的形成工序中使用的碱显影液、使用了该碱显影液的图像形成方法、用该方法制造的滤色器、以及液晶显示装置。

背景技术

关于彩色液晶显示器(LCD)的制造方法，已有多种提案。最近，一般采用如下方法：在玻璃等的透明基板上，设置形成了黑色矩阵和RGB像素的滤色器，在其上溅射形成铟锡氧化物(ITO)之类的透明导电膜，形成透明电极，然后在其上形成取向膜，配置液晶。

作为这里使用的滤色器的制造方法，主要有颜料分散法。颜料分散法是指下述方法：在基板上利用狭缝涂布器等涂布使有机颜料和/或无机颜料分散而得到的负型着色感光性组合物，形成规定的着色图案，从而制造滤色器。

在上述负型着色感光性组合物中，含有作为着色剂的有机颜料和/或无机颜料，还含有利用紫外线等的曝光而固化的光聚合类材料和碱溶性树脂成分。在透明基板上利用狭缝涂布器等涂布该着色感光性组合物，在通过减压或加热来干燥后，形成着色感光性组合物层，用405nm或365nm波长的放射线将其进行图案曝光，在显影工序中除去未曝光部分，从而形成图案状的着色像素，制造滤色器。作为本发明的课题的着色感光性组合物用碱显影液，在上述显影工序中使用。在该显影工序中要求上述着色感光性组合物层迅速在碱显影液中溶解或分散并被除去，同时即使显影时间略有延长，曝光了的部分的着色图案也不会剥离。

迄今为止的碱显影液为了解决上述问题，一直以来在碱成分以及表面活性剂上下功夫。例如使用KOH作为碱成分，含有聚氧乙烯二苯乙烯化苯基醚作为表面活性剂。已公开了下述内容：若在浸渍显影时使用该液体，则像素不会缺欠，形成具有清晰的图案边缘的像素，在非像素基板上没有浮渣(scum)·膜残留(参照日本特开平7-120935号公报)。

但是，在要求高生产率的制造中的基板显影工序中，必须使用喷淋显影装置迅速进行显影处理。在制造的喷淋显影工序中，采用下述循环显影方式：用泵将显影液从显影液箱提供给到显影槽的喷淋部，向基板喷雾显影液后，再用盘等接收，将显影液返回到显影液箱中。因此，存在如下问题：在大气中的二氧化碳等的影响下，显影液中含有的碱性成分在使用过程中减少，显影处理的能力下降等。为了解决该问题，公开了如下技术：作为碱性成分，使用碳酸钠和碳酸氢钠来代替KOH，利用缓冲作用将碱性成分的碱浓度保持一定(参照日本特开2003-21918号公报)。

另外，伴随着基板的大型化，认为是由基板上滞留的显影液量相对增加而引起的各种问题不断显现。其一为：着色感光性组合物因显影处理而从基板剥离的剥离片在显影液槽内浮游，在基板上或着色感光性组合物层上再粘附而造成污染。认为其原因之一在于：在循环显影方式中，通过安装于显影箱与配管之间的过滤器向喷淋部输送显影液，但该过滤器无法完全除去循环显影液中浮游的微小剥离片。

另外，未使用的新鲜显影液与显影中使用过的显影液在显影能力上有差异，由此引起的基板面内的显影不均等也成为问题。

另外，为了提高液晶显示装置的对比度、提高颜色再现性，要求使作为着色感光性组合物的着色剂而使用的颜料的粒子尺寸微细化并提高颜料浓度。若将着色感光性组合物中含有的颜料微细化并提高颜料浓度，则在显影工序中，容易在着色像素的图案周边产生基板上的残渣，要求改良显影液。

为了解决这些问题，还提出了被称为阶式(cascade)方式的显影液的使用方法(参照日本特开2007-102243号公报)。但是，其不仅需要工序改造，而且并不能充分解决问题。解决上述问题的显影液的开发成为市场需求。

发明内容

本发明的目的在于提供在涂设于基板上的着色感光性组合物层的显影工序中在基板上、黑色矩阵上的着色感光性组合物的残渣少且即使在大型基板上也无面内显影不均的显影液，本发明的目的还在于提供生产率良好的图像形成方法。另外，本发明的目的还在于提供即使着色感光性组合物中含有的颜料被微细化且颜料浓度增加也很少产生残渣的滤色器，并且本发明以提供对比度高且颜色再现性良好的液晶显示装置为课题。

本发明者进行了潜心开发，其结果发现：利用含有多种特定结构的非离子表面活性剂和含氢氧化钾的碱性组合物的碱显影液，能解决上述技术问题。以下，对该手段进行具体说明。

<1>一种着色感光性组合物用碱显影液，其含有(A)非离子性表面活性剂和(B)碱性组合物，所述(A)非离子性表面活性剂按质量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]为0.2～0.9的范围含有(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)碱性组合物含有(B-1)氢氧化钾。

<2>根据<1>所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，上述(A)非离子性表面活性剂还含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，其质量比[(A-3)/[(A-1)+(A-2)+(A-3)]]为0.05～0.35的范围。

<3>根据<1>或<2>所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，上述(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

<4>根据<1>～<3>中任一项所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，上述(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

<5>根据<2>～<4>中任一项所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，上述(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

<6>根据<1>～<5>中任一项所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，(B)含有氢氧化钾的碱性组合物与(A)非离子性表面活性剂的总和的质量比[(B)/(A)]为0.15～1.6的范围。

<7>一种图像形成方法，其用放射线使形成于基板上的着色感光性组合物层曝光成图案状而固化后，用<1>～<6>中任一项所述的着色感光性组合物用碱显影液进行显影。

<8>根据<7>所述的图像形成方法，其中，所述着色感光性组合物用碱显影液含有相对于碱显影液整体为0.03～0.08质量％的含(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物。

<9>一种滤色器，其在基板上具备由<7>或<8>所述的图像形成方法形成的着色图案。

<10>一种液晶显示装置，其采用<9>所述的滤色器。

关于本发明的作用，推测是由于在着色感光性组合物中含有各种材料，各材料具有各自的分子量分布等，因此通过使用多种碱显影液的表面活性剂，能有效地除去残渣等。

根据本发明，能提供在涂设于基板上的着色感光性组合物层的显影工序中在基板上以及黑色矩阵上的着色感光性组合物的残渣少且即使在大型基板上也能抑制面内显影不均的显影液，还能提供生产率良好的图像形成方法。此外，还能提供即使着色感光性组合物中含有的颜料被微细化且颜料浓度增加也很少产生残渣的滤色器、以及对比度高且颜色再现性良好的液晶显示装置。

具体实施方式

以下，对用于实施发明的最佳方式进行详细说明。

本发明由下述着色感光性组合物用碱显影液构成，该着色感光性组合物用碱显影液含有(A)非离子性表面活性剂和(B)碱性组合物，在将(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚的含量设为[(A-1)]、(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚的含量设为[(A-2)]时，所述(A)非离子性表面活性剂按[(A-1)]与两者的总量[(A-1)+(A-2)]的质量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]为0.2～0.9的范围含有(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)碱性组合物含有(B-1)氢氧化钾，所述(B)碱性组合物的含量相对于碱显影液整体为0.03～0.08质量％。以下对各构成材料、最合适的构成要素进行说明。

<(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚>

(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚中的优选的氧化烯基为氧化乙烯基、氧化丙烯基，优选在同一分子内存在氧化乙烯基和氧化丙烯基两者。特别是当末端为氧化丙烯基时，在显影液的制造工序以及显影工序中发泡得到抑制，从而优选。优选为氧化乙烯基。氧化烯基的优选重复数按平均值计为9～15，更优选为10～13。若在该范围内，则在显影时能抑制图案缺陷的产生，且显影液的粘度不会增高，生产率良好。另外，在该范围内时，显影所需的时间不会延长，且显影的宽容度(latitude)不会变窄，因而优选。

作为苯基的取代基的苯乙烯基的位置，可以是苯基的对位、邻位、间位中的任一种。

<(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚>

(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的优选的氧化烯基为氧化乙烯基、氧化丙烯基，优选在同一分子内存在氧化乙烯基和氧化丙烯基两者。特别是当末端为氧化丙烯基时，在显影液的制造工序以及显影工序中发泡得到抑制，从而优选。优选为氧化乙烯基。氧化烯基的优选重复数按平均值计为9～15，更优选为10～13。若在该范围内，则在显影时能抑制图案缺陷的产生，且显影液的粘度不会增加，生产率良好。另外，在该范围内时，显影所需的时间不会延长，且显影的宽容度不会变窄，因而优选。

作为苯基的取代基的苯乙烯基的位置，只要是苯基的对位、邻位、间位中的任意2个位置即可，可以是对位和邻位，也可以是间位和间位，还可以是取代位置不同的化合物的混合物。优选苯乙烯基的位置为苯基的间位和间位。

在(A)非离子性表面活性剂中，在将(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚的含量设为[(A-1)]、(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚的含量设为[(A-2)]时，[(A-1)]与两者的总量[(A-1)+(A-2)]的组成比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]按质量换算为0.2～0.9的范围，优选为0.3～0.7的范围，更优选为0.4～0.6的范围。若在该范围内，则黑色矩阵上的残渣除去性良好，从而优选。

另外，本发明中表面活性剂的质量比用色谱法来求算，[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]和后述的[(A-3)/[(A-1)+(A-2)+(A-3)]]均表示用下述测定方法得到的比值。

仪器：HPLC Tosoh株式会社制  型号：LC-8020

色谱柱：Develosil ODS HG-5  15cm

洗脱液：乙腈/离子交换水＝65/35(体积比)

流速：0.5ml/分

检测器：UV(波长：254nm)

<(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚>

在本发明的碱显影液中还优选含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚作为(A)非离子性表面活性剂。通过含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，更不易发生图案的下凹(undercut)，图案形状良好。

(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的优选的氧化烯基为氧化乙烯基、氧化丙烯基，优选在同一分子内存在氧化乙烯基和氧化丙烯基两者。特别是当末端为氧化丙烯基时，在显影液的制造工序以及显影工序中发泡得到抑制，从而优选。优选为氧化乙烯基。氧化烯基的优选重复数按平均值计为9～15，更优选为10～13。若在该范围内，则在显影时能抑制图案缺陷的产生，且显影液的粘度不会则增加，生产率良好。另外，在该范围内时，显影所需的时间不会延长，且显影的宽容度不会变窄，因而优选。

作为苯基的取代基的苯乙烯基的位置，只要是苯基的对位、邻位、间位中的任意3个位置即可，优选在邻位、邻位、对位取代。

在将(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的含量设为[(A-3)]时，(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚与(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚与(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的组成比[(A-3)/[(A-1)+(A-2)+(A-3)]]按质量换算计，为0.0～0.35的范围，优选为0.05～0.35的范围，更优选为0.05～0.2的范围。若在该范围内，则无残渣，且图案的缺陷消失，因而优选。

<含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物>

作为含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物，只要按质量计含有80％以上(B-1)氢氧化钾即可，优选在90％以上至100％的范围内。若(B-1)氢氧化钾的含量不足该范围，则残渣的除去性不充分，因而不优选。

作为可在本发明的含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物中含有的氢氧化钾以外的碱性化合物，有氢氧化钠、碳酸钾、碳酸氢钾等。

本发明的碱显影液优选在显影工序中作为显影液使用前用水稀释后使用。通常，制备作为显影液使用的浓度的80质量倍～120质量倍的浓度的碱显影液原液，在显影工序中在使用前用水稀释，然后使用。

作为稀释中使用的水，优选离子交换水等。

显影中使用的碱显影液所含有的碱性组合物的含量优选相对于稀释后的液体总量为0.03～0.08质量％的范围，更优选为0.04～0.07质量％的范围，最优选含有0.04～0.06质量％。若在该范围内，则残渣除去性良好，能得到优选的结果。

在制造碱显影液的原液时，含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物优选事先制成水溶液。这是因为若将含有氢氧化钾的碱性组合物以固体形态保管，则在空气中的二氧化碳等的作用下会变质，或因吸收空气中的水分而潮解，难以进行含量管理。

在碱性组合物的水溶液的制造以及显影液的原液的制造中使用的水优选为离子交换水等。

在本发明中，含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物与(A)非离子性表面活性剂的总和的组成比[(B)/(A)]按质量换算计，优选为0.15～1.6的范围，更优选为1/5～7/8的范围，最优选为1/3～5.5/9的范围。在该范围内时，显影的残渣减少，还能确保显影中不产生缺陷的良好的显影宽容度。

<其他成分>

本发明中，为了确保碱显影液的保存稳定性、防止处理时的变质、防止残渣的再附着，还可以添加以下物质。

可以添加相对于碱显影液整体为0.1～0.5质量％的范围的螯合剂(EDTA二钠盐、EDTA四钠盐、EGTA等)。

可以添加相对于碱显影液整体为0.1～0.5质量％的范围的聚合物(聚乙烯吡咯烷酮、甲基纤维素、羟丙基甲基纤维素、明胶、琼脂糖等)。

可以添加相对于碱显影液整体为0.01～0.1质量％的范围的消泡剂(信越化学工业制硅油KS-502、楠本化成制OX-66、OX-715、OX-1930N、1934、丸善药品化学制アンチツクス#100等)。作为其他消泡剂，还可以使用市售的非离子类消泡剂、硅类消泡剂。

接着，对本发明的优选显影方法进行说明。关于着色感光性组合物、涂布、预烘烤处理、曝光处理的详细内容，见后述。

在基板上涂设着色感光性组合物，将该基板进行预烘烤处理后，对设置了着色感光性组合物层的基板，通过照射紫外线等放射线进行图案状曝光。在曝光工序后，进行显影处理并淋洗，由此使着色感光性组合物层形成图案状。着色感光性组合物如后所述，被曝光的部分固化，因此曝光部分在显影工序中不溶于碱显影液，而未曝光部分溶于碱显影液或从基板剥离，从而形成图案。

作为曝光后的显影工序，一般采用用喷淋喷嘴将碱显影液喷雾在着色感光性组合物层上的方法，此外还可以采用摇动显影液的供给喷嘴的方法、使用超声波的方法、浸置(Puddle)型(最初通过喷嘴等用碱显影液润湿后，使着色感光性组合物层溶胀一定时间，然后用喷淋喷嘴对碱显影液进行喷雾，除去溶胀的非像素部分)等方法。或者，可以将2种以上的方法并用来进行。作为通过喷淋器进行喷雾时的喷淋器的压力，优选为0.05MPa～0.5MPa的范围，更优选为0.1MPa～0.15MPa的范围。该压力通过如下方法来求算：在配管与喷嘴的接触部，用压力计对供给到喷嘴的碱显影液进行测定，由此来求算喷淋器的压力。

作为显影装置，已提出沿基板的运送方向的相反方向提供显影液或使基板倾斜来提供碱显影液等节省显影液的方法，在本发明中可以使用这些方法。逆流提供显影液的方式被称为阶式方式。在该方式中，先向显影工序的最靠近出口侧(显影工序的终端部)的喷淋器提供显影液，在基板上喷雾，用于显影处理。在显影工序的终端部使用过的显影液被回收后提供到终端部之前的一个喷淋器，用于显影处理。将其回收得到的显影液又被提供到一个之前的喷淋器。提供给最靠近入口侧(显影工序的开始部)的喷淋器的显影液被排出。在该方式中，一直提供未使用的新鲜的显影液，一直得到相同的处理性。在实际的制造线中，为了简化结构，也可以采用变形的阶式方式，即向显影工序的出口侧提供新鲜的显影液，向入口侧提供使用过的显影液。

采用被称为阶式方式的显影液使用方法的显影装置，与采用循环显影方式的显影装置相比，显影液采用稀薄的显影液。其原因在于，在阶式方式中，从新鲜的显影液箱不断提供显影液，使用后的显影液经由显影液箱被排出，因此排出量显著变多。如上所述，排出量很多，但一直提供新鲜的显影液，因此认为即使显影液自身没有pH缓冲能力等，也能得到稳定的pH。

此外，为了得到显影均一性，通过在显影工序的入口部事先向着色感光性组合物层赋予水使表面处于易被显影液润湿的状态(湿水的功能)、或在显影工序的出口部(即淋洗的入口部)与压力高的水接触，想办法使进行中的显影瞬时停止。这些工序上的改进具有进一步提高本发明效果的作用，因而优选。

<着色感光性组合物>

本发明的显影液适用于着色感光性组合物的图案形成中的显影工序。

着色感光性组合物主要由颜料、碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及溶剂构成。

滤色器通常由黑色的黑色矩阵、红色像素、绿色像素、蓝色像素等着色像素来构成。在基板上反复进行依次涂设各种颜色、曝光、显影、水洗、干燥、加热处理，用光刻法来形成像素，制造滤色器。本发明的碱显影液不仅用于红色像素、绿色像素、蓝色像素的形成，还能用于黑色的黑色矩阵的形成。

此外，本发明的碱显影液还可以用于用以确保阵列基板与滤色器基板之间的间隙为一定的光间隔物的形成、层间绝缘膜的形成、取向性控制用的突起物形成等用光刻法形成的其他结构物的形成。

如上所述，本发明在使用着色感光性组合物的图案形状的成形中有用，特别是在着色像素的形成中发挥效果。其中，特别是即使为了形成在电视机、监控器等中使用的颜色再现性必须高的滤色器，而使用固体成分中的颜料成分(以下称为颜料浓度)高的着色感光性组合物，也能制造在基板上以及着色像素上无残渣、污垢、杂质等的滤色器。若颜料浓度提高，则涂设的着色感光性组合物的非曝光部不易溶解于碱显影液，但通过使用本发明的碱显影液，能制造在基板上以及着色像素上无残渣、污垢、杂质等的滤色器。

以下，对本发明优选的着色感光性组合物的各构成材料以及最佳构成要素进行说明。

(颜料)

作为能在本发明的着色感光性组合物中使用的颜料，可以使用现有公知的各种无机颜料或有机颜料。另外，根据需要，还可以将染料和颜料并用。

关于颜料，不论是无机颜料还是有机颜料，均优选具有高透射率的颜料，考虑到这点，尽可能优选使用粒径小的粒子尺寸微小的颜料，也考虑到操作性时，优选平均一次粒径为0.01～0.3μm、更优选为0.01～0.15μm的颜料。该粒径在上述范围内时，不仅颜料的透射率高，颜色特性良好，还能有效地形成对比度高的滤色器。

作为上述无机颜料，可以举出金属氧化物、金属络盐等金属化合物，具体可以举出铁、钴、铝、镉、铅、铜、钛、镁、铬、锌、锑等的金属氧化物及上述金属的复合氧化物。

作为上述有机颜料，例如可以举出：

C.I.颜料红1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279，

C.I.颜料黄1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214，

C.I.颜料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73，

C.I.颜料绿7、10、36、37，

C.I.颜料蓝1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、将C.I.颜料蓝79的Cl取代基变为OH的颜料、C.I.颜料蓝80，

C.I.颜料紫1、19、23、27、32、37、42，

C.I.颜料棕25、28等。

上述颜料中，作为能优选使用的颜料，可以举出以下颜料。但本发明中并不限定于这些颜料。

C.I.颜料黄11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185，

C.I.颜料橙36、71，

C.I.颜料红122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264，

C.I.颜料紫19、23、32，

C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:6、16、22、60、66，

C.I.颜料绿7、36、37。

在本发明中，根据需要，可以使用微细的经整粒化的有机颜料。颜料的微细化是将颜料与水溶性有机溶剂和水溶性无机盐类一起制成高粘度的液状组合物，利用磨碎的工序来进行。

作为水溶性有机溶剂，可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、正丙醇、异丁醇、正丁醇、乙二醇、二甘醇、二甘醇单甲醚、二甘醇单乙醚、二甘醇单丁醚、丙二醇、丙二醇单甲醚乙酸酯等。但是，只要使用少量使其吸附在颜料上而不流失到废水中，就可以使用苯、甲苯、二甲苯、乙苯、氯苯、硝基苯、苯胺、吡啶、喹啉、四氢呋喃、二噁烷、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙酸丁酯、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、环己烷、甲基环己烷、卤代烃、丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮等，还可以根据需要混合2种以上溶剂进行使用。

在本发明中，作为水溶性无机盐，可以举出氯化钠、氯化钾、氯化钙、氯化钡、硫酸钠等。

水溶性无机盐的用量为颜料的1～50倍质量，虽然使用量越多越具有磨碎效果，但从生产率的观点考虑，更优选的量为1～10倍质量，而且优选水分为1％以下。

水溶性有机溶剂的用量相对于颜料为50质量％～300质量％的范围，优选为100质量％～200质量％的范围。对湿式粉碎装置的运转条件没有特殊限制，为了有效地利用粉碎介质进行磨碎，作为装置为捏合机(kneader)时的运转条件，装置内的叶片转速优选为10～200rpm，另外，由于双轴的旋转比相对较大者磨碎效果好，从而优选。运转时间与干式粉碎时间合计优选为1小时～8小时，装置的内温优选为50～150℃。此外，作为粉碎介质的水溶性无机盐，优选粉碎粒度为5～50μm，粒径分布范围狭窄，并且为球形。

这些有机颜料可以单独使用，或为了提高色纯度而组合多种有机颜料进行使用。上述组合的具体例子如以下所示，但不限于此。

例如，作为红色颜料，可以将蒽醌系颜料、苝系颜料、二酮基吡咯并吡咯系颜料单独使用或使用它们中的至少1种与双偶氮系黄色颜料、异吲哚啉系黄色颜料、喹酞酮系黄色颜料或苝系红色颜料、蒽醌系红色颜料、二酮基吡咯并吡咯系红色颜料的混合等。例如，作为蒽醌系颜料，可以举出C.I.颜料红177，作为苝系颜料，可以举出C.I.颜料红155、C.I.颜料红224，作为二酮基吡咯并吡咯系颜料，可以举出C.I.颜料红254，从颜色再现性的观点考虑，优选C.I.颜料红254与选自C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150以及C.I.颜料红177中的1种或2种的混合。此外，关于红色颜料与其他颜料的质量比(其他颜料/红色颜料)优选为5/100～80/100。若为4/100以下时，有时难以抑制400nm～500nm的透光率，从而无法提高色纯度。此外，若为81/100以上时，有时显色力会降低。特别是作为上述质量比，最佳范围为10/100～65/100。另外，将红色颜料之间彼此组合时，可以对照色度调节质量比。

此外，作为绿色颜料，可以单独使用1种卤代酞菁系颜料或将该卤代酞菁系颜料与双偶氮系黄色颜料、喹酞酮系黄色颜料、偶氮甲碱系黄色颜料或异吲哚啉系黄色颜料混合使用。例如，作为上述例子，优选C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、与C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄180或C.I.颜料黄185的混合。关于绿色颜料与黄色颜料的质量比(黄色颜料/绿色颜料)优选为5/100～200/100。若上述质量比不足5/100，则有时难以抑制400nm～450nm的透光率，从而无法提高色纯度。此外，若超过200/100，则有时主波长偏向长波长，从NTSC目标色相偏离增大。上述质量比特别优选为20/100～150/100的范围。

作为蓝色颜料，可以单独使用1种酞菁系颜料，或者也可以将酞菁系颜料与二噁嗪系紫色颜料混合使用。作为特别优选的例子，可以举出C.I.颜料蓝15:6与C.I.颜料紫23的混合。

蓝色颜料与紫色颜料的质量比(紫色颜料/蓝色颜料)优选为0/100～100/100，更优选为70/100以下。

另外，作为适合黑色矩阵用途的颜料，可以单独使用炭黑、石墨、钛黑、氧化铁、氧化钛，或将它们混合使用。其中，优选炭黑与钛黑的组合。

另外，炭黑与钛黑的质量比(钛黑/炭黑)优选为0/100～60/100的范围。若为61/100以上，则有时分散稳定性会降低。

在本发明中，关于能作为着色剂与颜料并用的染料，没有特殊限制，可以使用目前作为滤色器用途使用的公知的染料。例如，可以举出日本特开昭64-90403号公报、特开昭64-91102号公报、日本特开平1-94301号公报、特开平6-11614号公报、日本特登2592207号、美国专利第4,808,501号说明书、美国专利第5,667,920号说明书、美国专利第5,059,500号说明书、特开平5-333207号公报、特开平6-35183号公报、特开平6-51115号公报、特开平6-194828号公报、特开平8-211599号公报、特开平4-249549号公报、特开平10-123316号公报、特开平11-302283号公报、特开平7-286107号公报、日本特开2001-4823号公报、特开平8-15522号公报、特开平8-29771号公报、特开平8-146215号公报、特开平11-343437号公报、特开平8-62416号公报、特开2002-14220号公报、特开2002-14221号公报、特开2002-14222号公报、特开2002-14223号公报、特开平8-302224号公报、特开平8-73758号公报、特开平8-179120号公报、特开平8-151531号公报等中记载的色素等。

作为化学结构，可以使用吡唑偶氮系、苯胺偶氮系、三苯基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶酮系、亚苄基系、氧杂菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑偶氮甲碱系、呫吨系、酞菁系、苯并吡喃系、靛蓝系等染料。

作为着色感光性组合物中的颜料的含量，优选相对于该组合物的总固体成分(质量)为20～60质量％，更优选为30～50质量％。若颜料的含量在上述范围内，则能得到色浓度充分且具有优异的颜色特性的着色感光性组合物。

特别是作为颜料，使用有机颜料，且在颜料的微细化工序或分散工序中，将颜料用高分子化合物包覆后也可以使用。通过用高分子化合物将颜料包覆，即使是微细化的颜料，也能抑制2次凝聚体的形成，在1次粒子的状态下分散。

关于颜料的微细化，具体而言，经过如下工序来实施：添加i)颜料和ii)水溶性无机盐、iii)实质上不溶解ii)水溶性无机盐的少量水溶性有机溶剂以及根据需要使用的iv)分散剂，用捏合机等进行机械混炼(称为盐研磨(salt milling)工序)的工序；将该混合物投入水中，用高速混料机等搅拌，制成浆状的工序；以及将该浆料过滤，水洗，根据需要进行干燥的工序。

对上述盐研磨进行更具体的说明。首先，在i)有机颜料与ii)水溶性无机盐的混合物中加入少量iii)水溶性有机溶剂作为润湿剂，用捏合机等剧烈混合后，将该混合物投入水中，用高速混料机等搅拌，制成浆状。然后，将该浆料过滤，水洗，根据需要干燥，得到微细化的颜料。另外，当分散在油性清漆中使用时，可以用一般称为冲洗(flushing)的方法将干燥前的处理颜料(称为滤饼)一边除去水分一边分散于油性的清漆中。此外，当分散于水系的清漆中时，处理颜料无需干燥，可以将滤饼直接分散到清漆中。

另外，iv)分散剂可以在盐研磨工序的初期全部添加，也可以分批添加。另外，还可以在分散工序中添加。上述iv)分散剂只要具有对颜料的吸附性基团即可。通过含有该分散剂，能提高颜料的分散性。

作为分散剂，例如可以适当选择使用公知的颜料分散剂或表面活性剂。

具体而言，例如可以举出有机硅氧烷聚合物KP341(信越化学工业株式会社制)、(甲基)丙烯酸系(共)聚合物POLYFLOW No.75、No.90、No.95(共荣社化学工业株式会社制)、W001(裕商株式会社制)等阳离子系表面活性剂；聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯等非离子系表面活性剂；W004、W005、W017(裕商株式会社制)等阴离子系表面活性剂；EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKA POLYMER100、EFKA POLYMER 400、EFKAPOLYMER 401、EFKA POLYMER 450(均为Ciba Specialty Chemicals公司制)等高分子分散剂；SOLSPERSE3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000等各种SOLSPERSE分散剂(日本Lubrizol株式会社制)；Adeka Pluronic L31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123(旭电化株式会社制)及IONET S-20(三洋化成株式会社制)、Disperbyk 101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150(BYK-Chemie株式会社制)。此外，可以举出丙烯酸系共聚物等在分子末端或侧链上具有极性基团的低聚物或聚合物。

添加上述颜料、分散剂、溶剂、根据需要使用的颜料衍生物、以及碱溶性树脂，制备颜料分散组合物。

作为分散剂在颜料分散组合物中的含量，相对于上述颜料的质量优选为1～100质量％，更优选为3～70质量％。

上述颜料分散组合物中，根据需要而添加颜料衍生物。使导入了与分散剂具有亲和性的部分或导入了极性基团的颜料衍生物吸附在颜料表面，将其用作分散剂的吸附点，从而使颜料作为微细的粒子分散在感光性组合物中，可以防止其再凝聚，有效地形成对比度高、透明性优异的滤色器。

具体而言，颜料衍生物是以有机颜料为母体骨架、在侧链上导入了酸性基或碱性基、芳香族基作为取代基的化合物。有机颜料具体可以举出喹吖啶酮系颜料、酞菁系颜料、偶氮系颜料、喹酞酮系颜料、异吲哚啉系颜料、异吲哚啉酮系颜料、喹啉颜料、二酮基吡咯并吡咯颜料、苯并咪唑酮颜料等。通常，还包括不被称为色素的萘系、蒽醌系、三嗪系、喹啉系等淡黄色的芳香族多环化合物。作为色素衍生物，可以使用日本特开平11-49974号公报、特开平11-189732号公报、特开平10-245501号公报、日本特开2006-265528号公报、特开平8-295810号公报、特开平11-199796号公报、特开2005-234478号公报、特开2003-240938号公报、特开2001-356210号公报等中记载的物质。

作为本发明使用的颜料衍生物在颜料分散组合物中的含量，相对于颜料的质量优选为1～30质量％，更优选为3～20质量％。若该含量在上述范围内，则能将颜料分散组合物的粘度抑制地较低的同时，良好地进行颜料的分散，并能提高分散后的颜料的分散稳定性，从而能得到透射率高、具有优异的颜色特性的着色膜。将含有上述范围的颜料衍生物的颜料分散液用于滤色器制作时，可以得到具有良好的颜色特性的高对比度的滤色器。

分散时例如采用下述方法：将颜料和分散剂事先混合，用均质机等事先将其分散，然后采用使用了氧化锆珠子等的珠粒分散机等进行微分散。

(碱溶性树脂)

作为碱溶性树脂，为线状有机高分子聚合物，可以从在分子(优选以丙烯酸系共聚物、苯乙烯系共聚物为主链的分子)中具有至少1个促进碱溶性的基团(例如羧基、磷酸基、磺酸基等)的碱溶性树脂中适当选择。其中，更优选为对有机溶剂为可溶、能通过弱碱水溶液显影的碱溶性树脂。

关于碱溶性树脂的制造，例如可以使用利用例如公知的自由基聚合法的方法。用自由基聚合法制造碱溶性树脂时的温度、压力、自由基引发剂的种类及其量、溶剂的种类等聚合条件能由本领域技术人员容易地设定，也可以实验性地设定条件。

作为上述线状有机高分子聚合物，优选在侧链上具有羧酸的聚合物。例如，可以举出日本特开昭59-44615号、日本特公昭54-34327号、特公昭58-12577号、特公昭54-25957号、特开昭59-53836号、特开昭59-71048号的各公报中记载的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物等、以及在侧链上具有羧酸的酸性纤维素衍生物、在具有羟基的聚合物中加成酸酐而得到的聚合物等。此外，还可以优选地举出在侧链上具有(甲基)丙烯酰基的高分子聚合物。

上述聚合物中，特别优选由(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物或(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他单体构成的多元共聚物。此外，作为有用的聚合物，还可以举出将甲基丙烯酸2-羟基乙酯共聚而得到的聚合物等。该聚合物可以按任意量混合进行使用。

除上述聚合物以外，还可以举出日本特开平7-140654号公报中记载的(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯/聚苯乙烯大分子单体/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羟基乙酯/聚苯乙烯大分子单体/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羟基乙酯/聚苯乙烯大分子单体/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。

关于碱溶性树脂的具体构成单元，特别优选(甲基)丙烯酸和能与其共聚的其他单体的共聚物。这里，(甲基)丙烯酸是丙烯酸和甲基丙烯酸的总称，以下同样地(甲基)丙烯酸酯是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的总称。

作为能与上述(甲基)丙烯酸共聚的其他单体，可以举出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳酯、乙烯基化合物等。这里，烷基及芳基的氢原子可以被取代基取代。

作为上述(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳酯的具体例子，可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸环己酯等。

此外，作为上述乙烯基化合物，例如可以举出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯基酯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸四氢糠基酯、聚苯乙烯大分子单体、聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体、CH₂＝CR¹¹R¹²、CH₂＝C(R¹¹)(COOR¹³)〔这里，R¹¹表示氢原子或碳原子数为1～5的烷基，R¹²表示碳原子数为6～10的芳香族烃环，R¹³表示碳原子数为1～8的烷基或碳原子数为6～12的芳烷基)等。

上述能共聚的其他单体可以单独使用1种或组合2种以上进行使用。优选的能共聚的其他单体为选自CH₂＝CR¹¹R¹²、CH₂＝C(R¹¹)(COOR¹³)、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯及苯乙烯中的至少1种，特别优选为CH₂＝CR¹¹R¹²、CH₂＝C(R¹¹)(COOR¹³)。

作为碱溶性树脂在着色感光性组合物中的含量，相对于该组合物的总固体成分，优选为1～20质量％，更优选为2～18质量％，特别优选为3～15质量％。

(光聚合性化合物)

作为光聚合性化合物，优选具有至少1个能加聚的烯键式不饱和基、沸点在常压下为100℃以上的化合物，其中，更优选4官能以上的丙烯酸酯化合物。

作为上述具有至少1个能加聚的烯键式不饱和基、沸点在常压下为100℃以上的化合物，例如可以举出聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等单官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、在丙三醇或三羟甲基乙烷等多官能醇中加成环氧乙烷或环氧丙烷后进行(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物、季戊四醇或二季戊四醇的聚(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物、日本特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、日本特开昭51-37193号公报中记载的尿烷丙烯酸酯类、特开昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号公报中记载的聚酯丙烯酸酯类、环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物即环氧基丙烯酸酯类等多官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。

此外，还可以使用日本接着协会志Vol.20、No.7、300～308页中作为光固化性单体和低聚物介绍的化合物。

另外，也可以使用日本特开平10-62986号公报中与作为通式(1)及(2)的该具体例一起记载的在上述多官能醇中加成环氧乙烷或环氧丙烷后进行(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物。

其中，优选二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯及它们的丙烯酰基介入了乙二醇、丙二醇残基的结构(二季戊四醇与丙烯酰基之间用乙二醇、丙二醇残基连结的结构)。还可以使用它们的低聚物型。

另外，也优选日本特公昭48-41708号、特开昭51-37193号、日本特公平2-32293号、特公平2-16765号中记载的尿烷丙烯酸酯类、或特公昭58-49860号、特公昭56-17654号、特公昭62-39417号、特公昭62-39418号记载的具有环氧乙烷系骨架的尿烷化合物类。此外，通过使用特开昭63-277653号、特开昭63-260909号、日本特开平1-105238号记载的分子内具有氨基结构或硫化物结构的加聚性化合物类，能得到感光速度非常好的光聚合性组合物。作为市售品，可以举出尿烷低聚物UAS-10、UAB-140(山阳国策PULP公司制)、UA-7200(新中村化学公司制)、KAYARAD DPHA-40H(日本化药公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共荣社制)等。

另外，也优选具有酸基的烯键式不饱和化合物类，作为市售品，例如可以举出东亚合成株式会社制造的作为含有羧基的3官能丙烯酸酯的TO-756及作为含有羧基的5官能丙烯酸酯的TO-1382等。

光聚合性化合物除可以1种单独使用以外，还可以组合2种以上进行使用。作为光聚合性化合物在着色感光性组合物中的含量，优选相对于该组合物的总固体成分100质量份为3～55质量％，更优选为10～50质量％。当光聚合性化合物的含量在上述范围内时，能充分进行固化反应。

(光聚合引发剂)

作为光聚合引发剂，例如可以举出日本特开昭60-3626号公报中记载的卤代甲基噁二唑、日本特公昭59-1281号公报、日本特开昭53-133428号公报等中记载的卤代甲基-均三嗪等活性卤化物、美国专利第4318791号、欧州专利申请公开第88050号说明书等各说明书中记载的缩酮、缩醛或苯偶姻烷基醚类等芳香族羰基化合物、美国专利第4199420号说明书中记载的二苯甲酮类等芳香族酮化合物、法国专利发明第2456741号说明书中记载的(硫)呫吨酮类或吖啶类化合物、日本特开平10-62986号公报中记载的香豆素类或联咪唑类化合物、日本特开平8-015521号公报等的锍有机硼络合物等等。

作为上述光聚合引发剂，优选苯乙酮系、缩酮系、二苯甲酮系、苯偶姻系、苯甲酰系、呫吨酮系、活性卤化物(三嗪系、卤代甲基噁二唑系、香豆素系)、吖啶类系、联咪唑系、肟酯系等。

作为上述苯乙酮系光聚合引发剂，例如可以优选举出2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、对二甲基氨基苯乙酮、4’-异丙基-2-羟基-2-甲基-苯丙酮、1-羟基-环己基-苯基-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-甲苯基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙烷-1-酮等。

作为上述缩酮系光聚合引发剂，例如可以优选举出苄基二甲基缩酮、苄基-β-甲氧基乙基缩醛等。

作为上述二苯甲酮系光聚合引发剂，例如可以优选举出二苯甲酮、4，4’-(双二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-(双二乙基氨基)二苯甲酮、4，4’-二氯二苯甲酮等。

作为上述苯偶姻系或苯甲酰系光聚合引发剂，例如可以优选举出苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻甲基醚、甲基邻苯甲酰基苯甲酸酯等。

作为上述呫吨酮系光聚合引发剂，例如可以优选举出二乙基噻吨酮、二异丙基噻吨酮、单异丙基噻吨酮、氯噻吨酮等。

作为上述活性卤素光聚合引发剂(三嗪系、噁二唑系、香豆素系)，例如可以优选举出2，4-双(三氯甲基)-6-对甲氧基苯基-均三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-对甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(1-对二甲基氨基苯基)-1，3-丁二烯基-均三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-联苯基-均三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(对甲基联苯基)-均三嗪、对羟基乙氧基苯乙烯基-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、甲氧基苯乙烯基-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、3，4-二甲氧基苯乙烯基-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、4-苯并四氢呋喃-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪、4-(邻溴-对-N，N-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2，6-二(氯甲基)-均三嗪、4-(对-N，N-(二乙氧基羰基氨基)-苯基)-2，6-二(氯甲基)-均三嗪、2-三氯甲基-5-苯乙烯基-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(氰基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(萘-1-基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基)苯乙烯基-1，3，4-噁二唑、3-甲基-5-氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-氯-5-二乙基氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-丁基-5-二甲基氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素等。

作为上述吖啶类系光聚合引发剂，例如可以优选举出9-苯基吖啶、1，7-双(9-吖啶基)庚烷等。

作为上述联咪唑系光聚合引发剂，例如可以优选举出2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚体、2-(邻甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚体、2-(2，4-二甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑基二聚体等。

除上述光聚合引发剂以外，还可以举出1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、O-苯甲酰基-4’-(苯并巯基)苯甲酰基-己基-酮肟、2，4，6-三甲基苯基羰基-二苯基膦酰基氧化物、六氟磷酸-三烷基苯基鏻盐(hexafluorophosphoro-trialkylphenyl phosphonium salt)等。

本发明不限于以上的光聚合引发剂，也可以使用其他公知的光聚合引发剂。例如，可以举出美国专利第2,367,660号说明书中记载的连位聚乙酮醇醛糖(vicinal polyketoaldonyl)化合物、美国专利第2,367,661号及第2,367,670号说明书中记载的α-羰基化合物、美国专利第2,448,828号说明书中记载的偶姻醚、美国专利第2,722,512号说明书中记载的被α-烃取代的芳香族偶姻化合物、美国专利第3,046,127号及第2,951,758号说明书中记载的多核苯醌化合物、美国专利第3,549,367号说明书中记载的三烯丙基咪唑二聚物/对氨基苯基酮的组合、日本特公昭51-48516号公报中记载的苯并噻唑系化合物/三卤代甲基-均三嗪系化合物、J.C.S.Perkin II(1979)1653-1660、J.C.S.PerkinII(1979)156-162、Journal of Photopolymer Science andTechnology(1995)202-232、日本特开2000-66385号公报中记载的肟酯化合物等。

另外，上述光聚合引发剂可以并用。

关于光聚合引发剂在着色感光性组合物中的含量，相对于该组合物的总固体成分优选为0.1～10.0质量％，更优选为0.5～5.0质量％。光聚合引发剂的含量在上述范围内时，能良好地进行聚合反应，形成强度良好的膜。

-增感色素-

本发明优选根据需要添加增感色素。通过在该增感色素能吸收的波长下的曝光，促进上述聚合引发剂成分的自由基生成反应以及由此引发的聚合性化合物的聚合反应。作为这样的增感色素，可以举出公知的分光增感色素或染料、或吸收光并与光聚合引发剂相互作用的染料或颜料。

(分光增感色素或染料)

作为本发明使用的增感色素优选的分光增感色素或染料，可以举出多核芳香族类(例如芘、苝、苯并菲)、呫吨类(例如荧光素、曙红、赤藓红、若丹明B、虎红)、花青类(例如硫代羰花青(thiacarbocyanine)、氧代羰花青(oxacarbocyanine))、部花青类(例如部花青、羰部花青(carbomerocyanine))、噻嗪类(例如硫堇、亚甲基蓝、甲苯胺蓝)、吖啶类(例如吖啶橙、氯黄素、吖啶黄素)、酞菁类(例如酞菁、金属酞菁)、卟啉类(例如四苯基卟啉、中心金属取代卟啉)、叶绿素类(例如叶绿素、叶绿酸、中心金属取代叶绿素)、金属络合物、蒽醌类(例如蒽醌)、方形酸内鎓盐(squaryliums)类(例如，方形酸内鎓盐)等。

更优选的分光增感色素或染料的例子如下所示。

日本特开昭62-143044号公报中记载的阳离子染料；日本特公昭59-24147号公报中记载的喹喔啉鎓盐；特开昭64-33104号公报中记载的新亚甲基蓝化合物；特开昭64-56767号公报中记载的蒽醌类；日本特开平2-1714号公报中记载的苯并呫吨染料；特开平2-226148号公报和特开平2-226149号公报中记载的吖啶类；特公昭40-28499号公报中记载的吡啶鎓盐类；特公昭46-42363号公报中记载的花青类；特开平2-63053号中记载的苯并呋喃色素；特开平2-85858号公报、特开平2-216154号公报的共轭酮色素；特开昭57-10605号公报中记载的色素；特公平2-30321号公报记载的偶氮亚肉桂衍生物；特开平1-287105号公报中记载的花青系色素；特开昭62-31844号公报、特开昭62-31848号公报、特开昭62-143043号公报中记载的呫吨系色素；特公昭59-28325号公报中记载的氨基苯乙烯基酮；特开平2-179643号公报中记载的色素；特开平2-244050号公报中记载的部花青色素；特公昭59-28326号公报中记载的部花青色素；特开昭59-89303号公报中记载的部花青色素；特开平8-129257号公报中记载的部花青色素；特开平8-334897号公报中记载的苯并吡喃系色素。

(在350～450nm具有最大吸收波长的色素)

作为增感色素的其他优选形态，可以举出属于以下化合物组且在350～450nm具有最大吸收波长的色素。

例如，多核芳香族类(例如芘、苝、苯并菲)、呫吨类(例如荧光素、曙红、赤藓红、若丹明B、虎红)、花青类(例如硫代羰花青、氧代羰花青)、部花青类(例如部花青、羰部花青)、噻嗪类(例如硫堇、亚甲基蓝、甲苯胺蓝)、吖啶类(例如吖啶橙、氯黄素、吖啶黄素)、蒽醌类(例如蒽醌)、方形酸内鎓盐类(例如方形酸内鎓盐)。

(其他)

在本发明的着色感光性组合物中可以添加多官能环氧化合物。籍此，多官能环氧化合物发生热交联，使交联密度提高，耐化学试剂性提高。

作为本发明中能使用的多官能环氧化合物，有双酚A型、甲酚线性酚醛型、联苯型、脂环式环氧化合物等。

例如，作为双酚A型，除可以举出EPOTOHTO YD-115、YD-118T、YD-127、YD-128、YD-134、YD-8125、YD-7011R、ZX-1059、YDF-8170、YDF-170等(以上为东都化成制)、DENACOL EX-1101、EX-1102、EX-1103等(以上为Nagase化成制)、PLACCEL GL-61、GL-62、G101、G102(以上为Daicel化学制)之外，还能举出与上述双酚A型类似的双酚F型、双酚S型。另外，也可以使用Ebecryl 3700、3701、600(以上为Daicel UCB制)等环氧丙烯酸酯。

作为甲酚线性酚醛型，可以举出EPOTOHTO YDPN-638、YDPN-701、YDPN-702、YDPN-703、YDPN-704等(以上为东都化成制)、DENACOLEM-125等(以上为Nagase化成制)，作为联苯型，可以举出3，5，3’，5’-四甲基-4，4’二缩水甘油基联苯等。

作为脂环式环氧化合物，可以举出CELOXIDE 2021、2081、2083、2085、EPOLEAD GT-301、GT-302、GT-401、GT-403、EHPE-3150(以上为Daicel化学制)、SUNTOHTO ST-3000、ST-4000、ST-5080、ST-5100等(以上为东都化成制)等。此外，还可以使用作为胺型环氧树脂的EPOTOHTO YH-434、YH-434L、通过在双酚A型环氧树脂的骨架中导入二聚酸而改性而得到的缩水甘油酯等。

关于多官能环氧化合物在着色感光性组合物中的含量，相对于除去颜料后的总固体成分，优选为2～20质量％，更优选为3～10质量％。若该含量在上述范围内，则由该着色感光性组合物形成的着色膜(固化膜)的耐溶剂性优异。另外，当该含量在上述范围内时，能抑制烘烤后的黄色着色对滤色器品质的损害，耐NMP(N-甲基吡咯烷酮)性优异，因而优选。

本发明的颜料分散组合物以及着色感光性组合物一般与上述成分一起，用溶剂来适当制备。

作为溶剂，可以举出：酯类、例如甲酸戊酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯等乙酸烷基酯类；丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯等3-羟基丙酸烷基酯类；3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯等；醚类、例如二甘醇二甲基醚、四氢呋喃、乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单丁基醚、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等；酮类、例如甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等；芳香族烃类、例如甲苯、二甲苯等。

其中，优选3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二甘醇二甲基醚、乙酸正丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯等。

溶剂可以单独使用，还可以2种以上组合使用。

在着色感光性组合物中，可以根据需要含有链转移剂、氟系有机化合物、热聚合引发剂、热聚合成分、热聚合防止剂、着色剂、光聚合引发剂、其他填充剂、上述碱溶性树脂以外的高分子化合物、表面活性剂、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝聚剂等各种添加物。

作为能在着色感光性组合物中添加的链转移剂，例如可以列举N，N-二甲基氨基苯甲酸乙酯等N，N-二烷基氨基苯甲酸烷基酯、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑等具有杂环的巯基化合物、以及脂肪族多官能巯基化合物等。

链转移剂可以单独使用1种，也可以2种以上并用。

通过含有氟系有机化合物，能提高作为涂布液时的液体特性(特别是流动性)，能改善涂布厚度的均一性以及节液性。即，基板与涂布液之间的表面张力下降，使基板上的润湿性(wettability)得以改善，基板上的涂布性提高，因此即使用少量的液量形成数μm左右的厚度的薄膜，也能有效地形成厚度不均小的厚度均一的膜。

氟系有机化合物中的含氟率优选为3～40质量％，更优选为5～30质量％，特别优选为7～25质量％。若含氟率在上述范围内，则在涂布厚度均一性以及节液性方面有效，在组合物中的溶解性也很好。

作为氟系表面活性剂，可以优选使用在末端、主链以及侧链的至少任一部位具有氟烷基或氟亚烷基的化合物。作为具体的市售品，例如可以举出MEGAFACE F142D、MEGAFACE F172、MEGAFACE F173、MEGAFACEF176、MEGAFACE F177、MEGAFACE F183、MEGAFACE 780、MEGAFACE781、MEGAFACE R30、MEGAFACE R08、MEGAFACE F-472SF、MEGAFACE F-780-F、MEGAFACE BL20、MEGAFACE R-61、MEGAFACER-90(DIC公司制)、FLUORADFC-135、FLUORADFC-170C、FLUORADFC-430、FLUORADFC-431、Novec FC-4430(住友スリ一エム株式会社制)、アサヒガ一ド AG7105、7000、950、7600、SURFLON S-112、SURFLON S-113、SURFLON S-131、SURFLON S-141、SURFLON S-145、SURFLON S-382、SURFLON SC-101、SURFLON SC-102、SURFLONSC-103、SURFLON SC-104、SURFLON SC-105、SURFLON SC-106(旭硝子株式会社制)、EFTOP EF351、EFTOP 352、EFTOP 801、EFTOP 802(JEMCO株式会社制)等。

氟系有机化合物特别是在形成薄涂膜时可有效防止涂布不均及厚度不均。此外，在易引起液体断流的狭缝涂布中也有效。

氟系有机化合物的添加量，相对于着色感光性组合物的总质量，优选为0.001～2.0质量％，更优选为0.005～1.0质量％。

使着色感光性组合物中含有热聚合引发剂也是有效的。作为热聚合引发剂，例如可以举出各种偶氮系化合物、过氧化物系化合物，作为上述偶氮系化合物，能举出偶氮二基(azobis)系化合物，作为上述过氧化物系化合物，能举出过氧化酮、过氧化缩酮、氢过氧化物、二烷基过氧化物、二酰基过氧化物、过氧化酯、过氧化二碳酸酯等。

从改善涂布性的观点出发，优选在本发明的着色感光性组合物中添加各种表面活性剂，除上述氟系表面活性剂外，还能使用非离子系、阳离子系、阴离子系的各种表面活性剂。其中，优选上述氟系表面活性剂以及非离子系表面活性剂。

作为非离子系表面活性剂的例子，例如特别优选聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基芳基醚类、聚氧乙烯烷基酯类、山梨糖醇酐烷基酯类、单甘油烷基酯类等非离子系表面活性剂。具体而言，可以举出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚类；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯聚苯乙烯化醚、聚氧乙烯三苄基苯基醚、聚氧乙烯-丙烯聚苯乙烯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚类；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯类、乙二胺聚氧乙烯-聚氧丙烯缩合物等非离子系表面活性剂，能适当使用由花王株式会社、日本油脂株式会社、竹本油脂株式会社、株式会社ADEKA、三洋化成株式会社等出售的上述非离子性表面活性剂。除此以外，还可以使用上述分散剂。

除上述以外，在着色感光性组合物中还可以添加各种添加物。作为添加物的具体例子，可以举出2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等紫外线吸收剂、聚丙烯酸钠等防凝聚剂、玻璃、氧化铝等填充剂；衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物、酸性纤维素衍生物、具有羟基的聚合物与酸酐加成而得到的产物、醇溶性尼龙、由双酚A与环氧氯丙烷形成的苯氧基树脂等碱溶性树脂等。

另外，为了促进未固化部的碱溶解性、进一步提高感光性组合物的显影性，可以在感光性组合物中添加有机羧酸、优选添加分子量为1000以下的低分子量有机羧酸。具体而言，例如可以举出甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族单羧酸；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、柠康酸等脂肪族二羧酸；丙三羧酸、乌头酸、樟脑三酸等脂肪族三羧酸；苯甲酸、甲苯甲酸、异丙基苯甲酸、2，3-二甲基苯甲酸、3，5-二甲基苯甲酸等芳香族单羧酸；邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、偏苯三酸、均苯三酸、苯偏四甲酸、均苯四甲酸等芳香族多元羧酸；苯基乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、肉桂酸甲酯、肉桂酸苄酯、肉桂叉乙酸、香豆酸、伞形酸等羧酸。

此外，在着色感光性组合物中还可以添加热聚合防止剂，例如可以使用氢醌、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、连苯三酚、叔丁基儿茶酚、苯醌、4，4′-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2-巯基苯并咪唑等。

着色感光性组合物的制造方法的一个例子如下所示。

将颜料、水溶性有机溶剂和水溶性无机盐类的混合物用二辊、三辊、珠磨机、滚筒磨机、分散机、捏合机、共捏合机、均质机、混合机、单螺杆或双螺杆挤出机等混炼机一边施加强剪切力一边将颜料磨碎，然后将该混合物投入水中，用搅拌机等制成浆状。接着，将该浆料过滤，水洗，除去水溶性有机溶剂和水溶性无机盐后，干燥，得到微细化的颜料。在微细化处理前，优选添加分散剂、颜料衍生物等表面处理剂。

将颜料和分散剂、根据需要使用的颜料衍生物、溶剂进行珠粒分散。主要是使用立式或卧式的砂磨机(sand grinder)、销棒粉碎机(pin mill)、狭缝粉碎机(slit mill)、超声波分散机等，用0.01～1mm的粒径的玻璃、氧化锆等制成的珠子进行微分散处理，得到颜料分散组合物。另外，也可以省略将颜料微细化的处理。

另外，关于混炼、分散的详细内容，在T.C.Patton著“Paint Flow andPigment Dispersion”(1964年John Wiley and Sons公司出版)等中有记载。

然后，在如此得到的颜料分散组合物中，添加光聚合性化合物、光聚合引发剂、以及碱溶性树脂等，得到本发明中能使用的着色感光性组合物。

将着色感光性组合物直接或间隔其他层在基板上通过旋转涂布、狭缝涂布、流延涂布、辊涂布、棒涂布等涂布方法进行涂布，形成着色感光性组合物的涂布膜，借助规定的光掩模进行曝光，在曝光后，用上述方法显影、水洗，从而形成由各色(3色或4色以上)的像素形成的图案状被膜，即可作为滤色器。

由此，能够以工序上的困难性少、高品质且低成本的方式来制造液晶显示装置中使用的滤色器。

作为所述基板，例如可以举出液晶显示装置等中使用的无碱玻璃、钠玻璃、Pyrex(注册商标)玻璃、石英玻璃及在上述基板上附着有透明导电膜的基板、或固体摄像元件等中使用的光电转化元件基板、例如硅基板等、以及塑料基板。在上述基板上，通常形成隔离各像素的黑色矩阵，或为了促进密合等而设置透明树脂层。

在塑料基板上，优选在其表面具有气体阻隔层和/或耐溶剂性层。除此之外，在薄膜晶体管(TFT)方式彩色液晶显示装置的配置有薄膜晶体管(TFT)的驱动用基板(以下称为“TFT方式液晶驱动用基板”)上形成由本发明的着色感光性组合物构成的图案状被膜，即可制造滤色器。作为TFT方式液晶驱动用基板中的基板，例如可以举出玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。对这些基板，可以根据需要而实施利用硅烷偶联剂等进行的化学试剂处理、等离子体处理、离子镀、溅射、气相反应法、真空蒸镀等适当的前处理。例如，可以列举通过在TFT方式液晶驱动用基板的表面上或该驱动基板的表面上形成有氮化硅膜等的钝化(passivation)膜而得到的基板等。

在本发明中，作为在基板上涂布着色感光性组合物的方法，没有特殊限制，优选狭缝-旋转法、狭缝涂布法等使用狭缝喷嘴的方法(以下称为狭缝喷嘴涂布法)。在狭缝喷嘴涂布法中，其条件根据涂布基板的大小而不同，例如当利用狭缝涂布法在第五世代玻璃基板(1100mm×1250mm)上涂布时，来自狭缝喷嘴的着色感光性组合物的喷出量通常为500～2000微升/秒，优选为800～1500微升/秒，另外，涂布速度通常为50～300mm/秒，优选为100～200mm/秒。作为着色感光性组合物的固体成分，通常为10～20％，优选为13～18％。在基板上形成由着色感光性组合物得到的涂膜时，作为该涂膜的厚度(预烘烤处理后)，通常为0.3～5.0μm，优选为0.5～4.0μm，最优选为0.8～3.0μm。

通常，在涂布后实施预烘烤处理。根据需要，可以在预烘烤前实施真空处理。真空干燥的条件为：真空度通常为0.1～1.0torr、优选为0.2～0.5torr左右。

预烘烤处理可以使用加热板、烘箱等在50～140℃的温度范围、优选在70～110℃左右进行10～300秒。还可以并用高频处理等。高频处理也可以单独使用。

接着，通过掩模实施曝光处理。此时，作为使用的放射线，特别优选g线、h线、i线、j线等紫外线。液晶显示装置用的滤色器优选通过接近式曝光机、镜像投影曝光机进行主要使用了h线、i线的曝光，作为曝光量，优选5～300mJ/cm²，进一步优选10～150mJ/cm²，更优选10～100mJ/cm²。当曝光量在该范围内时，得到足够的聚合强度，处理节拍也很好，因而优选。

对于实施了曝光的涂布基板，用上述本发明的碱显影液进行显影处理，经水洗处理而形成图案。形成了图案的着色感光性组合物的图案是经后烘烤处理而完全固化的图案。关于后烘烤处理，可以使用加热板、烘箱等，在200℃～250℃的温度范围内、优选在210℃～240℃的温度范围内，进行10分钟～60分钟。也可以并用高频处理等。

使用经后烘烤处理的带图案基板，用与第1种颜色的形成方法相同的方法形成第2种颜色的着色感光性组合物的图案，且第3种颜色也采用同样的方法，从而得到形成了3种颜色的图案的基板。如此制造滤色器。

[实施例]

以下举出实施例来更具体地说明本发明。只要不脱离本发明的范围，可以适当变更以下实施例所示的材料、试剂、比例、仪器、操作等。因此，本发明的范围并不限于以下的具体例子。另外，在以下的实施例中，只要没有特别说明，“％”和“份”表示“质量％”和“质量份”，分子量表示重均分子量。“wt％”表示“质量％”。

(实施例1)

<1.黑色矩阵用感光性深色组合物的制备>

-炭黑分散液(K-1)的制备-

按下述处方来制备炭黑分散液(K-1)。

·炭黑(德固赛公司制カラ一ブラツクFW2)                26.7份

·分散剂(楠本化成制デイスパロンDA7500酸值26胺值40)

                                                     3.3份

·甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(＝72/28[摩尔比])共聚物

(分子量30000，丙二醇单甲醚乙酸酯的50质量％溶液)      10份

·丙二醇单甲醚乙酸酯                                      60份

将上述各成分在3000rpm的条件下用均质机搅拌1小时。将得到的混合溶液在采用0.3mm氧化锆珠的珠粒分散机(商品名：DISPERMAT，GETZMANN公司制)中实施8小时微分散处理，得到炭黑分散液(K-1)。

使用得到的炭黑分散液(K-1)，按下述表1的处方来制备感光性深色组合物(CK-1)涂布液。表1中的数值表示质量比。

表1

表1中的各成分的详细情况如下所述。

·树脂溶液C-2：甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(＝85/15摩尔比)共聚物(Mw10000、丙二醇单甲醚乙酸酯中的50wt％溶液)

·UV固化性树脂C-3：商品名サイクロマ一P ACA-250、大赛璐化学工业株式会社制[侧链具有脂环、COOH基以及丙烯酰基的丙烯酸系共聚物、丙二醇单甲醚乙酸酯中溶液(固体成分：50质量％)]

·聚合性化合物C-5：商品名TO-1382、东亚合成株式会社制(以二季戊四醇五丙烯酸酯的末端的OH基的一部分被COOH基取代的具有5官能丙烯酰基的单体为主要成分)

·引发剂C-7：商品名OXE-02、Ciba Specialty Chemicals公司制

·表面活性剂C-8：商品名Megaface R30、DIC公司制

·溶剂PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯

·溶剂EEP：丙酸3-乙氧基乙酯

<2.黑色矩阵的形成>

-感光性深色组合物层的形成工序-

使用狭缝涂布机(型号HC6000、平田机工株式会社制)，以120mm/秒的涂布速度将得到的感光性深色组合物CK-1涂布到玻璃基板(康宁公司制ミレニアム0.7mm厚)上。调节喷出量使后烘烤后的膜厚为1.2μm，将狭缝与玻璃基板间的距离设定在150μm。

-预烘烤工序、曝光工序-

接着，使用加热板，在120℃下加热120秒(预烘烤处理)。该预烘烤处理的温度通常为90℃，但在本实施例中设定为120℃，是容易产生红色的着色感光性组合物的残渣的条件。

使用镜像投影方式曝光机(型号MPA-8000、佳能株式会社制)，在60mJ/cm²下曝光。该曝光量通常为100mJ/cm²，但在本实施例中设定为60mJ/cm²，是容易产生红色的着色感光性组合物的残渣的条件。

-显影工序-

然后，使用显影装置(日立High Technologies公司制)，用本发明的显影液(后述的实施例1)的1.0％显影液(将显影液原液1质量份用纯水99质量份稀释得到的液体，24℃)，将喷淋压设定在0.20MPa，显影50秒，用纯水洗涤，得到显影后的黑色矩阵。

-烘烤(后烘烤)工序-

接着，在240℃的洁净烘箱中后烘烤处理40分钟，形成着色像素形成区域的开口为90μm×200μm、黑色矩阵的厚度为1.2μm、黑色矩阵的线宽为约22μm的格子状黑色矩阵基板。

使用X-Rite 361T(V)(SAKATA INX ENG株式会社)，测定得到的黑色矩阵的光学浓度(OD)，结果为4.2。

<红色像素的制作>

-着色感光性组合物层的形成工序-

(颜料分散液1的制备)

如下所述来制备颜料分散液1。即，按下述表2中记载的组成，使用均质机，以转速3000r.p.m.搅拌混合3小时，制备混合液，然后在使用了0.1mmφ的氧化锆珠的珠粒分散机ULTRA APEX MILL(寿工业公司制)中进行8小时分散处理。

表2

上述表2中的成分的详细内容如下所述。

·C.I.颜料红254：Ciba Specialty Chemicals制CROMOPHTAL RED BP

·Disperbyk161：Byk chemie公司制[使用30质量％溶液。因此固体成分为2.1份]

·PGMEA：丙二醇甲醚乙酸酯

(着色感光性组合物CR-1的制备)

在得到的颜料分散液1中进一步添加下述表3所述的成分，搅拌混合，制备作为红色(R)用着色感光性组合物的涂布液CR-1。

表3

上述表3中的成分的详细情况如下所述。

·DPHA：二季戊四醇六丙烯酸酯/乙酸1-甲氧基-2-丙酯(76/24[质量比])(日本化药株式会社制、KAYARAD DPHA)

·LD5：2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑(保土谷科学公司制、B-CIM)

·三嗪系引发剂1：4-[邻-溴-对-N，N-二(乙氧基羰基)氨基苯基]-2，6-二(三氯甲基)-均三嗪

·Epiclon N695：DIC公司制、Epiclon 695

·PGMEA/EPA：丙二醇甲醚乙酸酯和丙酸3-乙氧基乙酯(＝8/2[质量比])的混合溶液

·表面活性剂1：DIC公司制、氟系表面活性剂Megaface F-780-F

(着色感光性组合物层的形成)

在上述黑色矩阵基板的黑色矩阵形成面侧，涂布得到的作为红色(R)用着色感光性组合物的涂布液CR-1。具体而言，与感光性深色组合物层的形成情况同样，调节涂布机的狭缝部与黑色矩阵基板间的间距、喷出量使后烘烤后的着色感光性组合物层的层厚为约2.0μm，以120mm/秒的涂布速度涂布。

-着色层预烘烤工序、着色层曝光工序-

接着，使用加热板，在100℃下加热120秒(预烘烤处理)，使用接近式曝光机(日立hitec公司制、LE5565A)，以90mJ/cm²进行曝光。

此外，设定掩模图案和曝光机，使曝光图案与黑色矩阵的重叠(曝光重叠量)为8.0μm。

-着色层显影工序、着色层烘烤(后烘烤)工序-

然后，使用显影装置(日立High Technologies公司制)，用本发明的显影液(后述的实施例1)的1.0％显影液(将显影液原液1质量份用纯水99质量份稀释得到的液体，24℃)，将喷淋压设定在0.2MPa，显影45秒，用纯水洗涤。

接着，在220℃的洁净烘箱中后烘烤处理30分钟，形成经热处理的红色像素。

<显影液的制备>

按表4的组成称取各成分，搅拌混合，得到各显影液的原液。在显影实验中，采用由各显影液的原液1质量份与纯水99质量份混合得到的稀释显影液。

表4

表4中使用的化合物如下所示。

·KOH：Ekay公司(台湾)制、45质量％的KOH水溶液

·表面活性剂A-1-1：聚氧化乙烯单苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重复数：12)

·表面活性剂A-1-2：聚氧化乙烯单苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重复数：9)

·表面活性剂A-1-3：聚氧化乙烯单苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重复数：15)

·表面活性剂A-2-1：聚氧化乙烯二苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重复数：12)

·表面活性剂A-3-1：聚氧化乙烯三苯乙烯基苯基醚(氧化乙烯重复数：12)

<残渣的评价>

对用着色感光性组合物设置了图案的基板整体，选取10个测定点，用光学显微镜观察黑色矩阵上的残渣。光学显微镜反射模式设定在400倍。按以下的评价基准进行评价，结果如表5所示。

评价基准

0：未见残渣。

1：视野内可见1个残渣。

2：视野内可见2～5个残渣。

3：视野内可见6～10个残渣。

4：视野内可见11～20个残渣。

5：视野整体内可见很多残渣。

作为判定，0为良好。1和2为可允许范围内，3～5均在允许范围外，是不被允许的水平。

表5

本发明的显影液组成的实施例1～16在黑色矩阵上均没有残渣或只有少量残渣，判定结果为良好，可知特定表面活性剂的质量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]为0.2～0.9的范围时很有效。相对于此，本发明的范围外的比较例1～5残渣多，基板整体的残渣也很多，无法使用。

此外，与不含特定表面活性剂(A-3)的实施例13相比，含有特定表面活性剂(A-3)、且KOH量、表面活性剂的整体量以及质量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]相同的实施例1～3、9、10的残渣很少。

(实施例17)

按下述组成来制备作为着色感光性组合物的绿色(G)涂布液的CG-1以及蓝色(B)涂布液的CB-1。

-绿色(G)的着色感光性组合物CG-1的制备-

(绿色颜料分散液G1的制备)

将颜料分散液1的制备中的颜料(C.I.颜料红254；Ciba SpecialtyChemicals制CROMOPHTAL RED BP)改为C.I.颜料绿36，并将分散处理时间从8小时改为4小时，除此以外均与颜料分散液1的制备相同，得到绿色颜料分散液G1。

将着色感光性组合物的涂布液CR-1的制备中的颜料分散液1改为绿色颜料分散液G1，除此以外均与着色感光性组合物的涂布液CR-1的制备相同，得到绿色着色感光性组合物的涂布液CG-1。

-蓝色(B)的着色感光性组合物CB-1的制备-

(蓝色颜料分散液B1的制备)

将颜料分散液1的制备中的颜料(C.I.颜料红254；Ciba SpecialtyChemicals制CROMOPHTAL RED BP)改为C.I.颜料蓝15:6，将分散处理时间从8小时改为3小时，除此以外均与颜料分散液1的制备相同，得到蓝色颜料分散液B1。

将着色感光性组合物的涂布液CR-1的制备中的颜料分散液1改为蓝色颜料分散液B1，除此以外均与着色感光性组合物的涂布液CR-1的制备相同，得到蓝色着色感光性组合物的涂布液CB-1。

在实施例1中得到的具有黑色矩阵和红色像素的基板上，用与得到红色像素的方法相同的方法，使用绿色着色感光性组合物的涂布液CG-1，使绿色像素成形。然后，使用同一基板，使用蓝色着色感光性组合物CB-1，用与得到红色像素的方法相同的方法，使蓝色像素成形，在220℃下实施60分钟后烘烤。在该具有黑色矩阵、红色像素、绿色像素以及蓝色像素的基板的像素形成面上，溅射形成ITO(透明电极层)，得到滤色器。

Claims (10)

1、一种着色感光性组合物用碱显影液，其含有(A)非离子性表面活性剂和(B)碱性组合物，所述(A)非离子性表面活性剂按质量比[(A-1)/[(A-1)+(A-2)]]为0.2～0.9的范围含有(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚和(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚，所述(B)碱性组合物含有(B-1)氢氧化钾。

2、根据权利要求1所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，所述(A)非离子性表面活性剂还含有(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚，该(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚的质量比[(A-3)/[(A-1)+(A-2)+(A-3)]]为0.05～0.35的范围。

3、根据权利要求1所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，所述(A-1)聚氧化烯单苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

4、根据权利要求1所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，所述(A-2)聚氧化烯二苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

5、根据权利要求2所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，所述(A-3)聚氧化烯三苯乙烯基苯基醚中的聚氧化烯基是氧化乙烯的重复数为9～15的范围的基团。

6、根据权利要求1所述的着色感光性组合物用碱显影液，其中，含有(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物与(A)非离子性表面活性剂的总和的质量比[(B)/(A)]为0.15～1.6的范围。

7、一种图像形成方法，其用放射线使形成于基板上的着色感光性组合物层曝光成图案状而固化后，用权利要求1～6中任意一项所述的着色感光性组合物用碱显影液进行显影。

8、根据权利要求7所述的图像形成方法，其中，所述着色感光性组合物用碱显影液含有相对于碱显影液整体为0.03～0.08质量％的含(B-1)氢氧化钾的(B)碱性组合物。

9、一种滤色器，其在基板上具备由权利要求7所述的图像形成方法形成的着色图案。

10、一种液晶显示装置，其采用了权利要求9所述的滤色器。